JPH0655430A - 表面研磨仕上装置 - Google Patents
表面研磨仕上装置Info
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- JPH0655430A JPH0655430A JP22526392A JP22526392A JPH0655430A JP H0655430 A JPH0655430 A JP H0655430A JP 22526392 A JP22526392 A JP 22526392A JP 22526392 A JP22526392 A JP 22526392A JP H0655430 A JPH0655430 A JP H0655430A
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- polishing
- polishing film
- film
- roller
- polished
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 研磨物の研磨面の傷の発生を無くして超高精
度の研磨部材を高品質に製造可能とする表面研磨仕上装
置。 【構成】 本体の上方位置に配設された研磨フィルム供
給スプールより供給される研磨フィルム５を軸方向に振
動するよう構成された圧接ローラ１の外周に巻装させ、
更にその先端をフィルム巻き取りスプールにて巻装収納
するように構成した表面研磨仕上装置の上記研磨フィル
ム供給スプールと圧接ローラ１との間に研磨フィルムの
両側端縁部１０，１１を面取りするため、上記圧接ロー
ラ１の振動および被研磨物３５の回動とに同調するよう
圧接ローラ１に設けた支持部材３，４に面取り治具取り
付け台６，７を連設し、更に面取り治具取り付け台６，
７の上端部に面取り治具８，９を装着した表面研磨仕上
装置。
度の研磨部材を高品質に製造可能とする表面研磨仕上装
置。 【構成】 本体の上方位置に配設された研磨フィルム供
給スプールより供給される研磨フィルム５を軸方向に振
動するよう構成された圧接ローラ１の外周に巻装させ、
更にその先端をフィルム巻き取りスプールにて巻装収納
するように構成した表面研磨仕上装置の上記研磨フィル
ム供給スプールと圧接ローラ１との間に研磨フィルムの
両側端縁部１０，１１を面取りするため、上記圧接ロー
ラ１の振動および被研磨物３５の回動とに同調するよう
圧接ローラ１に設けた支持部材３，４に面取り治具取り
付け台６，７を連設し、更に面取り治具取り付け台６，
７の上端部に面取り治具８，９を装着した表面研磨仕上
装置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、表面研磨仕上装置に関
する。詳しくは、形状が円柱体の被研磨物の表面を超研
磨仕上げする超研磨仕上装置に関する。
する。詳しくは、形状が円柱体の被研磨物の表面を超研
磨仕上げする超研磨仕上装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】円柱体形状で硬質材の被研磨物の外周を
超高精度に研磨仕上する装置は知られている。この超高
精度研磨仕上装置の最近における技術（構成）を図５〜
図７に基づいて説明する。図５は、従来の表面研磨仕上
装置の概要を示す側面図である。図６は、図５の正面を
示し、その一部を破載にて示した正面図である。図７
は、図５および図６の作用状態を示す斜視図である。図
に示す箱状の装置２１の上方位置に示す円形状は、研磨
フィルム２３を供給する供給スプール２２である。この
供給スプール２２の外周面上には、表面にダイヤモンド
砥粒などの研磨材を貼着した長尺の研磨フィルム２３が
巻装されている。
超高精度に研磨仕上する装置は知られている。この超高
精度研磨仕上装置の最近における技術（構成）を図５〜
図７に基づいて説明する。図５は、従来の表面研磨仕上
装置の概要を示す側面図である。図６は、図５の正面を
示し、その一部を破載にて示した正面図である。図７
は、図５および図６の作用状態を示す斜視図である。図
に示す箱状の装置２１の上方位置に示す円形状は、研磨
フィルム２３を供給する供給スプール２２である。この
供給スプール２２の外周面上には、表面にダイヤモンド
砥粒などの研磨材を貼着した長尺の研磨フィルム２３が
巻装されている。
【０００３】供給スプール２２より研磨フィルム２３が
下降する位置には、研磨フィルム２３を移送するガイド
ローラ２４が回転自在に装置されている。このガイドロ
ーラ２４の研磨フィルム２３の移送方向、即ち右方位置
には、側面の形状がＴの字形状に形成された振動ユニッ
ト２５の上方向の杆端２６にガイドローラ２６が装着さ
れている。また、Ｔの字の基端、即ち振動ユニット２５
の中央位置の本体２７より突出した杆端２８には、被研
磨物３５に研磨フィルム２３を圧接し被研磨物の表面を
回転研磨する圧接ローラ２９が回転自在に装着されてい
る。また、上記ガイドローラ２７と対応した振動ユニッ
ト２５の下方位置の杆端３０には、後述する巻取りスプ
ール３３に研磨フィルム２３を移送するためのガイドロ
ーラ３１が装着されている。上記ガイドローラ３１の後
方位置、即ち本体２１の後方位置には、ガイドローラ３
１により移送されてくる研磨フィルム２３を巻き取るた
めのガイドローラ３１，３２が配設されている。ガイド
ローラ３２の後方には、軸芯を駆動室３４内の駆動用モ
ータ３４と連設した巻取りスプール３３が配設されてい
る。
下降する位置には、研磨フィルム２３を移送するガイド
ローラ２４が回転自在に装置されている。このガイドロ
ーラ２４の研磨フィルム２３の移送方向、即ち右方位置
には、側面の形状がＴの字形状に形成された振動ユニッ
ト２５の上方向の杆端２６にガイドローラ２６が装着さ
れている。また、Ｔの字の基端、即ち振動ユニット２５
の中央位置の本体２７より突出した杆端２８には、被研
磨物３５に研磨フィルム２３を圧接し被研磨物の表面を
回転研磨する圧接ローラ２９が回転自在に装着されてい
る。また、上記ガイドローラ２７と対応した振動ユニッ
ト２５の下方位置の杆端３０には、後述する巻取りスプ
ール３３に研磨フィルム２３を移送するためのガイドロ
ーラ３１が装着されている。上記ガイドローラ３１の後
方位置、即ち本体２１の後方位置には、ガイドローラ３
１により移送されてくる研磨フィルム２３を巻き取るた
めのガイドローラ３１，３２が配設されている。ガイド
ローラ３２の後方には、軸芯を駆動室３４内の駆動用モ
ータ３４と連設した巻取りスプール３３が配設されてい
る。
【０００４】上記巻取りスプール３３は、供給スプール
２２より供給された研磨フィルム２３をガイドローラ２
４，２７を介して圧接ローラ２９に供給移送し、被研磨
物３５を研磨する。研磨した研磨フィルム２３は、ガイ
ドローラ３１と３２を介して巻取りスプール３３に移送
されて巻き取られるよう構成されている。また、圧接ロ
ーラ２９は、ローラ振動用モータ３７と連動部材３８を
介して連設されて圧接ローラ２９の軸線方向に振動する
よう構成されている。
２２より供給された研磨フィルム２３をガイドローラ２
４，２７を介して圧接ローラ２９に供給移送し、被研磨
物３５を研磨する。研磨した研磨フィルム２３は、ガイ
ドローラ３１と３２を介して巻取りスプール３３に移送
されて巻き取られるよう構成されている。また、圧接ロ
ーラ２９は、ローラ振動用モータ３７と連動部材３８を
介して連設されて圧接ローラ２９の軸線方向に振動する
よう構成されている。
【０００５】上記構成よりなる従来の表面研磨装置の作
用を以下に説明する。図５に示すように、圧接ローラ２
９の前方向の円柱形状の被研磨物３５は、その軸を旋盤
の主軸などに取り付けられて、図７に示す矢印ａ方向、
即ち時計方向に回転される。また、供給フール２３より
供給される研磨フィルム２３は、ガイドローラ２３，２
４を介して圧接ローラ２９の外周を巻いて、ガイドロー
ラ３１，３２を介して巻き取りスプール３３に巻装され
て矢印ｃに示す方向に移動する。
用を以下に説明する。図５に示すように、圧接ローラ２
９の前方向の円柱形状の被研磨物３５は、その軸を旋盤
の主軸などに取り付けられて、図７に示す矢印ａ方向、
即ち時計方向に回転される。また、供給フール２３より
供給される研磨フィルム２３は、ガイドローラ２３，２
４を介して圧接ローラ２９の外周を巻いて、ガイドロー
ラ３１，３２を介して巻き取りスプール３３に巻装され
て矢印ｃに示す方向に移動する。
【０００６】上記した研磨フィルム２３を外周に巻装し
た圧接ローラ２９は、所望の間隔を設けて被研磨物３５
の軸線と平行に配設され、続いて前方向に移動して被研
磨物３５の外周面と当接し押圧すると共に、ローラ振動
用モータ３７を駆動して矢印ｂに示す方向、即ち圧接ロ
ーラ２９の軸線方向に振動させる。この場合、圧接ロー
ラ２９を被研磨物３５の表面に押し付けることにより、
圧接ローラ２９の軸線方向への振動ｂに同調して研磨フ
ィルム２３も軸線方向に振動する。また、圧接ローラ２
９には、研磨フィルム２３の巻き取り方向（矢印ｃにて
示す方向）による新しい研磨フィルム面が研磨物３５に
連続にて供給されると共に被研磨物３５は回転ａにより
研磨加工が行われる。
た圧接ローラ２９は、所望の間隔を設けて被研磨物３５
の軸線と平行に配設され、続いて前方向に移動して被研
磨物３５の外周面と当接し押圧すると共に、ローラ振動
用モータ３７を駆動して矢印ｂに示す方向、即ち圧接ロ
ーラ２９の軸線方向に振動させる。この場合、圧接ロー
ラ２９を被研磨物３５の表面に押し付けることにより、
圧接ローラ２９の軸線方向への振動ｂに同調して研磨フ
ィルム２３も軸線方向に振動する。また、圧接ローラ２
９には、研磨フィルム２３の巻き取り方向（矢印ｃにて
示す方向）による新しい研磨フィルム面が研磨物３５に
連続にて供給されると共に被研磨物３５は回転ａにより
研磨加工が行われる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記表
面研磨仕上装置においては、圧接ローラ２９の横幅と等
しく研磨フィルム２３の横幅が構成されているため、被
研磨物３５に押し付けて振動回転にて研磨加工を行うの
で、研磨フィルム２３の両端縁辺部３９と４０により被
研磨物３５の研磨面上に傷が生じるという問題があっ
た。上記研磨面上の傷は、一般の研磨仕上げを行う場合
は問題とはならない微小なものであるが、超高精度を要
求される研磨仕上げ加工、例えば面粗さ１μｍ以下を求
められる研磨物に対しては、研磨フィルム２３の両端縁
辺部３９，４０より生ずる傷が製品の質を落とすという
問題が生じていた。
面研磨仕上装置においては、圧接ローラ２９の横幅と等
しく研磨フィルム２３の横幅が構成されているため、被
研磨物３５に押し付けて振動回転にて研磨加工を行うの
で、研磨フィルム２３の両端縁辺部３９と４０により被
研磨物３５の研磨面上に傷が生じるという問題があっ
た。上記研磨面上の傷は、一般の研磨仕上げを行う場合
は問題とはならない微小なものであるが、超高精度を要
求される研磨仕上げ加工、例えば面粗さ１μｍ以下を求
められる研磨物に対しては、研磨フィルム２３の両端縁
辺部３９，４０より生ずる傷が製品の質を落とすという
問題が生じていた。
【０００８】本発明は、上記問題点に鑑みてなされたも
ので、研磨フィルムの両端縁辺部による研磨物への傷の
発生を簡単な構成で、かつ安価に製作できると共に、品
質の高い表面研磨仕上げを行うことができる表面研磨仕
上装置を提供することを目的とするものである。
ので、研磨フィルムの両端縁辺部による研磨物への傷の
発生を簡単な構成で、かつ安価に製作できると共に、品
質の高い表面研磨仕上げを行うことができる表面研磨仕
上装置を提供することを目的とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段および作用】本発明は、研
磨材を表面に配設した研磨フィルムと、この研磨フィル
ムを被研磨物に圧接する圧接ローラと、この圧接ローラ
に上記研磨フィルムを連続供給する研磨フィルム供給手
段と、上記圧接ローラよりの研磨フィルムを巻装収納す
る研磨フィルム巻き取り手段とを有する研磨装置におい
て、上記研磨フィルム供給手段と、圧接ローラとの間に
供給される研磨フィルムの両側縁部の面取りを行う面取
り手段を配設した表面研磨仕上装置である。
磨材を表面に配設した研磨フィルムと、この研磨フィル
ムを被研磨物に圧接する圧接ローラと、この圧接ローラ
に上記研磨フィルムを連続供給する研磨フィルム供給手
段と、上記圧接ローラよりの研磨フィルムを巻装収納す
る研磨フィルム巻き取り手段とを有する研磨装置におい
て、上記研磨フィルム供給手段と、圧接ローラとの間に
供給される研磨フィルムの両側縁部の面取りを行う面取
り手段を配設した表面研磨仕上装置である。
【００１０】
【実施例１】本発明の表面研磨仕上装置の具体例を図面
に基づいて説明する。図１は、本発明の表面研磨仕上装
置の実施例１に係わる要部を示す斜視図である。図２
は、図１に示す研磨フィルムの面取り手段の作用状態の
要部を示す斜視図である。なお、図中において、本発明
の表面研磨仕上装置の駆動手段の構成とその作用は、上
記した図５〜図７と同一構成に付き省略する。
に基づいて説明する。図１は、本発明の表面研磨仕上装
置の実施例１に係わる要部を示す斜視図である。図２
は、図１に示す研磨フィルムの面取り手段の作用状態の
要部を示す斜視図である。なお、図中において、本発明
の表面研磨仕上装置の駆動手段の構成とその作用は、上
記した図５〜図７と同一構成に付き省略する。
【００１１】圧接ローラ１の両軸端２をそれぞれの先端
に支持した棒状形の支持部材３，４が圧接ローラ１の振
動と圧接ローラ１の振動に伴う研磨フィルム５の振動と
に同調して振動を行うように圧接ローラ１と同一の駆動
手段、即ち本体２１に設けたローラ振動用モータ３７に
その基端部を装着されている。支持部材３，４のそれぞ
れの先端寄りの所望位置には逆Ｌ字形状に形成された面
取り治具取り付け台６，７が垂直に、かつ着脱自在に装
着構成されている。面取り治具取り付け台６，７のそれ
ぞれの上端部の屈曲箇所には、図１に示すように所望の
角度に装着された面取り治具８，９が配設されている。
即ち、供給スプール２２より供給され圧接ローラ１に巻
装された研磨フィルム５の側端部１０，１１の面を削除
する位置に所望の角度を有してその基端を装着されてい
る。
に支持した棒状形の支持部材３，４が圧接ローラ１の振
動と圧接ローラ１の振動に伴う研磨フィルム５の振動と
に同調して振動を行うように圧接ローラ１と同一の駆動
手段、即ち本体２１に設けたローラ振動用モータ３７に
その基端部を装着されている。支持部材３，４のそれぞ
れの先端寄りの所望位置には逆Ｌ字形状に形成された面
取り治具取り付け台６，７が垂直に、かつ着脱自在に装
着構成されている。面取り治具取り付け台６，７のそれ
ぞれの上端部の屈曲箇所には、図１に示すように所望の
角度に装着された面取り治具８，９が配設されている。
即ち、供給スプール２２より供給され圧接ローラ１に巻
装された研磨フィルム５の側端部１０，１１の面を削除
する位置に所望の角度を有してその基端を装着されてい
る。
【００１２】上記構成の作用を説明する。フィルム巻き
取りモータ３６が駆動すると供給スプール２２は回動
し、この回動により供給された金属性の研磨フィルム５
は、ガイドローラ２４，２７を経て面取り治具８，９の
刃先によりそれぞれの側端縁部（フィルム端部）１０，
１１を、図２に示すように移動に伴ってそれぞれ面取り
されて、圧接ローラ１の外周を巻き被研磨物３５の外周
を研磨される。研磨した研磨フィルム５は、ガイドロー
ラ３１，３２を介して巻き取りスプール３３にて巻き取
られる。上記のような構成と作用を有する本実施例によ
れば、研磨フィルム５の側端縁部１０，１１を圧接ロー
ラ１に巻装する前に面取り形成を行うので端縁辺から圧
接ローラ１と被研磨物３５間に不純物が侵入することが
ないので品質の高い超高精度の製品が製造できる。
取りモータ３６が駆動すると供給スプール２２は回動
し、この回動により供給された金属性の研磨フィルム５
は、ガイドローラ２４，２７を経て面取り治具８，９の
刃先によりそれぞれの側端縁部（フィルム端部）１０，
１１を、図２に示すように移動に伴ってそれぞれ面取り
されて、圧接ローラ１の外周を巻き被研磨物３５の外周
を研磨される。研磨した研磨フィルム５は、ガイドロー
ラ３１，３２を介して巻き取りスプール３３にて巻き取
られる。上記のような構成と作用を有する本実施例によ
れば、研磨フィルム５の側端縁部１０，１１を圧接ロー
ラ１に巻装する前に面取り形成を行うので端縁辺から圧
接ローラ１と被研磨物３５間に不純物が侵入することが
ないので品質の高い超高精度の製品が製造できる。
【００１３】
【実施例２】図３は、本発明の表面研磨仕上装置の実施
例２に係わる圧接ローラの正面図である。なお、図中に
おいて本発明の表面研磨仕上装置の駆動手段の構成と作
用については、上記実施例１と同様につき省略する。図
に示すように、本実施例と上記実施例１との相違する構
成は、実施例１においては研磨フィルム５の両側端縁部
（フィルム端部）１０，１１を面取りを行って研磨フィ
ルム５の端部面上の不純物が被研磨物３５と圧接ローラ
１を巻装していく研磨フィルム５との間に侵入すること
を防いだのに対し、本実施例は、圧接ローラ１２の外周
の両端縁部１３，１４を削ぎ形成して圧接ローラ１２の
押圧時において研磨フィルム５と被研磨物３５との間に
侵入する不純物の押圧を不可能とする空間を設けたもの
である。即ち、円柱形状の圧接ローラ１２の円周の両端
部をそれぞれ外方向に所望の角度のテーパー形成１３，
１４を形成して、圧接ローラ１２により研磨フィルム５
を押圧する面の幅を研磨フィルム５より狭い形状に形成
して不純物が侵入しても押圧されないため研磨物３５の
表面に傷などが生じない。
例２に係わる圧接ローラの正面図である。なお、図中に
おいて本発明の表面研磨仕上装置の駆動手段の構成と作
用については、上記実施例１と同様につき省略する。図
に示すように、本実施例と上記実施例１との相違する構
成は、実施例１においては研磨フィルム５の両側端縁部
（フィルム端部）１０，１１を面取りを行って研磨フィ
ルム５の端部面上の不純物が被研磨物３５と圧接ローラ
１を巻装していく研磨フィルム５との間に侵入すること
を防いだのに対し、本実施例は、圧接ローラ１２の外周
の両端縁部１３，１４を削ぎ形成して圧接ローラ１２の
押圧時において研磨フィルム５と被研磨物３５との間に
侵入する不純物の押圧を不可能とする空間を設けたもの
である。即ち、円柱形状の圧接ローラ１２の円周の両端
部をそれぞれ外方向に所望の角度のテーパー形成１３，
１４を形成して、圧接ローラ１２により研磨フィルム５
を押圧する面の幅を研磨フィルム５より狭い形状に形成
して不純物が侵入しても押圧されないため研磨物３５の
表面に傷などが生じない。
【００１４】
【実施例３】図４は、本発明の表面研磨仕上装置の実施
例３に係わる圧接ローラを示す正面図である。なお、図
中において本発明の表面研磨仕上装置の駆動手段の構成
と作用については、上記実施例２と同様につき省略す
る。図に示すように、本実施例と上記実施例２との相違
する構成は、実施例２においては、圧接ローラ１２の外
周の両端縁部１３，１４を削ぎ形成して圧接ローラ１２
の押圧時に研磨フィルム５が被研磨物３５に対して押圧
不可能の空間を設けたものであるのに対し、本実施例は
ゴムなどの軟性部材による軟質部１７，１８を構成して
圧接ローラの押圧力を防ぎ構成した点である。
例３に係わる圧接ローラを示す正面図である。なお、図
中において本発明の表面研磨仕上装置の駆動手段の構成
と作用については、上記実施例２と同様につき省略す
る。図に示すように、本実施例と上記実施例２との相違
する構成は、実施例２においては、圧接ローラ１２の外
周の両端縁部１３，１４を削ぎ形成して圧接ローラ１２
の押圧時に研磨フィルム５が被研磨物３５に対して押圧
不可能の空間を設けたものであるのに対し、本実施例は
ゴムなどの軟性部材による軟質部１７，１８を構成して
圧接ローラの押圧力を防ぎ構成した点である。
【００１５】即ち、金属などの硬質材料により構成され
た円柱形状の圧接ローラ１５の円周の両端部をそれぞれ
円周に所望の深さの段部を形成し、その段部に段部の形
状と同寸法のゴムまたは合成樹脂などにて形成されたリ
ング形状の軟質部材１７，１８を装着構成されている。
圧接ローラ１５の研磨フィルム５の押し付け面の幅は、
研磨フィルム５の幅と等しく構成してあるが、研磨フィ
ルム５の側端縁部１０，１１を被研磨物３５に押し圧す
る部分である圧接ローラ１５の外周両端部を軟質部材１
７，１８にて構成し、主なる研磨域である中央部を硬質
材料（硬質部）１６にて形成することによって、研磨フ
ィルム５を研磨物３５より逃がすことにより、研磨フィ
ルム５の側端縁部１０，１１が研磨物３５に強く押圧さ
れることを防じようにしたことにより研磨物３５の表面
と研磨フィルム５との間に不純物が侵入しても押圧され
ても傷が生じないので品質のよい研磨物が得られる。
た円柱形状の圧接ローラ１５の円周の両端部をそれぞれ
円周に所望の深さの段部を形成し、その段部に段部の形
状と同寸法のゴムまたは合成樹脂などにて形成されたリ
ング形状の軟質部材１７，１８を装着構成されている。
圧接ローラ１５の研磨フィルム５の押し付け面の幅は、
研磨フィルム５の幅と等しく構成してあるが、研磨フィ
ルム５の側端縁部１０，１１を被研磨物３５に押し圧す
る部分である圧接ローラ１５の外周両端部を軟質部材１
７，１８にて構成し、主なる研磨域である中央部を硬質
材料（硬質部）１６にて形成することによって、研磨フ
ィルム５を研磨物３５より逃がすことにより、研磨フィ
ルム５の側端縁部１０，１１が研磨物３５に強く押圧さ
れることを防じようにしたことにより研磨物３５の表面
と研磨フィルム５との間に不純物が侵入しても押圧され
ても傷が生じないので品質のよい研磨物が得られる。
【００１６】
【発明の効果】上記構成による本発明によれば、研磨フ
ィルムの側端縁部を削ぎ形成、または研磨フィルムを巻
装して研磨物を押し圧する圧接ローラの外周両端縁部を
研磨物へ押圧しないように構成したので超高精度の表面
研磨仕上げ加工が高品質に得られるという効果は大き
い。
ィルムの側端縁部を削ぎ形成、または研磨フィルムを巻
装して研磨物を押し圧する圧接ローラの外周両端縁部を
研磨物へ押圧しないように構成したので超高精度の表面
研磨仕上げ加工が高品質に得られるという効果は大き
い。
【図１】本発明の表面研磨仕上装置の実施例１に係わる
要部を示す斜視図である。
要部を示す斜視図である。
【図２】図１に示す研磨フィルムと面取り手段の作用状
態の要部を示す斜視図である。
態の要部を示す斜視図である。
【図３】本発明の表面研磨仕上装置の実施例２に係わる
圧接ローラを示す正面図である。
圧接ローラを示す正面図である。
【図４】本発明の正面研磨仕上げ装置の実施例３に係わ
る圧接ローラを示す正面図である。
る圧接ローラを示す正面図である。
【図５】従来の表面研磨仕上装置の概要を示す側面図で
ある。
ある。
【図６】図５の正面を示し、その一部を破載にて示した
正面図である。
正面図である。
【図７】図５および図６の要部の作用状態を示す斜視図
である。
である。
１，１２，１５，２９ 圧接ローラ ２ 軸 ３，４ 支持部材 ５，２３ 研磨フィルム ６，７ 面取り治具取り付け台 ８，９ 面取り治具 １０，１１，３９，４０ 研磨フィルム端部 １３，１４ テーパ １６ 硬質部（硬質材料） １７，１８ 軟質部（軟質材料） ２１ 本体 ２２ 研磨フィルム供給スプール ２４，２７，３１，３２ ガイドローラ ２５ 振動ユニット ２６，２８，３０ 杆端部 ３３ 巻き取りスプール ３４ 駆動室 ３５ 被研磨物 ３６ フィルム巻き取りモータ ３７ 圧接ローラ振動用モータ ３８ 連結部材
Claims (2)
- 【請求項１】 研磨材を表面に配設した研磨フィルム
と、この研磨フィルムを被研磨物に圧接する圧接ローラ
と、この圧接ローラに上記研磨フィルムを連続供給する
研磨フィルム供給手段と、上記圧接ローラよりの研磨フ
ィルムを巻装収納する研磨フィルム巻取り手段とを有す
る研磨装置において、上記研磨フィルム供給手段と、圧
接ローラ間に供給される研磨フィルムの両側縁部の面取
りを行う面取り手段を設けたことを特徴とする表面研磨
仕上装置。 - 【請求項２】 研磨材を表面に配設した研磨フィルム
と、この研磨フィルムを被研磨物に圧接する圧接ローラ
と、この圧接ローラに上記研磨フィルムを連続供給する
研磨フィルム供給手段と、上記圧接ローラよりの研磨フ
ィルムを巻装する研磨フィルム巻取り手段とを有する研
磨装置において、上記研磨フィルム供給手段より供給さ
れる研磨フィルムを被研磨物に圧接する圧接ローラの外
周両端縁辺部が被研磨物に圧接しないよう回避手段を設
けたことを特徴とする表面研磨仕上装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22526392A JP3457972B2 (ja) | 1992-07-31 | 1992-07-31 | 表面研磨仕上装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22526392A JP3457972B2 (ja) | 1992-07-31 | 1992-07-31 | 表面研磨仕上装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0655430A true JPH0655430A (ja) | 1994-03-01 |
| JP3457972B2 JP3457972B2 (ja) | 2003-10-20 |
Family
ID=16826579
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22526392A Expired - Fee Related JP3457972B2 (ja) | 1992-07-31 | 1992-07-31 | 表面研磨仕上装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3457972B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5755615A (en) * | 1995-11-13 | 1998-05-26 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Lapping apparatus |
| US5865669A (en) * | 1995-03-24 | 1999-02-02 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Abrasive machining apparatus equipped with a device for facilitating replacement of abrasive tape |
| US6383063B1 (en) | 1998-04-03 | 2002-05-07 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Polishing apparatus and polishing method |
-
1992
- 1992-07-31 JP JP22526392A patent/JP3457972B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5865669A (en) * | 1995-03-24 | 1999-02-02 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Abrasive machining apparatus equipped with a device for facilitating replacement of abrasive tape |
| US5755615A (en) * | 1995-11-13 | 1998-05-26 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Lapping apparatus |
| US6383063B1 (en) | 1998-04-03 | 2002-05-07 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Polishing apparatus and polishing method |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3457972B2 (ja) | 2003-10-20 |
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