JPH0644873Y2

JPH0644873Y2 - ワーク収納カセット

Info

Publication number: JPH0644873Y2
Application number: JP11529489U
Authority: JP
Inventors: 大亥桶谷; 郁夫迫野; 俊彦広部
Original assignee: Sharp Corp
Current assignee: Sharp Corp
Priority date: 1989-09-30
Filing date: 1989-09-30
Publication date: 1994-11-16
Anticipated expiration: 2004-09-30
Also published as: JPH0353487U

Description

【考案の詳細な説明】（イ）産業上の利用分野この考案は、半導体、電子部品等の製造工程で、ガラス
板、シリコンウエハー、プリント基板等のワークを収納
するワーク収納カセットに関するものである。

（ロ）従来の技術従来のこの種カセットでは、第４図に示すように、ガラ
ス基板31が、ワーク受け部32a,32bおよび33a,33bによっ
て形成される横溝32および33内にガラス基板上面31aと
上方のワーク受け部32aおよび33aとの間に大きな隙間Ｓ
を有して収納されている。

（ハ）考案が解決しようとする課題しかし、カセットへのワーク31の挿入およびワーク31を
カセットから取り出すのを容易におこなえるように、横
溝32,33は幅ｌがガラス基板の厚みｄよりも２倍以上の
十分に大きい間隔を有して形成されているから、カセッ
トの移動時にワーク31はカセット内で横移動あるいは縦
移動して振動し、その結果、ワーク31の破損が生じた
り、ワーク端面31bでワーク受け部32a,32bおよび33a,33
bをこすったりすることによりワーク受け部やワークが
摩耗したりするとともに、ダストが発生し、結果的に歩
留りの低下を引き起こすおそれがある。

この考案は、カセットの移動時に発生するワークの振動
を防止できるワーク収納カセットを提供することを目的
とするものである。

（ニ）課題を解決するための手段この考案は、箱型で、少なくとも側方に１つの開口を有
し、かつその開口方向とは直交する方向に、対向する１
対の側壁を有するカセット本体と、上記１対の側壁の対
向する両内面に、上下方向に等間隔に複数設けられ、そ
れによって複数枚のワークをそれぞれ１枚づつ上記開口
から挿入・取り出し可能に水平に載置しうる一対の対向
機構と、上記１対の側壁に沿って上向移動可能に下方に
付勢されて設けられ、それによって上記１対の側壁の各
対向横溝に水平載置されるワークの横移動および縦移動
を防止しうるワーク移動押え板と、上記各対向横溝ごと
に対応して設けられ、各対向横溝に水平載置されるワー
クの上面を上向移動により解除可能に下方へ弾性的に軽
く押圧する一対の押え片とからなるワーク収納カセット
である。

すなわち、この考案は、カセット本体の１対の側壁に沿
ってワーク移動（振動）押え板を上向移動可能に下方に
付勢されて設け、更に、ワーク振動押え板が、ワークを
カセット内に収納してカセットを移動させる際には、上
記側壁の各対向横溝に水平載置されるワークの上面を弾
性的に軽く押圧し、一方、ワークのカセット本体への挿
入およびワークをカセット本体から取り出す際には上向
移動によりワークへの押圧を解除する一対の押え片を各
対向横溝ごとに対応して有する構成にしたので、カセッ
トの移動の際のワークの横および縦移動による各対向横
溝内での振動を防止でき、ワークの破損が生じたり、ワ
ーク端面で対向横溝の内壁をこすったりすることにより
該横溝やワークが摩耗したりするのを回避でき、またダ
ストの発生も抑制できる。

この考案におけるワーク移動押え板および押え片として
は例えば、第１〜３図に示すものが挙げられる。第２図
において、ワーク移動押え板は、上下移動可能な一対の
垂直板３と、これら垂直板の長手方向（図示Ａで示す矢
印方向）に垂直板３からそれぞれカセット本体の溝側壁
22a,22bおよび23a,22bと略同大で、カセット本体の溝側
壁22a,22bおよび23a,23bによって形成される横溝22およ
び23と同間隔にて垂直板３から立設された複数の押え片
（ワーク押え板）11と、垂直板３のガイド部４と、垂直
板３の下端部から下方（図示Ｂで示す矢印方向）に延設
された舌片状のプッシャー10と、垂直板３の上端部に、
垂直板３を下方（図示Ｂで示す矢印方向）に付勢するよ
う設けられ、プッシャー10を上方向（図示Ｃで示す矢印
方向）に押圧することにより収縮するコイルバネ９とか
らなる。

この考案における一対の対向横溝の幅は、例えば、第３
図において、横溝22および23の幅ｌがワーク１の厚みｄ
よりも２倍以上の十分に大きい間隔を有して形成されて
おり、それによってカセットへのワーク１の収納および
ワーク１をカセットから取出すのを容易に行えるもので
ある。

この際、ワーク１の厚みｄは1mm程度であり、横溝22,23
の幅ｌは６〜12mmである。また、カセット本体は、材料
が樹脂やA1などからなる。

（ホ）作用ワーク収納カセットには、ワーク振動押え板がカセット
本体に対して下方に付勢されて設けられており、かつ上
記押え板は、カセット本体の各一対の対向横溝における
一方および他方の溝側壁（ワーク受け部）の上方に各対
向横溝に水平載置されるワークを押しつける一対の押え
片を有するため、カセットの移動（装置間等）時に振動
が発生しても一対の押え片が水平載置されたワーク上面
を下方へ軽く押圧していることから、各ワークの対向横
溝内での横移動および縦移動を防止でき、ワークはカセ
ット内で振動することはない。その結果、従来のカセッ
トで問題となっていたカセット移動時にワークがカセッ
ト内で振動するのを防止でき、それによってワーク受け
部と接触するワーク端面が破損したり、ワーク受け部と
ワークが両者のこすりが原因で摩耗するとともに、ダス
トが発生するのを防止できる。

また、ワークのカセット本体への挿入およびワークをカ
セット本体から取り出す際には、ワーク振動押え板がカ
セット本体に対して付勢力に抗して上向移動される構成
を有するから、押え片はワークへの押圧を解除され、各
押え片はワーク上面から離れて上方へ移動される。これ
により側方開口からワークを容易に挿入・取り出しでき
る。

（ヘ）実施例以下、図に示す実施例に基づいてこの考案を詳述する。
なお、これによってこの考案は限定を受けるものではな
い。

第１〜３図において、ワーク収納カセットは、少なくと
も側方開口（カセット挿入・出口）12を有する箱型で、
対向する両側面13および14に、開口12から挿入されるガ
ラス板、ウエハー、プリント基板などの厚みｄが1mmの
ワーク１を同軸で等間隔にそれぞれ水平保持しうる一対
の対向横溝22および23を複数有するカセット本体からな
る。この際、一対の対向横溝22および23の幅ｌを5mmに
設定すると、一方のワーク受け部（一方の溝側壁）（厚
み略3mm）22a,22bと他方のワーク受け部（他方の溝側
壁）（厚み略3mm）23a,23bに支持されるワーク１との隙
間Ｓが4mm程度になる。そして、カセット本体が、カセ
ット本体移動時、ワーク１が横および縦移動してワーク
１の両溝側壁22a,22bおよび23a,23b内で移動するのを防
止しうるワーク振動防止機構を有してなる。

更に、ワーク振動防止機構は、上述したように押え片11
を有するワーク振動押え板から構成される。

すなわち、ワーク押え板11は、ワーク受け部22a,22b,23
a23bと同等の材質（例えば、樹脂）からなり、厚みＤは
ワーク受け部22a,22b,23a,23bと略同じ3mm程度である。

また、カセット本体は、下方開口15を有し、かつワーク
受け部22a,22b,23a,23bが一体形成されてなるワーク受
け板２と、下方開口15に対向して配設され、ワーク受け
板２に固着された、取手５を有する天板８と、挿入・取
出口12に対向する側の側面16に形成された開口（図示せ
ず）を仕切り、それによってカセットを挿入・取出口12
を上方に向けて移動させる時に、ワーク１の落下を防止
する仕切り板（図示せず）と、止めネジ６によってワー
ク受け板２の上端および下端に固着された側板７とから
なる。

そして、第１図に示すように、ワーク受け板２に隣接し
てワーク押え板ガイド４が止めネジ16によって側板７に
固着されている。

この実施例のものは上記構成を有するから、（ｉ）ローダー、アンローダーなどの装置の平らな面上
に載置されたカセットにワークを挿入・取り出しする場
合まず、ワーク１を取出す際には、第３図に示す押圧状態
から本カセットを装置等のローダー、アンローダーにセ
ット（載置）すると、ローダー、アンローダーの受け面
がフラットであるため、その受け面によってＣ方向（上
方）に押圧されるプッシャー10がバネ９の付勢力に抗し
てＣ方向に移動され（第２図参照）、それによってプッ
シャー10とともに垂直板３が同じくワーク押え板ガイド
４に沿ってＣ方向に上昇する。そのため、ワーク押え板
11は上昇する（この時バネ９は縮む）。これによりワー
ク１が押え板11から押圧解除されて取出し可能となる。

同時に、上記の動作により、ワーク受け部22a,22bおよ
び23a,23bとワーク押え板11の間にはワークに対して十
分な間隔ｈに対応する取出し・挿入空間が得られ、ワー
ク１のカセットへの挿入が可能となる。

すなわち、取出し・挿入空間は、第３図を用いて説明す
れば、押え板11と受け部22b,23bとの間の間隔ｈに相当
する間隔を少なくとも有し、例えば、押え板11の厚みを
3mmとする（受け部22a,23aの厚みも略同じ）と、ｈは３
〜9mmで、ワーク厚み1mmに比して十分大きい空間を形成
することが分かる。

（ii）カセットを移動させる場合次に、装置等のローダー、アンローダーから本カセット
を取り外すと、プッシャー10はフリーとなり、バネ９の
付勢力により図示Ｂで示す下方向に押し下げられ（第２
図参照）、ワーク押え板11も垂直板３とともにワーク押
え板ガイド４に沿って下降し、ワーク１を押しつける。
従って、ワーク1,1はそれぞれワーク受け板22a,23aとワ
ーク押え板11,11に挟まれ、また、受け板22b,23bと押え
板11,11に挟まれることにより固定され（第３図参
照）、移動時にカセットが振れてもワーク1,1は横溝22,
23内で振動しない。

このように本実施例では、ワーク１をカセット本体に装
着されたワーク振動防止機構の水平押え板11によってカ
セット本体のワーク受け部22a,23aに押しつけて、ワー
ク１をワーク受け部22a,23aと水平押え板11とで挟持す
る構成にしたので、カセット移動時、ワークがカセット
内、すなわち横溝22,23内で振動するのを防止でき、こ
れによりワーク１の破損並びにダストの発生を防止する
ことができる。

（ト）考案の効果カセット本体の１対の側壁に沿ってワーク移動（振動）
押え板を上向移動可能に下方に付勢されて設け、更に、
ワーク振動押え板が、ワークをカセット内に収納してカ
セットを移動させる際には、上記側壁の各対向横溝に水
平載置されるワークの上面を弾性的に軽く押圧し、一
方、ワークのカセット本体への挿入およびワークをカセ
ット本体から取り出す際には上向移動によりワークへの
押圧を解除する一対の押え片を各対向横溝ごとに対応し
て有する構成にしたので、カセットの移動の際のワーク
の横および縦移動による各対向横溝内での振動を防止で
き、ワークの破損が生じたり、ワーク端面で対向横溝の
内壁をこすったりすることにより該横溝やワークが摩耗
したりするのを回避でき、またダストの発生も抑制でき
る。

その結果、製品の歩留まりを向上できる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の一実施例を示す全体斜視図、第２図
（ａ）および（ｂ）はそれぞれ上記実施例における要部
構成説明図、第３図は上記実施例における動作を説明す
るための要部構成説明図、第４図は従来例を示す要部構
成説明図である。１……ワーク、２……ワーク受け板、３……垂直板、４……ワーク押え板ガイド、７……側板、８……天板、９……コイルバネ、 10……プッシャー、 11……ワーク押え板（押え片）、 12……カセット挿入・出口、 13,14……カセット本体の両側面（ワーク受け板内側
面）、 22,23……一対の対向横溝、 22a,22b……ワーク受け部（一方の溝側壁）、 23a,23b……ワーク受け部（他方の溝側壁）。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】箱型で、少なくとも側方に１つの開口を有
し、かつその開口方向とは直交する方向に、対向する１
対の側壁を有するカセット本体と、上記１対の側壁の対
向する両内面に、上下方向に等間隔に複数設けられ、そ
れによって複数枚のワークをそれぞれ１枚づつ上記開口
から挿入・取り出し可能に水平に載置しうる一対の対向
機構と、上記１対の側壁に沿って上向移動可能に下方に
付勢されて設けられ、それによって上記１対の側壁の各
対向横溝に水平載置されるワークの横移動および縦移動
を防止しうるワーク移動押え板と、上記各対向横溝ごと
に対応して設けられ、各対向横溝に水平載置されるワー
クの上面を上向移動により解除可能に下方へ弾性的に軽
く押圧する一対の押え片とからなるワーク収納カセッ
ト。