JPH0634438A - 高分解能分光装置 - Google Patents
高分解能分光装置Info
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- JPH0634438A JPH0634438A JP21240892A JP21240892A JPH0634438A JP H0634438 A JPH0634438 A JP H0634438A JP 21240892 A JP21240892 A JP 21240892A JP 21240892 A JP21240892 A JP 21240892A JP H0634438 A JPH0634438 A JP H0634438A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 高分解能で、かつ測定可能領域が広く、しか
も装置，制御等が簡単な高分解能分光装置を提供するこ
と。 【構成】 ファブリーペロー干渉計５の出射側にポリク
ロメータ９を配置し、そのポリクロメータの出射側には
マルチチャンネル検出器１０を設けている。そして、そ
のファブリーペロー干渉計の自由スペクトル領域とマル
チチャンネル検出器の１エレメントの波数幅と等しくな
るように調整されている。この状態で自由スペクトル領
域をｎ分割し、それぞれに対して測定して得られたｎ回
分のスペクトルデータをメモリ１４に一時格納し、ｎ回
分の測定が終了したなら、全スペクトルデータを演算部
１５に送り、そこにおいて合成し出力するようにした。
も装置，制御等が簡単な高分解能分光装置を提供するこ
と。 【構成】 ファブリーペロー干渉計５の出射側にポリク
ロメータ９を配置し、そのポリクロメータの出射側には
マルチチャンネル検出器１０を設けている。そして、そ
のファブリーペロー干渉計の自由スペクトル領域とマル
チチャンネル検出器の１エレメントの波数幅と等しくな
るように調整されている。この状態で自由スペクトル領
域をｎ分割し、それぞれに対して測定して得られたｎ回
分のスペクトルデータをメモリ１４に一時格納し、ｎ回
分の測定が終了したなら、全スペクトルデータを演算部
１５に送り、そこにおいて合成し出力するようにした。
Description
【０００１】
【０００１】
【０００２】
【産業上の利用分野】本発明は、高分解能分光装置に関
するものである。
するものである。
【０００３】
【０００２】
【０００４】
【従来の技術とその問題点】従来の高分解能分光装置と
しては、例えばファブリーペロー（以下、「ＦＰ」と称
する）干渉計を用いたものがある。これは分解能が１０
6 程度と非常に高いが、測定可能なレンジ幅である自由
スペクトル領域（以下、「ＦＳＲ」と称する）が非常に
狭く、広範囲な波長領域での測定はできない。
しては、例えばファブリーペロー（以下、「ＦＰ」と称
する）干渉計を用いたものがある。これは分解能が１０
6 程度と非常に高いが、測定可能なレンジ幅である自由
スペクトル領域（以下、「ＦＳＲ」と称する）が非常に
狭く、広範囲な波長領域での測定はできない。
【０００５】
【０００３】これを改良するものとして、例えば「分光
研究 第３４巻 第２号（１９８５）」の第９６頁以降
に示された「ＦＰ干渉計とダブルモノクロメータの同期
掃引による高分解能分光システム」がある。この装置
は、その題名からも明らかなように、ＦＰ干渉計の出射
側にダブルモノクロメータを配置する。そして、周知の
ようにＦＰ干渉計の分光透過率特性は図６（Ａ）に示す
ごとく周期的構造をもっているため、ダブルモノクロメ
ータの透過ピークを同図（Ｂ）に示すようにＦＰ干渉計
のピークの１つの一致させる。これにより、ダブルモノ
クロメータを透過するとＦＰ干渉計のピークのうち上記
透過ピーク以外のピークは除去される。そしてこれら２
つの分光器の透過ピークを互いに一致させたまま両者を
同じ速さで同期掃引する。これにより同図（Ｃ）に示す
ように、周期構造のない鋭い分光特性が得られる。そし
て、掃引方法を鋸状のように工夫することにより、高分
解能かつ広い波長範囲での測定が可能となる。
研究 第３４巻 第２号（１９８５）」の第９６頁以降
に示された「ＦＰ干渉計とダブルモノクロメータの同期
掃引による高分解能分光システム」がある。この装置
は、その題名からも明らかなように、ＦＰ干渉計の出射
側にダブルモノクロメータを配置する。そして、周知の
ようにＦＰ干渉計の分光透過率特性は図６（Ａ）に示す
ごとく周期的構造をもっているため、ダブルモノクロメ
ータの透過ピークを同図（Ｂ）に示すようにＦＰ干渉計
のピークの１つの一致させる。これにより、ダブルモノ
クロメータを透過するとＦＰ干渉計のピークのうち上記
透過ピーク以外のピークは除去される。そしてこれら２
つの分光器の透過ピークを互いに一致させたまま両者を
同じ速さで同期掃引する。これにより同図（Ｃ）に示す
ように、周期構造のない鋭い分光特性が得られる。そし
て、掃引方法を鋸状のように工夫することにより、高分
解能かつ広い波長範囲での測定が可能となる。
【０００６】
【０００４】しかし、上記の例では、実際には同期をと
ることが非常に煩雑で、しかも掃引が一定でないため、
その同期制御の煩雑さはより顕著なものとなる。よっ
て、制御を非常に高精度に行わざるを得ず、仮に係る分
光装置が製造できたとしても、その組立精度や各部品間
の位置合わせ精度などに非常に高精度なものを要求され
るので、その作業が煩雑でかつ高価なものとなり、その
結果、実用に供し得ないものとなる。
ることが非常に煩雑で、しかも掃引が一定でないため、
その同期制御の煩雑さはより顕著なものとなる。よっ
て、制御を非常に高精度に行わざるを得ず、仮に係る分
光装置が製造できたとしても、その組立精度や各部品間
の位置合わせ精度などに非常に高精度なものを要求され
るので、その作業が煩雑でかつ高価なものとなり、その
結果、実用に供し得ないものとなる。
【０００７】
【０００５】また、一般に通常の分光器でこれだけの分
解能を得ようとすると、１ｍ以上もの回折格子を使用し
なければならず不可能である。そして仮にできたとして
も非常に暗くなる。またフーリエ分光器では干渉計の移
動鏡を１ｍ以上も安定に動かさなければならず、高価で
かつ大型の装置となる。現時点ではＦＰ干渉計の分解能
は得られていない。
解能を得ようとすると、１ｍ以上もの回折格子を使用し
なければならず不可能である。そして仮にできたとして
も非常に暗くなる。またフーリエ分光器では干渉計の移
動鏡を１ｍ以上も安定に動かさなければならず、高価で
かつ大型の装置となる。現時点ではＦＰ干渉計の分解能
は得られていない。
【０００８】
【０００６】本発明は、上記した背景に鑑みてなされた
もので、その目的とするところは、高分解能で、かつ測
定可能領域が広く、しかも装置，制御等が簡単でかつ小
型で明るい高分解能分光装置を提供することにある。
もので、その目的とするところは、高分解能で、かつ測
定可能領域が広く、しかも装置，制御等が簡単でかつ小
型で明るい高分解能分光装置を提供することにある。
【０００９】
【０００７】
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記した目的を達成する
ために、本発明に係る高分解能分光装置では、ファブリ
ーペロー干渉計と、そのファブリーペロー干渉計の出射
側に配置されたポリクロメータと、そのポリクロメータ
の出射側に配置され、前記ファブリーペロー干渉計の自
由スペクトル領域と略等しいスペクトル分解幅を与える
エレメント幅のマルチチャンネル検出器と、前記自由ス
ペクトル領域をｎ分割し、それぞれ掃引して得られたｎ
回分の検出結果を記憶する手段と、その記憶する手段に
格納されたｎ回分の検出結果を合成し出力する手段とを
備えた。
ために、本発明に係る高分解能分光装置では、ファブリ
ーペロー干渉計と、そのファブリーペロー干渉計の出射
側に配置されたポリクロメータと、そのポリクロメータ
の出射側に配置され、前記ファブリーペロー干渉計の自
由スペクトル領域と略等しいスペクトル分解幅を与える
エレメント幅のマルチチャンネル検出器と、前記自由ス
ペクトル領域をｎ分割し、それぞれ掃引して得られたｎ
回分の検出結果を記憶する手段と、その記憶する手段に
格納されたｎ回分の検出結果を合成し出力する手段とを
備えた。
【００１１】
【０００８】
【００１２】
【作用】ＦＰ干渉計のＦＳＲをｎ分割し、ステップ掃引
して合計ｎ回の測定を行う。すると１回目の測定では、
測定対象となるスペクトルデータ上の、ＦＳＲ間隔ごと
のデータがＭＣＤを介して取り出され、それを記憶する
手段に一時格納する。次いで、２回目の測定では、上記
１回目の測定で得られたスペクトルデータから（ＦＳＲ
／ｎ）分だけずれた位置のＦＳＲ間隔ごとのスペクトル
データが得られるため、やはりそれをＭＣＤを介して取
り出すとともに記憶する手段に格納する。そして、以後
係る処理をｎ回目まで行う。すると、記憶する手段に
は、ｎ種分のスペクトルデータが格納されることにな
り、ｎ回の掃引処理が終了したなら、記憶したすべての
データを合成する。これにより合成して得られたスペク
トルデータは、測定対象となる元のスペクトルデータを
（ＦＳＲ／ｎ）のステップ幅の分解能で検出して得られ
たものとなり、測定すべき元のスペクトルの高分解スペ
クトルが作成される。そして、分解能はＦＰ干渉計で決
定される高分解能が得られ、かつ、その測定領域はＭＣ
Ｄで決定される広い波長（波数）領域となる。
して合計ｎ回の測定を行う。すると１回目の測定では、
測定対象となるスペクトルデータ上の、ＦＳＲ間隔ごと
のデータがＭＣＤを介して取り出され、それを記憶する
手段に一時格納する。次いで、２回目の測定では、上記
１回目の測定で得られたスペクトルデータから（ＦＳＲ
／ｎ）分だけずれた位置のＦＳＲ間隔ごとのスペクトル
データが得られるため、やはりそれをＭＣＤを介して取
り出すとともに記憶する手段に格納する。そして、以後
係る処理をｎ回目まで行う。すると、記憶する手段に
は、ｎ種分のスペクトルデータが格納されることにな
り、ｎ回の掃引処理が終了したなら、記憶したすべての
データを合成する。これにより合成して得られたスペク
トルデータは、測定対象となる元のスペクトルデータを
（ＦＳＲ／ｎ）のステップ幅の分解能で検出して得られ
たものとなり、測定すべき元のスペクトルの高分解スペ
クトルが作成される。そして、分解能はＦＰ干渉計で決
定される高分解能が得られ、かつ、その測定領域はＭＣ
Ｄで決定される広い波長（波数）領域となる。
【００１３】
【０００９】
【００１４】
【実施例】以下本発明に係る高分解能分光装置について
添付図面を参照にして詳述する。図１は本発明に係る装
置の第１実施例を示している。同図に示すように、被測
定対象の光源１から出射された光が、収束レンズ２，ア
パーチャー３並びにコリメートレンズ４を介して平行光
束にされた後、ＦＰ干渉計５に光軸に平行に入射される
ようになっている。そして、本例では、ＦＰ干渉計５と
して、高い面精度と高い反射率をもつ２枚の半透明の平
面鏡（エタロン対）６ａ，６ｂを互いに平行になるよう
に配置したものを用い、一方の平面鏡６ｂにスキャンド
ライバー７を接続し、両平面鏡６ａ，６ｂ間の距離ｄを
調整できるようになっている。なお、このスキャンドラ
イバー７は、一般的にはピエゾ素子から構成される。
添付図面を参照にして詳述する。図１は本発明に係る装
置の第１実施例を示している。同図に示すように、被測
定対象の光源１から出射された光が、収束レンズ２，ア
パーチャー３並びにコリメートレンズ４を介して平行光
束にされた後、ＦＰ干渉計５に光軸に平行に入射される
ようになっている。そして、本例では、ＦＰ干渉計５と
して、高い面精度と高い反射率をもつ２枚の半透明の平
面鏡（エタロン対）６ａ，６ｂを互いに平行になるよう
に配置したものを用い、一方の平面鏡６ｂにスキャンド
ライバー７を接続し、両平面鏡６ａ，６ｂ間の距離ｄを
調整できるようになっている。なお、このスキャンドラ
イバー７は、一般的にはピエゾ素子から構成される。
【００１５】
【００１０】また、このＦＰ干渉計５の出射側には、ポ
リクロメータとのカップリング用の収束レンズ８が配置
され、この収束レンズ８の焦点距離位置にマルチチャン
ネル検出用の分光器であるポリクロメータ９を配置し、
さらにポリクロメータ９の出口にマルチチャンネル検出
器（以下、「ＭＣＤ」と称する。）１０を設置してい
る。
リクロメータとのカップリング用の収束レンズ８が配置
され、この収束レンズ８の焦点距離位置にマルチチャン
ネル検出用の分光器であるポリクロメータ９を配置し、
さらにポリクロメータ９の出口にマルチチャンネル検出
器（以下、「ＭＣＤ」と称する。）１０を設置してい
る。
【００１６】
【００１１】そして、このＭＣＤ１０は、ドライバ１１
を介してコントローラ１２に接続されている。すなわ
ち、コントローラ１２からの制御信号に基づいてドライ
バ１１はＭＣＤ１０を作動させ、ＭＣＤ１０にて検出さ
れたデータを読み込み、コントローラ１２を介してコン
ピュータ１３内の記憶手段たるメモリ１４に格納するよ
うになっている。また、このコントローラ１２は、上記
したＦＰ干渉計５の平面鏡６ｂを掃引するスキャンドラ
イバー７にも接続され、コントローラ１２から出力され
る制御信号によりその駆動が制御されている。
を介してコントローラ１２に接続されている。すなわ
ち、コントローラ１２からの制御信号に基づいてドライ
バ１１はＭＣＤ１０を作動させ、ＭＣＤ１０にて検出さ
れたデータを読み込み、コントローラ１２を介してコン
ピュータ１３内の記憶手段たるメモリ１４に格納するよ
うになっている。また、このコントローラ１２は、上記
したＦＰ干渉計５の平面鏡６ｂを掃引するスキャンドラ
イバー７にも接続され、コントローラ１２から出力され
る制御信号によりその駆動が制御されている。
【００１７】
【００１２】さらに、上記コンピュータ１３内には、メ
モリ１４内に格納した検出データを合成する演算部１５
も備えている。また、上記ＦＰ干渉計５のＦＳＲとＭＣ
Ｄの１エレメント当りの波数（波長分解）幅が等しくな
るように調節・設定されている。
モリ１４内に格納した検出データを合成する演算部１５
も備えている。また、上記ＦＰ干渉計５のＦＳＲとＭＣ
Ｄの１エレメント当りの波数（波長分解）幅が等しくな
るように調節・設定されている。
【００１８】
【００１３】次に、上記した装置の作用について説明す
るが、その説明に先立ちＦＰ干渉計の透過特性について
説明する。透過特性ＴF は、干渉計（一対の半透明鏡６
ａ，６ｂ（エタロン））５を構成する半透明鏡の透過度
（強度）をＴ、反射度をＲとすると、 ＴF ＝Ｔ2 ／（（１−Ｒ）2 ＋４Ｒsin 2 δ） となる。
るが、その説明に先立ちＦＰ干渉計の透過特性について
説明する。透過特性ＴF は、干渉計（一対の半透明鏡６
ａ，６ｂ（エタロン））５を構成する半透明鏡の透過度
（強度）をＴ、反射度をＲとすると、 ＴF ＝Ｔ2 ／（（１−Ｒ）2 ＋４Ｒsin 2 δ） となる。
【００１９】
【００１４】ここでδは、下記式で与えられる。
【００２０】
【００１５】
【００２１】
【数１】δ＝（π／λ）２ｎｄcos ｉ−φ 但し、 ｎ：エタロン間のスペーサ物質の屈折率 ｄ：エタロン間隔 ｉ：入射角 φ：エタロン内部での反射による振幅の位相変化 λ：波長 これより、δ＝ｍπのとき明るくなる。ここで、ｍは正
の整数であり干渉の次数を表す。よって、 ２ｎｄcos ｉ＝（ｍ＋（φ／π））λ が成り立つ。
の整数であり干渉の次数を表す。よって、 ２ｎｄcos ｉ＝（ｍ＋（φ／π））λ が成り立つ。
【００２２】
【００１６】そして、φは定数と仮定してφ＝０とお
き、さらに、上記したごとく本例ではエタロンに対して
真っ直ぐに光が入射されるため、ｉ＝０とおく。よっ
て、それらφ並びにｉを上記式に代入すると、 ２ｎｄ＝ｍλ となる。したがってｎまたはｄを変化させると、一定の
ｍ（次数）に対しては、λが変化する。そして、本例で
は、スキャンドライバー７によりｄが変化し、ｎは空気
中で一定（ｎ＝１）であるため、 ２ｄ＝ｍλ となる。よって、今ｄを固定して透過率を見るといろい
ろな次数（ｍ）に対応した波長（λ）の光が透過するこ
とになり、図２に示すような特性となる。
き、さらに、上記したごとく本例ではエタロンに対して
真っ直ぐに光が入射されるため、ｉ＝０とおく。よっ
て、それらφ並びにｉを上記式に代入すると、 ２ｎｄ＝ｍλ となる。したがってｎまたはｄを変化させると、一定の
ｍ（次数）に対しては、λが変化する。そして、本例で
は、スキャンドライバー７によりｄが変化し、ｎは空気
中で一定（ｎ＝１）であるため、 ２ｄ＝ｍλ となる。よって、今ｄを固定して透過率を見るといろい
ろな次数（ｍ）に対応した波長（λ）の光が透過するこ
とになり、図２に示すような特性となる。
【００２３】
【００１７】そして、本例ではＦＰ干渉計５のＦＳＲを
ｎ分割し、ｄをｄ１，ｄ２…ｄｎと少しずつ変えながら
ステップ掃引し、ｎ回の測定を行う。すると、例えば測
定すべきスペクトルが図３（Ａ）に示すようになってい
るとすると、同図（Ｂ）に示すように、所定の位置ｄ１
にて１回目の測定を行うと、ＦＰ干渉計５の各ピーク値
に対応する測定すべきスペクトルの部位（図中黒丸）が
ＭＣＤ１０により検出される。この時、同図（Ａ），
（Ｃ）に示すようにＦＰ干渉計の各ＦＳＲとＭＣＤ１０
の各エレメントとが一致しているため、ＦＰ干渉計の透
過率特性の各ピークがＭＣＤの各エレメント内のどこか
に１個だけ位置することになる。そしてそのＭＣＤ１０
の各エレメントで検出されたスペクトルデータがメモリ
１４に格納される。
ｎ分割し、ｄをｄ１，ｄ２…ｄｎと少しずつ変えながら
ステップ掃引し、ｎ回の測定を行う。すると、例えば測
定すべきスペクトルが図３（Ａ）に示すようになってい
るとすると、同図（Ｂ）に示すように、所定の位置ｄ１
にて１回目の測定を行うと、ＦＰ干渉計５の各ピーク値
に対応する測定すべきスペクトルの部位（図中黒丸）が
ＭＣＤ１０により検出される。この時、同図（Ａ），
（Ｃ）に示すようにＦＰ干渉計の各ＦＳＲとＭＣＤ１０
の各エレメントとが一致しているため、ＦＰ干渉計の透
過率特性の各ピークがＭＣＤの各エレメント内のどこか
に１個だけ位置することになる。そしてそのＭＣＤ１０
の各エレメントで検出されたスペクトルデータがメモリ
１４に格納される。
【００２４】
【００１８】同様に位置ｄ２にて２回目の測定を行うこ
とにより、測定すべきスペクトルのうち、黒三角で示さ
れたスペクトルデータがＭＣＤ１０によって読取られ、
メモリ１４に格納される。以下順に、ｎ回目まで掃引を
繰り返し行い、各位置ｄｉ（ｉ＝１〜ｎ）のＦＰ干渉計
５の設定に対してＭＣＤ１０のスキャンを行い、合計ｎ
種のスペクトルデータをメモリ１４に格納する。
とにより、測定すべきスペクトルのうち、黒三角で示さ
れたスペクトルデータがＭＣＤ１０によって読取られ、
メモリ１４に格納される。以下順に、ｎ回目まで掃引を
繰り返し行い、各位置ｄｉ（ｉ＝１〜ｎ）のＦＰ干渉計
５の設定に対してＭＣＤ１０のスキャンを行い、合計ｎ
種のスペクトルデータをメモリ１４に格納する。
【００２５】
【００１９】この様にして、ｎ回の測定が終了したな
ら、メモリ１４に格納されたすべてのスペクトルデータ
を読み出すと共に、演算部１５にてそれらを合成（編
集）する。これにより、測定すべき元のスペクトルに近
い高分解のスペクトルが作成される。そして、この例で
は、分解能はＦＰ干渉計で決定される高分解能が得ら
れ、かつ、その測定領域はＭＣＤで決定される広い波長
（波数）領域となる。
ら、メモリ１４に格納されたすべてのスペクトルデータ
を読み出すと共に、演算部１５にてそれらを合成（編
集）する。これにより、測定すべき元のスペクトルに近
い高分解のスペクトルが作成される。そして、この例で
は、分解能はＦＰ干渉計で決定される高分解能が得ら
れ、かつ、その測定領域はＭＣＤで決定される広い波長
（波数）領域となる。
【００２６】
【００２０】そして、同一の分解能を有する回折格子分
光器が存在するとして比較した場合、ＦＰ干渉計を使用
しているので明るくかつ小型となる。またマルチチャン
ネル検出器を使用しているので、マルチチャンネルとア
ドバンテージによりＳＮ比の向上が望める。また、同一
分解能のフーリエ分光器が存在するとして比較した場合
でも、小型化され測定データのＳＮ比はむしろ良くなる
と考えられる。
光器が存在するとして比較した場合、ＦＰ干渉計を使用
しているので明るくかつ小型となる。またマルチチャン
ネル検出器を使用しているので、マルチチャンネルとア
ドバンテージによりＳＮ比の向上が望める。また、同一
分解能のフーリエ分光器が存在するとして比較した場合
でも、小型化され測定データのＳＮ比はむしろ良くなる
と考えられる。
【００２７】
【００２１】なお、上記した実施例では、ＦＰ干渉計５
の出射側に集光レンズ８を設けた例について説明した
が、本発明はこれに限ること無く、例えば図４に示すよ
うに、ＦＰ干渉計５の出射光を所定の分光器（ポリクロ
メータ（入射側にはコリメータレンズがないもの））
９′に入射させるようにしても良い。この様にすること
により、集光レンズ８並びにポリクロルメータ９内に通
常設置させるコリメートレンズ等の平行光束にする光学
系が不要となり、さらに装置の小型化が可能となる。
の出射側に集光レンズ８を設けた例について説明した
が、本発明はこれに限ること無く、例えば図４に示すよ
うに、ＦＰ干渉計５の出射光を所定の分光器（ポリクロ
メータ（入射側にはコリメータレンズがないもの））
９′に入射させるようにしても良い。この様にすること
により、集光レンズ８並びにポリクロルメータ９内に通
常設置させるコリメートレンズ等の平行光束にする光学
系が不要となり、さらに装置の小型化が可能となる。
【００２８】
【００２２】また、上記した実施例並びに変形例では、
ＦＰ干渉計として、一対の半透明鏡から構成されたもの
について説明したが、本発明では、図５に示すように所
定の球面鏡対（コンフォーカル エタロン）からなる、
コンフォーカルＦＰ干渉計５′を用いるようにしても良
い。係る干渉計を用いると、光学系の調整が平行平面Ｆ
Ｐ干渉計よりも容易になる。
ＦＰ干渉計として、一対の半透明鏡から構成されたもの
について説明したが、本発明では、図５に示すように所
定の球面鏡対（コンフォーカル エタロン）からなる、
コンフォーカルＦＰ干渉計５′を用いるようにしても良
い。係る干渉計を用いると、光学系の調整が平行平面Ｆ
Ｐ干渉計よりも容易になる。
【００２９】
【００２３】なおまた、掃引は、上記したごとく距離ｄ
を変えるのではなく、エタロン間に高圧ガスを入れると
共に、そのガス圧を変化させることにより、屈折率を変
化させるようにしても良いのはもちろんである。
を変えるのではなく、エタロン間に高圧ガスを入れると
共に、そのガス圧を変化させることにより、屈折率を変
化させるようにしても良いのはもちろんである。
【００３０】
【００２４】
【００３１】
【発明の効果】以上のように、本発明に係る高分解能分
光装置では、分解能としてはＦＰ干渉計の有する高分解
能を発揮しつつ、測定可能な波長領域は、ＭＣＤで規定
される広範囲の領域となり、高分解能分光装置となる。
しかも、ＦＰ干渉計の掃引の際にＭＣＤ側を同期させる
必要がないため、各種制御計も簡単で装置も簡略，小形
化され、安価なものとなる。
光装置では、分解能としてはＦＰ干渉計の有する高分解
能を発揮しつつ、測定可能な波長領域は、ＭＣＤで規定
される広範囲の領域となり、高分解能分光装置となる。
しかも、ＦＰ干渉計の掃引の際にＭＣＤ側を同期させる
必要がないため、各種制御計も簡単で装置も簡略，小形
化され、安価なものとなる。
【００３２】
【００２５】そして、測定可能な領域は紫外領域から赤
外領域まであり、測定の汎用性が向上し、利用分野とし
ては、各種条件を適宜設定することにより、気体の吸収
測定，レーザのスペクトルプロフィル測定，赤外スペク
トル，ラマン散乱，ブリルアン散乱などの各種の測定が
可能となる。
外領域まであり、測定の汎用性が向上し、利用分野とし
ては、各種条件を適宜設定することにより、気体の吸収
測定，レーザのスペクトルプロフィル測定，赤外スペク
トル，ラマン散乱，ブリルアン散乱などの各種の測定が
可能となる。
【図１】本発明に係る高分解能分光装置の好適な一実施
例を示すブロック構成図である。
例を示すブロック構成図である。
【図２】ＦＰ干渉計の透過特性を示す図である。
【図３】作用を説明するための図である。
【図４】本発明に係る高分解能分光装置の変形例を示す
ブロック構成図である。
ブロック構成図である。
【図５】本発明に係る高分解能分光装置のさらに他の変
形例を示すブロック構成図である。
形例を示すブロック構成図である。
【図６】従来の高分解能分光装置の動作原理を説明する
ための図である。
ための図である。
５ ＦＰ干渉計 ７ スキャンドライバー ９ ポリクロメータ １０ ＭＣＤ １４ メモリ（記憶する手段） １５ 演算部（検出結果を合成し出力する手段）
Claims (1)
- 【請求項１】 ファブリーペロー干渉計と、 そのファブリーペロー干渉計の出射側に配置されたポリ
クロメータと、 そのポリクロメータの出射側に配置され、前記ファブリ
ーペロー干渉計の自由スペクトル領域と略等しいスペク
トル分解幅を与えるエレメント幅のマルチチャンネル検
出器と、 前記自由スペクトル領域をｎ分割し、それぞれ掃引して
得られたｎ回分の検出結果を記憶する手段と、 その記憶する手段に格納されたｎ回分の検出結果を合成
し出力する手段とを備えた高分解能分光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21240892A JPH0634438A (ja) | 1992-07-17 | 1992-07-17 | 高分解能分光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21240892A JPH0634438A (ja) | 1992-07-17 | 1992-07-17 | 高分解能分光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0634438A true JPH0634438A (ja) | 1994-02-08 |
Family
ID=16622097
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21240892A Withdrawn JPH0634438A (ja) | 1992-07-17 | 1992-07-17 | 高分解能分光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0634438A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6481748B1 (en) | 1999-07-30 | 2002-11-19 | Komatsu Ltd. | Counterweight for construction vehicle |
| JP2005121574A (ja) * | 2003-10-20 | 2005-05-12 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 近赤外分光装置 |
| JP2020067344A (ja) * | 2018-10-23 | 2020-04-30 | 国立大学法人埼玉大学 | 光学特性測定装置 |
-
1992
- 1992-07-17 JP JP21240892A patent/JPH0634438A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6481748B1 (en) | 1999-07-30 | 2002-11-19 | Komatsu Ltd. | Counterweight for construction vehicle |
| JP2005121574A (ja) * | 2003-10-20 | 2005-05-12 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 近赤外分光装置 |
| JP2020067344A (ja) * | 2018-10-23 | 2020-04-30 | 国立大学法人埼玉大学 | 光学特性測定装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19991005 |