JPH0664778A

JPH0664778A - 非接触式ワーク保持ヘッド

Info

Publication number: JPH0664778A
Application number: JP22424492A
Authority: JP
Inventors: Masahiro Umeda; 雅浩梅田; Hitoshi Fujita; 均藤田; Izumi Shimizu; 泉清水
Original assignee: Hitachi Computer Electronics Co Ltd; Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Computer Electronics Co Ltd; Hitachi Ltd
Priority date: 1992-08-24
Filing date: 1992-08-24
Publication date: 1994-03-08

Abstract

(57)【要約】【目的】ワークの的確な位置決めが可能であると共
に、ワ−クの外形寸法が変わっても、容易に対応でき
る。【構成】ワークＷに向かってエアーを吹き出すエアー
吹出口１３と、ワークＷに対抗するワーク対抗面１７と
が設けられているワーク保持ヘッド本体１０を備えてい
る。さらに、ワークＷの側面に対抗するガイド面２が形
成されている４個のガイド体１と、ワーク対抗面１７か
ら所定距離ｈ下方の位置で、各ガイド体１の各ガイド面
２の相互間隔が変わるよう、ガイド体１を移動させるガ
イド体移動機構２０とを備えている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ワークに向かってエア
ーを吹き出し、該ワークとワーク対抗面との間に、この
エアーを通過させ、該ワークと該ワーク対抗面との間の
静圧を低下させて、該ワークを非接触保持する非接触式
ワーク保持ヘッドに関する。

【０００２】

【従来の技術】非接触式ワーク保持装置としては、ベル
ヌーイの原理を利用したものがある。すなわち、この保
持装置は、ワークに向かって空気を吹き出し、ワークと
ワークに対抗する面との間隙に該空気を通過させ、この
間隙の静圧を低下させることで、ワークを非接触で保持
している。

【０００３】ところで、このような非接触式のワーク保
持装置では、ワークを非接触で保持しているために、保
持装置のヘッドに対してワークを的確に位置決めでき
ず、保持したワークを目的の位置に搬送することができ
ない。そこで、特開昭６２−２７２４５号公報に記載さ
れているものでは、ワークの外形寸法より僅かに大きな
固定的なガイドを設けて、ワークを保持装置のヘッドに
対して的確に位置決めしている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の非接触式ワーク保持装置では、ガイドによ
り、ワ−クのズレを防ぐことはできるものの、固定的な
ガイドを設けたことにより、ワークの形状・外形寸法が
変わるたびに、ワーク保持ヘッドを交換しなければなら
ず、甚だ面倒で作業性が良くないという問題点がある。
本発明は、このような従来の問題点に着目したもので、
ワークの的確な位置決めが可能であると共に、ワ−クの
形状・外形寸法が変わっても、容易に対応することがで
き、作業性を向上させることができる非接触式ワーク保
持ヘッド、及びこのヘッドを備えているワーク移載装置
を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
の非接触式ワーク保持ヘッドは、ワークの側面に対抗す
るガイド面が形成されている３以上のガイド体と、ワー
ク対抗面から所定距離下方の位置で、３以上の前記ガイ
ド体の各ガイド面相互間隔が変わるよう、該ガイド体を
移動させるガイド体移動機構とを備えていることを特徴
とするものである。

【０００６】ここで、前記非接触式ワーク保持ヘッドに
おいて、前記ガイド体可変機構は、３以上の前記ガイド
体を互いに連動して移動されるものであっても、互いに
独立して移動させるものであってもよい。また、前記該
と体のガイド面は、ワークの側面が直線的である場合に
は、平面であることが好ましく、ワークの側面が曲面で
ある場合やいろいろな形状のワークを保持する場合に
は、ワーク方向に突出した円弧面で形成されていること
が好ましい。

【０００７】

【作用】エアー吹出口からエアーが吹き出され、ワーク
とワーク対抗面との間に、吹き出されたエアーが通過す
ると、該ワークと該ワーク対抗面との間の静圧が低下し
て、該ワーク対抗面から所定距離下方の位置で該ワーク
が非接触保持される。

【０００８】ところで、本発明の非接触式ワーク保持ヘ
ッドには、ワークの側面に対抗するガイド面が形成され
ている３以上のガイド体を備えているので、ワークは、
これらのガイド体により、水平面方向における位置決め
が確実に行われる。また、上下方向のワークの保持位
置、つまりワーク対抗面から前記所定距離下方の位置に
おける各ガイド体の各ガイド面相互間隔を、ガイド体移
動機構により、ガイド体を移動させて変えることができ
るので、異なる外形寸法のワークでも、ガイド体移動機
構を動作させれば、直ちに、一定の位置で非接触保持す
ることができる。

【０００９】

【実施例】以下、本発明に係る各種実施例について、図
面を用いて説明する。なお、各種実施例を説明するにつ
き、同一部位については同一の符号を付し、重複した説
明を省略する。

【００１０】まず、本発明に係る非接触式ワーク保持ヘ
ッドの第１の実施例について、図１〜図７を用いて説明
する。本実施例の非接触式ワーク保持ヘッドは、図１及
び図２に示すように、保持ヘッド本体１０と、４個のガ
イド体１と、このガイド体１を移動させるガイド体移動
機構２０とを備えている。

【００１１】保持ヘッド本体１０には、エアーが供給さ
れるエアー供給口１１と、エアーを排気するエアー排気
口１２と、供給されたエアーを下方に吹き出すエアー吹
出口１３と、吹き出したエアーの一部をエアー排気口１
２に導くためのエアー排気導入口１４と、ガイド体移動
機構２０を取り付けるためのネジ穴１５と、駆動テ−ブ
ル等に取り付けるための取付け穴１６とが形成されてい
る。保持ヘッド本体１０の下端は、ワークＷの上面と対
抗する平坦がワーク対抗面１７が形成されている。エア
ー吹出口１３は、このワーク対抗面１７の中央に形成さ
れている。

【００１２】位置決めガイド機構２０は、保持ヘッド本
体１０の側周及び下部を覆う円筒状のボディ２１と、ガ
イド体１を動作させる回転リング２６と、回転リング２
６の回転によりガイド体１を上下動するよう案内するガ
イドレール２７と、回転リング２６とボディ２１とをつ
なげるリング固定爪２８とを有して構成されている。

【００１３】ガイド体１は、断面が台形状を成し、その
底辺に該当する面に平行ネジ３が形成され、斜辺に該当
する平面がガイド面２を形成している。ガイド体１の側
面には、上下方向に伸びガイドレール２７と係合する係
合溝４が形成されている。４個のガイド体１は、図３に
示すように、保持ヘッド本体１０のエアー吹出口１３を
中心として、平行ネジ２３が外方向に向くように十字状
に配されている。

【００１４】回転リング２６の内周面には、ガイド体１
の平行ネジ３と係合する平行ネジが形成されている。円
筒状のボディ２１の側周には、複数の貫通孔２９が形成
されている。ガイド体移動機構２０は、この貫通孔２９
にネジ３０を通して、保持ヘッド本体１０のネジ穴１５
にネジ３０を捩じ込むことで、保持ヘッド本体１０に取
付けられる。

【００１５】次に、本実施例の非接触式ワーク保持ヘッ
ドの作用について説明する。まず、図３に示すように、
回転リング２６を矢印Ａ−１方向に回転させる。この回
転により、全てのガイド体１は、ガイドレール２７に従
って上下動する。このような回転リング２６の操作によ
り、図５（ａ）に示すように、ガイド体１をワークＷの
外形寸法に応じた位置に移動させる。

【００１６】次に、保持ヘッド本体１０のエアー吹出口
１３からエアーを吹き出させる。このエアーは、図４に
示すように、ワークＷの上面と保持ヘッド本体１０のワ
ーク対抗面１７との間を通過し、その一部がワークＷの
端面とガイド体１のガイド面２との間を通過して排気さ
れ、残りの一部が保持ヘッド本体１０とガイド体１との
間を通過し、保持ヘッド本体１０のエアー排気導入口１
４を経由してエアー排気口１４から排気される。

【００１７】ワーク対抗面１７とワークＷの上面との間
にエアーが流れると、ベルヌーイの定理により、この間
の静圧が低下し、ワークＷを吸引する力が生まれる。ま
た、この吸引力により、ワークＷがワーク対抗面１７に
近づこうとすると、ワークＷとワーク対抗面１７との間
の圧力が高まるので、ワークＷは、ワーク対抗面１７ま
でが所定距離ｈになると、これ以上ワーク対抗面１７に
近付けなくなる。このため、ワークＷは、ワーク対抗面
１７までの距離が所定距離ｈのところで、非接触保持さ
れ、鉛直方向における位置決めがなされる。一方、ワー
クＷの水平方向の位置決めは、４個のガイド体１によ
り、行われる。つまり、エアーの一部がワークＷの端面
とガイド体１のガイド面２との間を通過するので、ワー
クＷは、ガイド面２から水平方向に所定距離のところ
に、位置決めされる。

【００１８】図５（ｂ）に示すように、異なる外形寸法
のワークＷａを保持させる場合には、回転リング２６を
回転させて、ガイド体１を上下動させる。ワークＷａ
は、ワーク対抗面１７から所定距離ｈのレベルでほぼ保
持されるので、このレベルにおいて、ワークＷａの保持
に必要なガイド面２，２の相互間距離は把握することが
できる。そこで、ワーク対抗面１７から所定距離ｈのレ
ベルにおけるガイド面２，２の相互間距離が、ワークＷ
ａの保持に必要な距離になるよう、回転リング２６を回
転させて、ガイド体１を上下動させる。

【００１９】以上のように、本実施例では、ワークを的
確に位置決めできると共に、ワ−クの外形寸法が変わっ
ても、容易に対応することができ、作業性を高めること
ができる。また、本実施例では、図６に示すように、ガ
イド体１のガイド面２が平面で、図７に示すように、４
個のガイド体１が十字状に配され、しかも、４個のガイ
ド体１は、回転リング２６の回転に連動して、互いに同
一量移動するので、端面が直線で中心から端面までの距
離が等しい正方形のワークＷを保持するのに非常に適し
ている。

【００２０】ところで、本実施例では、ガイド体１の移
動を手動にて行うものであるが、作業性を向上させるた
めには、ガイド体１の移動を自動化することが好まし
い。そこで、ガイド体１の移動を自動化したものについ
て図８を用いて説明する。回転リング２６ａの外周に
は、ギアが形成されている。また、ガイド体移動機構２
０のボディ２１には、パルスモータ４１が取付けられて
いる。パルスモータ４１の出力軸は、ギアボックス４２
の入力軸と連結されている。ギアボックス４２の出力軸
には、ギア４３が取付けられており、このギア４３が回
転リング２６ａのギアと係合している。したがって、ワ
ークＷの外形寸法に応じて、パルスモータ４１に所定の
駆動信号を出力することにより、自動的に、ガイド体１
を移動させることができる。

【００２１】次に、第１の実施例におけるガイド体の第
１の変形例について、図９及び図１０を用いて説明す
る。本変形例は、図９に示すように、ガイド体１ａのガ
イド面２ａをワーク方向に突出する円弧面で形成したも
のである。このように、ガイド面２ａを円弧面に形成す
ることにより、図１０に示すように、ワークＷｂの端面
が曲線を描くようなものでも保持することができる。

【００２２】次に、第１の実施例におけるガイド体の第
２の変形例について、図１１を用いて説明する。本変形
例は、対抗するガイド体１ｂ，１ｂのガイド面が互いに
平行になるようにガイド面２ｂ，２ｂを形成すると共
に、ガイド体１ｂの外周側にテーパネジ３ｂを形成し、
回転リング２６ｂの内周側に、ガイド体１ｂのテーパネ
ジ３ｂに係合するテーパネジを形成したものである。こ
のように、ガイド体１ｂ及び回転リング２６ｂを形成し
ても、回転リング２６ｂを回転させることにより、ガイ
ド体１ｂは、上下方向に移動すると共に水平方向にも移
動し、図１１（ｂ）に示すように、ガイド面２ｂ，２ｂ
相互間の間隔が変わるので、第１の実施例と同様に、外
形寸法の異なるワークＷａに対しても容易に対応するこ
とができる。

【００２３】次に、図１２〜図１４を用いて、非接触式
ワーク保持ヘッドの第２の実施例について説明する。図
１２に示すように、非接触式ワーク保持ヘッドは、保持
ヘッド本体１０と、球状のガイド体５１と、ガイド体移
動機構２０ｃとを備えており、保持ヘッド本体１０は第
１の実施例のものと同様である。

【００２４】ガイド体移動機構２０ｃは、図１２及び図
１３に示すように、保持ヘッド本体１０の側周及び下部
を覆う円筒状のボディ２１ｃと、一端側にガイド体５１
が他端側に調整つまみ５３が取付けられている４個の可
動ガイド部材５０とを有して構成されている。可動ガイ
ド部材５０の胴体部５２は円筒状を成し、その外周にネ
ジが形成されている。ボディ２１の側周の下端部には、
下方に突出する鍔部２８ｃが形成されており、そこに、
可動ガイド部材５０の胴体部５２が捩じ込まれるネジ穴
が形成されている。

【００２５】次に、本実施例の作用について説明する。
図１２に示すように、可動ガイド部材５０の調整つまみ
５３を矢印Ａ−４の方向に回転させると、可動ガイド部
材５０は、矢印Ａ−５の方向に動くため、ガイド体５
１，５１相互間の距離が変わり、異なる外形寸法のワー
クに対しても容易に対応することができる。また、ガイ
ド体５１が球状であるため、図１４（ａ）に示すよう
に、様々な形状のワークＷｃに対しても対応することが
できる。

【００２６】ところで、本実施例では、４個の可動ガイ
ド部材５０、それぞれを独立して移動させることができ
る。このため、それぞれのガイド体５１の移動量を変え
ることができるので、例えば、図１４（ｂ）に示すよう
に、三角形のワークＷｄでも、ワークＷｄの重心Ｇと吹
出口１３との水平方向の位置を一致させることができ
る。一般的に、ワークは、そのまわりに吹出口１３から
出たエアーが流れているために、ワークの重心と吹出口
１３とが一致する方向に移動しようとする。このため、
ワークの重心と吹出口１３との水平方向の位置が一致し
ていなければ、ワークを安定して保持することができ
ず、最悪の場合には、保持できないことがある。したが
って、ワークＷｄの重心Ｇと吹出口１３との水平方向の
位置を一致させることができるので、ワークＷｄを確実
に保持することができる。

【００２７】なお、本実施例において、４個のガイド体
５１のうち、隣合う２個を固定的に設け、残りの２個を
移動できるようにして、ガイド体５１，５１相互の間隔
を変えられるようにしてもよい。但し、このようにした
場合には、ワークＷｄの重心Ｇと吹出口１３との水平方
向の位置を一致させるようなことはできないのは言うま
でもない。

【００２８】次に、図１５及び図１６を用いて、非接触
式ワーク保持ヘッドの第３の実施例について説明する。
本実施例は、基本的には、第２の実施例における可動ガ
イド部材がモータにより自動的に動作するようにしたも
のである。本実施例のガイド体移動機構２０ｄは、保持
ヘッド本体１０の側周及び下部を覆う円筒状のボディ２
１ｄと、一端に球状のガイド体６１が形成され他端にカ
ムフォロワーであるローラ６２が取付けられている４個
の可動ガイド部材６０と、ローラ６２が当接するカム６
５と、カム６５を回転させるパルスモータ６８とを有し
て構成されている。

【００２９】カム６５は、点対称な四ッ葉状を成してお
り、保持ヘッド本体１０の上部に配されている。パルス
モータ６８の出力軸は、ギア６７，６６を介してカム６
５の回転軸と接続されている。可動ガイド部材６０は、
図１５に示すように、その断面が溝型を成し、溝の底部
に該当する部分６３がボディ２１ｄの側周と対抗するよ
うに配されており、前述したように、溝の側部に該当す
る一方の端部にガイド体６１が形成され他方の端部にロ
ーラ６２が取付けられている。可動ガイド部材６０の一
方の端部には、ローラ６２がカム６５に当接する方向に
可動ガイド部材６０を付勢するバネ６９が設けられてい
る。ボディ２１ｄの側周には、可動ガイド部材６０が放
射方向にのみ移動するよう、可動ガイド部材６０の胴体
部６３を案内する案内板２８ｄが設けられている。

【００３０】次に、本実施例の作用について説明する。
パルスモータ６８を駆動してカム６５を図１６に示す矢
印Ａ−６の方向に回転させると、ローラ６２が四ッ葉状
のカム６５の輪郭に沿って動き、可動ガイド部材６０は
矢印Ａ−７の方向に動作する。可動ガイド部材６０が矢
印Ａ−７の方向に動作すると、ガイド体６１，６１の相
互間隔が変わる。したがって、異なる寸法のワークＷを
保持することができる。

【００３１】ところで、本実施例では、カム６５が点対
称な四ッ葉状を成しているので、各ガイド体６１，６
１，…の移動量が等しくなり、第２の実施例のように、
三角形のワークＷｄ等の重心Ｇと吹出口１３との水平方
向の位置を一致させることができができない。そこで、
ワークの重心と吹出口１３との水平方向の位置を一致さ
せるために、ワークの形状によっては、例えば、点対称
性のないカムを用いるなど、カム形状を変えてもよい。

【００３２】次に、非接触式ワーク保持ヘッドを備えて
いるワーク移載装置の実施例について、図１７を用いて
説明する。本実施例のワーク移載装置は、非接触式ワー
ク保持ヘッド７１と、このヘッド７１を水平面内のＸ方
向及びＹ方向に移動するＸ−Ｙロボット７２と、複数の
ワークＷ，Ｗ，…が搭載されるパレットＡ７５に記載さ
れているバーコード７６を読み取るバーコードリーダー
７３と、これらが搭載されるベース７４とを備えてい
る。さらに、ワーク保持ヘッド７１にエアーを供給する
エアー供給機（図示されていない。）と、ワーク保持ヘ
ッド７１から排気されるエアーを吸引するエアー吸引機
（図示されていない。）と、保持ヘッド７１、Ｘ−Ｙロ
ボット７２、バーコードリーダー７３、エアー供給機、
及びエアー吸引機を制御する制御装置（図示されていな
い。）とが設けられている。本実施例の非接触式ワーク
保持ヘッド７１としては、第１の実施例の変形例として
図８を用いて説明したもの、又は、第３の実施例の保持
ヘッドのように、ガイド体がモータにより自動的に動作
するものを用いている。

【００３３】次に、本実施例のワーク移載装置の動作に
ついて説明する。ベース７４上に複数のワークＷ，Ｗ，
…が搭載されてるパレットＡ７５と、ワークＷが搭載さ
れていないパレットＢ７７とを置く。パレットＡ７５に
記載されているバーコード７６は、ここに搭載されてい
るワークＷの形状、外形寸法、数量等の情報であり、バ
ーコードリーダー７３は、このバーコード７６を読み取
り、制御装置は、読み取った情報からワークＷの形状、
外形寸法、数量等を認識する。制御装置は、認識したワ
ークＷの形状及び外形寸法に応じて保持ヘッド７１のガ
イド体が移動するよう、ガイド体駆動用のモータに信号
を出力する。すると、この信号に応じてガイド体駆動用
のモータが駆動し、ガイド体が移動する。次に、Ｘ−Ｙ
ロボット７２は、制御装置からの指示に従って、保持ヘ
ッド７１が目的のワークＷ上に至るように、動作する。
続いて、保持ヘッド７１がワークＷを保持可能な位置ま
で下降する。すると、制御装置からの指示で、保持ヘッ
ド７１へのエアー供給及びエアー吸引が開始され、パレ
ットＡ７５上のワークＷは、非接触保持される。ワーク
Ｗの保持が確認されると、保持ヘッド７１が上昇すると
共に、Ｘ−Ｙロボット７２が動作して、保持ヘッド７１
と共にワークＷがパレットＢ７７上の所定位置まで搬送
される。Ｘ−Ｙロボット７２が停止し、再び保持ヘッド
７１が下降すると、保持ヘッド７１へのエアー供給及び
エアー吸引が一旦中止され、保持ヘッド７１からワーク
Ｗが落ち、ワークＷはパレットＢ７７上に載置される。

【００３４】以下、これらの動作を繰り返して行い、パ
レットＡ７５上のワークＷを次々とパレットＢ７７上に
移載する。全ての移載が完了したら、制御装置に設けら
れているブザーが鳴って、次のパレットをセットするよ
うに作業者へ知らせる。なお、本実施例において、パレ
ットＢ７７上のワークＷをパレットＡ上に移載すること
が可能なことは言うまでもない。

【００３５】

【発明の効果】本発明によれば、ワークの側面に対抗す
るガイド面が形成されている３以上のガイド体を備えて
いるので、これらのガイド体により、的確にワークを位
置決めすることできる。また、上下方向においてワーク
が非接触保持される位置、つまりワーク対抗面から所定
距離下方の位置における各ガイド体の各ガイド面相互間
隔を、ガイド体移動機構により、ガイド体を移動させて
変えることができるので、異なる外形寸法のワークで
も、ガイド体移動機構を動作させれば、直ちに、一定の
位置で非接触保持することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る第１の実施例の非接触式ワーク保
持ヘッドの断面図である。

【図２】本発明に係る第１の実施例の非接触式ワーク保
持ヘッドの展開斜視図である。

【図３】本発明に係る第１の実施例の非接触式保持ヘッ
ドの下面図である。

【図４】本発明に係る第１の実施例の非接触式保持ヘッ
ドにおける非接触保持原理を説明するための説明図であ
る。

【図５】本発明に係る第１の実施例の非接触式保持ヘッ
ドによる非接触保持状態を示す説明図である。

【図６】本発明に係る第１の実施例のガイド体の斜視図
である。

【図７】本発明に係る第１の実施例の非接触式保持ヘッ
ドによる非接触保持状態を示す説明図である。

【図８】本発明に係る第１の実施例の変形例の非接触式
保持ヘッドの断面図である。

【図９】本発明に係る第１の実施例において用いられた
ガイド体の第１の変形例の斜視図である。

【図１０】本発明に係る第１の実施例の第１の変形例の
ガイド体を用いた場合の非接触保持状態を示す説明図で
ある。

【図１１】本発明に係る第１の実施例において用いられ
たガイド体の第２の変形例を示す説明図である。

【図１２】本発明に係る第２の実施例の非接触式ワーク
保持ヘッドの断面図である。

【図１３】本発明に係る第２の実施例の非接触式ワーク
保持ヘッドの下面図である。

【図１４】本発明に係る第２の実施例の非接触式ワーク
保持ヘッドによる非接触保持状態を示す説明図である。

【図１５】本発明に係る第３の実施例の非接触式ワーク
保持ヘッドの断面図である。

【図１６】本発明に係る第３の実施例に用いられるガイ
ド体移動機構の構成を示す説明図である。

【図１７】本発明に係る一実施例のワーク移載装置の全
体斜視図である。

【符号の説明】

１，１ａ，１ｂ，５１，６１…ガイド体、２，２ａ…ガ
イド面、１０…保持ヘッド本体、１３…エアー吹出口、
１７…ワーク対抗面、２０，２０ａ，２０ｃ，２０ｄ…
ガイド体移動機構、２１，２１ｃ，２１ｄ…ボディ、２
６，２６ａ，２６ｂ…回転リング、２７…ガイドレー
ル、２８…リング固定爪、４１，６８…パルスモータ、
５０，６０…可動ガイド部材、５３…調整つまみ、６５
…カム、７１…非接触式ワーク保持ヘッド、７２…Ｘ−
Ｙロボット、７３…バーコードリーダー、７５…パレッ
トＡ、７６…バーコード、７７…パレットＢ。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者藤田均神奈川県秦野市堀山下１番地株式会社日立コンピュータエレクトロニクス内 (72)発明者清水泉神奈川県秦野市堀山下１番地株式会社日立製作所神奈川工場内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ワークに向かってエアーを吹き出すエアー
吹出口と、該ワークに対抗するワーク対抗面とが設けら
れているワーク保持ヘッド体を備え、該ワークと該ワー
ク対抗面との間に、該エアー吹出口から吹き出たエアー
を通過させ、該ワークと該ワーク対抗面との間の静圧を
低下させて、該ワークを非接触保持する非接触式ワーク
保持ヘッドにおいて、前記ワークの側面に対抗するガイド面が形成されている
３以上のガイド体と、前記ワーク対抗面から所定距離下方の位置で、３以上の
前記ガイド体の各ガイド面相互間隔が変わるよう、該ガ
イド体を移動させるガイド体移動機構と、を備えていることを特徴とする非接触式ワーク保持ヘッ
ド。
【請求項２】前記ガイド体可変機構は、３以上の前記ガ
イド体を互いに連動して移動される連動動作手段を備え
ていることを特徴とする請求項１記載の非接触式ワーク
保持ヘッド。
【請求項３】前記ガイド体の前記ガイド面の裏面には、
ネジが形成され、前記連動手段は、内周面に前記ガイド体のネジに係合す
るネジが形成され、前記吹出口を通り上下方向に平行な
仮想の軸を中心として回転可能な回転リングと、該回転
リングの回転により、該回転リングのネジに係合してい
る前記ガイド体が上下動するよう該ガイド体を案内する
案内レールとを備えていることを特徴とする請求項２記
載の非接触式ワーク保持ヘッド。
【請求項４】前記ガイド体可変機構は、３以上の前記ガ
イド体を互いに独立して移動させる独立動作手段を備え
ていることを特徴とする請求項１記載の非接触式ワーク
保持ヘッド。
【請求項５】前記ガイド体の前記ガイド面は、上方に向
かうに連れて各ガイド面相互の間隔が小さくなるよう傾
斜しており、前記ガイド体移動機構は、前記ガイド体を上下動させる
上下動手段を備えていることを特徴とする請求項１、
２、３又は４記載の非接触式ワーク保持ヘッド。
【請求項６】前記ガイド体の前記ガイド面は、上下方向
に平行な面で形成されており、前記ガイド体移動機構は、前記ガイド体を水平方向成分
を含む方向に移動させる水平動手段を備えていることを
特徴とする請求項１、２、３又は４記載の非接触式ワー
ク保持ヘッド。
【請求項７】前記ガイド体の前記ガイド面は、前記ワー
ク方向に突出する円弧面で形成されていることを特徴と
する請求項１、２、３、４、５又は６記載の非接触式ワ
ーク保持ヘッド。
【請求項８】前記ガイド体の前記ガイド面は、平面で形
成されていることを特徴とする請求項１、２、３、４、
５又は６記載の非接触式ワーク保持ヘッド。
【請求項９】前記ガイド体移動機構には、前記ガイド体
を移動させる駆動源を備えていることを特徴とする請求
項１、２、３、４、５、６、７又は８記載の非接触式ワ
ーク保持ヘッド。
【請求項１０】請求項９記載の非接触式ワーク保持ヘッ
ドと、前記非接触式ワーク保持ヘッドを移動させる移動機構
と、前記ワークが搭載されるパレットに記載されている該ワ
ークの外形寸法データを読み取る読取手段と、前記読取手段により読み取られた前記外形寸法データに
基づき、前記非接触式ワーク保持ヘッドの前記駆動源を
動作させる制御手段と、を備えていることを特徴とするワーク移載装置。