JPH0650343A - 固体潤滑転がり軸受 - Google Patents
固体潤滑転がり軸受Info
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- JPH0650343A JPH0650343A JP4199598A JP19959892A JPH0650343A JP H0650343 A JPH0650343 A JP H0650343A JP 4199598 A JP4199598 A JP 4199598A JP 19959892 A JP19959892 A JP 19959892A JP H0650343 A JPH0650343 A JP H0650343A
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- Japan
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- metal
- base material
- bearing
- rolling
- ionization tendency
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
- F16C33/30—Parts of ball or roller bearings
- F16C33/58—Raceways; Race rings
- F16C33/583—Details of specific parts of races
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C19/00—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement
- F16C19/52—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with devices affected by abnormal or undesired conditions
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Rolling Contact Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 軸受の耐食性を向上させる。
【構成】 外輪2の両端内径部および内輪1の両端外径
部は、母材であるマルテンサイト系ステンレス鋼よりも
イオン化傾向の大きな金属部分5、6で構成される。こ
れら金属部分5、6は、例えば、亜鉛、鉛等の卑金属か
らなるリング体を母材に一体に固着したもので、金属部
分5の内径側、金属部分6の外径側は、それぞれ、軸受
内部空間に露出している。この軸受は腐食性雰囲気下に
置かれると、犠牲アノードとなる金属部分5、6が雰囲
気中の反応性物質と積極的に反応(酸化物生成)し、転
走面1b、2bに腐食が生じるのを妨げる。
部は、母材であるマルテンサイト系ステンレス鋼よりも
イオン化傾向の大きな金属部分5、6で構成される。こ
れら金属部分5、6は、例えば、亜鉛、鉛等の卑金属か
らなるリング体を母材に一体に固着したもので、金属部
分5の内径側、金属部分6の外径側は、それぞれ、軸受
内部空間に露出している。この軸受は腐食性雰囲気下に
置かれると、犠牲アノードとなる金属部分5、6が雰囲
気中の反応性物質と積極的に反応(酸化物生成)し、転
走面1b、2bに腐食が生じるのを妨げる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造設備等に使
用される固体潤滑転がり軸受に関し、特に、腐食性雰囲
気下での使用に適したものに関する。
用される固体潤滑転がり軸受に関し、特に、腐食性雰囲
気下での使用に適したものに関する。
【0002】
【従来の技術】例えば、半導体のエッチング工程やCV
D皮膜処理工程では、減圧下でフッ素系や塩素系などの
反応性ガスを使用するため、処理装置に組込まれる軸受
には高い耐食性が要求される。本出願人は、このような
腐食性雰囲気下での使用に耐え得る軸受として、転がり
軸受を構成する部品のうち転がり摩擦又は滑り摩擦を生
ずる表面に、腐食防止剤を含有する低分子量のポリテト
ラフルオロエチレンを用いて潤滑被膜を形成した転がり
軸受について既に出願している(特願平4−40848
号)。
D皮膜処理工程では、減圧下でフッ素系や塩素系などの
反応性ガスを使用するため、処理装置に組込まれる軸受
には高い耐食性が要求される。本出願人は、このような
腐食性雰囲気下での使用に耐え得る軸受として、転がり
軸受を構成する部品のうち転がり摩擦又は滑り摩擦を生
ずる表面に、腐食防止剤を含有する低分子量のポリテト
ラフルオロエチレンを用いて潤滑被膜を形成した転がり
軸受について既に出願している(特願平4−40848
号)。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記転がり軸受は、腐
食防止剤を含有する潤滑被膜によって軸受母材が反応性
ガスなどから効果的に保護され、腐食性雰囲気下におい
ても、低発塵性、大気・真空両用性、低トルク性、耐熱
性等の優れた性能を発揮するものであった。しかしなが
ら、雰囲気中における反応性ガスの濃度が高い場合や、
軸受が反応性ガスと頻繁に接触するような場合には、潤
滑被膜と軸受母材との境界部にやはり腐食が生じる可能
性がある。
食防止剤を含有する潤滑被膜によって軸受母材が反応性
ガスなどから効果的に保護され、腐食性雰囲気下におい
ても、低発塵性、大気・真空両用性、低トルク性、耐熱
性等の優れた性能を発揮するものであった。しかしなが
ら、雰囲気中における反応性ガスの濃度が高い場合や、
軸受が反応性ガスと頻繁に接触するような場合には、潤
滑被膜と軸受母材との境界部にやはり腐食が生じる可能
性がある。
【0004】そこで、本考案の目的は、軸受の耐食性を
一層向上させることにある。
一層向上させることにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明では、軌道輪の転
走面を除く一部分を、この軌道輪の母材よりもイオン化
傾向が大きな金属で構成し、かつ、この金属部分を母材
表面から露出させた。
走面を除く一部分を、この軌道輪の母材よりもイオン化
傾向が大きな金属で構成し、かつ、この金属部分を母材
表面から露出させた。
【0006】また、軌道輪の転走面を除く母材表面の全
部または一部分に、この軌道輪の母材よりもイオン化傾
向が大きな金属からなる金属層を形成した。
部または一部分に、この軌道輪の母材よりもイオン化傾
向が大きな金属からなる金属層を形成した。
【0007】さらに、軌道輪の転走面を除く母材部分
に、この軌道輪の母材よりもイオン化傾向が大きな金属
からなる金属体を接触固定した。
に、この軌道輪の母材よりもイオン化傾向が大きな金属
からなる金属体を接触固定した。
【0008】
【作用】軌道輪の母材と、この母材よりもイオン化傾向
の大きな金属とを接触させると、両者の間に電池が形成
され、イオン化傾向の大きな金属部分がアノード(陽
極)、軌道輪の母材部分がカソード(陰極)になる。こ
のような状態で、軸受が反応ガス等に接触すると、アノ
ード(犠牲アノード)となる金属部分が積極的に反応ガ
スと反応(酸化物生成)し、軌道輪の転走面部分には腐
食が生じにくくなる。これは、一般に、犠牲アノードと
呼ばれる現象で、例えば、船舶等でスクリュー部分での
酸化物生成(腐食)を抑制するため、カジ部に亜鉛板等
を貼り付けたりするのが代表的な例である。
の大きな金属とを接触させると、両者の間に電池が形成
され、イオン化傾向の大きな金属部分がアノード(陽
極)、軌道輪の母材部分がカソード(陰極)になる。こ
のような状態で、軸受が反応ガス等に接触すると、アノ
ード(犠牲アノード)となる金属部分が積極的に反応ガ
スと反応(酸化物生成)し、軌道輪の転走面部分には腐
食が生じにくくなる。これは、一般に、犠牲アノードと
呼ばれる現象で、例えば、船舶等でスクリュー部分での
酸化物生成(腐食)を抑制するため、カジ部に亜鉛板等
を貼り付けたりするのが代表的な例である。
【0009】本発明は、この犠牲アノード現象を利用し
て、腐食による軌道輪転走面の損傷発生を抑制し、軸受
性能を長期にわたって維持させようとするものである。
て、腐食による軌道輪転走面の損傷発生を抑制し、軸受
性能を長期にわたって維持させようとするものである。
【0010】
【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。
【0011】図1に示す実施例は、本発明を深溝玉軸受
に適用したものである。この軸受は、内輪1、外輪2、
内・外輪1、2間に介在する複数の転動体3、転動体3
を円周等間隔に保持する保持器4といった軸受部品で構
成される。内輪1、外輪2、および転動体3の母材はマ
ルテンサイト系ステンレス鋼、保持器4の母材はオース
テナイト系ステンレス鋼である。
に適用したものである。この軸受は、内輪1、外輪2、
内・外輪1、2間に介在する複数の転動体3、転動体3
を円周等間隔に保持する保持器4といった軸受部品で構
成される。内輪1、外輪2、および転動体3の母材はマ
ルテンサイト系ステンレス鋼、保持器4の母材はオース
テナイト系ステンレス鋼である。
【0012】外輪2の両端内径部および内輪1の両端外
径部は、母材であるマルテンサイト系ステンレス鋼より
もイオン化傾向の大きな金属部分5、6で構成される。
これら金属部分5、6は、例えば、亜鉛、鉛等の卑金属
からなるリング体を母材に一体に固着したもので、金属
部分5の内径側、金属部分6の外径側は、それぞれ、軸
受内部空間に露出している。
径部は、母材であるマルテンサイト系ステンレス鋼より
もイオン化傾向の大きな金属部分5、6で構成される。
これら金属部分5、6は、例えば、亜鉛、鉛等の卑金属
からなるリング体を母材に一体に固着したもので、金属
部分5の内径側、金属部分6の外径側は、それぞれ、軸
受内部空間に露出している。
【0013】また、内・外輪1、2の転走面1b、2b
および転動体3の表面には、潤滑被膜1a、2a、3a
が形成されている。これら潤滑被膜の形成材料は、金、
銀、二硫化モリブデン、PTFEなどでも良いが、平均
分子量が5000以下のPTFE(以下、低分子量PT
FEという。)を用いると、低発塵性、潤滑性に優れた
潤滑被膜が得られ、特に半導体製造設備用として最適な
転がり軸受を得ることができる。また、バイダックスA
R(デュポン社製)、MP1200、MP1300(い
ずれも三井フロロケミカル社製)などのPTFEを用い
ても同様の効果が得られる。低分子量PTFEを用いて
潤滑被膜を形成する場合は、例えば、低分子量PTFE
(日本アチソン製ARC7等)を、25cm離れた位置
から被膜形成面にスプレーして付着させると良い。ある
いは、浸漬法によることも可能である。
および転動体3の表面には、潤滑被膜1a、2a、3a
が形成されている。これら潤滑被膜の形成材料は、金、
銀、二硫化モリブデン、PTFEなどでも良いが、平均
分子量が5000以下のPTFE(以下、低分子量PT
FEという。)を用いると、低発塵性、潤滑性に優れた
潤滑被膜が得られ、特に半導体製造設備用として最適な
転がり軸受を得ることができる。また、バイダックスA
R(デュポン社製)、MP1200、MP1300(い
ずれも三井フロロケミカル社製)などのPTFEを用い
ても同様の効果が得られる。低分子量PTFEを用いて
潤滑被膜を形成する場合は、例えば、低分子量PTFE
(日本アチソン製ARC7等)を、25cm離れた位置
から被膜形成面にスプレーして付着させると良い。ある
いは、浸漬法によることも可能である。
【0014】金属部分5、6のイオン化傾向が内・外輪
1、2の母材よりも大きいため、これら金属部分5、6
と母材との間に電池が形成され、金属部分5、6がアノ
ード、母材部分がカソードになる。この軸受は腐食性雰
囲気下に置かれると、犠牲アノードとなる金属部分5、
6が雰囲気中の反応性物質と積極的に反応(酸化物生
成)し、転走面1b、2bに腐食が生じるのを妨げる。
そのため、この軸受は、転走面1b、2bに腐食による
損傷発生が生じにくく、長期にわたって良好な軸受性能
を発揮する。
1、2の母材よりも大きいため、これら金属部分5、6
と母材との間に電池が形成され、金属部分5、6がアノ
ード、母材部分がカソードになる。この軸受は腐食性雰
囲気下に置かれると、犠牲アノードとなる金属部分5、
6が雰囲気中の反応性物質と積極的に反応(酸化物生
成)し、転走面1b、2bに腐食が生じるのを妨げる。
そのため、この軸受は、転走面1b、2bに腐食による
損傷発生が生じにくく、長期にわたって良好な軸受性能
を発揮する。
【0015】尚、図1では内・外輪1、2の転走面1
b、2bおよび転動体3の表面に潤滑被膜を形成するよ
うにしたが、潤滑被膜は少なくとも転動体3の表面に形
成すれば良い。また、同図aでは、内・外輪1、2の外
表面全体に潤滑被膜が形成されているが、同図bに示す
ように、嵌合面等の本来潤滑被膜が不要な部分について
は、マスキングによって皮膜処理を施さない、あるい
は、最終製品となる前に除去すると良い。これらは、以
下に説明する実施例についても同様である。
b、2bおよび転動体3の表面に潤滑被膜を形成するよ
うにしたが、潤滑被膜は少なくとも転動体3の表面に形
成すれば良い。また、同図aでは、内・外輪1、2の外
表面全体に潤滑被膜が形成されているが、同図bに示す
ように、嵌合面等の本来潤滑被膜が不要な部分について
は、マスキングによって皮膜処理を施さない、あるい
は、最終製品となる前に除去すると良い。これらは、以
下に説明する実施例についても同様である。
【0016】図2に示す実施例は、外輪2の内径面の一
部分および内輪1の外径面の一部分に、母材であるマル
テンサイト系ステンレス鋼よりもイオン化傾向の大きな
金属例えば亜鉛等からなる金属層7、8を形成したもの
である。この実施例では、金属層7、8が犠牲アノード
となり、転走面1b、2bの腐食を妨げる。尚、金属層
7、8は、転走面1b、2bを除く内・外輪1、2の全
表面に形成しても良い。
部分および内輪1の外径面の一部分に、母材であるマル
テンサイト系ステンレス鋼よりもイオン化傾向の大きな
金属例えば亜鉛等からなる金属層7、8を形成したもの
である。この実施例では、金属層7、8が犠牲アノード
となり、転走面1b、2bの腐食を妨げる。尚、金属層
7、8は、転走面1b、2bを除く内・外輪1、2の全
表面に形成しても良い。
【0017】図3に示す実施例は、外輪2の両端内径部
にシールド板9を固定した密封型の転がり軸受に関する
ものであるが、シールド板9には、外輪1の母材である
マルテンサイト系ステンレス鋼よりもイオン化傾向の大
きな金属9a(亜鉛等)がメッキ処理されている。シー
ルド板9の固定端は外輪2の母材部分に接触し、電気的
に導通している。この実施例では、シールド板9にメッ
キ処理された金属9a部分が犠牲アノードとなり、転走
面2bの腐食を妨げる。シールド板9は、内輪1に固定
しても良い。尚、この実施例の意図するところは、内・
外輪1、2の母材部分に、イオン化傾向の大きな金属体
を接触固定することにより、犠牲アノードを形成させる
ことにあり、金属体はシールド板に限らず、例えば亜鉛
板などの金属体を内・外輪1、2の母材部分に固着する
等しても良い。
にシールド板9を固定した密封型の転がり軸受に関する
ものであるが、シールド板9には、外輪1の母材である
マルテンサイト系ステンレス鋼よりもイオン化傾向の大
きな金属9a(亜鉛等)がメッキ処理されている。シー
ルド板9の固定端は外輪2の母材部分に接触し、電気的
に導通している。この実施例では、シールド板9にメッ
キ処理された金属9a部分が犠牲アノードとなり、転走
面2bの腐食を妨げる。シールド板9は、内輪1に固定
しても良い。尚、この実施例の意図するところは、内・
外輪1、2の母材部分に、イオン化傾向の大きな金属体
を接触固定することにより、犠牲アノードを形成させる
ことにあり、金属体はシールド板に限らず、例えば亜鉛
板などの金属体を内・外輪1、2の母材部分に固着する
等しても良い。
【0018】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、軌道輪
の転走面を除く一部分を、軌道輪の母材よりもイオン化
傾向が大きな金属で構成し、かつ、この金属部分を母材
表面に露出させることにより、この金属部分を犠牲アノ
ードとして転走面の腐食を妨げるようにしたものであ
る。したがって、本発明によれば、転走面の腐食による
損傷発生が効果的に防止され、腐食性雰囲気下において
も、軸受本来の性能を長期にわたって発揮させることが
可能となる。
の転走面を除く一部分を、軌道輪の母材よりもイオン化
傾向が大きな金属で構成し、かつ、この金属部分を母材
表面に露出させることにより、この金属部分を犠牲アノ
ードとして転走面の腐食を妨げるようにしたものであ
る。したがって、本発明によれば、転走面の腐食による
損傷発生が効果的に防止され、腐食性雰囲気下において
も、軸受本来の性能を長期にわたって発揮させることが
可能となる。
【0019】このような効果は、軌道輪の転走面を除く
母材表面の全部または一部分に、この軌道輪の母材より
もイオン化傾向が大きな金属からなる金属層を形成こと
により、あるいは、軌道輪の転走面を除く母材部分に、
この軌道輪の母材よりもイオン化傾向が大きな金属から
なる金属体を接触固定ことによっても同様に得ることが
できる。
母材表面の全部または一部分に、この軌道輪の母材より
もイオン化傾向が大きな金属からなる金属層を形成こと
により、あるいは、軌道輪の転走面を除く母材部分に、
この軌道輪の母材よりもイオン化傾向が大きな金属から
なる金属体を接触固定ことによっても同様に得ることが
できる。
【図1】本発明の実施例を示す断面図(図aおよび図
b)である。
b)である。
【図2】本発明の他の実施例を示す断面図(図aおよび
図b)である。
図b)である。
【図3】本発明の他の実施例を示す断面図(図aおよび
図b)である。
図b)である。
1 内輪 1a 潤滑被膜 1b 転走面 2 外輪 2a 潤滑被膜 2b 転走面 3 転動体 3a 潤滑被膜 4 保持器 5 イオン化傾向の大きな金属部分 6 イオン化傾向の大きな金属部分 7 イオン化傾向の大きな金属層 8 イオン化傾向の大きな金属層 9 シールド板 9a イオン化傾向の大きな金属
Claims (3)
- 【請求項1】 転がり軸受を構成する部品のうち少なく
とも転がり摩擦又は滑り摩擦を生ずる表面に固体潤滑被
膜を形成したものであって、この軸受を構成する軌道輪
の転走面を除く一部分を、この軌道輪の母材よりもイオ
ン化傾向が大な金属で構成し、かつ、この金属部分を母
材表面に露出させたことを特徴とする固体潤滑転がり軸
受。 - 【請求項2】 転がり軸受を構成する部品のうち少なく
とも転がり摩擦又は滑り摩擦を生ずる表面に固体潤滑被
膜を形成したものであって、この軸受を構成する軌道輪
の転走面を除く母材表面の全部または一部分に、この軌
道輪の母材よりもイオン化傾向が大きな金属からなる金
属層を形成したことを特徴とする固体潤滑転がり軸受。 - 【請求項3】 転がり軸受を構成する部品のうち少なく
とも転がり摩擦又は滑り摩擦を生ずる表面に固体潤滑被
膜を形成したものであって、この軸受を構成する軌道輪
の転走面を除く母材部分に、この軌道輪の母材よりもイ
オン化傾向が大きな金属からなる金属体を接触固定した
ことを特徴とする固体潤滑転がり軸受。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4199598A JPH0650343A (ja) | 1992-07-27 | 1992-07-27 | 固体潤滑転がり軸受 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4199598A JPH0650343A (ja) | 1992-07-27 | 1992-07-27 | 固体潤滑転がり軸受 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0650343A true JPH0650343A (ja) | 1994-02-22 |
Family
ID=16410522
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4199598A Withdrawn JPH0650343A (ja) | 1992-07-27 | 1992-07-27 | 固体潤滑転がり軸受 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0650343A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2003072984A1 (en) * | 2002-02-27 | 2003-09-04 | Nsk Ltd. | Rolling bearing |
JP2007247757A (ja) * | 2006-03-15 | 2007-09-27 | Nsk Ltd | 転動装置 |
JPWO2006077682A1 (ja) * | 2005-01-18 | 2008-06-19 | 日本精工株式会社 | 転動装置 |
CN102066787A (zh) * | 2008-05-08 | 2011-05-18 | 谢夫勒科技有限两合公司 | 轴承模块 |
US20140044387A1 (en) * | 2011-04-29 | 2014-02-13 | Schaeffler Technologies AG & Co. KG | Bearing comprising a corrosion-resistant bearing part |
GB2537241A (en) * | 2015-04-09 | 2016-10-12 | Skf Ab | Bearing provided with a sacrificial anode |
-
1992
- 1992-07-27 JP JP4199598A patent/JPH0650343A/ja not_active Withdrawn
Cited By (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7547146B2 (en) | 2002-02-27 | 2009-06-16 | Nsk Ltd. | Rolling bearing seal or shield member |
EP1479950A1 (en) * | 2002-02-27 | 2004-11-24 | Nsk Ltd., | Rolling bearing |
EP1479950A4 (en) * | 2002-02-27 | 2011-04-13 | Nsk Ltd | ROLLING |
CN100353083C (zh) * | 2002-02-27 | 2007-12-05 | 日本精工株式会社 | 滚动轴承 |
WO2003072984A1 (en) * | 2002-02-27 | 2003-09-04 | Nsk Ltd. | Rolling bearing |
JP4665905B2 (ja) * | 2005-01-18 | 2011-04-06 | 日本精工株式会社 | 転動装置の製造方法 |
US7811002B2 (en) | 2005-01-18 | 2010-10-12 | Nsk, Ltd. | Rolling device |
JPWO2006077682A1 (ja) * | 2005-01-18 | 2008-06-19 | 日本精工株式会社 | 転動装置 |
JP4513775B2 (ja) * | 2006-03-15 | 2010-07-28 | 日本精工株式会社 | 圧延機ロールネック用転動装置 |
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CN102066787A (zh) * | 2008-05-08 | 2011-05-18 | 谢夫勒科技有限两合公司 | 轴承模块 |
US9175726B2 (en) | 2008-05-08 | 2015-11-03 | Schaeffler Technologies AG & Co. KG | Bearing module |
US20140044387A1 (en) * | 2011-04-29 | 2014-02-13 | Schaeffler Technologies AG & Co. KG | Bearing comprising a corrosion-resistant bearing part |
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GB2537241A (en) * | 2015-04-09 | 2016-10-12 | Skf Ab | Bearing provided with a sacrificial anode |
FR3034827A1 (fr) * | 2015-04-09 | 2016-10-14 | Skf Ab | Palier muni d'une anode sacrificielle |
GB2537241B (en) * | 2015-04-09 | 2018-06-27 | Skf Ab | Bearing provided with a sacrificial anode |
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