JPH0663862A

JPH0663862A - 研磨装置

Info

Publication number: JPH0663862A
Application number: JP24578592A
Authority: JP
Inventors: Yoshio Nakamura; 由夫中村
Original assignee: Fujikoshi Machinery Corp
Current assignee: Fujikoshi Machinery Corp
Priority date: 1992-08-22
Filing date: 1992-08-22
Publication date: 1994-03-08
Also published as: US5361545A

Abstract

(57)【要約】（修正有）【目的】複数のポリッシング装置を小スペースでレイ
アウトし、キャリアプレートの供給・排出を容易に、か
つ効率的に行う。【構成】搬入されたキャリアプレートを定盤の回転に
よりセンターローラ１６とガイドローラ１８との間で挟
持する位置まで搬送し、次いで同様にして最奥部から２
番目のガイドローラ１８とセンターローラ１６との間で
キャリアプレート２０を挟持するというように順次定盤
の奥側からキャリアプレート２０をセンターローラ１６
と各複数のガイドローラ１８との間でセットするポリッ
シング装置１２Ａ〜１２Ｄを複数並設する。第１番目の
ポリッシング装置１２Ａの搬入位置および各ポリッシン
グ装置間に、キャリアプレート２０の搬送装置３４を設
け、最下流のポリッシング装置１２Ｄのキャリアプレー
ト２０の排出位置からキャリアプレートを順次排出する
排出装置３４を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は研磨装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来からシリコンウエハの表面を鏡面仕
上げするポリッシング装置が知られている。このシリコ
ンウエハ（以下単にウエハという）はワックスを用いて
キャリアプレートに接着して、このキャリアプレートを
ポリッシング装置の研磨クロスが貼られた定盤に接触す
るように反転して供給し、キャリアプレートを研磨クロ
ス方向に押圧するとともに、スラリーを供給しつつ定盤
を回転させてウエハ表面を鏡面加工（ポリッシング加
工）している。ポリッシング加工は、キャリアプレート
を押圧するウエイトの大きさ、研磨時間、研磨クロスの
粗さおよびスラリーの粒子の粗さにより仕上げに差が生
ずる。このため、複数のポリッシング装置を用い、ウエ
イト、研磨クロスの粗さおよびスラリーの粒子の粗さを
徐々に小さくして仕上げていく方法が採られている。

【０００３】一方、ポリッシング装置にキャリアプレー
トを自動的に定盤上にワークを供給するために、コンベ
ヤによりキャリアプレートを搬送し、コンベヤに沿って
進退するチャックによりキャリアプレートをポリッシン
グ装置に供給するワーク供給装置が知られている（特公
昭６３−２０６７４号公報）。なお、チャックの後端に
は、キャリアプレートと重量バランスする重りが必要で
あった。この重りは、キャリアプレートの重さにより異
なっている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】前記キャリアプレート
を複数のポリッシング装置に順次供給してポリッシング
加工を行う際に、作業者が搬送することもある。しか
し、近年ウエハの口径が大きくなってきているため、こ
れに伴ってウエハを接着するキャリアプレートも大型化
し、重量も重くなってきており、作業者が手で持ち運び
していたのでは、キャリアプレートやウエハを落として
しまうこともある。また、作業者にも危険が伴う。ま
た、上記ワークの供給装置を用いてる場合に、コンベヤ
に沿って進退するため、装置の全長が長くなり、かつ複
雑になってしまう。また、キャリアプレートの重さの違
いにより、重量の調節も必要である。複数のポリッシン
グ装置を並設した際に、上記ワークの供給装置を用いて
キャリアプレートの供給を行うと、各ポリッシング装置
の間隔を大きく確保しなければならない。このため、各
装置間でキャリアプレートを搬送することができない。
また、ポリッシング装置からのキャリアプレートの排出
にも別途排出装置が必要となってしまう。一方、長時間
の使用により、各ポリッシング装置の定盤上に貼られた
研磨クロスがスラリーにより目詰まりを起こし、別工程
として研磨クロスの目詰まりの解消が必要である。

【０００５】そこで、本発明は、複数のポリッシング装
置を小スペースでレイアウトすることができ、キャリア
プレートの供給・排出が容易に、かつ効率的に行える研
磨装置を提供することを目的とする。また、他の目的と
しては、定盤上の研磨クロスの目詰まりを解消する、目
詰まり解除機構を有する研磨装置を提供することにあ
る。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は次の構成を備える。すなわち、上面に研磨
クロスを貼り付け、回転可能な定盤と、定盤の中央に設
けたセンターローラと、定盤の周辺に所定間隔をおいて
複数個配置され、ウエハを裏面に貼り付けたキャリアプ
レートを、センターローラとの間で挟持する位置および
フリーとする位置との間にわたって移動可能に設けられ
たガイドローラを具備し、定盤上のキャリアプレート搬
入位置に対して定盤回転方向の最奥部のガイドローラを
キャリアプレートの挟持位置に移動して、搬入位置に搬
入されたキャリアプレートを定盤の回転によりセンター
ローラと前記ガイドローラとの間で挟持する位置まで搬
送し、次いで同様にして最奥部から２番目のガイドロー
ラとセンターローラとの間でキャリアプレートを挟持す
るというように順次定盤の奥側からキャリアプレートを
センターローラと各複数のガイドローラとの間でセット
し、次いでキャリアプレートをトップリングにより定盤
に押圧しつつ定盤を回転させて研磨するポリッシング装
置を複数並設し、第１番目のポリッシング装置の定盤上
のキャリアプレートの前記搬入位置にキャリアプレート
を搬入する搬入装置を設け、各ポリッシング装置間に、
上流側のポリッシング装置のキャリアプレート排出位置
からキャリアプレートを受け取り、下流側のポリッシン
グ装置のキャリアプレートの搬入位置にキャリアプレー
トを順次搬入するキャリアプレートの搬送装置を設け、
最下流のポリッシング装置のキャリアプレートの排出位
置からキャリアプレートの順次排出する排出装置を設け
たことを特徴とする。また、各ポリッシング装置からの
キャリアプレートの排出位置を、搬入位置に対して定盤
回転方向の最奥部のガイドローラとセンターローラとで
挟持されるキャリアプレートの位置としても良い。ま
た、各ポリッシング装置からのキャリアプレートの排出
位置を搬入位置に対して同一の位置に設定すると共に、
並設するポリッシング装置の台数を各ポリッシング装置
に装着させるキャリアプレートの数と同数としても良
い。さらに、各ポリッシング装置の定盤上に貼られた研
磨クロスの目詰まりを除去するために、キャリアプレー
トとほぼ同径の円板の下面に毛を植設したブラシを、各
ポリッシング装置の定盤に供給するための所定位置に配
置し、各ポリッシング装置の供給装置からブラシを定盤
上に供給し、このブラシをセンターローラと所定位置の
ガイドローラとにより挟持させ、このブラシをトップリ
ングにより定盤の研磨クロスに押圧しつつ定盤を回転さ
せ、研磨クロスの目詰まりを除去するようにしても良
い。

【０００７】

【作用】作用について説明する。第１番目のポリッシン
グ装置の定盤上のキャリアプレート搬入位置に対して定
盤回転方向の最奥部のガイドローラをキャリアプレート
の挟持位置に移動して、搬入位置に搬入されたキャリア
プレートを定盤の回転によりセンターローラと前記ガイ
ドローラとの間で挟持する位置まで搬送し、次いで同様
にして最奥部から２番目のガイドローラとセンターロー
ラとの間でキャリアプレートを挟持するというように順
次定盤の奥側からキャリアプレートをセンターローラと
各複数のガイドローラとの間でセットし、次いでキャリ
アプレートをトップリングにより定盤に押圧しつつ定盤
を回転させて研磨する。そして、第１番目のポリッシン
グ装置のキャリアプレート排出位置からキャリアプレー
トを受け取り、第２番目のポリッシング装置のキャリア
プレートの搬入位置にキャリアプレートを順次搬入す
る。

【０００８】

【実施例】以下、本発明の好適な実施例について添付図
面に基づいて詳細に説明する。図１は４台のポリッシン
グ装置を配置した状態を示す概略的平面図である。図２
は４台のポリッシング装置を配置した状態を示す概略的
正面図である。４台のポリッシング装置１２Ａ、１２
Ｂ、１２Ｃ、１２Ｄが配置されている。各ポリッシング
装置１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ、１２Ｄは、第１次研磨、
第２次研磨、第３次研磨、仕上げ研磨の各工程を行う。
このため、各ポリッシング装置１２Ａ、１２Ｂ、１２
Ｃ、１２Ｄは、研磨クロスの粗さおよびスラリーの粒度
が異なり、第１次研磨、第２次研磨、第３次研磨、仕上
げ研磨と徐々に微細となる。

【０００９】ポリッシング装置の基台１１の凹部１１ａ
には定盤１４が配置され、この定盤１４は駆動軸（図示
せず）により駆動するものである。この定盤１４の中心
にはセンターローラ１６が配置されている。定盤１４の
周縁にガイドローラ１８が４個配置されている。このガ
イドローラ１８とセンターローラ１６との間にキャリア
プレート２０が保持されるものである。なお、キャリア
プレート２０の裏面には、ウエハ２２がワックスにより
貼り付けられている（図３参照）。ガイドローラ１８と
センターローラ１６との間に保持されたキャリアプレー
ト２０は、上方からトップリング２４により押さえられ
る。トップリング２４は上下に昇降可能、かつ回転可能
に吊設されている。また、トップリング２４内には重り
が収納され、トップリング２４の自重により押圧するも
のである。なお、各ポリッシング装置１２Ａ、１２Ｂ、
１２Ｃ、１２Ｄのトップリング２４は、第１次研磨、第
２次研磨、第３次研磨および仕上げ研磨と重量を徐々に
軽くしてある。

【００１０】ポリッシング装置１２Ａ、１２Ｂ、１２
Ｃ、１２Ｄは定盤１４およびセンターローラ１６が駆動
するものであり、これらの駆動によりキャリアプレート
２０と該キャリアプレート２０を定盤１４方向に押圧す
るトップリング２４とがガイドローラ１８に保持された
状態でその場で自転して研磨を行う（図１では、ガイド
ローラ１８を点線で示す）。なお、定盤１４には研磨ク
ロスが貼られており、この研磨クロス上にスラリーを供
給して研磨を行う。

【００１１】図３および図４を参照してガイドローラに
ついて説明する。ガイドローラ１８は定盤１４の周縁部
に位置し、このガイドローラ１８は支持アーム２６によ
り支持されている。この支持アーム２６の後端部分に
は、ポリッシング装置の基台１１方向に延出している。
この基台１１上には固定ベース２７が固定され、この固
定ベース２７上には定盤１４方向に微調整可能な、断面
Ｕ状のベースプレート２８が設けられている。このベー
スプレート２８の起立する側板２８ａ、２８ａ間に支持
アーム２６の後端が位置し、軸２９を介して軸止めされ
ている。この軸２９は基台１１と平行である。支持アー
ム２６の先端には回動軸３０が垂下し、この回動軸３０
の先端にボールベアリングを介して回動可能にガイドロ
ーラ１８が設けられている。支持アーム２６の中途部に
は、基台１１内に配置されたシリンダ３２のシリンダロ
ッドの先端３２ａが下方から当接している。このため、
シリンダロッドを突出させると、支持アーム２６が軸２
９を中心に回動してガイドローラ１８を定盤１４から離
れる方向に移動させることとなる。支持アーム２６が水
平状態（ガイドローラ１８が降下した状態、保持位置）
では、センターローラ１６とガイドローラ１８との間で
キャリアプレート２０を保持することができる。一方、
シリンダ３２を駆動して支持アーム２６を突き上げて支
持アーム２６の先端を上昇させると、ガイドローラ１８
が定盤１４から離れた状態となる（フリー位置とす
る）。このフリー位置では、キャリアプレート２０はセ
ンターローラ１６とガイドローラ１８とにより保持され
ることなく、定盤１４の回転により共に移動する。

【００１２】各ポリッシング装置１２Ａ、１２Ｂ、１２
Ｃ、１２Ｄの間、第１次研磨用のポリッシング装置１２
Ａの搬入側、および仕上げ研磨を行うポリッシング装置
１２Ｄの搬出側にも搬送装置３４が設けられている。搬
送装置３４の構造について、図５および図６を参照して
説明する。図５に示すように、基台３６上に昇降シリン
ダ３８が設けられている。この昇降シリンダ３８のシリ
ンダロッド３８ａは、昇降フレーム４０に連結部材４１
を介して連結されている。昇降フレーム４０は、側面転
倒Ｌ字状であり、鉛直方向の垂直部４０Ａと水平の水平
部４０Ｂとから構成されている。連結部材４１は、垂直
部４０Ａの中途部内側に設けられている。また、昇降フ
レーム４０は、垂直部４０Ａの外側に設けられたガイド
部材４２、４２を介して、ガイド４３に案内されつつ昇
降する。昇降フレーム４０の水平部４０Ｂの中央には透
孔４０ｂが形成されるとともに、また水平部４０Ｂの上
面には、支持ケース４４が設けられている。この支持ケ
ース４４には下方から回転装置４６が固定されるととも
に、この回転装置４６の回転軸４６ａは支持ケース４４
内のベアリング４７に支持されている。回転装置４６の
回転軸４６ａ先端には、アームベース４８が固定されて
いる。このため、回転装置４６の回転により、アームベ
ース４８を回転軸４６ａの軸線を中心に回転させること
ができる。アームベース４８の幅方向の中途部に仕切り
板４９が起立して設けられ、この仕切り板４９により区
画された一方のアームベース４８上には、ガイドレール
５０、５０がそれぞれ設けられている。このガイドレー
ル５０、５０上には、リニアガイド５２ａ、５２ｂが移
動可能に設けられている。そして、リニアガイド５２
ａ、５２ｂをアームシャフト５４が貫通している。アー
ムシャフト５４の先端には吸着装置５６が設けられてい
る。リニアガイド５２ａ、５２ｂはアームシャフト５４
の所定位置で軸線方向の移動が規制されているが、アー
ムシャフト５４はリニアガイド５２ａ、５２ｂに支持さ
れた状態で軸線に沿って回動可能である。吸着装置５６
は、３個の吸着盤５６ａが正三角形状に配置されてい
る。これら吸着盤５６ａは、負圧源に連繋しており、キ
ャリアプレート２０を吸着する。前記リニアガイド５２
ａ、５２ｂのうち、後端側のリニアガイド５０ｂに、連
結筒５８を介してハウジング６０が固定されている。こ
のハウジング６０の後端側から回転モータ６２が固定さ
れている。また、回転モータ６２の回転軸６２ａがアー
ムシャフト５４と連結している。このため、回転モータ
６２の回動軸６２ａを回動させることにより、アームシ
ャフト５４を回動させることができる。

【００１３】前記アームベース４８上の仕切り板４９で
仕切られた他のアームベース４８（アームシャフト５４
が設けられていない部位）には、伸縮用シリンダ６４が
固設されている。この伸縮用のシリンダ６４のシリンダ
ロッド６４ａは後方に延出し、このシリンダロッド６４
ａの先端には小型の伸縮用のシリンダ６５のシリンダロ
ッド６５ａの先端が連結部材６６を介して連結されてい
る。小型の伸縮用シリンダ６５は、連結部材６７を介し
て前記ハウジング６０に固定されている。このため、２
つのシリンダ６４、６５をそれぞれ駆動することによ
り、ハウジング６０とともにアームシャフト５４を進退
させることができる。

【００１４】上述するように構成された搬送装置３４
は、前記昇降シリンダ３８により昇降フレーム４０に固
定されている回転装置４６、アームベース４８、アーム
シャフト５４、伸縮用のシリンダ６４、６５等が昇降す
る。また、回転装置４６により、アームベース４８上の
アームシャフト５４等を回転させることができる。ま
た、回転モータ６２によりアームシャフト５４が回転す
る。一方、伸縮用のシリンダ６４、６５によりアームシ
ャフト５４を進退させることができる。

【００１５】各ポリッシング装置１２Ａ、１２Ｂ、１２
Ｃ、１２Ｄの右側を搬入側とする。特に、搬入側の後側
をキャリアプレート２０の供給位置Ａとする。ここで、
ポリッシング装置１２Ａを例にキャリアプレート２０の
供給方法について、図７〜図９を参照して説明する。 (1) 定盤１４を回転させておく。そして、キャリアプレ
ート２０の供給位置Ａに対して定盤１４の最奥位置Ｂの
ガイドローラ１８ａを保持位置にする。そして、定盤１
４の後側の供給位置Ａに、第１のキャリアプレート２０
ａを供給すると、キャリアプレート２０ａがセンターロ
ーラ１６とガイドローラ１８ａで保持される位置まで回
転して保持される（図７参照）。 (2) 続いて、キャリアプレート２０ａの時針回転方向に
位置するガイドローラ１８ｂを保持位置とし、定盤１４
の供給位置Ａに、第２のキャリアプレート２０ｂを供給
すると、キャリアプレート２０ｂがセンターローラ１６
とガイドローラ１８ｂで保持される位置まで回転して保
持される（図８参照）。 (3) 次に、時針回転方向に位置するガイドローラ１８ｃ
を保持位置とし、定盤１４の供給位置Ａに、第３のキャ
リアプレート２０ｃを供給すると、キャリアプレート２
０ｃがセンターローラ１６とガイドローラ１８ｃで保持
される位置まで回転して保持される。 (4) さらに、ガイドローラ１８ｃの時針方向に位置する
ガイドローラ１８ｄを保持位置とし、定盤１４の供給位
置Ａに第４のキャリアプレート２０ｄを供給すると、キ
ャリアプレート２０ｄがセンターローラ１６とガイドロ
ーラ１８ｄで保持される位置まで回転して保持される
（図９参照）。上記(1) 〜(4) は各ポリッシング装置１２の定盤１４上
方の制御部１７により制御される。

【００１６】続いて、キャリアプレート２０の排出方法
について説明する。まず、ポリッシング装置１２Ａの第
２のキャリアプレート２０ｂが保持されている位置を排
出位置Ｃとする。この搬出位置Ｃから次のポリッシング
装置１２Ｂにキャリアプレート２０を移動する方法につ
て、搬送装置３４の動きとともに説明する。 (5) 搬送装置３４の昇降シリンダ３８により昇降フレー
ム４０を上昇させた状態で、回転装置４６によりアーム
ベース４８を回転させるとともに、伸縮用のシリンダ６
４を駆動して（このとき伸縮用のシリンダ６５は後退し
た状態である）、吸着盤５６ａをキャリアプレート２０
ｂの直上に位置させる。そして、昇降シリンダ３８を駆
動して昇降フレーム４０を降下させ、吸着盤５６ａをキ
ャリアプレート２０ｂに当接させ吸着する。この状態
で、伸縮用のシリンダ６５を若干駆動してキャリアプレ
ート２０ｂを移動させ、定盤１４からキャリアプレート
２０ｂを剥がし易くする。同時に、センターローラ１６
とガイドローラ１８ｂで保持されているキャリアプレー
ト２０ｂの保持された状態を解除することともなる。続
いて、昇降シリンダ３８を駆動して昇降フレーム４０を
上昇させ、回転装置４６を駆動するとともに伸縮用のシ
リンダ６４を伸縮させて、キャリアプレート２０ｂをポ
リッシング装置１２Ｂの供給位置Ａに搬送する。そし
て、昇降シリンダ３８を駆動して昇降フレーム４０を降
下させ、キャリアプレート２０ｂが定盤１４に載置され
た際に、吸着盤５６ａの吸着を解除して、ポリッシング
装置１２Ｂの定盤１４の供給位置Ａに上記(1) で示すよ
うに供給する。

【００１７】(6) ここで、ポリッシング装置１２Ａのガ
イドローラ１８ｃをフリー位置に移動すると、定盤１４
の回転により、キャリアプレート２０ｃが反時針回転方
向（定盤の回転方向）のセンターローラ１６とガイドロ
ーラ１８ｂで保持される位置まで回転して保持される。
この状態で、キャリアプレート２０ｃを搬送装置３４に
より吸着し、上記同様に隣接する次のポリッシング装置
１２Ｂに供給する。 (7) 同様に、ガイドローラ１８ｄをフリー位置に移動す
ると、定盤１４の回転により、キャリアプレート２０ｄ
がセンターローラ１６とガイドローラ１８ｂで保持され
る。この状態で、キャリアプレート２０ｄを搬送装置３
４により吸着し、隣接する次のポリッシング装置１２Ｂ
に供給する。 (8) また同様に、ガイドローラ１８ａをフリー位置に移
動すると、定盤１４の回転により、キャリアプレート２
０ａがセンターローラ１６とガイドローラ１８ｂで保持
される。この状態で、キャリアプレート２０ｂを搬送装
置３４により吸着し、隣接する次のポリッシング装置１
２Ｂに供給する。上述する各ポリッシング装置１２の制
御および搬送装置３４の制御は制御装置１７により行っ
ている。

【００１８】上述するように、ポリッシング装置１２Ａ
〜１２Ｄに上流側から下流側に送られる。そして、ポリ
ッシング装置１２Ａへのキャリアプレート２０の供給
は、２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄの順番に供給され
る。そして、ポリッシング装置１２Ｂへの供給は、ポリ
ッシング装置１２Ａの排出位置Ｃから取り出してキャリ
アプレート２０ｂ、２０ｃ、２０ｄ、２０ａの順番に供
給される。ポリッシング装置１２Ｂからポリッシング装
置１２Ｃへキャリアプレート２０を供給する際には、キ
ャリアプレート２０ｃ、２０ｄ、２０ａ、２０ｂの順番
に供給される。ポリッシング装置１２Ｃからポリッシン
グ装置１２Ｄへキャリアプレート２０を供給する際に
は、キャリアプレート２０ｄ、２０ａ、２０ｂ、２０ｃ
の順番に供給される。そして、仕上げ研磨を行うポリッ
シング装置１２Ｄから、仕上げたキャリアプレート２０
を排出する際には、キャリアプレート２０ａ、２０ｂ、
２０ｃ、２０ｄの順番に排出されることとなる。したが
って、４台のポリッシング装置１２Ａ、１２Ｂ、１２
Ｃ、１２Ｄの第１次研磨を行うポリッシング装置１２Ａ
に２０ａ〜２０ｄの順番で供給したキャリアプレート
が、仕上げ研磨を行うポリッシング装置１２Ｄから排出
する際にも２０ａ〜２０ｄの順番で排出することができ
る。すなわち、キャリアプレート２０の数と、並設する
ポリッシング装置１２の数とを同数とするとともに、各
ポリッシング装置１２Ａ〜１２Ｄの供給位置Ａと排出位
置Ｃとがそれぞれ共通位置とすることにより、キャリア
プレート２０・・・は、供給した順番に、排出すること
ができ、ウエハの管理上好適である。

【００１９】定盤１４上の研磨クロスの目詰まりを解消
するための目詰まり解除方法について、図１および図１
０を参照して説明する。各ポリッシング装置１２Ａ、１
２Ｂ、１２Ｃ、１２Ｄの定盤１４上に貼り付けた研磨ク
ロス１５はそれぞれ粗さが異なる。各研磨クロスをそれ
ぞれ１５ａ、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄとする。そして、
各ポリッシング装置１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ、１２Ｄ
は、それぞれスラリーを用いて研磨を行うため、研磨ク
ロスに目詰まりがおこる。各研磨クロス１５ａ、１５
ｂ、１５ｃ、１５ｄの目詰まりを除去するために、ブラ
シ８０を用いる。このブラシ８０は、図１１に示すよう
に、円板８２の下面に毛８４・・・が植設されている。
円板８２はほぼキャリアプレート２０と同一径である。
なお、ブラシ８０の毛８４・・・の硬さは、各研磨クロ
ス１５ａ、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄの粗さに対応するも
のである。各ポリッシング装置１２Ａ、１２Ｂ、１２
Ｃ、１２Ｄに用いるブラシ８０を、それぞれ８０ａ、８
０ｂ、８０ｃ、８０ｄとし、毛８４・・・は順次柔らか
いものを用いる。また、各ポリッシング装置１２Ａ、１
２Ｂ、１２Ｃ、１２Ｄには、各ブラシ８０ａ、８０ｂ、
８０ｃ、８０ｄを載置するための載置台１３ａ、１３
ｂ、１３ｃ、１３ｄがそれぞれ設けられている。この載
置台１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄは、搬送するキャ
リアプレート２０に付着しているスラリーの受けも兼用
している。このためポリッシング装置１２Ｄの搬出側に
も載置台１３ｅが設けられている。

【００２０】ここで、ブラシ８０を用いて研磨クロスの
目詰まりの除去方法について説明する。なお、各ポリッ
シング装置１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ、１２Ｄの除去方法
は同様であるため、ポリッシング装置１２Ａを例に説明
する。ポリッシング装置１２Ａの定盤１４を駆動した状
態で、ガイドローラ１８ｄを保持位置とし、載置台１３
ａ上のブラシ８０を定盤１４の供給位置Ａに搬送装置３
４により供給する。そして、センターローラ１６とガイ
ドローラ１８ｄとでブラシ８０ａが保持された状態で、
トップリング２４を降下させてブラシ８０ａを押圧す
る。この状態で、定盤１４を所定時間駆動することによ
り、ブラシ８０ａの毛８４・・・により目詰まりが解消
される。目詰まりが解消された後、搬送装置３４により
ブラシ８０ａを定盤１４上から載置台１３ａへ移動させ
て、目詰まりの除去を終了する。その後、上記同様にポ
リッシング加工を行う。

【００２１】上記実施例では、４台のポリッシング装置
１２Ａ〜１２Ｄを配置した装置について説明したが、続
いてキャリアプレート２０を供給した順番に搬出するポ
リッシング装置１２について、図１２を参照して説明す
る。ポリッシング装置１２では、定盤１４の供給位置Ａ
に供給したキャリアプレート２０が最奥位置Ｂから順番
に保持されるため、最奥位置Ｂからキャリアプレート２
０を順次取り出すようにすると、キャリアプレート２０
を供給した順番に排出することができる。すなわち、最
奥位置Ｂを、排出位置とする。このようなポリッシング
装置１２を上記実施例のように４台あるいは３台と複数
連結した場合も、同様にキャリアプレート２０を供給し
た順番に排出することができる。以上本発明の好適な実
施例を挙げて種々説明したが、本発明は上記実施例に限
定されるものでなく、発明の精神を逸脱しない範囲内で
多くの改変を施し得ることはもちろんである。

【００２２】

【発明の効果】本発明に係る、複数のポリッシング装置
を小スペースでレイアウトすることができ、キャリアプ
レートの供給・排出が容易である。また、各ポリッシン
グ装置の定盤上の研磨クロスの目詰まりを解消すること
ができる。また、キャリアプレートの供給した順番に、
排出することもでき、ウエハの管理上好適である等の著
効を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る４台のポリッシング装置を示す概
略的平面図である。

【図２】本発明に係る４台のポリッシング装置を示す概
略的正面図である。

【図３】ガイドローラの構造を示す断面説明図である。

【図４】ガイドローラの平面説明図である。

【図５】搬送装置の断面説明図である。

【図６】搬送装置の平面図である。

【図７】ポリッシング装置１２Ａにキャリアプレート２
０ａを供給して保持した状態を示す説明図である。

【図８】ポリッシング装置１２Ａにキャリアプレート２
０ａおよびキャリアプレート２０ｂを供給して保持した
状態を示す説明図である。

【図９】ポリッシング装置１２Ａに４枚のキャリアプレ
ート２０ａ〜２０ｄを供給して保持した状態を示す説明
図である。

【図１０】ブラシの側面図である。

【図１１】ポリッシング装置へのキャリアプレートの供
給・排出状態を示す説明図である。

【符号の説明】

１２ポリッシング装置１４定盤１６センターローラ１８ガイドローラ２０キャリアプレート３４搬送装置３８昇降シリンダ５４アームシャフト５６吸着装置６０ハウジング６２回転モータ６４伸縮用シリンダ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】上面に研磨クロスを貼り付け、回転可能
な定盤と、定盤の中央に設けたセンターローラと、定盤の周辺に所定間隔をおいて複数個配置され、ウエハ
を裏面に貼り付けたキャリアプレートを、センターロー
ラとの間で挟持する位置およびフリーとする位置との間
にわたって移動可能に設けられたガイドローラを具備
し、定盤上のキャリアプレート搬入位置に対して定盤回転方
向の最奥部のガイドローラをキャリアプレートの挟持位
置に移動して、搬入位置に搬入されたキャリアプレート
を定盤の回転によりセンターローラと前記ガイドローラ
との間で挟持する位置まで搬送し、次いで同様にして最
奥部から２番目のガイドローラとセンターローラとの間
でキャリアプレートを挟持するというように順次定盤の
奥側からキャリアプレートをセンターローラと各複数の
ガイドローラとの間でセットし、次いでキャリアプレー
トをトップリングにより定盤に押圧しつつ定盤を回転さ
せて研磨するポリッシング装置を複数並設し、第１番目のポリッシング装置の定盤上のキャリアプレー
トの前記搬入位置にキャリアプレートを搬入する搬入装
置を設け、各ポリッシング装置間に、上流側のポリッシング装置の
キャリアプレート排出位置からキャリアプレートを受け
取り、下流側のポリッシング装置のキャリアプレートの
搬入位置にキャリアプレートを順次搬入するキャリアプ
レートの搬送装置を設け、最下流のポリッシング装置のキャリアプレートの排出位
置からキャリアプレートの順次排出する排出装置を設け
たことを特徴とする研磨装置。
【請求項２】各ポリッシング装置からのキャリアプレ
ートの排出位置を、搬入位置に対して定盤回転方向の最
奥部のガイドローラとセンターローラとで挟持されるキ
ャリアプレートの位置としたことを特徴とする請求項１
記載の研磨装置。
【請求項３】各ポリッシング装置からのキャリアプレ
ートの排出位置を搬入位置に対して同一の位置に設定す
ると共に、並設するポリッシング装置の台数を各ポリッ
シング装置に装着させるキャリアプレートの数と同数に
したことを特徴とする請求項１記載の研磨装置。
【請求項４】各ポリッシング装置の定盤上に貼られた
研磨クロスの目詰まりを除去するために、キャリアプレ
ートとほぼ同径の円板の下面に毛を植設したブラシを、
各ポリッシング装置の定盤に供給するための所定位置に
配置し、各ポリッシング装置の供給装置からブラシを定盤上に供
給し、このブラシをセンターローラと所定位置のガイド
ローラとにより挟持させ、このブラシをトップリングに
より定盤の研磨クロスに押圧しつつ定盤を回転させ、研
磨クロスの目詰まりを除去することを特徴とする請求項
１、２または３記載の研磨装置。