JPH066068A - Shield box for measuring variable magnetic field shielding performance - Google Patents

Shield box for measuring variable magnetic field shielding performance

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JPH066068A
JPH066068A JP16466292A JP16466292A JPH066068A JP H066068 A JPH066068 A JP H066068A JP 16466292 A JP16466292 A JP 16466292A JP 16466292 A JP16466292 A JP 16466292A JP H066068 A JPH066068 A JP H066068A
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JP
Japan
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magnetic field
shield
permalloy
plates
hexahedron
Prior art date
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Application number
JP16466292A
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Japanese (ja)
Inventor
Toshifumi Niino
敏文 新納
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Fujita Corp
Original Assignee
Fujita Corp
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Publication date
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Publication of JPH066068A publication Critical patent/JPH066068A/en
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Abstract

PURPOSE:To enable a shield box to accurately measure variable magnetic field shielding characteristics by a method wherein the inner and the outer shielding plate provided to one of the sides of a hexahedron are made to serve as openable doors, and the shielding plates are formed of ferromagnetic material such as permalloy, amorphous material, or silicon steel. CONSTITUTION:A shielding box 10 is a hexahedron composed of shielding plates made of material such as permalloy, amorphous material, or silicon steel high in permeability. Inner and outer permalloy plates are mounted on the inner and the outer permalloy angles, 4 and 5, of support frames 1 respectively to form a hexahedral box of permalloy, where various wall surface structures are realized when either or both of the inner and the outer plates are dismounted. Moreover, it is necessary that the component parts, which are such as the support frames 1 other than the corner angles 4 and 5 to prevent a magnetic field from leaking out through the joints between the parmalloy plates and the angles which directly block a magnetic field, are made of non- magnetic material such as stainless steel so as to eliminate the effect of magnetism.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、各種磁性材料の変動磁
場に対するシールド性能を、種々の壁面構成について評
価することが可能な変動磁場シールド性能測定用シール
ドボックスに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a variable magnetic field shield performance measuring shield box capable of evaluating the shield performance of various magnetic materials against a varying magnetic field for various wall configurations.

【0002】[0002]

【従来の技術】最近のインテリジェントビルや精密工場
に設置される機器には、磁気に対して敏感なものが多く
なってきている。例えば、電子顕微鏡は感度を上げるた
めに、磁気の変動成分を2mG(ミリガウス)以下に抑
えるようになっている。それに対して、現在の日常環境
においては、種々の磁気発生源が近くに存在している。
例えば、電車や車、あるいは送電線等の周辺には大きな
磁気が発生しており、近くに建屋を造る場合、数10m
Gの変動磁場が存在する。その中に設置される精密機器
は、磁気的な悪環境下に曝されることになり、満足に機
器の性能を発揮することは出来なくなる。
2. Description of the Related Art Recently, many devices installed in intelligent buildings and precision factories are sensitive to magnetism. For example, the electron microscope is designed to suppress the magnetic fluctuation component to 2 mG (milligauss) or less in order to increase the sensitivity. On the other hand, in today's daily environment, various magnetic sources are present nearby.
For example, large magnetism is generated around trains, cars, power lines, etc. When building a building nearby, several tens of meters
There is a varying magnetic field of G. The precision equipment installed therein will be exposed to a magnetically adverse environment, and it will no longer be possible to demonstrate the performance of the equipment satisfactorily.

【0003】この対処方法として、機器周辺あるいは機
器が設置される部屋全体をパーマロイ、アモルファス、
珪素鋼板等の強磁性体で囲み、外部からの侵入磁場を吸
い取る形で磁気の侵入を防ぐ、磁気シールドルーム(ボ
ックス)を設置する方法が採られる。上記の強磁性体
は、1G(ガウス)以下の磁気特性に優れて高い透磁率
を示し、変動磁場のような小さい磁場においても効率よ
く磁気をシールドすることが出来る。
As a method of coping with this, permalloy, amorphous,
A method of installing a magnetically shielded room (box) that is surrounded by a ferromagnetic material such as a silicon steel plate and prevents the invasion of magnetism by absorbing an intruding magnetic field from the outside is adopted. The above-mentioned ferromagnet has excellent magnetic characteristics of 1 G (Gauss) or less, shows high magnetic permeability, and can efficiently shield magnetism even in a small magnetic field such as a fluctuating magnetic field.

【0004】唯、材料本来の磁気シールド性能は高いも
のの、磁気シールドルーム形状にすると多くの問題点が
出てくる。継ぎ目や扉・窓のような開口等からの漏洩磁
場の問題、材料の種類や厚さ、対象にする磁場の種類
(大きさ・周波数・方向等)による磁気シールド性能の
違い等である。このような変動磁場に対する各種データ
の収集を簡単かつ高精度に行えるものとして、本特許出
願人は先に特願平4−85640号『変動磁場シールド
性能測定用シールドボックス』を提案した。これは、六
面体の適当な一面に取り付けた種々形状の被験財を取り
替えることにより、変動磁場に対する各種シールド性能
を測定することが出来るものである。
However, although the original magnetic shield performance of the material is high, many problems arise when the magnetic shield room shape is used. There are problems such as leakage magnetic fields from joints and openings such as doors and windows, differences in magnetic shield performance depending on the type and thickness of materials, and the type (magnitude, frequency, direction, etc.) of the target magnetic field. The applicant of the present patent application has previously proposed Japanese Patent Application No. 4-85640, "Shield box for measuring fluctuating magnetic field shield performance", as a device for easily and highly accurately collecting various data for such a fluctuating magnetic field. It is possible to measure various shield performances against a fluctuating magnetic field by replacing test articles of various shapes attached to an appropriate one surface of a hexahedron.

【0005】一方、変動磁場用のシールドルームにおい
て、シールド効果に大きな影響を及ぼす要因として、壁
面の構成方法がある。六面体で囲う方法が最もシールド
効果が高い構成方法であるが、実際には場所的及びコス
ト的制約から、壁面の一部の面を削除したり、天井や床
を削除したりするケースがある。また、さらに高いシー
ルド効果を求める場合、壁面を2層にする等の多層構造
が採られる。多層構造は、複数のシールド板を適当な空
間を隔てて配するもので、変動磁場においては大きな効
果を発揮する。
On the other hand, in the variable magnetic field shield room, a method of constructing the wall surface is one of the factors that greatly affect the shield effect. The method of enclosing with a hexahedron is the construction method with the highest shield effect, but in reality, there are cases where part of the wall surface is deleted or the ceiling or floor is deleted due to locational and cost constraints. Further, when a higher shield effect is desired, a multi-layer structure such as a wall surface having two layers is adopted. The multi-layered structure is one in which a plurality of shield plates are arranged with an appropriate space therebetween, and exhibits a great effect in a fluctuating magnetic field.

【0006】このようなシールドルームの設計において
は、壁面構成の違いがシールド効果に及ぼす影響に関す
る各種データが必要になる。データの収集には、磁場解
析によるコンピューターシミュレーションも行われる
が、実験での確認が重要になる。変動磁場に対するシー
ルド実験は、それぞれの壁面の構成方法に対応した模擬
モデルを作成し、コイルにより作られる磁場の中に置い
て性能を測定する方法で行われる。唯、この方法ではモ
デル作成に多くのコストと労力を要するため、円筒(例
えば、φ10cm×長さ30cm程度)を磁場中に置い
て、内部の磁場を測定する簡易法が多用されている。円
筒を2重にすれば、多層効果も確認できる。
[0006] In designing such a shielded room, various data concerning the influence of the difference in wall construction on the shield effect is required. Computer simulations by magnetic field analysis are also used to collect data, but confirmation by experiments is important. The shield experiment against the fluctuating magnetic field is performed by a method in which a simulated model corresponding to the method of constructing each wall surface is created and the performance is measured by placing it in the magnetic field created by the coil. However, since this method requires a lot of cost and labor to create a model, a simple method of placing a cylinder (for example, φ10 cm × length 30 cm) in a magnetic field and measuring the internal magnetic field is often used. If the cylinder is doubled, the multi-layer effect can be confirmed.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】各種壁面の構成方法に
対応したモデルを作成するには、多くのコストと労力を
要する。そのため、多くの種類のモデルを作成すことは
出来ず、限定条件下でのデータしか採れない。モデルを
小さくすると、材料費は少なくて済むが、労力は同じく
らい要するとともに、精度面で問題が生じる。
A large amount of cost and labor are required to create a model corresponding to various wall construction methods. Therefore, many kinds of models cannot be created, and only data under limited conditions can be obtained. The smaller the model, the less material costs, but the same effort and problems with accuracy.

【0008】一方、円筒を用いた簡易法は、実際の磁気
シールドルームとは大きく異なった形状であり、形状の
要素を組み込むことが出来ず、磁場の分布等も把握出来
ない。また、磁気の回り込みも生じ、精度面で問題があ
る。以上のように、従来の各種壁面構成に対する変動磁
場シールド性能測定用のモデルでは、変動磁場に対する
シールド性能を多様かつ正確に評価することが難しく、
簡単かつ高精度にシールド性能を測定出来るものが望ま
れていた。
On the other hand, the simple method using a cylinder has a shape greatly different from an actual magnetically shielded room, it is not possible to incorporate a shape element, and it is not possible to grasp the distribution of a magnetic field. In addition, magnetic wraparound occurs and there is a problem in terms of accuracy. As described above, in the conventional model for measuring the varying magnetic field shield performance with respect to various wall surface configurations, it is difficult to evaluate the shielding performance against the varying magnetic field variously and accurately,
What could easily and accurately measure the shield performance was desired.

【0009】本発明は変動磁場に対するシールド性能を
簡単且つ高精度に測定できるシールドボックスを提供す
ることを目的とするものである。
An object of the present invention is to provide a shield box which can measure the shield performance against a fluctuating magnetic field easily and with high accuracy.

【0010】[0010]

【課題を達成するための手段】 六面体のそれぞれの
面が、着脱可能な内外2枚のシールド板からなるシール
ドボックスを作り、適当な面の板を着脱することによ
り、変動磁場に対する各種シールド性能を測定する。 前記六面体シールドボックスを次のように構成す
る。
[Means for Achieving the Object] By forming a shield box composed of two shield plates, inside and outside of which each face of a hexahedron is removable, and attaching and removing plates with appropriate faces, various shield performances against a varying magnetic field can be obtained. taking measurement. The hexahedral shield box is constructed as follows.

【0011】ア.面を構成する板を、パーマロイ、アモ
ルファス、珪素鋼板等の強磁性材料とし、それぞれの面
において少なくとも2枚の適当な空間を隔てて配置す
る。 イ.上記アのシールド板において、継ぎ目からの磁場の
漏洩がないよう、各板を磁気抵抗なく堅固に接合する。 ウ.上記アの板のコーナー部からの磁場の漏洩を防ぐた
め、パーマロイ、アモルファス、珪素鋼板等の強磁性材
料からなるコーナーアングルを設ける。
A. The plates forming the surfaces are made of a ferromagnetic material such as permalloy, amorphous, or a silicon steel plate, and at least two appropriate spaces are arranged on each surface. I. In the above-mentioned shield plate (a), each plate is firmly bonded without magnetic resistance so that there is no leakage of the magnetic field from the joint. C. In order to prevent the magnetic field from leaking from the corner portion of the plate A, a corner angle made of a ferromagnetic material such as permalloy, amorphous, or a silicon steel plate is provided.

【0012】エ.上記ウのコーナーアングルを取り付け
るとともに、ボックス全体を支持するため、非磁性材料
からなる支柱を設ける。 オ.シールドボックス内部での各種操作を可能にするた
め、容易に開閉出来るとともに閉じたときには機械的に
押さえ付けられ、周辺からの磁場の漏洩を抑えられる扉
機構を、内外層にそれぞれ設ける。
D. In addition to mounting the corner angle of the above c, a column made of a non-magnetic material is provided to support the entire box. E. In order to enable various operations inside the shield box, a door mechanism that can be easily opened and closed and mechanically pressed when closed to prevent leakage of magnetic fields from the surroundings is provided in each of the inner and outer layers.

【0013】[0013]

【作用】コイルにより作られる磁場空間内にシールドボ
ックスを置き、シールドボッスル内部にガウスメーター
等のセンサーを設置し、内部の磁場を測定する。シール
ドボックスの基本的な形態は六面体であるが、必要によ
り特定壁面のシールド板を取外し、又はシールド板を1
枚とし、又はシールド体の厚さを変えて磁場の強さを測
定することにより、シールド性能を評価できる。
[Function] A shield box is placed in a magnetic field space created by a coil, and a sensor such as a Gauss meter is installed inside the shield boss to measure the internal magnetic field. The basic form of the shield box is a hexahedron, but if necessary, remove the shield plate on the specified wall or replace the shield plate with one
The shield performance can be evaluated by measuring the magnetic field strength by changing the thickness of the shield body or by changing the thickness of the shield body.

【0014】各種壁面構成における測定値の差が、その
壁面構成でのシールド性能となる。コイルから発生する
磁場の大きさ,周波数,分布を変えるとともに、シール
ドボックスの磁場に対する角度を変えると、各種壁面構
成におけるシールドボックス、及びシールド板のシール
ド性能を測定することができる。
The difference between the measured values of various wall surface configurations is the shield performance of the wall surface configuration. By changing the magnitude, frequency, and distribution of the magnetic field generated from the coil, and changing the angle of the shield box with respect to the magnetic field, the shield performance of the shield box and shield plate in various wall configurations can be measured.

【0015】[0015]

【実施例】シールド体をPCパーマロイからなるパーマ
ロイ板で構成した本発明の実施例を図1乃至図3につい
て説明する。図において、1は六面体の隅部に配置され
六面体の骨組となる支柱枠、1a,1b,1c・・・・
は支柱枠1を形成する支柱、2,3は内側及び外側のパ
ーマロイ板、2a,3aはパーマロイ板の内側及び外側
扉、4,5は支柱枠1に固定された内側及び外側のパー
マロイアングル、10はシールドボックス(全体)、1
1は磁場発生用のヘルムホルツコイル、12は設置台、
13は調整台、14はシールドボックス10の内部に設
置されるセンサー、15はセンサー14とガウスメータ
ー16を接続するケーブル、17はガウスメーター16
とコンピューター18を接続する情報ラインである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT An embodiment of the present invention in which the shield body is made of a permalloy plate made of PC permalloy will be described with reference to FIGS. In the figure, reference numeral 1 denotes a support frame 1a, 1b, 1c ... which is arranged in a corner of the hexahedron and serves as a frame of the hexahedron.
Are columns forming the column frame 1, 2 and 3 are inner and outer permalloy plates, 2a and 3a are inner and outer doors of the permalloy plate, 4 and 5 are inner and outer permalloy angles fixed to the column frame 1, 10 is a shield box (whole), 1
1 is a Helmholtz coil for magnetic field generation, 12 is an installation stand,
13 is an adjustment stand, 14 is a sensor installed inside the shield box 10, 15 is a cable connecting the sensor 14 and the Gauss meter 16, and 17 is a Gauss meter 16
Is an information line that connects the computer 18 with the computer 18.

【0016】シールドボックス10の基本的な形状は六
面体であり、六面体を構成するシールド板はパーマロ
イ、アモルファス、珪素鋼板等の高透磁率を有するもの
であれば何でもよいが、本実施例では最も磁気シールド
特性の優れたPCパーマロイを前提にして説明する。P
Cパーマロイは、ニッケルを78%程度含んだ合金であ
り、低い磁場において非常に高い透磁率を有し、変動磁
場のシールドには最適なものである。
The basic shape of the shield box 10 is a hexahedron, and the shield plate forming the hexahedron may be any one having a high magnetic permeability such as permalloy, amorphous, or a silicon steel plate, but in this embodiment, it is most magnetic. Description will be made on the premise of PC permalloy having excellent shield characteristics. P
C permalloy is an alloy containing about 78% nickel, has a very high magnetic permeability in a low magnetic field, and is optimal for shielding a fluctuating magnetic field.

【0017】シールドボックス10のそれぞれの面は、
内外2枚のパーマロイ板2,3で構成される。それぞれ
の板は、コーナー部で一体となるように固定される。コ
ーナーには支柱枠1が配されており、ボックス全体を堅
固に支持する。支柱枠1にはパーマロイアングル4,5
がビス止め、あるいは溶接で取り付けられ、コーナー接
合部からの磁場の漏洩を防止する。パーマロイアングル
4,5と適当な重ね代を介して内外のパーマロイ板2,
3を所定の位置にビスで取り付ける。パーマロイ板2,
3とパーマロイアングル4,5の接触面の巾とビス止め
ピッチは、パーマロイ板の厚さにより変わってくるが、
厚さ1.5mmの板であれば、巾50mm、ビスのピッ
チは50mm程度である。ビスは、千鳥状に配すると効
果的である。ビスの取り付け,取り外しによりパーマロ
イ板の着脱作業が行われる。これらの作業は、全て外部
から可能である。
Each surface of the shield box 10 is
It is composed of two inner and outer permalloy plates 2 and 3. The respective plates are fixed so that they are integrated at the corners. A prop frame 1 is arranged at the corner to firmly support the entire box. Permalloy angles 4, 5 on the support frame 1
Are attached with screws or welded to prevent leakage of magnetic field from the corner joint. Inner and outer permalloy plates 2, with permalloy angles 4, 5 and appropriate overlap margins
Install 3 in place with screws. Permalloy plate 2,
The width of the contact surface between 3 and the permalloy angles 4 and 5 and the screwing pitch vary depending on the thickness of the permalloy plate,
A plate having a thickness of 1.5 mm has a width of 50 mm and a screw pitch of about 50 mm. It is effective to arrange the screws in a staggered pattern. The work of attaching and detaching the permalloy plate is performed by attaching and removing the screws. All of these tasks can be done externally.

【0018】尚、パーマロイは、製造装置の関係から市
場に出ているものは巾330mm程度のものしかない。
よって、1m角程度の板を作るには、数枚を接合して作
らなければならない。この場合、継ぎ目から磁場の漏洩
を抑えるため、パーマロイ製当て板等を使用する。ま
た、シールドボックス10は、適当な一面に開口とその
扉2a,3aを有する。壁面が2層のため、扉も外側扉
と内側扉の2つ必要である。また、開閉するためには、
外側扉が内側扉より1回り大きいサイズである必要があ
る。扉部分のパーマロイ板と開口周囲のパーマロイ板と
は、接触面からの磁場の漏洩を防ぐため、重ね代を設
け、且つ扉閉鎖時に扉2a,3aを開口周囲に押付ける
構造とする。
As for the permalloy, only one having a width of about 330 mm is available on the market due to the manufacturing equipment.
Therefore, to make a 1m square plate, several plates must be joined together. In this case, a permalloy pad plate or the like is used to suppress the leakage of the magnetic field from the joint. The shield box 10 has an opening and its doors 2a and 3a on an appropriate surface. Since there are two layers of wall surfaces, two doors are required, an outer door and an inner door. Also, to open and close,
The outer door must be one size larger than the inner door. The permalloy plate of the door portion and the permalloy plate around the opening are provided with a stacking margin in order to prevent the magnetic field from leaking from the contact surface, and the doors 2a and 3a are pressed around the opening when the door is closed.

【0019】支柱枠1の内外のパーマロイアングル4,
5のそれぞれに内外2枚のパーマロイ板を取り付けるこ
とにより、六面体が形成されるが、内外2層のどちらか
一方、あるいは両方を取り外せば種々の壁面構成が実現
される。尚、直接的にシールド効果を期待するパーマロ
イの平板部とコーナー接合部からの磁場の漏洩を防止す
るコーナーアングル以外の支柱枠1等の部分は、磁気の
影響をなくすためステンレス等の非磁性材料である必要
がある。また、変動磁場による渦電流効果まで加味する
と、ベークライトやFRPのような非導電性の材料が望
ましい。その結果、純粋なシールド効果を把握すること
が出来る。
Permalloy angles 4 inside and outside the support frame 1.
A hexahedron is formed by attaching two inner and outer permalloy plates to each of 5, and various wall configurations can be realized by removing one or both of the inner and outer two layers. In addition, in order to eliminate the influence of magnetism, non-magnetic materials such as stainless steel are used for parts other than the corner angles that prevent the magnetic field from leaking from the flat plate part and the corner joint part of the permalloy that are expected to have a direct shielding effect. Must be Further, considering the eddy current effect due to the fluctuating magnetic field, a non-conductive material such as Bakelite or FRP is desirable. As a result, it is possible to understand the pure shield effect.

【0020】次に本発明によるシールドボックス10を
設置する変動磁場発生装置を図3について説明する。ヘ
ルムホルツコイル11が作る磁場空間に、設置台12及
び調整台13を介してシールドボックス10が設置され
る。設置台12は、床の鉄筋により磁場の乱れが生じる
ことを防ぐもので、装置全体を上方に持ち上げるもので
ある。調整台13は、ヘルムホルツコイル11に対する
シールドボックス10の高さ及び方向を調整するもので
ある。
Next, a variable magnetic field generator for installing the shield box 10 according to the present invention will be described with reference to FIG. The shield box 10 is installed in the magnetic field space created by the Helmholtz coil 11 via the installation table 12 and the adjustment table 13. The installation table 12 prevents the magnetic field from being disturbed by the reinforcing bars on the floor, and lifts the entire apparatus upward. The adjustment table 13 is for adjusting the height and direction of the shield box 10 with respect to the Helmholtz coil 11.

【0021】シールドボックス10の大きさは、磁場の
均一度の関係からヘルムホルツコイル11の外径の1/
2以下が望ましく、ヘルムホルツコイル11の外径が2
mであれば、1m以下のサイズである。また、シールド
ボックス10内に設置されたガウスメーター16のセン
サー14により、内部の磁場が測定され、情報ライン1
7を通してコンピューター18にデータが送られる。
The size of the shield box 10 is 1 / outer diameter of the Helmholtz coil 11 in consideration of the homogeneity of the magnetic field.
2 or less is desirable, and the outer diameter of the Helmholtz coil 11 is 2
If m, the size is 1 m or less. The internal magnetic field is measured by the sensor 14 of the Gauss meter 16 installed in the shield box 10, and the information line 1
Data is sent to the computer 18 through 7.

【0022】所定の壁面構成を有するシールドボックス
10を1対のヘルムホルツコイル11の中間に置き、ヘ
ルムホルツコイル11により発生する磁場を変化させ、
またシールドボックス10の方向を調整して、変動磁場
に対するシールド性能の測定を行うことができる。
A shield box 10 having a predetermined wall surface structure is placed in the middle of a pair of Helmholtz coils 11 to change the magnetic field generated by the Helmholtz coils 11.
Moreover, the direction of the shield box 10 can be adjusted to measure the shield performance against a fluctuating magnetic field.

【0023】[0023]

【発明の効果】本発明による変動磁場シールド性能測定
用シールドボックスは、六面体の隅部に配置され六面体
の骨組をなす支柱枠と、前記支柱枠に着脱可能に且つ磁
場の漏洩を防ぐように装着されて二重壁六面体を形成す
るそれぞれ内外2枚のシールド板とを具え、前記六面体
の1つの面の内外のシールド板をそれぞれ開閉可能な扉
状とし、更に前記内外2枚のシールド板を、それぞれパ
ーマロイ、アモルファス、珪素鋼板等の強磁性材料によ
り構成したことにより、次の効果を有する。
The shield box for measuring the varying magnetic field shield performance according to the present invention is attached to the support frame which is arranged at the corner of the hexahedron and which forms the framework of the hexahedron, and which is detachably attached to the support frame and prevents leakage of the magnetic field. And a shield plate of two inside and outside forming a double-walled hexahedron, respectively, and a shield plate inside and outside of one surface of the hexahedron can be opened and closed, and further, two shield plates inside and outside, Since each is made of a ferromagnetic material such as permalloy, amorphous, or a silicon steel plate, the following effects are obtained.

【0024】基本モデルとして、六面体のシールドボッ
クスを1つ作るだけでよく、実験に要するコストと労力
を大幅に低減出来る。また、適当な面のシールド板を着
脱することにより、全体あるいは一部が1層構造の壁面
構成になったり、一部の壁面を削除したモデルを構成す
ることも簡単に出来る。それにより、シールドルームの
各種壁面構成方法に対する変動磁場シールド特性をあら
ゆる角度から把握出来る。更に材料や厚さの違いによる
差も簡単に求められる。
As a basic model, only one hexahedron shield box needs to be made, and the cost and labor required for the experiment can be greatly reduced. Further, by attaching / detaching a shield plate having an appropriate surface, it is possible to easily construct a model in which the whole or a part of the wall has a one-layer structure or a part of the wall is deleted. Therefore, it is possible to grasp the varying magnetic field shield characteristics for various wall construction methods of the shield room from all angles. Furthermore, the difference due to the difference in material and thickness can be easily obtained.

【0025】また、実物の1/10程度の大きさで内部
の磁場分布の測定が可能であるため、従来に較べて非常
に高精度な情報を得ることが出来る。この結果をコンピ
ューターシミュレーションにフィードバックすることに
より、磁気シールドルーム全体形状でのシールド特性を
精度よくシミュレート出来るようになる。
Further, since the internal magnetic field distribution can be measured with a size of about 1/10 of the actual size, it is possible to obtain highly accurate information as compared with the conventional one. By feeding back this result to the computer simulation, it becomes possible to accurately simulate the shield characteristics in the entire shape of the magnetic shield room.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明によるシールドボックスの実施例におけ
るシールド板の展開図である。
FIG. 1 is a development view of a shield plate in an embodiment of a shield box according to the present invention.

【図2】シールド板を組付けた図1の実施例の水平断面
図である。
FIG. 2 is a horizontal sectional view of the embodiment of FIG. 1 with a shield plate assembled.

【図3】変動磁場においてシールド性能を測定するシス
テム図である。
FIG. 3 is a system diagram for measuring shield performance in a fluctuating magnetic field.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 支柱枠 1a,1b 支柱 2 内側パーマロイ板 2a 内側扉 3 外側パーマロイ板 3a 外側扉 4 内側パーマロイアングル 5 外側パーマロイアングル 1 prop frame 1a, 1b prop 2 inner permalloy plate 2a inner door 3 outer permalloy plate 3a outer door 4 inner permalloy angle 5 outer permalloy angle

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 六面体の隅部に配置され六面体の骨組を
なす支柱枠と、前記支柱枠に着脱可能に且つ磁場の漏洩
を防ぐように装着されて二重壁六面体を形成するそれぞ
れ内外2枚のシールド板とを具え、前記六面体の1つの
面の内外のシールド板をそれぞれ開閉可能な扉状とした
ことを特徴とする変動磁場シールド性能測定用シールド
ボックス。
1. A support frame which is arranged at a corner of a hexahedron and constitutes a framework of a hexahedron, and two inner and outer walls which are detachably attached to the support frame and which prevent leakage of a magnetic field to form a double-walled hexahedron. And a shield plate inside and outside of one surface of the hexahedron, each of which has a door shape that can be opened and closed.
【請求項2】 内外2枚のシールド板を、それぞれパー
マロイ、アモルファス、珪素鋼板等の強磁性材料により
構成した請求項1記載の変動磁場シールド性能測定用シ
ールドボッスス。
2. The shield boss for measuring the varying magnetic field shield performance according to claim 1, wherein the two inner and outer shield plates are each made of a ferromagnetic material such as permalloy, amorphous, or silicon steel plate.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6317678B1 (en) 1999-05-31 2001-11-13 Daimlerchrysler Ag Method and control system for setting a presettable vehicle desired speed
KR100313988B1 (en) * 1999-03-05 2002-01-09 이문호 Shielding material of magnetic field and focusing plate structure of magnetic field and shielding structure of magnetic field using the same
JP2007103405A (en) * 2005-09-30 2007-04-19 Hitachi Metals Ltd Magnetic shield member and member for magnetic shield room
CN113615327A (en) * 2019-01-15 2021-11-05 株式会社日立高新技术 Electromagnetic field shielding plate, method for manufacturing same, electromagnetic field shielding structure, and semiconductor manufacturing environment

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100313988B1 (en) * 1999-03-05 2002-01-09 이문호 Shielding material of magnetic field and focusing plate structure of magnetic field and shielding structure of magnetic field using the same
US6317678B1 (en) 1999-05-31 2001-11-13 Daimlerchrysler Ag Method and control system for setting a presettable vehicle desired speed
JP2007103405A (en) * 2005-09-30 2007-04-19 Hitachi Metals Ltd Magnetic shield member and member for magnetic shield room
CN113615327A (en) * 2019-01-15 2021-11-05 株式会社日立高新技术 Electromagnetic field shielding plate, method for manufacturing same, electromagnetic field shielding structure, and semiconductor manufacturing environment
CN113615327B (en) * 2019-01-15 2023-10-13 株式会社日立高新技术 Electromagnetic field shielding plate, method for manufacturing the same, shielding structure, and semiconductor manufacturing environment

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