JPH0636895A - シンクロトロンの収束電磁石およびこの収束電磁石を有するシンクロトロン - Google Patents
シンクロトロンの収束電磁石およびこの収束電磁石を有するシンクロトロンInfo
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- JPH0636895A JPH0636895A JP17468092A JP17468092A JPH0636895A JP H0636895 A JPH0636895 A JP H0636895A JP 17468092 A JP17468092 A JP 17468092A JP 17468092 A JP17468092 A JP 17468092A JP H0636895 A JPH0636895 A JP H0636895A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 励磁電流に対する収束磁場の強さを可変でき
るようにして、収束電磁石と偏向電磁石を直列駆動でき
るようにして、電源構成の簡易化を実現する。 【構成】 磁極33〜36をリターンヨーク32に対し
移動可能に構成する。磁極駆動機構55のボルト60を
回すことにより、磁極33〜36が移動し、電子ビーム
30に作用する磁場の強さを可変する。収束電磁石2
3,25のコイル37〜40を直列に接続し、これに偏
向電磁石のコイルを直列に接続する。電子ビームのエネ
ルギに対応した偏向磁場を発生させる励磁電流を供給す
る。この状態でボルト60を回すことにより最適の収束
磁場に調整する。
るようにして、収束電磁石と偏向電磁石を直列駆動でき
るようにして、電源構成の簡易化を実現する。 【構成】 磁極33〜36をリターンヨーク32に対し
移動可能に構成する。磁極駆動機構55のボルト60を
回すことにより、磁極33〜36が移動し、電子ビーム
30に作用する磁場の強さを可変する。収束電磁石2
3,25のコイル37〜40を直列に接続し、これに偏
向電磁石のコイルを直列に接続する。電子ビームのエネ
ルギに対応した偏向磁場を発生させる励磁電流を供給す
る。この状態でボルト60を回すことにより最適の収束
磁場に調整する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、シンクロトロンの収
束電磁石およびこの収束電磁石を具えたシンクロトロン
に関し、励磁電流に対する磁場の強さを可変できるよう
にして、偏向電磁石と共通の電源で駆動できるようにし
て、電源構成および制御の簡易化を実現したものであ
る。
束電磁石およびこの収束電磁石を具えたシンクロトロン
に関し、励磁電流に対する磁場の強さを可変できるよう
にして、偏向電磁石と共通の電源で駆動できるようにし
て、電源構成および制御の簡易化を実現したものであ
る。
【0002】
【従来の技術】近年、小型シンクロトロンは、シンクロ
トロン放射光(SOR)装置として、超々LSI回路の
作成、医療分野における診断、分子解析、構造解析等様
々な分野への適用が期待されている。
トロン放射光(SOR)装置として、超々LSI回路の
作成、医療分野における診断、分子解析、構造解析等様
々な分野への適用が期待されている。
【0003】小型SOR放射光装置の概要を図2に示
す。荷電粒子発生装置(電子銃等)10で発生した電子
ビームは線型加速装置(ライナック)12で光速近くに
加速され、ビーム輸送部14の偏向電磁石16で偏向さ
れて、インフレクタ18を介して蓄積リング22内に入
射される。蓄積リング22に入射された電子ビームは高
周波加速空洞21でエネルギを与えられながら垂直方向
収束電磁石23(23−1乃至23−4)、水平方向収
束電磁石25(25−1乃至25−4)で収束され、偏
向電磁石24(24−1乃至24−4)で偏向されて蓄
積リング22中を回り続ける。偏向電磁石24で偏向さ
れる時に発生するSOR光はビームチャンネル26を通
して例えば露光装置28に送られて超々LSI回路作成
用の光源等として利用される。
す。荷電粒子発生装置(電子銃等)10で発生した電子
ビームは線型加速装置(ライナック)12で光速近くに
加速され、ビーム輸送部14の偏向電磁石16で偏向さ
れて、インフレクタ18を介して蓄積リング22内に入
射される。蓄積リング22に入射された電子ビームは高
周波加速空洞21でエネルギを与えられながら垂直方向
収束電磁石23(23−1乃至23−4)、水平方向収
束電磁石25(25−1乃至25−4)で収束され、偏
向電磁石24(24−1乃至24−4)で偏向されて蓄
積リング22中を回り続ける。偏向電磁石24で偏向さ
れる時に発生するSOR光はビームチャンネル26を通
して例えば露光装置28に送られて超々LSI回路作成
用の光源等として利用される。
【0004】従来の収束電磁石23,25の構造を図3
に正面図で示す。この収束電磁石23,25は4極電磁
石で構成され、電子ビーム30が周回している真空チャ
ンバー22(蓄積リング)を包囲するようにリターンヨ
ーク32を配設している。リターンヨーク32の内周面
は電子ビーム30の方向に向けて突出して4個の磁極3
3〜36を形成している。各磁極33〜36にはコイル
37〜40がそれぞれ巻回されている。各コイル37〜
40は直列接続されて直流電源から励磁電流が供給され
る。コイル37〜40のつなぎ方により、磁極33,3
5をN極、磁極34,36をS極に励磁すれば水平方向
収束用の収束電磁石25となり、磁極33,35をS
極、磁極34,36をN極に励磁すれば垂直方向収束用
の収束電磁石23となる。この収束電磁石23,25は
励磁電流の大きさにより磁場の強さが調整される。
に正面図で示す。この収束電磁石23,25は4極電磁
石で構成され、電子ビーム30が周回している真空チャ
ンバー22(蓄積リング)を包囲するようにリターンヨ
ーク32を配設している。リターンヨーク32の内周面
は電子ビーム30の方向に向けて突出して4個の磁極3
3〜36を形成している。各磁極33〜36にはコイル
37〜40がそれぞれ巻回されている。各コイル37〜
40は直列接続されて直流電源から励磁電流が供給され
る。コイル37〜40のつなぎ方により、磁極33,3
5をN極、磁極34,36をS極に励磁すれば水平方向
収束用の収束電磁石25となり、磁極33,35をS
極、磁極34,36をN極に励磁すれば垂直方向収束用
の収束電磁石23となる。この収束電磁石23,25は
励磁電流の大きさにより磁場の強さが調整される。
【0005】シンクロトロンの運転時に電子ビーム30
を真空チャンバー中心軌道上で正しく周回させるために
必要な垂直方向収束電磁石23、水平方向収束電磁石2
5、偏向電磁石24の磁場の強さはそれぞれ異なる。こ
のため、従来においては、これら各電磁石23,24,
25ごとに別々の励磁電源で駆動していた。図4がその
電源系統で、各電磁石24,23,25ごとに電源装置
42,43,44を具え、それぞれ独立した電源系統4
5,46,47を構成していた。すなわち、偏向電磁石
用電源系統45は4個の偏向電磁石24−1乃至24−
4のコイルを直列につなぎ、電源装置42から励磁電流
を供給する。また、垂直方向収束電磁石用電源系統46
は4個の収束電磁石23−1乃至23−4のコイルを直
列につなぎ、電源装置43から励磁電流を供給する。ま
た、水平方向収束電磁石用電源系統47は4個の収束電
磁石25−1乃至25−4のコイルを直列につなぎ、電
源装置44から励磁電流を供給する。
を真空チャンバー中心軌道上で正しく周回させるために
必要な垂直方向収束電磁石23、水平方向収束電磁石2
5、偏向電磁石24の磁場の強さはそれぞれ異なる。こ
のため、従来においては、これら各電磁石23,24,
25ごとに別々の励磁電源で駆動していた。図4がその
電源系統で、各電磁石24,23,25ごとに電源装置
42,43,44を具え、それぞれ独立した電源系統4
5,46,47を構成していた。すなわち、偏向電磁石
用電源系統45は4個の偏向電磁石24−1乃至24−
4のコイルを直列につなぎ、電源装置42から励磁電流
を供給する。また、垂直方向収束電磁石用電源系統46
は4個の収束電磁石23−1乃至23−4のコイルを直
列につなぎ、電源装置43から励磁電流を供給する。ま
た、水平方向収束電磁石用電源系統47は4個の収束電
磁石25−1乃至25−4のコイルを直列につなぎ、電
源装置44から励磁電流を供給する。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】前記図3の収束電磁石
23,25の構造によれば、磁場の強さは励磁電流の大
きさによって決まってしまう。このため、垂直用収束電
磁石23、水平用収束電磁石25、偏向電磁石24を共
通の励磁電流で駆動することができず、電源系統は図4
のように各電磁石23,24ごとに独立に設けなればな
らないため、電源構成およびその制御が複雑になる欠点
があった。
23,25の構造によれば、磁場の強さは励磁電流の大
きさによって決まってしまう。このため、垂直用収束電
磁石23、水平用収束電磁石25、偏向電磁石24を共
通の励磁電流で駆動することができず、電源系統は図4
のように各電磁石23,24ごとに独立に設けなればな
らないため、電源構成およびその制御が複雑になる欠点
があった。
【0007】この発明は、前記従来の技術における問題
点を解決して励磁電流に対する磁場の強さを可変できる
ようにして、偏向電磁石と共通の電源が駆動できるよう
にして、電源構成および制御の簡易化を実現したシンク
ロトロンの収束電磁石およびこの収束電磁石を具えたシ
ンクロトロンを提供しようとするものである。
点を解決して励磁電流に対する磁場の強さを可変できる
ようにして、偏向電磁石と共通の電源が駆動できるよう
にして、電源構成および制御の簡易化を実現したシンク
ロトロンの収束電磁石およびこの収束電磁石を具えたシ
ンクロトロンを提供しようとするものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】この発明の収束電磁石
は、粒子ビームが周回する真空チャンバーを包囲するよ
うに配設されたリターンヨークと、前記真空チャンバー
の周りでその中心軌道に対し接近、離隔可能に前記リタ
ーンヨークに取付け支持された複数の磁極と、これら各
磁極の周りに配されたコイルと、前記各磁極を前記真空
チャンバーの中心軌道に対し接近、離隔する方向に駆動
する磁極駆動機構とを具えたものである。また、この発
明のシンクロトロンは、上記の構成の複数の収束電磁石
と前記真空チャンバーの各偏向位置に配設された複数の
偏向電磁石と、前記複数の収束電磁石のコイルと前記複
数の偏向電磁石のコイルを直列に接続して共通の電源装
置から励磁電流を供給する励磁電流供給系統とを具備し
てなるものである。
は、粒子ビームが周回する真空チャンバーを包囲するよ
うに配設されたリターンヨークと、前記真空チャンバー
の周りでその中心軌道に対し接近、離隔可能に前記リタ
ーンヨークに取付け支持された複数の磁極と、これら各
磁極の周りに配されたコイルと、前記各磁極を前記真空
チャンバーの中心軌道に対し接近、離隔する方向に駆動
する磁極駆動機構とを具えたものである。また、この発
明のシンクロトロンは、上記の構成の複数の収束電磁石
と前記真空チャンバーの各偏向位置に配設された複数の
偏向電磁石と、前記複数の収束電磁石のコイルと前記複
数の偏向電磁石のコイルを直列に接続して共通の電源装
置から励磁電流を供給する励磁電流供給系統とを具備し
てなるものである。
【0009】
【作用】この発明の収束電磁石によれば、磁極を粒子ビ
ーム軌道に対し接近、離隔可能に配したので、その接近
距離によって粒子ビームに作用する磁場の強さが変化
し、励磁電流に対する磁場の強さを可変することができ
る。
ーム軌道に対し接近、離隔可能に配したので、その接近
距離によって粒子ビームに作用する磁場の強さが変化
し、励磁電流に対する磁場の強さを可変することができ
る。
【0010】また、この発明のシンクロトロンによれ
ば、上記収束電磁石を偏向電磁石と共通の電源装置から
の励磁電流で駆動した状態で収束磁場の強さを調整でき
るので、電源構成および制御を簡略化することができ
る。
ば、上記収束電磁石を偏向電磁石と共通の電源装置から
の励磁電流で駆動した状態で収束磁場の強さを調整でき
るので、電源構成および制御を簡略化することができ
る。
【0011】
(実施例1)この発明の収束電磁石の一実施例を図1に
正面図で示す。この収束電磁石23,25は4極電磁石
で構成され、電子ビーム30が周回している真空チャン
バー22(蓄積リング)を包囲するようにリターンヨー
ク32を配設している。リターンヨーク32の内周側に
は凹部51〜54が形成され、そこに磁極33〜36が
それぞれ移動可能に収容されている。各磁極33〜36
は磁極駆動機構55〜58により矢印Bのように移動し
て、電子ビーム30に対する接近距離が調整される。各
磁極33〜36の周りにはコイル37〜40がリターン
ヨーク32に固定された状態(磁極33〜36には非固
定)でそれぞれ巻回されている。
正面図で示す。この収束電磁石23,25は4極電磁石
で構成され、電子ビーム30が周回している真空チャン
バー22(蓄積リング)を包囲するようにリターンヨー
ク32を配設している。リターンヨーク32の内周側に
は凹部51〜54が形成され、そこに磁極33〜36が
それぞれ移動可能に収容されている。各磁極33〜36
は磁極駆動機構55〜58により矢印Bのように移動し
て、電子ビーム30に対する接近距離が調整される。各
磁極33〜36の周りにはコイル37〜40がリターン
ヨーク32に固定された状態(磁極33〜36には非固
定)でそれぞれ巻回されている。
【0012】磁極駆動機構55〜58は、ボルト60を
リターンヨーク32の壁32aに回転自在に取り付け
て、そのねじ部60aを凹部51内に通している。磁極
33〜36の後端部にはボール孔62が形成され、そこ
にねじ部60aがねじ込まれている。このような構成に
より、ボルト60を工具で回すことにより、磁極33〜
36を矢印B方向に移動して、励磁電流に対する電子ビ
ーム30に作用する収束磁場の強さを調整することがで
きる。
リターンヨーク32の壁32aに回転自在に取り付け
て、そのねじ部60aを凹部51内に通している。磁極
33〜36の後端部にはボール孔62が形成され、そこ
にねじ部60aがねじ込まれている。このような構成に
より、ボルト60を工具で回すことにより、磁極33〜
36を矢印B方向に移動して、励磁電流に対する電子ビ
ーム30に作用する収束磁場の強さを調整することがで
きる。
【0013】なお、図1の収束電磁石23,25はコイ
ル37〜40の巻き方および結線により垂直用23と水
平用25になる。すなわち、図5(a)のようにコイル
37〜40を巻いて結線して磁極33,35をN極、磁
極34,36をS極に励磁すれば水平方向収束用の収束
電磁石25となる。また、図5(b)のようにコイル3
7〜40を巻いて結線して磁極33,35をS極、磁極
34,36をN極に励磁すれば垂直方向収束用の収束電
磁石23となる。
ル37〜40の巻き方および結線により垂直用23と水
平用25になる。すなわち、図5(a)のようにコイル
37〜40を巻いて結線して磁極33,35をN極、磁
極34,36をS極に励磁すれば水平方向収束用の収束
電磁石25となる。また、図5(b)のようにコイル3
7〜40を巻いて結線して磁極33,35をS極、磁極
34,36をN極に励磁すれば垂直方向収束用の収束電
磁石23となる。
【0014】次に、図1の収束電磁石23,25を用い
た場合の図2のシンクロトロンの励磁電源系統の一実施
例を図6に示す。なお、収束電磁石23,25のコイル
は例えば前記図5に示したように結線されている。ま
た、偏向電磁石24は図6に示すように電子ビーム30
の軌道を挾んで上下に磁極66,68を対向配置し、各
磁極66,68にコイル70,72を巻回して構成され
る。コイル70,72は直列に接続されて、直流電流が
供給される。これにより、磁極70,72はそれぞれN
極、S極に励磁されて、垂直方向の磁場を発生し、電子
ビーム30に対し偏向力を与える。
た場合の図2のシンクロトロンの励磁電源系統の一実施
例を図6に示す。なお、収束電磁石23,25のコイル
は例えば前記図5に示したように結線されている。ま
た、偏向電磁石24は図6に示すように電子ビーム30
の軌道を挾んで上下に磁極66,68を対向配置し、各
磁極66,68にコイル70,72を巻回して構成され
る。コイル70,72は直列に接続されて、直流電流が
供給される。これにより、磁極70,72はそれぞれN
極、S極に励磁されて、垂直方向の磁場を発生し、電子
ビーム30に対し偏向力を与える。
【0015】図6の電源系統71において、偏向電磁石
24と収束電磁石23,25は図2における配列順にす
べて直列接続されて、共通の直流電源装置70に接続さ
れている。磁場の調整は例えば次の手順で行なわれる。
24と収束電磁石23,25は図2における配列順にす
べて直列接続されて、共通の直流電源装置70に接続さ
れている。磁場の調整は例えば次の手順で行なわれる。
【0016】 電源装置70から供給する電流値を偏
向電磁石24が電子ビーム30のエネルギに対応した偏
向磁場を発生させる電流値に設定する。
向電磁石24が電子ビーム30のエネルギに対応した偏
向磁場を発生させる電流値に設定する。
【0017】 各収束電磁石23,25の磁場調整用
ボルト60を回し、上記電流値の下で収束電磁石23,
25の磁場強度を最適な状態に調整する。ボルト60を
回す角度は、収束電磁石23,25の据付、製作誤差が
なければ、各磁極33〜36とも真空チャンバー22の
外周面に対し同一ギャップとなるように調整する。
ボルト60を回し、上記電流値の下で収束電磁石23,
25の磁場強度を最適な状態に調整する。ボルト60を
回す角度は、収束電磁石23,25の据付、製作誤差が
なければ、各磁極33〜36とも真空チャンバー22の
外周面に対し同一ギャップとなるように調整する。
【0018】 最終的な調整は、電子ビーム30のベ
ータトロン振動数(偏向磁場と収束磁場で決まる)をチ
ューンモニタで測定し、所望のベータトロン振動数が得
られるようにボルト60を回して微調整する。
ータトロン振動数(偏向磁場と収束磁場で決まる)をチ
ューンモニタで測定し、所望のベータトロン振動数が得
られるようにボルト60を回して微調整する。
【0019】 このように設定した後、電子ビームを
フルエネルギ入射すれば、電子ビーム30を蓄積リング
の周回軌道上に周回させて蓄積することができる。
フルエネルギ入射すれば、電子ビーム30を蓄積リング
の周回軌道上に周回させて蓄積することができる。
【0020】(実施例2)この発明の収束電磁石の他の
実施例を図8に示す。これは、磁極の移動を自動化し
て、遠隔操作で磁場を調整できるようにしたものであ
る。図1の実施例と共通する部分には同一の符号を用い
る。磁極駆動機構55〜58について説明する。ボルト
60はリターンヨーク32に回転自在に取り付けられて
いる。ボルト60の後端部にはギア72が取り付けられ
ている。リターンヨーク32の外周部にはパルスモータ
76が取り付けられ、その回転はギア74を介してギア
72に伝達される。ギャップ制御装置78はギャップ指
令値を入力して各磁極駆動機構55のパルスモータ76
を同量回すことにより磁極33〜36と真空チャンバー
22の外周面とのギャップgを等しく調整する。また、
磁極33〜36ごとに微調整することもできる。このよ
うな構成によれば、磁場強度を遠隔操作で調整すること
ができる。
実施例を図8に示す。これは、磁極の移動を自動化し
て、遠隔操作で磁場を調整できるようにしたものであ
る。図1の実施例と共通する部分には同一の符号を用い
る。磁極駆動機構55〜58について説明する。ボルト
60はリターンヨーク32に回転自在に取り付けられて
いる。ボルト60の後端部にはギア72が取り付けられ
ている。リターンヨーク32の外周部にはパルスモータ
76が取り付けられ、その回転はギア74を介してギア
72に伝達される。ギャップ制御装置78はギャップ指
令値を入力して各磁極駆動機構55のパルスモータ76
を同量回すことにより磁極33〜36と真空チャンバー
22の外周面とのギャップgを等しく調整する。また、
磁極33〜36ごとに微調整することもできる。このよ
うな構成によれば、磁場強度を遠隔操作で調整すること
ができる。
【0021】
【発明の効果】以上説明したように、この発明の収束電
磁石によれば、磁極を粒子ビーム軌道に対し接近、離隔
可能に配したので、その接近距離によって粒子ビームに
作用する磁場の強さが変化し、励磁電流に対する磁場の
強さを可変することができる。
磁石によれば、磁極を粒子ビーム軌道に対し接近、離隔
可能に配したので、その接近距離によって粒子ビームに
作用する磁場の強さが変化し、励磁電流に対する磁場の
強さを可変することができる。
【0022】また、この発明のシンクロトロンによれ
ば、上記収束電磁石を偏向電磁石と共通の電源装置から
の励磁電流で駆動した状態で収束磁場の強さを調整でき
るので、電源構成および制御を簡略化することができ
る。
ば、上記収束電磁石を偏向電磁石と共通の電源装置から
の励磁電流で駆動した状態で収束磁場の強さを調整でき
るので、電源構成および制御を簡略化することができ
る。
【図1】この発明の収束電磁石の一実施例を示す正面図
である。
である。
【図2】SOR装置の概要を示す平面図である。
【図3】従来の収束電磁石を示す正面図である。
【図4】従来のシンクロトロンの収束電磁石および偏向
電磁石の電源系統図である。
電磁石の電源系統図である。
【図5】図1の収束電磁石における水平用、垂直用の各
コイル結線の一例を示す図である。
コイル結線の一例を示す図である。
【図6】この発明によるシンクロトロンの収束電磁石お
よび偏向電磁石の電源系統の一実施例を示す図である。
よび偏向電磁石の電源系統の一実施例を示す図である。
【図7】偏向電磁石のコイル結線の一例を示す図であ
る。
る。
【図8】この発明の収束電磁石の他の実施例を示す正面
図である。
図である。
22 真空チャンバー 23 収束電磁石(垂直用) 24 偏向電磁石 25 収束電磁石(水平用) 30 電子ビーム(粒子ビーム)、真空チャンバー中心
軌道 32 リターンヨーク 33〜36 磁極 37〜40 コイル 55〜58 磁極駆動機構 70 電源装置 71 電源系統(励磁電流供給系統)
軌道 32 リターンヨーク 33〜36 磁極 37〜40 コイル 55〜58 磁極駆動機構 70 電源装置 71 電源系統(励磁電流供給系統)
Claims (2)
- 【請求項1】粒子ビームが周回する真空チャンバーを包
囲するように配設されたリターンヨークと、 前記真空チャンバーの周りでその中心軌道に対し接近、
離隔可能に前記リターンヨークに取付け支持された複数
の磁極と、 これら各磁極の周りに配されたコイルと、 前記各磁極を前記真空チャンバーの中心軌道に対し接
近、離隔する方向に駆動する磁極駆動機構とを具えた収
束電磁石。 - 【請求項2】粒子ビームが周回する真空チャンバーを包
囲するように配設されたリターンヨークと、前記真空チ
ャンバーの周りでその中心軌道に対し接近、離隔可能に
前記リターンヨークに取付け支持された複数の磁極と、
これら各磁極の周りに配されたコイルと、前記各磁極を
前記真空チャンバーの中心軌道に対し接近、離隔する方
向に駆動する磁極駆動機構とを具えた複数の収束電磁石
と、 前記真空チャンバーの各偏向位置に配設された複数の偏
向電磁石と、 前記複数の収束電磁石のコイルと前記複数の偏向電磁石
のコイルを直列に接続して共通の電源装置から励磁電流
を供給する励磁電流供給系統とを具備してなるシンクロ
トロン。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17468092A JPH0636895A (ja) | 1992-06-09 | 1992-06-09 | シンクロトロンの収束電磁石およびこの収束電磁石を有するシンクロトロン |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17468092A JPH0636895A (ja) | 1992-06-09 | 1992-06-09 | シンクロトロンの収束電磁石およびこの収束電磁石を有するシンクロトロン |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0636895A true JPH0636895A (ja) | 1994-02-10 |
Family
ID=15982819
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17468092A Pending JPH0636895A (ja) | 1992-06-09 | 1992-06-09 | シンクロトロンの収束電磁石およびこの収束電磁石を有するシンクロトロン |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0636895A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012150005A (ja) * | 2011-01-19 | 2012-08-09 | Mitsubishi Electric Corp | 荷電粒子ビーム偏向装置 |
JP2015532508A (ja) * | 2012-09-28 | 2015-11-09 | メビオン・メディカル・システムズ・インコーポレーテッド | 粒子ビームの集束 |
JP2015532509A (ja) * | 2012-09-28 | 2015-11-09 | メビオン・メディカル・システムズ・インコーポレーテッド | 粒子ビームのエネルギーの調整 |
JP2015536028A (ja) * | 2012-09-28 | 2015-12-17 | メビオン・メディカル・システムズ・インコーポレーテッド | 磁場再生器 |
-
1992
- 1992-06-09 JP JP17468092A patent/JPH0636895A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012150005A (ja) * | 2011-01-19 | 2012-08-09 | Mitsubishi Electric Corp | 荷電粒子ビーム偏向装置 |
JP2015532508A (ja) * | 2012-09-28 | 2015-11-09 | メビオン・メディカル・システムズ・インコーポレーテッド | 粒子ビームの集束 |
JP2015532509A (ja) * | 2012-09-28 | 2015-11-09 | メビオン・メディカル・システムズ・インコーポレーテッド | 粒子ビームのエネルギーの調整 |
JP2015536028A (ja) * | 2012-09-28 | 2015-12-17 | メビオン・メディカル・システムズ・インコーポレーテッド | 磁場再生器 |
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