JPH0666440A - Free access and clean room using it - Google Patents
Free access and clean room using itInfo
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- JPH0666440A JPH0666440A JP4215993A JP21599392A JPH0666440A JP H0666440 A JPH0666440 A JP H0666440A JP 4215993 A JP4215993 A JP 4215993A JP 21599392 A JP21599392 A JP 21599392A JP H0666440 A JPH0666440 A JP H0666440A
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- plate
- opening
- panel
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- Pending
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- Ventilation (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、半導体装置や液晶表
示装置など、塵埃を極度に嫌う電子部品などを製造する
クリーンルームや、塵埃を極度に嫌う電子機器などの装
置類を使用するためのクリーンルームに関し、特にクリ
ーンルーム内の層流を一様に形成できるように構成した
フリーアクセス及びこれを用いたクリーンルームに関す
るものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a clean room for manufacturing electronic parts such as a semiconductor device and a liquid crystal display device which are extremely disliked by dust, and a clean room for using devices such as electronic equipment which is extremely disliked by dust. In particular, the present invention relates to a free access configured so that a laminar flow in a clean room can be formed uniformly and a clean room using the free access.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来のクリーンルームは、ほぼ密閉した
室内に、送風機により加圧された空気を高性能除塵機能
を有する濾過器を介して送風し、その室内を高清浄度に
保つと共に、その室内の天井から床に向けて一様な平行
流の、所謂層流が形成されるように構成されている。そ
の床には、その所定の箇所に空気を排気するための複数
の開口が開けられたフリーアクセスが組み込まれてい
る。2. Description of the Related Art In a conventional clean room, air pressurized by a blower is blown into a substantially sealed room through a filter having a high-performance dust removing function to keep the room clean and clean. It is configured so that a so-called laminar flow of uniform parallel flow is formed from the ceiling to the floor. The floor incorporates a free access with a plurality of openings for venting air to that location.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかし、これらの開口
の径は一定であって、それらの開口率を調整することが
できず、従来のクリーンルームでは、その大きさや、ク
リーンルーム内に持ち込まれた各種生産装置の台数に応
じて、前記開口の開口率が異なる数種類のフリーアクセ
スを用意し、それらのフリーアクセスの組み合わせで層
流を形成するようにしている。However, since the diameters of these openings are constant and their opening ratios cannot be adjusted, in the conventional clean room, the size thereof and various kinds of materials brought into the clean room cannot be adjusted. Several types of free access having different opening ratios are prepared according to the number of production apparatuses, and a laminar flow is formed by a combination of these free accesses.
【０００４】しかし、このような方法ではなかなか微妙
な層流の調整ができず、所望の層流を得ることはできな
い。また、数種類のフリーアクセスを常時用意しておか
なければならず、コストアップにつながり、その保管場
所を必要とする。更にまた、従来のフリーアクセスには
バキューム装置を取り付けるための取付け装置が備わっ
ていなかった。この発明は前記諸問題を解決することを
課題とするものである。However, with such a method, it is difficult to finely adjust the laminar flow, and a desired laminar flow cannot be obtained. In addition, several kinds of free access must be prepared at all times, which leads to an increase in cost and requires a storage place for them. Furthermore, the conventional free access has not been equipped with a mounting device for mounting the vacuum device. The present invention aims to solve the above problems.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】そのため、この発明で
は、前記のようなクリーンルームにおいて、その床の一
部または全部をフリーアクセスで構成し、このフリーア
クセスは複数枚重ねた板の多層構造で構成されていて、
この多層構造のフリーアクセスが２層構造である場合に
は、この２層構造の床面となる上層板は固定とし、貫通
孔からなる同一口径の複数の開口を形成し、また前記２
層構造の下層板は可動板でスライドでき、そしてこの下
層板にも前記開口の開口率を可変できる貫通孔からなる
複数の開口を形成して、この下層板をスライドすること
により、前記開口率を可変できるように構成した。Therefore, in the present invention, in the above-mentioned clean room, a part or all of the floor is constructed by free access, and this free access is constructed by a multi-layer structure of a plurality of stacked plates. Has been done,
When the free access of this multi-layer structure is a two-layer structure, the upper layer plate which is the floor surface of this two-layer structure is fixed and a plurality of through-holes having the same diameter are formed.
The lower plate of the layered structure can be slid by a movable plate, and a plurality of through-holes that can change the opening ratio of the opening are formed in this lower plate, and the lower plate is slid to form the opening ratio. Is configured to be variable.
【０００６】また、前記多層構造が少なくとも３層構造
で構成されている場合には、この上下板を固定とし、そ
れら両者に貫通孔からなる同一口径の複数の開口を形成
し、また前記３層構造の中間板は可動板で前記上下板間
でスライドでき、そしてこの中間板にも前記開口の開口
率を可変できる貫通孔からなる複数の開口を形成して、
この中間板をスライドすることにより、このフリーアク
セスの前記開口率を可変できるように構成し、そして前
記下層板の下面にバキュウム取付け装置を設けた。When the multi-layer structure is composed of at least a three-layer structure, the upper and lower plates are fixed and a plurality of through-holes having the same diameter are formed in the upper and lower plates, and the three-layer structure is used. The intermediate plate of the structure is a movable plate that can be slid between the upper and lower plates, and this intermediate plate also has a plurality of openings formed of through holes capable of varying the aperture ratio of the openings,
By sliding the intermediate plate, the opening ratio of the free access can be varied, and a vacuum attachment device is provided on the lower surface of the lower plate.
【０００７】[0007]
【作用】従って、この発明によれば、そのクリーンルー
ムに生産装置が搬入された後に形成される空間の構造に
応じて、そのクリーンルーム内の層流を微妙に調整でき
る。Therefore, according to the present invention, the laminar flow in the clean room can be finely adjusted according to the structure of the space formed after the production apparatus is carried into the clean room.
【０００８】[0008]
【実施例】この発明のクリーンルームに用いるフリーア
クセスの実施例を図を用いて説明する。図１はこの発明
のクリーンルームに用いるフリーアクセスの全体的な概
略斜視図であり、図２は図１のＡーＡ線上におけるパネ
ルの一部拡大断面図である。EXAMPLE An example of free access used in the clean room of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is an overall schematic perspective view of a free access used in the clean room of the present invention, and FIG. 2 is a partially enlarged sectional view of the panel taken along the line AA of FIG.
【０００９】符号１は全体として３層構造のフリーアク
セスを示す。このフリーアクセス１はその主要構成部分
である３層構造のパネル２と、このパネル２を四隅で支
持する支持脚３と、前記パネル２の下面に固定したバキ
ュウム取付け装置４とから構成されている。Reference numeral 1 indicates a three-layer free access as a whole. The free access 1 is composed of a panel 2 having a three-layer structure, which is a main component, a support leg 3 for supporting the panel 2 at four corners, and a vacuum attachment device 4 fixed to the lower surface of the panel 2. .
【００１０】前記パネル２は上層板５と下層板６と、こ
れら両者間に存在する中間板７とから構成された３層構
造になっている。これら上層板５及び下層板６は、それ
らの形状及び面積は同一であるが、中間板７の形状は上
層板５及び下層板６とは類似形であるが、少し小型であ
り、従って、その面積もその分だけ少ない。そして、前
記上層板５及び下層板６は、両者の四隅で間座９で連
結、固定されており、その両者間で前記中間板７が並行
にスライドできるように構成されている。The panel 2 has a three-layer structure composed of an upper layer plate 5, a lower layer plate 6 and an intermediate plate 7 existing therebetween. These upper layer plate 5 and lower layer plate 6 have the same shape and area, but the shape of the intermediate plate 7 is similar to that of the upper layer plate 5 and the lower layer plate 6, but they are a little small and therefore The area is small accordingly. The upper layer plate 5 and the lower layer plate 6 are connected and fixed by spacers 9 at their four corners, and the intermediate plate 7 can be slid between them in parallel.
【００１１】そして、前記上層板５、下層板６及び中間
板７には、所定の間隔幅で同一の上下位置に配列され、
そして同一径の複数の円形状開口８が貫通して形成され
ている。ただし、前記中間板７に開けられた開口８の径
は前記上層板５及び下層板６に開けられた開口８の径よ
り小さい径であってもよく、後記の開口率を可変できる
径の開口８であればよい。The upper layer plate 5, the lower layer plate 6 and the intermediate plate 7 are arranged at the same vertical position with a predetermined interval width.
A plurality of circular openings 8 having the same diameter are formed so as to penetrate therethrough. However, the diameter of the opening 8 formed in the intermediate plate 7 may be smaller than the diameter of the opening 8 formed in the upper layer plate 5 and the lower layer plate 6, and the diameter of the aperture that can change the aperture ratio described later. 8 is sufficient.
【００１２】今、前記開口８の径をΦＡとし、前記中間
板７をスライドさせて、前記上層板５と下層板６の開口
エッジに対する中間板７の開口エッジとの間で形成され
た開口８ａの径をΦＢとすると、ΦＢ／ΦＡが開口率を
示す故、前記中間板７をスライドさせることにより、こ
のフリーアクセス１の開口率を容易に変更することがで
きる。Now, let the diameter of the opening 8 be ΦA, slide the intermediate plate 7 to form an opening 8a formed between the opening edge of the upper plate 5 and the lower plate 6 and the opening edge of the intermediate plate 7. Since the diameter of ΦB is ΦB, ΦB / ΦA indicates the opening ratio. Therefore, by sliding the intermediate plate 7, the opening ratio of the free access 1 can be easily changed.
【００１３】更にまた、この発明のフリーアクセス１の
他の特徴は、下層板６の下面にバキュウム取付け装置４
を固定、取り付けたことである。このバキュウム取付け
装置４にはネジ山など、バキュウムホース（図示してい
ない）をこのバキュウム取付け装置４に連結するための
固定手段１１が形成されている。従って、バキュウムホ
ースの着脱を容易に行うことができる。Furthermore, another feature of the free access 1 of the present invention is that the vacuum attachment device 4 is attached to the lower surface of the lower plate 6.
Is fixed and attached. The vacuum attachment device 4 is formed with fixing means 11 such as a screw thread for connecting a vacuum hose (not shown) to the vacuum attachment device 4. Therefore, the vacuum hose can be easily attached and detached.
【００１４】前記中間板７のスライドは左右に並行に移
動させるのがよいが、例えば、図１に図示したように、
前記上層板５の一隅Ｋａに円弧状の開口１０を形成し、
前記一隅Ｋａの対角になる前記パネル２の一隅Ｋｂで前
記中間板７を軸支するように構成し、その開口１０に臨
んでいる中間板７の開口８にレバー（図示していない）
を挿入して左右いずれかの方向に回動させるようにして
も、前記開口率を変えることができる。The slide of the intermediate plate 7 is preferably moved left and right in parallel. For example, as shown in FIG.
An arc-shaped opening 10 is formed at one corner Ka of the upper layer plate 5,
The intermediate plate 7 is pivotally supported at one corner Kb of the panel 2 which is diagonal to the one corner Ka, and a lever (not shown) is provided in the opening 8 of the intermediate plate 7 facing the opening 10.
The aperture ratio can be changed by inserting and rotating in either direction.
【００１５】前記の実施例では、開口８を円形で説明し
たが、矩形でもよく、その形状は問わない。また、前記
中間板７のスライドは電動でスライドできるように構成
することが望ましいが、手動でスライドさせてもよい。Although the opening 8 has been described as a circular shape in the above embodiment, it may have a rectangular shape and the shape thereof does not matter. Further, it is desirable that the slide of the intermediate plate 7 is configured to be able to slide electrically, but it may be manually slid.
【００１６】前記のように、このフリーアクセス１はそ
の中間板７をスライドさせるので、前記したように、中
間板７の形状は上層板５及び下層板６とは類似形である
が、その大きさは少し小型に形成し、最大限にスライド
させた時、その分だけその側面が上層板５及び下層板６
の側面からはみ出さないように構成されている。このよ
うに構成することにより、隣接のフリーアクセス１や固
定の床の構造に関係なく、前記中間板７をスライドさせ
ることができる。Since the free access 1 slides the intermediate plate 7 as described above, the shape of the intermediate plate 7 is similar to the upper layer plate 5 and the lower layer plate 6 as described above, but its size is large. The size of the upper plate 5 and the lower plate 6 is smaller than that of the upper plate 5 when it is slid to the maximum extent.
It is configured so that it does not protrude from the side surface of. With this configuration, the intermediate plate 7 can be slid regardless of the structure of the adjacent free access 1 or the fixed floor.
【００１７】また、この実施例では、パネル２が３層構
造で構成された例を示したが、３層構造に限定されるも
のではなく、２層構造でもよく、この場合は上層板を固
定し、下層板を可動板としてスライドできるように構成
する。ただし、この２層構造の場合には、前記バキュウ
ム取付け装置を設けることができない。In this embodiment, the panel 2 has an example of a three-layer structure. However, the panel 2 is not limited to a three-layer structure and may have a two-layer structure. In this case, the upper plate is fixed. Then, the lower layer plate is configured to slide as a movable plate. However, in the case of this two-layer structure, the vacuum attachment device cannot be provided.
【００１８】従って、バキュウムを取付けて、層流を一
層微細に調整する必要がある場合には、フリーアクセス
を前記の３層構造にするか、５層以上で構成し、この５
層構造の場合は、最上下層及び第３層目の板を固定し、
第２及び第４層の板をスライドさせるように構成すると
よい。このように層を重ねると、床の強度を増すことが
でき、重量物の荷重にも耐えることができる。Therefore, when it is necessary to adjust the laminar flow more finely by attaching a vacuum, the free access may be the above-mentioned three-layer structure or may be composed of five or more layers.
In the case of a layered structure, fix the top and bottom layers and the third layer,
The plates of the second and fourth layers may be slid. By stacking layers in this way, the strength of the floor can be increased and the load of heavy objects can be withstood.
【００１９】[0019]
【発明の効果】以上、説明したように、この発明によれ
ば、そのクリーンルームに生産装置が搬入された後に形
成される空間の構造に応じて中間板をスライドさせ、そ
のクリーンルーム内の層流を正確に調整することができ
る。また、後日、そのクリーンルーム内のレイアウトを
変更した時にも、その変更に応じて生じた気流の乱れ
を、随時、所望の層流に調整し直すことができ、従来技
術のようにフリーアクセスを取り替える必要がない。As described above, according to the present invention, the intermediate plate is slid in accordance with the structure of the space formed after the production apparatus is loaded into the clean room, so that the laminar flow in the clean room is prevented. Can be adjusted accurately. Further, even when the layout in the clean room is changed at a later date, the turbulence of the airflow caused by the change can be readjusted to a desired laminar flow at any time, and free access is replaced as in the conventional technique. No need.
【００２０】更にまた、前記層流効果を高めたい場合に
は、従来技術のフリーアクセスでは、バキュウムを取り
付ける場合に、そのフリーアクセスに加工を施さなけれ
ばならなかったが、この発明では、そのパネルの下面に
設けたバキュウム取付け装置の存在で容易にバキュウム
を取り付け、空気を吸引することができる。従って、微
細に層流を調整できるので、不良製品の発生を削減で
き、それだけ歩留りが向上し、また高品質で製品を生産
することができる。Furthermore, in order to enhance the laminar flow effect, in the prior art free access, when attaching a vacuum, the free access had to be processed, but in the present invention, the panel is processed. The presence of the vacuum attachment device provided on the lower surface of the device makes it possible to easily attach the vacuum and suck air. Therefore, since the laminar flow can be finely adjusted, the generation of defective products can be reduced, the yield can be improved accordingly, and the products can be produced with high quality.
【図１】この発明のクリーンルームに用いるフリーアク
セスの全体的な概略斜視図である。FIG. 1 is an overall schematic perspective view of a free access used in a clean room of the present invention.
【図２】図１に示したフリーアクセスの構成パネルの一
部拡大断面図である。FIG. 2 is a partially enlarged cross-sectional view of the free access component panel shown in FIG.
１ フリーアクセス ２ パネル ３ 支持脚 ４ バキュウム取付け装置 ５ 上層板 ６ 下層板 ７ 中間板 ８ 開口 ９ 間座 １０ 開口 １１ 固定手段 Ｋａ 隅 Ｋｂ 隅 1 Free access 2 Panel 3 Support leg 4 Vacuum attachment device 5 Upper layer plate 6 Lower layer plate 7 Intermediate plate 8 Opening 9 Spacer 10 Opening 11 Fixing means Ka corner Kb corner
─────────────────────────────────────────────────────
─────────────────────────────────────────────────── ───
【手続補正書】[Procedure amendment]
【提出日】平成４年９月８日[Submission date] September 8, 1992
【手続補正１】[Procedure Amendment 1]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】請求項２[Name of item to be corrected] Claim 2
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【手続補正２】[Procedure Amendment 2]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】０００２[Name of item to be corrected] 0002
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来のクリーンルームは、ほぼ密閉した
室内に、送風機により加圧された空気を高性能除塵機能
を有する濾過器を介して天井から送風し、その室内を高
清浄度に保つと共に、その室内の天井から床に向けて一
様な平行流の、所謂層流が形成されるように構成されて
いる。その床には、その所定の箇所に空気を排気するた
めの複数の開口が開けられたフリーアクセスが組み込ま
れている。2. Description of the Related Art In a conventional clean room, air pressurized by a blower is blown from a ceiling through a filter having a high-performance dust removing function into a substantially closed room to keep the room highly clean. A so-called laminar flow of uniform parallel flow is formed from the ceiling to the floor in the room. The floor incorporates a free access with a plurality of openings for venting air to that location.
Claims (4)
の２層構造の床面となる上層板は固定で、貫通孔からな
る同一口径の複数の開口が形成されており、また前記２
層構造の下層板は可動板でスライドでき、そしてこの下
層板にも前記開口の開口率を可変できる貫通孔からなる
開口が形成されていて、この下層板をスライドすること
により、前記開口率を可変できるように構成したことを
特徴とするフリーアクセス。1. A two-layer structure in which two plates are stacked, the upper-layer plate serving as a floor surface of the two-layer structure is fixed, and a plurality of through-holes having the same diameter are formed. Also the above 2
The lower layer plate of the layered structure can be slid by a movable plate, and this lower layer plate also has an opening formed of a through hole capable of varying the opening ratio of the opening. By sliding the lower layer plate, the opening ratio can be increased. Free access characterized by being configured to be variable.
成され、この多層構造の上下板は固定で、それら両者に
は貫通孔からなる同一口径の複数の開口が形成されてお
り、また前記多層構造の中間板は可動板で前記上下板間
でスライドでき、そしてこの中間板にも前記開口の開口
率を可変できる貫通孔からなる開口が形成されていて、
この中間板をスライドすることにより、前記開口率を可
変できるように構成したことを特徴とするフリーアクセ
ス。2. A multilayer structure in which at least three plates are stacked, and the upper and lower plates of this multilayer structure are fixed, and a plurality of through-holes having the same diameter are formed in both of them. The intermediate plate of the multi-layer structure is a movable plate that can slide between the upper and lower plates, and the intermediate plate also has an opening formed of a through hole that can change the aperture ratio of the opening,
A free access characterized in that the aperture ratio can be varied by sliding the intermediate plate.
キュウム取付け装置を固定したことを特徴とする請求項
２に記載のフリーアクセス。3. The free access according to claim 2, wherein a vacuum attachment device is fixed to the lower surface of the bottom plate of the free access.
天井から送風し、前記室の床から排気して、前記室内を
高清浄度に保ちながら層流が形成されるように構成され
たクリーンルームにおいて、前記床の一部または全部
を、請求項１または請求項２に記載のフリーアクセスで
構成したことを特徴とするクリーンルーム。4. A structure in which laminar flow is formed while maintaining high cleanliness inside the room by blowing high cleanliness air with very little dust from the ceiling of the room and exhausting it from the floor of the room. In the clean room, part or all of the floor is configured by the free access according to claim 1 or 2.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4215993A JPH0666440A (en) | 1992-08-13 | 1992-08-13 | Free access and clean room using it |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4215993A JPH0666440A (en) | 1992-08-13 | 1992-08-13 | Free access and clean room using it |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0666440A true JPH0666440A (en) | 1994-03-08 |
Family
ID=16681629
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4215993A Pending JPH0666440A (en) | 1992-08-13 | 1992-08-13 | Free access and clean room using it |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0666440A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100449606B1 (en) * | 2002-06-29 | 2004-10-01 | 수공테크 주식회사 | Clean booth for down flow supply |
| JP2006019726A (en) * | 2004-06-29 | 2006-01-19 | Samsung Electronics Co Ltd | Wafer transport system and in-system pressure adjustment method |
| KR101050683B1 (en) * | 2010-02-23 | 2011-07-21 | 박태복 | A method for generating a perforate panel and the perforate panel thereof |
| US8469650B2 (en) | 2004-06-29 | 2013-06-25 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Method of controlling pressure in a wafer transfer system |
-
1992
- 1992-08-13 JP JP4215993A patent/JPH0666440A/en active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100449606B1 (en) * | 2002-06-29 | 2004-10-01 | 수공테크 주식회사 | Clean booth for down flow supply |
| JP2006019726A (en) * | 2004-06-29 | 2006-01-19 | Samsung Electronics Co Ltd | Wafer transport system and in-system pressure adjustment method |
| US8469650B2 (en) | 2004-06-29 | 2013-06-25 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Method of controlling pressure in a wafer transfer system |
| KR101050683B1 (en) * | 2010-02-23 | 2011-07-21 | 박태복 | A method for generating a perforate panel and the perforate panel thereof |
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Legal Events
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