JPH0660982B2 - Waveguide-type Matsuha-Tsender optical interferometer - Google Patents
Waveguide-type Matsuha-Tsender optical interferometerInfo
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- JPH0660982B2 JPH0660982B2 JP29522686A JP29522686A JPH0660982B2 JP H0660982 B2 JPH0660982 B2 JP H0660982B2 JP 29522686 A JP29522686 A JP 29522686A JP 29522686 A JP29522686 A JP 29522686A JP H0660982 B2 JPH0660982 B2 JP H0660982B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、入射光の偏光方向にかかわらず安定動作の可
能な導波形マッハ・ツェンダ光干渉計に関するものであ
る。TECHNICAL FIELD The present invention relates to a waveguide type Mach-Zehnder optical interferometer capable of stable operation regardless of the polarization direction of incident light.
２個の光結合器、例えば方向性結合器を２本の光導波路
で連結して構成される光干渉計はマッハ・ツェンダ光干
渉計と呼ばれ、光スイッチや光センサ、さらに最近では
周波数多重光通信合分波器などに使用されている。この
マッハ・ツェンダ光干渉計は、その構成により、（１）
バルク形，（２）ファイバ形，（３）導波形の３種類に
分類できるが、信頼性，生産性，小形軽量性等の理由か
ら平面基板上に構成する導波形のものが最有望視されて
いる。An optical interferometer configured by connecting two optical couplers, for example, a directional coupler with two optical waveguides is called a Mach-Zehnder optical interferometer, and is an optical switch, an optical sensor, and more recently a frequency-multiplexer. Used in optical communication multiplexer / demultiplexer. This Mach-Zehnder optical interferometer has (1)
It can be classified into three types: bulk type, (2) fiber type, and (3) waveguide type, but the waveguide type configured on a flat substrate is considered to be the most promising one because of its reliability, productivity, small size, and lightness. ing.
また、マッハ・ツェンダ光干渉計は、光路構成面から、
（ａ）対称形と（ｂ）非対称形に分類することもでき
る。対称形は２個の光結合器を連結する２本の光導波路
の長さが等しいいものであり、非対称形は故意にそれら
の長さに差を与えたものである。In addition, the Mach-Zehnder optical interferometer is
It can also be classified into (a) symmetric type and (b) asymmetric type. The symmetrical type is one in which two optical waveguides that connect two optical couplers have the same length, and the asymmetric type is one in which their lengths are intentionally given a difference.
第３図は、光周波数多重合分波器への応用を目的に構成
された従来の非対称導波形光干渉計の構成の説明図であ
り、（ａ）は平面図，（ｂ）は（ａ）図における線分Ａ
Ａ′に沿っての断面拡大図である。3A and 3B are explanatory views of the configuration of a conventional asymmetric waveguide type optical interferometer configured for the purpose of application to an optical frequency multiplex demultiplexer, where FIG. 3A is a plan view and FIG. ) Line segment A in the figure
It is a sectional enlarged view along A '.
図において、シリコン基板１上に石英系ガラス材料によ
り形成された方向性結合器２，３は、近接した２本の石
英系単一モード光導波路からなり、その結合率はいずれ
もほぼ５０％になるように設定されている。また、方向
性結合器２，３の間を連結する２本の光導波路４，５は
長さがΔＬだけ異なっている。In the figure, directional couplers 2 and 3 formed of a silica-based glass material on a silicon substrate 1 are composed of two adjacent silica-based single-mode optical waveguides, and their coupling ratios are both about 50%. Is set to. Further, the two optical waveguides 4 and 5 connecting the directional couplers 2 and 3 differ in length by ΔL.
このようなマッハ・ツェンダ形光干渉計では、入力ポー
ト１ａから入射した信号光の光周波数を変化させていく
と、 （ｃは光速，ｎは光導波路の屈折率） を周期として出力ポート１ｂ，２ｂに交互に信号光を取
り出すことが知られている。したがって、例えば、１．
５５μｍ帯において、Δｆ＝１０ＧHzだけ光周波数間隔
の離れた２本の信号光ｆ１，ｆ２を入力ポート１ａから
同時に入射させると、上式に従ってΔＬ≒１０mmに設定
しておくと、出力ポート１ｂ，２ｂに２つの信号光
ｆ１，ｆ２を分離してとり出すことができる。実際には
マッハ・ツェンダ光干渉計の上述の周期を信号光ｆ１，
ｆ２の周波数値と同期させ、希望の出力ポートに、希望
の信号光を取り出すために、一方の光導波路５の上部に
は、光導波路５の実効的な光路長を熱光学効果によって
１波長程度変化させるための移相器として薄膜ヒータ６
が形成されており、第３図の光干渉計は全体として光周
波数多重合分波器として機能する。In such a Mach-Zehnder interferometer, when the optical frequency of the signal light incident from the input port 1a is changed, It is known that the signal light is taken out alternately to the output ports 1b and 2b with a cycle of (c is the speed of light and n is the refractive index of the optical waveguide). Thus, for example, 1.
In the 55 μm band, when two signal lights f 1 and f 2 having an optical frequency interval of Δf = 10 GHz are simultaneously incident from the input port 1a, if ΔL≈10 mm is set according to the above equation, the output port 1b is set. , 2b, the two signal lights f 1 and f 2 can be separated and taken out. Actually, the above-mentioned period of the Mach-Zehnder optical interferometer is set to the signal light f 1 ,
In order to synchronize with the frequency value of f 2 and extract the desired signal light to the desired output port, the effective optical path length of the optical waveguide 5 is set at one wavelength above the one optical waveguide 5 by the thermo-optic effect. Thin film heater 6 as a phase shifter for changing the degree
The optical interferometer of FIG. 3 functions as an optical frequency multiplex demultiplexer as a whole.
しかし、この従来の導波形光干渉計では以下のような問
題点があった。すなわち、シリコン基板１とその上に形
成された光導波路４，５との熱膨張係数が異なることか
ら、光導波路は基板と平行方向の圧縮応力を受け、その
ため応力複屈折性を有することになり、実効屈折率ｎが
入射光の偏光方向によってわずかに異なる。したがっ
て、入射光の偏光方向をいずれか一方に合わせておかな
いと、光周波数多重合分波器としての動作が全く不能に
なるという問題があった。However, the conventional waveguide type optical interferometer has the following problems. That is, since the silicon substrate 1 and the optical waveguides 4 and 5 formed on the silicon substrate 1 have different thermal expansion coefficients, the optical waveguide receives a compressive stress in a direction parallel to the substrate, and therefore has a stress birefringence. , The effective refractive index n is slightly different depending on the polarization direction of incident light. Therefore, there is a problem that the operation as the optical frequency multiplex demultiplexer becomes completely impossible unless the polarization direction of the incident light is adjusted to either one.
本発明は、従来の導波形光干渉計の欠点を解決し、入射
光の偏光方向に依存しない導波形マッハ・ツェンダ光干
渉計を提供することにある。An object of the present invention is to solve the drawbacks of the conventional waveguide type optical interferometer and to provide a waveguide type Mach-Zehnder optical interferometer that does not depend on the polarization direction of incident light.
前記従来技術の問題点を解決する方法としては、光導波
路の複屈折を零にすることがまず考えられるが、平面基
板上に形成される光導波路において複屈折を零にするこ
とは作製上極めて困難である。これに対し、本発明はむ
しろ光導波路の複屈折の存在を認めて実効的にマッハ・
ツェンダ光干渉計の偏光依存性を解消するものである。As a method for solving the above-mentioned problems of the prior art, it is first considered to make the birefringence of the optical waveguide zero, but it is extremely difficult to make the birefringence zero in the optical waveguide formed on the flat substrate in manufacturing. Have difficulty. On the other hand, the present invention recognizes the existence of birefringence in the optical waveguide and effectively determines the Mach
This is to eliminate the polarization dependence of the Zehnder optical interferometer.
基板に垂直な偏光方向を有するＴＭ波と基板に平行な偏
光方向を有するＴＥ波の実効屈折率の差を複屈折値Ｂと
すると、偏光方向に依る光導波路４，５（第３図）の光
路長差Ｒは次式で与えられる。Letting the birefringence value B be the difference in effective refractive index between TM waves having a polarization direction perpendicular to the substrate and TE waves having a polarization direction parallel to the substrate, the birefringence values of the optical waveguides 4, 5 (FIG. 3) depend on the polarization direction. The optical path length difference R is given by the following equation.
Ｒ＝∫Ｂｄｌ１−∫Ｂｄｌ２ …（１） ここで、ｌ１，ｌ２はそれぞれ２本の光導波路４，５に
沿う線座標である。また、∫∫Ｂｄｌ１と∫∫Ｂｄｌ２
はＢ値のそれぞれの光導波路に沿う線積分値であり、積
分範囲は、方向性結合器２から方向性結合器３までであ
る。R = ∫Bdl 1 −∫Bdl 2 (1) Here, l 1 and l 2 are line coordinates along the two optical waveguides 4 and 5, respectively. Also, ∫∫Bdl 1 and ∫∫Bdl 2
Is the line integral value of the B value along each optical waveguide, and the integration range is from the directional coupler 2 to the directional coupler 3.
本発明は、Ｒが使用光の波長の整数倍値（０を含む）に
なるようにＢ値を局所的に調節しておくことを最大の特
徴としている。すなわち、光波長λの整数倍の光位相差
はマッハ・ツェンダ光干渉計では識別できないことか
ら、見掛け上、ＴＭ波の干渉条件とＴＥ波の干渉条件と
が一致することに着目したものである。Ｂ値の局所的調
節は、具体的には少なくとも一方の光導波路に沿ってこ
の光導波路の両側に応用調節溝を設けることによりなさ
れる。The greatest feature of the present invention is that the B value is locally adjusted so that R becomes an integral multiple value (including 0) of the wavelength of the used light. That is, since the Mach-Zehnder optical interferometer cannot discriminate an optical phase difference that is an integral multiple of the optical wavelength λ, attention is paid to the fact that the interference condition of the TM wave and the interference condition of the TE wave are apparently matched. . The local adjustment of the B value is specifically performed by providing applied adjustment grooves along at least one of the optical waveguides on both sides of the optical waveguide.
このような設定により、従来問題であったＴＭ波の分離
条件とＴＥ波の分離条件とのずれは解消し、同一の薄膜
ヒータ移相器駆動条件で、マッハ・ツェンダ光干渉計は
入射後の偏光状態に依らず光周波数多重合分波器として
同一の動作をすることができるようになる。By such setting, the conventional problem of the separation between the TM wave separation condition and the TE wave separation condition is solved, and the Mach-Zehnder optical interferometer is operated under the same thin film heater phase shifter driving condition. It becomes possible to perform the same operation as the optical frequency multiplex demultiplexer regardless of the polarization state.
以下、本発明を実施例によって詳細に説明する。以下に
示す図中に同じ符号によって示された要素は同じものを
表している。Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to examples. Elements designated by the same reference numerals in the drawings shown below represent the same elements.
〔実施例１〕 第１図は、本発明の第１の実施例を説明する図であっ
て、（ａ）は導波形マッハ・ツェンダ光干渉計の平面
図、（ｂ）は（ａ）図における線分ＡＡ′に沿った断面
拡大図である。この図に示した実施例のマッハ・ツェン
ダ光干渉計と第３図に示した従来例のマッハ・ツェンダ
光干渉計とは、光導波路４の一部に、光導波路４の応力
複屈折値を局所的に変化させるための応力調節溝２１
ａ、２１ｂが形成されている点で異なる。[Embodiment 1] FIG. 1 is a diagram for explaining a first embodiment of the present invention, in which (a) is a plan view of a waveguide type Mach-Zehnder optical interferometer, and (b) is a diagram (a). FIG. 7 is an enlarged cross-sectional view taken along the line segment AA ′ in FIG. The Mach-Zehnder optical interferometer of the embodiment shown in this figure and the Mach-Zehnder optical interferometer of the conventional example shown in FIG. 3 have a stress birefringence value of the optical waveguide 4 in a part of the optical waveguide 4. Stress adjusting groove 21 for locally changing
The difference is that a and 21b are formed.
本実施例では、厚さ０．７mmのシリコン基板１の上に厚
さ５０μｍの石英系ガラスクラッド層１２が形成されて
おり、そのクラッド層１２の中に形成された２本の石英
系ガラスコア部が２本の光導波路４，５を構成してい
る。これら２本の石英系ガラス光導波路４，５はエバネ
ッセント結合するように近接して、結合比５０％の方向
性結合器２，３を形成している。In this embodiment, a silica glass clad layer 12 having a thickness of 50 μm is formed on a silicon substrate 1 having a thickness of 0.7 mm, and two silica glass cores formed in the clad layer 12 are used. The part constitutes two optical waveguides 4 and 5. These two silica glass optical waveguides 4 and 5 are close to each other so as to be evanescently coupled to form directional couplers 2 and 3 having a coupling ratio of 50%.
光導波路４，５の断面寸法は約６μｍ×６μｍに設定さ
れており、クラッド層１２との比屈折率差は０．７５％
である。また、光導波路４，５の曲線部は５mm程度の曲
率半径をもって構成されている。このような石英系単一
モード光導波路は、ＳｉＣｌ４，ＴｉＣｌ４等の原料ガ
スの火炎加水分解反応によるガラス膜の堆積技術と反応
性イオンエッチング技術との組み合わせによる周知の方
法で作製できる。応力調節溝２１ａ，２１ｂは光導波路
４のコア部の両側のクラッド層１２の一部を反応性イオ
ンエッチングにより除去することにより形成されてい
る。したがって、導波路４の両側に形成した応力調節溝
２１ａ、２１ｂは、導波路４が基板１から受けている導
波路幅方向の圧縮応力を緩和すする働きがある。応力調
節溝２１ａ、２１ｂ形成領域の光導波路４の長さをｌ
１２とすると、前記式（１）で与えられた偏光方向に依
存する２本の光導波路の光路長差Ｒは次式のようにな
る。The cross-sectional dimensions of the optical waveguides 4 and 5 are set to about 6 μm × 6 μm, and the relative refractive index difference with the cladding layer 12 is 0.75%.
Is. The curved portions of the optical waveguides 4 and 5 are formed with a radius of curvature of about 5 mm. Such a silica-based single mode optical waveguide can be manufactured by a known method by a combination of a glass film deposition technique by a flame hydrolysis reaction of a source gas such as SiCl 4 , TiCl 4 and a reactive ion etching technique. The stress adjusting grooves 21a and 21b are formed by removing a part of the cladding layer 12 on both sides of the core portion of the optical waveguide 4 by reactive ion etching. Therefore, the stress adjusting grooves 21a and 21b formed on both sides of the waveguide 4 have a function of relieving the compressive stress in the waveguide width direction which the waveguide 4 receives from the substrate 1. The length of the optical waveguide 4 in the region where the stress adjusting grooves 21a and 21b are formed is 1
12 , the optical path length difference R between the two optical waveguides depending on the polarization direction given by the above equation (1) is given by the following equation.
Ｒ＝Ｂ・ΔＬ−（Ｂ−Ｂ＊）ｌ１２ …（２） 式中、ΔＬは２本の光導波路の長さの差であり、本実施
例ではΔＬ＝１０mmとした。また、Ｂは応力調節溝２１
ａ、２１ｂ未形成領域の光導波路４の複屈折値であり、
本実施例ではＢ≒４×１０−４であった。また、Ｂ＊は
応力調節溝２１ａ、２１ｂ形成領域の光導波路４の複屈
折値である。Ｂ＊は応力調節溝２１ａ、２１ｂによって
はさまれたクラッド層の幅Ｗ（第１図(b)参照）によっ
て規定され、ここではＷ≒１５０μｍと選ぶことによ
り、複屈折値を半分に減少させ、Ｂ≒２×１０−４とし
た（一般にＢ＊はＷの減少とともに減少する）。R = B · ΔL- in (B-B *) l 12 ... (2) Equation, [Delta] L is the difference in length between two optical waveguides, in the present embodiment, the [Delta] L = 10 mm. Further, B is the stress adjusting groove 21.
a, 21b is the birefringence value of the optical waveguide 4 in the unformed region,
In this example, B≈4 × 10 −4 . B * is a birefringence value of the optical waveguide 4 in the region where the stress adjusting grooves 21a and 21b are formed. B * is defined by the width W (see FIG. 1 (b)) of the clad layer sandwiched by the stress adjusting grooves 21a and 21b. Here, by selecting W≈150 μm, the birefringence value is reduced to half. , B≈2 × 10 −4 (generally, B * decreases as W decreases).
前記したようにＲを波長λの整数倍になるよう光干渉計
の複屈折構造を設計すれば、入射偏波依存性を解消でき
るが、本実施例ではＢ≒４×１０−４，Ｂ＊≒２×１０
−４，ΔＬ≒１０mm＝１０４μｍに対応してｌ１２≒１
２．３mmと設定すると、前記（２）式よりＲ≒１．５５
μｍ、すなわち使用光波長の１倍にＲを調節することが
できる。As described above, if the birefringence structure of the optical interferometer is designed so that R becomes an integral multiple of the wavelength λ, incident polarization dependency can be eliminated, but in this embodiment, B≈4 × 10 −4 , B * ≒ 2 × 10
-4 , ΔL≈10 mm = 10 4 μm, corresponding to l 12 ≈1
If it is set to 2.3 mm, R≈1.55 from the above equation (2).
R can be adjusted to .mu.m, that is, to be 1 times the wavelength of light used.
実際、上記の数値例をもって構成されたマッハ・ツェン
ダ光干渉計は、光周波数多重通信用合分波器として、入
射信号光の偏波方向に依らず安定な動作を示すことを確
認した。In fact, it was confirmed that the Mach-Zehnder optical interferometer configured by the above numerical example shows stable operation as a multiplexer / demultiplexer for optical frequency multiplex communication regardless of the polarization direction of incident signal light.
なお、本発明は上記のＢ＊とｌ１２の組み合わせに限定
されるものでなく、式（１）あるいは式（２）を満足す
る範囲で種々の組み合わせがあることはもちろんであ
る。例えば、Ｗを９０μｍ程度に設定すると、Ｂ＊≒１
×１０−４となるが、この場合ｌ１２≒１３．３mmと設
定して、Ｒ≒０すなわち使用光波長の零倍にＲを調節し
て偏光依存性を解消することも可能である。The present invention is not limited to the combination of B * and l 12 described above, and it goes without saying that there are various combinations within the range that satisfies the formula (1) or the formula (2). For example, if W is set to about 90 μm, B * ≈1
While × the 10-4, in this case by setting the l 12 ≒ 13.3 mm, it is possible to eliminate the polarization dependency by adjusting the R to zero times R ≒ 0 i.e. the used light wavelength.
〔実施例２〕 第２図は本発明の第２の実施例を示す説明図であり、実
施例１と同様、シリコン基板１上に石英系単一モード光
導波路４，５で方向性結合器２，３を連結した非対称形
のマッハ・ツェンダ光干渉計（光路長差ΔＬ≒５mm）が
構成されている。実施例１とは逆に短かい方の光導波路
５に沿って、その一部に長さｌ２１にわたって応力調節
溝２１ａ，２１ｂが形成されている。この場合、前記
（１）式で与えられたＲは次式のように表わされる。[Embodiment 2] FIG. 2 is an explanatory view showing a second embodiment of the present invention, and like the first embodiment, a directional coupler is formed on the silicon substrate 1 with the silica single mode optical waveguides 4 and 5. An asymmetrical Mach-Zehnder optical interferometer (optical path length difference ΔL≈5 mm) in which two and three are connected is configured. Contrary to the first embodiment, stress adjusting grooves 21a and 21b are formed in a part along the shorter optical waveguide 5 over a length l 21 . In this case, R given by the above equation (1) is expressed by the following equation.
Ｒ＝Ｂ・ΔＬ＋（Ｂ−Ｂ＊）ｌ２１ …（３） そこで、ΔＬ≒５mm，Ｂ≒４×１０−４，Ｂ＊≒２×１
０−４，ｌ２１＝５．５mmと設定することにより、Ｒ≒
３．１μｍ＝１．５５μｍ×２ すなわち、Ｒを波長１．５５μｍの２倍調節して、やは
りマッハ・ツェンダ光干渉計の偏波依存性を実効上解消
することができた。R = B · ΔL + (B−B * ) l 21 (3) Therefore, ΔL≈5 mm, B≈4 × 10 −4 , B * ≈2 × 1
By setting 0 −4 , l 21 = 5.5 mm, R≈
3.1 μm = 1.55 μm × 2 That is, by adjusting R to twice the wavelength of 1.55 μm, it was possible to effectively eliminate the polarization dependence of the Mach-Zehnder optical interferometer.
なお、実施例１，実施例２のいずれの場合も、薄膜ヒー
タ移相器６は、２本の光導波路の光路長差を信号光の光
周波数値に合わせて１波長程度変化させ、マッハ・ツェ
ンダ光干渉計の周波数分離周期を信号光の周波数値に同
調させる目的のものであるから、光導波路５上に設ける
かわりに光導波路４上に設けてもよい。In each of the first and second embodiments, the thin film heater phase shifter 6 changes the optical path length difference between the two optical waveguides by about 1 wavelength in accordance with the optical frequency value of the signal light, and the Mach Since it is intended to tune the frequency separation period of the Zener optical interferometer to the frequency value of the signal light, it may be provided on the optical waveguide 4 instead of on the optical waveguide 5.
また、薄膜ヒータ移相器６は、熱光学効果原理に基づく
もので、その移相作用は、等方的、すなわちＴＥ波、Ｔ
Ｍ波いずれにも同等に働くので、偏波依存性が移相器６
において発生する懸念はないことを付記する。The thin-film heater phase shifter 6 is based on the thermo-optic effect principle, and its phase-shifting action is isotropic, that is, TE wave, T wave.
Since it works equally well for all M waves, the polarization dependence of the phase shifter 6
It is added that there is no concern that this will occur in.
さらにまた、上記実施例では、光干渉計を構成する光結
合器として方向性結合器を利用したが、方向性結合器の
代わりにＹ字形の分岐・合流器によりマッハ・ツェンダ
光干渉計を構成したものも本発明の範囲に含まれる。Furthermore, in the above embodiment, the directional coupler is used as the optical coupler forming the optical interferometer. However, the Mach-Zehnder optical interferometer is formed by a Y-shaped branch / merge device instead of the directional coupler. Those that are included are also included in the scope of the present invention.
また、上記実施例では応力調節溝の深さはクラッド層の
厚さすべてとしているが、この深さはその中間の値でも
よく、溝の深さが深くなる程Ｂ＊は減少する。Further, in the above embodiment, the depth of the stress adjusting groove is the entire thickness of the cladding layer, but this depth may be an intermediate value, and B * decreases as the groove depth increases.
以上説明したように、本発明では、非対称導波形マッハ
・ツェンダ光干渉計を構成する２本の単一モード光導波
路の複屈折値を特定長にわたって、応用調節溝の作用で
局所的に制御することにより、実効的に光干渉計の偏波
依存性を解消するもので、入射光の偏波方向に依存し
な、安定な光干渉計動作を実現できる利点がある。すな
わち、偏波面コントローラ等の余計な光学装置を用いる
ことなく光周波数多重回路や干渉計形光センサ回路等を
提供することができる。As described above, according to the present invention, the birefringence values of the two single mode optical waveguides forming the asymmetrical waveguide Mach-Zehnder interferometer are locally controlled by the action of the applied adjustment groove over a specific length. As a result, the polarization dependency of the optical interferometer is effectively eliminated, and there is an advantage that a stable optical interferometer operation that does not depend on the polarization direction of the incident light can be realized. That is, it is possible to provide an optical frequency multiplexing circuit, an interferometer type optical sensor circuit, etc. without using an extra optical device such as a polarization controller.
第１図は本発明の第１の実施例のマッハ・ツェンダ光干
渉計の構成図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）図の
線分ＡＡ′における断面拡大図、第２図は本発明の第２
の実施例のマッハ・ツェンダ光干渉計の構成平面図、第
３図は従来のマッハ・ツェンダ光干渉計の構成図であ
る。 １……基板、１ａ，２ａ……入力ポート、１ｂ，２ｂ…
…出力ポート、２，３……方向性結合器、４，５……光
導波路、６……薄膜ヒータ移相器、２１ａ，２１ｂ……
応力調節溝。1A and 1B are configuration diagrams of a Mach-Zehnder optical interferometer according to a first embodiment of the present invention. FIG. 1A is a plan view, FIG. 1B is an enlarged sectional view taken along line AA 'in FIG. 2 is the second of the present invention
FIG. 3 is a configuration plan view of a Mach-Zehnder optical interferometer of the above embodiment, and FIG. 3 is a configuration diagram of a conventional Mach-Zehnder optical interferometer. 1 ... Board, 1a, 2a ... Input port, 1b, 2b ...
... output ports, 2, 3 ... directional couplers, 4, 5 ... optical waveguides, 6 ... thin film heater phase shifters, 21a, 21b ...
Stress adjustment groove.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 安 光保 茨城県那珂郡東海村大字白方字白根162番 地 日本電信電話株式会社茨城電気通信研 究所内 (72)発明者 神宮寺 要 茨城県那珂郡東海村大字白方字白根162番 地 日本電信電話株式会社茨城電気通信研 究所内 (56)参考文献 特開 昭61−80109（ＪＰ，Ａ) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Amitsuho Izumi, Tokai-mura, Ibaraki Prefecture 162 Shirahoji, Shirane, Nippon Telegraph and Telephone Corporation Ibaraki Telecommunications Research Institute (72) Inventor, Jinguji Temple Naka, Ibaraki Prefecture 162, Shirahone, Shirokata, Tokai-mura, Gunma, Japan Telegraph and Telephone Corporation, Ibaraki Telecommunications Research Laboratories (56) References JP-A-61-80109 (JP, A)
Claims (2)
複屈折性光導波路で連結してなるマッハ・ツェンダ光干
渉計において、それぞれの光導波路についてその導波路
複屈折Ｂを前記２個の光結合器間で線積分した値の差が
使用光波長λの整数倍にほぼ等しくなるように少なくと
も一方の光導波路に沿ってこの光導波路の両側に応力調
節溝を設けたことを特徴とする導波形マッハ・ツェンダ
光干渉計。1. In a Mach-Zehnder optical interferometer in which two optical couplers are connected by two stress birefringent optical waveguides having different lengths, the waveguide birefringence B of each optical waveguide is A stress adjusting groove is provided along both sides of at least one of the optical waveguides so that the difference in line integrated value between the two optical couplers is substantially equal to an integral multiple of the used light wavelength λ. A waveguide-type Mach-Zehnder optical interferometer characterized by.
る石英系ガラス単一モード光導波路であることを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載の導波形マッハ・ツェン
ダ光干渉計。2. A waveguide type Mach-Zehnder optical interferometer according to claim 1, wherein the optical waveguide is a silica glass single mode optical waveguide formed on a silicon substrate.
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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- 1986-12-11 JP JP29522686A patent/JPH0660982B2/en not_active Expired - Lifetime
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