JPH0651882B2 - Vacuum sintering quenching furnace - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、処理物（粉末成形品）の高温真空雰囲気での
焼結工程と処理物（焼結品）に必要な急冷処理工程とを
一貫工程で実施できる真空焼結急冷炉に関するものであ
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention comprises a sintering process of a processed product (powder molded product) in a high temperature vacuum atmosphere and a quenching process process required for the processed product (sintered product). The present invention relates to a vacuum sintering quenching furnace that can be implemented in an integrated process.

［従来の技術］ 例えば、超硬合金、マグネット材、粉末ハイスなどの焼
結材料では、焼結後、焼入れを施すために所定の高温域
からの急冷を要するものが多い。これは、超硬合金では
この急冷処理によって強度の改善が図られ、マグネット
材料では冷却速度に応じて磁気特性が支配されるなど、
必要な材料特性に得る上で不可欠の熱処理とすることに
よる。このため、この種の急冷処理を必要とする焼結材
料を製造する場合では、まず所望の形状に成形した処理
物（粉末成形品）を脱ロウし焼結炉で真空焼結した後、
その処理物（焼結品）を別の焼入れ炉等に装入し再加熱
してから急冷する分別された二又は三工程を経るのが普
通であり、また真空焼結炉についても処理物を一貫工程
で脱ロウ−焼結−急冷を連続的に行なえるものは、現状
では見当らない。[Prior Art] For example, many sintered materials such as cemented carbide, magnet materials, and powdered high speed steel require rapid cooling from a predetermined high temperature range in order to perform quenching after sintering. This is because in cemented carbide, this quenching treatment improves the strength, and in magnet materials, the magnetic properties are governed by the cooling rate.
This is due to the heat treatment that is indispensable for obtaining the required material properties. Therefore, in the case of producing a sintered material that requires this kind of rapid cooling treatment, first, a processed product (powder molded product) molded into a desired shape is dewaxed and vacuum-sintered in a sintering furnace,
The processed product (sintered product) is usually put into another quenching furnace, reheated, and then rapidly cooled, and the separated two or three steps are usually performed. At present, there is no one that can continuously perform dewaxing-sintering-quenching in an integrated process.

［発明が解決しようとする問題点］ しかし、このような真空焼結（脱ロウ工程を含む）、急
冷処理を別々の工程で実施する従来の方法では、どうし
ても作業能率や生産効率が低くなり、炉設備費の増大も
無視できない問題とされる。同時に又、材料によっては
焼結後直ちに急冷した方が所期の性質を得る上でより好
都合となるものがあるが、従来の方法ではかかる要求に
対しても応じることができない欠点がある。[Problems to be Solved by the Invention] However, in the conventional method in which the vacuum sintering (including the dewaxing step) and the quenching process are performed in separate steps, work efficiency and production efficiency are inevitably lowered. The increase in furnace equipment cost is also a problem that cannot be ignored. At the same time, depending on the material, it may be more convenient to obtain the desired properties by quenching immediately after sintering, but there is a drawback that conventional methods cannot meet such requirements.

本発明は、上記の事情に鑑み、処理物を真空焼結した後
引き続く一連の工程で当該処理物を高い効率で急冷処理
することを可能にする真空焼結急冷炉を新たに提供する
ものである。In view of the above-mentioned circumstances, the present invention newly provides a vacuum sintering quenching furnace that makes it possible to rapidly quench a processed product with high efficiency in a series of subsequent steps after vacuum sintering the processed product. is there.

［問題点を解決するための手段］ すなわち、上記の問題点を克服解消するために本発明で
提唱する真空焼結急冷炉は、密閉形のチャンバー内に、
その開口端部に開閉可能な扉を有しかつ内部を真空吸引
可能に構成して処理物を収納するタイトボックスと、こ
のタイトボックスのまわりに配置されるヒータと、前記
チャンバー内に供給される冷却ガスを同チャンバー内で
送風する冷却ファンと、この冷却ファンで送風される冷
却ガスを導びく導風通路と、この導風通路から冷却ガス
を導入して前記タイトボックス内の処理物に向けて噴出
する該処理物の対抗位置に複数箇所に亘って配設された
ノズルと、前記タイトボックスから排出される冷却ガス
を前記冷却ファンの吸込側に案内する案内通路と、この
案内通路に介設され冷却ガスを冷却するクーラとを配設
してなることを特徴としているものである。[Means for Solving the Problems] That is, the vacuum sintering quenching furnace proposed in the present invention for overcoming and solving the above problems is provided in a closed chamber.
A tight box having an openable and closable door at its open end and capable of vacuum suction inside to store a processed product, a heater arranged around this tight box, and a chamber to be supplied into the chamber A cooling fan that blows cooling gas in the same chamber, an air guide passage that guides the cooling gas that is blown by this cooling fan, and a cooling gas that is introduced from this air guide passage to the processed object in the tight box. Nozzles arranged at a plurality of positions opposite to the object to be ejected, a guide passage for guiding the cooling gas discharged from the tight box to the suction side of the cooling fan, and a guide passage through this guide passage. And a cooler for cooling the cooling gas.

［作用］ 本発明の真空焼結急冷炉では、炉のタイトボックス内で
脱ロウし真空焼結した後、引き続き処理物を急冷するに
さいし、その処理物に対し冷却ガスを噴射するようにし
たものであるから、焼入れや組織の調整に必要な高温域
での冷却速度を大きくして処理物を急冷することが可能
となる。つまり、従来では単一炉内で焼結後処理物を連
続的にガス冷却して急冷しようとしても、断熱材その他
の炉材熱容量が大きいため、処理物に必要な高温域での
十分大きな冷却速度を付与することができなかったが、
本発明方法によると、処理物に直接冷却ガスを噴射し
て、不要な炉材の冷却を避けるように冷却するものであ
るから炉全体としての冷却速度は遅くとも、処理物を優
先的に冷却してその高温域における必要な温度範囲での
大きな冷却速度を確保できるのである。[Operation] In the vacuum sintering quenching furnace of the present invention, after dewaxing and vacuum sintering in the tight box of the furnace, when the processed product is subsequently rapidly cooled, the cooling gas is injected to the processed product. Therefore, it is possible to rapidly cool the processed material by increasing the cooling rate in the high temperature range necessary for quenching and adjusting the structure. In other words, in the past, even if the post-sintering processed material was continuously gas-cooled and rapidly cooled in a single furnace, the heat capacity of the heat insulating material and other furnace materials was large, so a sufficiently large cooling in the high temperature range required for the processed material I couldn't give speed,
According to the method of the present invention, the cooling gas is directly injected to the processed material so as to avoid unnecessary cooling of the furnace material. Therefore, even if the cooling rate of the entire furnace is slow, the processed material is preferentially cooled. It is possible to secure a large cooling rate in the required temperature range in the high temperature range.

また、処理物を炉内のタイトボックスに収納すれば、そ
のチャンバー内に関連して設けた要素の働きにより、タ
イトボックスの密閉状態での脱ロウとタイトボックスの
開放状態での真空焼結、さらにガス噴射冷却を一貫工程
で連続的に行なえるものとなる。Also, if the processed product is stored in the tight box in the furnace, the dewaxing in the tight state of the tight box and the vacuum sintering in the open state of the tight box are performed by the function of the elements provided in relation to the chamber. Further, the gas injection cooling can be continuously performed in an integrated process.

［実施例］ 以下、本発明の真空焼結急冷炉を図示の実施例について
詳しく説明する。[Example] Hereinafter, the vacuum sintering quenching furnace of the present invention will be described in detail with reference to the illustrated examples.

第１図と第２図は、本発明に係る真空焼結急冷方法の炉
の構造を図示している。1 and 2 show the structure of the furnace of the vacuum sintering quenching method according to the present invention.

この炉は一端側に開閉可能な炉蓋部１ａを有する中空の
密閉形チャンバー１に、次のような要素を配設して構成
される。This furnace is configured by arranging the following elements in a hollow closed chamber 1 having a furnace lid 1a that can be opened and closed at one end side.

チャンバー１内の中央部には、その周囲を断熱材４ａで
覆ったタイトボックス２を配置している。このタイトボ
ックス２は、筒状の本体２ａとその両端開口端部３、３
を密閉する蓋部２ｂ、２ｂとから構成され、蓋部２ｂ、
２ｂは厚手の断熱壁４ｂ、４ｂに内張されて該断熱壁４
ｂ、４ｂと一体にタイトボックス２の扉５、５を構築し
ている。そして、この両側の扉５、５はそれぞれチャン
バー１に固設した扉開閉装置６、６のシリンダ６ａ、６
ａと連動するリンクレバー６ｂ、６ｂを介して開閉自在
とされている。また、このタイトボックス２は、その本
体２ａの底部中央に脱ロウ時において図外の真空ポンプ
と連通される排気管７を開口させて接続し、扉５、５の
密閉状態でその内部を真空に吸引できるように構成して
いる。そして、このタイトボックス２の内部に、図示の
ように目的の処理物Ａが収納される。なお、チャンバー
１には、該チャンバー１内全体を真空排気するための排
気管２２がその一側に開口させて接続してあり、真空焼
結時にはタイトボックス２の扉５、５を開放して排気す
る。A tight box 2 whose periphery is covered with a heat insulating material 4a is arranged at the center of the chamber 1. The tight box 2 includes a tubular body 2a and open ends 3 and 3 at both ends thereof.
And a lid portion 2b for sealing the
2b is lined with thick heat insulating walls 4b and 4b,
The doors 5 and 5 of the tight box 2 are constructed integrally with b and 4b. The doors 5 and 5 on the both sides are cylinders 6a and 6 of the door opening and closing devices 6 and 6 fixed to the chamber 1, respectively.
It is openable and closable via link levers 6b and 6b which are interlocked with a. The tight box 2 is connected to the center of the bottom of the main body 2a by opening and connecting an exhaust pipe 7 communicating with a vacuum pump (not shown) at the time of dewaxing, and the inside of the tight box 2 is vacuumed when the doors 5 and 5 are closed. It is configured so that it can be sucked in. Then, the target processed material A is housed inside the tight box 2 as shown in the drawing. An exhaust pipe 22 for evacuating the entire chamber 1 is connected to the chamber 1 by opening it on one side, and the doors 5 and 5 of the tight box 2 are opened during vacuum sintering. Exhaust.

また、このタイトボックス２のまわりの本体２ａと前記
断熱材４ａとの間にヒータ８を配置している。このヒー
タ８はタイトボックス２内の処理物Ａを間接加熱するた
めのもので、チャンバー１に該ヒータ８に通電させる給
電端子９を装着している。A heater 8 is arranged between the body 2a around the tight box 2 and the heat insulating material 4a. The heater 8 is for indirectly heating the processed material A in the tight box 2, and the chamber 1 is equipped with a power supply terminal 9 for energizing the heater 8.

一方、チャンバー１内における前記炉蓋部１ａと反対側
の端部に、図示しないガス導入管から供給される冷却ガ
ス（不活性ガス）をチャンバー１内で送風し循環させる
ための冷却ファン１０を設けている。この冷却ファン１
０は、その回転軸をシール軸受１１を介して気密に外部
に延出し、炉外に配設したモータ１２で回転駆動される
ようになっている。On the other hand, a cooling fan 10 for blowing and circulating a cooling gas (inert gas) supplied from a gas introduction pipe (not shown) inside the chamber 1 is provided at the end of the chamber 1 opposite to the furnace lid 1a. It is provided. This cooling fan 1
No. 0 has its rotary shaft airtightly extended to the outside via a seal bearing 11, and is rotationally driven by a motor 12 arranged outside the furnace.

そして、処理物Ａの急冷工程において冷却ファン１０を
作動させたとき、該冷却ファン１０から送風される冷却
ガスを導びく導風通路１３をチャンバー１内に設けてい
る。この導風通路１３は、この場合具体的には、冷却フ
ァン１０の導風板１４に一端を連接してチャンバー１の
内面に沿設したダクトからなっている。そして、この導
風通路１３の送風端１３ａを、タイトボックス２の一端
側の前記扉５の外周近接位置に開口させ、第２図のよう
に、その扉５を開いた状態で導風通路１３の送風端１３
ａが丁度扉５の隙間１５と会合し、タイトボックス２の
一端側開口端部３と連通されるように構成している。Further, an air guide passage 13 for guiding the cooling gas blown from the cooling fan 10 when the cooling fan 10 is operated in the quenching process of the processed material A is provided in the chamber 1. In this case, specifically, the air guide passage 13 is composed of a duct which is connected to the air guide plate 14 of the cooling fan 10 at one end thereof and is provided along the inner surface of the chamber 1. Then, the air blowing end 13a of the air guide passage 13 is opened at a position near the outer periphery of the door 5 on one end side of the tight box 2, and as shown in FIG. 2, the air guide passage 13 is opened with the door 5 opened. Blast end 13
It is configured such that a just meets the gap 15 of the door 5 and communicates with the open end 3 of the tight box 2 on one end side.

そして更に、この導風通路１３と連通されるタイトボッ
クス２の一端側開口端部３の近傍に、タイトボックス本
体２ａに嵌着して仕切板１６を設け、この仕切板１６に
前記導風通路１３から冷却ガスを導入し、タイトボック
ス２内の処理物Ａに向け軸方向に冷却ガスを噴出するノ
ズル１７を開通させている。Further, a partition plate 16 fitted to the tight box body 2a is provided in the vicinity of the one end side opening end 3 of the tight box 2 communicating with the air guide passage 13, and the partition plate 16 is provided with the partition pipe 16. A nozzle 17 that introduces a cooling gas from 13 and ejects the cooling gas in the axial direction toward the object A in the tight box 2 is opened.

このノズル１７からタイトボックス２内に噴出された冷
却ガスは、他端側の開口端部３よりチャンバー１内に排
出されることになるが、この冷却ガスを前記冷却ファン
１０の吸込側に案内し、冷却ガスの循環を行なわしめる
ための案内通路１８をチャンバー１内に設けている。こ
の案内通路１８は、この場合具体的には、タイトボック
ス２をセットしたチャンバー１内に形成される空間を利
用するようにしたものである。The cooling gas ejected from the nozzle 17 into the tight box 2 is discharged into the chamber 1 through the opening end 3 on the other end side, and this cooling gas is guided to the suction side of the cooling fan 10. However, a guide passage 18 for circulating the cooling gas is provided in the chamber 1. In this case, the guide passage 18 specifically utilizes the space formed in the chamber 1 in which the tight box 2 is set.

そして、この案内通路１８における前記冷却ファン１０
の吸込側近傍に、前記処理物Ａを冷却し加温してから帰
還される冷却ガスを冷却するクーラ１９を介設してい
る。このクーラ１９は、この場合炉外から流通される冷
却水に冷却ガスを熱交換するラジエータからなってい
る。Then, the cooling fan 10 in the guide passage 18
A cooler 19 is provided near the suction side of the cooling device to cool the processed material A and heat it, and then cool the cooling gas returned. This cooler 19 is composed of a radiator that heat-exchanges the cooling gas with the cooling water flowing from the outside of the furnace in this case.

次いで、上記構成を具備する真空焼結急冷炉を用いた真
空焼結急冷方法について説明する。Next, a vacuum sintering quenching method using the vacuum sintering quenching furnace having the above configuration will be described.

まず第１図に示す真空焼結工程（脱ロウ工程を含む）で
は、処理物（粉末成形品）Ａをタイトボックス２に収納
してから扉５、５を閉じ、さらにチャンバー１を密閉し
て作業を開始する。この真空焼結工程では、内設ヒータ
８でタイトボックス２内の処理物Ａを所定の焼結温度に
加熱するとともに、タイトボックス２内を予め排気管７
で吸引して真空雰囲気に調整しておく。そして、処理物
Ａをこの状態で所定時間保持し先ず脱ロウ処理を行なっ
た後、今度はタイトボックス２の扉５、５を開きチャン
バー１内を排気管２２から真空排気し、さらに高温で所
定時間保持して焼結工程を完了することになる。First, in the vacuum sintering process (including the dewaxing process) shown in FIG. 1, the processed product (powder molded product) A is housed in the tight box 2, the doors 5 and 5 are closed, and the chamber 1 is closed. Start work. In this vacuum sintering step, the internal heater 8 heats the processed material A in the tight box 2 to a predetermined sintering temperature, and the inside of the tight box 2 is preliminarily exhausted.
Suck in and adjust to a vacuum atmosphere. Then, after the processed product A is held in this state for a predetermined time and first subjected to the dewaxing process, the doors 5 and 5 of the tight box 2 are opened this time, and the inside of the chamber 1 is evacuated from the exhaust pipe 22 to a predetermined temperature. Hold the time to complete the sintering process.

引き続く第２図に示す急冷工程では、炉外からチャンバ
ー１内に冷却ガスを加圧して供給するとともに、同チャ
ンバー１内に設けた冷却ファン１０とクーラ１９の作動
を開始し、さらにこれと同時的にタイトボックス２の両
側扉５、５を開放する。すると、チャンバー１内に導入
された加圧冷却ガスが導風通路１３、タイトボックス２
の片側扉５の隙間１５を通ってタイトボックス一端側の
開口端部３に導びかれ、さらにこの部分からその仕切板
１６に開設したノズル１７群から軸方向に噴出され、タ
イトボックス２内の処理物（焼結品）Ａに直接加圧冷却
ガスが流通し接触されることになる。そして、この処理
物Ａを冷却した加圧冷却ガスは反対側の開口端部３より
密閉形チャンバー１内に排出され、同チャンバー１内に
設けた案内通路１８を通って冷却ファン１０の吸込側に
帰り、クーラ１９で冷却されてから冷却ファン１０で再
び循環されることになる。この加圧冷却ガスの流れを第
２図に示す矢線で示す。かくして、一定時間処理物Ａに
対する冷却ガスの噴射を行なったならば急冷工程を終了
し、その後炉内を放冷して適宜のタイミングで処理物Ａ
を取出す。In the subsequent rapid cooling step shown in FIG. 2, while the cooling gas is pressurized and supplied from the outside of the furnace into the chamber 1, the operation of the cooling fan 10 and the cooler 19 provided in the chamber 1 is started, and at the same time as this. The doors 5 and 5 on both sides of the tight box 2 are opened. Then, the pressurized cooling gas introduced into the chamber 1 is introduced into the air guide passage 13 and the tight box 2.
Through the gap 15 of the one-side door 5 to the open end 3 on the one end side of the tight box, and from this part is further ejected in the axial direction from the group of nozzles 17 opened in the partition plate 16, and inside the tight box 2. The pressurized cooling gas directly flows into and contacts the processed product (sintered product) A. Then, the pressurized cooling gas that has cooled the processed material A is discharged into the closed chamber 1 from the opening end 3 on the opposite side, passes through the guide passage 18 provided in the chamber 1 and the suction side of the cooling fan 10. Returning to step 1, after being cooled by the cooler 19, it is circulated again by the cooling fan 10. The flow of this pressurized cooling gas is shown by the arrow in FIG. Thus, if the cooling gas is injected to the processed material A for a certain period of time, the quenching step is terminated, then the inside of the furnace is allowed to cool, and the processed material A is appropriately timed.
Take out.

以上の如く、本発明の真空焼結急冷炉では単一炉内で一
貫工程の下に脱ロウ、焼結、急冷処理を連続して実施で
きるものとなる。そして、かかる本発明における最大の
特徴は、その急冷工程時において、炉内に供給される冷
却ガスを直接処理物に噴射せしめるようにしたことであ
る。すなわち、冷却ガスを加圧して送風すればより効果
的な冷却効果が発揮できるものとなるが、さらに処理物
Ａに直接冷却ガスを作用せしめるようにすれば、たとえ
大きな熱容量を持つ炉材の冷却が遅延しても比較的熱容
量の小さい処理物Ａは高温域から早急に温度低下させる
ことができ、必要な急冷効果を十分に発現できるものと
なるのである。なお、この方法によっても、炉材の大き
な熱容量が影響するため処理物Ａが高温域からある程度
低い温度にまで急冷した後は、その冷却速度が遅くなる
ことを免れないが、一般に焼結品の焼入れ処理などで急
冷を要求される区間は高温側の一定温度域に限られるた
め、その急冷処理後に冷却速度が鈍化しても別段支障な
い。As described above, in the vacuum sintering quenching furnace of the present invention, dewaxing, sintering, and quenching treatments can be continuously performed in a single furnace under an integrated process. The greatest feature of the present invention is that the cooling gas supplied into the furnace is directly injected to the object to be processed during the rapid cooling step. That is, a more effective cooling effect can be exhibited by pressurizing and blowing the cooling gas, but if the cooling gas is made to act directly on the processed material A, the cooling of the furnace material having a large heat capacity is achieved. However, the temperature of the processed product A having a relatively small heat capacity can be rapidly lowered from the high temperature range even if the delay is delayed, and the required rapid cooling effect can be sufficiently exhibited. Even with this method, since the large heat capacity of the furnace material has an effect, after the processed product A is rapidly cooled from the high temperature region to a certain low temperature, the cooling rate is unavoidably slowed down. Since the section where quenching is required for quenching and the like is limited to a constant temperature range on the high temperature side, there is no particular problem even if the cooling rate slows down after the quenching.

本発明の真空焼結急冷炉は、以上のように、処理物の真
空焼結工程と急冷工程とを単一炉内で連続した一貫工程
で実施できるものであるため、今までのこの種焼結品の
製造に比較すると、作業能率と生産効率とが改善され、
炉の設備費も低くできるなど種々のメリットが得られ
る。加えて、この方法によると、ノズル１７による冷却
ガスの処理物Ａに対する当りを均一化しさえすれば、別
工程で急冷処理する場合のような加熱、冷却ムラを起す
要因が排除されることになり、特に焼入れ鋼製品の場合
にあっては、焼入硬度のバラツキや焼入れ歪の発生を少
なくすることができる。As described above, the vacuum sintering and quenching furnace of the present invention can perform the vacuum sintering step and the quenching step of the processed material in a continuous continuous process in a single furnace. Compared with the production of kuji, the work efficiency and production efficiency are improved,
There are various advantages such as the cost of equipment for the furnace can be reduced. In addition, according to this method, as long as the cooling gas from the nozzle 17 hits the object to be processed A uniformly, the factors that cause uneven heating and cooling as in the case of rapid cooling processing in another process can be eliminated. Especially, in the case of a hardened steel product, it is possible to reduce the variation in quenching hardness and the occurrence of quenching strain.

また、この真空焼結急冷炉は、今までに比類のない全く
新規なものである上、装置全体としてもノズル機構を付
加改良するだけで、従来の真空焼結炉と殆ど変わりない
内部の基本構造でコンパクトにまとめることができる特
徴を有する。In addition, this vacuum sintering quenching furnace is a completely new one that is unparalleled until now, and the basic structure of the interior is almost the same as that of the conventional vacuum sintering furnace only by adding and improving the nozzle mechanism for the entire device. It has a feature that it can be compactly structured.

次に、本発明の真空焼結急冷炉の他の実施例、特にタイ
トボックス内の処理物に対するノズルの取付配置構造の
変形例について説明する。Next, another embodiment of the vacuum sintering quenching furnace of the present invention, in particular, a modified example of the mounting arrangement structure of the nozzle for the processing object in the tight box will be described.

第１図、第２図に図示したタイトボックス２の開口端部
３から軸方向、つまり横向きに冷却ガスを噴出させて処
理物Ａに当てる形式のものは、処理物Ａが比較的小物で
タイトボックス２内に多段に積重されるような場合に
は、均一で最も有効的に冷却作用を発揮できるが、例え
ば大物品をその立長を立ててセットするような場合で
は、第３図あるいは第４図に示すように、タイトボック
ス２内の処理物Ａに対しノズル２０又は２１から冷却ガ
スを軸直交方向の縦向きにして噴射させるようにした方
が効果的となる場合がある。In the type in which the cooling gas is ejected from the opening end portion 3 of the tight box 2 shown in FIGS. 1 and 2 in the axial direction, that is, in the lateral direction to hit the processing object A, the processing object A is relatively small and tight. In the case where the boxes 2 are stacked in multiple stages, a uniform and most effective cooling effect can be exhibited. As shown in FIG. 4, it may be more effective to inject the cooling gas from the nozzle 20 or 21 in the vertical direction of the axis orthogonal direction to the object to be processed A in the tight box 2.

すなわち、第３図の例は、前記の例でタイトボックス２
の開口端部３に設けられる仕切板１６に直接軸方向のノ
ズル１７を開設するのに代えて、この仕切板１６から導
風通路１３と連通する開口端部３に一端を開口させて処
理物Ａを挟むようにタイトボックス２内に適数本のノズ
ル２０を延設し、このノズル２０の側面に所々ノズル穴
２０ａを開口させて処理物Ａの上下面側にその軸直交方
向に噴出される冷却ガスを噴射させるようにしたもので
ある。また、第４図の例は、前記導風通路１３をタイト
ボックス２の外周位置まで延長して設けるとともに、こ
の導風通路１３から前記断熱材４ａとタイトボックス本
体２ａを貫通して、ノズル２１をタイトボックス２内に
その先端部２１ａを臨出させ、第３図の例と同じく当該
ノズル２１から処理物Ａの上下面に対し冷却ガスを軸直
交方向に噴射せしめるようにしたものである。なお、こ
の第４図の例では、タイトボックス２の両端開口端部
３、３から冷却ガスを排出させるようにしている。That is, the example shown in FIG.
Instead of directly opening the nozzle 17 in the axial direction in the partition plate 16 provided at the opening end portion 3 of the processing object, one end is opened from the partition plate 16 to the opening end portion 3 communicating with the air guide passage 13. A proper number of nozzles 20 are extended in the tight box 2 so as to sandwich A, and nozzle holes 20a are opened in places on the side surfaces of the nozzle 20 and jetted in the direction orthogonal to the axis on the upper and lower surfaces of the processing object A. The cooling gas is injected. Further, in the example of FIG. 4, the air guide passage 13 is provided to extend to the outer peripheral position of the tight box 2, and the nozzle 21 is penetrated from the air guide passage 13 through the heat insulating material 4a and the tight box body 2a. The tip portion 21a is exposed in the tight box 2 so that the cooling gas is jetted from the nozzle 21 to the upper and lower surfaces of the object to be treated A in the direction orthogonal to the axis, as in the example of FIG. In the example of FIG. 4, the cooling gas is exhausted from the open ends 3 and 3 at both ends of the tight box 2.

上記に掲げた変形実施例の他、本発明ではそのノズルに
取付配置構造や炉の他の構成要素については、本発明の
主旨を変更しない範囲で図示例の他にその様々な設計変
更が可能である。In addition to the above-described modified embodiment, in the present invention, various design changes can be made to the nozzle mounting arrangement structure and other constituent elements of the furnace other than the illustrated example within the range not changing the gist of the present invention. Is.

なお、本発明で新たに提案する構成の炉については、そ
の名称に関わらず、その他真空加圧焼結炉、真空加圧焼
入炉、真空脱ガス炉、調質炉などに多目的に利用できる
余地がある。Regarding the furnace of the configuration newly proposed in the present invention, regardless of its name, it can be used for other purposes such as a vacuum pressure sintering furnace, a vacuum pressure quenching furnace, a vacuum degassing furnace, and a tempering furnace. There is room.

［発明の効果］ 本発明は、以上に説明した通りであって、従来別々の工
程で処理しなければならなかった粉末成形品の真空焼結
工程とその焼結品の急冷工程とを連続した一貫工程で行
なえるものとなり、作業性、生産性、品質、経済性等に
おける多面的改善が図られる。また、複数のノズルが処
理物に対向して配置されるため、処理物に対する冷却効
率が格段に向上されたものとなる。[Effects of the Invention] The present invention is as described above, and the vacuum sintering step of the powder molded article and the quenching step of the sintered article, which have conventionally been required to be processed in separate steps, are consecutively performed. Since it can be performed in an integrated process, multifaceted improvement in workability, productivity, quality, economy, etc. can be achieved. Further, since the plurality of nozzles are arranged so as to face the object to be processed, the cooling efficiency for the object to be processed is significantly improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第１図、第２図は共に本発明の第１実施例に係る真空焼
結急冷炉の概略断面図である。第３図は本発明の第２実
施例に係る真空焼結急冷炉の概略断面図である。第４図
は本発明の第３実施例に係る真空焼結急冷炉の概略断面
図である。 Ａ……処理物 １……チャンバー、１ａ……炉蓋部 ２……タイトボックス ２ａ……本体、２ｂ……蓋部 ３……開口端部 ４ａ……断熱材、４ｂ……断熱壁 ５……扉 ６……扉開閉装置 ７……排気管 ８……ヒータ １０……冷却ファン １３……導風通路 １５……隙間 １６……仕切板 １７、２０、２１……ノズル １８……案内通路 １９……クーラ ２２……排気管1 and 2 are schematic cross-sectional views of a vacuum sintering quenching furnace according to the first embodiment of the present invention. FIG. 3 is a schematic sectional view of a vacuum sintering quenching furnace according to a second embodiment of the present invention. FIG. 4 is a schematic sectional view of a vacuum sintering quenching furnace according to a third embodiment of the present invention. A ... Treated material 1 ... Chamber 1a ... Furnace lid 2 ... Tight box 2a ... Main body, 2b ... Lid 3 ... Opening end 4a ... Insulating material, 4b ... Insulating wall 5 ... … Door 6 …… Door opening / closing device 7 …… Exhaust pipe 8 …… Heater 10 …… Cooling fan 13 …… Air guide passage 15 …… Gap 16 …… Partition plate 17, 20, 21 …… Nozzle 18 …… Guide passage 19 ... Cooler 22 ... Exhaust pipe

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山内 一平 京都府京都市中京区西ノ京桑原町１番地 株式会社島津製作所三条工場内 (72)発明者 川崎 知安 京都府京都市中京区西ノ京桑原町１番地 株式会社島津製作所三条工場内 (72)発明者 田中 秀一 京都府京都市中京区西ノ京桑原町１番地 株式会社島津製作所三条工場内 (56)参考文献 特開 昭50−75105（ＪＰ，Ａ) 特開 昭53−120611（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−9801（ＪＰ，Ａ) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Ippei Yamauchi, 1 Nishinokyo Kuwabara-cho, Nakagyo-ku, Kyoto-shi, Kyoto Prefecture Sanjo Factory Sanjo Factory (72) Inventor Tomoyasu Kawasaki, Nishinokyo-Kuwabara-cho, Nakagyo-ku, Kyoto, Kyoto Stock Company Shimadzu Sanjo Factory (72) Inventor Shuichi Tanaka 1 Nishinokyo Kuwabara-cho, Nakagyo-ku, Kyoto Prefecture Kyoto Prefecture Shimadzu Sanjo Factory (56) Reference JP-A-50-75105 (JP, A) JP-A-53 -120611 (JP, A) JP-A-60-9801 (JP, A)

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】密閉形のチャンバー内に、その開口端部に
開閉可能な扉を有しかつ内部を真空吸引可能に構成して
処理物を収納するタイトボックスと、このタイトボック
スのまわりに配置されるヒータと、前記チャンバー内に
供給される冷却ガスを同チャンバー内で送風する冷却フ
ァンと、この冷却ファンで送風される冷却ガスを導びく
導風通路と、この導風通路から冷却ガスを導入して前記
タイトボックス内の処理物に向けて噴出する該処理物の
対向位置に複数箇所に亘って配設されたノズルと、前記
タイトボックスから排出される冷却ガスを前記冷却ファ
ンの吸込側に案内する案内通路と、この案内通路に介設
され冷却ガスを冷却するクーラとを配設してなることを
特徴とする真空焼結急冷炉。1. A tight box having an openable and closable door at its open end and configured to be capable of vacuum suction inside, and a tight box for accommodating an object to be treated, and arranged around the tight box. Heater, a cooling fan that blows the cooling gas supplied to the chamber inside the chamber, an air guide passage that guides the cooling gas blown by the cooling fan, and a cooling gas from the air guide passage. Nozzles arranged at a plurality of positions at opposite positions of the processing object introduced and ejected toward the processing object in the tight box, and cooling gas discharged from the tight box on the suction side of the cooling fan. And a cooler for cooling the cooling gas, which is interposed in the guide passage. 【請求項２】導風通路を、タイトボックスの扉を開けた
状態でその一端側開口端部と連通するように設けるとと
もに、このタイトボックスの開口端部に設けたノズルで
冷却ガスを軸方向に向けて噴出せしめるようにしたこと
を特徴とする特許請求の範囲第１項記載の真空焼結急冷
炉。2. A wind guide passage is provided so as to communicate with an opening end of the tight box with the door of the tight box opened, and a cooling gas is axially supplied by a nozzle provided at the opening end of the tight box. The vacuum sintering quenching furnace according to claim 1, characterized in that it is made to be jetted toward. 【請求項３】導風通路を、タオトボックスの扉を開けた
状態でその一端側開口端部と連通するように設けるとと
もに、このタイトボックスの開口端部から延設したノズ
ルで冷却ガスを軸直交方向に向けて噴出せしめるように
したことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の真空
焼結急冷炉。3. A wind guide passage is provided so as to communicate with an open end of the taoto box with the door of the taoto box open, and a cooling gas is axially supplied by a nozzle extending from the open end of the tight box. The vacuum sintering quenching furnace according to claim 1, characterized in that the quenching furnace is configured so as to eject in a direction orthogonal to each other. 【請求項４】導風通路を、タイトボックスの外周に設け
るとともに、この導風通路からタイトボックスを貫通し
て設けたノズルで冷却ガスを軸直交方向に向けて噴出せ
しめるようにしたことを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載の真空焼結急冷炉。4. A wind guide passage is provided on the outer periphery of the tight box, and a cooling gas is ejected in a direction orthogonal to the axis by a nozzle provided through the tight box from the wind guide passage. The first claim
A vacuum sintering quenching furnace according to the item.