JPH0658314U

JPH0658314U - X-ray fluorescence film thickness meter

Info

Publication number: JPH0658314U
Application number: JP140293U
Authority: JP
Inventors: 清長谷川
Original assignee: セイコー電子工業株式会社
Priority date: 1993-01-22
Filing date: 1993-01-22
Publication date: 1994-08-12

Abstract

(57)【要約】【目的】回転試料テーブルを備える蛍光Ｘ線膜厚計の
装置構成を簡略化し、測定の準備作業を簡便化する。【構成】回転試料テーブル２を備える蛍光Ｘ線膜厚計
において、回転試料テーブル２の外周に試料扉１を上下
動させるガイド３を設け、試料扉１にガイド３に沿って
上下動する機構を設け、回転試料テーブル２の回転力を
試料扉１に伝えることにより、試料扉１が必要に応じて
上下動し、Ｘ線遮蔽用の試料扉としての役割を果たす。
同時に試料扉１が自由に上下動できることにより、試料
５の高さに応じた回転試料テーブル２の高さ調整を容易
に実施することが可能となる。 (57) [Abstract] [Purpose] To simplify the apparatus configuration of a fluorescent X-ray film thickness meter equipped with a rotating sample table and simplify the preparation work for measurement. In a fluorescent X-ray film thickness meter having a rotating sample table 2, a guide 3 for moving the sample door 1 up and down is provided on the outer periphery of the rotating sample table 2, and a mechanism for moving the sample door 1 up and down along the guide 3 is provided. By providing the rotating force of the rotating sample table 2 to the sample door 1, the sample door 1 moves up and down as necessary, and serves as a sample door for X-ray shielding.
At the same time, since the sample door 1 can freely move up and down, the height of the rotating sample table 2 can be easily adjusted according to the height of the sample 5.

Description

【考案の詳細な説明】[Detailed description of the device]

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】[Industrial applications]

この考案は、蛍光Ｘ線膜厚計に関するものである。 The present invention relates to a fluorescent X-ray film thickness meter.

【０００２】[0002]

【従来の技術】[Prior art]

従来図２に示す構成において、試料扉１と、試料扉駆動部１０と、回転試料テーブル２と、回転試料テーブル駆動部１２と、試料扉１と回転試料テーブル駆動部１２とを制御する制御部１３によって、試料扉１に試料５が衝突しないように制御が行われていた。 Conventionally, in the configuration shown in FIG. 2, control for controlling the sample door 1, the sample door drive unit 10, the rotary sample table 2, the rotary sample table drive unit 12, the sample door 1 and the rotary sample table drive unit 12 The part 13 was controlled so that the sample 5 did not collide with the sample door 1.

【０００３】また、試料扉１は筐体８をベースに駆動しているため、調整なしに回転試料テーブル２を上下させることはできなかった。Further, since the sample door 1 is driven based on the housing 8, the rotating sample table 2 cannot be moved up and down without adjustment.

【０００４】[0004]

【考案が解決しようとする課題】[Problems to be solved by the device]

しかし、従来の方法では試料扉駆動部１０と、回転試料テーブル駆動部１２と、回転試料テーブル２と試料扉１の同期を取る制御部１３を備えるが必要があるという課題がありまた、膜厚を正確に求めるために、試料５の高さ変化に応じて回転試料テーブル２を上下させる必要があるが、そのつど試料扉１の移動範囲を変更するための調整が必要であった。 However, the conventional method has a problem that it is necessary to include the sample door driving unit 10, the rotary sample table driving unit 12, and the control unit 13 for synchronizing the rotary sample table 2 and the sample door 1 and the film thickness. In order to accurately obtain the value, it is necessary to move the rotating sample table 2 up and down according to the change in the height of the sample 5, but it is necessary to adjust the moving range of the sample door 1 each time.

【０００５】本考案の目的は、従来のこのような課題を解決するため、試料扉を開閉するための専用の動力源を不要とし、制御部１３の制御なしで扉と回転試料テーブル２の同期を取り、同時に回転試料テーブル２を上下させても調整が不要である機構を得ることである。The object of the present invention is to solve the conventional problems as described above, eliminating the need for a dedicated power source for opening and closing the sample door, and controlling the door and the rotary sample table 2 without the control of the control unit 13. It is to obtain a mechanism that requires no adjustment even if the rotary sample table 2 is moved up and down at the same time in synchronization.

【０００６】[0006]

【課題を解決するための手段】[Means for Solving the Problems]

上記課題を解決するために、この考案は、Ｘ線発生部と、蛍光Ｘ線検出部と、試料交換時にＸ線照射を停止するためのＸ線シャッターと、複数の試料を設置可能で、しかも１個以上の試料を筐体の外部に露出し、外部から試料を操作可能な構造の回転試料テーブルと、試料交換時に開閉させる試料扉と、Ｘ線を遮蔽するための筐体とを備える蛍光Ｘ線膜厚計において、前記回転試料テーブルの外周に試料扉を上下動させるガイドを設け、試料テーブルの回転に連動して試料扉が上下動することにより試料交換ができ、回転試料テーブル上に溝を設け試料扉が溝の中まで下降することによって、確実にＸ線を遮蔽できる蛍光Ｘ線膜厚計である。前記回転試料テーブルの外周に設けられたガイドは、試料測定位置において試料扉を下降させ、回転中は、試料扉を押し上げるように形成されており、試料扉には、回転試料テーブルのガイドに沿って上下動する機構が設けられている。 In order to solve the above problems, the present invention can install an X-ray generation unit, a fluorescent X-ray detection unit, an X-ray shutter for stopping X-ray irradiation during sample exchange, and a plurality of samples. In addition, it is equipped with a rotating sample table that exposes one or more samples to the outside of the housing so that the samples can be operated from the outside, a sample door that opens and closes during sample replacement, and a housing that shields X-rays. In the X-ray fluorescence film thickness meter, a guide for moving the sample door up and down is provided on the outer periphery of the rotating sample table, and the sample door can be moved up and down in conjunction with the rotation of the sample table, so that the sample can be replaced. It is a fluorescent X-ray film thickness meter that can reliably shield X-rays by providing a groove on the top and moving the sample door down into the groove. The guide provided on the outer circumference of the rotating sample table is configured to lower the sample door at the sample measurement position and push up the sample door during rotation, and the sample door serves as a guide for the rotating sample table. A mechanism is provided for moving up and down along.

【０００７】[0007]

【作用】[Action]

上記のように構成された蛍光Ｘ線膜厚計において、外周に設けられたガイドによって回転試料テーブルの回転する力を垂直方向に分配し、試料扉を上昇させ、自重またはばね等によって試料扉を下降させることで、他の動力源を用いずに上下動をさせることができ、同時に回転試料テーブルと試料扉の動作の同期を取ることができる。また、回転試料テーブルの測定位置に試料扉が収まる溝を設け測定時に試料扉がその溝の中に収まることによって、確実にＸ線を遮蔽することができる。 In the fluorescent X-ray film thickness meter configured as described above, the rotating force of the rotating sample table is vertically distributed by the guide provided on the outer periphery, and the sample door is raised, and the sample door is moved by its own weight or springs. By lowering, it is possible to move up and down without using any other power source, and at the same time, the operations of the rotating sample table and sample door can be synchronized. In addition, by providing a groove for accommodating the sample door at the measurement position on the rotating sample table, and by allowing the sample door to be accommodated in the groove during measurement, X-rays can be reliably shielded.

【０００８】また、上記構成の回転試料テーブルが上下動できる場合において、測定試料の高さに合わせて回転試料テーブルを上下させれば、それに応じて試料扉が上下動するため、従来技術で記述したような、機械的な調整は不要となる。Further, in the case where the rotating sample table having the above-mentioned configuration can be moved up and down, if the rotating sample table is moved up and down according to the height of the measurement sample, the sample door moves up and down accordingly. There is no need for mechanical adjustment as described above.

【０００９】[0009]

【実施例】【Example】

以下に、この考案の実施例を図に基づいて説明する。図１において、筐体８の中には、試料５に照射するＸ線を発生するＸ線発生部６と、そのＸ線をＯＮ・ＯＦＦするシャッター４と、試料５から発生する蛍光Ｘ線を検出する蛍光Ｘ線検出部６が、筐体８に備えられている。筐体８には窓部が備えられており、その窓部には試料５を載置する回転試料テーブル２が備えられている。 An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. In FIG. 1, an X-ray generation unit 6 that generates X-rays that irradiate the sample 5, a shutter 4 that turns the X-rays ON and OFF, and fluorescent X-rays that are emitted from the sample 5 are included in the housing 8. The fluorescent X-ray detection unit 6 for detecting is provided in the housing 8. The housing 8 is provided with a window portion, and the window portion is provided with the rotating sample table 2 on which the sample 5 is placed.

【００１０】回転試料テーブル２は、回転支持体２０により水平に回転可能になっており、回転試料テーブル２の一部は、Ｘ線発生部６からのＸ線照射位置に達しており、また回転試料テーブル２の他の一部は筐体８の外に位置するようになっている。また回転試料テーブル２の外周には、立上がりツバ形状のガイド３が設けられており、総体として凹形状をしている。The rotary sample table 2 can be horizontally rotated by the rotary support 20, and a part of the rotary sample table 2 has reached the X-ray irradiation position from the X-ray generation unit 6 and can be rotated. The other part of the sample table 2 is located outside the housing 8. Further, a rising brim-shaped guide 3 is provided on the outer periphery of the rotary sample table 2 and has a concave shape as a whole.

【００１１】更に、ガイド３には、凹部３ａが設けられている。そして、筐体８の窓部には、試料扇１が設けられており、その試料扇１は、上下方向に自重にてスライド可能になっている。つまり、試料扇１の下端は、常にガイド３に接触していることになる。また、ガイド３の凹部３ａは、試料扇１の下端が回転試料テーブル２の試料載置面２ａに接するように、回転試料テーブル２の試料載置面２ａと同一面になるように凹みが形成されている。試料扉１が下降して試料測定を実施している状態を示し、回転試料テーブル２の外周に設けられたガイド３の凹部で上下動可能な試料扉１は下降し、Ｘ線シャッター４が開いても外部にＸ線は漏洩しない。Further, the guide 3 is provided with a recess 3a. A sample fan 1 is provided in the window portion of the housing 8, and the sample fan 1 can slide in the vertical direction by its own weight. That is, the lower end of the sample fan 1 is always in contact with the guide 3. Further, the concave portion 3a of the guide 3 is formed so as to be flush with the sample mounting surface 2a of the rotary sample table 2 so that the lower end of the sample fan 1 contacts the sample mounting surface 2a of the rotary sample table 2. Has been done. The state where the sample door 1 is lowered to perform the sample measurement is shown. The sample door 1 which can be moved up and down by the concave portion of the guide 3 provided on the outer periphery of the rotating sample table 2 is lowered and the X-ray shutter 4 is opened. However, X-rays do not leak outside.

【００１２】次に、Ｘ線シャッター４が閉じた後、回転試料テーブル２を回転させるとき、試料扉１は、ガイド３に沿って上昇するため、試料５と試料扉１が衝突せずに試料交換を行うことができる。同様に、回転試料テーブル２を上下させたとき、試料扉１が連動して上下するため、機械的調整なしに、測定試料の高さに合わせた測定が可能となる。Next, when the rotary sample table 2 is rotated after the X-ray shutter 4 is closed, the sample door 1 rises along the guide 3, so that the sample 5 and the sample door 1 do not collide with each other and the test is performed. You can exchange fees. Similarly, when the rotating sample table 2 is moved up and down, the sample door 1 moves up and down in conjunction with each other, so that the measurement according to the height of the measurement sample can be performed without mechanical adjustment.

【００１３】また、図３に示す、回転試料テーブル２に、試料扉１８が収まる溝２０を設けることにより、測定時に試料扉１が溝の中に収まり、Ｘ線の漏洩を確実に防止することができる。本考案の実施にあたり、図１のＸ線シャッター４が開いている状態で回転試料テーブル２を回転させた場合、試料扉１が上昇し、試料扉１の下方からＸ線が漏洩するという危険や、試料扉１が開いている状態でＸ線シャッター４が開くことを防止するため、試料扉１の先端に、試料扉１と回転試料テーブル２とが接触していることを確認するセンサーを設け、Ｘ線遮断等の安全機構を備える必要がある。Further, by providing the rotary sample table 2 shown in FIG. 3 with the groove 20 in which the sample door 18 is fitted, the sample door 1 is fitted in the groove at the time of measurement, and the leakage of X-rays is surely prevented. You can In carrying out the present invention, when the rotating sample table 2 is rotated with the X-ray shutter 4 shown in FIG. 1 open, the sample door 1 rises and X-rays may leak from below the sample door 1. Also, in order to prevent the X-ray shutter 4 from opening when the sample door 1 is open, a sensor that confirms that the sample door 1 and the rotating sample table 2 are in contact with the tip of the sample door 1 is installed. It is necessary to provide a safety mechanism such as X-ray blocking.

【００１４】[0014]

【考案の効果】[Effect of device]

この考案は、以上説明したように回転試料テーブルの回転する力とタイミングを試料扉の開閉に利用できる構造としたことにより、図２の試料扉駆動部１０と回転試料テーブル駆動部１２と制御部１３とが不要となり、装置構成を簡略化することが可能となる。また従来の技術では、試料の高さが変わるたびに必要であった試料扉の移動範囲の変更も不要となり、測定の準備作業を簡便化するという効果が発生する。 As described above, the present invention has a structure in which the rotating force and timing of the rotating sample table can be used to open and close the sample door, so that the sample door driving unit 10, the rotating sample table driving unit 12, and the control unit shown in FIG. 13 is unnecessary, and the device configuration can be simplified. Further, in the conventional technique, it is not necessary to change the moving range of the sample door, which is required every time the height of the sample is changed, and an effect of simplifying the preparation work for the measurement occurs.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】本考案の実施例を示した構成図であり、測定が
可能な状態を示す図である。FIG. 1 is a configuration diagram showing an embodiment of the present invention and is a diagram showing a state in which measurement is possible.

【図２】従来技術での実施例を示した構成図である。FIG. 2 is a configuration diagram showing an example of a conventional technique.

【図３】回転試料テーブル上に溝を設け、確実にＸ線を
遮蔽する方法を示した図。FIG. 3 is a diagram showing a method of reliably shielding X-rays by providing a groove on a rotating sample table.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１試料扉２回転試料テーブル３回転試料テーブル外周に設けられ、試料扉を動作す
るガイド４Ｘ線シャッター５試料６Ｘ線発生部７蛍光Ｘ線検出部８筐体９試料扉１０試料扉駆動部１１回転試料テーブル１２回転試料テーブル駆動部１３試料扉と回転試料テーブルを制御する制御部１４Ｘ線シャッター１５Ｘ線発生部１６蛍光Ｘ線検出部１７筐体１８試料扉１９回転試料テーブル２０回転試料テーブルに設けられた溝２１Ｘ線1 sample door 2 rotating sample table 3 guide provided on the outer periphery of the rotating sample table to operate the sample door 4 X-ray shutter 5 sample 6 X-ray generator 7 fluorescent X-ray detector 8 housing 9 sample door 10 sample door driver 11 rotating sample table 12 rotating sample table drive unit 13 control unit for controlling the sample door and rotating sample table 14 X-ray shutter 15 X-ray generation unit 16 fluorescent X-ray detection unit 17 housing 18 sample door 19 rotating sample table 20 rotating sample Groove on table 21 X-ray

Claims

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request]

【請求項１】Ｘ線発生部と、蛍光Ｘ線検出部と、試料
交換時にＸ線照射を停止するためのＸ線シャッターと、
複数の試料を設置可能で、しかも１個以上の試料を筐体
の外部に露出し、外部から試料を操作可能な構造の回転
試料テーブルと、試料交換時に開閉させる試料扉と、Ｘ
線を遮蔽するための筐体と前記回転試料テーブルの外周
に試料扉を上下動させるガイドとからなる蛍光Ｘ線膜厚
計において、前記回転試料テーブルの外周に設けられた
ガイドは、試料測定位置において試料扉を下降させ、回
転中は、試料扉を押し上げるように形成されており、試
料扉には、回転試料テーブルのガイドに沿って上下動す
る機構が設けられていることを特徴とする蛍光Ｘ線膜厚
計。1. An X-ray generation unit, a fluorescent X-ray detection unit, an X-ray shutter for stopping X-ray irradiation during sample exchange,
A rotating sample table having a structure in which a plurality of samples can be installed and one or more samples are exposed to the outside of the housing so that the samples can be operated from the outside;
In a fluorescent X-ray film thickness meter comprising a casing for shielding rays and a guide for vertically moving a sample door on the outer periphery of the rotating sample table, the guide provided on the outer periphery of the rotating sample table is a sample measuring position. At the same time, the sample door is lowered and the sample door is pushed up during rotation, and the sample door is provided with a mechanism for moving up and down along the guide of the rotating sample table. X-ray film thickness meter.