JPH0637383A - レーザシステム - Google Patents
レーザシステムInfo
- Publication number
- JPH0637383A JPH0637383A JP5121002A JP12100293A JPH0637383A JP H0637383 A JPH0637383 A JP H0637383A JP 5121002 A JP5121002 A JP 5121002A JP 12100293 A JP12100293 A JP 12100293A JP H0637383 A JPH0637383 A JP H0637383A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical
- laser system
- intensity
- optical beam
- laser
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/35—Non-linear optics
- G02F1/37—Non-linear optics for second-harmonic generation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/005—Optical devices external to the laser cavity, specially adapted for lasers, e.g. for homogenisation of the beam or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/23—Arrangements of two or more lasers not provided for in groups H01S3/02 - H01S3/22, e.g. tandem arrangements of separate active media
- H01S3/2308—Amplifier arrangements, e.g. MOPA
- H01S3/2325—Multi-pass amplifiers, e.g. regenerative amplifiers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 高いピーク電力を維持しながら平均電力を増
大できる有益なレーザシステムを提供する。 【構成】 本発明に係るレーザシステム２は、光学ビー
ム６を発生する発振器手段４と、モード整合光学手段１
７を有していると共に光学ビームが第１の光学手段１３
を横切るように発振器手段４に隣接して設けられている
第１の光学手段１３と、光学ビームの強度を所定の量だ
け増大させるために光学ビームが増幅手段２６を通過す
るよう、第１の光学手段１３に隣接して設けられている
マルチパス増幅手段２６と、周波数倍増水晶手段４６を
有していると共に、増大された強度を有する光学ビーム
が高い平均強度及び高いピーク強度を有するレーザビー
ムを形成すべく第２の光学手段４２を通過するように、
増幅手段２６に隣接して設けられている第２の光学手段
４２とを備えている。この構成により、一般に５３０ｎ
ｍ付近の波長において高いピーク強度を有する高い平均
電力強度を発生する。
大できる有益なレーザシステムを提供する。 【構成】 本発明に係るレーザシステム２は、光学ビー
ム６を発生する発振器手段４と、モード整合光学手段１
７を有していると共に光学ビームが第１の光学手段１３
を横切るように発振器手段４に隣接して設けられている
第１の光学手段１３と、光学ビームの強度を所定の量だ
け増大させるために光学ビームが増幅手段２６を通過す
るよう、第１の光学手段１３に隣接して設けられている
マルチパス増幅手段２６と、周波数倍増水晶手段４６を
有していると共に、増大された強度を有する光学ビーム
が高い平均強度及び高いピーク強度を有するレーザビー
ムを形成すべく第２の光学手段４２を通過するように、
増幅手段２６に隣接して設けられている第２の光学手段
４２とを備えている。この構成により、一般に５３０ｎ
ｍ付近の波長において高いピーク強度を有する高い平均
電力強度を発生する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、高い平均出力を発生す
るレーザに関する。この種の構造は、一般的には５３０
ｎｍ付近の波長において高いピーク強度を有する高い平
均出力強度を発生する。
るレーザに関する。この種の構造は、一般的には５３０
ｎｍ付近の波長において高いピーク強度を有する高い平
均出力強度を発生する。
【０００２】
【従来の技術】固体レーザ、特にＮｄ：ＹＡＧレーザを
周波数倍増するために用いられている構成がいくつかあ
る。パルスポンプ式Ｑスイッチ型発振器は、オプション
として同様なポンプ式シングルパス増幅器及び外部ＳＨ
Ｇ（第２高調波発生）水晶を伴うが、最も一般的に用い
られている装置である。高いピーク電力がこの方法では
発生するが、繰り返し速度、従って平均電力は厳しく制
限されている。
周波数倍増するために用いられている構成がいくつかあ
る。パルスポンプ式Ｑスイッチ型発振器は、オプション
として同様なポンプ式シングルパス増幅器及び外部ＳＨ
Ｇ（第２高調波発生）水晶を伴うが、最も一般的に用い
られている装置である。高いピーク電力がこの方法では
発生するが、繰り返し速度、従って平均電力は厳しく制
限されている。
【０００３】空洞内ＳＨＧを用いた場合には、かなり高
い繰り返し速度が達成可能である。この技術は、高い変
換効率をもたらすが、光学増幅器の追加を排除している
ので、引き出し得る出力電力は発振器から得られる電力
に制限され、更に増大する機会が失われている。第３の
可能性は「外部共振倍増処理（external resonant doub
ling）」であり、主にＣＷ（連続波）レーザ用に用いら
れている。この方法は、単軸モード発振器を必要とし、
「スレーブ」共振器を「マスタ」共振器に周波数ロック
することを必要とするので、他のものよりも技術的要求
が大きい。共振倍増処理は、厳密にはＳＨＧ効率を増大
する方法であるので、基本ビームを発生する方法を（シ
ングルモードでなければならないことを除いて）特定し
ない。これらのケースは、非常に高いＱスイッチ繰り返
し速度のために、又はレーザがＱスイッチされないため
に、極めて長いパルスを発生する方法であり、限定ケー
スとして真のＣＷ動作を含んでいる。従って、高いピー
ク電力を維持しながら平均電力を増大できる場合には、
より有益なレーザシステムが提供されるであろう。
い繰り返し速度が達成可能である。この技術は、高い変
換効率をもたらすが、光学増幅器の追加を排除している
ので、引き出し得る出力電力は発振器から得られる電力
に制限され、更に増大する機会が失われている。第３の
可能性は「外部共振倍増処理（external resonant doub
ling）」であり、主にＣＷ（連続波）レーザ用に用いら
れている。この方法は、単軸モード発振器を必要とし、
「スレーブ」共振器を「マスタ」共振器に周波数ロック
することを必要とするので、他のものよりも技術的要求
が大きい。共振倍増処理は、厳密にはＳＨＧ効率を増大
する方法であるので、基本ビームを発生する方法を（シ
ングルモードでなければならないことを除いて）特定し
ない。これらのケースは、非常に高いＱスイッチ繰り返
し速度のために、又はレーザがＱスイッチされないため
に、極めて長いパルスを発生する方法であり、限定ケー
スとして真のＣＷ動作を含んでいる。従って、高いピー
ク電力を維持しながら平均電力を増大できる場合には、
より有益なレーザシステムが提供されるであろう。
【０００４】上述した説明から、高い平均電力及び高い
ピーク電力を発生するレーザシステムに対する技術的要
望が存在していることが明らかであろう。このレーザシ
ステムは、公知のレーザの平均及びピーク電力特性に少
なくとも匹敵するが、同時に真のＣＷ、ＣＷポンプ式モ
ードロック型又はＱスイッチ式から、単一ショットから
１００ＭＨｚまでの繰り返し速度範囲に及ぶ変調された
出力電力モードを有するパルスポンプ式フリーランニン
グ又はＱスイッチ式にわたるすべての公知のレーザ動作
モードに適用可能である。本発明の目的は、次の開示を
与えることにより、当業者に対して更に明らかな方法で
本技術分野におけるこのような要求及び他の要求を達成
することである。
ピーク電力を発生するレーザシステムに対する技術的要
望が存在していることが明らかであろう。このレーザシ
ステムは、公知のレーザの平均及びピーク電力特性に少
なくとも匹敵するが、同時に真のＣＷ、ＣＷポンプ式モ
ードロック型又はＱスイッチ式から、単一ショットから
１００ＭＨｚまでの繰り返し速度範囲に及ぶ変調された
出力電力モードを有するパルスポンプ式フリーランニン
グ又はＱスイッチ式にわたるすべての公知のレーザ動作
モードに適用可能である。本発明の目的は、次の開示を
与えることにより、当業者に対して更に明らかな方法で
本技術分野におけるこのような要求及び他の要求を達成
することである。
【０００５】
【発明の概要】一般的に言えば、本発明は、高い平均強
度及び高いピーク強度のレーザシステムを提供すること
により、前述の要求を達成している。このレーザシステ
ムは、光学ビームを発生する発振器手段と、モード整合
光学手段を有していると共に、光学ビームが当該第１の
光学手段を横切るように発振器手段に隣接して設けられ
ている第１の光学手段と、光学ビームの強度を所定の量
だけ増大させるために光学ビームが当該増幅手段を通過
するよう、第１の光学手段に隣接して設けられているマ
ルチパス増幅手段と、周波数倍増水晶手段を有している
と共に、増大された強度を有する光学ビームが高い平均
強度及び高いピーク強度を有するレーザビームを形成す
べく当該第２の光学手段を通過するように、増幅手段に
隣接して設けられている第２の光学手段とを備えてい
る。
度及び高いピーク強度のレーザシステムを提供すること
により、前述の要求を達成している。このレーザシステ
ムは、光学ビームを発生する発振器手段と、モード整合
光学手段を有していると共に、光学ビームが当該第１の
光学手段を横切るように発振器手段に隣接して設けられ
ている第１の光学手段と、光学ビームの強度を所定の量
だけ増大させるために光学ビームが当該増幅手段を通過
するよう、第１の光学手段に隣接して設けられているマ
ルチパス増幅手段と、周波数倍増水晶手段を有している
と共に、増大された強度を有する光学ビームが高い平均
強度及び高いピーク強度を有するレーザビームを形成す
べく当該第２の光学手段を通過するように、増幅手段に
隣接して設けられている第２の光学手段とを備えてい
る。
【０００６】ある好適な実施例では、発振器の動作モー
ドは連続（ＣＷ）又は変調（パルス式）である。モード
整合光学系は又、焦点レンズと、円柱レンズとを含んで
いる。マルチパス増幅手段は、光学的に励起される利得
媒体を有している進行波マルチパス増幅器を含んでいる
と共に、更に光学ビームの強度が約１０倍大きくされる
ように２つの折り畳みミラーを含んでいる。最後に、周
波数倍増水晶手段は、オーブン内に収容されている光学
的に非線形の水晶を含んでいる。
ドは連続（ＣＷ）又は変調（パルス式）である。モード
整合光学系は又、焦点レンズと、円柱レンズとを含んで
いる。マルチパス増幅手段は、光学的に励起される利得
媒体を有している進行波マルチパス増幅器を含んでいる
と共に、更に光学ビームの強度が約１０倍大きくされる
ように２つの折り畳みミラーを含んでいる。最後に、周
波数倍増水晶手段は、オーブン内に収容されている光学
的に非線形の水晶を含んでいる。
【０００７】他の好適な実施例では、高いスペクトル純
度を有する５３０ｎｍの波長付近の高い平均電力の光束
が出力される。本発明による好適なレーザシステムは、
次に示す利点、即ち高い平均強度、高いピーク強度、良
好な安定性、良好な耐久性、高いスペクトル純度及び高
い安全強度を有する。実際、好適な実施例の多くにおい
ては、これらの平均強度、ピーク強度及びスペクトル純
度の要素は、従来知られているレーザシステムにおいて
達成される従来のものよりもかなり高い程度に最適化さ
れる。
度を有する５３０ｎｍの波長付近の高い平均電力の光束
が出力される。本発明による好適なレーザシステムは、
次に示す利点、即ち高い平均強度、高いピーク強度、良
好な安定性、良好な耐久性、高いスペクトル純度及び高
い安全強度を有する。実際、好適な実施例の多くにおい
ては、これらの平均強度、ピーク強度及びスペクトル純
度の要素は、従来知られているレーザシステムにおいて
達成される従来のものよりもかなり高い程度に最適化さ
れる。
【０００８】本発明の要旨は、特に明細書の特許請求の
範囲に記載され、請求されている。しかしながら、本発
明は、図面に関連する次の説明を参照することにより。
最もよく理解することができるであろう。
範囲に記載され、請求されている。しかしながら、本発
明は、図面に関連する次の説明を参照することにより。
最もよく理解することができるであろう。
【０００９】
【実施例の記載】図１にはレーザシステム２が示されて
いる。システム２は一部として、通常の発振器４と、光
学ビーム６と、モード整合光学系１７と、進行波マルチ
パス増幅器２６と、通常の周波数倍増水晶４６と、通常
の分散プリズム５０と、周波数１ω及び２ωをそれぞれ
有するレーザビーム５２ａ及び５２ｂとを含んでいる。
更に詳しくは、システム２は又、通常の半波長板８及び
３８と、光学ビーム９、１４、１８、２２、３２、３
４、４０、４４及び４８と、通常の焦点レンズ１０及び
１２を有している通常の望遠鏡１３と、通常の焦点レン
ズ１６と、通常の円柱レンズ２０と、通常の折曲ミラー
２４及び３６と、好ましくはＮｄ：ＹＡＧ又は他の適当
な水晶である利得媒体２９を有しているフェイスポンプ
トレーザヘッド（face-pumped laser head）２８と、レ
ーザヘッド２８に対して角度θで配置されている折り畳
みミラー３０と、通常の焦点レンズ４２とを含んでい
る。
いる。システム２は一部として、通常の発振器４と、光
学ビーム６と、モード整合光学系１７と、進行波マルチ
パス増幅器２６と、通常の周波数倍増水晶４６と、通常
の分散プリズム５０と、周波数１ω及び２ωをそれぞれ
有するレーザビーム５２ａ及び５２ｂとを含んでいる。
更に詳しくは、システム２は又、通常の半波長板８及び
３８と、光学ビーム９、１４、１８、２２、３２、３
４、４０、４４及び４８と、通常の焦点レンズ１０及び
１２を有している通常の望遠鏡１３と、通常の焦点レン
ズ１６と、通常の円柱レンズ２０と、通常の折曲ミラー
２４及び３６と、好ましくはＮｄ：ＹＡＧ又は他の適当
な水晶である利得媒体２９を有しているフェイスポンプ
トレーザヘッド（face-pumped laser head）２８と、レ
ーザヘッド２８に対して角度θで配置されている折り畳
みミラー３０と、通常の焦点レンズ４２とを含んでい
る。
【００１０】周波数倍増水晶４６は典型的には、オーブ
ン内に収容されている通常の光学的非線形水晶（図示せ
ず）を含んでおり、この光学的非線形水晶は、第２の高
調波（ＳＨＧ）に効率的に変換すべく、その非線形水晶
の温度を有利な値に調整するためにオーブン内に収容さ
れている。好ましくは、リチウムトリボレイト（ＬＢ
Ｏ）が非線形水晶として用いられているが、任意の適当
な光学的非線形水晶を用いることができることを理解さ
れたい。ＬＢＯの場合、この温度は好ましくは、典型的
な臨界的でない位相整合条件の下で１０６４ｎｍの波長
を５３２ｎｍに変換することができる約１５０゜Ｃであ
る。
ン内に収容されている通常の光学的非線形水晶（図示せ
ず）を含んでおり、この光学的非線形水晶は、第２の高
調波（ＳＨＧ）に効率的に変換すべく、その非線形水晶
の温度を有利な値に調整するためにオーブン内に収容さ
れている。好ましくは、リチウムトリボレイト（ＬＢ
Ｏ）が非線形水晶として用いられているが、任意の適当
な光学的非線形水晶を用いることができることを理解さ
れたい。ＬＢＯの場合、この温度は好ましくは、典型的
な臨界的でない位相整合条件の下で１０６４ｎｍの波長
を５３２ｎｍに変換することができる約１５０゜Ｃであ
る。
【００１１】システム２の動作の間、発振器４は好まし
くは、直線偏光されたＴＥＭ00モードの光学ビーム６を
発生する。動作モードによっては、ビーム６はＣＷ（連
続）又は変調（パルス）であってもよい。半波長板８
は、ビーム６の偏光を次に続く光学要素に最も適してい
る面に回転させるために用いられている。望遠鏡１３及
びモード整合光学系１７は、ビーム２２がマルチパス進
行波増幅器２６に首尾よく導入され得るように、ビーム
２２のスポットサイズ及びビーム２２の曲率を調整す
る。上述したように、増幅器２６は、利得媒体２９を含
んでいるヘッド２８と、ビーム３２の焦点を増幅器２６
を通る多数のビーム３２に周期的に再調整する少なくと
も２つの折り畳みミラー３０とから成っている。ヘッド
２８を通してビームを周期的に再調整することにより、
ビーム３２の強度はほぼ１０倍に増大されるであろう。
利得媒体２９は、フラッシュランプ又は他の光学的ポン
ピング手段（図示せず）によって光学的に励起される。
この光学的励起は用途により選択される動作モードに従
って、ＣＷ（連続）又は変調される。増幅器２６の後で
は、他の半波長板３８が、前述の直線偏光を下流の光学
要素によって必要な面に回転させ、適当な焦点距離を有
する通常の焦点レンズ４２が、ビーム４４の大きさを縮
小するために用いられており、従って、ビーム４４の強
度が増大され、ビーム４４は、周波数倍増水晶４６にお
いて第２の高調波に的確に変換され得る。マルチパス進
行波増幅器２６によって生じる楕円形のビームサイズ及
び２軸曲率を補償するために、円筒形の光学的出力を有
するいくつかの通常の光学要素（図示せず）が、選択的
に焦点レンズ４２の前に設けられていてもよい。この補
償により、周波数倍増水晶４６において大きなピーク強
度が利点として生じるが、これは、ビーム４４の２つの
主面におけるくびれ部がビームラインに沿って同じ位置
に生じるように形成されるためである。最後に、倍増水
晶４６の後には、基本波ビームから第２の高調波を分離
する手段が必要により設けられている。最も簡単な場合
には、このために分散プリズム５０を用いることができ
る。
くは、直線偏光されたＴＥＭ00モードの光学ビーム６を
発生する。動作モードによっては、ビーム６はＣＷ（連
続）又は変調（パルス）であってもよい。半波長板８
は、ビーム６の偏光を次に続く光学要素に最も適してい
る面に回転させるために用いられている。望遠鏡１３及
びモード整合光学系１７は、ビーム２２がマルチパス進
行波増幅器２６に首尾よく導入され得るように、ビーム
２２のスポットサイズ及びビーム２２の曲率を調整す
る。上述したように、増幅器２６は、利得媒体２９を含
んでいるヘッド２８と、ビーム３２の焦点を増幅器２６
を通る多数のビーム３２に周期的に再調整する少なくと
も２つの折り畳みミラー３０とから成っている。ヘッド
２８を通してビームを周期的に再調整することにより、
ビーム３２の強度はほぼ１０倍に増大されるであろう。
利得媒体２９は、フラッシュランプ又は他の光学的ポン
ピング手段（図示せず）によって光学的に励起される。
この光学的励起は用途により選択される動作モードに従
って、ＣＷ（連続）又は変調される。増幅器２６の後で
は、他の半波長板３８が、前述の直線偏光を下流の光学
要素によって必要な面に回転させ、適当な焦点距離を有
する通常の焦点レンズ４２が、ビーム４４の大きさを縮
小するために用いられており、従って、ビーム４４の強
度が増大され、ビーム４４は、周波数倍増水晶４６にお
いて第２の高調波に的確に変換され得る。マルチパス進
行波増幅器２６によって生じる楕円形のビームサイズ及
び２軸曲率を補償するために、円筒形の光学的出力を有
するいくつかの通常の光学要素（図示せず）が、選択的
に焦点レンズ４２の前に設けられていてもよい。この補
償により、周波数倍増水晶４６において大きなピーク強
度が利点として生じるが、これは、ビーム４４の２つの
主面におけるくびれ部がビームラインに沿って同じ位置
に生じるように形成されるためである。最後に、倍増水
晶４６の後には、基本波ビームから第２の高調波を分離
する手段が必要により設けられている。最も簡単な場合
には、このために分散プリズム５０を用いることができ
る。
【００１２】上述した開示により、多くの他の特徴、変
更又は改良が当業者には明らかであろう。従って、この
ような特徴、変更又は改良は本発明の一部であると考え
られ、特許請求の範囲により決定される本発明の要旨に
含まれる。
更又は改良が当業者には明らかであろう。従って、この
ような特徴、変更又は改良は本発明の一部であると考え
られ、特許請求の範囲により決定される本発明の要旨に
含まれる。
【図１】本発明による高い平均強度、高いピーク強度レ
ーザを示す概略図である。
ーザを示す概略図である。
【符号の説明】 ２ レーザシステム ４ 発振器 ８、３８ 半波長板 １３ 望遠鏡 １７ モード整合光学系 ２４、３６ 折曲ミラー ２６ 進行波マルチパス増幅器 ２８ フェイスポンプトレーザヘッド ２９ 利得媒体 ３０ 折り畳みミラー ４２ 焦点レンズ ４６ 周波数倍増水晶 ５０ 分散プリズム
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 マーク・ジョン・クックラ アメリカ合衆国、ニューヨーク州、ボール ストン・スパ、フランクリン・ストリー ト、425番 (72)発明者 ウイリアム・テイラー・ロットショウ アメリカ合衆国、ニューヨーク州、スケネ クタデイ、ベイカー・アベニュー、2125番 (72)発明者 ジョセフ・ロバート・アンターナーラー アメリカ合衆国、ニューヨーク州、ニスカ ユナ、ホィットニイ・ドライブ、767番
Claims (12)
- 【請求項１】 光学ビームを発生する発振器手段と、 モード整合光学手段を有していると共に、前記光学ビー
ムが当該第１の光学手段を横切るように前記発振器手段
に隣接して設けられている第１の光学手段と、 前記光学ビームの強度を所定の量だけ増大させるために
前記光学ビームが当該増幅手段を通過するよう、前記第
１の光学手段に隣接して設けられているマルチパス増幅
手段と、 周波数倍増水晶手段を有していると共に、前記増大され
た強度を有する前記光学ビームが高い平均強度及び高い
ピーク強度を有するレーザビームを形成すべく当該第２
の光学手段を通過するように、前記増幅手段に隣接して
設けられている第２の光学手段とを備えた高い平均強度
及び高いピーク強度のレーザシステム。 - 【請求項２】 前記光学ビームは、連続ビームで構成さ
れている請求項１に記載のレーザシステム。 - 【請求項３】 前記光学ビームは、パルスビームで構成
されている請求項１に記載のレーザシステム。 - 【請求項４】 前記第１の光学手段は、 半波長板と、 望遠鏡手段とを含んでいる請求項１に記載のレーザシス
テム。 - 【請求項５】 前記モード整合光学手段は、 焦点レンズと、 円柱レンズとを含んでいる請求項１に記載のレーザシス
テム。 - 【請求項６】 少なくとも２つの折曲ミラーを更に含ん
でいる請求項１に記載のレーザシステム。 - 【請求項７】 前記増幅手段は、進行波マルチパス増幅
器を含んでいる請求項１に記載のレーザシステム。 - 【請求項８】 前記フェイスポンプトレーザヘッドは、
利得媒体を含んでいる請求項７に記載のレーザシステ
ム。 - 【請求項９】 前記第２の光学手段は、 半波長板と、 焦点レンズと、 分散プリズムとを含んでいる請求項１に記載のレーザシ
ステム。 - 【請求項１０】 前記折り畳みミラーは、前記フェイス
ポンプトレーザヘッドに対して所定の角度で設けられて
いる請求項７に記載のレーザシステム。 - 【請求項１１】 前記光学ビームの前記強度は、該光学
ビームが前記増幅手段を通過するときにほぼ１０倍増大
されている請求項１に記載のレーザシステム。 - 【請求項１２】 前記増幅手段は、 互いに所定の距離離れて設けられている少なくとも２つ
の折り畳みミラーと、 該折り畳みミラーの間に実質的に設けられているフェイ
スポンプトレーザヘッドとを含んでいる請求項７に記載
のレーザシステム。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US07/889,580 US5241551A (en) | 1992-05-28 | 1992-05-28 | High average power laser which generates radiation at a wavelength near 530 nm |
| US889580 | 1992-05-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0637383A true JPH0637383A (ja) | 1994-02-10 |
Family
ID=25395401
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5121002A Pending JPH0637383A (ja) | 1992-05-28 | 1993-05-24 | レーザシステム |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5241551A (ja) |
| EP (1) | EP0572201B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0637383A (ja) |
| DE (1) | DE69315620T2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003519902A (ja) * | 1999-06-01 | 2003-06-24 | フラウンホッファー−ゲゼルシャフト ツァ フェルダールング デァ アンゲヴァンテン フォアシュンク エー．ファオ． | 固体レーザー用の光増幅器装置（Ｖｅｒｓｔａｅｒｋｅｒ−Ａｎｏｒｄｎｕｎｇ） |
| JP2010004053A (ja) * | 2003-04-22 | 2010-01-07 | Komatsu Ltd | 露光用２ステージレーザ装置 |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| AT411411B (de) * | 2002-05-17 | 2003-12-29 | Femtolasers Produktions Gmbh | Kurzpuls-laservorrichtung mit vorzugsweise passiver modenverkopplung und mehrfachreflexions-teleskop hiefür |
| US7408971B2 (en) * | 2006-02-28 | 2008-08-05 | Quantronix Corporation | Longitudinally pumped solid state laser and methods of making and using |
| WO2012066402A1 (en) | 2010-11-17 | 2012-05-24 | Gigaphoton Inc. | Slab amplification device, laser apparatus, and extreme ultraviolet light generation system |
| JP2012109417A (ja) * | 2010-11-17 | 2012-06-07 | Komatsu Ltd | スラブ型増幅装置、レーザ装置および極端紫外光源装置 |
| RU2640777C2 (ru) * | 2016-04-28 | 2018-01-11 | Самсунг Электроникс Ко., Лтд. | Автономное носимое оптическое устройство и способ для непрерывного неинвазивного измерения физиологических параметров человека |
| US11045103B2 (en) * | 2016-04-28 | 2021-06-29 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Physiological parameter detecting apparatus and method of detecting physiological parameters |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1171084B (de) * | 1962-06-27 | 1964-05-27 | Raytheon Co | Optischer Verstaerker |
| JPH0252187A (ja) * | 1988-08-12 | 1990-02-21 | Kawasaki Steel Corp | レーザビームサイドトリマー設備 |
| US5142542A (en) * | 1991-01-07 | 1992-08-25 | Amoco Corporation | Signal-resonant intracavity optical frequency mixing |
| US5144630A (en) * | 1991-07-29 | 1992-09-01 | Jtt International, Inc. | Multiwavelength solid state laser using frequency conversion techniques |
-
1992
- 1992-05-28 US US07/889,580 patent/US5241551A/en not_active Expired - Fee Related
-
1993
- 1993-05-24 JP JP5121002A patent/JPH0637383A/ja active Pending
- 1993-05-25 DE DE69315620T patent/DE69315620T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1993-05-25 EP EP93304019A patent/EP0572201B1/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003519902A (ja) * | 1999-06-01 | 2003-06-24 | フラウンホッファー−ゲゼルシャフト ツァ フェルダールング デァ アンゲヴァンテン フォアシュンク エー．ファオ． | 固体レーザー用の光増幅器装置（Ｖｅｒｓｔａｅｒｋｅｒ−Ａｎｏｒｄｎｕｎｇ） |
| JP2010004053A (ja) * | 2003-04-22 | 2010-01-07 | Komatsu Ltd | 露光用２ステージレーザ装置 |
| JP4530302B2 (ja) * | 2003-04-22 | 2010-08-25 | 株式会社小松製作所 | 露光用２ステージレーザ装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0572201B1 (en) | 1997-12-10 |
| EP0572201A1 (en) | 1993-12-01 |
| US5241551A (en) | 1993-08-31 |
| DE69315620D1 (de) | 1998-01-22 |
| DE69315620T2 (de) | 1998-07-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6587487B2 (en) | Harmonic laser | |
| US5943351A (en) | Intra-cavity and inter-cavity harmonics generation in high-power lasers | |
| EP0742966B1 (en) | Diode pumped, multi axial mode, intracavity frequency doubled laser | |
| US5025446A (en) | Intra-cavity beam relay for optical harmonic generation | |
| JP5100990B2 (ja) | 極端紫外光源装置用ドライバーレーザ及びｌｐｐ型極端紫外光源装置 | |
| US6229829B1 (en) | Fourth harmonic generation apparatus | |
| US5850407A (en) | Third-harmonic generator with uncoated brewster-cut dispersive output facet | |
| JP6453844B2 (ja) | 円形出力ビーム用の高効率単一パス高調波発生器 | |
| US7088749B2 (en) | Green welding laser | |
| US6061370A (en) | Fourth harmonic generation apparatus | |
| JPS62222689A (ja) | Ｃｏ↓２‐レ−ザ−高出力パルスを発生させるための | |
| US5898717A (en) | Third harmonic generation apparatus | |
| US5231641A (en) | Crystalline slab laser with intracavity non-linear optic | |
| JPH0637383A (ja) | レーザシステム | |
| CN110932079A (zh) | 一种四次谐波光束的产生装置 | |
| Kryukov et al. | Tunable double-channel ultrashort-pulse optical oscillator | |
| JPH09512957A (ja) | 固体レーザー | |
| JPH09232665A (ja) | 出力安定化第二高調波光源 | |
| JPH0653577A (ja) | 波長可変固体レーザ発振装置 | |
| Bereczki et al. | Dynamically stable continuous single frequency green ring laser | |
| JP3081921B1 (ja) | 中赤外固体レーザ装置 | |
| Dehn et al. | Phase conjugation for improvement of solid state and excimer lasers | |
| JP2001223421A (ja) | 波長変換レーザ装置およびレーザ加工装置 | |
| Reekie et al. | Difference frequency generation with a synchronously mode-locked cw dye laser system | |
| Nighan Jr et al. | Harmonic generation at high repetition rate with Q-switched Nd: YVO4 lasers |