JPH0671536B2 - Fluorine resin pleated filter member - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はフッ素樹脂製プリーツ状フィルター部材に関す
る。TECHNICAL FIELD The present invention relates to a pleated filter member made of a fluororesin.

従来技術 近年、膜分離技術をベースとして空気、ガス、水、薬品
等の超清浄化技術が著るしく進展し、食品分野、半導体
分野等の各分野で巾広く利用されている。特に半導体集
積回路製造プロセスにおける微細加工技術分野で必要と
される薬剤の清浄化のため、フッ素樹脂の膜を用いたプ
リーツ状フィルターエレメントが開発されている。これ
は有効濾過面積が大きく、耐薬品性にもかなり優れてい
るが、フッ素樹脂の接着が本来極めて困難であると云う
問題がある。2. Description of the Related Art In recent years, ultra-cleaning technologies for air, gas, water, chemicals, etc. have made remarkable progress based on the membrane separation technology and are widely used in various fields such as food field and semiconductor field. In particular, a pleated filter element using a fluororesin film has been developed for cleaning chemicals required in the field of fine processing in a semiconductor integrated circuit manufacturing process. This has a large effective filtration area and is considerably excellent in chemical resistance, but there is a problem that adhesion of the fluororesin is originally extremely difficult.

さらに上記半導体集積回路製造プロセスにおいて、採用
されるフィルターは0.01〜10μといった非常に微小な孔
を必要とし、フィルター膜自体は極めて強度が弱く、フ
ィルター製造時に過酷な条件を採用することができず、
かつまたフィルターエレメント各部材の接着は単に密着
しているのみでは不可であり、完全なシール状態で密着
している必要がある。Furthermore, in the above semiconductor integrated circuit manufacturing process, the filter used requires extremely minute holes of 0.01 to 10 μ, the filter film itself has extremely weak strength, and it is not possible to adopt harsh conditions during filter manufacturing.
Moreover, the adhesion of the respective members of the filter element is not possible only by making a close contact, and it is necessary that the members are adhered in a completely sealed state.

上記問題点を解消するため、本発明者らは先にプリーツ
端部を液密に融着した全フッ素樹脂製フィルター部材お
よびその製法を発明し、特許出願した（例えば特開昭60
−58208号公報、特開昭61−149218号公報、特開昭61−1
49219号公報、特開昭61−149220号公報等）。上記の発
明には円筒状プリーツの内部に通液可能な多孔性のコア
を挿入して円筒状プリーツの変形を防止する態様が記載
されている。In order to solve the above-mentioned problems, the present inventors previously invented a filter member made of perfluorinated resin in which the ends of the pleats are liquid-tightly fused and a method for producing the same, and filed a patent application (for example, JP-A-60
-58208, JP 61-149218, JP 61-1
49219, JP-A-61-149220, etc.). The above invention describes a mode in which a porous permeable core is inserted into the inside of the cylindrical pleat to prevent deformation of the cylindrical pleat.

一方、全フッ素樹脂製フィルター部材の主用途である半
導体分野では処理液として高温、例えば150℃前後の硫
酸を加圧条件下で使用している。この様な使用条件では
フィルター部材中のフィルター膜やネット支持体が軟化
し、外圧ににより前記コアの孔の部分に押込まれる形と
なる。その結果、強度の弱いフィルター膜でしばしば膜
にピンホールを生ずることになる。On the other hand, in the field of semiconductors, which is the main application of perfluorinated resin filter members, sulfuric acid at a high temperature, for example, around 150 ° C. is used under pressure as a treatment liquid. Under such conditions of use, the filter membrane in the filter member and the net support are softened, and are forced into the hole portion of the core by external pressure. As a result, weak filter membranes often result in pinholes in the membrane.

この様な問題を解決するためにはプリーツ状フィルター
材を支持する内部コア材の通液のための表面の単孔面積
を小さくすればよいが、その様なコア材をフッ素樹脂で
成形することは実質上きわめて困難である。In order to solve such a problem, it is sufficient to reduce the single pore area on the surface for the passage of the inner core material supporting the pleated filter material, but it is necessary to form such a core material with a fluororesin. Is practically extremely difficult.

発明が解決しょうとする問題点 本発明は前記のごとき全フッ素樹脂製プリーツ状フィル
ター部材で生ずる問題点を解決することを目的とする。DISCLOSURE OF THE INVENTION Problems to be Solved by the Invention The present invention aims to solve the problems as described above which occur in the pleated filter member made of a perfluorinated resin.

問題点を解決するための手段 本発明はフッ素樹脂製フィルター膜の両面に熱可塑性フ
ッ素樹脂製ネット支持体を重ねたサンドイッチ状シート
をプリーツ状に折り曲げて円筒状にした濾過部と通液部
を有するフッ素樹脂製のコアを有するフィルター部材に
おいて、該コアがフッ素樹脂製の網で被覆されているフ
ッ素樹脂製フィルター部材を提供する。MEANS FOR SOLVING THE PROBLEMS The present invention comprises a filtration part and a liquid-passing part, which are formed by bending a sandwich-like sheet having thermoplastic fluororesin net supports laminated on both sides of a fluororesin filter membrane into pleats into a cylindrical shape. Provided is a filter member having a fluororesin core, wherein the core is covered with a fluororesin net.

本発明のフィルター部材は基本的には特開昭60−58208
号公報、特開昭60−153902号公報、特開昭61−149218号
公報、特開昭61−149219号公報等に記載された構造を有
し、これにピンホール防止用の網を備えたものである。The filter member of the present invention is basically disclosed in JP-A-60-58208.
Japanese Patent Laid-Open No. 60-153902, Japanese Patent Laid-Open No. 61-149218, Japanese Patent Laid-Open No. 61-149219, and the like, and a net for preventing pinholes. It is a thing.

上記網はフッ素樹脂製繊維からなる織布、融着不織布、
成形ネット、編物、マット、パンチングシート等の多孔
性素材であって、高温濾過時に内部コア材の孔に入りこ
まない程度の剛性を有するのである。さらに、表面の孔
面積が小さく、しかも通液損失の少ないものが望まし
い。上記の条件を備えるものとしてオープンメッシュが
好ましいがオープンメッシュの場合、繊維の太さ0.1〜2
mm、好ましくは0.15〜0.5mmである。メッシュの大きさ
は孔面積10mm²以下、好ましくは5mm²以下である。繊維
の太さがこれより大きいと表面開孔率を維持するために
表面の孔面積が大きくなり好ましくない。繊維の太さが
これより細いと強度的に不十分となる。またメッシュの
大きさが10mm²より大きいとプリーツの変形防止効果が
小さくなり、その結果、フィルター膜のピンホールを生
じ易くなる。The net is a woven fabric made of fluororesin fibers, a fused non-woven fabric,
It is a porous material such as a molding net, a knitted material, a mat, a punching sheet, etc., and has such rigidity that it does not enter the pores of the inner core material during high temperature filtration. Further, it is desirable that the surface has a small pore area and that the liquid loss is small. An open mesh is preferable as one having the above conditions, but in the case of an open mesh, the fiber thickness is 0.1 to 2
mm, preferably 0.15 to 0.5 mm. The mesh size has a pore area of 10 mm ² or less, preferably 5 mm ² or less. If the fiber thickness is larger than this, the surface pore area is increased in order to maintain the surface porosity, which is not preferable. If the thickness of the fiber is smaller than this, the strength becomes insufficient. If the size of the mesh is larger than 10 mm ^{2, the} effect of preventing the deformation of the pleats becomes small, and as a result, pinholes in the filter film are likely to occur.

網に用いるフッ素樹脂はPTFE、PFA、FEP、EPE、ETFE、P
CTFE、ECTFE等であり、特に高温の硫酸に対して耐性に
優れたPTFE、PFA、FEPおよびEPEが好ましい。Fluororesin used for mesh is PTFE, PFA, FEP, EPE, ETFE, P
Preferred are CTFE, ECTFE, etc., and particularly PTFE, PFA, FEP and EPE which have excellent resistance to high temperature sulfuric acid.

網はコア外周に巻きつける。巻きつけ回数は限定的では
ないが１〜５回、特に２、３回である。巻き回数が多す
ぎると通液性が低下する。Wrap the net around the core. Although the number of windings is not limited, it is 1 to 5 times, especially 2 or 3 times. If the number of windings is too large, the liquid permeability decreases.

網の耳は熱融着してもよい。所望の大きさの網を得るた
めにヒートカットするのが好ましい。コアに巻きつけた
網の端は特に留める必要はないが、所望ならば熱融着に
よつて固定してもよい。The ears of the net may be heat fused. It is preferable to heat cut in order to obtain a net having a desired size. The ends of the mesh wrapped around the core need not be fastened, but may be fixed by heat fusion if desired.

網を巻きつけるコアは円筒状プリーツの熱と外圧による
変形を防ぐものであって、濾液を円滑に流すに十分な通
液部を有していればよい。The core around which the net is wound prevents deformation of the cylindrical pleats due to heat and external pressure, and may have a liquid passage portion sufficient to allow the filtrate to flow smoothly.

コアの形状は第１図に示すごとく多孔性中空円筒状
（１）であってもよく、また第２−ａ図に示すごとく多
数の通液溝（３）を有する柱状体（２）であってもよ
い。第２−ｂ図多孔性中空円筒状コア（１）の内部に通
液溝（３）を有する柱状体（２）を挿入してもよい。こ
の場合、通液溝（３）はそれ程多く設ける必要はない。The shape of the core may be a porous hollow cylindrical shape (1) as shown in FIG. 1 or a columnar body (2) having a large number of liquid passage grooves (3) as shown in FIG. 2-a. May be. Fig. 2-b A columnar body (2) having a liquid passage groove (3) may be inserted inside the porous hollow cylindrical core (1). In this case, it is not necessary to provide so many liquid passage grooves (3).

コアの素材は耐薬品性と耐熱性の点でPTFE、FEP、PFA、
EPE、ETFE、PCTFE、ECTFE、特にPTFE、FEP、PFA、EPEが
好ましく、特に端部融着用樹脂と同じものが適してい
る。The core material is PTFE, FEP, PFA, in terms of chemical resistance and heat resistance.
EPE, ETFE, PCTFE, ECTFE, especially PTFE, FEP, PFA, EPE are preferable, and the same resin as the end fusion resin is particularly suitable.

以下、本発明全フッ素樹脂製フィルター部材の全構成の
概要を図面をもって説明する。この構成は１つの態様で
あって、これに限定されるものではない。Hereinafter, the outline of the entire structure of the perfluororesin filter member of the present invention will be described with reference to the drawings. This configuration is one aspect and is not limited to this.

第３図に示すごとく、本発明に用いるフィルター膜
（４）は、フッ素樹脂製、特に四フッ化エチレン樹脂
（PTFE）製であり、これは多孔性フッ素樹脂製補強材で
ラミネートされたものであってよく、この膜自体は濾過
液として公知のものである。膜厚、孔径は処理液の種
類、濾過目的によって任意に選定すればよいが、通常、
膜厚50〜200μ、孔径0.01〜10μのものを使用する。こ
の膜は機械的強度が弱く、また濾過圧によって容易に変
形するため、プリーツ状を保持するため、両側面に熱可
塑性フッ素樹脂製ネット状支持体を重ねてはさみサンド
イッチ状にして使用する。As shown in FIG. 3, the filter membrane (4) used in the present invention is made of fluororesin, particularly tetrafluoroethylene resin (PTFE), which is laminated with a porous fluororesin reinforcing material. The membrane itself is known as a filtrate. The film thickness and pore size may be arbitrarily selected depending on the type of treatment liquid and the purpose of filtration, but usually,
Use a film with a thickness of 50-200μ and a pore size of 0.01-10μ. Since this membrane has low mechanical strength and is easily deformed by filtration pressure, it retains its pleated shape. Therefore, a thermoplastic fluororesin net support is laminated on both sides to be used as a scissors sandwich.

フッ素樹脂製フィルター膜は熱可塑性フッ素樹脂製ネッ
ト支持体（５）でサンドイッチ状にはさむ。これは、フ
ィルター膜が全面積にわたって濾過に有効に働くための
スペーサーであると同時に濾過圧による膜の変形を防ぐ
他、ネット支持体自体が融着材として作用するため、膜
側縁部および端部の融着を完全にするために重要な役割
を有する。The fluororesin filter membrane is sandwiched between thermoplastic fluororesin net supports (5). This is a spacer for the filter membrane to work effectively over the entire area, and at the same time prevents the membrane from being deformed by filtration pressure. In addition, the net support itself acts as a fusing material, so that the membrane side edges and edges are It has an important role to complete the fusion of parts.

ネット支持体（５）の素材はPFA、FEP、ETFE、PCTFE、E
CTFE、PVdF、PVF、EPE等の熱可塑性フッ素樹脂、含フッ
素熱可塑性エラストマーおよびその他の含フッ素共重合
樹脂が使用される。特に好ましくは耐薬品性、耐熱性の
点でPFA、FEP、EPE、ETFE、PCTFE、ECTFE、特にPFA、FE
P、EPEである。The material of the net support (5) is PFA, FEP, ETFE, PCTFE, E
Thermoplastic fluororesins such as CTFE, PVdF, PVF and EPE, fluorine-containing thermoplastic elastomers and other fluorine-containing copolymer resins are used. Particularly preferred in terms of chemical resistance and heat resistance are PFA, FEP, EPE, ETFE, PCTFE and ECTFE, especially PFA and FE.
P and EPE.

ネット支持体はフッ素樹脂繊維の平織布、融着不織布、
成形ネット、編物、パンチングシート等多孔性の素材で
あって、プリーツ状に折り曲げることのできる程度の可
撓性と濾過圧によって容易に形崩れしない程度の剛性を
有するものが望ましく、そのため、通常厚さ0.1〜1.0m
m、孔面積0.1〜5mm²程度のものを用いる。The net support is made of fluororesin fiber plain woven fabric, fused non-woven fabric,
It is desirable to use a porous material such as a molding net, a knitted fabric, or a punching sheet, which has flexibility such that it can be bent into pleats and rigidity that does not easily collapse due to filtration pressure. 0.1-1.0m
m, with a hole area of 0.1 to ⁵ mm ² .

フィルター膜はネット支持体でサンドイッチ状にはさ
み、これをプリーツ状に折り曲げて第６図に示すごとく
円筒状にし、両側縁部を、例えば、通常のインパルスシ
ーラー等で液密に融着する。フィルター膜とネット支持
体は多層構造をとってもよい（例えば支持体−膜−支持
体−膜−支持体）。The filter membrane is sandwiched between net supports and bent into pleats into a cylindrical shape as shown in FIG. 6. Both side edges are liquid-tightly fused by, for example, a normal impulse sealer. The filter membrane and net support may have a multi-layer structure (eg support-membrane-support-membrane-support).

両側縁部（６）の融着は第３図に示すごとくネット支持
体の一側縁部を長くし、これを他の側縁部の外側にかぶ
せて一体に融着してもよく、第４図に示すごとく、両側
縁部間に熱可塑性フッ素樹脂製シールテープ（７）をは
さんで融着してもよい。また第５図に示すごとく熱可塑
性フッ素樹脂製シールカバー（８）をかぶせて融着して
もよい。The fusion of both side edge portions (6) may be performed by lengthening one side edge portion of the net support as shown in FIG. 3 and covering it with the outer side of the other side edge portion to integrally fuse it. As shown in FIG. 4, a thermoplastic fluororesin seal tape (7) may be sandwiched and fused between both side edges. Further, as shown in FIG. 5, a thermoplastic fluororesin seal cover (8) may be covered and fused.

この様なシールテープやシールカバーとしては耐薬品性
と融着性に優れたPFA、FEP、EPE、ETFE、PCTFE、ECTF
E、特にPFA、FEP、EPE等の好ましい。第４図および第５
図に示す態様ではシールの耐圧性が向上する。PFA, FEP, EPE, ETFE, PCTFE, and ECTF, which have excellent chemical resistance and fusion resistance, are used as such sealing tapes and covers.
E, particularly PFA, FEP, EPE and the like are preferable. 4 and 5
In the embodiment shown in the figure, the pressure resistance of the seal is improved.

以上のごとくして得られた濾過材はその両端部を熱可塑
性フッ素樹脂を用いて融着シールする。Both ends of the filter material obtained as described above are fusion-sealed with a thermoplastic fluororesin.

端部融着には濾過材端部を挿入し得る、中央開口部を有
する金具（例えば、第７図に示すエンドキャップと同じ
形状をした金型）中に、同じく該金型に挿入し得るドー
ナツ状熱可塑性フッ素樹脂シートを入れ、該熱可塑性フ
ッ素樹脂を溶融し、これに濾過材端部を押し込むか、ド
ーナツ状シートと共に濾過材端部を同時に金型中に挿入
し、金型を加熱して、該熱可塑性フッ素樹脂が溶融した
後、濾過材端部を溶融樹脂中に押し込んでもよい。濾過
材端部を、溶融樹脂中に押し込む速度は、好ましくは0.
1〜6mm/分、より好ましくは0.2〜2mm/分である。その
際、濾過材端部の挿入により溶融樹脂の温度が低下した
場合は、該樹脂が再び溶融温度に達するのを待って濾過
材端部を前記速度で押し込むのが好ましい。フィルター
膜の融点が端部融着用樹脂の融点より高い場合は濾過材
端部を予め熱可塑性フッ素樹脂を入れた中央開口部を有
する金型に挿入し、軽く把持しながら熱可塑性フッ素樹
脂と同時に金型中で加熱するのが好ましい。これによっ
て、濾過材端部の挿入による溶融熱可塑性フッ素樹脂の
急激な温度低下を防ぐことができる。The end of fusion may also be inserted into a mold into which a filter media end may be inserted and into a fitting having a central opening (eg, a mold having the same shape as the end cap shown in FIG. 7). Put a donut-shaped thermoplastic fluororesin sheet, melt the thermoplastic fluororesin, and push the end of the filter material into this, or insert the end of the filter material together with the donut-shaped sheet into the mold and heat the mold. Then, after the thermoplastic fluororesin is melted, the end of the filter material may be pushed into the molten resin. The speed of pushing the end of the filter medium into the molten resin is preferably 0.
It is 1 to 6 mm / min, more preferably 0.2 to 2 mm / min. At that time, when the temperature of the molten resin decreases due to the insertion of the end of the filter medium, it is preferable to wait until the resin reaches the melting temperature again and push the end of the filter medium at the above speed. If the melting point of the filter membrane is higher than the melting point of the resin for fusing at the end, insert the end of the filter material into a mold having a central opening containing the thermoplastic fluororesin in advance, and while holding it lightly, simultaneously with the thermoplastic fluororesin. It is preferable to heat in a mold. As a result, it is possible to prevent a rapid temperature drop of the molten thermoplastic fluororesin due to the insertion of the filter medium end.

押し込み方法は濾過材上部に定荷重を載せる方法（好ま
しくは、濾過材端部面積1cm²当たり１〜100g）、一定速
度で押し込む方法等があるが、いずれを用いてもよい。
濾過材自体が重い場合は濾過材を支えるようにしてもよ
い。The pushing method includes a method of placing a constant load on the upper portion of the filter medium (preferably 1 to 100 g per 1 cm ^{2 of} filter medium end area), and a method of pushing at a constant speed, but any method may be used.
If the filter material itself is heavy, it may be supported.

濾過材端部の融着にフッ素樹脂粉末を用いてもよい。こ
の場合は濾過材端部に嵌合する金型中に粉末状フッ素樹
脂を所定量充填し、さらにこの金型内の粉末中に端部を
押し込み、プリーツ間に粉末を侵入させ、該粉末の融点
以上に金型を加熱して粉末を溶融し、濾過材端部と溶融
樹脂を融着一体化せしめた後、冷却固化する。この場
合、フィルターやネットが熱収縮する場合は、粉末が溶
融した後、濾過材を押し込む。濾過材は自重で落ち込ま
ないよう支えておくのが好ましい。Fluororesin powder may be used for fusing the ends of the filter medium. In this case, a predetermined amount of powdery fluororesin is filled in a mold fitted to the end of the filter medium, the end is further pushed into the powder in the mold, the powder is allowed to enter between the pleats, and The mold is heated to a temperature equal to or higher than the melting point to melt the powder, and the end of the filter material and the molten resin are fused and integrated, and then cooled and solidified. In this case, when the filter or the net is thermally shrunk, the filter material is pushed in after the powder is melted. It is preferable to support the filter material so that it does not fall under its own weight.

粉末がプリーツ襞間に入り難いときは、適当な湿潤剤、
例えば、エタノールを少量添加すると入り易くなる。If it is difficult for the powder to enter the pleat folds, use a suitable wetting agent,
For example, adding a small amount of ethanol makes it easier to enter.

濾過材端部の融着にフッ素樹脂の分散液を用いてもよ
い。分散液の濃度が薄く、端部が液密に融着されていな
い場合は２回以上融着工程を繰り返してもよい。通常、
フッ素樹脂含量30〜70％の分散液を用いるのが適当であ
る。分散液の場合は、低温で分散媒を蒸発させた後、樹
脂の融点以上に昇温するのが望ましい。A dispersion liquid of a fluororesin may be used for fusing the ends of the filter material. When the concentration of the dispersion liquid is low and the edges are not liquid-tightly fused, the fusion step may be repeated twice or more. Normal,
It is suitable to use a dispersion having a fluororesin content of 30 to 70%. In the case of a dispersion, it is desirable to evaporate the dispersion medium at a low temperature and then raise the temperature above the melting point of the resin.

濾過材端部を融着用樹脂を用いて融着する場合の融着に
用いる熱可塑性フッ素樹脂としては、PTFE以外のPFA、F
EP、ETFE、PCTFE、ECTFE、PVdF、PVF、EPE、含フッ素熱
可塑性エラストマー、その他の含フッ素共重合樹脂等い
ずれも使用できるが、耐薬品性、耐熱性の点でPFA、FE
P、EPE、ETFE、PCTFE、またはECTFE、特にPFA、FEP、EP
Eが好ましい。PTFEは融着性に劣り、かつ溶融時の粘度
が高いため、濾過材端部を押し込み難く好ましくない。
融着温度はPFAの場合、310〜400℃、特に315〜350℃、E
PEの場合は300〜400℃、特に305〜350℃、FEPの場合は2
80〜350℃が適当である。As the thermoplastic fluororesin used for fusing when the end of the filter material is fused using a fusing resin, PFA other than PTFE, F
EP, ETFE, PCTFE, ECTFE, PVdF, PVF, EPE, fluorine-containing thermoplastic elastomer, and other fluorine-containing copolymer resins can all be used, but PFA, FE in terms of chemical resistance and heat resistance
P, EPE, ETFE, PCTFE, or ECTFE, especially PFA, FEP, EP
E is preferred. PTFE is inferior in fusing property and has a high viscosity at the time of melting, so that it is difficult to push the end portion of the filter medium, which is not preferable.
In the case of PFA, the fusion temperature is 310-400 ℃, especially 315-350 ℃, E
300-400 ° C, especially 305-350 ° C for PE, 2 for FEP
80 to 350 ° C is suitable.

端部融着用樹脂の使用量は、端部シール部の厚さが１〜
10mm、好ましくは３〜6mmとなる量が適当である。The amount of resin used for edge fusion is 1 to 1
An amount of 10 mm, preferably 3-6 mm is suitable.

これらの濾過材端部の融着は、第８図に示すごとくフッ
素樹脂製の網（９）を巻いたフッ素樹脂製の多孔性中空
円筒状コア材および／または通液溝を有する円柱状体を
濾過材中空部に挿入して行なう。これは同時に融着して
もよい。As shown in FIG. 8, fusion of the ends of these filter media is carried out by forming a fluororesin porous hollow cylindrical core material wound with a fluororesin net (9) and / or a columnar body having liquid passage grooves. Is inserted into the hollow portion of the filter medium. This may be fused at the same time.

得られたフィルター部材の中央断面図を第９図に示す。A central sectional view of the obtained filter member is shown in FIG.

端部を融着したフィルター部材はそのままでもフィルタ
ーエレメントとして用い得るが、融着部に不規則な凹
凸、気泡等が発生することがあり、外観上好ましくな
く、またこれを濾過器のハウジング内に装着した時、パ
ッキング不十分となってリークを生ずる恐れがあるた
め、適当なエンドキャップに装着してフィルターエレメ
ントとする。The filter member with the fused ends can be used as a filter element as it is, but irregular irregularities, bubbles, etc. may occur in the fused part, which is not preferable in appearance, and this is placed in the housing of the filter. When installed, the packing may be inadequate and leakage may occur. Therefore, install it on an appropriate end cap to form a filter element.

キャップに使用するフッ素樹脂は前述のフッ素樹脂のい
ずれも使用し得るが、耐薬品性、耐熱性の点でPTFE、FE
P、PFA、EPE、ETFE、PCTFE、ECTFE、特にPTFE、FEP、PF
A、EPEが望ましい。より好ましくは密着性の点で端部シ
ールに使用したのと同じ樹脂を用いる。The fluororesin used for the cap may be any of the above-mentioned fluororesins, but PTFE and FE are preferable in terms of chemical resistance and heat resistance.
P, PFA, EPE, ETFE, PCTFE, ECTFE, especially PTFE, FEP, PF
A, EPE is preferred. More preferably, the same resin as that used for the end seal is used in terms of adhesion.

フッ素樹脂エンドキャップとフィルター部材融着端部の
装着は一般に融着法を用いるのが好ましい。It is generally preferable to use a fusion method for attaching the fluororesin end cap and the fusion end of the filter member.

融着方法には加熱融着、回転熔接、インサートインジェ
クション、シリンダー注入法等、種々の方法を採用し得
る。加熱融着の場合は、所定の形状に予め成形したフッ
素樹脂製キャップと端部融着部を嵌合し、金型中に挿入
して端部融着部のフッ素樹脂の融点以上に、更に好まし
くはエンドキャップの融点以上に加熱し、キャップ側面
全部および／または底部全面を液密に完全融着させる。
両端部に融着させるキャップは両者とも、中央開口部を
有する形状でもよく、一方が中央開口部を有し、他方が
中央開口部を有さないキャップであってもよい。Various methods such as heat fusion, rotary welding, insert injection, and cylinder injection method can be adopted as the fusion method. In the case of heat fusion, the fluororesin cap preformed in a predetermined shape is fitted with the end fusion part, and the end fusion part is inserted into the mold to have a temperature not lower than the melting point of the fluororesin of the end fusion part. Preferably, the end cap is heated to a temperature equal to or higher than the melting point, and the entire side surface of the cap and / or the entire bottom surface is liquid-tightly and completely fused.
Both caps to be fused to both ends may have a shape having a central opening, or one may have a central opening and the other may not have a central opening.

本発明フィルターエレメントは所望ならばシリンダー状
保護外筒を濾過材の周囲にかぶせてもよい。この保護外
筒は処理液が通過するよう多数の孔を有するパネルから
作ったものでよく、必ずしもフィルターエレメントと一
体に融着される必要はない。キャップの内側に嵌め込ん
でもよく、外側に挿入してもよい。The filter element of the present invention may be fitted with a cylindrical protective jacket around the filter media if desired. This protective outer cylinder may be made of a panel having a large number of holes so that the processing liquid can pass therethrough, and does not necessarily have to be integrally fused with the filter element. It may be fitted inside the cap or inserted outside.

保護外筒はフッ素樹脂、例えばPTFE、FEP、EPE、PFA、E
TFE、PCTFE、ECTFE、特にPTFE、FEP、EPE、PFA等を用い
ればよい。The protective outer cylinder is made of fluorocarbon resin such as PTFE, FEP, EPE, PFA, E
TFE, PCTFE, ECTFE, especially PTFE, FEP, EPE, PFA, etc. may be used.

以下、実施例を挙げて本発明を説明する。Hereinafter, the present invention will be described with reference to examples.

実施例１ PTFEフィルター膜（厚さ100μ、平均孔径0.22μ、面積2
50×2000mm²）の上下にPFAネット状支持体（平均厚さ0.
4mm、孔面積率50％、面積250×2000mm²）を重ねサンド
イッチ状にし、これらのシートを波付けして襞数70のプ
リーツを成形する。Example 1 PTFE filter membrane (thickness 100μ, average pore diameter 0.22μ, area 2
50 × 2000mm ² ) PFA net support (average thickness of 0.
4 mm, hole area ratio 50%, area 250 × 2000 mm ² ) are stacked and sandwiched, and these sheets are corrugated to form pleats with a fold count of 70.

プリーツ状シートを円筒状にし、両側縁部を重ねEPEフ
ィルム（幅5mm、長さ250mm、厚さ50μ）をその間にはさ
み（第４図）、これを市販のインパルスシーラーで熱シ
ールし、円筒形プリーツ状濾過材を得た。この熱融着部
は完全に液密にシールされている。The pleated sheet is made into a cylindrical shape, and both side edges are overlapped, and an EPE film (width 5 mm, length 250 mm, thickness 50 μ) is sandwiched between them (Fig. 4), and this is heat-sealed with a commercially available impulse sealer to form a cylindrical shape. A pleated filter material was obtained. The heat-sealed portion is completely liquid-tightly sealed.

次に、この円筒状プリーツ状過材の端部と嵌合する金
型中にドーナツ状EPE製端部シール材（厚さ5mm、内径38
mm、外径65mm）を入れ、金型を320℃、10分間加熱して
前記シール材を溶融させ、その上にホルダーで垂直にゆ
るく把持した前記濾過材をおろし、この濾過材の上に20
0gの荷重をのせて、加熱を続けながら濾過材の下端部を
前記シール材の溶融樹脂中にゆっくりと侵入させる。約
10分で前記濾過材が5mm降下したところで荷重を除き、
冷却する。Next, put the doughnut-shaped EPE end seal material (thickness 5 mm, inner diameter 38
mm, outer diameter 65 mm), the mold is heated at 320 ° C for 10 minutes to melt the sealing material, and the filter medium vertically held by the holder loosely is dropped on the filter medium.
With a load of 0 g, the lower end of the filter medium is slowly infiltrated into the molten resin of the sealant while continuing to heat. about
Remove the load when the filter media has dropped 5 mm in 10 minutes,
Cooling.

溶融樹脂が固化した後、金型から取り出すと濾過材端部
のフィルター膜の襞間のシール材の樹脂が浸入し、ネッ
ト状支持体も溶融して完全に融着一体化していた。他端
も同じ操作を繰り返す。この様にして得られたプリーツ
状フィルター部材端部からPFA製網（フィラメント径0.2
mmφ、30メッシュ）を二重に巻きつけたPFA製多孔性中
空円筒状コア材（外径36mm、内径30mm、長さ250mm）を
挿入し、所定形状のPFA製エンドキャップと熱融着させ
る。得られたフィルターエレメントは強固なシール性を
有し、5kg/cm²以上の高圧にも耐える。After the molten resin was solidified, when it was taken out from the mold, the resin of the sealing material between the folds of the filter membrane at the end of the filtering material was infiltrated, and the net-shaped support was also melted and completely fused and integrated. Repeat the same operation at the other end. The PFA mesh (filament diameter 0.2
(mmφ, 30 mesh) is double wound, and a PFA porous hollow cylindrical core material (outer diameter 36 mm, inner diameter 30 mm, length 250 mm) is inserted and heat-bonded to a PFA end cap having a predetermined shape. The obtained filter element has a strong sealing property and can withstand a high pressure of 5 kg / cm ² or more.

比較例１ PFA製網を多孔性中空円筒状コア（孔面積20mm²）に巻か
ない以外、実施例１と同様にしてフィルターエレメント
を得た。Comparative Example 1 A filter element was obtained in the same manner as in Example 1 except that the PFA net was not wound around the porous hollow cylindrical core (pore area 20 mm ² ).

試験例 上記実施例１および比較例１で得たフィルターエレメン
トをそれぞれ別個に濾過装置に設置し、これに濃硫酸を
温度150℃、圧力3kg/cm²で循環させ、入口圧の変化を観
察した。Test Example The filter elements obtained in the above-mentioned Example 1 and Comparative Example 1 were separately installed in a filter device, and concentrated sulfuric acid was circulated in the filter device at a temperature of 150 ° C. and a pressure of 3 kg / cm ² , and changes in the inlet pressure were observed. .

実施例１のフィルターエレメントを用いた装置では循環
３時間、次いで冷却（常温）を70サイクル繰返したが、
全く異常は生じなかった。一方、比較例１の装置では循
環後30分で圧力低下を生じた。このエレメントを分解し
て肉眼検査を行なったところ多数のピンホールが確認さ
れた。In the apparatus using the filter element of Example 1, circulation was carried out for 3 hours and then cooling (normal temperature) was repeated 70 cycles.
No abnormality occurred. On the other hand, in the device of Comparative Example 1, a pressure drop occurred 30 minutes after the circulation. When this element was disassembled and subjected to visual inspection, many pinholes were confirmed.

発明の効果 本発明フィルターエレメントは濃硫酸のごとき強酸を15
0℃と云う高温で加圧下で使用してもピンホール等を生
じ難い。EFFECT OF THE INVENTION The filter element of the present invention contains a strong acid such as concentrated sulfuric acid.
Even when used under pressure at a high temperature of 0 ° C, pinholes, etc. are unlikely to occur.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第１図は多孔性中空円筒状コア、第２−ａ図および第２
−ｂ図は通液溝を有する柱状コア、第３図〜第５図はプ
リーツ側縁部の融着様式、第６図は円筒状プリーツ、第
７図はキャップ、第８図はコア表面に網を巻き付ける状
態を示す図、および第９図は本発明フイルター部材の中
央断面図をそれぞれ示す。 （１）多孔性中空円筒状コア （２）通液溝を有する柱状コア （３）通液溝、（４）フイルター膜 （５）ネット状支持体、（６）濾過材側縁部 （７）シールテープ、（８）シールカバー （９）網FIG. 1 shows a porous hollow cylindrical core, FIGS. 2-a and 2
-B is a columnar core having a liquid passage groove, Figs. 3 to 5 are fusion modes of the side edge of the pleat, Fig. 6 is a cylindrical pleat, Fig. 7 is a cap, and Fig. 8 is a core surface. FIG. 9 shows a state in which a net is wound, and FIG. 9 is a central sectional view of a filter member of the present invention. (1) Porous hollow cylindrical core (2) Columnar core having liquid passage groove (3) Liquid passage groove, (4) Filter membrane (5) Net support, (6) Edge of filter material (7) Seal tape, (8) Seal cover (9) Net

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】フッ素樹脂製フィルター膜の両面に熱可塑
性フッ素樹脂製ネット支持体を重ねたサンドイッチ状シ
ートをプリーツ状に折り曲げて円筒状にした濾過部と通
液部を有するフッ素樹脂製コアを有するフィルター部材
において、該コアがフッ素樹脂製の網で被覆されている
フッ素樹脂製フィルター部材。1. A fluororesin core having a filtration part and a liquid passage part, which is formed by bending a sandwich-like sheet in which a thermoplastic fluororesin net support is laminated on both sides of a fluororesin filter membrane into a pleated shape to form a cylindrical shape. A filter member made of fluororesin, wherein the core is covered with a net made of fluororesin. 【請求項２】コアが多孔性中空円筒状である第１項記載
のフィルター部材。2. The filter member according to claim 1, wherein the core has a porous hollow cylindrical shape. 【請求項３】コアが多数の通液溝を有する円柱状体であ
る第１項記載のフィルター部材。3. The filter member according to claim 1, wherein the core is a columnar body having a large number of liquid passage grooves. 【請求項４】フッ素樹脂製網が太さ0.1〜2mmのフッ素樹
脂繊維製である第１項記載のフィルター部材。4. The filter member according to claim 1, wherein the fluororesin net is made of fluororesin fiber having a thickness of 0.1 to 2 mm. 【請求項５】フッ素樹脂製網の孔面積が10mm²以下であ
る第１項記載のフィルター部材。5. The filter member according to claim 1, wherein the fluororesin net has a pore area of 10 mm ² or less. 【請求項６】網がPTFE、PFA、FEP、EPE、ETFE、PCTFE、
またはECTFE製である第１項記載のフィルター部材。6. The network comprises PTFE, PFA, FEP, EPE, ETFE, PCTFE,
Alternatively, the filter member according to item 1, which is made of ECTFE.