JPH06698Y2 - Clean room pollution prevention manifold - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、クリーンルーム等の清浄空間内に配置される
とともに流体機器が接続されるマニホールドからクリー
ンルーム内への流体の漏れを防止するようにしたクリー
ンルーム汚染防止用マニホールドに関する。[Detailed Description of the Invention] [Industrial field of application] The present invention is designed to prevent fluid from leaking into a clean room from a manifold arranged in a clean space such as a clean room and connected to fluid equipment. A clean room pollution prevention manifold.

［従来の技術］ 第５図は、外部環境から遮蔽されたクリーンルームＲ内
に配置され、弁等の流体機器３が接続されたマニホール
ドつまりサブベース１を示す図であり、マニホールド１
の流体供給ポート１１ａには外部環境に配置された流体
供給源１０が流体供給流路１１により接続されている。
これにより、弁等の流体機器３を介して図示しないシリ
ンダに流体が供給されるようになっている。[Prior Art] FIG. 5 is a view showing a manifold, that is, a sub-base 1, which is arranged in a clean room R shielded from an external environment and to which a fluid device 3 such as a valve is connected.
A fluid supply source 10 arranged in the external environment is connected to the fluid supply port 11a of FIG.
As a result, fluid is supplied to a cylinder (not shown) via the fluid device 3 such as a valve.

このようなマニホールドつまりサブベースへの接続構造
は、通常、マニホールド１と弁等の流体機器３とが図示
しないシール部材を介して接続されている。In such a connection structure to a manifold, that is, a sub-base, the manifold 1 and the fluid device 3 such as a valve are usually connected via a seal member (not shown).

そして、たとえばこの接続構造に適用されるシール部材
は、複数の内側シール部と、これらの内側シール部の外
周囲に形成され該内側シール部を囲っている外側シール
部とを有していて、マニホールド等と流体機器との夫々
の流体ポートどうしの接続部位が内側シールによって直
接的にシールされ、またマニホールド等と流体機器との
接続部位の対向面に夫々外側シール部が密接されて該部
位がシールされている。And, for example, the seal member applied to this connection structure has a plurality of inner seal portions and an outer seal portion formed around the inner seal portions and surrounding the inner seal portions, The connection part between the fluid ports of the manifold etc. and the fluid device is directly sealed by the inner seal, and the outer seal part is brought into close contact with the facing surface of the connection part of the manifold etc. and the fluid device, respectively. It is sealed.

［考案が解決しようとする課題］ しかしながら、前記した接続構造は、そのシール部材か
ら外部に流体漏れが生じると、該漏れ流体によってクリ
ーンルーム等の清浄空間が汚染されるという問題点があ
る。[Problems to be Solved by the Invention] However, the above-described connection structure has a problem that when a fluid leaks from the seal member to the outside, a clean space such as a clean room is contaminated by the leaked fluid.

ところで、空気圧等のシール部材からの流体漏れは、通
常、製品出荷検査時や定期点検時等において、シール部
材の外周囲に石鹸液等を塗布して検査される。By the way, leakage of fluid such as air pressure from the seal member is usually inspected by applying a soap solution or the like to the outer periphery of the seal member at the time of product shipment inspection or regular inspection.

しかし、前記した接続構造は、シール部材が介設された
マニホールド等と流体機器との接続部位の対向面の間が
極めて狭いため、石鹸液等の塗布による流体漏れの検査
が困難である。However, in the above-described connection structure, it is difficult to inspect for fluid leakage due to application of soap solution or the like, because the distance between the opposing surfaces of the connection portion between the manifold and the fluid device with the seal member interposed therebetween is extremely small.

このため、流体漏れに気付かずに、あるいは流体漏れの
発見が遅れて、クリーンルーム等の清浄空間が該流体漏
れによって著しく汚染されるという特有の問題点もあ
る。Therefore, there is a peculiar problem that a clean space such as a clean room is significantly contaminated by the fluid leak without noticing the fluid leak or delaying the discovery of the fluid leak.

本考案の目的は、流体漏れによるクリーンルーム等の清
浄空間の汚染を容易かつ確実に防止することができるよ
うにすることにある。An object of the present invention is to easily and surely prevent contamination of a clean space such as a clean room due to fluid leakage.

［課題を解決するための手段］ 本考案は、流体機器が接続されるマニホールドに流体給
排ポートを形成し、前記流体機器を前記マニホールドと
共に、外部環境に対して遮蔽されたクリーンルーム内に
配置するようにしたクリーンルーム汚染防止用マニホー
ルドであって、前記流体機器に形成された流体ポートに
対向させて前記マニホールドに形成された流体ポートと
前記流体給排ポートと連通させる流路を前記マニホール
ド内に形成すると共に、前記外部環境に配置された流体
供給源と前記流体給排ポートとを流体給排流路により接
続し、前記両流体ポートとの接続部をシールする内側シ
ール部とこの内側シール部の外側に形成された外側シー
ル部とを有するシール部材を前記流体機器と前記マニホ
ールドとの間に設け、前記内側シール部と前記外側シー
ル部との間の空間に連通された排気ポートと前記外部環
境との間に、前記内側シール部から漏出した流体を前記
クリーンルームに対して遮蔽させて前記外部環境に排出
する流体排出流路を接続したことを特徴とするクリーン
ルーム汚染防止用マニホールドである。[Means for Solving the Problems] The present invention forms a fluid supply / discharge port in a manifold to which a fluid device is connected, and arranges the fluid device together with the manifold in a clean room shielded from the external environment. In the clean room pollution prevention manifold, a flow path is formed in the manifold so as to face the fluid port formed in the fluid device and communicate with the fluid port formed in the manifold and the fluid supply / discharge port. In addition, an inner seal portion for connecting a fluid supply source arranged in the external environment and the fluid supply / discharge port by a fluid supply / discharge passage, and sealing a connection portion with the both fluid ports, and an inner seal portion A seal member having an outer seal portion formed on the outer side is provided between the fluid device and the manifold, and the inner seal portion is provided. A fluid discharge flow that shields the fluid leaking from the inner seal portion from the clean room between the exhaust port communicating with the space between the outer seal portion and the external environment and discharges the fluid to the external environment. This is a clean room pollution prevention manifold characterized by connecting roads.

［作用］ 前記した手段によれば、マニホールドないしサブベース
と流体機器との夫々の流体ポートの接続部位から漏出し
た流体は、前記内側シール部と外側シール部との間の空
間を通じて排出ポートから、クリーンルーム等の外部に
確実に排出されるので、流体漏れによるクリーンルーム
等の清浄空間の汚染を容易かつ確実に防止することがで
きる。[Operation] According to the above-mentioned means, the fluid leaked from the connection portion of the fluid ports of the manifold or the sub-base and the fluid device is discharged from the discharge port through the space between the inner seal portion and the outer seal portion, Since it is surely discharged to the outside of the clean room or the like, it is possible to easily and surely prevent contamination of the clean space such as the clean room or the like due to fluid leakage.

［実施例１］ 第１図は本考案の一実施例であるクリーンルーム汚染防
止用マニホールドを一部切欠して示す平面図、第２図は
第１図のII-II線における断面図である。[Embodiment 1] FIG. 1 is a partially cutaway plan view of a clean room pollution prevention manifold according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a sectional view taken along line II-II in FIG.

本実施例は、ブロツク状のマニホールド１と、このマニ
ホールド１にシール部材２を介して接続される電磁弁等
の弁３（流体機器）とを備えており、マニホールド１は
弁３と一体となって第５図に示すようにクリーンルーム
Ｒ内に配置されている。This embodiment includes a block-shaped manifold 1 and a valve 3 (fluid device) such as a solenoid valve connected to the manifold 1 via a seal member 2, and the manifold 1 is integrated with the valve 3. As shown in FIG. 5, it is arranged in a clean room R.

前記マニホールド１の上面には、入口ポート１ａ（流体
ポート）と、排気ポート１ｂ，１ｃ（流体ポート）と、
一対のねじ螺合孔１ｄと、一対の漏れ流体排出用ポート
一ｅとが各３組開設され、３組の弁３が夫々接続される
構造とされている。On the upper surface of the manifold 1, an inlet port 1a (fluid port), exhaust ports 1b and 1c (fluid port),
A pair of screw-threaded holes 1d and a pair of leak fluid discharge ports 1e are provided for each three sets, and three sets of valves 3 are connected to each other.

また、第２図に示すように、マニホールド１の内部に
は、流入路１ｆと、流出路１ｇ，１ｈと、一対の漏れ流
体排出用の排出路１ｉとが該マニホールド１の長手方向
に沿って互いに平行して延在され、夫々が該マニホール
ド１の端面で開口されていて、第１図に示すようにその
排出路１ｉの開口部が流体漏れ排出用の排出ポート４と
されている。流入路１ｆは第５図に示す流体給気ポート
１１ａに接続された流体供給流路１１により流体圧源１
０に接続され、流出路１ｇ，１ｈはそれぞれ図示しない
流体排気ポートに接続された流体排気流路により外部環
境に開口され、排出ポート４は二点鎖線で示す流体排出
流路１３により外部環境に開口されている。In addition, as shown in FIG. 2, inside the manifold 1, an inflow passage 1f, outflow passages 1g and 1h, and a pair of discharge passages 1i for discharging the leaked fluid are arranged along the longitudinal direction of the manifold 1. The manifolds 1 extend in parallel with each other and are opened at the end face of the manifold 1, and as shown in FIG. 1, the discharge passage 1i has an opening serving as a discharge port 4 for discharging a fluid leak. The inflow passage 1f is connected to the fluid supply port 11a shown in FIG.
0, and the outflow passages 1g and 1h are opened to the external environment by the fluid exhaust flow paths connected to the fluid exhaust ports (not shown), and the exhaust port 4 is opened to the external environment by the fluid exhaust flow path 13 shown by the two-dot chain line It is open.

各組の入口ポート１ａ、排気ポート１ｂ，１ｃ、一対の
排出ポート１ｅは、夫々流入路１ｆ、流出１ｇ，１ｈ、
一対の排出路１ｉに連通されている。The inlet port 1a, the exhaust ports 1b and 1c, and the pair of exhaust ports 1e of each set respectively include an inflow passage 1f, an outflow 1g and 1h,
It communicates with the pair of discharge paths 1i.

前記弁３の下面には、マニホールド１の一組の入口ポー
ト１ａ、排気ポート１ｂ，１ｃに夫々接続される図示し
ない入口ポート（流体ポート）、一対の排気ポート（流
体ポート）が開設されている。On the lower surface of the valve 3, an inlet port (fluid port) and a pair of exhaust ports (fluid ports), which are not shown, respectively connected to a pair of inlet ports 1a, exhaust ports 1b, 1c of the manifold 1 are opened. .

前記シール部材２は、たとえば合成ゴム、樹脂等の弾性
材製とされ、矩形板状の主体部２ａと、この主体部２ａ
の略中央長手方向に沿って穿設されている流通孔２ｂ，
２ｃ，２ｄと、主体部２ａの略対角線上の角部に穿設さ
れている一対のねじ孔２ｅとを備えている。また、シー
ル部材２の主体部２ａには、マニホールド１の漏れ流体
排出用ポート１ｅに夫々対向する位置に一対の連通孔２
ｆが穿設されている。The seal member 2 is made of an elastic material such as synthetic rubber or resin, and has a rectangular plate-shaped main body 2a and the main body 2a.
A through hole 2b formed along the substantially central longitudinal direction of the
2c and 2d, and a pair of screw holes 2e formed at corners of the main body 2a on a substantially diagonal line. Further, the main body portion 2a of the seal member 2 has a pair of communication holes 2 at positions facing the leak fluid discharge ports 1e of the manifold 1, respectively.
f is provided.

主体部２ａの一面には、リング状の内側シール部２ｇ，
２ｈ，２ｉと、外側シール部２ｊとが凸設されている。On one surface of the main body 2a, a ring-shaped inner seal portion 2g,
2h and 2i and the outer seal portion 2j are provided in a protruding manner.

内側シール部２ｇ，２ｈ，２ｉは、夫々流通孔２ｂ，２
ｃ，２ｄの開口端縁沿って形成されている。The inner seal portions 2g, 2h, 2i are respectively provided with the through holes 2b, 2
It is formed along the opening edges of c and 2d.

外側シール部２ｊは、内側シール部２ｇ，２ｈ，２ｉと
連通孔２ｆを所定の間隔をおいて囲むように主体部２ａ
の外周囲附近に形成されている。The outer seal portion 2j surrounds the inner seal portions 2g, 2h, 2i and the communication hole 2f at a predetermined interval so as to surround the main body portion 2a.
It is formed near the outer periphery of.

シール部材２の他面は、前記したシール部材２の一面と
同様に、内側シール部２ｇ，２ｈ，２ｉと、外側シール
部２ｊとが夫々形成されている。The other surface of the seal member 2 is formed with the inner seal portions 2g, 2h, 2i and the outer seal portion 2j, respectively, similarly to the one surface of the seal member 2 described above.

このような構造のシール部材２は、マニホールド１と各
弁３との接続部位に介設され、該マニホールド１と各弁
３とがねじ５の締結によって、すなわち弁３に螺合され
たねじ５がシール部材２のねじ孔２ｅを貫通しマニホー
ルド１のねじ螺合孔１ｄに螺合されて接続されている。The seal member 2 having such a structure is provided at a connection portion between the manifold 1 and each valve 3, and the manifold 1 and each valve 3 are fastened by the screw 5, that is, the screw 5 screwed to the valve 3. Penetrates the screw hole 2e of the seal member 2 and is screwed and connected to the screw screw hole 1d of the manifold 1.

第２図に示すように、この接続状態においてマニホール
ド１の入口ポート１ａと弁３の入口ポート（図示せず）
とがシール部材２の流通孔２ｃを通じて連通されて接続
され、その接続部位が内側シール部２ｈによってシール
されている。As shown in FIG. 2, in this connection state, the inlet port 1a of the manifold 1 and the inlet port of the valve 3 (not shown)
And are communicated with each other through the flow hole 2c of the seal member 2 to be connected to each other, and the connecting portion is sealed by the inner seal portion 2h.

同様に、マニホールド１の排出ポート１ｂ，１ｃと弁３
の一対の排気ポート（図示せず）とがシール部材２の流
通孔２ｂ，２ｄを通じて夫々連通されて接続され、それ
らの接続部位が内側シール部２ｇ，２ｉによってシール
されている。Similarly, the exhaust ports 1b and 1c of the manifold 1 and the valve 3
And a pair of exhaust ports (not shown) are communicated with each other through the flow holes 2b and 2d of the seal member 2 and are connected to each other, and their connecting portions are sealed by the inner seal portions 2g and 2i.

一方、外側シール部２ｊは、マニホールド１と弁３との
接続部位の対向面に夫々密接されて該部位をシールして
いる。On the other hand, the outer seal portions 2j are in close contact with the facing surfaces of the connection portion between the manifold 1 and the valve 3 to seal the portion.

そして、弁３側における内側シール部２ｇ，２ｈ，２ｉ
と外側シール部２ｊとの間に空間６ａが形成され、ま
た、マニホールド１側における内側シール部２ｇ，２
ｈ，２ｉと外側シール部２ｊとの間に空間６ｂが形成さ
れ、これらの空間６ａ，６ｂが連通孔２ｆを通じて連通
されている。Then, the inner seal portions 2g, 2h, 2i on the valve 3 side
6a is formed between the outer seal portion 2j and the outer seal portion 2j, and the inner seal portions 2g, 2 on the manifold 1 side are formed.
A space 6b is formed between the h and 2i and the outer seal portion 2j, and these spaces 6a and 6b are communicated with each other through the communication hole 2f.

また、空間６ａが連通孔２ｆと空間６ｂと漏れ流体排出
用ポート１ｅと排出路１ｉとを通じて、また区間６ｂが
漏れ流体排出用ポート１ｅと排出路１ｉとを通じて夫々
排出ポート４に連通されている。The space 6a is connected to the discharge port 4 through the communication hole 2f, the space 6b, the leak fluid discharge port 1e, and the discharge passage 1i, and the section 6b is connected to the discharge fluid 4 through the leak fluid discharge port 1e and the discharge passage 1i. .

次に、本実施例の作用について説明する。Next, the operation of this embodiment will be described.

本実施例の接続構造において、いずれかのシール部材２
の内側シール部２ｇ，２ｈ，２ｉから空気圧漏れが生じ
ていれば、その空気圧は該シール部材２の空気圧漏れ側
の空間６ａないし空間６ｂに漏出する。In the connection structure of this embodiment, any one of the seal members 2
If air pressure leaks from the inner seal portions 2g, 2h, 2i, the air pressure leaks into the space 6a or the space 6b on the air pressure leak side of the seal member 2.

そして、空間６ａに漏出した空気圧は、連通孔２ｆと空
間６ｂと漏れ流体排出用ポート１ｅと排出路１ｉとを通
じて排出ポート４に排出され、また、空間６ｂに漏出し
た空気圧は、漏れ流体排出用ポート１ｅと排出路１ｉと
を通じて排出ポート４に排出され、この排出ポート４に
接続された配管等からなる流体排出流路１３を経てクリ
ーンルーム等の清浄空間外に排出される。The air pressure leaked to the space 6a is discharged to the discharge port 4 through the communication hole 2f, the space 6b, the leak fluid discharge port 1e, and the discharge passage 1i, and the air pressure leaked to the space 6b is used for the leak fluid discharge. It is discharged to the discharge port 4 through the port 1e and the discharge passage 1i, and is discharged to the outside of a clean space such as a clean room through the fluid discharge flow path 13 including a pipe connected to the discharge port 4.

したがって、本実施例による接続構造によれば、各シー
ル部材２の内側シール部２ｇ，２ｈ，２ｉからの空気圧
漏れが排出ポート４から外部に確実に排出されるので、
各シール部材２の外側シール部２ｊからの空気圧漏れに
よるクリーンルーム等の清浄空間の汚染を容易かつ確実
に防止することができる。Therefore, according to the connection structure of the present embodiment, the air pressure leakage from the inner seal portions 2g, 2h, 2i of each seal member 2 is reliably discharged to the outside from the discharge port 4,
It is possible to easily and reliably prevent contamination of a clean space such as a clean room due to air pressure leakage from the outer seal portion 2j of each seal member 2.

［実施例２］ 第３図は本考案の他の実施例であるマニホールドを一部
切欠して示す平面図、第４図は第３図のIV-IV線におけ
る断面図である。[Embodiment 2] FIG. 3 is a partially cutaway plan view showing a manifold according to another embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a sectional view taken along line IV-IV in FIG.

実施例２における各排出ポート４は、各漏れ流体排出用
ポート１ｅに夫々個別的に連通され、第３図に示すよう
にマニホールド１の一側面で開口されている。Each discharge port 4 in the second embodiment is individually communicated with each leak fluid discharge port 1e, and is opened at one side surface of the manifold 1 as shown in FIG.

そして、各排出ポート４は、単数の配管（図示せず）に
互いに接続されて、該各排出ポート４から排出された漏
れ流体が該単数の配管を通じて所定の外部に排出される
構造とされている。Each discharge port 4 is connected to a single pipe (not shown) so that the leak fluid discharged from each discharge port 4 is discharged to a predetermined outside through the single pipe. There is.

このような実施例２の接続構造においても前記した実施
例１と同様に、いずれかのシール部材２の内側シール部
２ｇ，２ｈ，２ｉから空間６ａないし空間６ｂに漏出し
た空気圧は、その連通孔２ｆと空間６ｂと漏れ流体排出
用ポート１ｅとを通じて、あるいは空間６ｂと漏れ流体
排出用ポート１ｅを通じて排出ポート４に夫々排出さ
れ、この排出ポート４に接続された配管等からなる流体
排出流路１３を経てクリーンルーム外等の外部に排出さ
れる。Also in the connection structure of the second embodiment, as in the first embodiment, the air pressure leaked from any of the inner seal portions 2g, 2h, 2i of the seal member 2 to the space 6a or the space 6b is a communication hole. 2f, the space 6b and the leak fluid discharge port 1e, or the space 6b and the leak fluid discharge port 1e are discharged to the discharge port 4 respectively, and the fluid discharge flow path 13 including a pipe or the like connected to the discharge port 4 After being discharged, it is discharged to the outside such as outside the clean room.

したがって、実施例２によるマニホールドによっても前
記した実施例１と同様に、各シール部材２からの空気圧
漏れによるクリーンルーム等の清浄空間の汚染を容易か
つ確実に防止することができる。Therefore, the manifold according to the second embodiment can easily and reliably prevent contamination of the clean space such as the clean room due to the air pressure leakage from each seal member 2 as in the first embodiment.

以上、本考案を実施例に基づき具体的に説明したが、本
考案は前記実施例１〜２に限定されるものではなく、そ
の要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。Although the present invention has been specifically described based on the embodiments, the present invention is not limited to the first and second embodiments, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention.

たとえば、本実施例１〜２においては、弁３のマニホー
ルド１への接続構造とされているが、本考案において
は、たとえばマニホールドと弁等の流体機器との間に介
在されて夫々を接続するサブベースへの接続構造に適用
することが可能である。For example, in the first and second embodiments, the valve 3 is connected to the manifold 1. However, in the present invention, for example, the valve 3 is interposed between the manifold and a fluid device such as a valve to connect them. It can be applied to the connection structure to the sub-base.

また、弁３以外の流体機器がマニホールド１ないしサブ
ベースに接続されている構造とすることも可能である。It is also possible to adopt a structure in which fluid devices other than the valve 3 are connected to the manifold 1 or the sub base.

更に、実施例１，２における排出ポート４は、半径方向
上の断面が孔状の排出路１ｉ等の開口部によって形成さ
れているが、たとえば排出路１ｉをマニホールド１の一
面上に刻設された溝によって形成し、この溝の端面側の
開口部に排出ポート４を形成することも可能である。Further, the discharge port 4 in Embodiments 1 and 2 is formed by an opening such as a discharge passage 1i having a hole-shaped cross section in the radial direction. For example, the discharge passage 1i is formed on one surface of the manifold 1. It is also possible to form the discharge port 4 in the opening on the end face side of this groove.

また更に、実施例１，２において、マニホールド１の漏
れ流体排出用ポート１ｅと流出路１ｇとは連通せずに、
互いに独立しているが、たとえば該漏れ流体排出用ポー
ト１ｅと流出路１ｇとを連通させることにより、排出路
１ｉを設けることなく、漏れ流体が流出路１ｇを通じて
該流出路１ｇ中を流れる排出被制御流体に同伴されて外
部に排出される構造とすることも可能である。この場合
には、漏れ流体排出用ポート１ｅの内径を流出路１ｇの
内径より小さく形成して、流出路１ｇを流れる被制御流
体が漏れ流体排出用ポート１ｅやシール部材２側に流れ
込まない構造とすることが考えられる。Furthermore, in the first and second embodiments, the leakage fluid discharge port 1e of the manifold 1 and the outflow passage 1g do not communicate with each other,
Although independent of each other, the leakage fluid flows through the outflow passage 1g through the outflow passage 1g without providing the exhaust passage 1i, for example, by connecting the leak fluid discharge port 1e and the outflow passage 1g. It is also possible to adopt a structure in which the control fluid is entrained and discharged to the outside. In this case, the inside diameter of the leak fluid discharge port 1e is made smaller than the inside diameter of the outflow passage 1g so that the controlled fluid flowing through the outflow passage 1g does not flow into the leak fluid discharge port 1e or the seal member 2 side. It is possible to do it.

［考案の効果］ 本考案によれば、以下の効果を得ることができる。[Advantage of Invention] According to the present invention, the following effects can be obtained.

(1)マニホールドないしサブベースと流体機器との夫々
の流体ポートの接続部位から漏出した流体は、前記内側
シール部と外側シール部との間の空間を通じて排出ポー
トからクリーンルーム外の外部環境に確実に排出される
ので、流体漏れによるクリーンルーム等の清浄空間の汚
染を容易かつ確実に防止することができる。(1) The fluid leaked from the connection part of each fluid port of the manifold or the sub-base and the fluid equipment is surely discharged from the exhaust port to the external environment outside the clean room through the space between the inner seal part and the outer seal part. Since it is discharged, contamination of a clean space such as a clean room due to fluid leakage can be easily and reliably prevented.

(2)(1)の効果により、マニホールドないしサブベースと
流体機器との接続構造の信頼性の向上を図ることができ
る。(2) Due to the effect of (1), the reliability of the connection structure between the manifold or the sub-base and the fluid device can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第１図は本考案の一実施例であるマニホールドへの接続
構造を一部切欠して示す平面図、第２図は第１図のII-I
I線における断面図、第３図は本考案の他の実施例であ
るマニホールドへの接続構造を一部切欠して示す平面
図、第４図は第３図のIV-IV線における断面図、第５図
は流体機器と一体となってクリーンルーム内に配置され
たマニホールドを示す概略配置図である。 １・・・・・・・マニホールド、 １ａ・・・・・・入口ポート（流体ポート）、 １ｂ，１ｃ・・・排気ポート（流体ポート）、 １ｄ・・・・・・ねじ螺合孔、 １ｅ・・・・・・漏れ流体排出用ポート、 １ｆ・・・・・・流入路、 １ｇ，１ｈ・・・流出路、 １ｉ・・・・・・排出路、 ２・・・・・・・シール部材、 ２ａ・・・・・・主体部、 ２ｂ，２ｃ，２ｄ・・・・・流通孔、 ２ｅ・・・・・・ねじ孔、 ２ｆ・・・・・・連通孔、 ２ｇ，２ｈ，２ｉ・・・・・内側シール部、 ２ｊ・・・・・・外側シール部、 ３・・・・・・・弁（流体機器）、 ４・・・・・・・排出ポート、 ５・・・・・・・ねじ、 ６ａ，６ｂ・・・・・空間、 １０・・・・・・・・流体源、 １１・・・・・・・・流体供給流路、 １３・・・・・・・・流体排出流路、 Ｒ・・・・・・・・クリーンルーム。FIG. 1 is a partially cutaway plan view showing a structure for connecting to a manifold according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a II-I of FIG.
A sectional view taken along line I, FIG. 3 is a plan view showing a partially cutaway view of a connection structure to a manifold according to another embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a sectional view taken along line IV-IV in FIG. FIG. 5 is a schematic layout view showing a manifold arranged in a clean room integrally with a fluid device. 1 ... Manifold, 1a ... Inlet port (fluid port), 1b, 1c ... Exhaust port (fluid port), 1d ... Screw threaded hole, 1e・ ・ ・ ・ ・ ・ Leakage fluid discharge port, 1f ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ Inflow path, 1g, 1h ・ ・ ・ Outflow path, 1i ・ ・ ・ ・ ・ ・ Discharge path, 2 ・ ・ ・ ・ ・ ・ Seal Member, 2a ... Main body, 2b, 2c, 2d ... Flow hole, 2e ... Screw hole, 2f ... Communication hole, 2g, 2h, 2i・ ・ ・ ・ ・ Inner seal part, 2j ・ ・ ・ ・ ・ ・ Outer seal part, 3 ・ ・ ・ ・ ・ ・ Valve (fluid device), 4 ・ ・ ・ ・ ・ ・ Discharge port, 5 ・ ・ ・... Screws, 6a, 6b ... Space, 10 ... ... Fluid source, 11 ... ... Fluid supply flow path, 13 ... Fluid drainage The flow path, R ········ clean room.

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 【請求項１】流体機器が接続されるマニホールドに流体
給排ポートを形成し、前記流体機器を前記マニホールド
と共に、外部環境に対して遮蔽されたクリーンルーム内
に配置するようにしたクリーンルーム汚染防止用マニホ
ールドであって、 前記流体機器に形成された流体ポートに対向させて前記
マニホールドに形成された流体ポートと前記流体給排ポ
ートと連通させる流路を前記マニホールド内に形成する
と共に、前記外部環境に配置された流体供給源と前記流
体給排ポートとを流体給排流路により接続し、 前記両流体ポートとの接続部をシールする内側シール部
とこの内側シール部の外側に形成された外側シール部と
を有するシール部材を前記流体機器と前記マニホールド
との間に設け、 前記内側シール部と前記外側シール部との間の空間に連
通された排気ポートと前記外部環境との間に、前記内側
シール部から漏出した流体を前記クリーンルームに対し
て遮蔽させて前記外部環境に排出する流体排出流路を接
続したことを特徴とするクリーンルーム汚染防止用マニ
ホールド。1. A clean room contamination prevention manifold in which a fluid supply / discharge port is formed in a manifold to which a fluid device is connected, and the fluid device is arranged together with the manifold in a clean room shielded from the external environment. And forming a flow path in the manifold that faces the fluid port formed in the fluid device and communicates with the fluid port formed in the manifold and the fluid supply / discharge port, and is arranged in the external environment. A fluid supply source and the fluid supply / discharge port connected by a fluid supply / discharge channel, and an inner seal portion for sealing a connection portion between the fluid ports and an outer seal portion formed outside the inner seal portion. A seal member having a space between the fluid device and the manifold, and a space between the inner seal portion and the outer seal portion. Between the exhaust port communicated between and the external environment, a fluid discharge flow path for connecting the fluid leaking from the inner seal portion to the clean room and discharging the fluid to the external environment is connected. Clean room pollution prevention manifold. 【請求項２】前記流体機器が弁であることを特徴とする
請求項１記載のクリーンルーム汚染防止用マニホール
ド。2. The clean room pollution prevention manifold according to claim 1, wherein the fluid device is a valve.