JPH0666386B2 - ウエハテ−プマウント方法および装置 - Google Patents
ウエハテ−プマウント方法および装置Info
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- JPH0666386B2 JPH0666386B2 JP13773285A JP13773285A JPH0666386B2 JP H0666386 B2 JPH0666386 B2 JP H0666386B2 JP 13773285 A JP13773285 A JP 13773285A JP 13773285 A JP13773285 A JP 13773285A JP H0666386 B2 JPH0666386 B2 JP H0666386B2
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- tape
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Description
【発明の詳細な説明】 [技術分野] 本発明は、ウエハの分割にあたり、ウエハをテープに貼
着するいわゆるウエハテープマウントに適用して有効な
技術に関する。
着するいわゆるウエハテープマウントに適用して有効な
技術に関する。
[背景技術] 半導体装置の製造工程では、表面に所定の回路層が形成
された半導体ウエハを各ペレット区分に分割する、いわ
ゆるウエハ分割工程がある。ここでは、ウエハは、金属
等のフレームに張設されたテープ上に張り付けた状態で
工程に提供される。このようにウエハをテープマウント
した状態で前記工程に提供するのは、分割後の各ペレッ
トの保持を確実に行い、かつ移送を容易ならしめるため
である。
された半導体ウエハを各ペレット区分に分割する、いわ
ゆるウエハ分割工程がある。ここでは、ウエハは、金属
等のフレームに張設されたテープ上に張り付けた状態で
工程に提供される。このようにウエハをテープマウント
した状態で前記工程に提供するのは、分割後の各ペレッ
トの保持を確実に行い、かつ移送を容易ならしめるため
である。
ところで、上記工程に提供するために、ウエハをテープ
マウントする機構としては、以下のような方法が考えら
れる。
マウントする機構としては、以下のような方法が考えら
れる。
すなわち、第5図はテープマウント機構の概略を示す模
式図である。このテープマウント機構51によれば、ウ
エハ52はまず、位置Aにおいて位置補整、すなわちア
ライメントが行われる。このアライメントの方式として
は、たとえばウエハ52のオリエンテーションフラット
52aを位置決めピン等を用いて所定方向に整列させる
方式が考えられる。このようにしてアライメントの行わ
れたウエハ52は、図示しない真空吸着アームによって
表裏面が180°反転された状態、すなわちウエハ表面
をステージ面に当接させるようにしてマウントステージ
53上に載置される。これと同時に前記マウントステー
ジ53上にはその所定位置に金属部材からなるリング状
のフレーム部材54が搬送載置されている。その後、マ
ウントステージ53はウエハおよびフレーム部材を載置
した状態のまま上昇作動する。このマウントステージ5
3の上昇作動とともに、マウントステージ53の上方か
らは複数のガイドローラ55a〜cを介して供給ローラ
56および巻き取りローラ57により張設されている粘
着テープ58がテープマウントチャンバー59により下
方に押し下げられる。このとき、粘着テープ58はその
粘着面58aが下面、すなわち前記マウントステージ5
3側となっており、このテープマウントチャンバー59
の押圧動作により前記粘着テープ58の粘着面58aに
はフレーム部材54およびウエハ52が裏面側を上にし
てが貼着される。このようにして粘着テープ58の粘着
面58aにウエハ52およびフレーム部材54が貼着さ
れると、テープマウントチャンバー59に内設された図
示しないテープカッターにより、粘着テープ58がフレ
ーム部材54に沿って切断されてウエハテープマウント
工程を完了する。
式図である。このテープマウント機構51によれば、ウ
エハ52はまず、位置Aにおいて位置補整、すなわちア
ライメントが行われる。このアライメントの方式として
は、たとえばウエハ52のオリエンテーションフラット
52aを位置決めピン等を用いて所定方向に整列させる
方式が考えられる。このようにしてアライメントの行わ
れたウエハ52は、図示しない真空吸着アームによって
表裏面が180°反転された状態、すなわちウエハ表面
をステージ面に当接させるようにしてマウントステージ
53上に載置される。これと同時に前記マウントステー
ジ53上にはその所定位置に金属部材からなるリング状
のフレーム部材54が搬送載置されている。その後、マ
ウントステージ53はウエハおよびフレーム部材を載置
した状態のまま上昇作動する。このマウントステージ5
3の上昇作動とともに、マウントステージ53の上方か
らは複数のガイドローラ55a〜cを介して供給ローラ
56および巻き取りローラ57により張設されている粘
着テープ58がテープマウントチャンバー59により下
方に押し下げられる。このとき、粘着テープ58はその
粘着面58aが下面、すなわち前記マウントステージ5
3側となっており、このテープマウントチャンバー59
の押圧動作により前記粘着テープ58の粘着面58aに
はフレーム部材54およびウエハ52が裏面側を上にし
てが貼着される。このようにして粘着テープ58の粘着
面58aにウエハ52およびフレーム部材54が貼着さ
れると、テープマウントチャンバー59に内設された図
示しないテープカッターにより、粘着テープ58がフレ
ーム部材54に沿って切断されてウエハテープマウント
工程を完了する。
ところで、このようなウエハテープマウント方法では、
ウエハ52が、回路形成面である表面側をマウントステ
ージ53のステージ面53aに面接触した状態でステー
ジ上に載置されるため、もしステージ面53aにシリコ
ン片等の異物が存在していた場合にはウエハ52の表面
が損傷し、製品不良となるおそれのあることが本発明者
によって明らかにされた。
ウエハ52が、回路形成面である表面側をマウントステ
ージ53のステージ面53aに面接触した状態でステー
ジ上に載置されるため、もしステージ面53aにシリコ
ン片等の異物が存在していた場合にはウエハ52の表面
が損傷し、製品不良となるおそれのあることが本発明者
によって明らかにされた。
さらに、第5図に示すようにウエハ52のアライメント
をマウントステージ53から離れた位置Aで行うため、
ウエハ52をステージ53上に載置したときにフレーム
部材54との正確な位置を確保することが困難であるこ
とも本発明者によって明らかにされた。
をマウントステージ53から離れた位置Aで行うため、
ウエハ52をステージ53上に載置したときにフレーム
部材54との正確な位置を確保することが困難であるこ
とも本発明者によって明らかにされた。
すなわち、このことは正確な位置決めのされないままウ
エハ52が粘着テープ58に貼着され、フレーム部材5
4の取り付けが行われることとなり、第一に、大きな位
置ずれがある場合にはウエハ52のダイシング(切断)
を行う際に、正確な切断を行うことができず、ウエハ5
2上に切断不良を生じることになること。また第二に、
位置ずれが微小な場合であっても、各ペレットをコレッ
トで吸着する際にコレットでペレット隅部を損傷するお
それがあることを明らかにしたのである。
エハ52が粘着テープ58に貼着され、フレーム部材5
4の取り付けが行われることとなり、第一に、大きな位
置ずれがある場合にはウエハ52のダイシング(切断)
を行う際に、正確な切断を行うことができず、ウエハ5
2上に切断不良を生じることになること。また第二に、
位置ずれが微小な場合であっても、各ペレットをコレッ
トで吸着する際にコレットでペレット隅部を損傷するお
それがあることを明らかにしたのである。
なお、ウエハ分割の技術として説明されている例として
は、株式会社工業調査会、1980年1月15日発行
「IC化実装技術」(日本マイクロエレクトロニクス協
会編)、P100〜P101がある。
は、株式会社工業調査会、1980年1月15日発行
「IC化実装技術」(日本マイクロエレクトロニクス協
会編)、P100〜P101がある。
[発明の目的] 本発明の目的は、ウエハ表面を損傷することなくウエハ
のテープマウントを行うことのできる技術を提供するこ
とにある。
のテープマウントを行うことのできる技術を提供するこ
とにある。
本発明の他の目的は、ウエハとフレーム部材との位置決
めを正確に行うことのできる技術を提供することにあ
る。
めを正確に行うことのできる技術を提供することにあ
る。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろ
う。
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろ
う。
[発明の概要] 本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、次の通りである。
を簡単に説明すれば、次の通りである。
すなわち、ウエハの表面を保護テープで覆った状態でウ
エハの表面を押圧してウエハをテープ上に貼着固定した
後、テープ上のウエハの位置認識を行い、前記認識情報
にもとづいてフレーム部材を所定量移動させて位置決め
を行なった後、前記フレーム部材をテープ上のウエハと
所定の位置関係を維持するように載置し、さらにテープ
をフレーム形状に対応して所定形状に切断することによ
り、ウエハのテープへの貼着の際にウエハ表面を保護テ
ープを介して押圧することができ、ウエハ表面を損傷す
ることなくウエハのテープマウントを行うことができ
る。
エハの表面を押圧してウエハをテープ上に貼着固定した
後、テープ上のウエハの位置認識を行い、前記認識情報
にもとづいてフレーム部材を所定量移動させて位置決め
を行なった後、前記フレーム部材をテープ上のウエハと
所定の位置関係を維持するように載置し、さらにテープ
をフレーム形状に対応して所定形状に切断することによ
り、ウエハのテープへの貼着の際にウエハ表面を保護テ
ープを介して押圧することができ、ウエハ表面を損傷す
ることなくウエハのテープマウントを行うことができ
る。
また、ウエハとフレーム部材のアライメントをフレーム
部材の取付け位置上で行うことができるため、ウエハと
フレーム部材の位置決めを正確に行うことができる。
部材の取付け位置上で行うことができるため、ウエハと
フレーム部材の位置決めを正確に行うことができる。
[実施例1] 第1図は本発明の一実施例であるウエハテープマウント
装置の概略を示す模式図、第2図は粘着テープへのウエ
ハの供給機構を示す概略図、第3図(a)は本実施例で得
られるウエハマウントフレームを示す平面図、(b)図は
(a)図におけるb−b線断面図である。
装置の概略を示す模式図、第2図は粘着テープへのウエ
ハの供給機構を示す概略図、第3図(a)は本実施例で得
られるウエハマウントフレームを示す平面図、(b)図は
(a)図におけるb−b線断面図である。
本実施例1のウエハテープマウント装置1はローダ側に
供給カートリッジ2を備えており、アンローダ側には収
容カートリッジ3を備えており、ウエハ4はこの両カー
トリッジ2,3間を移送されながら、以下の機構により
テープマウントされる。
供給カートリッジ2を備えており、アンローダ側には収
容カートリッジ3を備えており、ウエハ4はこの両カー
トリッジ2,3間を移送されながら、以下の機構により
テープマウントされる。
供給カートリッジ2とラミネートローラ5の間にはウエ
ハ移送手段としてのベルト機構6が設けられており、第
2図に示すように、ベルト機構6の端部にはその先端に
ストッパーピン7が突出されてなるガイドアーム8が上
下動可能な状態で取付けられている。ラミネートローラ
5はウエハ4を挟み込むようにして回転する一対のロー
ラ5a,5bとからなり、下部ローラ5bには粘着テー
プ供給用ローラ9から供給される粘着テープ10が粘着
面を上面にして約半周近く巻き掛けられており、上部ロ
ーラ5aには保護テープ供給用ローラ11からの保護テ
ープ12が約1/4周近く巻き掛けられている。ここ
で、粘着テープ10および保護テープ12は、たとえば
ともにポリエステル樹脂からなり、粘着テープ10には
片面に粘着剤が被着されているものである。この粘着テ
ープ10は粘着面にウエハ4を貼着し粘着テープ10の
進行に伴って各工程間をウエハ4の移送を行う搬送系と
しても機能している。
ハ移送手段としてのベルト機構6が設けられており、第
2図に示すように、ベルト機構6の端部にはその先端に
ストッパーピン7が突出されてなるガイドアーム8が上
下動可能な状態で取付けられている。ラミネートローラ
5はウエハ4を挟み込むようにして回転する一対のロー
ラ5a,5bとからなり、下部ローラ5bには粘着テー
プ供給用ローラ9から供給される粘着テープ10が粘着
面を上面にして約半周近く巻き掛けられており、上部ロ
ーラ5aには保護テープ供給用ローラ11からの保護テ
ープ12が約1/4周近く巻き掛けられている。ここ
で、粘着テープ10および保護テープ12は、たとえば
ともにポリエステル樹脂からなり、粘着テープ10には
片面に粘着剤が被着されているものである。この粘着テ
ープ10は粘着面にウエハ4を貼着し粘着テープ10の
進行に伴って各工程間をウエハ4の移送を行う搬送系と
しても機能している。
一方、保護テープ12はウエハ進行方向からみてフレー
ムマウント機構13の直前部に取付けられている剥離ロ
ーラ14を介して、その上方に設けられている保護テー
プ巻き取りローラ15により巻き取られるようになって
いる。
ムマウント機構13の直前部に取付けられている剥離ロ
ーラ14を介して、その上方に設けられている保護テー
プ巻き取りローラ15により巻き取られるようになって
いる。
フレームマウント機構13は、粘着テープ10が進行す
る下方に設けられているマウントステージ16と、位置
認識カメラ17と、X,Yおよびθ方向に微動可能な図
示しないフレーム部材保持手段とからなる。前記手段に
保持されているフレーム部材18は、第3図(a),(b)に
示すように、ステンレス合金等の金属部材からなるリン
グ形状を有しており、たとえばウエハ4の直径が125
mmである場合、フレーム部材の最大径Lは195mm程度
であり、リング幅Mは約15mm程度、すなわちリングの
内径が165mm程度のものとすることができる。
る下方に設けられているマウントステージ16と、位置
認識カメラ17と、X,Yおよびθ方向に微動可能な図
示しないフレーム部材保持手段とからなる。前記手段に
保持されているフレーム部材18は、第3図(a),(b)に
示すように、ステンレス合金等の金属部材からなるリン
グ形状を有しており、たとえばウエハ4の直径が125
mmである場合、フレーム部材の最大径Lは195mm程度
であり、リング幅Mは約15mm程度、すなわちリングの
内径が165mm程度のものとすることができる。
フレームマウント機構13のさらにウエハ進行方向前方
にはテープ切断機構19が設けられている。このテープ
切断機構19は真空吸引口20aを有するカッターマウ
ント20と、前記フレーム部材18に対して裏面側から
フレーム部の略中央部をフレーム形状に沿って円周状に
回転しながら粘着テープ10を切断(第3図(a)図の破
線部分)するテープカッター21とを有している。
にはテープ切断機構19が設けられている。このテープ
切断機構19は真空吸引口20aを有するカッターマウ
ント20と、前記フレーム部材18に対して裏面側から
フレーム部の略中央部をフレーム形状に沿って円周状に
回転しながら粘着テープ10を切断(第3図(a)図の破
線部分)するテープカッター21とを有している。
テープ切断機構19のさらに前方側にはガイドローラ2
2を経て所定形状に切断された残りの粘着テープ10b
を巻き取る、巻き取りローラ23が設けられている。さ
らに、前記ガイドローラ22と収納カートリッジ3の間
にはベルト機構24が設置されている。
2を経て所定形状に切断された残りの粘着テープ10b
を巻き取る、巻き取りローラ23が設けられている。さ
らに、前記ガイドローラ22と収納カートリッジ3の間
にはベルト機構24が設置されている。
次に、本実施例1の作用について説明する。
供給カートリッジ2より取り出されたウエハ4が表面、
すなわち回路形成面を上面にしてベルト機構6を経てガ
イドアーム8まで移送されてくると、一旦ストッパピン
7によりその進行が停止される。ここでストッパピン7
はウエハのオリエンテーションフラット4a(第3図
(a)図参照)に対応して直線方向に複数本突設されてい
るため、ベルト機構6を移送されてきたウエハ4はオリ
エンテーションフラット4a側がストッパピン7に当接
する方向となり、一応のウエハ7の整列が行われる 次に、第2図の破線で示すようにガイドアーム8上から
ストッパピン7が解除されながらガイドアーム8の先端
部が下方に傾斜する。これにより、ガイドアーム8上の
ウエハ4はガイドアーム8上を摺動してラミネートロー
ラ5の下部ローラ5b側にそのオリエンテーションフラ
ット4aが接触する状態となる。ここで、下部ローラ5
bには粘着テープ供給用ローラ9が供給される粘着テー
プ10が粘着面を外周側にした状態で部分的に巻き掛け
られているため、ウエハ4はそのオリエンテーションフ
ラット4aを粘着テープ10に係着された状態で粘着テ
ープ10の進行にともないローラ5a,5b間に挿入さ
れていく。
すなわち回路形成面を上面にしてベルト機構6を経てガ
イドアーム8まで移送されてくると、一旦ストッパピン
7によりその進行が停止される。ここでストッパピン7
はウエハのオリエンテーションフラット4a(第3図
(a)図参照)に対応して直線方向に複数本突設されてい
るため、ベルト機構6を移送されてきたウエハ4はオリ
エンテーションフラット4a側がストッパピン7に当接
する方向となり、一応のウエハ7の整列が行われる 次に、第2図の破線で示すようにガイドアーム8上から
ストッパピン7が解除されながらガイドアーム8の先端
部が下方に傾斜する。これにより、ガイドアーム8上の
ウエハ4はガイドアーム8上を摺動してラミネートロー
ラ5の下部ローラ5b側にそのオリエンテーションフラ
ット4aが接触する状態となる。ここで、下部ローラ5
bには粘着テープ供給用ローラ9が供給される粘着テー
プ10が粘着面を外周側にした状態で部分的に巻き掛け
られているため、ウエハ4はそのオリエンテーションフ
ラット4aを粘着テープ10に係着された状態で粘着テ
ープ10の進行にともないローラ5a,5b間に挿入さ
れていく。
このようにして、上下のローラ5a,5bで押圧された
状態でウエハ4は裏面を粘着テープ10の粘着面側に貼
着される。このとき、ウエハ4の表面、すなわち回路形
成面側を押圧する上部ローラ5aとウエハ表面との間に
は保護テープ12が介在しているため、もし回路形成面
を押圧する上部ローラ5aにシリコン片等の異物が付着
していたとしても、直接ウエハ表面の回路面が損傷され
ることを防止できる。また、前記保護テープ12は保護
テープ供給ローラ11より常に新しいテープ面が上部ロ
ーラ5aに供給されるため、保護テープ12への異物の
付着によるウエハ表面の損傷のおそれはない。上記保護
テープ12はフレームマウント機構13に送られる直前
に剥離ローラ14によりウエハ4の表面から剥離され保
護テープ巻き取りローラ15により巻き取られる。この
ようにして、フレームマウント機構13の直前で保護テ
ープ12をウエハ4の表面から剥離することにより、フ
レーマウント工程において、位置認識カメラ17の解像
度が向上し、位置認識精度を高く維持することができ
る。なお、上記保護テープ12は巻き取りローラ15に
より巻き取った後にテープ面のウエハ当接面側を清浄化
して再度使用してもよい。
状態でウエハ4は裏面を粘着テープ10の粘着面側に貼
着される。このとき、ウエハ4の表面、すなわち回路形
成面側を押圧する上部ローラ5aとウエハ表面との間に
は保護テープ12が介在しているため、もし回路形成面
を押圧する上部ローラ5aにシリコン片等の異物が付着
していたとしても、直接ウエハ表面の回路面が損傷され
ることを防止できる。また、前記保護テープ12は保護
テープ供給ローラ11より常に新しいテープ面が上部ロ
ーラ5aに供給されるため、保護テープ12への異物の
付着によるウエハ表面の損傷のおそれはない。上記保護
テープ12はフレームマウント機構13に送られる直前
に剥離ローラ14によりウエハ4の表面から剥離され保
護テープ巻き取りローラ15により巻き取られる。この
ようにして、フレームマウント機構13の直前で保護テ
ープ12をウエハ4の表面から剥離することにより、フ
レーマウント工程において、位置認識カメラ17の解像
度が向上し、位置認識精度を高く維持することができ
る。なお、上記保護テープ12は巻き取りローラ15に
より巻き取った後にテープ面のウエハ当接面側を清浄化
して再度使用してもよい。
粘着テープ10に貼着された状態でウエハ4がフレーム
マウント機構13に送られてくると、フレーム部材18
とのアライメントが行われる。このアライメントでは、
まず粘着テープ10上のウエハ4の位置認識が位置認識
カメラ17により行われる。次に上記認識情報に基づい
て図示しないフレーム部材保持手段によりフレーム部材
18の位置がX,Yおよびθ方向に移動補整される。こ
こで、たとえばリング状のフレーム部材18を使用する
場合には、リング内径の中央部にウエハ4が位置するよ
うにフレーム部材18のアライメントが行われる。アラ
イメントにより位置補整がなされた状態のまま、フレー
ム部材18が下降してウエハ4の周囲の粘着テープ10
の粘着面上に貼着される。このように、本実施例1で
は、フレーム部材18の取付けの直前にフレーム部材1
8とウエハ4との位置関係をアライメントするため、フ
レーム部材18を取付けた際にウエハ4との位置関係を
精度良く維持することができる。
マウント機構13に送られてくると、フレーム部材18
とのアライメントが行われる。このアライメントでは、
まず粘着テープ10上のウエハ4の位置認識が位置認識
カメラ17により行われる。次に上記認識情報に基づい
て図示しないフレーム部材保持手段によりフレーム部材
18の位置がX,Yおよびθ方向に移動補整される。こ
こで、たとえばリング状のフレーム部材18を使用する
場合には、リング内径の中央部にウエハ4が位置するよ
うにフレーム部材18のアライメントが行われる。アラ
イメントにより位置補整がなされた状態のまま、フレー
ム部材18が下降してウエハ4の周囲の粘着テープ10
の粘着面上に貼着される。このように、本実施例1で
は、フレーム部材18の取付けの直前にフレーム部材1
8とウエハ4との位置関係をアライメントするため、フ
レーム部材18を取付けた際にウエハ4との位置関係を
精度良く維持することができる。
上記のように、粘着テープ10上のウエハ4の周囲にフ
レーム部材18が貼着されると、ウエハ4はテープ切断
機構19に移送される。テープ切断機構19では、所定
位置でカッターマウント20が下降して、フレーム部材
18とウエハ4の真空吸着を行う。このように吸着状態
を維持しながら、粘着テープ10の進行路の下方、すな
わち粘着面とは反対側の面からはテープカッター21が
上昇移動して、フレーム部材18のリング幅に沿って粘
着テープを円板状に切断する(第3図(a)図に破線で示
す部分)。このようにして、円板状の粘着テープ10a
にフレーム部材18およびウエハ4が貼着されたいわゆ
るウエハマウントフレーム25を得ることができる(第
3図(a)図および(b)図)。その後、上記ウエハマウント
フレーム25はカッターマウント20により真空吸着さ
れた状態でベルト機構24上に移送され、アンローダ側
の収容カートリッジ3に収容される。
レーム部材18が貼着されると、ウエハ4はテープ切断
機構19に移送される。テープ切断機構19では、所定
位置でカッターマウント20が下降して、フレーム部材
18とウエハ4の真空吸着を行う。このように吸着状態
を維持しながら、粘着テープ10の進行路の下方、すな
わち粘着面とは反対側の面からはテープカッター21が
上昇移動して、フレーム部材18のリング幅に沿って粘
着テープを円板状に切断する(第3図(a)図に破線で示
す部分)。このようにして、円板状の粘着テープ10a
にフレーム部材18およびウエハ4が貼着されたいわゆ
るウエハマウントフレーム25を得ることができる(第
3図(a)図および(b)図)。その後、上記ウエハマウント
フレーム25はカッターマウント20により真空吸着さ
れた状態でベルト機構24上に移送され、アンローダ側
の収容カートリッジ3に収容される。
[実施例2] 第4図は本発明の他の実施例であるウエハテープマウン
ト装置のテープ切断機構部分を示す模式図である。
ト装置のテープ切断機構部分を示す模式図である。
本実施例2のテープ切断機構41では、粘着テープ10
の表面に貼着されたウエハ4およびフレーム部材18に
対して、カッターマウント42は下方向に設けられてお
り、一方テープカッター43は上方向に設けられてい
る。すなわち、フレーム部材18が周囲に貼着された状
態のウエハ4がカッターマウント42上に移送されてく
ると、テープカッター43が下降して、フレーム部材1
8の外周縁に沿って粘着テープ10を切断する。
の表面に貼着されたウエハ4およびフレーム部材18に
対して、カッターマウント42は下方向に設けられてお
り、一方テープカッター43は上方向に設けられてい
る。すなわち、フレーム部材18が周囲に貼着された状
態のウエハ4がカッターマウント42上に移送されてく
ると、テープカッター43が下降して、フレーム部材1
8の外周縁に沿って粘着テープ10を切断する。
このように、本実施例2ではフレーム部材18の上方か
ら粘着テープ10を切断することにより、カッターマウ
ント42で真空吸着を行うことなく、粘着テープ10の
切断を完了することができる。
ら粘着テープ10を切断することにより、カッターマウ
ント42で真空吸着を行うことなく、粘着テープ10の
切断を完了することができる。
[効果] (1).ウエハの表面を保護テープで覆いながら前記ウエハ
をテープ上に貼着固定した後、テープ上のウエハの位置
認識を行い、前記認識情報にもとづいてフレーム部材を
所定量移動させて位置決めを行なった後に前記フレーム
部材をテープ上のウエハと所定の位置関係を維持するよ
うに貼着し、さらにテープをフレーム形状に対応して所
定形状に切断するウエハテープマウント方法とすること
により、ウエハのテープへの貼着の際にウエハ表面を保
護テープを介して押圧することができ、ウエハ表面を損
傷することなくウエハのテープマウントを行うことがで
きる。
をテープ上に貼着固定した後、テープ上のウエハの位置
認識を行い、前記認識情報にもとづいてフレーム部材を
所定量移動させて位置決めを行なった後に前記フレーム
部材をテープ上のウエハと所定の位置関係を維持するよ
うに貼着し、さらにテープをフレーム形状に対応して所
定形状に切断するウエハテープマウント方法とすること
により、ウエハのテープへの貼着の際にウエハ表面を保
護テープを介して押圧することができ、ウエハ表面を損
傷することなくウエハのテープマウントを行うことがで
きる。
(2).フレーム部材を所定量移動させて位置決めを行った
後にフレーム部材をウエハの貼着されているテープ上に
貼着することにより、フレーム部材とウエハとのアライ
メントを同位置で行うことができるため、アライメント
精度を正確に確保でき、フレーム部材とウエハとの位置
ずれを防止することができる。
後にフレーム部材をウエハの貼着されているテープ上に
貼着することにより、フレーム部材とウエハとのアライ
メントを同位置で行うことができるため、アライメント
精度を正確に確保でき、フレーム部材とウエハとの位置
ずれを防止することができる。
(3).前記(2)により、フレーム部材とウエハとの位置ず
れを防止できるため、ウエハの分割の際の切断不良を防
止することができる。
れを防止できるため、ウエハの分割の際の切断不良を防
止することができる。
(4).フレームマウント機構の直前で保護テープをウエハ
の表面から剥離することにより、位置認識カメラの解像
度が向上し、精度の高いアライメントを行うことができ
る。
の表面から剥離することにより、位置認識カメラの解像
度が向上し、精度の高いアライメントを行うことができ
る。
以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。
たとえば、実施例ではフレーム部材についてはステンレ
ス合金等の金属部材からなるリング形状のものについて
説明したが、プラスチックのものでもよく、また形状も
リング形状のものにかぎられず、たとえば矩形状のもの
であってもよい。
ス合金等の金属部材からなるリング形状のものについて
説明したが、プラスチックのものでもよく、また形状も
リング形状のものにかぎられず、たとえば矩形状のもの
であってもよい。
第1図は本発明の実施例1であるウエハテープマウント
装置の概略を示す模式図、 第2図は実施例1の粘着テープへのウエハの供給機構を
示す概略図、 第3図(a)図は実施例1で得られるウエハマウントフレ
ームを示す平面図、 第3図(b)図は(a)図のb−b線における断面図、 第4図は本発明の実施例2であるウエハテープマウント
装置のテープ切断機構部分を示す模式図、 第5図は背景技術として考えることのできるテープマウ
ント機構の概略を示す模式図である。 1……ウエハテープマウント装置、2……供給カートリ
ッジ、3……収容カートリッジ、4……ウエハ、5……
ラミネートローラ、5a……上部ローラ、5b……下部
ローラ、6……ベルト機構、7……ストッパピン、8…
…ガイドアーム、9……粘着テープ供給ローラ、10…
…粘着テープ、11……保護テープ供給ローラ、12…
…保護テープ、13……フレームマウント機構、14…
…剥離ローラ、15……保護テープ巻き取りローラ、1
6……マウントステージ、17……位置認識カメラ、1
8……フレーム部材、19……テープ切断機構、20…
…カッターマウント、20a……真空吸引口、21……
テープカッター、22……ガイドローラ、23……巻き
取りローラ、24……ベルト機構、41……テープ切断
機構、42……カッターマウント、43……テープカッ
ター、51……テープマウント機構、52……ウエハ、
52a……オリエンテーションフラット、53……マウ
ントステージ、53a……ステージ面、54……フレー
ム部材、55a〜c……ガイドローラ、56……供給ロ
ーラ、57……巻き取りローラ、58……粘着テープ、
59……テープマウントチャンバー。
装置の概略を示す模式図、 第2図は実施例1の粘着テープへのウエハの供給機構を
示す概略図、 第3図(a)図は実施例1で得られるウエハマウントフレ
ームを示す平面図、 第3図(b)図は(a)図のb−b線における断面図、 第4図は本発明の実施例2であるウエハテープマウント
装置のテープ切断機構部分を示す模式図、 第5図は背景技術として考えることのできるテープマウ
ント機構の概略を示す模式図である。 1……ウエハテープマウント装置、2……供給カートリ
ッジ、3……収容カートリッジ、4……ウエハ、5……
ラミネートローラ、5a……上部ローラ、5b……下部
ローラ、6……ベルト機構、7……ストッパピン、8…
…ガイドアーム、9……粘着テープ供給ローラ、10…
…粘着テープ、11……保護テープ供給ローラ、12…
…保護テープ、13……フレームマウント機構、14…
…剥離ローラ、15……保護テープ巻き取りローラ、1
6……マウントステージ、17……位置認識カメラ、1
8……フレーム部材、19……テープ切断機構、20…
…カッターマウント、20a……真空吸引口、21……
テープカッター、22……ガイドローラ、23……巻き
取りローラ、24……ベルト機構、41……テープ切断
機構、42……カッターマウント、43……テープカッ
ター、51……テープマウント機構、52……ウエハ、
52a……オリエンテーションフラット、53……マウ
ントステージ、53a……ステージ面、54……フレー
ム部材、55a〜c……ガイドローラ、56……供給ロ
ーラ、57……巻き取りローラ、58……粘着テープ、
59……テープマウントチャンバー。
Claims (7)
- 【請求項1】ウエハの表面を保護テープで覆われた状態
でウエハの表面を押圧することにより前記ウエハの裏面
をテープ上に粘着固定した後、テープ上のウエハの位置
認識を行い、前記認識情報にもとづいてフレーム部材を
所定量移動させて位置決めを行った後、前記フレーム部
材をテープ上のウエハと所定の位置関係を維持するよう
に載置し、さらにテープをフレーム形状に対応して所定
形状に切断することを特徴とするウエハテープマウント
方法。 - 【請求項2】ウエハの表面への保護テープの供給が前記
粘着テープの進行速度と同期して回転するローラにより
行われることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の
ウエハテープマウント方法。 - 【請求項3】ウエハ表面の保護テープが位置認識を行う
前に剥離されることを特徴とする特許請求の範囲第1項
記載のウエハテープマウント方法。 - 【請求項4】テープ上に粘着固定されたウエハが、前記
テープの巻き出しおよび巻き取り動作により前記各工程
間を搬送されることを特徴とする特許請求の範囲第1項
記載のウエハテープマウント方法。 - 【請求項5】ウエハを粘着テープ上に貼着固定する手段
と、前記テープ上に貼着固定されているウエハの位置を
認識する位置認識手段と、前記位置認識手段からの認識
情報にもとづいてフレーム部材を所定量移動してテープ
上に貼着する貼着手段と、フレーム部材の形状に対応し
てテープを所定形状に切断するテープカット手段とを有
することを特徴とするウエハテープマウント装置。 - 【請求項6】ウエハの粘着テープ上への貼着固定手段が
ウエハの表面保護手段を備えてなることを特徴とする特
許請求の範囲第5項記載のウエハテープマウント装置。 - 【請求項7】ウエハの表面保護手段が保護テープの貼着
機構であることを特徴とする特許請求の範囲第6項記載
のウエハテープマウント装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13773285A JPH0666386B2 (ja) | 1985-06-26 | 1985-06-26 | ウエハテ−プマウント方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13773285A JPH0666386B2 (ja) | 1985-06-26 | 1985-06-26 | ウエハテ−プマウント方法および装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61296734A JPS61296734A (ja) | 1986-12-27 |
JPH0666386B2 true JPH0666386B2 (ja) | 1994-08-24 |
Family
ID=15205537
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13773285A Expired - Lifetime JPH0666386B2 (ja) | 1985-06-26 | 1985-06-26 | ウエハテ−プマウント方法および装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0666386B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0745306B2 (ja) * | 1987-03-11 | 1995-05-17 | 富士写真フイルム株式会社 | 両面接着テ−プを用いる加工装置 |
JPS6443458A (en) * | 1987-08-11 | 1989-02-15 | Nitto Denko Corp | Stick cutter for tacky tape with respect to thin board |
JPH04142691A (ja) * | 1990-09-27 | 1992-05-15 | Opt Tec Corp | 自動光電式映像計数システム |
CN106743952B (zh) * | 2016-12-07 | 2019-04-19 | 苏州市达瑞胶粘制品有限公司 | 一种胶粘制品转贴方法 |
-
1985
- 1985-06-26 JP JP13773285A patent/JPH0666386B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS61296734A (ja) | 1986-12-27 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
EXPY | Cancellation because of completion of term |