JPH0634283A - 宇宙用熱交換器の製作方法 - Google Patents
宇宙用熱交換器の製作方法Info
- Publication number
- JPH0634283A JPH0634283A JP4181733A JP18173392A JPH0634283A JP H0634283 A JPH0634283 A JP H0634283A JP 4181733 A JP4181733 A JP 4181733A JP 18173392 A JP18173392 A JP 18173392A JP H0634283 A JPH0634283 A JP H0634283A
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- JP
- Japan
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- heat exchanger
- fluid
- space
- electroforming
- heat
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- Pending
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F28—HEAT EXCHANGE IN GENERAL
- F28F—DETAILS OF HEAT-EXCHANGE AND HEAT-TRANSFER APPARATUS, OF GENERAL APPLICATION
- F28F7/00—Elements not covered by group F28F1/00, F28F3/00 or F28F5/00
- F28F7/02—Blocks traversed by passages for heat-exchange media
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F28—HEAT EXCHANGE IN GENERAL
- F28D—HEAT-EXCHANGE APPARATUS, NOT PROVIDED FOR IN ANOTHER SUBCLASS, IN WHICH THE HEAT-EXCHANGE MEDIA DO NOT COME INTO DIRECT CONTACT
- F28D9/00—Heat-exchange apparatus having stationary plate-like or laminated conduit assemblies for both heat-exchange media, the media being in contact with different sides of a conduit wall
- F28D9/0093—Multi-circuit heat-exchangers, e.g. integrating different heat exchange sections in the same unit or heat-exchangers for more than two fluids
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Heat-Exchange Devices With Radiators And Conduit Assemblies (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 プレートとフィンの接合が確実になされ、流
体ごとに流路の形状や材料を変えることもでき、高効率
で信頼性が高い宇宙用熱交換器の製作方法を提供するこ
と。 【構成】 プレート１１，１３，１４とコア部分１２
Ａ，１２Ｂ，１２Ｃとを電鋳法により形成するようにし
ている。各プレート１１，１３，１４とコア部分１２と
を電鋳で一体にして完全な接合とし、電鋳できる材料で
あればそれぞれの流体Ａ，Ｂ，Ｃごとに材料の選択がで
き、しかも流体流路３Ａ，３Ｂ，３Ｃの形状も熱伝達の
解析結果に合わせた形状にできるようにして高効率で信
頼性の高い宇宙用熱交換器を製作することができる。
体ごとに流路の形状や材料を変えることもでき、高効率
で信頼性が高い宇宙用熱交換器の製作方法を提供するこ
と。 【構成】 プレート１１，１３，１４とコア部分１２
Ａ，１２Ｂ，１２Ｃとを電鋳法により形成するようにし
ている。各プレート１１，１３，１４とコア部分１２と
を電鋳で一体にして完全な接合とし、電鋳できる材料で
あればそれぞれの流体Ａ，Ｂ，Ｃごとに材料の選択がで
き、しかも流体流路３Ａ，３Ｂ，３Ｃの形状も熱伝達の
解析結果に合わせた形状にできるようにして高効率で信
頼性の高い宇宙用熱交換器を製作することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は宇宙用熱交換器の製作
方法の改良に関し、熱交換する流体に応じて材料や流路
の形状を任意に変えることができ、熱性能及び信頼性の
向上を図るようにしたものである。
方法の改良に関し、熱交換する流体に応じて材料や流路
の形状を任意に変えることができ、熱性能及び信頼性の
向上を図るようにしたものである。
【０００２】
【従来の技術】現在計画が進行している宇宙ステーショ
ンでは、外部の宇宙環境から受ける熱や宇宙ステーショ
ン内部で発生する熱があり、これらの熱を効率的に運用
し、不用な熱をラジエータを介して宇宙に放熱すること
で宇宙ステーション内温度を常に許容範囲内に維持する
必要がある。
ンでは、外部の宇宙環境から受ける熱や宇宙ステーショ
ン内部で発生する熱があり、これらの熱を効率的に運用
し、不用な熱をラジエータを介して宇宙に放熱すること
で宇宙ステーション内温度を常に許容範囲内に維持する
必要がある。
【０００３】このため主熱輸送系のほか複数の熱制御系
統を設け、それぞれの熱制御系統で条件に応じた冷媒を
循環させて熱交換を行ない、不用な熱は熱交換器を介し
て主熱輸送系に伝達し宇宙ステーション全体のラジエー
タにより宇宙へ放出するようにしている。
統を設け、それぞれの熱制御系統で条件に応じた冷媒を
循環させて熱交換を行ない、不用な熱は熱交換器を介し
て主熱輸送系に伝達し宇宙ステーション全体のラジエー
タにより宇宙へ放出するようにしている。
【０００４】このように宇宙で使用される熱交換器は、
たとえば図２に示すように、高い伝熱面密度を得ること
ができる熱交換器として知られているプレートフィン熱
交換器で構成され、プレ―ト１とフィン２とを交互に積
層した熱交換部３を備え、この熱交換部３の両端部にヘ
ッダ４を設け、３つの流体Ａ，Ｂ，Ｃの流体入口５Ａ，
５Ｂ，５Ｃと流体出口６Ａ，６Ｂ，６Ｃが設けられてい
る。
たとえば図２に示すように、高い伝熱面密度を得ること
ができる熱交換器として知られているプレートフィン熱
交換器で構成され、プレ―ト１とフィン２とを交互に積
層した熱交換部３を備え、この熱交換部３の両端部にヘ
ッダ４を設け、３つの流体Ａ，Ｂ，Ｃの流体入口５Ａ，
５Ｂ，５Ｃと流体出口６Ａ，６Ｂ，６Ｃが設けられてい
る。
【０００５】そして、流体Ａとして、たとえばフロンが
用いられ、図２（ｂ）に示すように、流体入口５Ａから
ヘッダ４内に流入し、熱交換部３のフロン用の流体流路
３Ａを通って流体出口６Ａから外部に排出され、同様に
して、流体Ｂとして、たとえばアンモニア、流体Ｃとし
て、たとえば水が用いられ、図２（ｃ），（ｄ）に示す
ように、それぞれが流体入口５Ｂ，５Ｃからヘッダ４内
に流入し、熱交換部３のアンモニアようの流体流路３
Ｂ，水用の流体流路３Ｃを通って流体出口６Ｂ，６Ｃか
ら外部に排出される間に３つの流体フロン，アンモニ
ア，水の間で熱交換が行われる。
用いられ、図２（ｂ）に示すように、流体入口５Ａから
ヘッダ４内に流入し、熱交換部３のフロン用の流体流路
３Ａを通って流体出口６Ａから外部に排出され、同様に
して、流体Ｂとして、たとえばアンモニア、流体Ｃとし
て、たとえば水が用いられ、図２（ｃ），（ｄ）に示す
ように、それぞれが流体入口５Ｂ，５Ｃからヘッダ４内
に流入し、熱交換部３のアンモニアようの流体流路３
Ｂ，水用の流体流路３Ｃを通って流体出口６Ｂ，６Ｃか
ら外部に排出される間に３つの流体フロン，アンモニ
ア，水の間で熱交換が行われる。
【０００６】このような宇宙用熱交換器は、従来、プレ
ート１とフィン２とを交互に積層して熱交換部３全体を
組み立てるとともに、ヘッダ４や流体入口５や出口６等
を取付けた後、熱交換器全体を加熱炉内に入れてろう付
けによって接合することが行われていた。
ート１とフィン２とを交互に積層して熱交換部３全体を
組み立てるとともに、ヘッダ４や流体入口５や出口６等
を取付けた後、熱交換器全体を加熱炉内に入れてろう付
けによって接合することが行われていた。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】このような宇宙用熱交
換器の製作方法では、最終的な組み立てが完了した後、
全体を一体として炉内に入れるなどして一体ろう付けを
行っているため、熱交換部３の健全性の検査が最終の製
品段階でしか出来ず、例え、ろう付け不良が発見されて
も、これを補修することが出来ず、積層状態の熱交換部
３全体を廃棄しなければならないという問題がある。
換器の製作方法では、最終的な組み立てが完了した後、
全体を一体として炉内に入れるなどして一体ろう付けを
行っているため、熱交換部３の健全性の検査が最終の製
品段階でしか出来ず、例え、ろう付け不良が発見されて
も、これを補修することが出来ず、積層状態の熱交換部
３全体を廃棄しなければならないという問題がある。
【０００８】また、熱交換する３つの流体Ａ，Ｂ，Ｃに
応じて流量や温度などの熱交換条件が異なり、流体流路
３Ａ等の形状や材料を変えることで熱交換器の性能向上
を図ろうとしても、ろう付けによる接合を確実にする
等、製造工程上の制約から、各流体Ａ，Ｂ，Ｃごとに異
なる材料を用いることや異なる形状の流路３Ａ等とする
ことが難しいという問題がある。
応じて流量や温度などの熱交換条件が異なり、流体流路
３Ａ等の形状や材料を変えることで熱交換器の性能向上
を図ろうとしても、ろう付けによる接合を確実にする
等、製造工程上の制約から、各流体Ａ，Ｂ，Ｃごとに異
なる材料を用いることや異なる形状の流路３Ａ等とする
ことが難しいという問題がある。
【０００９】この発明はかかる従来技術の問題点に鑑み
てなされたもので、プレートとフィンの接合が確実にな
されていることを確認しながら制作することもでき、流
体ごとに流路の形状や材料を変えることもでき、高効率
で信頼性も高い宇宙用熱交換器の製作方法を提供しよう
とするものである。
てなされたもので、プレートとフィンの接合が確実にな
されていることを確認しながら制作することもでき、流
体ごとに流路の形状や材料を変えることもでき、高効率
で信頼性も高い宇宙用熱交換器の製作方法を提供しよう
とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めこの発明の宇宙用熱交換器の製作方法は、プレ―トで
仕切られたコア部分を流れる複数の流体間で熱交換を行
う宇宙用熱交換器を製作するに際し、前記プレートとこ
のプレート面に形成されるコア部分とを前記流体の熱交
換条件に応じた材料および形状で電鋳法により交互に形
成することを繰り返すようにしたことを特徴とするもの
である。
めこの発明の宇宙用熱交換器の製作方法は、プレ―トで
仕切られたコア部分を流れる複数の流体間で熱交換を行
う宇宙用熱交換器を製作するに際し、前記プレートとこ
のプレート面に形成されるコア部分とを前記流体の熱交
換条件に応じた材料および形状で電鋳法により交互に形
成することを繰り返すようにしたことを特徴とするもの
である。
【００１１】
【作用】この宇宙用熱交換器の製作方法によれば、プレ
ートとコア部分とを電鋳法により形成するようにしてお
り、プレートとコア部分とを一体にするようにして完全
な接合ができるようにし、電鋳できる材料であればそれ
ぞれの流体ごとに材料の選択ができ、しかも流体流路の
形状も熱伝達の解析結果に合わせた形状にできるように
している。
ートとコア部分とを電鋳法により形成するようにしてお
り、プレートとコア部分とを一体にするようにして完全
な接合ができるようにし、電鋳できる材料であればそれ
ぞれの流体ごとに材料の選択ができ、しかも流体流路の
形状も熱伝達の解析結果に合わせた形状にできるように
している。
【００１２】これにより、高効率で信頼性の高い宇宙用
熱交換器を製作することができる。
熱交換器を製作することができる。
【００１３】
【実施例】以下、この発明の一実施例を図面を参照しな
がら詳細に説明する。図１はこの発明の宇宙用熱交換器
の製作方法の一実施例にかかる製作工程図である。
がら詳細に説明する。図１はこの発明の宇宙用熱交換器
の製作方法の一実施例にかかる製作工程図である。
【００１４】この宇宙用熱交換器の製造方法で製作され
る宇宙用熱交換器は、図２で説明したものと基本的な構
造は同一であり、同一機能部分には同一記号が記してあ
り、３つの流体Ａ，Ｂ，Ｃで熱交換が行われるが、それ
ぞれの流体流路の形状と使用材料が異なるものである。
る宇宙用熱交換器は、図２で説明したものと基本的な構
造は同一であり、同一機能部分には同一記号が記してあ
り、３つの流体Ａ，Ｂ，Ｃで熱交換が行われるが、それ
ぞれの流体流路の形状と使用材料が異なるものである。
【００１５】この宇宙用熱交換器の製作方法では、図１
（ａ）に示すように、まず、熱交換部３の大きさに対応
した金属製のプレート１１を用意する。このプレート１
１は、たとえば流体Ｃである水用の流体流路３Ｃを構成
するプレートとなり、たとえば銅板上にニッケルを電鋳
することで形成される。
（ａ）に示すように、まず、熱交換部３の大きさに対応
した金属製のプレート１１を用意する。このプレート１
１は、たとえば流体Ｃである水用の流体流路３Ｃを構成
するプレートとなり、たとえば銅板上にニッケルを電鋳
することで形成される。
【００１６】次に、図１（ｂ）に示すように、この表面
がニッケルのプレート１１上に流体流路３Ｃを形成する
フィン２が一定の間隔で配置されたコア部分１２を電鋳
法で形成する。
がニッケルのプレート１１上に流体流路３Ｃを形成する
フィン２が一定の間隔で配置されたコア部分１２を電鋳
法で形成する。
【００１７】この流体流路３Ｃのコア部分１２Ｃは、水
が流れることからフィン２の間隔が他の流体流路３Ａ，
３Ｂに比べて大きくしてある。このコア部分１２Ｃの間
隔や高さなどの形状は流量や温度などの熱伝達条件に基
づく熱伝達解析の結果によって定められ、それに沿った
形状とされる。
が流れることからフィン２の間隔が他の流体流路３Ａ，
３Ｂに比べて大きくしてある。このコア部分１２Ｃの間
隔や高さなどの形状は流量や温度などの熱伝達条件に基
づく熱伝達解析の結果によって定められ、それに沿った
形状とされる。
【００１８】このコア部分１２Ｃの電鋳法による製作
は、フィン２の高さが例えば約１．２mmとすると、ニッ
ケルでフィン２の高さより僅かに厚い電鋳層を形成した
後、機械加工により溝を形成して流体流路３Ｃとした
り、電導性ワックスを中子として用い溝部分を一体に電
鋳するようにしても良い。
は、フィン２の高さが例えば約１．２mmとすると、ニッ
ケルでフィン２の高さより僅かに厚い電鋳層を形成した
後、機械加工により溝を形成して流体流路３Ｃとした
り、電導性ワックスを中子として用い溝部分を一体に電
鋳するようにしても良い。
【００１９】この後、図１（ｃ）に示すように、水用の
コア部分１２Ｃと次のアンモニア用の流体流路３Ｂであ
るコア部分１２Ｂとを仕切るプレート１３を電鋳法で製
作するとともに、コア部分１２Ｂを電鋳法で製作する。
コア部分１２Ｃと次のアンモニア用の流体流路３Ｂであ
るコア部分１２Ｂとを仕切るプレート１３を電鋳法で製
作するとともに、コア部分１２Ｂを電鋳法で製作する。
【００２０】この流体流路３Ｂのコア部分１２Ｂは、ア
ンモニアが流れることからフィン２の間隔が他の流体流
路３Ａ，３Ｃに比べて小さくしてある。このコア部分１
２Ｂの間隔や高さなどの形状は流量や温度などの熱伝達
条件に基づく熱伝達解析の結果によって定められ、それ
に沿った形状とされる。
ンモニアが流れることからフィン２の間隔が他の流体流
路３Ａ，３Ｃに比べて小さくしてある。このコア部分１
２Ｂの間隔や高さなどの形状は流量や温度などの熱伝達
条件に基づく熱伝達解析の結果によって定められ、それ
に沿った形状とされる。
【００２１】この場合、プレート１３の下面は流体流路
３Ｃを構成するので、まず、ニッケルを電鋳した後、こ
のニッケル上に次のアンモニア用の流体流路３Ｂを構成
する、たとえば銀を用いてプレート１３を電鋳し、次い
でコア部分１２Ｂを同一材料の銀を用いて電鋳する。
３Ｃを構成するので、まず、ニッケルを電鋳した後、こ
のニッケル上に次のアンモニア用の流体流路３Ｂを構成
する、たとえば銀を用いてプレート１３を電鋳し、次い
でコア部分１２Ｂを同一材料の銀を用いて電鋳する。
【００２２】このコア部分１２Ｂの電鋳法は、フィン２
の高さより厚い銀の電鋳層を形成した後、機械加工した
り、中子を用いて銀のフィン２を一体に電鋳する方法の
いずれでも良い。
の高さより厚い銀の電鋳層を形成した後、機械加工した
り、中子を用いて銀のフィン２を一体に電鋳する方法の
いずれでも良い。
【００２３】次に、図１（ｄ）に示すように、アンモニ
ア用のコア部分１２Ｂと次のフロン用の流体流路３Ａで
あるコア部分１２Ａとを仕切るプレート１４を電鋳法で
製作するとともに、コア部分１２Ａを電鋳法で製作す
る。
ア用のコア部分１２Ｂと次のフロン用の流体流路３Ａで
あるコア部分１２Ａとを仕切るプレート１４を電鋳法で
製作するとともに、コア部分１２Ａを電鋳法で製作す
る。
【００２４】この流体流路３Ａのコア部分１２Ａは、フ
ロンが流れることからフィン２の間隔が他の流体流路３
Ａと流体流路３Ｃの中間の大きさにしてある。このコア
部分１２Ａの間隔や高さなどの形状は流量や温度などの
熱伝達条件に基づく熱伝達解析の結果によって定めら
れ、それに沿った形状とされる。
ロンが流れることからフィン２の間隔が他の流体流路３
Ａと流体流路３Ｃの中間の大きさにしてある。このコア
部分１２Ａの間隔や高さなどの形状は流量や温度などの
熱伝達条件に基づく熱伝達解析の結果によって定めら
れ、それに沿った形状とされる。
【００２５】この場合、プレート１４の下面は流体流路
３Ｂを構成するので、まず、銀を電鋳した後、この銀上
に次のフロン用の流体流路３Ａを構成する、たとえば銅
を用いてプレート１４を電鋳し、次いでコア部分１２Ａ
を同一材料の銅を用いて電鋳する。
３Ｂを構成するので、まず、銀を電鋳した後、この銀上
に次のフロン用の流体流路３Ａを構成する、たとえば銅
を用いてプレート１４を電鋳し、次いでコア部分１２Ａ
を同一材料の銅を用いて電鋳する。
【００２６】このコア部分１２Ａの電鋳法は、フィン２
の高さより厚い銅の電鋳層を形成した後、機械加工した
り、中子を用いて銅のフィン２を一体に電鋳する方法の
いずれでも良い。
の高さより厚い銅の電鋳層を形成した後、機械加工した
り、中子を用いて銅のフィン２を一体に電鋳する方法の
いずれでも良い。
【００２７】この後、図１（ｅ）に示すように、プレー
ト１１、コア部分１２Ｃ、プレート１３、コア部分１２
Ｂ、プレート１４、コア部分１２Ａを順に電鋳造するこ
とを繰り返して宇宙用熱交換器のコア１２が形成され
る。
ト１１、コア部分１２Ｃ、プレート１３、コア部分１２
Ｂ、プレート１４、コア部分１２Ａを順に電鋳造するこ
とを繰り返して宇宙用熱交換器のコア１２が形成され
る。
【００２８】さらに、ヘッダ４をコア１２と一体で電鋳
するようにし、流体入口５Ａ，５Ｂ，５Ｃおよび流体出
口６Ａ，６Ｂ，６Ｃを電鋳法で一体に形成したり、後か
ら溶接などで接合するようにして宇宙用熱交換器が完成
する。
するようにし、流体入口５Ａ，５Ｂ，５Ｃおよび流体出
口６Ａ，６Ｂ，６Ｃを電鋳法で一体に形成したり、後か
ら溶接などで接合するようにして宇宙用熱交換器が完成
する。
【００２９】このような宇宙用熱交換器の製作方法によ
れば、プレート１１，１３，１４とコア部分１２Ａ，１
２Ｂ，１２Ｃが電鋳法で一体に形成されているので、接
合不良が生じることがなく、信頼性の高い熱交換器を製
作することができる。
れば、プレート１１，１３，１４とコア部分１２Ａ，１
２Ｂ，１２Ｃが電鋳法で一体に形成されているので、接
合不良が生じることがなく、信頼性の高い熱交換器を製
作することができる。
【００３０】また、電鋳法を用いるようにしているの
で、各流体流路３Ａ，３Ｂ，３Ｃによって形状や使用材
料を任意に変えることができ、熱交換性能の大幅な向上
を図ることができる。
で、各流体流路３Ａ，３Ｂ，３Ｃによって形状や使用材
料を任意に変えることができ、熱交換性能の大幅な向上
を図ることができる。
【００３１】なお、上記実施例では、３つの流体間で熱
交換を行う３重熱交換器に適用した場合で説明したが、
この形式に限るものでなく、使用流体も実施例に限定す
るものでない。
交換を行う３重熱交換器に適用した場合で説明したが、
この形式に限るものでなく、使用流体も実施例に限定す
るものでない。
【００３２】また、各流体流路の形状や使用材料も上記
実施例に限定するものでなく、電鋳可能な形状や材料で
あれば良い。
実施例に限定するものでなく、電鋳可能な形状や材料で
あれば良い。
【００３３】さらに、上記実施例では、製作の際、一方
側にのみ積層するようにしたが、両側に同時に電鋳する
ようにしても良い。
側にのみ積層するようにしたが、両側に同時に電鋳する
ようにしても良い。
【００３４】また、この発明の要旨を変更しない範囲で
各構成要素に変更を加えるようにしても良い。
各構成要素に変更を加えるようにしても良い。
【００３５】
【発明の効果】以上、一実施例とともに具体的に説明し
たようにこの発明の宇宙用熱交換器の製作方法によれ
ば、プレートとコア部分とを電鋳法により形成するよう
にしたので、プレートとコア部分とが一体となり完全な
接合ができるとともに、電鋳できる材料であればそれぞ
れの流体ごとに材料の選択ができ、しかも流体流路の形
状も熱伝達の解析結果に合わせた形状にすることができ
る。
たようにこの発明の宇宙用熱交換器の製作方法によれ
ば、プレートとコア部分とを電鋳法により形成するよう
にしたので、プレートとコア部分とが一体となり完全な
接合ができるとともに、電鋳できる材料であればそれぞ
れの流体ごとに材料の選択ができ、しかも流体流路の形
状も熱伝達の解析結果に合わせた形状にすることができ
る。
【００３６】これにより、接合部の無い一体構造で信頼
性を大幅に高めることができるとともに、流体流路の形
状と材料を任意に選択することで熱性能の高い宇宙用熱
交換器を製作することができる。
性を大幅に高めることができるとともに、流体流路の形
状と材料を任意に選択することで熱性能の高い宇宙用熱
交換器を製作することができる。
【図１】この発明の宇宙用熱交換器の製作方法の一実施
例の製作工程図である。
例の製作工程図である。
【図２】従来の宇宙用熱交換器の構造説明図である。
２ フィン ３ 熱交換部 ４ ヘッダ ５Ａ，５Ｂ，５Ｃ 流体入口 ６Ａ，６Ｂ，６Ｃ 流体出口 １１，１３，１４ プレート １２，１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ コア部分 Ａ 流体 Ｂ 流体 Ｃ 流体
Claims (1)
- 【請求項１】 プレ―トで仕切られたコア部分を流れる
複数の流体間で熱交換を行う宇宙用熱交換器を製作する
に際し、前記プレートとこのプレート面に形成されるコ
ア部分とを前記流体の熱交換条件に応じた材料および形
状で電鋳法により交互に形成することを繰り返すように
したことを特徴とする宇宙用熱交換器の製作方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4181733A JPH0634283A (ja) | 1992-06-16 | 1992-06-16 | 宇宙用熱交換器の製作方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4181733A JPH0634283A (ja) | 1992-06-16 | 1992-06-16 | 宇宙用熱交換器の製作方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0634283A true JPH0634283A (ja) | 1994-02-08 |
Family
ID=16105939
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4181733A Pending JPH0634283A (ja) | 1992-06-16 | 1992-06-16 | 宇宙用熱交換器の製作方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0634283A (ja) |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5801915A (en) * | 1994-01-31 | 1998-09-01 | Applied Materials, Inc. | Electrostatic chuck having a unidirectionally conducting coupler layer |
| JP2007512434A (ja) * | 2003-11-25 | 2007-05-17 | メディア ラリオ ソシエタ ア レスポンサビリタ リミタータ | 電鋳による冷却および熱交換システムの製造 |
| CN100419128C (zh) * | 2004-06-21 | 2008-09-17 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 散热器制造装置及其制造方法 |
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-
1992
- 1992-06-16 JP JP4181733A patent/JPH0634283A/ja active Pending
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