JPH0634439A - High-resolution spectroscope - Google Patents
High-resolution spectroscopeInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、高分解能分光装置に関
するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a high resolution spectroscopic device.
【０００２】[0002]
【従来の技術とその問題点】従来の高分解能分光装置と
しては、例えばファブリーペロー（以下、「ＦＰ」と称
する）干渉計を用いたものがある。これは分解能が１０
6 程度と非常に高いが、測定可能なレンジ幅である自由
スペクトル領域（以下、「ＦＳＲ」と称する）が非常に
狭く、広範囲な波長領域での測定はできない。2. Description of the Related Art As a conventional high-resolution spectroscopic device, there is, for example, one using a Fabry-Perot (hereinafter referred to as "FP") interferometer. This has a resolution of 10
Although it is as high as about 6 , the free spectral range (hereinafter referred to as "FSR"), which is the measurable range width, is extremely narrow, and measurement in a wide wavelength range is impossible.
【０００３】これを改良するものとして、例えば「分光
研究 第３４巻 第２号（１９８５）」の第９６頁以降
に示された「ＦＰ干渉計とダブルモノクロメータの同期
掃引による高分解能分光システム」がある。この装置
は、その題名からも明らかなように、ＦＰ干渉計の出射
側にダブルモノクロメータを配置する。そして、周知の
ようにＦＰ干渉計の分光特性は図６（Ａ）に示すごとく
周期的構造をもっているため、ダブルモノクロメータの
透過ピークを同図（Ｂ）に示すようにＦＰ干渉計のピー
クの１つの一致させる。これにより、ダブルモノクロメ
ータを透過するとＦＰ干渉計のピークのうち上記透過ピ
ーク以外のピークは除去される。そしてこれら２つの分
光器の透過ピークを互いに一致させたまま両者を同じ速
さで同期掃引する。これにより同図（Ｃ）に示すよう
に、周期構造のない鋭い分光特性が得られる。そして、
掃引方法を鋸状のように工夫することにより、高分解能
かつ広い波長範囲での測定が可能となる。As an improvement to this, for example, "High-resolution spectroscopic system by synchronous sweep of FP interferometer and double monochromator" shown on page 96 and after of "Spectral Research Vol. 34, No. 2 (1985)". There is. As is clear from the title of this device, a double monochromator is arranged on the emission side of the FP interferometer. As is well known, the spectral characteristic of the FP interferometer has a periodic structure as shown in FIG. 6 (A), and therefore the transmission peak of the double monochromator is different from the peak of the FP interferometer as shown in FIG. 6 (B). Match one. As a result, when the light passes through the double monochromator, peaks other than the above-mentioned transmission peak among the peaks of the FP interferometer are removed. Then, while keeping the transmission peaks of these two spectroscopes coincident with each other, they are synchronously swept at the same speed. As a result, sharp spectral characteristics without a periodic structure can be obtained as shown in FIG. And
By devising the sweep method like a saw, it becomes possible to measure with high resolution and a wide wavelength range.
【０００４】しかし、上記の例では、実際には同期をと
ることが非常に煩雑で、しかも掃引が一定でないため、
その同期制御の煩雑さはより顕著なものとなる。よっ
て、制御を非常に高精度に行わざるを得ず、仮に係る分
光装置が製造できたとしても、その組立精度や各部品間
の位置合わせ精度などに非常に高精度なものを要求され
るので、その作業が煩雑でかつ高価なものとなり、その
結果、実用に供し得ないものとなる。However, in the above example, it is actually very complicated to synchronize and the sweep is not constant.
The complexity of the synchronization control becomes more remarkable. Therefore, control must be performed with extremely high precision, and even if the spectroscopic device according to the present invention could be manufactured, extremely high precision is required for its assembly precision and alignment precision between each component. However, the work becomes complicated and expensive, and as a result, it cannot be put to practical use.
【０００５】また、フーリエ分光器のみでこのような高
分解能を得ようとすると、フーリエ分光器の波数（波
長）分解は光路差の逆数に比例するため、干渉計の可動
鏡の走査を１ｍ以上にもわたって安定に行なわなければ
ならず、システムが複雑かつ大型化し、しかも高価なも
のとなる。また、現時点ではＦＰ干渉計で得られる分解
能は、フーリエ分光器では達成できていない。また仮に
達成できたとしても、実質的に受光立体角が小さくなる
ため、あまり明るくならない。回折格子分光器では、も
ちろんこのような分解能には遠く及ばず、仮に達成でき
たとしても非常に大型化しかつ非常に暗くなる。Further, if such a high resolution is to be obtained only by the Fourier spectroscope, the wave number (wavelength) decomposition of the Fourier spectroscope is proportional to the reciprocal of the optical path difference, so that the scanning of the movable mirror of the interferometer is 1 m or more. Therefore, the system must be stable, and the system becomes complicated, large, and expensive. Moreover, at present, the resolution obtained by the FP interferometer cannot be achieved by the Fourier spectrometer. Even if it could be achieved, it would not be so bright because the light receiving solid angle would be substantially reduced. In a diffraction grating spectroscope, of course, such a resolution is far short, and even if it could be achieved, it would be very large and very dark.
【０００６】本発明は、上記した背景に鑑みてなされた
もので、その目的とするところは、高分解能で、かつ測
定可能領域が広く、しかも装置，制御等が簡単かつ小型
で明るい高分解能分光装置を提供することにある。The present invention has been made in view of the above background, and an object of the present invention is to provide a high-resolution spectroscope having a high resolution, a wide measurable region, a simple device, control, etc., and a small size. To provide a device.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】上記した目的を達成する
ために、本発明に係る高分解能分光装置では、ファブリ
ーペロー干渉計と、そのファブリーペロー干渉計の出射
側に配置されたフーリエ分光器とを備えるとともに、そ
のフーリエ分光器の波数或いは波長分解は、前記ファブ
リーペロー干渉計の自由スペクトル領域と略等しく設定
され、さらに、前記自由スペクトル領域をｎ分割して掃
引し、それぞれの位置で得られたｎ回分のフーリエ分光
器によるスペクトル測定結果を記憶する手段と、その記
憶する手段に格納されたｎ回分の測定結果を合成し出力
する手段とを備えた。In order to achieve the above object, in a high resolution spectroscopic device according to the present invention, a Fabry-Perot interferometer and a Fourier spectroscope arranged on the exit side of the Fabry-Perot interferometer are provided. And the wave number or wavelength decomposition of the Fourier spectrometer is set to be approximately equal to the free spectral range of the Fabry-Perot interferometer, and the free spectral range is swept in n divisions and obtained at each position. Further, there are provided means for storing the spectrum measurement results of the n times of Fourier spectroscopy, and means for synthesizing and outputting the measurement results of the n times stored in the storing means.
【０００８】[0008]
【作用】ＦＰ干渉計のＦＳＲをｎ分割し、それぞれにつ
いてステップ掃引する。すると１回目の位置では、測定
対象となるスペクトルデータ上の、ＦＳＲのステップ幅
ごとのデータがＦＰ干渉計から出射され、その出射され
たスペクトルデータがフーリエ分光器を介して取り出さ
れ、それを記憶する手段に一時格納する。次いで、２回
目の位置では、上記１回目の位置で得られたデータから
（ＦＳＲ／ｎ）分だけずれた位置のＦＳＲのステップ幅
ごとのスペクトルデータが得られるため、やはりそれを
フーリエ分光器を介して取り出すとともに記憶する手段
に格納する。そして、以後係る処理をｎ回目まで行う。
すると、記憶する手段には、ｎ種分のスペクトルデータ
が格納されることになり、ｎ回の掃引処理が終了したな
ら、記憶したすべてのデータを合成する。これにより合
成して得られたスペクトルデータは、測定対象となる元
のスペクトルデータを（ＦＳＲ／ｎ）のステップ幅の分
解能で検出して得られたものとなり、測定すべき元のス
ペクトルの高分解のスペクトルが作成される。そして、
分解能はＦＰ干渉計で決定される高分解能が得られ、か
つ、その測定領域はフーリエ分光器で決定される広い波
長（波数）領域となる。Function: The FSR of the FP interferometer is divided into n parts, and step sweep is performed for each of them. Then, at the first position, the data for each FSR step width on the spectrum data to be measured is emitted from the FP interferometer, and the emitted spectrum data is extracted via the Fourier spectroscope and stored. It is temporarily stored in the means for Next, at the second position, spectral data for each step width of the FSR at a position deviated by (FSR / n) from the data obtained at the first position is obtained. Stored in the means for taking out and storing through. Then, the subsequent processing is performed up to the nth time.
Then, n kinds of spectrum data will be stored in the storing means, and when the sweep processing of n times is completed, all the stored data are combined. The spectrum data obtained by synthesizing this is the one obtained by detecting the original spectrum data to be measured with a resolution of (FSR / n) step width, and the high resolution of the original spectrum to be measured. A spectrum of is created. And
As for the resolution, a high resolution determined by the FP interferometer can be obtained, and its measurement region is a wide wavelength (wave number) region determined by the Fourier spectrometer.
【０００９】[0009]
【実施例】以下本発明に係る高分解能分光装置について
添付図面を参照にして詳述する。図１は本発明に係る装
置の第１実施例を示している。同図に示すように、被測
定対象の光源１から出射された光が、収束レンズ２，ア
パーチャー３並びにコリメートレンズ４を介して平行光
束にされた後、ＦＰ干渉計５に光軸に平行に入射される
ようになっている。そして、本例では、ＦＰ干渉計５と
して、高い面精度と高い反射率をもつ２枚の半透明鏡
（エタロン対）６ａ，６ｂを互いに平行になるように配
置したものを用い、一方の平面鏡６ｂにスキャンドライ
バー７を接続し、両平面鏡６ａ，６ｂ間の距離ｄを調整
できるようになっている。なお、このスキャンドライバ
ー７は、ピエゾ素子から構成される。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A high resolution spectroscopic device according to the present invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 shows a first embodiment of the device according to the invention. As shown in the figure, the light emitted from the light source 1 to be measured is converted into a parallel light flux through the converging lens 2, the aperture 3 and the collimating lens 4, and then is made parallel to the optical axis to the FP interferometer 5. It is supposed to be incident. In this example, as the FP interferometer 5, one in which two semitransparent mirrors (etalon pair) 6a and 6b having high surface accuracy and high reflectance are arranged so as to be parallel to each other is used. A scan driver 7 is connected to 6b so that the distance d between the two plane mirrors 6a and 6b can be adjusted. The scan driver 7 is composed of a piezo element.
【００１０】また、このＦＰ干渉計５の出射側には、フ
ーリエ分光器８を設置している。このフーリエ分光器８
自体は従来のものと基本的に同様であり、ビームスプリ
ッタ９の直交する２方向に固定鏡１０と可動鏡１１を設
置している。そして、この可動鏡１１は、ドライバ１２
によりビームスプリッタ９に対して前後進移動するよう
になっている。A Fourier spectroscope 8 is installed on the emission side of the FP interferometer 5. This Fourier spectrometer 8
The device itself is basically the same as the conventional one, and the fixed mirror 10 and the movable mirror 11 are installed in two orthogonal directions of the beam splitter 9. Then, this movable mirror 11 has a driver 12
Thus, it moves forward and backward with respect to the beam splitter 9.
【００１１】そして、このドライバ１２並びに上記した
スキャンドライバ７は、それぞれコントローラ１３に接
続されており、コントローラ１３からの制御信号により
可動鏡１１並びに平面鏡６ｂを所定距離だけ移動させる
ようになっている。The driver 12 and the scan driver 7 are connected to the controller 13, respectively, and move the movable mirror 11 and the plane mirror 6b by a predetermined distance according to a control signal from the controller 13.
【００１２】さらに、固定鏡１０並びに可動鏡１１にて
反射して戻ってきた光がビームスプリッタ９で合成され
て出射される位置に収光レンズ１４が配置され、さらに
その収光レンズ１４の焦点距離上に検出器１５が配置さ
れ、その検出器で検出したデータが信号処理部１６に入
射され、そこにおいてフーリエ変換等の所定の演算処理
が行われるようになっている。Further, a light collecting lens 14 is arranged at a position where the light reflected by the fixed mirror 10 and the movable mirror 11 and returned is combined and emitted by the beam splitter 9, and the focus of the light collecting lens 14 is further arranged. The detector 15 is arranged on the distance, and the data detected by the detector is incident on the signal processing unit 16, where a predetermined arithmetic processing such as Fourier transform is performed.
【００１３】そして、その様にして算出された検出デー
タが、コントローラ１３を介してコンピュータ１７内の
記憶手段たるメモリ１８に格納するようになっている。The detection data calculated in this way is stored in the memory 18, which is a storage means in the computer 17, via the controller 13.
【００１４】さらに、上記コンピュータ１７内には、メ
モリ１８内に格納した検出データを合成する演算部１９
も備えている。また、上記ＦＰ干渉計５のＦＳＲとフー
リエ分光器８の分解波数とが等しくなるように調節・設
定されている。すなわち、フーリエ分光器８の分解波数
は、可動鏡１１の移動距離をｓ［ｃｍ］とすると、矩形
のアボダイゼーション関数を使用した場合、 （１／２ｓ）［ｃｍ-1］ となるため、 １／２ｓ＝ＦＳＲ と設定する。Further, in the computer 17, an arithmetic unit 19 for synthesizing the detection data stored in the memory 18 is added.
Is also equipped. Further, the FSR of the FP interferometer 5 and the decomposition wave number of the Fourier spectroscope 8 are adjusted and set to be equal. That is, when the moving distance of the movable mirror 11 is s [cm], the decomposition wave number of the Fourier spectroscope 8 is (1/2 s) [cm −1] when a rectangular abodization function is used. Set 1 / 2s = FSR.
【００１５】次に、上記した装置の作用について説明す
るが、その説明に先立ちＦＰ干渉計の透過特性について
説明する。まず、透過率特性ＴF は、干渉計（一対の半
透明鏡６ａ，６ｂ（エタロン））５を構成する半透明鏡
の透過度（強度）をＴ、反射度をＲとすると、 ＴF ＝Ｔ2 ／（（１−Ｒ）2 ＋４Ｒsin 2 δ） となる。Next, the operation of the above-mentioned device will be described. Prior to the description, the transmission characteristics of the FP interferometer will be described. First, the transmittance characteristic TF is TF = T 2 where T is the transmittance (intensity) and R is the reflectance of the semitransparent mirrors that form the interferometer (a pair of semitransparent mirrors 6a and 6b (etalon)) 5. become / ((1-R) 2 + 4Rsin 2 δ).
【００１６】ここでδは、下記式で与えられる。Here, δ is given by the following equation.
【００１７】[0017]
【数１】δ＝（π／λ）２ｎｄcos ｉ−φ 但し、 ｎ：エタロン間のスペーサ物質の屈折率 ｄ：エタロン間隔 ｉ：入射角 φ：エタロン内部での反射による振幅の位相変化 λ：波長 これより、δ＝ｍπのとき明るくなる。ここでｍは正の
整数であり干渉の次数を与える。よって、 ２ｎｄcos ｉ＝（ｍ＋（φ／π））λ が成り立つ。## EQU1 ## δ = (π / λ) 2nd cos i−φ where n: refractive index of spacer material between etalons d: etalon interval i: incident angle φ: phase change of amplitude due to reflection inside etalon λ: wavelength Therefore, when δ = mπ, it becomes brighter. Here, m is a positive integer and gives the order of interference. Therefore, 2ndcos i = (m + (φ / π)) λ holds.
【００１８】そして、φは定数と仮定してφ＝０とお
き、さらに、上記したごとく本例ではエタロンに対して
真っ直ぐに光が入射されるため、ｉ＝０となる。よっ
て、それらφ並びにｉを上記式に代入すると、 ２ｎｄ＝ｍλ となる。したがってｎまたはｄを変化させると、一定の
ｍ（次数）に対しては、λが変化する。そして、本例で
は、スキャンドライバー７によりｄが変化し、ｎは空気
中で一定（ｎ＝１）であるため、 ２ｄ＝ｍλ となる。よって、ｄをある一定値に固定した場合、図２
に示すような特性となる。Φ is assumed to be a constant, and φ is set to 0. Further, as described above, in this example, since light is directly incident on the etalon, i = 0. Therefore, substituting those φ and i into the above equation yields 2nd = mλ. Therefore, when n or d is changed, λ changes for a constant m (order). In this example, d is changed by the scan driver 7 and n is constant in air (n = 1), so that 2d = mλ. Therefore, when d is fixed to a certain constant value, as shown in FIG.
The characteristics are as shown in.
【００１９】そして、本例ではＦＰ干渉計５のＦＳＲを
ｎ分割し、エタロン間隔をｄ１，ｄ２，…，ｄｎと変化
させてステップ掃引する。すると、例えば測定すべきス
ペクトルが図３（Ａ）に示すようになっているとする
と、同図（Ｂ）に示すように、所定のエタロン間隔ｄ１
にて１回目の測定を行うと、ＦＰ干渉計５の各透過率特
性のピーク値に対応する測定すべきスペクトルの部位
（図中黒丸）がフーリエ分光器８により測定・検出され
る（同図（Ｃ）参照）。そしてそのフーリエ分光器８で
検出されたスペクトルデータをメモリ１８に格納する。In this example, the FSR of the FP interferometer 5 is divided into n parts, and the etalon interval is changed to d1, d2, ... Then, for example, if the spectrum to be measured is as shown in FIG. 3 (A), as shown in FIG. 3 (B), a predetermined etalon interval d1 is obtained.
When the first measurement is performed at, the portion of the spectrum to be measured (black circle in the figure) corresponding to the peak value of each transmittance characteristic of the FP interferometer 5 is measured and detected by the Fourier spectroscope 8 (see the same figure). (See (C)). Then, the spectrum data detected by the Fourier spectroscope 8 is stored in the memory 18.
【００２０】同様にエタロン間隔ｄ２にて２回目の測定
を行うことにより、測定すべきスペクトルのうち、黒三
角で示されたスペクトルデータがフーリエ分光器８によ
って読取られ、メモリ１８に格納される。以下順に、ｎ
回目まで測定を繰り返し行い、各エタロン間隔ｄｉ（ｉ
＝１〜ｎ）のＦＰ干渉計５の設定に対してフーリエ分光
器８で測定を行い、合計ｎ種のスペクトルデータをメモ
リ１８に格納する。Similarly, by performing the second measurement at the etalon interval d2, the spectrum data indicated by black triangles in the spectrum to be measured is read by the Fourier spectroscope 8 and stored in the memory 18. N in the following order
The measurement is repeated up to the second time, and each etalon interval di (i
= 1 to n), the Fourier spectroscope 8 measures the settings of the FP interferometer 5, and stores a total of n kinds of spectrum data in the memory 18.
【００２１】この様にして、ｎ回の測定が終了したな
ら、メモリ１８に格納されたすべてのスペクトルデータ
を読み出すと共に、演算部１９にてそれらを合成（編
集）する。これにより、測定すべき元のスペクトルの高
分解のスペクトルが作成される（同図（Ｄ）参照）。そ
して、この例では、分解能はＦＰ干渉計で決定される高
分解能が得られ、かつ、その測定領域はフーリエ分光器
で決定される広い波長（波数）領域となる。In this way, when the measurement of n times is completed, all the spectrum data stored in the memory 18 are read out, and the arithmetic unit 19 synthesizes (edits) them. As a result, a high-resolution spectrum of the original spectrum to be measured is created (see FIG. 7D). Then, in this example, the resolution is a high resolution determined by the FP interferometer, and the measurement region is a wide wavelength (wave number) region determined by the Fourier spectrometer.
【００２２】なお、上記した実施例並びに変形例では、
ＦＰ干渉計として、一対の平面鏡から構成されたものに
ついて説明したが、本発明では、図３に示すように所定
の球面鏡対（コンフォーカル エタロン）からなる、コ
ンフォーカルＦＰ干渉計５′を用いるようにしても良
い。係る干渉計を用いると、光学系の調整が容易にな
る。In the above-mentioned embodiment and modification,
As the FP interferometer, the one composed of a pair of plane mirrors has been described. However, in the present invention, a confocal FP interferometer 5 ′ composed of a predetermined spherical mirror pair (confocal etalon) is used as shown in FIG. You can The use of such an interferometer facilitates the adjustment of the optical system.
【００２３】なおまた、掃引は、上記したごとく距離ｄ
を変えるのではなく、エタロン間に高圧ガスを入れると
共に、そのガス圧を変化させることにより、屈折率を変
化させるようにしても良いのはもちろんである。Further, the sweep is performed by the distance d as described above.
It is needless to say that the refractive index may be changed by inserting a high-pressure gas between the etalons and changing the gas pressure instead of changing the pressure.
【００２４】[0024]
【発明の効果】以上のように、本発明に係る高分解能分
光装置では、分解能としてはＦＰ干渉計の有する高分解
能を発揮しつつ、測定可能な波長領域は、フーリエ分光
器で規定される広範囲の領域となり、高分解能分光装置
となる。しかも、ＦＰ干渉計の掃引の際にフーリエ分光
器側を同期させる必要がないため、各種制御計も簡単で
装置も簡略，小形化され、安価なものとなる。また、フ
ーリエ分光器単独で同様の高分解能を得ようとすると、
可動鏡の移動距離が非常に長くなり、装置が大型化する
とともに暗くなるが、本発明ではそれらの問題も解決さ
れる。As described above, in the high-resolution spectroscopic device according to the present invention, the measurable wavelength region is in a wide range defined by the Fourier spectroscope while exhibiting the high resolution of the FP interferometer. This is a high resolution spectroscopic device. Moreover, since it is not necessary to synchronize the Fourier spectroscope side when sweeping the FP interferometer, various control meters are simple, the apparatus is simplified and downsized, and the cost is low. Also, when trying to obtain the same high resolution with the Fourier spectrometer alone,
Although the moving distance of the movable mirror becomes very long and the device becomes large and dark, the problems are solved by the present invention.
【００２５】そして、測定可能な領域は紫外領域から赤
外領域まであり、測定の汎用性が向上し、利用分野とし
ては、各種条件を適宜設定することにより、気体の吸収
測定，レーザのスペクトルプロフィル測定，赤外スペク
トル，ラマン散乱，ブリルアン散乱などの各種の測定が
可能となる。The measurable range is from the ultraviolet range to the infrared range, and the versatility of the measurement is improved. As the field of use, various conditions are appropriately set to measure the gas absorption and the laser spectrum profile. Various measurements such as measurement, infrared spectrum, Raman scattering, Brillouin scattering are possible.
【図１】本発明に係る高分解能分光装置の好適な一実施
例を示すブロック構成図である。FIG. 1 is a block diagram showing a preferred embodiment of a high resolution spectroscopic device according to the present invention.
【図２】ＦＰ干渉計の透過特性を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a transmission characteristic of an FP interferometer.
【図３】作用を説明するための図である。FIG. 3 is a diagram for explaining an operation.
【図４】本発明に係る高分解能分光装置のさらに他の変
形例を示すブロック構成図である。FIG. 4 is a block diagram showing still another modification of the high resolution spectroscopic device according to the present invention.
【図５】従来の高分解能分光装置の動作原理を説明する
ための図である。FIG. 5 is a diagram for explaining the operation principle of a conventional high resolution spectroscopic device.
５ ＦＰ干渉計 ７ スキャンドライバー ８ フーリエ分光器 １４ メモリ（記憶する手段） １５ 演算部（検出結果を合成し出力する手段） 5 FP interferometer 7 Scan driver 8 Fourier spectroscope 14 Memory (means for storing) 15 Computing unit (means for synthesizing and outputting detection results)
Claims (1)
リエ分光器とを備えるとともに、そのフーリエ分光器の
波数或いは波長分解は、前記ファブリーペロー干渉計の
自由スペクトル領域と略等しく設定され、 さらに、前記自由スペクトル領域をｎ分割して掃引し、
それぞれの位置で得られたｎ回分のフーリエ分光器によ
るスペクトル測定結果を記憶する手段と、 その記憶する手段に格納されたｎ回分の測定結果を合成
し出力する手段とを備えた高分解能分光装置。1. A Fabry-Perot interferometer and a Fourier spectroscope disposed on the exit side of the Fabry-Perot interferometer, wherein the wave number or wavelength resolution of the Fourier spectroscope is determined by the free spectrum of the Fabry-Perot interferometer. The region is set to be approximately equal to the region, and the free spectral region is divided into n and swept,
A high-resolution spectroscopic device having means for storing the spectrum measurement results obtained by the Fourier spectrometer for n times obtained at each position, and means for synthesizing and outputting the measurement results for n times stored in the storing means. .
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21240992A JPH0634439A (en) | 1992-07-17 | 1992-07-17 | High-resolution spectroscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21240992A JPH0634439A (en) | 1992-07-17 | 1992-07-17 | High-resolution spectroscope |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0634439A true JPH0634439A (en) | 1994-02-08 |
Family
ID=16622112
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21240992A Withdrawn JPH0634439A (en) | 1992-07-17 | 1992-07-17 | High-resolution spectroscope |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0634439A (en) |
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