JPH0637460A

JPH0637460A - プリント基板用除塵装置

Info

Publication number: JPH0637460A
Application number: JP18664992A
Authority: JP
Inventors: Hikari Kagiwada; 光鍵和田; Kiyonori Furukawa; 清則古川; Kazunori Tsujimura; 一憲辻村; Nobuaki Oki; 伸昭大木
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1992-07-14
Filing date: 1992-07-14
Publication date: 1994-02-10

Abstract

(57)【要約】【目的】基板のラインパターン方向と除塵ヘッドの走
査方向を平行にして、除塵効果を一層高める。【構成】基板セットテーブル１上にプリント基板をセ
ットし、プリント基板表面のラインパターンの方向と除
塵ヘッド２の走査方向とが平行になるように、テーブル
１を回転する。テーブル１を１′に移動させて、基板３
を除塵ヘッド２の下を通過させる。除塵ヘッド２の超高
速風吹き出し口５から超高速風により吹き飛ばされた塵
埃は、吸引集塵口４により吸い込まれ、基板３の片面の
除塵が行われる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、プリント基板の表面に
付着した塵埃の除塵装置に関し、特に多層プリント基板
の内層基板であって表面に微細なラインパターンを有す
る信号配線層基板の除塵装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体素子の高集積化の進展に伴い、こ
れを搭載するプリント基板の高密度化、高多層化が進
み、その結果、０．１ｍｍ以下の絶縁間隙しかとれない
構造を有するプリント基板が必要になってきた。このよ
うな高密度構造のプリント基板においては、多層接着時
にわずかでもゴミを混入させてしまうと電気絶縁性低下
の原因となり、しばしば耐圧破壊による電気的ショート
を誘発することになる。

【０００３】この多層接着時のゴミ混入を防止するため
に、従来より多層接着前の内層基板表面の除塵方法とし
て各種方法が提案されている。その内、最も簡便な方法
は電気掃除機方式による集塵方法である。その他、集塵
刷毛の部分を回転させ、はね上げた塵埃を吸引機で集塵
することにより除塵効果を高める方式も提案されてい
る。さらに、粘着ローラーを基板表面にころがして除塵
する方法もある（例えば、特開昭６２−１０２８８２号
公報を参照）。

【０００４】上記した方法は、いずれも除塵ヘッドとプ
リント基板表面とを接触することによって除塵するもの
である。これに対して、除塵ヘッドとプリント基板表面
とを接触させないで除塵する方式もある。この方式の場
合は、基板表面に付着した塵埃を一旦基板表面から離脱
させるために、前述した例のごとく毛ブラシや粘着ロー
ラーを使用するのではなく、空気流を利用している。即
ち、超高速風を基板表面に吹き付け、これによりプリン
ト基板表面に付着している塵埃を吹き飛ばし、この吹き
飛ばされた塵埃を別の吸引口で吸引集塵するものであ
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記した従来の除塵法
においては、対象となるプリント基板が前述したように
高密度化してくると次のような問題が出て来る。すなわ
ち、電気掃除機方式、回転ブラシとの組合せ方式のいず
れの場合もブラシの毛のちぎれによって基板表面への毛
の残留、付着を避けることが難しいという問題がある。
これを回避するため、毛の強さを増すために毛を太くす
ると、微細パターンの間隙寸法より毛の太さが大きくな
り、除塵効果が低下してしまう。また、毛の太さを太く
することなくその強度を増すためにプラスチックス製の
ブラシを使用すると、微細なプリント配線パターンが絶
縁基材から剥がれてしまうという危険が増加する。

【０００６】他方、粘着ローラー方式は、ブラシのちぎ
れ毛が混入するという問題はないが、微細パターンの間
隙に挟まっているゴミを除去しきれない、あるいは逆に
微細パターンの間隙にゴミを押し込んでしまうという問
題がある。

【０００７】超高速風を利用する方式は非接触方式であ
るので、上記の如き問題はないが、強い空気流を基板に
吹き付けるために基板を堅固に固定する機構が必要とな
り、装置が複雑になるという問題がある。また超高速風
の吹き付け方向とプリント配線パターンの走行方向が平
行でないと、除塵効果が大幅に低下するという問題もあ
る。

【０００８】本発明の目的は、基板のラインパターン方
向と除塵ヘッドの走査方向を平行にして、除塵効果を一
層高めたプリント基板用除塵装置を提供することにあ
る。

【０００９】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明では、プリント基板の表面に付着した塵埃を
除去する装置において、該基板を吸着固定するテーブル
と、前記基板表面と所定の間隙を保って配置した除塵ヘ
ッドと、該除塵ヘッドを前記基板表面上で走査する手段
と、前記基板表面のラインパターンの方向と前記除塵ヘ
ッドの走査方向が平行になるように前記テーブルを回転
する手段と、前記基板を前記テーブル上に表裏反転して
セットする手段とを備えたことを特徴としている。

【００１０】

【作用】１）基板をセットするに先立って基板セットテ
ーブル表面を除塵ヘッドで走査し、テーブル表面を除塵
する。２）基板セットテーブルに基板をセットする。３）セットされたプリント基板表面のラインパターンの
方向と除塵ヘッドの走行方向とが平行になるように、該
セットテーブルを回転させる。４）基板表面とわずかな間隙を保ち、除塵ヘッドを走査
させる。５）基板を一旦セットテーブルから取外し、表裏を反転
させる。６）基板セットテーブル表面を上記１）と同様に除塵す
る。７）表裏反転した基板を再度テーブル上にセットする。８）上記３）と同様に基板セットテーブルを回転させ
て、プリント基板表面のラインパターンの方向と除塵ヘ
ッドの走行方向とを平行にする。９）上記４）と同様に除塵ヘッドを走査させる。１０）基板をテーブルから取り外す。以下、上記１）から１０）を繰り返す。これにより、基
板セットテーブルを事前に除塵しているので、テーブル
から基板への塵埃の転写が防止される。また、テーブル
からのゴミ転写がないので、基板を真空吸着により強固
にテーブルに固定することができるとともに基板の表裏
反転も可能となる。更に、基板表面のラインパターンの
方向と除塵ヘッドの走行方向を平行にしているので、微
細な間隙を有するプリント配線パターン間の付着ゴミを
容易に離脱させることができる。

【００１１】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を用いて具体
的に説明する。図１は、本発明の除塵装置の側面を示す
図であり、図２は、本発明の除塵装置の上面を示す図で
ある。図３は、基板反転部の詳細を示す図である。図
１、２において、１（１′、１″）は、基板３を載せて
吸着する基板セットテーブル、２は、除塵ヘッドであ
り、吸引集塵口４と超高速風吹き出し口５が隣接して設
けられている。３は、除塵の対象となるラインパターン
を有するプリント基板、６（６′）は、クランプ板、７
は、基板を吸着する吸着盤、８は、クランプ板回転用モ
ーター、９は、吸着盤上下動用モーター、１０は、基板
セットテ−ブル移動用モーターである。

【００１２】図を用いて動作を説明すると、基板を基板
セットテーブルにセットするに先立って基板セットテー
ブル表面を除塵ヘッドで走査し、テーブル表面を除塵し
ておく。図２に示すように、先ず除塵するための基板３
を、基板セットテーブル１にセットする。そして図示し
ない吸引ポンプにより基板を基板セットテーブル１に真
空吸着させ、基板のラインパターンがその進行方向（図
１の右から左方向）と平行になるように基板セットテー
ブル１を回転させる。

【００１３】次いで、基板セットテーブル移動用モータ
ー１０を動かすことにより基板３は除塵ヘッド２の下を
右から左に通過する。このとき除塵ヘッド２は、基板侵
入側に吸引集塵口４があり、基板出口側に超高速風吹き
出し口５があるので、超高速風吹き出し口５からの超高
速風により吹き飛ばされた塵埃は、吸引集塵口４により
吸い込まれる。このように基板３が除塵ヘッド２の下を
通過することにより周囲に塵埃をまき散らすことなく基
板３の片面の除塵が行われる。

【００１４】基板セットテーブル１が吸着盤７の真下に
来ると（図１の１′の状態）、吸着盤上下動用モーター
９を動作させて吸着盤７を下降させる。そして吸着盤７
の吸盤で、基板セットテーブル１上の基板３を吸着す
る。基板セットテーブル１の真空吸着を停止し、吸着盤
上下動用モーター９を駆動し、吸着盤７を上昇させ基板
３を基板セットテーブル１から引き離し、クランプ板６
の位置まで基板３を移動させる。

【００１５】続いて、クランプ板６を図示しないシリン
ダーによって基板３の位置まで前進させ、基板３をクラ
ンプ板６でつかむ（図３において、クランプ板６′が基
板３をつかんでいる状態が図示されている）。クランプ
板６が基板３をつかんだら吸着盤７の吸着をやめ、吸着
盤７を上限位置まで上昇させる。クランプ板回転用モー
ター８を回転させ、基板３を１８０゜反転させる（図
３）。基板３を反転させたら吸着盤７を下降させ、吸盤
で基板３を吸着させる。吸着が終了したらクランプ板６
を開口させてシリンダーによって後退させる。

【００１６】このような基板の反転動作の間に、基板セ
ットテーブル１を基板セットテーブル移動用モーター１
０によって、除塵装置の入口まで後退させ（つまり図１
の１′を右に移動して元の位置１とする）、基板３をセ
ットしない状態で再度除塵ヘッド２の下を通過させ、基
板３から付着した塵埃を取り除く。

【００１７】次いで、クリーンになった基板セットテー
ブル１の上に、基板３を吸着した吸着盤７を下降させ、
除塵を終えた基板面を下にして基板３を再度吸着させ
る。基板セットテーブル１に基板３を真空吸着させたら
吸着盤７を再度上昇させる。そして基板セットテーブル
１を基板セットテーブル移動用モーター１０によって除
塵装置の入口まで後退させる。その後、基板セットテー
ブル移動用モーター１０を動かし、基板３を再度除塵ヘ
ッド２の下を通過させる。これにより、基板両面の除塵
が終了する。除塵装置の出口位置（図１の１″の位置）
に基板セットテーブル１が来ると、除塵された基板３が
取り出される。

【００１８】

【発明の効果】以上、説明したように、本発明によれ
ば、非接触方式によって除塵を行うので、微細パターン
が形成された基板に対しても、その表面を傷つけること
なく塵を除くことができる。また基板にラインパターン
がある場合、基板セットテーブルを回転させることによ
り、基板の進行方向（除塵ヘッドの走査方向）とライン
パターンを平行にすることができるので、より一層除塵
効果を高めることができる。さらに、超高速風吹き出し
口と塵埃吸引口が一対になった除塵ヘッドを用いている
ので、吹き飛んだ塵埃を即座に吸引することができ、周
囲を汚すことなく基板の除塵が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の除塵装置の側面図である。

【図２】本発明の除塵装置の上面図である。

【図３】基板反転部の詳細を示す図である。

【符号の説明】

１基板セットテーブル２除塵ヘッド３基板４吸引集塵口５超高速風吹き出し口６クランプ板７吸着盤８回転用モーター９吸着盤上下動用モーター１０基板セットテ−ブル移動用モーター

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者大木伸昭神奈川県秦野市堀山下１番地株式会社日立製作所神奈川工場内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】プリント基板の表面に付着した塵埃を除
去する装置において、該基板を吸着固定するテーブル
と、前記基板表面と所定の間隙を保って配置した除塵ヘ
ッドと、該除塵ヘッドを前記基板表面上で走査する手段
と、前記基板表面のラインパターンの方向と前記除塵ヘ
ッドの走査方向が平行になるように前記テーブルを回転
する手段と、前記基板を前記テーブル上に表裏反転して
セットする手段とを備えたことを特徴とするプリント基
板用除塵装置。