JPH0637460A - プリント基板用除塵装置 - Google Patents
プリント基板用除塵装置Info
- Publication number
- JPH0637460A JPH0637460A JP18664992A JP18664992A JPH0637460A JP H0637460 A JPH0637460 A JP H0637460A JP 18664992 A JP18664992 A JP 18664992A JP 18664992 A JP18664992 A JP 18664992A JP H0637460 A JPH0637460 A JP H0637460A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- dust
- circuit board
- suction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Cleaning In General (AREA)
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 基板のラインパターン方向と除塵ヘッドの走
査方向を平行にして、除塵効果を一層高める。 【構成】 基板セットテーブル1上にプリント基板をセ
ットし、プリント基板表面のラインパターンの方向と除
塵ヘッド2の走査方向とが平行になるように、テーブル
1を回転する。テーブル1を1′に移動させて、基板3
を除塵ヘッド2の下を通過させる。除塵ヘッド2の超高
速風吹き出し口5から超高速風により吹き飛ばされた塵
埃は、吸引集塵口4により吸い込まれ、基板3の片面の
除塵が行われる。
査方向を平行にして、除塵効果を一層高める。 【構成】 基板セットテーブル1上にプリント基板をセ
ットし、プリント基板表面のラインパターンの方向と除
塵ヘッド2の走査方向とが平行になるように、テーブル
1を回転する。テーブル1を1′に移動させて、基板3
を除塵ヘッド2の下を通過させる。除塵ヘッド2の超高
速風吹き出し口5から超高速風により吹き飛ばされた塵
埃は、吸引集塵口4により吸い込まれ、基板3の片面の
除塵が行われる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、プリント基板の表面に
付着した塵埃の除塵装置に関し、特に多層プリント基板
の内層基板であって表面に微細なラインパターンを有す
る信号配線層基板の除塵装置に関する。
付着した塵埃の除塵装置に関し、特に多層プリント基板
の内層基板であって表面に微細なラインパターンを有す
る信号配線層基板の除塵装置に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体素子の高集積化の進展に伴い、こ
れを搭載するプリント基板の高密度化、高多層化が進
み、その結果、0.1mm以下の絶縁間隙しかとれない
構造を有するプリント基板が必要になってきた。このよ
うな高密度構造のプリント基板においては、多層接着時
にわずかでもゴミを混入させてしまうと電気絶縁性低下
の原因となり、しばしば耐圧破壊による電気的ショート
を誘発することになる。
れを搭載するプリント基板の高密度化、高多層化が進
み、その結果、0.1mm以下の絶縁間隙しかとれない
構造を有するプリント基板が必要になってきた。このよ
うな高密度構造のプリント基板においては、多層接着時
にわずかでもゴミを混入させてしまうと電気絶縁性低下
の原因となり、しばしば耐圧破壊による電気的ショート
を誘発することになる。
【0003】この多層接着時のゴミ混入を防止するため
に、従来より多層接着前の内層基板表面の除塵方法とし
て各種方法が提案されている。その内、最も簡便な方法
は電気掃除機方式による集塵方法である。その他、集塵
刷毛の部分を回転させ、はね上げた塵埃を吸引機で集塵
することにより除塵効果を高める方式も提案されてい
る。さらに、粘着ローラーを基板表面にころがして除塵
する方法もある(例えば、特開昭62−102882号
公報を参照)。
に、従来より多層接着前の内層基板表面の除塵方法とし
て各種方法が提案されている。その内、最も簡便な方法
は電気掃除機方式による集塵方法である。その他、集塵
刷毛の部分を回転させ、はね上げた塵埃を吸引機で集塵
することにより除塵効果を高める方式も提案されてい
る。さらに、粘着ローラーを基板表面にころがして除塵
する方法もある(例えば、特開昭62−102882号
公報を参照)。
【0004】上記した方法は、いずれも除塵ヘッドとプ
リント基板表面とを接触することによって除塵するもの
である。これに対して、除塵ヘッドとプリント基板表面
とを接触させないで除塵する方式もある。この方式の場
合は、基板表面に付着した塵埃を一旦基板表面から離脱
させるために、前述した例のごとく毛ブラシや粘着ロー
ラーを使用するのではなく、空気流を利用している。即
ち、超高速風を基板表面に吹き付け、これによりプリン
ト基板表面に付着している塵埃を吹き飛ばし、この吹き
飛ばされた塵埃を別の吸引口で吸引集塵するものであ
る。
リント基板表面とを接触することによって除塵するもの
である。これに対して、除塵ヘッドとプリント基板表面
とを接触させないで除塵する方式もある。この方式の場
合は、基板表面に付着した塵埃を一旦基板表面から離脱
させるために、前述した例のごとく毛ブラシや粘着ロー
ラーを使用するのではなく、空気流を利用している。即
ち、超高速風を基板表面に吹き付け、これによりプリン
ト基板表面に付着している塵埃を吹き飛ばし、この吹き
飛ばされた塵埃を別の吸引口で吸引集塵するものであ
る。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上記した従来の除塵法
においては、対象となるプリント基板が前述したように
高密度化してくると次のような問題が出て来る。すなわ
ち、電気掃除機方式、回転ブラシとの組合せ方式のいず
れの場合もブラシの毛のちぎれによって基板表面への毛
の残留、付着を避けることが難しいという問題がある。
これを回避するため、毛の強さを増すために毛を太くす
ると、微細パターンの間隙寸法より毛の太さが大きくな
り、除塵効果が低下してしまう。また、毛の太さを太く
することなくその強度を増すためにプラスチックス製の
ブラシを使用すると、微細なプリント配線パターンが絶
縁基材から剥がれてしまうという危険が増加する。
においては、対象となるプリント基板が前述したように
高密度化してくると次のような問題が出て来る。すなわ
ち、電気掃除機方式、回転ブラシとの組合せ方式のいず
れの場合もブラシの毛のちぎれによって基板表面への毛
の残留、付着を避けることが難しいという問題がある。
これを回避するため、毛の強さを増すために毛を太くす
ると、微細パターンの間隙寸法より毛の太さが大きくな
り、除塵効果が低下してしまう。また、毛の太さを太く
することなくその強度を増すためにプラスチックス製の
ブラシを使用すると、微細なプリント配線パターンが絶
縁基材から剥がれてしまうという危険が増加する。
【0006】他方、粘着ローラー方式は、ブラシのちぎ
れ毛が混入するという問題はないが、微細パターンの間
隙に挟まっているゴミを除去しきれない、あるいは逆に
微細パターンの間隙にゴミを押し込んでしまうという問
題がある。
れ毛が混入するという問題はないが、微細パターンの間
隙に挟まっているゴミを除去しきれない、あるいは逆に
微細パターンの間隙にゴミを押し込んでしまうという問
題がある。
【0007】超高速風を利用する方式は非接触方式であ
るので、上記の如き問題はないが、強い空気流を基板に
吹き付けるために基板を堅固に固定する機構が必要とな
り、装置が複雑になるという問題がある。また超高速風
の吹き付け方向とプリント配線パターンの走行方向が平
行でないと、除塵効果が大幅に低下するという問題もあ
る。
るので、上記の如き問題はないが、強い空気流を基板に
吹き付けるために基板を堅固に固定する機構が必要とな
り、装置が複雑になるという問題がある。また超高速風
の吹き付け方向とプリント配線パターンの走行方向が平
行でないと、除塵効果が大幅に低下するという問題もあ
る。
【0008】本発明の目的は、基板のラインパターン方
向と除塵ヘッドの走査方向を平行にして、除塵効果を一
層高めたプリント基板用除塵装置を提供することにあ
る。
向と除塵ヘッドの走査方向を平行にして、除塵効果を一
層高めたプリント基板用除塵装置を提供することにあ
る。
【0009】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明では、プリント基板の表面に付着した塵埃を
除去する装置において、該基板を吸着固定するテーブル
と、前記基板表面と所定の間隙を保って配置した除塵ヘ
ッドと、該除塵ヘッドを前記基板表面上で走査する手段
と、前記基板表面のラインパターンの方向と前記除塵ヘ
ッドの走査方向が平行になるように前記テーブルを回転
する手段と、前記基板を前記テーブル上に表裏反転して
セットする手段とを備えたことを特徴としている。
に、本発明では、プリント基板の表面に付着した塵埃を
除去する装置において、該基板を吸着固定するテーブル
と、前記基板表面と所定の間隙を保って配置した除塵ヘ
ッドと、該除塵ヘッドを前記基板表面上で走査する手段
と、前記基板表面のラインパターンの方向と前記除塵ヘ
ッドの走査方向が平行になるように前記テーブルを回転
する手段と、前記基板を前記テーブル上に表裏反転して
セットする手段とを備えたことを特徴としている。
【0010】
【作用】1)基板をセットするに先立って基板セットテ
ーブル表面を除塵ヘッドで走査し、テーブル表面を除塵
する。 2)基板セットテーブルに基板をセットする。 3)セットされたプリント基板表面のラインパターンの
方向と除塵ヘッドの走行方向とが平行になるように、該
セットテーブルを回転させる。 4)基板表面とわずかな間隙を保ち、除塵ヘッドを走査
させる。 5)基板を一旦セットテーブルから取外し、表裏を反転
させる。 6)基板セットテーブル表面を上記1)と同様に除塵す
る。 7)表裏反転した基板を再度テーブル上にセットする。 8)上記3)と同様に基板セットテーブルを回転させ
て、プリント基板表面のラインパターンの方向と除塵ヘ
ッドの走行方向とを平行にする。 9)上記4)と同様に除塵ヘッドを走査させる。 10)基板をテーブルから取り外す。 以下、上記1)から10)を繰り返す。これにより、基
板セットテーブルを事前に除塵しているので、テーブル
から基板への塵埃の転写が防止される。また、テーブル
からのゴミ転写がないので、基板を真空吸着により強固
にテーブルに固定することができるとともに基板の表裏
反転も可能となる。更に、基板表面のラインパターンの
方向と除塵ヘッドの走行方向を平行にしているので、微
細な間隙を有するプリント配線パターン間の付着ゴミを
容易に離脱させることができる。
ーブル表面を除塵ヘッドで走査し、テーブル表面を除塵
する。 2)基板セットテーブルに基板をセットする。 3)セットされたプリント基板表面のラインパターンの
方向と除塵ヘッドの走行方向とが平行になるように、該
セットテーブルを回転させる。 4)基板表面とわずかな間隙を保ち、除塵ヘッドを走査
させる。 5)基板を一旦セットテーブルから取外し、表裏を反転
させる。 6)基板セットテーブル表面を上記1)と同様に除塵す
る。 7)表裏反転した基板を再度テーブル上にセットする。 8)上記3)と同様に基板セットテーブルを回転させ
て、プリント基板表面のラインパターンの方向と除塵ヘ
ッドの走行方向とを平行にする。 9)上記4)と同様に除塵ヘッドを走査させる。 10)基板をテーブルから取り外す。 以下、上記1)から10)を繰り返す。これにより、基
板セットテーブルを事前に除塵しているので、テーブル
から基板への塵埃の転写が防止される。また、テーブル
からのゴミ転写がないので、基板を真空吸着により強固
にテーブルに固定することができるとともに基板の表裏
反転も可能となる。更に、基板表面のラインパターンの
方向と除塵ヘッドの走行方向を平行にしているので、微
細な間隙を有するプリント配線パターン間の付着ゴミを
容易に離脱させることができる。
【0011】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を用いて具体
的に説明する。図1は、本発明の除塵装置の側面を示す
図であり、図2は、本発明の除塵装置の上面を示す図で
ある。図3は、基板反転部の詳細を示す図である。図
1、2において、1(1′、1″)は、基板3を載せて
吸着する基板セットテーブル、2は、除塵ヘッドであ
り、吸引集塵口4と超高速風吹き出し口5が隣接して設
けられている。3は、除塵の対象となるラインパターン
を有するプリント基板、6(6′)は、クランプ板、7
は、基板を吸着する吸着盤、8は、クランプ板回転用モ
ーター、9は、吸着盤上下動用モーター、10は、基板
セットテ−ブル移動用モーターである。
的に説明する。図1は、本発明の除塵装置の側面を示す
図であり、図2は、本発明の除塵装置の上面を示す図で
ある。図3は、基板反転部の詳細を示す図である。図
1、2において、1(1′、1″)は、基板3を載せて
吸着する基板セットテーブル、2は、除塵ヘッドであ
り、吸引集塵口4と超高速風吹き出し口5が隣接して設
けられている。3は、除塵の対象となるラインパターン
を有するプリント基板、6(6′)は、クランプ板、7
は、基板を吸着する吸着盤、8は、クランプ板回転用モ
ーター、9は、吸着盤上下動用モーター、10は、基板
セットテ−ブル移動用モーターである。
【0012】図を用いて動作を説明すると、基板を基板
セットテーブルにセットするに先立って基板セットテー
ブル表面を除塵ヘッドで走査し、テーブル表面を除塵し
ておく。図2に示すように、先ず除塵するための基板3
を、基板セットテーブル1にセットする。そして図示し
ない吸引ポンプにより基板を基板セットテーブル1に真
空吸着させ、基板のラインパターンがその進行方向(図
1の右から左方向)と平行になるように基板セットテー
ブル1を回転させる。
セットテーブルにセットするに先立って基板セットテー
ブル表面を除塵ヘッドで走査し、テーブル表面を除塵し
ておく。図2に示すように、先ず除塵するための基板3
を、基板セットテーブル1にセットする。そして図示し
ない吸引ポンプにより基板を基板セットテーブル1に真
空吸着させ、基板のラインパターンがその進行方向(図
1の右から左方向)と平行になるように基板セットテー
ブル1を回転させる。
【0013】次いで、基板セットテーブル移動用モータ
ー10を動かすことにより基板3は除塵ヘッド2の下を
右から左に通過する。このとき除塵ヘッド2は、基板侵
入側に吸引集塵口4があり、基板出口側に超高速風吹き
出し口5があるので、超高速風吹き出し口5からの超高
速風により吹き飛ばされた塵埃は、吸引集塵口4により
吸い込まれる。このように基板3が除塵ヘッド2の下を
通過することにより周囲に塵埃をまき散らすことなく基
板3の片面の除塵が行われる。
ー10を動かすことにより基板3は除塵ヘッド2の下を
右から左に通過する。このとき除塵ヘッド2は、基板侵
入側に吸引集塵口4があり、基板出口側に超高速風吹き
出し口5があるので、超高速風吹き出し口5からの超高
速風により吹き飛ばされた塵埃は、吸引集塵口4により
吸い込まれる。このように基板3が除塵ヘッド2の下を
通過することにより周囲に塵埃をまき散らすことなく基
板3の片面の除塵が行われる。
【0014】基板セットテーブル1が吸着盤7の真下に
来ると(図1の1′の状態)、吸着盤上下動用モーター
9を動作させて吸着盤7を下降させる。そして吸着盤7
の吸盤で、基板セットテーブル1上の基板3を吸着す
る。基板セットテーブル1の真空吸着を停止し、吸着盤
上下動用モーター9を駆動し、吸着盤7を上昇させ基板
3を基板セットテーブル1から引き離し、クランプ板6
の位置まで基板3を移動させる。
来ると(図1の1′の状態)、吸着盤上下動用モーター
9を動作させて吸着盤7を下降させる。そして吸着盤7
の吸盤で、基板セットテーブル1上の基板3を吸着す
る。基板セットテーブル1の真空吸着を停止し、吸着盤
上下動用モーター9を駆動し、吸着盤7を上昇させ基板
3を基板セットテーブル1から引き離し、クランプ板6
の位置まで基板3を移動させる。
【0015】続いて、クランプ板6を図示しないシリン
ダーによって基板3の位置まで前進させ、基板3をクラ
ンプ板6でつかむ(図3において、クランプ板6′が基
板3をつかんでいる状態が図示されている)。クランプ
板6が基板3をつかんだら吸着盤7の吸着をやめ、吸着
盤7を上限位置まで上昇させる。クランプ板回転用モー
ター8を回転させ、基板3を180゜反転させる(図
3)。基板3を反転させたら吸着盤7を下降させ、吸盤
で基板3を吸着させる。吸着が終了したらクランプ板6
を開口させてシリンダーによって後退させる。
ダーによって基板3の位置まで前進させ、基板3をクラ
ンプ板6でつかむ(図3において、クランプ板6′が基
板3をつかんでいる状態が図示されている)。クランプ
板6が基板3をつかんだら吸着盤7の吸着をやめ、吸着
盤7を上限位置まで上昇させる。クランプ板回転用モー
ター8を回転させ、基板3を180゜反転させる(図
3)。基板3を反転させたら吸着盤7を下降させ、吸盤
で基板3を吸着させる。吸着が終了したらクランプ板6
を開口させてシリンダーによって後退させる。
【0016】このような基板の反転動作の間に、基板セ
ットテーブル1を基板セットテーブル移動用モーター1
0によって、除塵装置の入口まで後退させ(つまり図1
の1′を右に移動して元の位置1とする)、基板3をセ
ットしない状態で再度除塵ヘッド2の下を通過させ、基
板3から付着した塵埃を取り除く。
ットテーブル1を基板セットテーブル移動用モーター1
0によって、除塵装置の入口まで後退させ(つまり図1
の1′を右に移動して元の位置1とする)、基板3をセ
ットしない状態で再度除塵ヘッド2の下を通過させ、基
板3から付着した塵埃を取り除く。
【0017】次いで、クリーンになった基板セットテー
ブル1の上に、基板3を吸着した吸着盤7を下降させ、
除塵を終えた基板面を下にして基板3を再度吸着させ
る。基板セットテーブル1に基板3を真空吸着させたら
吸着盤7を再度上昇させる。そして基板セットテーブル
1を基板セットテーブル移動用モーター10によって除
塵装置の入口まで後退させる。その後、基板セットテー
ブル移動用モーター10を動かし、基板3を再度除塵ヘ
ッド2の下を通過させる。これにより、基板両面の除塵
が終了する。除塵装置の出口位置(図1の1″の位置)
に基板セットテーブル1が来ると、除塵された基板3が
取り出される。
ブル1の上に、基板3を吸着した吸着盤7を下降させ、
除塵を終えた基板面を下にして基板3を再度吸着させ
る。基板セットテーブル1に基板3を真空吸着させたら
吸着盤7を再度上昇させる。そして基板セットテーブル
1を基板セットテーブル移動用モーター10によって除
塵装置の入口まで後退させる。その後、基板セットテー
ブル移動用モーター10を動かし、基板3を再度除塵ヘ
ッド2の下を通過させる。これにより、基板両面の除塵
が終了する。除塵装置の出口位置(図1の1″の位置)
に基板セットテーブル1が来ると、除塵された基板3が
取り出される。
【0018】
【発明の効果】以上、説明したように、本発明によれ
ば、非接触方式によって除塵を行うので、微細パターン
が形成された基板に対しても、その表面を傷つけること
なく塵を除くことができる。また基板にラインパターン
がある場合、基板セットテーブルを回転させることによ
り、基板の進行方向(除塵ヘッドの走査方向)とライン
パターンを平行にすることができるので、より一層除塵
効果を高めることができる。さらに、超高速風吹き出し
口と塵埃吸引口が一対になった除塵ヘッドを用いている
ので、吹き飛んだ塵埃を即座に吸引することができ、周
囲を汚すことなく基板の除塵が可能となる。
ば、非接触方式によって除塵を行うので、微細パターン
が形成された基板に対しても、その表面を傷つけること
なく塵を除くことができる。また基板にラインパターン
がある場合、基板セットテーブルを回転させることによ
り、基板の進行方向(除塵ヘッドの走査方向)とライン
パターンを平行にすることができるので、より一層除塵
効果を高めることができる。さらに、超高速風吹き出し
口と塵埃吸引口が一対になった除塵ヘッドを用いている
ので、吹き飛んだ塵埃を即座に吸引することができ、周
囲を汚すことなく基板の除塵が可能となる。
【図1】本発明の除塵装置の側面図である。
【図2】本発明の除塵装置の上面図である。
【図3】基板反転部の詳細を示す図である。
1 基板セットテーブル 2 除塵ヘッド 3 基板 4 吸引集塵口 5 超高速風吹き出し口 6 クランプ板 7 吸着盤 8 回転用モーター 9 吸着盤上下動用モーター 10 基板セットテ−ブル移動用モーター
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大木 伸昭 神奈川県秦野市堀山下1番地 株式会社日 立製作所神奈川工場内
Claims (1)
- 【請求項1】 プリント基板の表面に付着した塵埃を除
去する装置において、該基板を吸着固定するテーブル
と、前記基板表面と所定の間隙を保って配置した除塵ヘ
ッドと、該除塵ヘッドを前記基板表面上で走査する手段
と、前記基板表面のラインパターンの方向と前記除塵ヘ
ッドの走査方向が平行になるように前記テーブルを回転
する手段と、前記基板を前記テーブル上に表裏反転して
セットする手段とを備えたことを特徴とするプリント基
板用除塵装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18664992A JPH0637460A (ja) | 1992-07-14 | 1992-07-14 | プリント基板用除塵装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18664992A JPH0637460A (ja) | 1992-07-14 | 1992-07-14 | プリント基板用除塵装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0637460A true JPH0637460A (ja) | 1994-02-10 |
Family
ID=16192277
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18664992A Pending JPH0637460A (ja) | 1992-07-14 | 1992-07-14 | プリント基板用除塵装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0637460A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104550122A (zh) * | 2014-12-06 | 2015-04-29 | 广东聚科照明股份有限公司 | 一种贴片除尘箱 |
JP2015099758A (ja) * | 2013-11-20 | 2015-05-28 | 株式会社豊田自動織機 | 搬送装置 |
CN108906783A (zh) * | 2018-07-16 | 2018-11-30 | 安徽工程大学 | 一种汽车音响生产用主机除尘设备 |
CN112004326A (zh) * | 2020-09-07 | 2020-11-27 | 辛秋娥 | 一种电路板整平机 |
CN114101134A (zh) * | 2021-11-25 | 2022-03-01 | 遂宁市天莱新能源科技有限公司 | 一种锂电池生产加工用极片除尘设备 |
CN114867225A (zh) * | 2021-02-03 | 2022-08-05 | 济南职业学院 | 一种集成电路加工用贴片装置 |
-
1992
- 1992-07-14 JP JP18664992A patent/JPH0637460A/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015099758A (ja) * | 2013-11-20 | 2015-05-28 | 株式会社豊田自動織機 | 搬送装置 |
CN104550122A (zh) * | 2014-12-06 | 2015-04-29 | 广东聚科照明股份有限公司 | 一种贴片除尘箱 |
CN108906783A (zh) * | 2018-07-16 | 2018-11-30 | 安徽工程大学 | 一种汽车音响生产用主机除尘设备 |
CN112004326A (zh) * | 2020-09-07 | 2020-11-27 | 辛秋娥 | 一种电路板整平机 |
CN114867225A (zh) * | 2021-02-03 | 2022-08-05 | 济南职业学院 | 一种集成电路加工用贴片装置 |
CN114867225B (zh) * | 2021-02-03 | 2024-05-28 | 济南职业学院 | 一种集成电路加工用贴片装置 |
CN114101134A (zh) * | 2021-11-25 | 2022-03-01 | 遂宁市天莱新能源科技有限公司 | 一种锂电池生产加工用极片除尘设备 |
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