JPH0670689B2 - 画像走査記録装置の走査光学系 - Google Patents
画像走査記録装置の走査光学系Info
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- JPH0670689B2 JPH0670689B2 JP63098850A JP9885088A JPH0670689B2 JP H0670689 B2 JPH0670689 B2 JP H0670689B2 JP 63098850 A JP63098850 A JP 63098850A JP 9885088 A JP9885088 A JP 9885088A JP H0670689 B2 JPH0670689 B2 JP H0670689B2
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- lens
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- light beam
- scanning
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Description
【発明の詳細な説明】 《産業上の利用分野》 この発明は例えば製版用のレーザスキャナ、レーザプロ
ッタ、レーザプリンタなど、画像走査記録装置に用いら
れるフライングスポット式の走査光学系に関するもので
ある。
ッタ、レーザプリンタなど、画像走査記録装置に用いら
れるフライングスポット式の走査光学系に関するもので
ある。
《従来の技術》 この種の走査光学系は従来より多種多様のものが提案さ
れており、例えば特開昭49−84518号公報には次のよう
な走査光学系が開示されている。
れており、例えば特開昭49−84518号公報には次のよう
な走査光学系が開示されている。
即ち、レーザ光源と、レーザ光源からのビームを所要の
画像信号に基づいて変調する変調器と、変調されたレー
ザ光ビームを主走査方向へ偏向する回転多面鏡と、この
回転多面鏡と投影面との間に設けられ、この回転多面鏡
によって偏向されたレーザ光ビームを投影面に集光させ
るfθレンズとを備えて成り、投影面にあつて副走査方
向へ相対移動する記録媒体に所要の画像を露光記録する
ように構成されている。
画像信号に基づいて変調する変調器と、変調されたレー
ザ光ビームを主走査方向へ偏向する回転多面鏡と、この
回転多面鏡と投影面との間に設けられ、この回転多面鏡
によって偏向されたレーザ光ビームを投影面に集光させ
るfθレンズとを備えて成り、投影面にあつて副走査方
向へ相対移動する記録媒体に所要の画像を露光記録する
ように構成されている。
また、例えば刊行物「光学」第6巻第2号(1977年4月
発行)第67〜74頁の「放物面鏡による光ビーム走査偏差
補正法」には、次のような走査光学系が開示されてい
る。
発行)第67〜74頁の「放物面鏡による光ビーム走査偏差
補正法」には、次のような走査光学系が開示されてい
る。
その68頁には、いわゆるポストオブジェクト型走査光学
系としてガルバノミラーの手前に結像用レンズが配置さ
れたものが示されており、この場合投影面上での走査速
度は一定であるが図からも明らかな如く像面湾曲を生じ
る。また、その73頁には、レーザ光源と、レーザ光源か
らのビームを拡大した平行ビームによるビームエキスパ
ンダと、平行ビームを主走査方向へ偏向するガルバノミ
ラーと、投影面の手前に配置され主走査方向へ偏向され
た平行ビームを投影面へ向けて反射集光する放物凹面鏡
とを具備して成り、前記従来例のfθレーザに代えて放
物凹面鏡を用いることにより、簡便な方法で投影面上で
の走査速度偏差、光ビーム径偏差等の諸偏差を補正する
ように構成されている。なお、ガルバノミラーは放物凹
面鏡の焦点距離の0.6〜0.7倍に相当する位置に、投影面
は当該焦点距離上に設定されている。
系としてガルバノミラーの手前に結像用レンズが配置さ
れたものが示されており、この場合投影面上での走査速
度は一定であるが図からも明らかな如く像面湾曲を生じ
る。また、その73頁には、レーザ光源と、レーザ光源か
らのビームを拡大した平行ビームによるビームエキスパ
ンダと、平行ビームを主走査方向へ偏向するガルバノミ
ラーと、投影面の手前に配置され主走査方向へ偏向され
た平行ビームを投影面へ向けて反射集光する放物凹面鏡
とを具備して成り、前記従来例のfθレーザに代えて放
物凹面鏡を用いることにより、簡便な方法で投影面上で
の走査速度偏差、光ビーム径偏差等の諸偏差を補正する
ように構成されている。なお、ガルバノミラーは放物凹
面鏡の焦点距離の0.6〜0.7倍に相当する位置に、投影面
は当該焦点距離上に設定されている。
また、かかる走査光学系において、前記放物凹面鏡に代
えて球面鏡を使用すること自体も既に公知である。
えて球面鏡を使用すること自体も既に公知である。
《発明が解決しようとする課題》 製版用のレーザスキャナ、レーザプロッタあるいはレー
ザプリンタなど、画像走査記録装置では従来より、フラ
イングスポット式の走査光学系が用いられているが、近
年ではさらに記録サイズの大きいもの(有効走査長500
〜1000mm程度)、しかも高い解像力を有するもの(結像
スポット径5μm程度)が要求されるようになつてき
た。
ザプリンタなど、画像走査記録装置では従来より、フラ
イングスポット式の走査光学系が用いられているが、近
年ではさらに記録サイズの大きいもの(有効走査長500
〜1000mm程度)、しかも高い解像力を有するもの(結像
スポット径5μm程度)が要求されるようになつてき
た。
しかしながら、前記従来例のものではこのような要求に
応えることができなかつた。それは主として以下のよう
な理由による。
応えることができなかつた。それは主として以下のよう
な理由による。
記録サイズが大きいものになると、それにつれて光学系
の収差も大きくなる。つまりfθレンズでは結像スポッ
ト径を5μm程度にすることが困難であり、放物凹面鏡
でもコマ収差や非点収差が生ずるため、結像スポット径
を5μm程度まで集光させることはできない。
の収差も大きくなる。つまりfθレンズでは結像スポッ
ト径を5μm程度にすることが困難であり、放物凹面鏡
でもコマ収差や非点収差が生ずるため、結像スポット径
を5μm程度まで集光させることはできない。
また、仮りに結像スポット径5μmが得られる光学系が
あるとしても、この結像スポット系5μmを実現するに
は、それに相応する偏向器の大きさが必要になるが、こ
の偏向器を回転多面体で構成した場合には、その直径が
500mm程度の大きなものとなり、走査速度を考慮すれば
実施困難であり、しかもコストが高くつく。
あるとしても、この結像スポット系5μmを実現するに
は、それに相応する偏向器の大きさが必要になるが、こ
の偏向器を回転多面体で構成した場合には、その直径が
500mm程度の大きなものとなり、走査速度を考慮すれば
実施困難であり、しかもコストが高くつく。
《課題を解決するための手段》 本発明は有効走査長を大きくしても、充分小さな収差し
か残存せず、しかも高解像力が得られ、実施容易な走査
光学系を提供するもので、次のように構成される。
か残存せず、しかも高解像力が得られ、実施容易な走査
光学系を提供するもので、次のように構成される。
請求項1の発明は、光ビームを出射する光源と、前記光
源からの光ビームを投影面に結像する結像用レンズと、
前記結像用レンズと前記投影面との間に設けられ、前記
結像用レンズによって結像される光ビームを主走査方向
へ偏向するガルバノミラーと、前記ガルバノミラーと前
記投影面との間に配置され、主走査方向へ偏向された光
ビームを前記投影面へ向けて反射する凹面鏡と、を具備
する画像走査記録装置の走査光学系において、 前記凹面鏡を裏面鏡とし、かつ、 0.8×a<fM<1.1×a (1) 0.7×a<b<a (2) 但し、aは結像用レンズの最終面とそのレンズによる結
像点との距離から結像用レンズの最終面とガルバノミラ
ーとの距離を差し引いた値、 bはガルバノミラーから凹面鏡までの距離、 fMは凹面鏡の焦点距離、 を満足することを特徴とするものである。
源からの光ビームを投影面に結像する結像用レンズと、
前記結像用レンズと前記投影面との間に設けられ、前記
結像用レンズによって結像される光ビームを主走査方向
へ偏向するガルバノミラーと、前記ガルバノミラーと前
記投影面との間に配置され、主走査方向へ偏向された光
ビームを前記投影面へ向けて反射する凹面鏡と、を具備
する画像走査記録装置の走査光学系において、 前記凹面鏡を裏面鏡とし、かつ、 0.8×a<fM<1.1×a (1) 0.7×a<b<a (2) 但し、aは結像用レンズの最終面とそのレンズによる結
像点との距離から結像用レンズの最終面とガルバノミラ
ーとの距離を差し引いた値、 bはガルバノミラーから凹面鏡までの距離、 fMは凹面鏡の焦点距離、 を満足することを特徴とするものである。
また、請求項2に記載の発明は、光ビームを出射する光
源と、前記光源からの光ビームを投影面に結像する結像
用レンズと、前記結像用レンズと前記投影面との間に設
けられ、前記結像用レンズによって結像される光ビーム
を主走査方向へ偏向するガルバノミラーと、前記ガルバ
ノミラーと前記投影面との間に配置され、主走査方向へ
偏向された光ビームを前記投影面へ向けて反射する凹面
鏡と、を具備する画像走査記録装置の走査光学系におい
て、 前記ガルバノミラーと前記凹面鏡との間に前記ガルバノ
ミラーに凹面を向けたヌルレンズを配置し、かつ、 0.8×a<fM<1.1×a (3) 0.7×a<b<a (4) 0.5×a<c<a (5) 但し、aは結像用レンズの最終面とそのレンズによる結
像点との距離から結像用レンズの最終面とガルバノミラ
ーとの距離を差し引いた値、 bはガルバノミラーから凹面鏡までの距離、 cはガルバノミラーからヌルレンズまでの距離、 fMは凹面鏡の焦点距離、 を満足し、前記ヌルレンズの焦点距離が前記aに比べて
長いことを特徴とするものである。
源と、前記光源からの光ビームを投影面に結像する結像
用レンズと、前記結像用レンズと前記投影面との間に設
けられ、前記結像用レンズによって結像される光ビーム
を主走査方向へ偏向するガルバノミラーと、前記ガルバ
ノミラーと前記投影面との間に配置され、主走査方向へ
偏向された光ビームを前記投影面へ向けて反射する凹面
鏡と、を具備する画像走査記録装置の走査光学系におい
て、 前記ガルバノミラーと前記凹面鏡との間に前記ガルバノ
ミラーに凹面を向けたヌルレンズを配置し、かつ、 0.8×a<fM<1.1×a (3) 0.7×a<b<a (4) 0.5×a<c<a (5) 但し、aは結像用レンズの最終面とそのレンズによる結
像点との距離から結像用レンズの最終面とガルバノミラ
ーとの距離を差し引いた値、 bはガルバノミラーから凹面鏡までの距離、 cはガルバノミラーからヌルレンズまでの距離、 fMは凹面鏡の焦点距離、 を満足し、前記ヌルレンズの焦点距離が前記aに比べて
長いことを特徴とするものである。
なお、ここで云う凹面鏡は球面、放物面にはとらわれ
ず、凹面鏡を裏面鏡で構成したもの、および凹面鏡を表
面鏡で構成し該凹面鏡の手前にヌルレンズを配置した場
合も、ヌルレンズを裏面鏡の一部と考えれば前記した構
成に含まれる。
ず、凹面鏡を裏面鏡で構成したもの、および凹面鏡を表
面鏡で構成し該凹面鏡の手前にヌルレンズを配置した場
合も、ヌルレンズを裏面鏡の一部と考えれば前記した構
成に含まれる。
《作用》 本発明では、光源からの光ビームを結像用レンズ、ガル
バノミラー及び凹面鏡を介して投影面に結像させるよう
になつており、以下のような作用を奏する。
バノミラー及び凹面鏡を介して投影面に結像させるよう
になつており、以下のような作用を奏する。
偏向器としてガルバノミラーが用いられており、5μm
程度の結像スポット径を実現するのに必要とされる偏向
面の大きさは、比較的小さいガルバノミラーでも十分確
保でき、従つて質量の小さいガルバノミラーを回転又は
往復揺動回転させればよいので、その走査速度を十分速
くすることが可能となる。しかも、ガルバノミラーの回
転軸上に光ビームの主光線が合致されており、この主光
線の偏向点はミラーの回転に伴つて移動することもな
い。従つて回転多面鏡のように主光線の偏向点が移動す
ることによつて生ずる像面の歪みは生ずる余地がない。
程度の結像スポット径を実現するのに必要とされる偏向
面の大きさは、比較的小さいガルバノミラーでも十分確
保でき、従つて質量の小さいガルバノミラーを回転又は
往復揺動回転させればよいので、その走査速度を十分速
くすることが可能となる。しかも、ガルバノミラーの回
転軸上に光ビームの主光線が合致されており、この主光
線の偏向点はミラーの回転に伴つて移動することもな
い。従つて回転多面鏡のように主光線の偏向点が移動す
ることによつて生ずる像面の歪みは生ずる余地がない。
また、前記(1)及び(3)式は、ガルバノミラーが凹
面鏡の焦点位置近傍に配置されることを示しており、こ
の条件が満足されると、像面湾曲が極めて小さくなる。
なお、aは、ガルバノミラー以降に光学系がない場合
の、ガルバノミラーから結像点までの距離を意味してい
る。
面鏡の焦点位置近傍に配置されることを示しており、こ
の条件が満足されると、像面湾曲が極めて小さくなる。
なお、aは、ガルバノミラー以降に光学系がない場合
の、ガルバノミラーから結像点までの距離を意味してい
る。
前記(2)及び(4)式はガルバノミラーから凹面鏡ま
での距離を規定したものであり、この条件を満足しない
と、投影面上における光ビームの結像性能が維持されな
くなる。
での距離を規定したものであり、この条件を満足しない
と、投影面上における光ビームの結像性能が維持されな
くなる。
さらに、請求項1に記載の発明では、凹面鏡を裏面鏡と
した構成であり、凹面鏡の曲率中心とガルバノミラーの
偏向点とが一致していないことから生ずるコマ収差及び
非点収差を像面の平坦性を損なわずに補正する。
した構成であり、凹面鏡の曲率中心とガルバノミラーの
偏向点とが一致していないことから生ずるコマ収差及び
非点収差を像面の平坦性を損なわずに補正する。
また、請求項2に記載の発明では、ガルバノミラーと凹
面鏡との間に凹面をガルバノミラーに向けたヌルレンズ
を配置し、かつ、前記(5)式の条件を満足する構成で
あり、凹面鏡の曲率中心とガルバノミラーの偏向点とが
一致していないことから生ずるコマ収差及び非点収差を
像面の平坦性を損なわずに補正する。
面鏡との間に凹面をガルバノミラーに向けたヌルレンズ
を配置し、かつ、前記(5)式の条件を満足する構成で
あり、凹面鏡の曲率中心とガルバノミラーの偏向点とが
一致していないことから生ずるコマ収差及び非点収差を
像面の平坦性を損なわずに補正する。
前記(5)式はガルバノミラーからヌルレンズまでの距
離を規定したものであり、この条件を満足しないとコマ
収差及び非点収差の補正が不充分になる。なお、ヌルレ
ンズとは焦点距離の極めて長いメニスカスレンズという
意味で用いており、具体的にはヌルレンズの焦点距離は
aに比べて充分長い。
離を規定したものであり、この条件を満足しないとコマ
収差及び非点収差の補正が不充分になる。なお、ヌルレ
ンズとは焦点距離の極めて長いメニスカスレンズという
意味で用いており、具体的にはヌルレンズの焦点距離は
aに比べて充分長い。
なお、結像用レンズはガルバノミラーの手前、光源側に
配置されており、このレンズの焦点距離は走査長に対応
して必然的に大きくなるが、上記ガルバノミラー、凹面
鏡の配置によつて、球面収差のみを考慮すればよく、2
〜3枚のレンズエレメントの構成により、その球面収差
を無視し得る程度まで解消する。
配置されており、このレンズの焦点距離は走査長に対応
して必然的に大きくなるが、上記ガルバノミラー、凹面
鏡の配置によつて、球面収差のみを考慮すればよく、2
〜3枚のレンズエレメントの構成により、その球面収差
を無視し得る程度まで解消する。
これにより、結像スポット径を5μm程度の微細なビー
ムに結像させることが可能となる。
ムに結像させることが可能となる。
《実施例》 以下、図面に基づいて本発明に係る走査光学系の実施例
をレーザ光源からの光ビームを複数本の平行光ビームに
分割し、該複数本の光ビームを所要の画像信号によりそ
れぞれ独立に変調して複製画像を記録する場合について
説明する。
をレーザ光源からの光ビームを複数本の平行光ビームに
分割し、該複数本の光ビームを所要の画像信号によりそ
れぞれ独立に変調して複製画像を記録する場合について
説明する。
第1の実施例 第1図は本発明による第1の実施例を模式的に示す走査
光学系の斜視図、第2図はその要部平面図、第3図は同
じく要部側面図である。
光学系の斜視図、第2図はその要部平面図、第3図は同
じく要部側面図である。
この走査光学系は、レーザ光源1と、レーザ光源1から
のビームB1を絞り込んで光束密度を高める収束レンズ2
と、その収束ビームB2を複数のビームB3に分割するとと
もに、分割された複数本のビームをそれぞれ独立に変調
する例えば、光分波変調器3と、フィールドレンズ4
と、光路変換ミラー5と、コリメータレンズ6と、結像
用レンズ7と、ガルバノミラー8と、ビームスプリッタ
11と、裏面鏡で形成された凹面鏡15とから成り、投影面
S上を副走査方向(矢印A)に移動する記録媒体18に所
要の複製画像を露光記録するように構成されている。
のビームB1を絞り込んで光束密度を高める収束レンズ2
と、その収束ビームB2を複数のビームB3に分割するとと
もに、分割された複数本のビームをそれぞれ独立に変調
する例えば、光分波変調器3と、フィールドレンズ4
と、光路変換ミラー5と、コリメータレンズ6と、結像
用レンズ7と、ガルバノミラー8と、ビームスプリッタ
11と、裏面鏡で形成された凹面鏡15とから成り、投影面
S上を副走査方向(矢印A)に移動する記録媒体18に所
要の複製画像を露光記録するように構成されている。
この実施例では、ガルバノミラー8による有効走査長が
約1000mm、投影面S上での結像スポット径が半値全幅で
5.5μmとなるように設定されている。以下主要な構成
要素について説明する。
約1000mm、投影面S上での結像スポット径が半値全幅で
5.5μmとなるように設定されている。以下主要な構成
要素について説明する。
レーザ光源1としては、例えばアルゴンレーザ光源が用
いられ、その波長は488nmである。
いられ、その波長は488nmである。
光分波変調器3は光集積回路技術を用いた光導波路内で
収束ビームB2を分割し、分割した各ビームを所要の画像
信号に基づいてそれぞれ独立に変調するように構成され
ている。なおこれに限らず、例えばビーム分割器と多チ
ャンネル型音響光学光変調器とを別々に配置構成するも
のを用いてもよい。
収束ビームB2を分割し、分割した各ビームを所要の画像
信号に基づいてそれぞれ独立に変調するように構成され
ている。なおこれに限らず、例えばビーム分割器と多チ
ャンネル型音響光学光変調器とを別々に配置構成するも
のを用いてもよい。
本実施例では、例えば21本のレーザ光ビームに分割され
中心の光ビームは端から11番目に相当する。
中心の光ビームは端から11番目に相当する。
コリメータレンズ6は光分波変調器3から当該レンズ6
の焦点距離だけ離間して配置され、互いにオーバラップ
して殆んどレンズ7いつぱいに入射する21本の太い平行
光ビームB6にすべく、一定の拡がりをもつ各光ビームB3
をそれぞれ拡がりのない平行光ビームB6にする。
の焦点距離だけ離間して配置され、互いにオーバラップ
して殆んどレンズ7いつぱいに入射する21本の太い平行
光ビームB6にすべく、一定の拡がりをもつ各光ビームB3
をそれぞれ拡がりのない平行光ビームB6にする。
結像用レンズ7は、いわゆる対物レンズ(入射する平行
光ビームを微小光点に結像する結像レンズ)であつて、
第2図に示すように、例えば2枚のレンズから成り、各
平行光ビームB6を投影面S上で5.5μmの結像ビーム径
となるようにその焦点距離等が設定されている。ちなみ
に、このレンズ7の設定データ例は次の通りである。
光ビームを微小光点に結像する結像レンズ)であつて、
第2図に示すように、例えば2枚のレンズから成り、各
平行光ビームB6を投影面S上で5.5μmの結像ビーム径
となるようにその焦点距離等が設定されている。ちなみ
に、このレンズ7の設定データ例は次の通りである。
なお、レンズ等の光学面は光ビームの進行方向に向け
て、手前側より順次第1面、第2面……と規定する。ま
た、曲率半径の符号は光ビーム入射方向に対して凸にな
つている時に正、凹になつている時に負になつている。
このレンズ7は有効径φ182mm、焦点距離2125.091mm、
バックフォーカス2109.704mmに設定されている。このレ
ンズ7に入射する光ビームB6はその断面強度分布がガウ
ス分布に従つており、このレンズ7を介して出射する光
ビームB7径はレンズ7の有効径によつてφ182mmに規定
され、この周辺の光強度は中心のe-2(13%)になつて
いる。
て、手前側より順次第1面、第2面……と規定する。ま
た、曲率半径の符号は光ビーム入射方向に対して凸にな
つている時に正、凹になつている時に負になつている。
このレンズ7は有効径φ182mm、焦点距離2125.091mm、
バックフォーカス2109.704mmに設定されている。このレ
ンズ7に入射する光ビームB6はその断面強度分布がガウ
ス分布に従つており、このレンズ7を介して出射する光
ビームB7径はレンズ7の有効径によつてφ182mmに規定
され、この周辺の光強度は中心のe-2(13%)になつて
いる。
フィールドレンズ4は、調変器3から出射する1番〜21
番までの平行光ビームB3の各主光線をガルバノミラー8
の回転軸心Z上で一点に整合させるために設けられてお
り、これによつてガルバノミラー8の高さを最小限にす
ることができる。なお、隣り合う光ビームの主光線がな
す角γはB6の部分でほぼ同じ値(γ=0.63″)であり、
この時、後方のレンズ7、凹面鏡15によつて投影面S上
副走査(矢印A)方向に5.5μmのピッチで21個の結像
光スポットが並ぶことになる。なお、結像用レンズ7か
らガルバノミラー8の距離は227.782mmである。
番までの平行光ビームB3の各主光線をガルバノミラー8
の回転軸心Z上で一点に整合させるために設けられてお
り、これによつてガルバノミラー8の高さを最小限にす
ることができる。なお、隣り合う光ビームの主光線がな
す角γはB6の部分でほぼ同じ値(γ=0.63″)であり、
この時、後方のレンズ7、凹面鏡15によつて投影面S上
副走査(矢印A)方向に5.5μmのピッチで21個の結像
光スポットが並ぶことになる。なお、結像用レンズ7か
らガルバノミラー8の距離は227.782mmである。
ガルバノミラー8は回転軸心Zが、凹面鏡15の焦点位置
近傍に配置されており、このガルバノミラー8はガルバ
ノメータ10によつて振れ角θ1で往復揺動され、結像用
レンズ7からの光ビームB7を凹面鏡15へ向けて主走査方
向に偏向する。ガルバノミラー8の回転軸にはパルスエ
ンコーダ9が付設され、このパルスエンコーダ9からの
パルス信号は画像信号をメモリ装置から読み出す際の読
み出しクロックを作るのに用いられる。
近傍に配置されており、このガルバノミラー8はガルバ
ノメータ10によつて振れ角θ1で往復揺動され、結像用
レンズ7からの光ビームB7を凹面鏡15へ向けて主走査方
向に偏向する。ガルバノミラー8の回転軸にはパルスエ
ンコーダ9が付設され、このパルスエンコーダ9からの
パルス信号は画像信号をメモリ装置から読み出す際の読
み出しクロックを作るのに用いられる。
本実施例ではガルバノミラー8の偏向面の大きさは幅22
0mm、高さ180mmであり、有効振れ角θ1は±9度、従つ
てガルバノミラー8によつて主走査方向へ偏向される偏
向ビームB8の娠れ角θ2は±18度になる。
0mm、高さ180mmであり、有効振れ角θ1は±9度、従つ
てガルバノミラー8によつて主走査方向へ偏向される偏
向ビームB8の娠れ角θ2は±18度になる。
凹面鏡15はガルバノミラー8側へその凹面を向けて配置
され、下記の曲率半径を有する球帯状の裏面鏡で構成さ
れている。
され、下記の曲率半径を有する球帯状の裏面鏡で構成さ
れている。
ここで云う球帯状とは、球面の一部を帯状に切り取つた
ものを云う。
ものを云う。
第1面(M1)の曲率半径 −3626.372mm 第2面(M0)の 〃 〃 −3807.674mm 中央部の面間隔 40mm 屈折率 1.52224 焦点距離 fM:1936.057mm ガルバノミラー8はこの裏面鏡15の手前1512.336mmの位
置に配置される。結像用レンズ7のバックフォーカスか
ら、結像用レンズと7とガルバノミラー8との距離を差
引いた値aは1881.922mmであるため、fM≒1.03aとな
る。このようにa≒fMのときには、結像面はほぼ平坦と
なる。
置に配置される。結像用レンズ7のバックフォーカスか
ら、結像用レンズと7とガルバノミラー8との距離を差
引いた値aは1881.922mmであるため、fM≒1.03aとな
る。このようにa≒fMのときには、結像面はほぼ平坦と
なる。
また、この裏面鏡15は第2面(反射面)の手前にヌルレ
ンズを配置したのと同等の機能を有し、第2面M2の曲率
中心とガルバノミラー8の偏向点Zとが一致しないこと
から生ずるコマ収差及び非点収差を補正する機能を有す
る。ちなみに第2面M2の曲率中心はその面から3807.674
mm離れており、ガルバノミラー8の回転軸心(偏向点)
Zは第2面M2から(40+1512.336)mm離れているので、
両者は全く異なる位置である。
ンズを配置したのと同等の機能を有し、第2面M2の曲率
中心とガルバノミラー8の偏向点Zとが一致しないこと
から生ずるコマ収差及び非点収差を補正する機能を有す
る。ちなみに第2面M2の曲率中心はその面から3807.674
mm離れており、ガルバノミラー8の回転軸心(偏向点)
Zは第2面M2から(40+1512.336)mm離れているので、
両者は全く異なる位置である。
ビームスプリッタ11は、ガルバノミラー8と裏面鏡15と
の間に配置され、ガルバノミラー8で偏向されたビーム
B8を透過させるとともに、裏面鏡15で反射されたビーム
B9を投影面Sへ向けて折り曲げるように構成されてい
る。本実施例ではその厚さは45mm、屈折率1.52224であ
り、裏面鏡15の手前47.953mmの位置に配置され、このビ
ームスプリッタ11の下面から投影面Sまでの距離は199.
042mmに設定されている。
の間に配置され、ガルバノミラー8で偏向されたビーム
B8を透過させるとともに、裏面鏡15で反射されたビーム
B9を投影面Sへ向けて折り曲げるように構成されてい
る。本実施例ではその厚さは45mm、屈折率1.52224であ
り、裏面鏡15の手前47.953mmの位置に配置され、このビ
ームスプリッタ11の下面から投影面Sまでの距離は199.
042mmに設定されている。
上記走査光学系では、ガルバノミラー8の振れ角θ=±
9度に対応して、投影面S上での走査長が±500mm、す
なわち有効走査長1000mmになり、その結像ビームのスポ
ット径が半値全幅で5.5μmになる。
9度に対応して、投影面S上での走査長が±500mm、す
なわち有効走査長1000mmになり、その結像ビームのスポ
ット径が半値全幅で5.5μmになる。
第4図は上記走査光学系による21番ビーム(最も端のビ
ーム)のスポットダイヤグラムを示し、同図A,B及びC
はそれぞれ像高が0mm、350mm、500mmの位置のものを示
す。これらの図のフレームサイズは縦横とも10μmであ
り、結像スポットの横収差が最大でも±4μm程度であ
ることが判る。
ーム)のスポットダイヤグラムを示し、同図A,B及びC
はそれぞれ像高が0mm、350mm、500mmの位置のものを示
す。これらの図のフレームサイズは縦横とも10μmであ
り、結像スポットの横収差が最大でも±4μm程度であ
ることが判る。
また、この場合のストレール比はいずれのビームについ
ても、0.90を上回り、また、副走査方向に21個並んだ結
像スポットのピッチ変動は像高500mmの位置で2.2%(5.
5μm×0.022=0.12μm)にすぎず、極めて優れた走査
光学系であることが判る。
ても、0.90を上回り、また、副走査方向に21個並んだ結
像スポットのピッチ変動は像高500mmの位置で2.2%(5.
5μm×0.022=0.12μm)にすぎず、極めて優れた走査
光学系であることが判る。
第2の実施例 この実施例は、第1の実施例と同様の基本構成を有しな
がらも、有効走査長が420mm、結像スポット径が半値全
幅で3μmとなるように、各光学素子が以下に示すよう
な値に設定されている。
がらも、有効走査長が420mm、結像スポット径が半値全
幅で3μmとなるように、各光学素子が以下に示すよう
な値に設定されている。
結像用レンズ7は第5図に示すように3枚のレンズから
成り、このレンズ7の設定データは次の通りである。
成り、このレンズ7の設定データは次の通りである。
ガルバノミラー8は、結像用レンズ7の後方167mmで、
裏面鏡15の手前811.723mmの位置に配置され、結像用レ
ンズ7のバックフォーカスから結像用レンズ7とガルバ
ノミラー8との距離を差引いた値aが1008.812mmとなる
ように設定されている。ガルバノミラー8の振れ角θは
±7度である。
裏面鏡15の手前811.723mmの位置に配置され、結像用レ
ンズ7のバックフォーカスから結像用レンズ7とガルバ
ノミラー8との距離を差引いた値aが1008.812mmとなる
ように設定されている。ガルバノミラー8の振れ角θは
±7度である。
裏面鏡15の設定データは次の通りである。
第1面(M1)の曲率半径 −1995.230mm 第2面(M2)の曲率半径 −2019.7780mm 中央部の面間隔 30mm 屈折率 1.52224 焦点距離 fM:1003.275mm ちなみに本実施例ではfM=0.995aになている。
なお、この実施例では第1の実施例のビームスプリッタ
11に代えて同様の機能を有する薄膜製ハーフミラーが裏
面鏡より50mm手前で投影面より81.188mm離間させて配置
されている。
11に代えて同様の機能を有する薄膜製ハーフミラーが裏
面鏡より50mm手前で投影面より81.188mm離間させて配置
されている。
この第2の実施例では、ガルバノミラー8の振れ角θ=
±7度に対応して投影面S上での有効走査長が420mmと
なり、その結像スポット径が半値全幅で3μmになる。
±7度に対応して投影面S上での有効走査長が420mmと
なり、その結像スポット径が半値全幅で3μmになる。
第6図は第2の実施例による21番ビームのスポットダイ
ヤグラムを示し、同図A,B,Cはそれぞれ像高が0mm、147m
m、210mmのものを示す。これらの図のフレームサイズは
縦横とも10μmであり、結像スポットの横収差が最大で
も±2μm以内であることが判る。またストレール比は
0.96を上回り、副走査方向に21個並んだ結像スポットの
ピッチ変動は像高210mmで1.4%にすぎず、優れた走査光
学系であることが判る。
ヤグラムを示し、同図A,B,Cはそれぞれ像高が0mm、147m
m、210mmのものを示す。これらの図のフレームサイズは
縦横とも10μmであり、結像スポットの横収差が最大で
も±2μm以内であることが判る。またストレール比は
0.96を上回り、副走査方向に21個並んだ結像スポットの
ピッチ変動は像高210mmで1.4%にすぎず、優れた走査光
学系であることが判る。
第3の実施例 この実施例は、第1の実施例と同様の基本構成を有しな
がらも、第7図及び第8図に示すようにガルバノミラー
8で偏向した光ビームB8を直接裏面鏡15へ入射させ、ビ
ームスプリッタ(ハーフミラー)による光量の損失を無
くした点が上記第1及び第2の実施例と異なる。そのた
めに、第8図示のように、光ビームB8を裏面鏡15へ傾斜
させて入射させている。
がらも、第7図及び第8図に示すようにガルバノミラー
8で偏向した光ビームB8を直接裏面鏡15へ入射させ、ビ
ームスプリッタ(ハーフミラー)による光量の損失を無
くした点が上記第1及び第2の実施例と異なる。そのた
めに、第8図示のように、光ビームB8を裏面鏡15へ傾斜
させて入射させている。
この実施例は有効走査長が560mm、結像スポット径が半
値全幅で5.6μmとなるように、各光学素子が以下に示
すような値に設定されている。
値全幅で5.6μmとなるように、各光学素子が以下に示
すような値に設定されている。
結像用レンズ7は、第7図に示すように2枚のレンズか
ら成り、このレンズ7の設定データは次の通りである。
ら成り、このレンズ7の設定データは次の通りである。
ガルバノミラー8は結像用レンズ7の後方225mmで裏面
鏡15の手前990.845mmの位置に配置され、結像用レンズ
7のバックフォーカスからガルバノミラー8と結像用レ
ンズ7との距離を差引いた値aは1166.645mmとなるよう
に設定されている。ガルバノミラー8の回転軸は鉛直線
と8度傾斜しており、その振れ角θは±8度である。
鏡15の手前990.845mmの位置に配置され、結像用レンズ
7のバックフォーカスからガルバノミラー8と結像用レ
ンズ7との距離を差引いた値aは1166.645mmとなるよう
に設定されている。ガルバノミラー8の回転軸は鉛直線
と8度傾斜しており、その振れ角θは±8度である。
裏面鏡15の設定データは次の通りである。
第1面(M1)の曲率半径 −2291.604mm 第2面(M2)の曲率半径 −2311.511mm 中央部の面間隔 20mm 屈折率 1.52224 焦点距離 fM:1152.281mm ちなみに本実施例ではfM=0.988aになつている。反射面
(M2)の法線は水平面より上方へ7.373度傾斜してい
る。
(M2)の法線は水平面より上方へ7.373度傾斜してい
る。
なお、第3の実施例においては、第1の実施例のビーム
スプリッタ11に代えて全反射ミラー11bが、裏面鏡15の8
0mm前方で投影面Sより50mm離間させて配置されてお
り、このミラー11bの法線は投影面に対して45.18度の角
度をなして設けられている。
スプリッタ11に代えて全反射ミラー11bが、裏面鏡15の8
0mm前方で投影面Sより50mm離間させて配置されてお
り、このミラー11bの法線は投影面に対して45.18度の角
度をなして設けられている。
この第3の実施例ではガルバノミラー8の振れ角θ=±
8度に対応して投影面S上での有効走査長が560mmとな
り、その結像スポット径が半値全幅で5.6μmになる。
8度に対応して投影面S上での有効走査長が560mmとな
り、その結像スポット径が半値全幅で5.6μmになる。
第9図は上記第3の実施例による21番ビームのスポット
ダイヤグラムを示し、同図A,B,Cはそれぞれ像高が0mm、
200mm、280mmのものを示す。これらの図のフレームサイ
ズは縦横とも10μmであり、結像スポットの横収差が最
大でも±3.5μm以内であることが判る。この実施例で
はストレール比は0.90を上回り、結像スポットのピッチ
の変動は像高280mmで1.9%にすぎない。
ダイヤグラムを示し、同図A,B,Cはそれぞれ像高が0mm、
200mm、280mmのものを示す。これらの図のフレームサイ
ズは縦横とも10μmであり、結像スポットの横収差が最
大でも±3.5μm以内であることが判る。この実施例で
はストレール比は0.90を上回り、結像スポットのピッチ
の変動は像高280mmで1.9%にすぎない。
第4の実施例 この実施例は、第1の実施例と同様の基本構成を有しな
がらも、第10図及び第11図に示すように、裏面鏡に代え
て、ヌルレンズ15a及び放物面鏡15bを配置した点が上記
第1の実施例と異なる。この実施例は有効走査長が550m
m、結像スポット径が半値全幅で8.4μmとなるように、
各光学素子が以下に示すような値に設定されている。
がらも、第10図及び第11図に示すように、裏面鏡に代え
て、ヌルレンズ15a及び放物面鏡15bを配置した点が上記
第1の実施例と異なる。この実施例は有効走査長が550m
m、結像スポット径が半値全幅で8.4μmとなるように、
各光学素子が以下に示すような値に設定されている。
結像用レンズ7は第10図に示すように2枚のレンズから
成り、このレンズ7の設定データは次の通りである。
成り、このレンズ7の設定データは次の通りである。
ガルバノミラー8は結像用レンズ7の後方144.083mmで
ヌルレンズ15aの手前663.320mmの位置に配置され、結像
用レンズ7のバックフォーカスから結像用レンズ7とガ
ルバノミラー8との距離を差引いた値aは1100mmとなる
ように設定されており、その振れ角θは±8度である。
ヌルレンズ15aの手前663.320mmの位置に配置され、結像
用レンズ7のバックフォーカスから結像用レンズ7とガ
ルバノミラー8との距離を差引いた値aは1100mmとなる
ように設定されており、その振れ角θは±8度である。
ヌルレンズ15aは放物面鏡15bの手前274.396mmの位置
に、その凹面をガルバノミラー8へ向けて配置され、こ
のヌルレンズ15aは第1図の裏面鏡15と同様の球帯状に
形成され、設定データは次の通りである。
に、その凹面をガルバノミラー8へ向けて配置され、こ
のヌルレンズ15aは第1図の裏面鏡15と同様の球帯状に
形成され、設定データは次の通りである。
放物面鏡15bはその焦点距離fMが1096.694mmに設定され
ており、fM=0.997aになつている。また、ガルバノミラ
ー8からこの放物面鏡15bまでの距離は957.424mmであ
る。
ており、fM=0.997aになつている。また、ガルバノミラ
ー8からこの放物面鏡15bまでの距離は957.424mmであ
る。
薄膜製ハーフミラー11aは放物面鏡15bの50mm手前で、投
影面Sの上方89.225mmの位置に設定されている。
影面Sの上方89.225mmの位置に設定されている。
この第4の実施例ではヌルレンズ15aを用いることによ
り放物面鏡15bによつて生ずるコマ収差及び非点収差を
補正するよう構成されている。
り放物面鏡15bによつて生ずるコマ収差及び非点収差を
補正するよう構成されている。
第12図は上記第4の実施例による21番ビームのスポット
ダイヤグラムを示し、同図A,B,Cはそれぞれ像高が0mm、
200mm、275mmのものを示す。これらの図のフレームサイ
ズは縦横とも20μmであり、結像スポット径の横収差は
最大でも±5μm以内であることが判る。この実施例で
はストレール比は0.92を上回り、結像スポットのピッチ
変動は像高275mmで2.0%にすぎない。
ダイヤグラムを示し、同図A,B,Cはそれぞれ像高が0mm、
200mm、275mmのものを示す。これらの図のフレームサイ
ズは縦横とも20μmであり、結像スポット径の横収差は
最大でも±5μm以内であることが判る。この実施例で
はストレール比は0.92を上回り、結像スポットのピッチ
変動は像高275mmで2.0%にすぎない。
第5の実施例 この実施例は第4の実施例と同様の構成を有しながら
も、ヌルレンズ15a及び放物面鏡15bが、球帯状のもでは
なく、第14図にその断面図を示す如く、円筒の一部を筒
帯状に形成している点が異なる。この実施例は有効走査
長が560mm、結像スポット径が半値全幅で9.2μmとなる
ように、各光学素子が以下に示すような値に設定されて
いる。
も、ヌルレンズ15a及び放物面鏡15bが、球帯状のもでは
なく、第14図にその断面図を示す如く、円筒の一部を筒
帯状に形成している点が異なる。この実施例は有効走査
長が560mm、結像スポット径が半値全幅で9.2μmとなる
ように、各光学素子が以下に示すような値に設定されて
いる。
結像用レンズ及びガルバノミラーは第4の実施例と同一
のものが同じ位置に配置され、結像用レンズのバックフ
ォーカスから、結像用レンズとガルバノミラーとの距離
を差引いた値aは1100mmである。
のものが同じ位置に配置され、結像用レンズのバックフ
ォーカスから、結像用レンズとガルバノミラーとの距離
を差引いた値aは1100mmである。
ヌルレンズ15aは上記筒帯状のものがガルバノミラー8
の後方654.305mm、放物面鏡15bの手前335.742mmの位置
に、をの凹面をガルバノミラー8へ向けて配置され、そ
の設定データは次の通りである。
の後方654.305mm、放物面鏡15bの手前335.742mmの位置
に、をの凹面をガルバノミラー8へ向けて配置され、そ
の設定データは次の通りである。
放物面鏡15bは前記した如く、筒帯状のものでその焦点
距離fMが1000mmに設定されており、fM=0.91aになつて
いる。
距離fMが1000mmに設定されており、fM=0.91aになつて
いる。
薄膜ハーフミラー11aは放物面鏡15bの50mm手前で、投影
面Sの上方50mmの位置に設定されている。
面Sの上方50mmの位置に設定されている。
第13図は上記第5の実施例による21番ビームのスポット
ダイヤグラムを示し、同図A,B,Cはそれぞれ像高0mm、20
0mm、280mmのものを示す。これらの図のフレームサイズ
は縦横とも30μmであり、結像スポット径の横収差は最
大でも±7μm程度であることが判る。この実施例では
ストレール比は0.90を上回り、結像スポットのピッチ変
動は像高275mmで0.026%に過ぎない。その理由は筒帯状
の放物面鏡15bを用いることにより、ガルバノミラーか
ら投影面Sまでの光路長を偏向角にかかわらずほぼ一定
としたためである。
ダイヤグラムを示し、同図A,B,Cはそれぞれ像高0mm、20
0mm、280mmのものを示す。これらの図のフレームサイズ
は縦横とも30μmであり、結像スポット径の横収差は最
大でも±7μm程度であることが判る。この実施例では
ストレール比は0.90を上回り、結像スポットのピッチ変
動は像高275mmで0.026%に過ぎない。その理由は筒帯状
の放物面鏡15bを用いることにより、ガルバノミラーか
ら投影面Sまでの光路長を偏向角にかかわらずほぼ一定
としたためである。
上記した実施例は、結像用レンズ7に入射するビームが
コリメータレンズ6によつて平面波になつているため、
結像用レンズ7の最終面とそのレンズによるビームウエ
ストまでの距離は、結像用レンズ7のバックフォーカス
に等しい。そこで結像用レンズのバックフォーカスから
結像用レンズとガルバノミラーとの距離を差引いた値を
a、凹面鏡の焦点距離をfM、ガラバノミラーから凹面鏡
までの距離をb、凹面鏡を裏面鏡で構成した際の、第1
面の曲率半径をr1、第2面(反射面)の曲率半径をr2、
ヌルレンズの焦点距離をfNとすれば、各実施例における
値は以下の表の如くなる。
コリメータレンズ6によつて平面波になつているため、
結像用レンズ7の最終面とそのレンズによるビームウエ
ストまでの距離は、結像用レンズ7のバックフォーカス
に等しい。そこで結像用レンズのバックフォーカスから
結像用レンズとガルバノミラーとの距離を差引いた値を
a、凹面鏡の焦点距離をfM、ガラバノミラーから凹面鏡
までの距離をb、凹面鏡を裏面鏡で構成した際の、第1
面の曲率半径をr1、第2面(反射面)の曲率半径をr2、
ヌルレンズの焦点距離をfNとすれば、各実施例における
値は以下の表の如くなる。
ただし、第4実施例におけるヌルレンズの焦点距離fNは fN=1.05×105mm、 第5実施例におけるヌルレンズの焦点距fNはfN=1.17×
105mmである。また、ガルバノミラーからヌルレンズま
での距離をcとすれば、第4実施例においてはc/a=0.6
0、第5実施例においてはc/a=0.59である。
105mmである。また、ガルバノミラーからヌルレンズま
での距離をcとすれば、第4実施例においてはc/a=0.6
0、第5実施例においてはc/a=0.59である。
第6の実施例 この実施例は、前記した第1の実施例(第1図)の走査
光学系と実質的に同様であり、前記した実施例との相違
点はフィールドレンズ4およびコリメータレンズ6を使
用しない点にある。
光学系と実質的に同様であり、前記した実施例との相違
点はフィールドレンズ4およびコリメータレンズ6を使
用しない点にある。
本実施例に使用される結像用レンズ7′は、第15図に示
すように3枚のレンズから成り、このレンズ7の設定デ
ータは次の通りである。
すように3枚のレンズから成り、このレンズ7の設定デ
ータは次の通りである。
この結像用レンズ7′は変調器3の出射面から2103.302
mmの距離に配置されている。
mmの距離に配置されている。
変調器3で変調された各レーザ光ビームが変調器3の出
射面でビームウェストを形成し、そのビームウェストの
径が半値全幅で5.5μmと仮定すると、結像レンズ7′
により、該レンズ7′の最終面から2109.704mmの位置に
半値全幅5.5μmのビームウェストが形成される。
射面でビームウェストを形成し、そのビームウェストの
径が半値全幅で5.5μmと仮定すると、結像レンズ7′
により、該レンズ7′の最終面から2109.704mmの位置に
半値全幅5.5μmのビームウェストが形成される。
このことは、結像用レンズ7′によつて形成されるビー
ムウェストの位置が第1の実施例に使用された結像用レ
ンズ7のバックフォーカスに相当することを示してい
る。したがつて、結像用レンズ7′から227.782mmの位
置にガルバノミラー8を配置することにより、複製画像
は第1の実施例と実質的に同一の方法で記録することが
できる。
ムウェストの位置が第1の実施例に使用された結像用レ
ンズ7のバックフォーカスに相当することを示してい
る。したがつて、結像用レンズ7′から227.782mmの位
置にガルバノミラー8を配置することにより、複製画像
は第1の実施例と実質的に同一の方法で記録することが
できる。
上記した実施例は、いずれも複数本の光ビームで所望の
複製画像を記録する場合について記載したが、単一の光
ビームで記録する場合も、上記実施例の複数本の光ビー
ムのうち中心の光ビームを単一の光ビームと想定すれば
全く同様であり、当然のことながら光分波変調器は不要
で、これに換えて例えば単一チャンネルの音響光学光変
調器を使用すれば良いことは勿論である。
複製画像を記録する場合について記載したが、単一の光
ビームで記録する場合も、上記実施例の複数本の光ビー
ムのうち中心の光ビームを単一の光ビームと想定すれば
全く同様であり、当然のことながら光分波変調器は不要
で、これに換えて例えば単一チャンネルの音響光学光変
調器を使用すれば良いことは勿論である。
《発明の効果》 以上の説明から明らかなように、本発明に係る走査光学
系は前記のような構成され作用することから、次のよう
に優れた効果を奏する。
系は前記のような構成され作用することから、次のよう
に優れた効果を奏する。
イ.凹面鏡として裏面鏡を用いること、又は凹面鏡の手
前にヌルレンズを付設することにより、反射凹面で生ず
るコマ収差及び非点収差を補正するようにしたから、有
効走査長を十分大きくしながらも、投影面上での結像ス
ポット径を3〜10μm程度の微細なものにすることがで
きる。
前にヌルレンズを付設することにより、反射凹面で生ず
るコマ収差及び非点収差を補正するようにしたから、有
効走査長を十分大きくしながらも、投影面上での結像ス
ポット径を3〜10μm程度の微細なものにすることがで
きる。
これにより、記録サイズの大きい、しかも高解像力を有
する画像走査記録装置を実現することができる。
する画像走査記録装置を実現することができる。
ロ.また、偏向器としてガルバノミラーを用い、結像用
レンズの最終面とそのレンズによる結像点との距離か
ら、結像用レンズの最終面とガルバノミラーの距離を差
引いた値と、凹面鏡の焦点距離とがほぼ等しく配設する
ことにより、像面湾曲を極めて小さくすることができ、
fθレンズを用いるものでは実施困難なものを本発明で
は容易に実施することができる。
レンズの最終面とそのレンズによる結像点との距離か
ら、結像用レンズの最終面とガルバノミラーの距離を差
引いた値と、凹面鏡の焦点距離とがほぼ等しく配設する
ことにより、像面湾曲を極めて小さくすることができ、
fθレンズを用いるものでは実施困難なものを本発明で
は容易に実施することができる。
第1図は本発明の第1の実施例を模式的に示す走査光学
系の斜視図、第2図はその要部平面図、第3図は同じく
要部側面図、第4図は第1の実施例によるスポットダイ
ヤグラム、第5図は第2の実施例による走査光学系の要
部平面図、第6図は第2の実施例によるスポットダイヤ
グラム、第7図は第3の実施例による走査光学系の要部
平面図、第8図はその側面図、第9図は第3の実施例に
よるスポットダイヤグラム、第10図は第4の実施例によ
る走査光学系の要部平面図、第11図はその側面図、第12
図及び第13図はそれぞれ第4の実施例及び第5の実施例
によるスポットダイヤグラム、第14図はヌルレンズの断
面図、第15図は第6の実施例による走査光学系の要部断
面図である。 1…レーザ光源、3…ビーム分割式多チャンネル型変調
器、7…結像用レンズ(対物レンズ)、8…ガルバノミ
ラー、15…凹面鏡(裏面鏡)、15a…ヌルレンズ、15b…
放物面鏡。
系の斜視図、第2図はその要部平面図、第3図は同じく
要部側面図、第4図は第1の実施例によるスポットダイ
ヤグラム、第5図は第2の実施例による走査光学系の要
部平面図、第6図は第2の実施例によるスポットダイヤ
グラム、第7図は第3の実施例による走査光学系の要部
平面図、第8図はその側面図、第9図は第3の実施例に
よるスポットダイヤグラム、第10図は第4の実施例によ
る走査光学系の要部平面図、第11図はその側面図、第12
図及び第13図はそれぞれ第4の実施例及び第5の実施例
によるスポットダイヤグラム、第14図はヌルレンズの断
面図、第15図は第6の実施例による走査光学系の要部断
面図である。 1…レーザ光源、3…ビーム分割式多チャンネル型変調
器、7…結像用レンズ(対物レンズ)、8…ガルバノミ
ラー、15…凹面鏡(裏面鏡)、15a…ヌルレンズ、15b…
放物面鏡。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 勝山 幹三 京都府京都市上京区堀川通寺之内上る4丁 目天神北町1番地の1 大日本スクリーン 製造株式会社内
Claims (2)
- 【請求項1】光ビームを出射する光源と、前記光源から
の光ビームを投影面に結像する結像用レンズと、前記結
像用レンズと前記投影面との間に設けられ、前記結像用
レンズによって結像される光ビームを主走査方向へ偏向
するガルバノミラーと、前記ガルバノミラーと前記投影
面との間に配置され、主走査方向へ偏向された光ビーム
を前記投影面へ向けて反射する凹面鏡と、を具備する画
像走査記録装置の走査光学系において、 前記凹面鏡を裏面鏡とし、かつ、 0.8×a<fM<1.1×a (1) 0.7×a<b<a (2) 但し、aは結像用レンズの最終面とそのレンズによる結
像点との距離から結像用レンズの最終面とガルバノミラ
ーとの距離を差し引いた値、 bはガルバノミラーから凹面鏡までの距離、 fMは凹面鏡の焦点距離、 を満足することを特徴とする画像走査記録装置の走査光
学系。 - 【請求項2】光ビームを出射する光源と、前記光源から
の光ビームを投影面に結像する結像用レンズと、前記結
像用レンズと前記投影面との間に設けられ、前記結像用
レンズによって結像される光ビームを主走査方向へ偏向
するガルバノミラーと、前記ガルバノミラーと前記投影
面との間に配置され、主走査方向へ偏向された光ビーム
を前記投影面へ向けて反射する凹面鏡と、を具備する画
像走査記録装置の走査光学系において、 前記ガルバノミラーと前記凹面鏡との間に前記ガルバノ
ミラーに凹面を向けたヌルレンズを配置し、かつ、 0.8×a<fM<1.1×a (3) 0.7×a<b<a (4) 0.5×a<c<a (5) 但し、aは結像用レンズの最終面とそのレンズによる結
像点との距離から結像用レンズの最終面とガルバノミラ
ーとの距離を差し引いた値、 bはガルバノミラーから凹面鏡までの距離、 cはガルバノミラーからヌルレンズまでの距離、 fMは凹面鏡の焦点距離、 を満足し、前記ヌルレンズの焦点距離が前記aに比べて
充分長いことを特徴とする画像走査記録装置の走査光学
系。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63098850A JPH0670689B2 (ja) | 1987-04-24 | 1988-04-20 | 画像走査記録装置の走査光学系 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10283687 | 1987-04-24 | ||
JP62-102836 | 1987-04-24 | ||
JP63098850A JPH0670689B2 (ja) | 1987-04-24 | 1988-04-20 | 画像走査記録装置の走査光学系 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6438716A JPS6438716A (en) | 1989-02-09 |
JPH0670689B2 true JPH0670689B2 (ja) | 1994-09-07 |
Family
ID=26439958
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63098850A Expired - Lifetime JPH0670689B2 (ja) | 1987-04-24 | 1988-04-20 | 画像走査記録装置の走査光学系 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0670689B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5724850A (en) * | 1993-03-26 | 1998-03-10 | Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha | Rear fork for a motorcycle |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5625712A (en) * | 1979-08-10 | 1981-03-12 | Toshiba Corp | Scanning optical device |
JPS5862615A (ja) * | 1981-10-09 | 1983-04-14 | Fujitsu Ltd | 光走査装置 |
JPS60186821A (ja) * | 1984-02-08 | 1985-09-24 | ライノタイプ・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクタ−・ハフツング | 光学的に平らなベツドの走査装置 |
-
1988
- 1988-04-20 JP JP63098850A patent/JPH0670689B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5625712A (en) * | 1979-08-10 | 1981-03-12 | Toshiba Corp | Scanning optical device |
JPS5862615A (ja) * | 1981-10-09 | 1983-04-14 | Fujitsu Ltd | 光走査装置 |
JPS60186821A (ja) * | 1984-02-08 | 1985-09-24 | ライノタイプ・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクタ−・ハフツング | 光学的に平らなベツドの走査装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6438716A (en) | 1989-02-09 |
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