JPH0674244U - Suction holding device - Google Patents
Suction holding deviceInfo
- Publication number
- JPH0674244U JPH0674244U JP1581193U JP1581193U JPH0674244U JP H0674244 U JPH0674244 U JP H0674244U JP 1581193 U JP1581193 U JP 1581193U JP 1581193 U JP1581193 U JP 1581193U JP H0674244 U JPH0674244 U JP H0674244U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- suction
- chuck
- piston member
- work
- cylinder chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Jigs For Machine Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】真空吸着領域を任意に自動的に変化させること
が可能で、異なるサイズのワークであっても即座にかつ
容易に対応することができる吸引保持装置を提供する。
【構成】ワーク載置テーブルの吸引路２７ａに連通する
チャンバ３をチャック本体４に形成し、このチャンバ３
に軸方向に移動自在にピストン部材５を装着して、これ
を弾性部材６で上方に付勢している。ピストン部材３
は、チャック面２ａにワークが無いときは大気圧で下動
して吸引路を自動的に遮断し、チャック面２ａにワーク
が載置されたときは下動せずに吸引路２７ａをチャック
面２ａの吸引開口に連通させる。
(57) [Summary] [Object] To provide a suction-holding device capable of automatically changing a vacuum suction region arbitrarily and quickly and easily responding to works of different sizes. [Structure] A chamber 3 communicating with a suction path 27a of a work placing table is formed in a chuck body 4, and the chamber 3 is formed.
A piston member 5 is mounted on the shaft movably in the axial direction, and an elastic member 6 urges the piston member 5 upward. Piston member 3
When there is no work on the chuck surface 2a, it moves down at atmospheric pressure to automatically shut off the suction path, and when a work is placed on the chuck surface 2a, it does not move down and the suction path 27a does not move. It communicates with the suction opening of 2a.
Description
【０００１】[0001]
この考案は、ウェハ，シャドウマスク等の被露光部材を露光装置に吸引保持し たり、被加工部材を旋削，プレス，シャリング等の加工装置に吸引保持したりす る保持装置、特に被保持部材の有無に応じて吸引経路を自動的に開閉できる吸引 保持装置に関する。 This invention is a holding device for sucking and holding a member to be exposed such as a wafer and a shadow mask in an exposure device, or holding and holding a member to be processed in a processing device such as turning, pressing and shearing, in particular, the presence or absence of the held member. The present invention relates to a suction holding device that can automatically open and close the suction path according to the type.
【０００２】[0002]
従来の吸引保持装置としては、例えば本出願人による実開平１−１６１３２ ５号公報に提案されたものがある。このものは、ウエハやシャドウマスクの露光 装置に取り付けて用いられるもので、特に試作実験用の多用途露光装置のように 、サイズの異なった種々のワークを対象とする場合に適している。すなわち、露 光装置のＸＹステージ上に、図６に示すような載置台２６が載置されて、載置台 ２６の上面には真空ポンプ等の空気吸引手段２７ｄに連通する多数の吸引孔２７ ａ0 〜２７ａ4 が所定間隔で碁盤目状に穿設されている。すなわち、載置台２６ の上面に載置中心Ｏに吸引孔２７ａ0 が穿設されていると共に、載置中心Ｏを中 心とし、載置する被露光部材（ワーク）の大きさに応じた方形枠線ｌ1 〜ｌ3 及 び方形枠線ｌ3 の左右両側に平行な線ｌ4 上に所要数の吸引孔２７ａ1 〜２７ａ 3 及び２７ａ4 が穿設され、各吸引孔２７ａ0,２７ａ1 〜２７ａ4 が載置台２６ の端部側から穿設された吸引通路２７ｂを介して互いに連通され、吸引通路２７ ｂの一部が３方電磁切換弁２７ｃを介して真空ポンプ等の空気吸引手段２７ｄに 接続されている。 As a conventional suction holding device, for example, there is one proposed in Japanese Utility Model Laid-Open No. 1-163125 by the present applicant. This is used by being attached to an exposure apparatus for wafers and shadow masks, and is particularly suitable for a variety of workpieces of different sizes such as a multipurpose exposure apparatus for trial production. That is, a mounting table 26 as shown in FIG. 6 is mounted on the XY stage of the exposure device, and a large number of suction holes 27 a communicating with the air suction means 27 d such as a vacuum pump are mounted on the upper surface of the mounting table 26.0~ 27aFourAre formed in a grid pattern at predetermined intervals. That is, the suction hole 27a is provided on the upper surface of the mounting table 26 at the mounting center O.0With the mounting center O as the center, and a rectangular frame line 1 corresponding to the size of the exposed member (workpiece) to be mounted.1~ L3And rectangular frame line l3Parallel to the left and right sides ofFourAbove the required number of suction holes 27a1~ 27a 3 And 27aFourEach suction hole 27a0,27a1~ 27aFourAre communicated with each other via a suction passage 27b bored from the end side of the mounting table 26, and a part of the suction passage 27b is connected to an air suction means 27d such as a vacuum pump via a three-way electromagnetic switching valve 27c. Has been done.
【０００３】 吸引保持装置２７はその載置台２６の上面に取り付けられており、載置台２６ の上面の各吸引孔２７ａ0 〜２７ａ4 に対応した位置に、円形の案内凹部２７ｅ 0 〜２７ｅ4 を有し、その各案内凹部にチャック本体２７ｆ0 及び２７ｆ1 が係 合されている。 これらチャック本体２７ｆ0 及び２７ｆ1 は、図７（ａ）及び（ｂ）に示すよ うに、上下面にそれぞれ吸引凹部２７ｋ1 及び２７ｋ2 が形成され、これら吸引 凹部２７ｋ1 及び２７ｋ2 が貫通孔２７ｌによって連通され、被吸引部材である ワークＷを吸引保持する。The suction holding device 27 is attached to the upper surface of the mounting table 26, and each suction hole 27 a on the upper surface of the mounting table 26.0~ 27aFourCircular guide recess 27e at a position corresponding to 0 ~ 27eFourAnd the chuck body 27f is provided in each of the guide recesses.0And 27f1Are engaged. These chuck bodies 27f0And 27f1As shown in FIGS. 7 (a) and 7 (b), the suction recesses 27k are formed on the upper and lower surfaces, respectively.1And 27k2Are formed, and these suction recesses 27k are formed.1And 27k2Are communicated with each other through the through holes 27l, and hold and hold the work W, which is the member to be sucked.
【０００４】 それらの吸引孔２７ａ1 〜２７ａ4 のうちで、例えばワークであるシャドウマ スクＳＭのサイズに応じて不使用となる吸引孔は、チャック本体２７ｆを取り外 し、図８に示すように閉塞具２７ｍで閉塞することにより、吸引領域をワークサ イズに応じて任意に変更できるようにされている。 このように、チャック本体と閉塞具とを、作業者の手で適宜に配置して吸引領 域をその都度設定する代わりに、予め複数種のワークサイズを想定し、その種類 に対応させた領域の吸引孔のグループ毎に真空配管系統を独立に設けて、必要に 応じバルブを切換えて吸引領域を設定するようにすることも考えられる。Of these suction holes 27a 1 to 27a 4 , the suction holes which are not used according to the size of the shadow mask SM, which is a work, are removed by removing the chuck body 27f, as shown in FIG. The suction area can be arbitrarily changed according to the work size by closing with the closing tool 27m. In this way, instead of arranging the chuck body and the obturator appropriately by the operator's hand and setting the suction area each time, a plurality of work sizes are assumed in advance and the area corresponding to that type is assumed. It is also possible to independently provide a vacuum piping system for each group of suction holes, and switch the valve as necessary to set the suction region.
【０００５】[0005]
しかしながら、上記従来の吸引保持装置にあっては、ワークサイズに合わせて チャック本体と閉塞具の入れ換えを一つ一つ作業者の手で行わねばならず、取扱 いが面倒で時間を要する。また、ワークの自動着脱という要求に対しては、ワー クサイズが一種類に固定されていれば対応可能であるが、異なったサイズの複数 ワークを取り扱う場合には対応できない（チャック配置を各ワークサイズに対し て最適に変化させられない）という重大な問題点があった。 However, in the above-mentioned conventional suction holding device, the chuck body and the obturator must be replaced by the operator one by one according to the work size, and the handling is troublesome and time consuming. The demand for automatic work attachment / detachment can be met if the work size is fixed to one type, but not when handling multiple works of different sizes. However, there is a serious problem that it cannot be changed optimally.
【０００６】 一方、チャック本体と閉塞具の交換ではなく、予め想定したワークサイズの種 類に対応させた領域の吸引孔グループ毎に独立に設けた真空配管系統を自動的に 切換える方式の場合は、当初に想定したワークサイズから外れたサイズを扱う必 要が生じた時に柔軟に対応しにくく、柔軟に対応できるようにしようとすると配 管系統が複雑になってコストが高くなり過ぎ、かつメインテナンスの点でも不利 になってしまうという問題点があった。On the other hand, instead of exchanging the chuck body and the obturator, in the case of a method of automatically switching the vacuum piping system independently provided for each suction hole group in the region corresponding to the kind of work size assumed in advance, However, when it is necessary to handle sizes that deviate from the initially assumed work size, it is difficult to respond flexibly, and trying to be able to respond flexibly complicates the distribution system, resulting in too high cost and maintenance. There was a problem in that it would also be disadvantageous.
【０００７】 そこで、この考案は、上記従来例の問題点に着目してなされたものであり、真 空吸着領域を任意に自動的に変化させることが可能で、異なるサイズのワークで あっても即座にかつ容易に対応することができる吸引保持装置を提供することを 目的としている。Therefore, the present invention has been made by paying attention to the problems of the above-mentioned conventional example, and it is possible to arbitrarily and automatically change the vacuum adsorption region, even if the workpieces have different sizes. It is an object of the present invention to provide a suction holding device that can respond immediately and easily.
【０００８】[0008]
上記目的を達成するために、この考案は、載置テーブルに、気体吸引手段に接 続されて被吸引部材を吸引保持するチャックを配設し、前記被吸引部材を載置テ ーブル上に脱着する吸引保持装置に係り、前記載置テーブルの載置面側に前記気 体吸引手段に連通する吸引路を配設し、前記チャックは、前記吸引路の開口に連 通するシリンダチャンバが内設されるとともに、そのシリンダチャンバに連通す る吸引孔を有して被吸引部材が気密に密着するチャック面および前記載置テーブ ルの載置面に気密に密着する接合面を有するチャック本体と、そのチャック本体 のシリンダチャンバ内に隙間を介して軸方向に移動自在に装着したピストン部材 と、そのピストン部材を常時前記チャック面の方向に付勢する付勢手段とを備え ていることを特徴とする。 In order to achieve the above-mentioned object, the present invention provides a mounting table with a chuck that is connected to a gas suction means and suction-holds a member to be sucked, and the member to be sucked is detached from the mounting table. The suction holding device is provided with a suction path communicating with the gas suction means on the mounting surface side of the mounting table, and the chuck has a cylinder chamber communicating with an opening of the suction path. And a chuck body having a suction surface communicating with the cylinder chamber and having a chucking surface to which the member to be sucked adheres in an airtight manner and a joining surface which adheres to the mounting surface of the mounting table in an airtight manner, It is characterized by comprising a piston member mounted axially movably in the cylinder chamber of the chuck body and a biasing means for constantly biasing the piston member toward the chuck surface. To.
【０００９】[0009]
この考案においては、被吸引部材であるワークを載置する載置テーブルの載置 面側に形成した空気吸引手段に連通する吸引路に連通するチャンバをチャック本 体に形成し、このチャンバに隙間を介して軸方向に移動自在にピストン部材を装 着して、これを弾性部材で一定方向に弾性付勢している。このピストン部材と弾 性部材とでバルブ機構を構成している。ピストン部材は、チャック本体のチャッ ク面にワークが無い箇所では差圧で自動的に作動して空気吸引手段に連通する吸 引路を自動的に遮断する盲蓋として機能する。一方、チャック面にワークが載置 された箇所では、チャンバ内で前記ピストンが自己位置を保持するかあるいはワ ーク重量によりチャンバ内を軸方向に自動的に移動して当吸引路をチャック面の 吸引開口に連通させるため、ワークはチャック面に吸着される。 In this invention, the chuck body is provided with a chamber communicating with the suction passage communicating with the air suction means formed on the mounting surface side of the mounting table on which the workpiece to be suctioned is mounted. A piston member is mounted so as to be movable in the axial direction via the, and is elastically biased in a certain direction by an elastic member. A valve mechanism is constituted by the piston member and the elastic member. The piston member functions as a blind lid that automatically operates at a pressure difference where there is no work on the chuck surface of the chuck body and automatically shuts off the suction passage communicating with the air suction means. On the other hand, at the place where the work is placed on the chuck surface, the piston keeps its own position in the chamber, or the weight of the work automatically moves axially in the chamber to move the suction path to the chuck surface. The workpiece is attracted to the chuck surface so that it is communicated with the suction opening.
【００１０】 このようにして、被吸引部材を載置台上に載置したときに、被吸引部材が置か れた領域のチャック本体のみが吸引路に連通し、他の領域の吸引路はピストン部 材で閉塞されることにより、吸引領域がワークサイズに応じて自動的に設定され る。In this way, when the suction target member is placed on the mounting table, only the chuck body in the region where the suction target member is placed communicates with the suction passage, and the suction passages in the other regions are connected to the piston portion. By being blocked by the material, the suction area is automatically set according to the work size.
【００１１】[0011]
以下、この考案の実施例を図面に基づいて説明する。 まず、この考案を適用し得る対象装置として、縮小投影露光装置の概要を図５ について説明する。 図中、１０１は縮小投影露光装置であって、ウェハ，シャドウマスク等の被露 光部材でありワークＷを載置するステージ１０３と、その上面に対向して固定配 置された縮小レンズ１０４と、その上方位置に配置されたレチクル１０５を載置 するレチクル載置台１０６と、その上方位置に配置された光源部１０７とを有し ており、光源部１０７からの露光光線がレチクル１０５及び縮小レンズ１０４を 介して移動テーブル装置としてのＸＹＺステージ１０３上の被露光部材１０２に 照射され、レチクル１０５に形成された回路パターンを被露光部材１０２上に縮 小投影露光する。 An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. First, an outline of a reduction projection exposure apparatus as a target apparatus to which the present invention can be applied will be described with reference to FIG. In the figure, reference numeral 101 denotes a reduction projection exposure apparatus, which is a light exposure member such as a wafer and a shadow mask, on which a work W is mounted, and a reduction lens 104 which is fixedly arranged facing the upper surface thereof. It has a reticle mounting table 106 on which the reticle 105 placed above the reticle 105 and a light source section 107 placed above the reticle table 106. The member to be exposed 102 on the XYZ stage 103 as a moving table device is irradiated via 104, and the circuit pattern formed on the reticle 105 is reduced and projected onto the member to be exposed 102.
【００１２】 ＸＹＺステージ１０３は、ＸＹＺ軸の３軸方向に移動可能に構成され、Ｚ軸方 向に移動させることにより焦点調整を行う。 縮小レンズ１０４を保持する筒体１０８の被露光部材１０２に対向する下端部 には、露光光線を透過する透孔１０９と，その周囲に等角間隔で４つの空気吹き 出しノズル１１０が形成されている。各ノズル１１０は、共通の空気供給源１１ １に絞り１１２を介して接続されていると共に、共通の差圧変換器１１３の一方 の入力側に接続されている。差圧変換変換器１１３の他方の入力側は、絞り１１ ４を介して前記空気供給源１１１に接続されていると共に、大気に連通されてい る。これらノズル１１０，空気供給源１１１，絞り１１２，１１４及び差圧変換 器１１３で空気マイクロメータ１１５が構成されている。The XYZ stage 103 is configured to be movable in three XYZ axis directions, and performs focus adjustment by moving in the Z axis direction. At the lower end of the cylindrical body 108 holding the reduction lens 104 facing the exposed member 102, there are formed through holes 109 for transmitting the exposure light beam and four air blowing nozzles 110 around the through holes 109 at equiangular intervals. There is. Each nozzle 110 is connected to a common air supply source 111 via a throttle 112, and is also connected to one input side of a common differential pressure converter 113. The other input side of the differential pressure conversion converter 113 is connected to the air supply source 111 via a throttle 114 and is in communication with the atmosphere. The nozzle 110, the air supply source 111, the throttles 112 and 114, and the differential pressure converter 113 constitute an air micrometer 115.
【００１３】 そして、差圧変換器１１３の検出信号が焦点調整制御装置１１６に供給され、 この制御装置１１６で目標値設定器１１６ａで予め設定した所定の目標値と比較 してその差値である偏差信号が増幅器等で構成される駆動回路１１６ｂに供給さ れ、これにより、モータ等のアクチュエータ１１７を作動させる駆動出力を形成 し、これをＸＹＺステージ１０３のＺ軸駆動機構に供給してこれを駆動し、ノズ ル１１０と被露光部材１０２との間の間隔を適正値に調節する。Then, the detection signal of the differential pressure converter 113 is supplied to the focus adjustment control device 116, and this control device 116 compares the detected signal with a predetermined target value preset by the target value setting device 116a and obtains the difference value. The deviation signal is supplied to the drive circuit 116b composed of an amplifier or the like, thereby forming a drive output for operating the actuator 117 such as a motor, and supplying the drive output to the Z-axis drive mechanism of the XYZ stage 103 to supply it. By driving, the gap between the nozzle 110 and the exposed member 102 is adjusted to an appropriate value.
【００１４】 前記ＸＹＺステージ１０３に、被露光部材Ｗを保持する載置テーブル２６が設 置されている。図１はこの載置テーブル２６の平面図で、その上面にワークＷを 吸引保持する吸引保持装置１が形成されている。 吸引保持装置１には、図１に示すように、載置テーブル２６の上面の載置中心 Ｏに吸引路２７ａが開設されていると共に、載置中心Ｏを中心とし、載置するワ ークＷの大きさに対応させて所要数の吸引路２７ａが開設され、各吸引路２７ａ が載置テーブル２６の端部側から穿設された吸引通路２７ｂを介して互いに連通 され、吸引通路２７ｂの一部が３方電磁切換弁２７ｃを介して真空ポンプ等の空 気吸引手段２７ｄに接続されている。On the XYZ stage 103, a mounting table 26 that holds the exposed member W is installed. FIG. 1 is a plan view of the mounting table 26, and a suction holding device 1 for sucking and holding the work W is formed on the upper surface thereof. In the suction holding device 1, as shown in FIG. 1, a suction path 27a is provided in a mounting center O on the upper surface of the mounting table 26, and a work is placed around the mounting center O as a center. A required number of suction passages 27a are opened in correspondence with the size of W, and the suction passages 27a are connected to each other via suction passages 27b formed from the end side of the mounting table 26 to form suction passages 27b. A part is connected to the air suction means 27d such as a vacuum pump via a three-way electromagnetic switching valve 27c.
【００１５】 また、載置テーブル２６の上面には、各吸引路２７ａに対応する位置にそれぞ れにチャック２が配設され、図外の止めねじによって固着されている。 これらのチャック２は、図２に示すように、吸引路２７ａの開口に連通するシ リンダチャンバ３を有するチャック本体４と、これに内蔵されたピストン部材５ と、このピストン部材５を弾圧する付勢手段としてのコイルばね６とを備えてい る。Further, the chucks 2 are arranged on the upper surface of the mounting table 26 at positions corresponding to the respective suction passages 27a, and are fixed by set screws (not shown). As shown in FIG. 2, these chucks 2 include a chuck body 4 having a cylinder chamber 3 communicating with the opening of the suction passage 27a, a piston member 5 incorporated therein, and an attachment for elastically pressing the piston member 5. The coil spring 6 is provided as a biasing means.
【００１６】 前記チャック本体４は、円柱状の上部材４Ａの下部に取付け部材４Ｂをボルト ４Ｃで固着してなり、上面がチャック面２ａ、下面が載置テーブル２６への接合 面２ｂである。シリンダチャンバ３は、上部材４Ａの下部に形成した円柱状の凹 部を取付け部材４Ｂで蓋することにより形成されており、チャンバ天井面の中心 部にはチャンバ内に僅かに突出させた段差面３ａが設けられている。また、チャ ック面２ａはワークＷが気密に密着できるように精度の良い平面とされると共に 、リング状の浅い吸引凹部４ａが形成されている。そして、この吸引凹部４ａか らシリンダチャンバ３に連通する上吸引孔４ｂが上部材４Ａを軸方向に貫通して 複数本設けられている。さらに、取付け部材４Ｂの下面である接合面２ｂも気密 に密着できるように精度の良い平面とされると共に、その中心部に、前記載置テ ーブル２６の吸引路２７ａに連通する吸引凹部４ｃが形成され、そこからシリン ダチャンバ３に連通する下吸引孔４ｄが取付け部材４Ｂを軸方向に貫通して複数 本設けられている。The chuck body 4 is formed by fixing a mounting member 4B to a lower portion of a cylindrical upper member 4A with bolts 4C, an upper surface thereof is a chuck surface 2a, and a lower surface thereof is a bonding surface 2b to a mounting table 26. The cylinder chamber 3 is formed by covering a cylindrical recess formed in the lower portion of the upper member 4A with a mounting member 4B, and a step surface slightly projected into the chamber at the center of the chamber ceiling surface. 3a is provided. In addition, the chuck surface 2a is a highly accurate flat surface so that the work W can be airtightly adhered thereto, and a ring-shaped shallow suction concave portion 4a is formed. A plurality of upper suction holes 4b communicating from the suction concave portion 4a to the cylinder chamber 3 are provided so as to penetrate the upper member 4A in the axial direction. Further, the joint surface 2b, which is the lower surface of the mounting member 4B, is also formed into a highly accurate flat surface so that it can be airtightly adhered, and the suction concave portion 4c communicating with the suction passage 27a of the mounting table 26 is provided at the center thereof. A plurality of lower suction holes 4d that are formed and communicate with the cylinder chamber 3 are provided through the mounting member 4B in the axial direction.
【００１７】 前記ピストン部材５は円板状であり、その外径は、シリンダチャンバ３内壁と の間に空気流通すき間βを確保できかつ大きなガタもなく軸方向に自在に摺動で きる大きさである。一方、その厚さは、ピストン部材５の下面５ａとシリンダチ ャンバ３の床面、すなわち取付部材４Ｂの上面４Ｂａとの間に隙間αが形成され る寸法にしている。ピストン部材５の下面５ａは前記下吸引孔４ｄがつながるリ ング状の浅い凹溝５ｂを有している。その下面５ａ及びこれと密着する取付部材 ４Ｂの上面４Ｂａとでシール面を形成している。The piston member 5 is disk-shaped, and its outer diameter is such that an air flow clearance β can be secured between the piston member 5 and the inner wall of the cylinder chamber 3 and the piston member 5 can freely slide in the axial direction without large play. Is. On the other hand, its thickness is set to a dimension such that a gap α is formed between the lower surface 5a of the piston member 5 and the floor surface of the cylinder chamber 3, that is, the upper surface 4Ba of the mounting member 4B. The lower surface 5a of the piston member 5 has a ring-shaped shallow concave groove 5b to which the lower suction hole 4d is connected. A sealing surface is formed by the lower surface 5a and the upper surface 4Ba of the mounting member 4B which is in close contact therewith.
【００１８】 前記コイルばね６は、取付部材４Ｂの上面４Ｂａの中心部に形成された凹部か らなるばね座６ａに下端を収納して取り付けてあり、常時、ピストン部材５をチ ャック面２ａの方向に弾圧し、シリンダチャンバ３の段差面３ａに押しつけるよ うに弾性付勢している。 次に、上記実施例の動作について説明する。The coil spring 6 has its lower end housed and attached to a spring seat 6a consisting of a recess formed in the center of the upper surface 4Ba of the attachment member 4B, and the piston member 5 is always attached to the chuck surface 2a. It is elastically biased so that it is pressed in the direction and pressed against the stepped surface 3a of the cylinder chamber 3. Next, the operation of the above embodiment will be described.
【００１９】 この場合、載置台２６上の吸引保持装置１の上に、ワークＷとしてウェハ、Ｃ ＲＴシャドウマスク、液晶マスク等の被露光部材のいずれかを載置すると、吸引 領域の設定が自動的に行われる。 例えば図１で２２インチ×２８インチのシャドウマスクＳＭを吸引保持する場 合には、シャドウマスクＳＭをチャック本体４上に図示しないローディング装置 等によって位置決めしてローディングし、ローディングが完了した時点で３方電 磁切換弁２７ｃを気体吸引手段２７ｄ側に切換える。これにより、各チャック本 体４の真空引きが開始される。各チャック本体のうちチャック面２ａにシャドウ マスクＳＭが乗っていないものでは、チャック面２ａに開口している上吸引路４ ｂから大量の空気がシリンダチャンバ３内に流れこんでくる。しかし、シリンダ チャンバ３の側壁とピストン部材５の側壁間のすき間βの開口面積が小さく設定 してあるため、そのすき間βの通気抵抗が大きくなりピストン部材５の上面側と 下面側とで圧力差が発生する。その結果、ピストン部材５には下向きに加圧力が 作用してコイルばね６の付勢力に抗してピストン部材５を下降させる。そして、 ピストン部材下面のシール面５ａが取付部材４Ｂのシール面４Ｂａに密着する。 これにより下吸引孔４ｄが蓋されて、真空吸引経路は自動的に遮断される。すな わち、この実施例の場合、ピストン部材５は常時開の状態で載置テーブル２６の 吸引路２７ａを大気開放しており、ワークが乗らない場合は真空吸引の起動と同 時に大気圧が作用して閉塞する自動切換弁として機能している。In this case, when one of the exposed members such as the wafer, the CRT shadow mask, and the liquid crystal mask is placed as the work W on the suction holding device 1 on the mounting table 26, the suction area is automatically set. Is done in a regular manner. For example, in the case of suction-holding the 22-inch × 28-inch shadow mask SM in FIG. 1, the shadow mask SM is positioned and loaded on the chuck body 4 by a loading device (not shown) or the like. The directional electromagnetic switching valve 27c is switched to the gas suction means 27d side. As a result, the evacuation of each chuck body 4 is started. In the case where the shadow mask SM is not placed on the chuck surface 2a of each chuck body, a large amount of air flows into the cylinder chamber 3 from the upper suction passage 4b opening to the chuck surface 2a. However, since the opening area of the gap β between the side wall of the cylinder chamber 3 and the side wall of the piston member 5 is set to be small, the ventilation resistance of the gap β becomes large, and the pressure difference between the upper surface side and the lower surface side of the piston member 5 is increased. Occurs. As a result, a downward pressure is applied to the piston member 5 to lower the piston member 5 against the biasing force of the coil spring 6. Then, the seal surface 5a on the lower surface of the piston member comes into close contact with the seal surface 4Ba of the mounting member 4B. As a result, the lower suction hole 4d is covered, and the vacuum suction path is automatically shut off. That is, in the case of this embodiment, the piston member 5 is normally open and the suction passage 27a of the mounting table 26 is open to the atmosphere. Acts as an automatic switching valve that is closed by the action of.
【００２０】 一方、各チャック本体のうちチャック面２ａにシャドウマスクＳＭが乗ったも のでは、そのワークＷがチャック面２ａに気密に密着して蓋するので、上吸引孔 ４ｂ内の空気のみが真空引きされる。一時的にはピストン部材５の上下間に圧力 差が生じても、シリンダチャンバ３内のピストン部材５の上部空間ＳU の容量は 非常に小さく、瞬時にピストン部材上下の圧力が等しくなる。上部空間ＳU の容 量が小さい程、ピストン部材上下の圧力が等しくなる時間は短い。その結果、ピ ストン部材５はコイルばね６に弾圧されてシリンダチャンバ３の天井側の段差面 ３ａに押しつけられたままで自己位置を保持することとなり、チャック本体４内 の空気は下吸引孔４ｄから気体吸引手段２７ｄにより排気されて減圧し、シャド ウマスクＳＭは自動的にチャック面２ａに吸引保持される。On the other hand, in the case where the shadow mask SM is placed on the chuck surface 2a of each chuck body, the work W is airtightly adhered to and covers the chuck surface 2a, so that only the air in the upper suction hole 4b is removed. It is evacuated. Even if the pressure difference between the upper and lower sides of the piston member 5 is temporarily generated, the capacity of the upper space S U of the piston member 5 in the cylinder chamber 3 is very small, and the upper and lower pressures of the piston member 5 are instantly equalized. The smaller the capacity of the upper space S U, the shorter the time during which the pressures above and below the piston member are equalized. As a result, the piston member 5 is elastically pressed by the coil spring 6 and maintains its own position while being pressed against the step surface 3a on the ceiling side of the cylinder chamber 3, and the air in the chuck body 4 is discharged from the lower suction hole 4d. The shadow mask SM is evacuated and decompressed by the gas suction means 27d, and the shadow mask SM is automatically sucked and held on the chuck surface 2a.
【００２１】 このようにしてシャドウマスクＳＭが吸引保持装置１に保持されると、シャド ウマスクＳＭに対する焦点調整が実行される。この焦点調整時には、図５に示さ れる空気供給源１１１から圧力空気を絞り１１２を介してノズル１１０に供給し て空気マイクロメータ１１５を作動状態とし、この状態で焦点調整制御装置１１ ６を作動状態とする。When the shadow mask SM is held by the suction holding device 1 in this way, focus adjustment for the shadow mask SM is executed. At the time of this focus adjustment, pressure air is supplied from the air supply source 111 shown in FIG. 5 to the nozzle 110 through the throttle 112 to activate the air micrometer 115, and in this state the focus adjustment control device 116 is activated. And
【００２２】 このように焦点調整制御装置１１６が作動状態となると、目標値設定器１１６ ａで予め設定された焦点調整目標値と、差圧変換器１１３から出力される差圧検 出信号との差値でなる偏差信号が駆動回路１１６ｂに供給され、この駆動回路１ １６ｂから出力されるパルス信号が直線駆動機構２０のステッピングモータ２１ （図１）に供給される。その回転力が図示しない伝達機構を介して伝達されて載 置テーブル２６が上方または下方に移動してシャドウマスクＳＭとノズル１１０ との間の間隔が変化し、これが基準値と一致した時点で載置テーブル２６の移動 が停止することにより焦点調整が行われる。続いて、載置テーブル２６をＸＹ方 向に移動させて位置調整が行われ、シャドウマスクＳＭのＸＹ方向のミクロンオ ーダの位置決めが終了してから、シャドウマスクＳＭの露光処理がなされる。When the focus adjustment control device 116 is activated in this way, the focus adjustment target value preset by the target value setting device 116 a and the differential pressure detection signal output from the differential pressure converter 113 are detected. A deviation signal having a difference value is supplied to the drive circuit 116b, and a pulse signal output from the drive circuit 116b is supplied to the stepping motor 21 (FIG. 1) of the linear drive mechanism 20. The rotational force is transmitted through a transmission mechanism (not shown), and the mounting table 26 moves upward or downward to change the distance between the shadow mask SM and the nozzle 110. Focusing is performed by stopping the movement of the table 26. Subsequently, the mounting table 26 is moved in the XY directions to adjust the position, and after the positioning of the shadow mask SM in the XY directions is completed, the shadow mask SM is exposed.
【００２３】 そして、シャドウマスクＳＭに対する露光処理が終了して新たなシャドウマス クＳＭに交換する場合には、３方電磁切換弁２７ｃを大気側に切換えることによ り、吸引保持装置１によるシャドウマスクＳＭの真空吸着状態を解除してから露 光済みのシャドウマスクＳＭを例えば図示しないアンローディング装置でチャッ ク本体４上から取り出し、新たなシャドウマスクＳＭをチャック本体４上に載置 する。このとき、シャドウマスクＳＭのサイズを例えば１６インチ×２０インチ のように変更して小さなシャドウマスクＳＭ1 にする場合は、外側のチャック本 体４が不要となる。しかし、この実施例では、従来のようにその不要となったチ ャック本体４を取り外して代わりに閉塞具を取り付け吸引孔を閉塞する必要はな い。When the exposure process for the shadow mask SM is completed and the shadow mask SM is replaced with a new shadow mask SM, the shadow of the suction holding device 1 is changed by switching the three-way electromagnetic switching valve 27c to the atmosphere side. After releasing the vacuum suction state of the mask SM, the exposed shadow mask SM is taken out from the chuck body 4 by, for example, an unloading device (not shown), and a new shadow mask SM is placed on the chuck body 4. At this time, when the size of the shadow mask SM is changed to, for example, 16 inches × 20 inches to make a small shadow mask SM 1 , the outer chuck body 4 is not necessary. However, in this embodiment, it is not necessary to remove the unnecessary chuck body 4 and attach an obturator instead to obstruct the suction hole as in the prior art.
【００２４】 すなわち、サイズの異なるシャドウマスクＳＭ1 であっても、そのまま載置テ ーブル２６上に置くだけで良い。それだけで、後は上記と同様の動作が繰り返す されて自動的にシャドウマスクＳＭ1 のチャッキングを行うことができる。 図３に、チャック本体４の他の実施例を示す。 この実施例のチャック本体４は常時閉型の弁体として機能するピストン部材５ を備えている。そのピストン部材５は軸部５ａの下端に円板状フランジ５ｂを有 する逆Ｔ字状で、軸心にはシリンダチャンバ３と外部とを連通する吸引孔５ｃ及 びばね収納孔５ｄが形成され、フランジ５ｂの上面は環状溝からなる吸引凹部５ ｅを有するシール面５ｆとされている。このピストン部材５のフランジ５ｂは、 チャック本体４の取付け部材４Ｂに設けられたシリンダチャンバ３内に収納され ている。ピストン部材５の軸部５ａは、中部材４Ｄと上部材４Ａとを摺動自在に 貫通しており、コイルばね６の付勢力で押圧されてピストン頭部５Ｔがチャック 面２ａから幾らか上に突き出している。That is, even shadow masks SM 1 of different sizes may be placed on the mounting table 26 as they are. Only then, the same operation as described above is repeated, and the shadow mask SM 1 can be automatically chucked. FIG. 3 shows another embodiment of the chuck body 4. The chuck body 4 of this embodiment includes a piston member 5 that functions as a normally closed valve body. The piston member 5 has an inverted T-shape having a disc-shaped flange 5b at the lower end of a shaft portion 5a, and a suction hole 5c and a spring accommodating hole 5d for communicating the cylinder chamber 3 with the outside are formed in the shaft center. The upper surface of the flange 5b is a sealing surface 5f having a suction recess 5e formed of an annular groove. The flange 5b of the piston member 5 is housed in the cylinder chamber 3 provided in the attachment member 4B of the chuck body 4. The shaft portion 5a of the piston member 5 slidably penetrates the middle member 4D and the upper member 4A, and is pressed by the urging force of the coil spring 6 so that the piston head 5T rises slightly above the chuck surface 2a. It is sticking out.
【００２５】 取付け部材４Ｂ内を軸方向に貫通する下吸引孔４ｄは、中部材４Ｄに形成され た外径寄りの吸引孔４ｆと、上部材４Ａの下面に形成された連通路４ｇと、中部 材４Ｄの内径寄りに形成された他の吸引孔４ｈとを経て、シリンダチャンバ３の 天井側に連通して開口している。 この実施例のチャック本体４を用いた場合は、ピストン部材５の軸部５ａが吸 引回路の開閉切換ピンとして機能する。すなわち、チャック面２ａにワークＷが 載らない状態では、コイルばね６の弾性力で常時チャック面２ａの方向に向かっ て弾圧されているピストン部材５は、シール面５ｆがシリンダチャンバ３の天井 面３ｂに気密に密着して吸引孔４ｈの開口を閉塞している。このとき、ピストン 部材の軸部５ａの頭部５Ｔはチャック面２ａより上方に突き出しており、シリン ダチャンバ３は外気に連通している。そのため、真空引きされるとシール面５ｆ とシリンダチャンバの天井面３ｂとがますます強く密着してシールされる。The lower suction hole 4d that axially penetrates through the mounting member 4B includes a suction hole 4f near the outer diameter formed in the middle member 4D, a communication passage 4g formed in the lower surface of the upper member 4A, and a middle portion. It is opened to communicate with the ceiling side of the cylinder chamber 3 through another suction hole 4h formed near the inner diameter of the material 4D. When the chuck body 4 of this embodiment is used, the shaft portion 5a of the piston member 5 functions as an open / close switching pin of the suction circuit. That is, in the state where the workpiece W is not placed on the chuck surface 2a, the piston member 5 is constantly elastically pressed toward the chuck surface 2a by the elastic force of the coil spring 6, and the seal surface 5f of the piston member 5 is the ceiling surface 3b of the cylinder chamber 3. And airtightly closes to close the opening of the suction hole 4h. At this time, the head portion 5T of the shaft portion 5a of the piston member projects above the chuck surface 2a, and the cylinder chamber 3 communicates with the outside air. Therefore, when a vacuum is drawn, the sealing surface 5f and the ceiling surface 3b of the cylinder chamber are more strongly adhered and sealed.
【００２６】 一方、チャック面２ａにワークＷが載せられると、その重量でピストン部材５ がコイルばね６の付勢力に抗して下降し、軸部５ａの頭部５Ｔがチャック面２ａ と同レベルになる。これにより、ピストン部材のシール面５ｆがシリンダチャン バ３の天井面３ｂから離れて、シリンダチャンバ３は吸引孔４ｈ，連通路４ｇ， 吸引孔４ｆ，吸引孔４ｄ，吸引凹部４ｃを介して吸引路２７ａに連通する。この 状態で真空吸引されれば、ワークＷはチャック本体４に吸引保持される。On the other hand, when the workpiece W is placed on the chuck surface 2a, the weight of the workpiece W causes the piston member 5 to move downward against the urging force of the coil spring 6, and the head portion 5T of the shaft portion 5a has the same level as the chuck surface 2a. become. As a result, the sealing surface 5f of the piston member is separated from the ceiling surface 3b of the cylinder chamber 3, and the cylinder chamber 3 is sucked through the suction hole 4h, the communication passage 4g, the suction hole 4f, the suction hole 4d, and the suction concave portion 4c. 27a. If vacuum suction is performed in this state, the work W is suction-held by the chuck body 4.
【００２７】 図４に、チャック本体４のさらに他の実施例を示す。 この実施例のピストン部材５も上記第２の実施例のものと同じく常時閉型の自 動弁として機能する。そのピストン部材５は、軸部５ａの下端が円板状フランジ ５ｂよりさらに下方に延長して突出部５ｓが設けられている。シリンダチャンバ ３と外部とを連通する吸引孔５ｃは軸部５ａからフランジ５ｂ内を貫通してＬ形 に形成されている。フランジ５ｂの下面と取付け部材４Ｂの上面４Ｂａとの間に 介装されたコイルばね６の弾性力により、ピストン部材５は常時チャック面２ａ の方向に付勢され、ピストン頭部５Ｔがチャック面２ａから幾らか上に突き出し ている。FIG. 4 shows still another embodiment of the chuck body 4. The piston member 5 of this embodiment also functions as a normally-closed type automatic valve as in the second embodiment. In the piston member 5, the lower end of the shaft portion 5a extends further downward than the disc-shaped flange 5b, and a protruding portion 5s is provided. A suction hole 5c that communicates the cylinder chamber 3 with the outside is formed in an L shape so as to penetrate from the shaft portion 5a into the flange 5b. The piston member 5 is constantly urged in the direction of the chuck surface 2a by the elastic force of the coil spring 6 interposed between the lower surface of the flange 5b and the upper surface 4Ba of the mounting member 4B, and the piston head 5T moves toward the chuck surface 2a. Something sticks out from above.
【００２８】 また、取付け部材４Ｂの上面４Ｂａの中心には、径方向に延びた長溝４Ｂｂと 、球面状凹部４Ｂｃとが形成されていて、長溝４Ｂｂ内に下吸引孔４ｄ，４ｄが 開口している。そしてこの下吸引孔４ｄ，４ｄの開口を蓋するようにして、弁体 としての細長い板ばね１０が前記長溝４Ｂｂに収納されている。非吸引時は、そ の板ばね１０と前記ピストン部材５の下突出部５ｓの下端とは非接触となるよう に形成している。Further, in the center of the upper surface 4Ba of the mounting member 4B, a long groove 4Bb extending in the radial direction and a spherical recess 4Bc are formed, and the lower suction holes 4d, 4d are opened in the long groove 4Bb. There is. Then, the elongated leaf spring 10 as a valve body is housed in the long groove 4Bb so as to cover the openings of the lower suction holes 4d, 4d. When not attracted, the leaf spring 10 and the lower end of the lower protrusion 5s of the piston member 5 are not in contact with each other.
【００２９】 この実施例のチャック本体４を用いた場合は、ピストン部材５の軸部５ａが上 記同様に吸引回路の開閉切換ピンとして機能する。すなわち、チャック面２ａに ワークＷが載らない状態では、ピストン部材５はコイルばね６の弾性力で常時チ ャック面２ａの方向に向かって弾圧されており、板ばね１０がシリンダチャンバ ３の底面である長溝４Ｂｂの底面に気密に密着して下吸引孔４ｄ，４ｄの開口を 閉塞している。このとき、ピストン部材の軸部５ａの頭部５Ｔはチャック面２ａ より上方に突き出しており、シリンダチャンバ３は吸引孔５ｃにより外気に連通 している。When the chuck body 4 of this embodiment is used, the shaft portion 5a of the piston member 5 functions as the open / close switching pin of the suction circuit in the same manner as above. That is, when the workpiece W is not placed on the chuck surface 2 a, the piston member 5 is constantly elastically pressed toward the chuck surface 2 a by the elastic force of the coil spring 6, and the leaf spring 10 is pressed by the bottom surface of the cylinder chamber 3. The lower suction holes 4d, 4d are closed in airtight contact with the bottom surface of a certain long groove 4Bb. At this time, the head portion 5T of the shaft portion 5a of the piston member projects above the chuck surface 2a, and the cylinder chamber 3 communicates with the outside air through the suction hole 5c.
【００３０】 一方、チャック面２ａにワークＷが載せられると、その重量でピストン部材５ がコイルばね６の付勢力に抗して下降し、図４の（ｃ）に示すように、軸部５ａ の下突出部５ｓの下端が板ばね１０の中心を下方に押圧する。これにより、板ば ね１０が球面凹部４Ｂｃの曲面に沿って湾曲して、下吸引孔４ｄ，４ｄが開口す る。この状態で真空吸引されれば、シリンダチャンバ３内の空気が排気されてワ ークＷはチャック本体４に吸引保持される。On the other hand, when the work W is placed on the chuck surface 2a, the weight of the work W lowers the piston member 5 against the urging force of the coil spring 6, and as shown in FIG. The lower end of the lower protrusion 5s presses the center of the leaf spring 10 downward. As a result, the plate bar 10 is curved along the curved surface of the spherical concave portion 4Bc, and the lower suction holes 4d, 4d are opened. If vacuum suction is performed in this state, the air in the cylinder chamber 3 is exhausted and the work W is suction-held by the chuck body 4.
【００３１】 以上述べたように、上記各実施例によれば、チャック面２ａのワークＷの有無 に応じてチャック本体４に内蔵されているピストン部材５が作動して、空気吸引 手段に連通する吸引路２７ａを自動的に開閉するから、ワークＷを載置台２６上 に載置するだけで、ワークＷが置かれた領域のチャック本体４のみが吸引路２７ ａに連通し、他の領域の吸引路２７ａは閉塞され、吸引領域がワークサイズに応 じて自動的に設定される。As described above, according to each of the above-described embodiments, the piston member 5 incorporated in the chuck body 4 operates depending on the presence or absence of the work W on the chuck surface 2a and communicates with the air suction means. Since the suction passage 27a is automatically opened / closed, only by placing the work W on the mounting table 26, only the chuck body 4 in the region where the work W is placed communicates with the suction passage 27a, and the other of the other regions. The suction passage 27a is closed, and the suction area is automatically set according to the work size.
【００３２】 なお、上記実施例においては、吸引保持装置を露光装置に適用した場合につい て説明してきたが、これに限定するものではなく、その他例えば板部材に旋削， プレス，シャリング等の種々の加工を施す際のワークの保持装置など、あらゆる 板材の加工におけるワーク固定手段として利用可能である。In the above embodiment, the case where the suction holding device is applied to the exposure device has been described, but the present invention is not limited to this, and various other types such as turning, pressing, and shearing on a plate member are also possible. It can be used as a work fixing device in the processing of all plate materials, such as a work holding device for processing.
【００３３】[0033]
以上説明したように、この考案によれば、被加工物であるワークを吸引保持す るチャックとしての吸引保持装置において、載置テーブルの載置面側に吸引路を 配設するとともに、その吸引路の開口に連通するシリンダチャンバとそのシリン ダチャンバに連通する吸引孔を有して被吸引部材が気密に密着するチャック面お よび前記載置テーブルに気密に密着する接合面を有するチャック本体を載置テー ブルに取り付け、このチャック本体のシリンダチャンバ内に、隙間を介して軸方 向に移動自在に装着したピストン部材とそのピストン部材を常時前記チャック面 の方向に付勢する付勢手段とを設けた。このピストン部材と付勢手段とでバルブ 機構を構成し、ピストン部材をチャック本体のチャック面のワークの有無に応じ て自動的に作動させて空気吸引手段に連通する吸引路を開閉でき、その結果ワー クを載置台上に載置しただけで、ワークが置かれた領域のチャック本体のみが吸 引路に連通し、他の領域の吸引路はピストン部材で閉塞されることにより、吸引 領域がワークサイズに応じて自動的に設定できて、サイズの異なるワークの自動 チャッキングが極めて確実かつ容易になされるという効果を奏する。 As described above, according to the present invention, in the suction holding device as a chuck for holding the workpiece as the workpiece by suction, the suction path is provided on the mounting surface side of the mounting table and the suction is performed. Mount a chuck body that has a cylinder chamber that communicates with the opening of the passage and a suction hole that communicates with the cylinder chamber with which the member to be attracted is in close airtight contact, and a chuck body that has a joining surface that is in intimate airtight contact with the placement table. A piston member mounted on a mounting table and axially movably mounted in the cylinder chamber of the chuck body, and a biasing means for constantly biasing the piston member toward the chuck surface. Provided. A valve mechanism is composed of this piston member and the urging means, and the piston member is automatically actuated according to the presence or absence of the work on the chuck surface of the chuck body to open and close the suction passage communicating with the air suction means. Only by placing the work on the mounting table, only the chuck body in the area where the work is placed communicates with the suction path, and the suction path in the other area is blocked by the piston member. It is possible to set automatically according to the size, and there is an effect that automatic chucking of works of different sizes can be carried out very surely and easily.
【図１】この考案の一実施例を示す平面図である。FIG. 1 is a plan view showing an embodiment of the present invention.
【図２】図１のチャック本体の断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of the chuck body of FIG.
【図３】チャック本体の他の実施例の断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of another embodiment of the chuck body.
【図４】（ａ）はチャック本体の更に他の実施例の断面
図、（ｂ）は取付け部材４Ｂの一部を示す平面図、
（ｃ）は開閉動作を説明する部分断面図である。4A is a sectional view of still another embodiment of a chuck body, FIG. 4B is a plan view showing a part of a mounting member 4B, FIG.
FIG. 6C is a partial cross-sectional view illustrating the opening / closing operation.
【図５】この考案を適用し得る縮小投影露光装置の一例
を示す概略構成図である。FIG. 5 is a schematic configuration diagram showing an example of a reduction projection exposure apparatus to which the present invention can be applied.
【図６】従来の吸引保持装置の一例を示す平面図であ
る。FIG. 6 is a plan view showing an example of a conventional suction holding device.
【図７】（ａ）は図６のチャック本体の平面図、（ｂ）
は同じく断面図である。7A is a plan view of the chuck body of FIG. 6, and FIG.
Is a sectional view of the same.
【図８】従来の吸引口閉塞手段を説明する断面図であ
る。FIG. 8 is a cross-sectional view illustrating a conventional suction port closing unit.
２ チャック ２ａ チャック面 ２ｂ 接合面 ３ シリンダチャンバ ４ チャック本体 ４ｂ 吸引孔 ４ｄ 吸引孔 ５ ピストン部材 ５ｃ 吸引孔 ６ 付勢手段 α すき間 β すき間 ２６ 載置テーブル 2 chuck 2a chuck surface 2b joining surface 3 cylinder chamber 4 chuck body 4b suction hole 4d suction hole 5 piston member 5c suction hole 6 biasing means α gap β gap 26 mounting table
Claims (1)
れて被吸引部材を吸引保持するチャックを配設し、前記
被吸引部材を載置テーブル上に脱着する吸引保持装置に
おいて、 前記載置テーブルの載置面側に前記気体吸引手段に連通
する吸引路を配設し、前記チャックは、前記吸引路の開
口に連通するシリンダチャンバが内設されるとともに該
シリンダチャンバに連通する吸引孔を有して被吸引部材
が気密に密着するチャック面および前記載置テーブルの
載置面に気密に密着する接合面を有するチャック本体
と、該チャック本体のシリンダチャンバ内に隙間を介し
て軸方向に移動自在に装着したピストン部材と、該ピス
トン部材を常時前記チャック面の方向に付勢する付勢手
段とを備えていることを特徴とする吸引保持装置。1. A suction holding device for disposing the chucked member on a mounting table, the chuck being connected to a gas suction means for sucking and holding the member to be sucked, and detaching the member to be sucked onto the mounting table. A suction passage communicating with the gas suction means is disposed on the mounting surface side of the table, and the chuck has a cylinder chamber communicating with the opening of the suction passage and a suction hole communicating with the cylinder chamber. A chuck body having a chuck surface with which the member to be sucked is airtightly adhered and a joint surface that is airtightly adhered to the mounting surface of the mounting table, and an axial direction in the cylinder chamber of the chuck body via a gap. A suction holding device comprising: a movably mounted piston member; and a urging means for constantly urging the piston member toward the chuck surface.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1581193U JPH0674244U (en) | 1993-03-31 | 1993-03-31 | Suction holding device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1581193U JPH0674244U (en) | 1993-03-31 | 1993-03-31 | Suction holding device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0674244U true JPH0674244U (en) | 1994-10-21 |
Family
ID=11899236
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1581193U Pending JPH0674244U (en) | 1993-03-31 | 1993-03-31 | Suction holding device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0674244U (en) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005017876A (en) * | 2003-06-27 | 2005-01-20 | Nsk Ltd | Workpiece chuck and its controlling method |
| JP2007148462A (en) * | 2007-03-19 | 2007-06-14 | Nsk Ltd | Workpiece chuck and its controlling method |
| JP2007148414A (en) * | 2006-12-14 | 2007-06-14 | Nsk Ltd | Workpiece chuck and its controlling method |
| JP2007219537A (en) * | 2007-03-19 | 2007-08-30 | Nsk Ltd | Work chuck and its control method |
| JP2012035933A (en) * | 2010-08-04 | 2012-02-23 | Bridgestone Corp | Suction holding method and apparatus for strip member |
| JP2014008582A (en) * | 2012-06-29 | 2014-01-20 | Nsk Ltd | Spindle device, and machine tool and semiconductor manufacturing apparatus including the same |
| JP2019193958A (en) * | 2018-05-01 | 2019-11-07 | 株式会社ミツトヨ | Vacuum chuck and auto-valve for vacuum chuck |
-
1993
- 1993-03-31 JP JP1581193U patent/JPH0674244U/en active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005017876A (en) * | 2003-06-27 | 2005-01-20 | Nsk Ltd | Workpiece chuck and its controlling method |
| JP2007148414A (en) * | 2006-12-14 | 2007-06-14 | Nsk Ltd | Workpiece chuck and its controlling method |
| JP2007148462A (en) * | 2007-03-19 | 2007-06-14 | Nsk Ltd | Workpiece chuck and its controlling method |
| JP2007219537A (en) * | 2007-03-19 | 2007-08-30 | Nsk Ltd | Work chuck and its control method |
| JP2012035933A (en) * | 2010-08-04 | 2012-02-23 | Bridgestone Corp | Suction holding method and apparatus for strip member |
| JP2014008582A (en) * | 2012-06-29 | 2014-01-20 | Nsk Ltd | Spindle device, and machine tool and semiconductor manufacturing apparatus including the same |
| JP2019193958A (en) * | 2018-05-01 | 2019-11-07 | 株式会社ミツトヨ | Vacuum chuck and auto-valve for vacuum chuck |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US10796932B2 (en) | Plasma processing apparatus | |
| TWI751209B (en) | Methods and systems for chucking a warped wafer | |
| US6496350B2 (en) | Electrostatic wafer chucks and charged-particle-beam exposure apparatus comprising same | |
| US5217273A (en) | Serial pumping for portable handling tool of electronic workpieces | |
| JPH0674244U (en) | Suction holding device | |
| JP2012009720A (en) | Wafer holder and exposure equipment | |
| US6592679B2 (en) | Clean method for vacuum holding of substrates | |
| JPH09174364A (en) | Universal chuck table for semiconductor wafer | |
| JPH0575539B2 (en) | ||
| JP7108467B2 (en) | Substrate suction device | |
| TWI629125B (en) | Object suction mechanism | |
| JPH081464A (en) | Automatic change-over device for universal chuck mechanism | |
| JP2001215716A (en) | Separation mechanism for work and mask | |
| JP2590571B2 (en) | Wafer holding mechanism of semiconductor wafer processing equipment | |
| JP4539981B2 (en) | Substrate holding device | |
| JP2006318944A (en) | Substrate retainer | |
| US20200361055A1 (en) | Processing apparatus | |
| JPS6367743A (en) | Movable stage mechanism | |
| GB2284304A (en) | Machining semiconductor wafers | |
| WO2022070390A1 (en) | Separator and separation method | |
| JP3215984B2 (en) | Vacuum apparatus and method of using the same | |
| JPS63127844A (en) | Vacuum adsorbing device | |
| JP4105267B2 (en) | Work holding device for chamfering equipment | |
| JPH0376214A (en) | Contamination preventing device for sample and the like | |
| KR20210069566A (en) | Conveyance apparatus, lithography apparatus, and article manufacturing method |