JPH06349502A - Functional material formed of ceramics composite manufactured by electrochemical method - Google Patents
Functional material formed of ceramics composite manufactured by electrochemical methodInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、多孔質マトリックス中
にセラミックスを堆積させてなるコンポジットの製造方
法及びそのコンポジットを用いる機能材料に関する。な
お、本明細書においては、セラミックスという用語を、
室温で堆積させた無機物を含むものとして使用する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for producing a composite by depositing ceramics in a porous matrix and a functional material using the composite. In this specification, the term ceramics is used as
Used as containing inorganics deposited at room temperature.
【０００２】[0002]
【従来技術】予め作成した多孔質マトリックス中にセラ
ミックスを堆積してコンポジットを作成する方法とし
て、水溶液やアルコール溶液など液相の出発物質を用
い、含浸法や圧入法によってセラミックスをマトリック
ス内部に堆積する方法が従来から知られている。2. Description of the Related Art As a method for depositing ceramics in a porous matrix prepared in advance to form a composite, a liquid phase starting material such as an aqueous solution or an alcohol solution is used, and the ceramics are deposited inside the matrix by an impregnation method or a press-fitting method. Methods are known in the art.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】この含浸法や圧入法は
液相の材料を利用しているので、任意の形状の多孔質マ
トリックスに適用することができ、液が多孔質マトリッ
クスの内部まで浸透し易い、また液が細孔中に連続的に
存在するので化学反応を起こさせるのに有利であり、多
くの材料に適用することができるという利点を有する反
面、堆積物質を例えば数百オングストローム〜数μｍ程
度の微細なマトリックス細孔中に緻密に閉じこめること
は非常に困難であり、コンポジットの組成や組織を精密
に制御することができないという問題があった。Since the impregnation method and the press-fitting method utilize a liquid phase material, they can be applied to a porous matrix of any shape, and the liquid permeates to the inside of the porous matrix. In addition, it is advantageous in causing a chemical reaction because the liquid is continuously present in the pores and can be applied to many materials. There is a problem in that it is extremely difficult to close the matrix finely into a fine matrix pore of about several μm, and the composition and structure of the composite cannot be precisely controlled.
【０００４】本発明は、前記従来技術の問題点を解決
し、液相法の利点を最大限生かしつつコンポジットの組
成や組織の制御を精密に行うことのできるコンポジット
の製造方法を提供することを目的とし、そのようにして
製造されたコンポジットに機能材料としての新たな用途
を開発することをも目的とする。The present invention solves the above-mentioned problems of the prior art, and provides a method for producing a composite which can precisely control the composition and structure of the composite while maximizing the advantages of the liquid phase method. The purpose is also to develop new uses as functional materials for the composites thus produced.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明は、多孔質マトリ
ックス中へのセラミックスの堆積方法として電気化学的
な方法を採用することによって前記目的を達成する。コ
ンポジットを構成する多孔質マトリックスとしては多孔
質ポリマー、多孔質金属、多孔質ガラス、多孔質セラミ
ックス等種々のものを目的に合わせて選択することがで
きる。これらの多孔質マトリックスは周知の方法によっ
て製造することができる。例えば、多孔質ポリマーはポ
リウレタン等のポリマーを周知の方法で発泡させて製造
する。また、多孔質金属は、微細な粒径を有するニッケ
ルやコバルト等の金属粉体を任意の形状に成形した後、
焼成することによって製造する。多孔質ガラス及び多孔
質セラミックスについても同様の方法で任意の形状のも
のを製造することができる。The present invention achieves the above object by adopting an electrochemical method as a method for depositing ceramics in a porous matrix. As the porous matrix constituting the composite, various materials such as porous polymer, porous metal, porous glass and porous ceramics can be selected according to the purpose. These porous matrices can be manufactured by known methods. For example, the porous polymer is produced by foaming a polymer such as polyurethane by a known method. Further, the porous metal, after molding a metal powder such as nickel or cobalt having a fine particle diameter into an arbitrary shape,
It is manufactured by firing. Porous glass and porous ceramics can be produced in arbitrary shapes by the same method.
【０００６】本発明では、このようにして得られた多孔
質マトリックスの細孔中に電気化学的な反応によってセ
ラミックスを堆積させる。堆積させるセラミックスは、
作製されるコンポジットの使用目的に応じて適当なもの
が選択される。セラミックスの堆積に当たっては、例え
ばＯリングを用いてシールしたホルダーに多孔質マトリ
ックスを装着し、それを反応溶液を入れる２つの水槽の
連絡部分に配置する。そして、各水槽にセラミックスを
構成する成分を含む溶液を入れて所定時間放置する。こ
の時、電界をかけることによって反応を促進させること
も可能である。また、堆積するセラミックスは溶液に対
して溶解度が小さいことが必要である。In the present invention, ceramics are deposited in the pores of the porous matrix thus obtained by an electrochemical reaction. The ceramics to be deposited are
An appropriate one is selected according to the purpose of use of the composite to be produced. When depositing the ceramics, a porous matrix is mounted on a holder sealed with, for example, an O-ring, and the porous matrix is placed in the connecting portion of two water tanks for containing the reaction solution. Then, the solution containing the components constituting the ceramics is put into each water tank and left for a predetermined time. At this time, it is also possible to accelerate the reaction by applying an electric field. Further, the deposited ceramics must have low solubility in the solution.
【０００７】コンポジットの性状制御は、水系又はアル
コールやアセトンなどの非水系等溶媒の種類を選択する
こと、堆積物の溶解度以上の値で溶液の濃度を種々選択
すること、加熱又は冷却して温度条件を変えること、電
界印加によって電気化学反応を促進すること、反応領域
への可視光や紫外光等の光照射によって反応を促進する
こと、オートクレーブ等を用いて圧力等の条件を制御す
ることによって行うことができる。The properties of the composite are controlled by selecting the type of solvent such as water or a non-aqueous solvent such as alcohol or acetone, selecting the concentration of the solution at a value higher than the solubility of the deposit, heating or cooling the temperature. By changing the conditions, accelerating the electrochemical reaction by applying an electric field, accelerating the reaction by irradiating the reaction region with light such as visible light or ultraviolet light, and controlling the conditions such as pressure using an autoclave. It can be carried out.
【０００８】[0008]
【作 用】各々セラミックスを構成する成分を含む溶液
を入れた２つの水槽の連絡部分に多孔質マトリックスを
配置すると、溶液が細孔中を浸透しマトリックスの内部
で出会って堆積が始まる。細孔径が十分に小さいと、セ
ラミックス中を構成イオンが比較的容易に拡散できるの
で、緻密で均一な堆積を連続的に継続させることが可能
である。[Operation] When a porous matrix is placed in the connecting part of two water tanks containing solutions each containing a constituent of ceramics, the solution permeates the pores and meets inside the matrix to start deposition. If the pore size is sufficiently small, the constituent ions can diffuse in the ceramic relatively easily, so that dense and uniform deposition can be continuously continued.
【０００９】こうしてできる堆積物は易成長面が物質移
動方向を向いており、強い異方性を示す。このとき、２
つの水槽に電極を挿入し電界をかけることによってイオ
ンの運動を加速し反応速度を数倍から数十倍程度促進す
ることができる。しかし、電界の印加は必ずしも必要で
はない。The thus-formed deposit has a strong anisotropy in which the easy-to-grow surface faces the mass transfer direction. At this time, 2
By inserting electrodes into one water tank and applying an electric field, the motion of ions can be accelerated and the reaction rate can be accelerated by several times to several tens of times. However, application of an electric field is not always necessary.
【００１０】[0010]
【実施例】以下に本発明の実施例を説明する。 〔実施例１〕最初に、本発明によるセラミックスコンポ
ジットの作製方法について説明する。EXAMPLES Examples of the present invention will be described below. Example 1 First, a method for producing a ceramic composite according to the present invention will be described.
【００１１】市販のγ−Ａｌ2Ｏ3（日本触媒製）を５％
のＰＶＡ水溶液に入れて、加熱攪拌しながら乾燥させ、
めのう乳鉢で粉砕した。それを２００ｋｇ／ｃｍ2にて
１時間一軸加圧成形して直径１３ｍｍ厚さ１ｍｍのペレ
ットに成形した後、毎分５℃の昇温速度で１１００℃ま
で昇温し、そのまま２時間保持した後、昇温時と同じよ
うに室温まで降温してα−Ａｌ2Ｏ3焼結体を作製した。
こうして作製されたα−Ａｌ2Ｏ3焼結体ペレットの細孔
分布をポロシメータを用いて測定したところ、ほとんど
が直径約５００オングストロームの細孔であり、約３０
００オングストロームの細孔も観察された。5% of commercially available γ-Al 2 O 3 (manufactured by Nippon Shokubai)
PVA aqueous solution and dried with heating and stirring,
It was crushed in an agate mortar. After it was uniaxially pressure-molded at 200 kg / cm 2 for 1 hour to form a pellet having a diameter of 13 mm and a thickness of 1 mm, the temperature was raised to 1100 ° C. at a temperature rising rate of 5 ° C./min, and kept for 2 hours. Then, the temperature was lowered to room temperature in the same manner as when the temperature was raised to produce an α-Al 2 O 3 sintered body.
When the pore distribution of the thus-fabricated α-Al 2 O 3 sintered body pellets was measured using a porosimeter, most of the pores were about 500 angstroms in diameter, and about 30
Porosities of 00 Å were also observed.
【００１２】このようにして成形されたペレット９を図
１に示す反応槽の２槽の境界壁にＯリング８を介してポ
リエチレン製ホルダー７を用いて固定した。そして、一
方の反応槽３に０．３Ｍ水酸化リチウム水溶液を他方の
反応槽４に０．１Ｍリン酸二水素アンモニウム水溶液を
入れ、電源１によって１ボルトの電圧をかけたまま１週
間放置し、ペレット９の細孔中にＬｉ3ＰＯ4を堆積させ
た。反応終了後、ホルダー７からペレット９を取り出し
洗浄して乾燥させた後、Ｘ線解析、ＳＥＭ、ＥＰＭＡに
より生成相や組織の様子を調べたところ、斜方晶系のリ
ン酸リチウムがペレット内部のほぼ中央に堆積してリン
酸リチウムコンポジットが形成されていることを確認し
た。The pellet 9 thus formed was fixed to the boundary wall between the two tanks of the reaction tank shown in FIG. 1 through the O-ring 8 using the polyethylene holder 7. Then, one reaction tank 3 was charged with a 0.3 M lithium hydroxide aqueous solution, and the other reaction tank 4 was charged with a 0.1 M ammonium dihydrogen phosphate aqueous solution, and left for 1 week while a voltage of 1 volt was applied by the power source 1, Li 3 PO 4 was deposited in the pores of pellet 9. After completion of the reaction, the pellet 9 was taken out from the holder 7, washed and dried, and then the state of the produced phase and the structure was examined by X-ray analysis, SEM, and EPMA. It was confirmed that the lithium phosphate composite was formed almost at the center.
【００１３】〔実施例２〕本発明によるセラミックスコ
ンポジットをリチウム電池の固体電解質隔壁として利用
する実施例について説明する。リチウム電池は、例えば
図２の断面図に示すようにリチウムからなる負極２１と
二硫化チタン等からなる正極２２の間に固体電解質から
なる隔壁２３を挟んだ構造を有し、正極２２と接触する
ケース２４すなわち正極端子と、負極２１に接続される
負極端子２５との間に接続される外部回路中に電流を供
給するものである。２６は絶縁体である。このリチウム
電池の隔壁２３の材料として、従来は使用する正極及び
負極の材質に応じてＬｉＩ、ＬｉＩ＋Ａｌ2Ｏ3、ＬｉＮ
−ＬｉＩ−（−ＬｉＯＨ）、Ｌｉ4ＳｉＯ4−Ｌｉ3Ｐ
Ｏ4、ＰＥＯ−ＬｉＣＦ3ＳＯ3等（ここで＋は単なる混
合物であることを表し、−は系の化合物であることを表
す）の固体電解質を物理的に固めたものが用いられてい
た。この固体電解質からなる隔壁２３には、電池の内部
抵抗を小さくするために高い導電率が要求され、電極間
の短絡や液漏れを防止するために機械的強度及び耐久性
が要求され、また反復充放電に対する耐性及び軽量であ
ることが要求される。Example 2 An example of using the ceramic composite according to the present invention as a solid electrolyte partition of a lithium battery will be described. The lithium battery has a structure in which a partition wall 23 made of a solid electrolyte is sandwiched between a negative electrode 21 made of lithium and a positive electrode 22 made of titanium disulfide or the like as shown in the cross-sectional view of FIG. The current is supplied to an external circuit connected between the case 24, that is, the positive electrode terminal and the negative electrode terminal 25 connected to the negative electrode 21. 26 is an insulator. As the material of the partition wall 23 of this lithium battery, LiI, LiI + Al 2 O 3 , LiN are conventionally used depending on the materials of the positive electrode and the negative electrode used.
-LiI - (- LiOH), Li 4 SiO 4 -Li 3 P
Physically solidified solid electrolytes of O 4 , PEO-LiCF 3 SO 3 and the like (here, + means a mixture and − means a system compound) have been used. The partition wall 23 made of this solid electrolyte is required to have high electrical conductivity in order to reduce the internal resistance of the battery, mechanical strength and durability to prevent short circuit between electrodes, and liquid leakage. It is required to be resistant to charge and discharge and lightweight.
【００１４】実施例１で作製したリン酸リチウムコンポ
ジットの電気伝導度σを測定したところ、図３（ａ）に
示す結果が得られた。図３の横軸は絶対温度Ｔの逆数、
縦軸は電気伝導度σの対数である。比較試料として、通
常濃度のＬｉＯＨ・Ｈ2ＯとＮＨ4Ｈ2ＰＯ4の混合水溶液
を吸引ろ過して乾燥させたものをめのう乳鉢で粉砕し、
２００ｋｇ／ｃｍ2の圧力で１分間一軸加圧成形して直
径１３ｍｍのペレットを作製した。この比較試料の電気
伝導度σを図３（ｂ）に示す。When the electric conductivity σ of the lithium phosphate composite prepared in Example 1 was measured, the results shown in FIG. 3 (a) were obtained. The horizontal axis of FIG. 3 is the reciprocal of the absolute temperature T,
The vertical axis is the logarithm of the electrical conductivity σ. As a comparative sample, a mixed aqueous solution of LiOH.H 2 O and NH 4 H 2 PO 4 having a normal concentration was suction-filtered and dried, and then crushed in an agate mortar,
Uniaxial pressure molding was performed for 1 minute at a pressure of 200 kg / cm 2 to produce pellets having a diameter of 13 mm. The electrical conductivity σ of this comparative sample is shown in FIG.
【００１５】図３から明らかなように、リン酸リチウム
をコンポジットにすると純粋のリン酸リチウムからなる
ペレットより電気伝導度がほぼ１桁高くなる。この電気
伝導度の増大は、マトリックス中での体積物がイオン導
電性が大きい方向へ選択的に成長するために、体積物が
特定方向へ結晶面を揃えて配列するためであり、多孔質
マトリックス中に堆積させる固体電解質をリン酸リチウ
ムから他のものに変えても同様な傾向がある。As is apparent from FIG. 3, when lithium phosphate is made into a composite, the electric conductivity is almost one digit higher than that of a pellet made of pure lithium phosphate. This increase in electrical conductivity is due to the fact that the volume in the matrix grows selectively in the direction of greater ionic conductivity, so that the volume aligns with the crystal faces in a specific direction, and the porous matrix There is a similar tendency when the solid electrolyte to be deposited therein is changed from lithium phosphate to another one.
【００１６】このようなリチウム含有無機酸塩固体電解
質コンポジットは、アルミナからなる多孔質マトリック
スで強度を確保することができるので機械的強度及び耐
久性に優れると同時に、高いリチウムイオン電導性を有
する。従って、現在のところマトリックスを使用しない
で単独の固体電解質を加圧成形したり、加熱処理したり
して使用されているリチウム電池の隔壁として本発明の
リチウム含有無機塩酸塩固体電解質コンポジットを用い
ると、高性能のリチウム電池を製造することができる。Since such a lithium-containing inorganic acid salt solid electrolyte composite can secure the strength with the porous matrix made of alumina, it has excellent mechanical strength and durability, and at the same time has high lithium ion conductivity. Therefore, when the lithium-containing inorganic hydrochloride solid electrolyte composite of the present invention is used as a partition wall of a lithium battery that is currently pressure-molded or heat-treated with a single solid electrolyte without using a matrix. It is possible to manufacture high-performance lithium batteries.
【００１７】〔実施例３〕次に、本発明によるセラミッ
クスコンポジットを湿度センサとして使用する実施例に
ついて説明する。図４に示すように、実施例１と同様に
して作製した直径１３ｍｍ厚み０．５ｍｍのリン酸リチ
ウムコンポジット４１の両面に塗布法によってＲｕＯ2
薄膜電極４２を形成し、薄膜電極４２からリード線４３
を引き出して湿度センサを形成した。この湿度センサを
石英製の試料ホルダーに入れて温度を２５℃に保ち、湿
度を調整した空気を送り込んで一定の湿度に設定した後
１０分後にインピーダンスアナライザーで周波数１ｋＨ
ｚにおける抵抗を測定した。[Embodiment 3] Next, an embodiment in which the ceramic composite according to the present invention is used as a humidity sensor will be described. As shown in FIG. 4, RuO 2 was applied to both surfaces of a lithium phosphate composite 41 having a diameter of 13 mm and a thickness of 0.5 mm, which was manufactured in the same manner as in Example 1.
A thin film electrode 42 is formed, and a lead wire 43 is formed from the thin film electrode 42.
Was pulled out to form a humidity sensor. This humidity sensor was placed in a quartz sample holder, the temperature was kept at 25 ° C, and humidity-adjusted air was blown in to set a constant humidity, and 10 minutes later, a frequency of 1 kHz was measured with an impedance analyzer.
The resistance at z was measured.
【００１８】こうして測定された本実施例の湿度センサ
の特性を図５に示す。図５の横軸は相対湿度（％）であ
り、縦軸はセンサの抵抗である。同様な条件で測定した
既存のＭｇＣｒ2Ｏ4とＴｉＯ2の混合物の焼結体セラミ
ックス感湿センサの特性図を図６に示す。図５と図６の
比較から明らかなように、本実施例の湿度センサは従来
の湿度センサに比してヒステリシスが小さい。したがっ
て、本実施例によると、信頼性の高い湿度センサを得る
ことができる。The characteristics of the humidity sensor of this embodiment measured in this way are shown in FIG. The horizontal axis of FIG. 5 is the relative humidity (%), and the vertical axis is the resistance of the sensor. FIG. 6 shows a characteristic diagram of a sintered ceramics moisture sensitive sensor of an existing mixture of MgCr 2 O 4 and TiO 2 measured under the same conditions. As is clear from the comparison between FIG. 5 and FIG. 6, the humidity sensor of this embodiment has a smaller hysteresis than the conventional humidity sensor. Therefore, according to this embodiment, a highly reliable humidity sensor can be obtained.
【００１９】なお、本実施例ではペレット状セラミック
スコンポジットの上下面に電極を設けて湿度センサとし
たが、例えば図７に示すように、ペレット状セラミック
スコンポジット７１の一方の表面の上に櫛形電極７２、
７３を形成することによって湿度センサを形成するな
ど、具体的なセンサの構成は任意のものを採用すること
ができる。In this embodiment, electrodes are provided on the upper and lower surfaces of the pellet-shaped ceramic composite to form a humidity sensor. For example, as shown in FIG. 7, a comb-shaped electrode 72 is formed on one surface of the pellet-shaped ceramic composite 71. ,
The humidity sensor may be formed by forming 73, and any specific sensor configuration may be adopted.
【００２０】本実施例の湿度センサには、リン酸リチウ
ム以外にもケイ酸リチウム、ジルコン酸リチウム等の無
機塩類のセラミックスコンポジットを使用することがで
きる。また、本実施例の湿度センサ出力に対する温度の
影響は、セラミックスコンポジットの抵抗値の温度依存
性が、図３（ａ）に示されているようにヒステリシスが
極めて小さい線形の関数で表されるので、周知の電気的
手段によって容易に補償することができる。本実施例の
湿度センサは、各種空調用等に広範に使用することがで
きる。In addition to lithium phosphate, a ceramic composite of inorganic salts such as lithium silicate and lithium zirconate can be used in the humidity sensor of this embodiment. Further, the influence of temperature on the output of the humidity sensor of the present embodiment is that the temperature dependence of the resistance value of the ceramic composite is expressed by a linear function with extremely small hysteresis as shown in FIG. 3 (a). , Can be easily compensated by known electric means. The humidity sensor of this embodiment can be widely used for various air conditioning.
【００２１】[0021]
【発明の効果】電気化学的反応を利用することにより、
電気伝導度が高く、機械的強度及び耐久性に優れたリン
酸リチウムコンポジット等のリチウム含有無機酸塩固体
電解質コンポジットを作製することができる。本発明に
よるリチウム含有無機酸塩固体電解質コンポジットをリ
チウム電池の正極と負極の間に介在する固体電解質隔壁
として使用すると高性能のリチウム電池を製造すること
ができる。また、本発明によるリチウム含有無機酸塩固
体電解質コンポジットの電気抵抗は湿度に対してヒステ
リシスの小さい線形の応答を示し、信頼性の高い湿度セ
ンサとして利用することができる。EFFECT OF THE INVENTION By utilizing an electrochemical reaction,
A lithium-containing inorganic acid salt solid electrolyte composite such as a lithium phosphate composite having high electric conductivity and excellent mechanical strength and durability can be produced. When the lithium-containing inorganic acid salt solid electrolyte composite according to the present invention is used as a solid electrolyte partition wall interposed between a positive electrode and a negative electrode of a lithium battery, a high performance lithium battery can be manufactured. Further, the electric resistance of the lithium-containing inorganic acid salt solid electrolyte composite according to the present invention exhibits a linear response with a small hysteresis with respect to humidity and can be used as a highly reliable humidity sensor.
【図１】電気化学的方法によってセラミックスコンポジ
ットを作製する装置の説明図。FIG. 1 is an explanatory view of an apparatus for producing a ceramic composite by an electrochemical method.
【図２】リチウム電池の断面図。FIG. 2 is a sectional view of a lithium battery.
【図３】リン酸リチウムコンポジットとリン酸リチウム
ペレットの電気電導特性を示す図。FIG. 3 is a diagram showing electric conductivity characteristics of a lithium phosphate composite and a lithium phosphate pellet.
【図４】湿度センサとしての試料形状を示す図。FIG. 4 is a view showing a sample shape as a humidity sensor.
【図５】本発明の実施例による湿度センサの特性図。FIG. 5 is a characteristic diagram of a humidity sensor according to an embodiment of the present invention.
【図６】従来の湿度センサの特性図。FIG. 6 is a characteristic diagram of a conventional humidity sensor.
【図７】湿度センサの構成例を示す図。FIG. 7 is a diagram showing a configuration example of a humidity sensor.
１ 電源 ３，４ 容器 ５ 電極 ７ ホルダー ８ Ｏリング ９ ペレット ２１ 負極 ２２ 正極 ２３ 固体電解質隔壁 ２４ ケース ２５ 負極端子 ２６ 絶縁体 ４１ リン酸リチウムコンポジット ４２ ＲｕＯ2電極 ４３ リード線 ７１ セラミックスコンポジット ７２，７３ 櫛形電極1 Power Supply 3, 4 Container 5 Electrode 7 Holder 8 O-ring 9 Pellet 21 Negative Electrode 22 Positive Electrode 23 Solid Electrolyte Partition 24 Case 25 Negative Electrode Terminal 26 Insulator 41 Lithium Phosphate Composite 42 RuO 2 Electrode 43 Lead Wire 71 Ceramics Composite 72, 73 Comb electrode
Claims (6)
壁として多孔質マトリックス中にリチウム含有無機酸塩
固体電解質を電気化学的方法によって堆積したコンポジ
ットを用いることを特徴とするリチウム電池。1. A lithium battery characterized by using a composite in which a lithium-containing inorganic acid salt solid electrolyte is deposited in a porous matrix by an electrochemical method as a solid electrolyte partition wall interposed between a positive electrode and a negative electrode.
であることを特徴とする請求項１記載のリチウム電池。2. The lithium battery according to claim 1, wherein the lithium-containing inorganic acid salt is lithium phosphate.
とを特徴とする請求項１又は２記載のリチウム電池。3. The lithium battery according to claim 1, wherein the porous matrix is alumina.
して多孔質マトリックス中にリチウム含有無機酸塩固体
電解質を電気化学的方法によって堆積したコンポジット
を用いることを特徴とする湿度センサ。4. A humidity sensor characterized by using a composite in which a lithium-containing inorganic acid salt solid electrolyte is deposited in a porous matrix by an electrochemical method as a humidity sensitive element whose resistance changes according to humidity.
であることを特徴とする請求項４記載の湿度センサ。5. The humidity sensor according to claim 4, wherein the lithium-containing inorganic acid salt is lithium phosphate.
とを特徴とする請求項４又は５記載の湿度センサ。6. The humidity sensor according to claim 4, wherein the porous matrix is alumina.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13482293A JPH06349502A (en) | 1993-06-04 | 1993-06-04 | Functional material formed of ceramics composite manufactured by electrochemical method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13482293A JPH06349502A (en) | 1993-06-04 | 1993-06-04 | Functional material formed of ceramics composite manufactured by electrochemical method |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06349502A true JPH06349502A (en) | 1994-12-22 |
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ID=15137290
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|---|---|---|---|
| JP13482293A Pending JPH06349502A (en) | 1993-06-04 | 1993-06-04 | Functional material formed of ceramics composite manufactured by electrochemical method |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06349502A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8168058B2 (en) * | 2008-12-22 | 2012-05-01 | Taiwan Textile Research Institute | Method for manufacturing a lithium phosphate thin film |
-
1993
- 1993-06-04 JP JP13482293A patent/JPH06349502A/en active Pending
Cited By (2)
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| US8168058B2 (en) * | 2008-12-22 | 2012-05-01 | Taiwan Textile Research Institute | Method for manufacturing a lithium phosphate thin film |
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