JPH06335858A - Grinding device - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To maintain the working precision by detecting only the thermal displacement between a workpiece and a wheel spindle stock, excluding the influence of the deflection of the workpiece, etc., and by simplifying the correction for the thermal displacement. CONSTITUTION:A control means 130 grinds the outside diameter of the ground surface Wa of a workpiece W by a grinding wheel 19 by shifting a wheel spindle stock 13 through a driving means 100, and eliminates the deflection by a deflection removing means 140. a calculating means 150 calculates the thermal displacement quantity between the workpiece W and the wheel spindle stock 13 on the basis of the position of the wheel spindle stock 13 detected by a position detecting means 110 and the outside diameter of the ground surface Wa measured by a measuring means 120, and a correcting means 160 corrects the position of the wheel spindle stock 13 detected by the position detecting means 110, on the basis of the thermal displacement quantity.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、工作物の円筒状の外径
を研削する研削装置、特に各部の温度変化に伴う熱変位
による砥石台の検出位置の誤差を補正する機能を備えた
この種の研削装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a grinding device for grinding a cylindrical outer diameter of a workpiece, and more particularly to a grinding device having a function of correcting an error in a detected position of a wheel head due to a thermal displacement due to a temperature change of each part. Seed grinding device.

【０００２】[0002]

【従来の技術】円筒研削盤等の研削装置においては、図
２２に示すように、主軸台と心押台のセンタ１５ａ，１
６ａにより支持した工作物Ｗに対し回転する砥石車１９
を有する砥石台を送り込んで被研削面の外径を研削して
いる。砥石台の位置を、図２１の図表の線Ｇに示すよう
に、粗研送りＧ１、精研送りＧ２、微研送りＧ３と順次
送り速度を減少させながら送り込むことにより、工作物
Ｗの被研削面（例えばＷａ）の外径は、砥石台位置に換
算した値で示せば、例えば線Ｈに示すように減少する。
この線Ｇと線Ｈは、研削抵抗による工作物Ｗ及びその支
持部の撓み並びに温度変化による工作物Ｗと砥石台との
間の熱変位（具体的には工作物Ｗの被研削面と砥石車１
９の相手方に対する各接触点の間の熱変位）により通常
は一致しない。2. Description of the Related Art In a grinding machine such as a cylindrical grinder, as shown in FIG. 22, the centers 15a, 1 of the headstock and tailstock are used.
Grinding wheel 19 that rotates with respect to the workpiece W supported by 6a
The outer diameter of the surface to be ground is ground by sending in a grindstone stand having. As shown by the line G in the diagram of FIG. 21, the grindstone is moved to the coarse grinding feed G1, the fine grinding feed G2, and the fine grinding feed G3 in this order with decreasing feed speeds. The outer diameter of the surface (for example, Wa) is reduced as shown by a line H if it is represented by a value converted into the position of the grinding wheel head.
The lines G and H are the thermal displacement between the workpiece W and the grindstone base due to the bending of the workpiece W and its support portion due to the grinding resistance and the temperature change (specifically, the surface to be ground of the workpiece W and the grindstone). Car 1
9 thermal displacements between contact points relative to the other party) usually do not match.

【０００３】このため、加工中に連続して被研削面の外
径を計測するインプロセスゲージなどの計測装置を用い
た従来の研削装置では、計測装置により計測した被研削
面Ｗａの外径とエンコーダ等の位置検出器により検出し
た砥石台の位置とに基づき、最終加工切込み完了時点に
おける前記線Ｇと線Ｈの差ｄ（図２１参照）を算出し、
これにより位置検出手段により検出された砥石台の位置
を補正して熱変位による砥石台１３の検出位置の誤差を
修正するようにしている。そしてその後に行う被研削面
Ｗｂ，Ｗｃ（図２２参照）等の研削では、この補正され
た位置検出器の検出値を用いて間接定寸加工を行い、熱
変位による加工誤差を除くと共に加工時間を短縮してい
る。Therefore, in a conventional grinding apparatus using a measuring device such as an in-process gauge for continuously measuring the outer diameter of the surface to be ground during processing, the outer diameter of the surface Wa to be measured is measured by the measuring device. Based on the position of the grinding wheel head detected by a position detector such as an encoder, a difference d (see FIG. 21) between the line G and the line H at the time of completion of the final machining cut is calculated,
Thereby, the position of the grinding wheel head detected by the position detecting means is corrected to correct an error in the detected position of the grinding wheel head 13 due to thermal displacement. Then, in the subsequent grinding of the surfaces Wb, Wc (see FIG. 22), etc., indirect sizing is performed using the corrected detection value of the position detector to eliminate the processing error due to thermal displacement and the processing time. Has been shortened.

【０００４】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述の
差ｄは温度変化に伴う熱変位だけでなく研削抵抗による
工作物Ｗ等の撓みの影響も受け、特に微研時で研削抵抗
が大きい場合は後者の撓みは大となり、このため上述の
従来技術では熱変位による砥石台の検出位置の誤差を完
全に修正することができず、加工誤差発生の原因となっ
ていた。However, the above-mentioned difference d is affected not only by the thermal displacement due to the temperature change but also by the bending of the workpiece W or the like due to the grinding resistance, and especially when the grinding resistance is large at the time of fine grinding. The latter deflection is large, and thus the above-mentioned conventional technique cannot completely correct the error in the detected position of the grinding wheel head due to the thermal displacement, which causes a machining error.

【０００５】本発明は、工作物Ｗ等の撓みの影響を除い
て、工作物と砥石台の間の熱変位のみを検出して、この
ような問題を解決することを第１の目的とし、また熱変
位の補正を簡単にかつ被研削面の加工精度を悪くするこ
となく加工を行えるようにすることを第２の目的とす
る。A first object of the present invention is to solve the above problem by eliminating the influence of bending of the work W or the like and detecting only the thermal displacement between the work and the grinding stone head. A second object is to make it possible to perform the correction of the thermal displacement easily and to perform the processing without deteriorating the processing accuracy of the surface to be ground.

【０００６】さらに第３の目的は熱変位補正を必要な時
にのみ行い、効率的な熱変位補正を行うようにすること
である。A third object is to perform thermal displacement correction only when necessary and to perform efficient thermal displacement correction.

【０００７】[0007]

【課題を解決するための手段】このために、本発明によ
る研削装置は、図１に示すように、モータにより回転駆
動される砥石車１９を有する砥石台１３と、前記砥石車
１９とこれにより研削される工作物Ｗが互いに接近離間
する方向に前記砥石台１３と工作物を相対移動させる駆
動手段１００と、前記工作物に対する前記砥石台の位置
を検出する位置検出手段１１０と、研削中に工作物の被
研削面の外径を計測する計測手段１２０と、前記駆動手
段１００を作動させて前記砥石車により工作物の被研削
面の外径を研削する制御手段１３０と、前記制御手段１
３０にて研削中に発生する工作物の撓みを除去する撓み
除去手段１４０と、前記撓み除去手段１４０にて工作物
の撓みを除去した状態で前記位置検出手段１１０により
検出された前記砥石台１３の位置と前記計測手段１２０
により計測された工作物の被研削面Ｗａの外径に基づい
て工作物に対する前記砥石台の熱変位量を算出する演算
手段１５０と、前記位置検出手段１１０により検出され
る砥石台の位置を前記演算手段１５０により算出された
熱変位量に基づき補正する補正手段１６０とを備えたこ
とを特徴とする研削装置である。To this end, the grinding apparatus according to the present invention, as shown in FIG. 1, has a grinding wheel base 13 having a grinding wheel 19 which is rotationally driven by a motor, the grinding wheel 19 and the grinding wheel 19 thereby. Driving means 100 for relatively moving the grindstone base 13 and the workpiece in a direction in which the workpieces W to be ground come close to and away from each other, position detecting means 110 for detecting the position of the grindstone base with respect to the workpiece, and during grinding. Measuring means 120 for measuring the outer diameter of the work surface to be ground, control means 130 for operating the driving means 100 to grind the outer diameter of the work surface to be ground by the grinding wheel, and the control means 1
Deflection removal means 140 for removing the deflection of the work piece generated during grinding by 30, and the grinding stone head 13 detected by the position detection means 110 in the state where the deflection of the work piece is removed by the deflection removal means 140. Position and the measuring means 120
The calculation means 150 for calculating the thermal displacement amount of the grindstone base with respect to the workpiece based on the outer diameter of the surface to be ground Wa of the workpiece measured by: and the position of the grindstone base detected by the position detection means 110 are A grinding device comprising: a correction unit 160 that corrects the thermal displacement amount calculated by the calculation unit 150.

【０００８】また、第２の発明は撓み除去手段が制御手
段による研削の途中で工作物に対する前記砥石台の移動
を一旦停止させてスパークアウトを行うスパークアウト
手段であることを特徴とする。A second aspect of the invention is characterized in that the deflection removing means is a spark-out means for temporarily stopping the movement of the grindstone head with respect to the workpiece during the grinding by the control means to perform spark-out.

【０００９】そして、第３の発明は熱変位補正が必要か
否かを判定する判定手段と、この判定手段の判定結果に
基づいて熱変位補正が必要と判定した場合のみ前記撓み
除去手段（及びスパークアウト手段）と演算手段を実行
する実行手段を備えたものである。A third aspect of the present invention is a determination means for determining whether or not the thermal displacement correction is necessary, and the deflection removing means (and the deflection removal means only when it is determined that the thermal displacement correction is necessary based on the determination result of the determination means. (Spark-out means) and an executing means for executing the calculating means.

【００１０】さらに、第４の発明はモータにより回転駆
動される砥石車を有する砥石台と、前記砥石車とこれに
より研削される工作物が互いに接近離間する方向に前記
砥石台と工作物を相対移動させる駆動手段と、前記工作
物に対する前記砥石台の位置を検出する位置検出手段
と、研削中に工作物の被研削面の外径を計測する計測手
段と、前記駆動手段を作動させて前記砥石車により工作
物の被研削面の外径を研削する制御手段と、前記制御手
段による研削の途中で工作物に対する前記砥石台の移動
を一旦停止させてスパークアウトを行うスパークアウト
手段と、前記スパークアウト手段のスパークアウトの終
了直後に前記位置検出手段により検出された前記砥石台
の位置と前記計測手段により計測された工作物の被研削
面の外径に基づいて工作物に対する前記砥石台の熱変位
量を算出する第１の演算手段と、前記制御手段の研削完
了時において前記位置検出手段により検出された前記砥
石台の位置と前記計測手段により計測された工作物の被
研削面の外径に基づいて工作物に対する前記砥石台の熱
変位量を算出する第２の演算手段と、熱変位補正が必要
か否かを判定する判定手段と、前記位置検出手段により
検出される砥石台の位置を前記第１もしくは第２の演算
手段により算出された熱変位量に基づき補正する補正手
段と、前記判定手段の判定結果に基づいて熱変位補正が
必要と判定した場合には前記スパークアウト手段と第１
の演算手段および補正手段を実行し、熱変位補正が必要
ないと判定した場合には前記第２の演算手段と補正手段
を実行する実行手段とを備えたものである。Further, a fourth invention is such that a grindstone base having a grindstone wheel that is rotationally driven by a motor, and the grindstone base and the workpiece are opposed to each other in a direction in which the grindstone wheel and a workpiece ground by the grindstone wheel approach and separate from each other. Driving means for moving, position detecting means for detecting the position of the grindstone base with respect to the workpiece, measuring means for measuring the outer diameter of the surface to be ground of the workpiece during grinding, and the driving means for operating the Control means for grinding the outer diameter of the surface to be ground of the workpiece by means of a grinding wheel; and spark-out means for temporarily stopping the movement of the wheel head relative to the workpiece during the grinding by the control means, and spark-out means, Immediately after the spark-out of the spark-out means, based on the position of the wheel head detected by the position detecting means and the outer diameter of the surface to be ground of the workpiece measured by the measuring means. First computing means for calculating the amount of thermal displacement of the grinding wheel head with respect to the crop, and the position of the grinding wheel head detected by the position detecting means at the completion of grinding by the control means and the workpiece measured by the measuring means. Second calculation means for calculating the amount of thermal displacement of the grindstone with respect to the workpiece based on the outer diameter of the surface to be ground, determination means for determining whether or not thermal displacement correction is necessary, and the position detection means. A correction unit that corrects the detected position of the wheel head based on the thermal displacement amount calculated by the first or second calculation unit, and a case where it is determined that thermal displacement correction is necessary based on the determination result of the determination unit. The spark-out means and the first
The second calculation means and the execution means for executing the correction means when it is determined that the thermal displacement correction is not necessary by executing the calculation means and the correction means.

【００１１】[0011]

【作用】制御手段１３０は駆動手段１００を介して砥石
台１３の位置を制御して砥石車１９により工作物Ｗの被
研削面Ｗａの外径を研削する。そして、撓み除去手段１
４０にて撓みを除去したのちにおいて、演算手段１５０
は位置検出手段１１０により検出された砥石台１３の位
置と計測手段１２０により計測された工作物Ｗの被研削
面Ｗａの外径に基づいて、各部の温度変化に伴う工作物
Ｗと砥石台１３の間の熱変位量を算出する。補正手段１
６０は位置検出手段１１０により検出されて制御手段１
３０に伝達される砥石台１３の位置を算出された熱変位
量に基づいて補正し、これにより位置検出手段１１０に
より検出された砥石台１３の位置の熱変位による誤差は
補償される。The control means 130 controls the position of the grinding wheel base 13 via the driving means 100 to grind the outer diameter of the surface Wa to be ground of the workpiece W by the grinding wheel 19. And the deflection removing means 1
After removing the flexure at 40, the calculation means 150
Is based on the position of the grindstone 13 detected by the position detecting means 110 and the outer diameter of the ground surface Wa of the workpiece W measured by the measuring means 120, and the workpiece W and the grindstone 13 accompanying the temperature change of each part. Calculate the amount of thermal displacement between. Correction means 1
60 is detected by the position detection means 110 and is controlled by the control means 1
The position of the grinding wheel head 13 transmitted to 30 is corrected based on the calculated thermal displacement amount, and thereby the error due to the thermal displacement of the position of the grinding wheel head 13 detected by the position detection means 110 is compensated.

【００１２】また、第２の発明では制御手段１３０で研
削中にスパークアウト手段にて砥石台１３を一旦停止さ
せてスパークアウトを行い、次いで砥石台１３を再び前
進させて工作物Ｗを研削する。このスパークアウト終了
直後で砥石車１９による工作物Ｗの研削が再開される前
の時点においては、研削抵抗は僅かとなるので工作物Ｗ
等の撓みは実質的に０となり、この時点において演算手
段１５０は位置検出手段１１０により検出された砥石台
１３の位置と計測手段１２０により計測された工作物Ｗ
の被研削面Ｗａの外径に基づいて、各部の温度変化に伴
う工作物Ｗと砥石台１３の間の熱変位量を算出する。補
正手段１６０は位置検出手段１１０により検出されて制
御手段１３０に伝達される砥石台１３の位置を算出され
た熱変位量に基づいて修正し、これにより位置検出手段
１１０により検出された砥石台１３の位置の熱変位によ
る誤差は補償される。In the second aspect of the invention, during grinding by the control means 130, the grindstone 13 is once stopped by the sparkout means to perform sparkout, and then the grindstone 13 is advanced again to grind the workpiece W. . Immediately after the end of this spark-out and before the grinding of the workpiece W by the grinding wheel 19 is resumed, the grinding resistance becomes small, so the workpiece W
Deflection of the workpiece etc. becomes substantially zero, and at this time, the calculating means 150 causes the position of the grinding wheel base 13 detected by the position detecting means 110 and the workpiece W measured by the measuring means 120.
Based on the outer diameter of the surface Wa to be ground, the amount of thermal displacement between the workpiece W and the grindstone 13 due to the temperature change of each part is calculated. The correction means 160 corrects the position of the grinding wheel base 13 detected by the position detection means 110 and transmitted to the control means 130 based on the calculated thermal displacement amount, whereby the grinding wheel base 13 detected by the position detection means 110. The error due to the thermal displacement of the position is compensated.

【００１３】そして第３の発明では、判定手段により熱
変位補正が必要か否かを判定し、熱変位補正が必要な場
合にのみ実行手段によって撓み除去手段および演算手段
を実行して熱変位補正を行うものである。In the third aspect of the invention, the determining means determines whether or not the thermal displacement correction is necessary. Only when the thermal displacement correction is necessary, the executing means executes the deflection removing means and the computing means to correct the thermal displacement. Is to do.

【００１４】さらに第４の発明では判定手段により熱変
位補正が必要か否かを判定し、熱変位補正が必要な場合
に実行手段によって制御手段１３０で研削中にスパーク
アウト手段にて砥石台１３を一旦停止させてスパークア
ウトを行い、次いで砥石台１３を再び前進させて工作物
Ｗを研削し、この時点において第１の演算手段にて位置
検出手段１１０により検出された砥石台１３の位置と計
測手段１２０により計測された工作物Ｗの被研削面Ｗａ
の外径に基づいて、工作物Ｗと砥石台１３の間の熱変位
量を算出し、熱変位補正が必要ないとされた場合におい
ては、前記制御手段１３０の研削完了時において、第２
の演算手段で前記位置検出手段により検出された前記砥
石台の位置と前記計測手段により計測された工作物Ｗの
被研削面Ｗａの外径に基づいて工作物に対する前記砥石
台１３の熱変位量を算出し、この第１もしくは第２の演
算手段にて算出された熱変位量に基づいて補正手段１６
０は位置検出手段１１０により検出されて制御手段１３
０に伝達される砥石台１３の位置を補正する。Further, in the fourth aspect of the invention, the judgment means judges whether or not the thermal displacement correction is necessary, and when the thermal displacement correction is necessary, the execution means controls the control means 130 during grinding by the spark-out means by the spark-out means 13. Is temporarily stopped to perform sparkout, and then the grindstone base 13 is moved forward again to grind the workpiece W. At this time, the first computing means detects the position of the grindstone base 13 detected by the position detecting means 110. Grinding surface Wa of workpiece W measured by measuring means 120
When the amount of thermal displacement between the workpiece W and the grindstone 13 is calculated based on the outer diameter of the workpiece W, and it is determined that the thermal displacement correction is not necessary, when the grinding of the control unit 130 is completed,
The amount of thermal displacement of the grinding wheel base 13 relative to the workpiece based on the position of the grinding wheel base detected by the position detecting means by the calculation means and the outer diameter of the ground surface Wa of the workpiece W measured by the measuring means. Is calculated and based on the thermal displacement amount calculated by the first or second calculation means, the correction means 16
0 is detected by the position detection means 110 and the control means 13
The position of the grindstone 13 transmitted to 0 is corrected.

【００１５】[0015]

【発明の効果】上述のように、本発明によれば、位置検
出手段により検出された砥石台の位置の熱変位による誤
差は補償され、その補償時点における工作物等の撓みは
実質的に０であるので、この種の研削装置における工作
物等の撓みによる位置検出手段の検出値の誤差は除か
れ、その後の直接定寸加工などにおけるこのような検出
値の誤差による加工誤差を除くことができる。As described above, according to the present invention, the error due to the thermal displacement of the position of the grinding wheel head detected by the position detecting means is compensated, and the deflection of the workpiece etc. at the time of the compensation is substantially zero. Therefore, the error in the detected value of the position detecting means due to the deflection of the workpiece in this type of grinding device can be excluded, and the processing error due to the error in the detected value in the subsequent direct sizing, etc. can be excluded. it can.

【００１６】また、第２の発明によれば撓みを除去する
のが研削途中の研削取り代のある状態なので、熱変位に
よる誤差があっても仕上げ径に達することがないため熱
変位補正を行うのに特別な試験用の工作物を用いず、し
かも砥石台を停止させスパークアウトするだけなので、
撓み除去のために複雑な制御を行う必要なく熱変位補正
を簡単な構成で行うことができる。Further, according to the second aspect of the invention, since the deflection is removed in the state where there is a grinding allowance in the middle of grinding, the finished diameter is not reached even if there is an error due to thermal displacement, so thermal displacement correction is performed. No special test work is used, and only the wheel head is stopped and sparked out.
The thermal displacement correction can be performed with a simple configuration without the need to perform complicated control for removing the bending.

【００１７】そして、第３の発明によれば熱変位判定手
段により熱変位補正が必要と判定されたときのみに熱変
位補正を行うので、非常に効率的な熱変位補正を行うこ
とができる。According to the third aspect of the invention, the thermal displacement correction is performed only when the thermal displacement determination means determines that the thermal displacement correction is necessary. Therefore, the thermal displacement correction can be performed very efficiently.

【００１８】さらに、第４の発明によれば熱変位判定手
段により熱変位補正が必要と判定されたときには研削途
中にて撓み除去を行い熱変位による誤差補正を行い、熱
変位補正が必要ないと判定されたときには、研削完了時
に位置検出手段により検出された前記砥石台の位置と前
記計測手段により計測された工作物の被研削面の外径に
基づいて熱変位による誤差補正の値をさらに補正するよ
うにしたので、経時的に変化する熱変位による誤差も補
償でき、より精密な熱変位補正を行うことができる。Further, according to the fourth aspect of the invention, when the thermal displacement determining means determines that the thermal displacement correction is necessary, the deflection is removed during the grinding to correct the error due to the thermal displacement, and the thermal displacement correction is not necessary. When it is determined, the value of error correction due to thermal displacement is further corrected based on the position of the grinding wheel head detected by the position detection means at the completion of grinding and the outer diameter of the ground surface of the workpiece measured by the measuring means. Since this is done, the error due to the thermal displacement that changes with time can be compensated, and more precise thermal displacement correction can be performed.

【００１９】[0019]

【実施例】先ず図２〜図１０により第１実施例の説明を
する。図２に示すように、研削盤１０のベッド１１上に
左右方向（Ｚ方向）移動可能に案内支持した工作物テー
ブル１２上には、主軸１５を軸承する主軸台１４と心押
台１６が左右方向に対向して同軸的に設けられ、工作物
Ｗは主軸１５と心押台１６に設けたセンタ１５ａ，１６
ａにより両端が支持されている。主軸１５は主軸台１４
に設けたモータ１８により回転駆動され、工作物Ｗは左
端部が主軸１５から突設された回止め部材１７に係合さ
れて主軸１５と共に回転される。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS First, the first embodiment will be described with reference to FIGS. As shown in FIG. 2, a headstock 14 and a tailstock 16 for bearing a main spindle 15 and a tailstock 16 are placed on the left and right sides of a worktable 12, which is guided and supported on a bed 11 of a grinding machine 10 so as to be movable in the left-right direction (Z direction). The workpieces W are coaxially provided so as to face each other in the direction, and the work W has centers 15a, 16 provided on the spindle 15 and the tailstock 16.
Both ends are supported by a. Spindle 15 is headstock 14
The work W is rotated by a motor 18 provided at the left end of the work W, and the left end of the work W is engaged with a detent member 17 protruding from the main shaft 15 to rotate together with the main shaft 15.

【００２０】また、ベッド１１上には、Ｚ方向と直交す
る水平なＸ方向に移動可能に砥石台１３が案内支持さ
れ、この砥石台１３にはＣＢＮ砥石等の砥石車１９が主
軸１５と平行な砥石軸２０により軸承され、Ｖベルト回
転伝達機構２１を介してモータ２２により回転駆動され
る。ベッド１１に設けたサーボモータ２３は、数値制御
装置３０のパルス分配回路３４から分配される制御パル
スに基づいて作動する駆動装置４１により制御駆動さ
れ、図略の送りねじ装置を介して砥石台１３にＸ方向の
送りを与えるものである。エンコーダ等の位置検出器２
５はサーボモータ２３の回転角度を介して砥石台１３の
移動位置を検出し、この検出値はセンサコントローラ４
２を介して数値制御装置３０に入力される。A grindstone 13 is guided and supported on the bed 11 so as to be movable in a horizontal X direction orthogonal to the Z direction, and a grindstone 19 such as a CBN grindstone is parallel to the spindle 15 on the grindstone 13. It is supported by a simple grindstone shaft 20 and is rotationally driven by a motor 22 via a V-belt rotation transmission mechanism 21. The servomotor 23 provided in the bed 11 is controlled and driven by a drive device 41 that operates based on a control pulse distributed from a pulse distribution circuit 34 of the numerical control device 30, and the grindstone base 13 is driven via a feed screw device (not shown). To feed in the X direction. Position detector 2 such as encoder
Reference numeral 5 detects the moving position of the grindstone 13 via the rotation angle of the servomotor 23, and the detected value is the sensor controller 4
It is input to the numerical control device 30 via 2.

【００２１】工作物テーブル１２上に設置されたインプ
ロセス計測装置２４は、研削中の工作物Ｗの被研削面Ｗ
ａの外径寸法を連続的に直接測定し、その測定信号（ア
ナログ信号）は数値制御装置３０に入力される。The in-process measuring device 24 installed on the work table 12 has a surface W to be ground of the work W being ground.
The outer diameter dimension of a is continuously measured directly, and the measurement signal (analog signal) is input to the numerical controller 30.

【００２２】数値制御装置３０は、図２に示すように、
研削装置全体を制御し管理する中央処理装置（ＣＰＵ）
３１、メモリ３２、外部とのデータの授受を行うインタ
フェース３３、及びＣＰＵ３１からの指令に応じて駆動
パルスを分配送出するパルス分配回路３４を備えてい
る。ＣＰＵ３１には、Ａ−Ｄコンバータ３５を介して計
測装置２４が接続され、またセンサコントローラ４２が
接続されている。このセンサコントローラ４２はＣＰＵ
３１により制御され、前述の位置検出器２５が接続され
ている。更に、インタフェース３３には、非常停止ボタ
ン４０ａ、加工ボタン４０ｂ、運転準備ボタン４０ｃ、
制御データ等を入力する数値入力ボタン４０ｄ、ＣＲＴ
表示装置４０ｅ等を有する入力装置４０が接続され、ま
たパルス分配回路３４には、駆動装置４１を介して前述
のサーボモータ２３が接続されている。As shown in FIG. 2, the numerical control device 30 has a
Central processing unit (CPU) that controls and manages the entire grinding machine
3, a memory 32, an interface 33 for exchanging data with the outside, and a pulse distribution circuit 34 for distributing and transmitting drive pulses in response to a command from the CPU 31. The measuring device 24 is connected to the CPU 31 via the AD converter 35, and the sensor controller 42 is connected to the CPU 31. This sensor controller 42 is a CPU
The position detector 25 is connected to the position detector 25 described above. Further, the interface 33 includes an emergency stop button 40a, a processing button 40b, an operation preparation button 40c,
Numerical value input button 40d for inputting control data, CRT
An input device 40 having a display device 40e and the like is connected, and the pulse distribution circuit 34 is connected to the servo motor 23 described above via a drive device 41.

【００２３】メモリ３２には、工作物Ｗをインプロセス
加工するためのインプロセスゲージ用加工プログラム、
工作物Ｗを間接定寸加工するための間接定寸用加工プロ
グラム、計測装置２４と位置検出器２５からの入力デー
タに基づいて熱変位に対する補正値を算出する補正値算
出プログラム等の各プログラム、及び砥石車１９の直径
Ｒ、後述する内部スイッチの値等のデータが格納されて
いる。メモリ３２に記憶されるこの砥石径Ｒは、ツルー
イング装置２６により砥石車１９を整形する毎に更新さ
れる。In the memory 32, an in-process gauge machining program for in-process machining the workpiece W,
Each program such as a machining program for indirect sizing for indirectly sizing the workpiece W, a correction value calculation program for calculating a correction value for thermal displacement based on input data from the measuring device 24 and the position detector 25, Also, data such as the diameter R of the grinding wheel 19, the value of an internal switch described later, and the like are stored. The grinding wheel diameter R stored in the memory 32 is updated every time the grinding wheel 19 is shaped by the truing device 26.

【００２４】本実施例と請求項の関係において、サーボ
モータ２３が駆動手段１００を、位置検出器２５が位置
検出手段１１０を、計測装置２４が計測手段１２０を、
ＣＰＵ３１及びメモリ３２が演算手段１５０を、ＣＰＵ
３１及びセンサコントローラ４２が補正手段１６０を、
ＣＰＵ３１及びパルス分配回路３４が制御手段１３０お
よび撓み除去手段１４０をそれぞれ構成し、さらに第
３，第４発明における判定手段はＣＰＵ３１が、第４発
明における第１および第２の演算手段はＣＰＵ３１がそ
れぞれ構成している。以上に述べた研削盤１０の全体構
造及び請求項との関係は、基本的に全ての実施例に共通
である。In the relationship between the present embodiment and the claims, the servo motor 23 is the driving means 100, the position detector 25 is the position detecting means 110, the measuring device 24 is the measuring means 120,
The CPU 31 and the memory 32 serve as the computing means 150, and the CPU
31 and the sensor controller 42, the correction means 160,
The CPU 31 and the pulse distribution circuit 34 constitute the control means 130 and the deflection removing means 140, respectively. Further, the determining means in the third and fourth inventions is the CPU 31, and the first and second computing means in the fourth invention are the CPU 31 respectively. I am configuring. The above-described overall structure of the grinding machine 10 and the relationship with the claims are basically common to all the embodiments.

【００２５】次に、上記のように構成された第１実施例
の動作を、図３〜図７に示すフローチャート並びに図８
〜図１０に示す説明図により説明する。入力装置４０の
運転準備ボタン４０ｃを押せば、ＣＰＵ３１は図３のフ
ローチャートに示すメインプログラムの作動を開始さ
せ、ステップＳ１でメモリ３２内の内部スイッチの値を
１に設定して加工ボタン４０ｂからの入力を待つ。工作
物Ｗがセットされて加工ボタン４０ｂが押されれば、Ｃ
ＰＵ３１は制御動作をステップＳ２からステップＳ３を
経てステップＳ４に進め、後述する第１本目の研削加工
を行う。第１本目の研削加工が終了すれば、ＣＰＵ３１
はステップＳ５で内部スイッチを２に設定して制御動作
をステップＳ２の前に戻す。次の工作物Ｗがセットされ
て加工ボタン４０ｂが押されれば、ＣＰＵ３１は制御動
作をステップＳ２からステップＳ３を経てステップＳ６
に進め、後述する第２本目以後の加工を行う。これらの
加工の間に非常停止ボタン４０ａが押されれば、ＣＰＵ
３１はステップＳ７からステップＳ８に進んで内部スイ
ッチを０に設定し、ステップＳ３を経てステップＳ９で
研削装置の運転を停止して作動を終了する。Next, the operation of the first embodiment configured as described above will be described with reference to the flow charts shown in FIGS.
~ It demonstrates by the explanatory view shown in FIG. When the operation preparation button 40c of the input device 40 is pressed, the CPU 31 starts the operation of the main program shown in the flowchart of FIG. 3, sets the value of the internal switch in the memory 32 to 1 in step S1, and sets the value from the processing button 40b. Wait for input. If the workpiece W is set and the machining button 40b is pressed, C
The PU 31 advances the control operation from step S2 to step S3 to step S4, and performs the first grinding process described later. When the first grinding process is completed, the CPU 31
Sets the internal switch to 2 in step S5 and returns the control operation to that before step S2. When the next workpiece W is set and the machining button 40b is pressed, the CPU 31 controls the control operation from step S2 to step S3 to step S6.
Then, the second and subsequent processes, which will be described later, are performed. If the emergency stop button 40a is pressed during these processes, the CPU
In step 31, the process proceeds from step S7 to step S8 to set the internal switch to 0, and after step S3, the operation of the grinding device is stopped in step S9 to end the operation.

【００２６】なお、ＣＰＵ３１は、上記のように運転準
備ボタン４０ｃを押した場合以外にも図３に二点鎖線で
示すように、ステップＳ２ａで前回の加工が完了してか
ら加工が行われずに所定時間（例えば２〜３時間）以上
経過したか否かを判定し、所定時間経過している場合に
はステップＳ２ｂで内部スイッチを１に設定してステッ
プＳ３に進み、所定時間経過していない場合にはステッ
プＳ２ｂを飛ばして直接ステップＳ３に進む。また、こ
のステップＳ２ａの判定は、前記所定時間の経過の他、
砥石車１９を回転させるシーケンススイッチが所定時間
オフとなったとき、クーラントを出すシーケンススイッ
チが所定時間以上オフとなったとき、さらに連続して加
工する場合において所定本数（または所定回数）以上の
加工を行う毎に内部スイッチを１に設定するようにして
もよい。最後の場合における加工時間の経過に伴う温度
上昇は次第に収束して一定温度に近づくので、この場合
の所定本数（または所定回数）は一定とはせず、加工開
始からの時間が経過するにつれて次第に本数（または回
数）を増加させて、ある本数（または回数）に収束させ
る。Note that the CPU 31 does not perform the machining after the previous machining is completed in step S2a as shown by the chain double-dashed line in FIG. 3 except when the operation preparation button 40c is pressed as described above. It is determined whether or not a predetermined time (for example, 2 to 3 hours) has elapsed. If the predetermined time has elapsed, the internal switch is set to 1 in step S2b, the process proceeds to step S3, and the predetermined time has not elapsed. In this case, step S2b is skipped and the process directly proceeds to step S3. In addition, the determination in step S2a is
When the sequence switch for rotating the grinding wheel 19 is off for a predetermined time, when the sequence switch for discharging the coolant is off for a predetermined time or longer, and when further continuous machining is performed, a predetermined number (or a predetermined number of times) or more of machining is performed. The internal switch may be set to "1" each time. In the last case, the temperature rise with the passage of machining time gradually converges and approaches a constant temperature, so the predetermined number (or the predetermined number of times) in this case is not constant, and gradually increases as the time from the start of machining passes. The number (or number of times) is increased to converge to a certain number (or number).

【００２７】この第１実施例の第１本目の第１段目の研
削加工はインプロセスゲージ加工用プログラムによる研
削加工であり、これを図４及び図５により説明する。先
ず砥石車１９が回転し、主軸台１４と心押台１６により
支持された工作物Ｗがモータ１８により所定の速度で回
転した状態で、数値制御装置３０はステップＳ１０で砥
石台１３を早送り前進させる。すなわち、加工用プログ
ラム内の砥石台早送り指令をＣＰＵ３１が解読してパル
ス分配回路３４に指令値を与え、これによりパルス分配
回路３４から送り出されるパルス信号を駆動装置４１を
介してサーボモータ２３に加えることによりサーボモー
タ２３を駆動し、図８の線Ｅ０に示すように砥石台１３
は所定の座標位置まで早送り前進され、砥石車１９は工
作物Ｗに接触する直前の位置となる。The first first stage grinding process of the first embodiment is a grinding process using an in-process gauge machining program, which will be described with reference to FIGS. 4 and 5. First, the grinding wheel 19 rotates, and the workpiece W supported by the headstock 14 and the tailstock 16 is rotated at a predetermined speed by the motor 18, and the numerical controller 30 fast-forwards and advances the grinding wheel 13 in step S10. Let That is, the CPU 31 decodes the grindstone rapid feed command in the machining program and gives the command value to the pulse distribution circuit 34, whereby the pulse signal sent from the pulse distribution circuit 34 is applied to the servo motor 23 via the drive device 41. As a result, the servomotor 23 is driven, and as shown by the line E0 in FIG.
Is fast forwarded to a predetermined coordinate position, and the grinding wheel 19 is at the position immediately before contacting the workpiece W.

【００２８】次いでＣＰＵ３１は、ステップＳ１１及び
Ｓ１２において、図８の線Ｅ１に示すように砥石台１３
を予め設定した第１粗研送り速度で前進させ、工作物Ｗ
を第１粗研削する。この場合において、砥石台１３が切
り込み送りされると、時々刻々変化する砥石台１３の切
込み送り位置は位置検出器２５により検出され、その検
出値はセンサコントローラ４２を経てＣＰＵ３１に入力
される。計測装置２４の測定子３４ａは第１粗研の途中
で工作物Ｗ側に移動して工作物Ｗの被研削面Ｗａに係合
され、これにより被研削面Ｗａの外径をインプロセス計
測し、その計測値はＡ−Ｄコンバータ３５によりデジタ
ル信号に変換してＣＰＵ３１に入力される。第１粗研削
が進行し、計測装置２４が第１粗研削完了径に相当する
第１定寸信号を生じれば（ステップＳ１２）第１粗研削
は終了し、ＣＰＵ３１はサーボモータ２３を停止させ、
図８の線Ｅ２に示すように砥石台１３をその位置で停止
させてステップＳ１３のスパークアウトを行う。Next, in steps S11 and S12, the CPU 31 sets the wheel head 13 as shown by the line E1 in FIG.
The workpiece W at the preset first roughing feed speed.
1st rough grinding. In this case, when the grindstone base 13 is cut and fed, the cutting feed position of the grindstone base 13 that changes moment by moment is detected by the position detector 25, and the detected value is input to the CPU 31 via the sensor controller 42. The tracing stylus 34a of the measuring device 24 moves to the workpiece W side during the first rough polishing and is engaged with the ground surface Wa of the workpiece W, thereby performing in-process measurement of the outer diameter of the ground surface Wa. The measured value is converted into a digital signal by the AD converter 35 and input to the CPU 31. If the first rough grinding progresses and the measuring device 24 generates a first sizing signal corresponding to the first rough grinding completion diameter (step S12), the first rough grinding ends, and the CPU 31 stops the servo motor 23. ,
As shown by the line E2 in FIG. 8, the grindstone base 13 is stopped at that position, and spark out in step S13 is performed.

【００２９】本実施例では、第１粗研削で生じた工作物
Ｗの撓みを除去するのに充分な所定の時間Ｔ１だけ砥石
台１３を停止させてスパークアウトを行う。スパークア
ウト時間Ｔは、砥石車１９の切れ味、工作物Ｗの材質に
応じて作業者が任意に変えられる。スパークアウトが終
了した時点で、ＣＰＵ３１はステップＳ１４の補正値算
出及び砥石台位置補正を行う。第１本目の第１段目の研
削加工の際に行うこのステップＳ１４の補正値算出及び
砥石台位置補正は、作業者交代などで研削加工を中断し
たことに伴う温度低下による熱変位補正をするために行
われる。In this embodiment, the wheel head 13 is stopped for a predetermined time T1 sufficient to remove the bending of the workpiece W caused by the first rough grinding, and spark out is performed. The spark-out time T can be arbitrarily changed by the operator according to the sharpness of the grinding wheel 19 and the material of the workpiece W. When the spark out ends, the CPU 31 calculates the correction value and corrects the wheel head position in step S14. The correction value calculation and the wheel head position correction of this step S14 performed at the time of the first first-stage grinding process perform the thermal displacement correction due to the temperature decrease due to the interruption of the grinding process due to the operator change or the like. Is done for.

【００３０】ここで先ず図１０により、計測装置２４に
より計測された被研削面Ｗａの直径Ｂと、位置検出器２
５の出力信号値Ｓ（熱変位がない場合の値）の関係を説
明する。熱変位がない場合には、砥石車１９が工作物Ｗ
の被研削面Ｗａに軽く接した際に計測装置２４により検
出される被研削面Ｗａの直径Ｂと位置検出器２５の出力
信号値Ｓの間には次式で示す関係がある。First, referring to FIG. 10, the diameter B of the surface to be ground Wa measured by the measuring device 24 and the position detector 2 are measured.
The relationship of the output signal value S of 5 (value when there is no thermal displacement) will be described. When there is no thermal displacement, the grinding wheel 19 is the workpiece W.
There is a relationship between the diameter B of the surface to be ground Wa detected by the measuring device 24 and the output signal value S of the position detector 25 when the surface to be ground Wa is lightly contacted.

【００３１】[0031]

【数１】Ｓ−Ｒ／２＝Ｂ／２ 但し Ｒ：メモリ３２に記憶され更新された砥石車１９
の直径 熱変位がある場合には、同じ状況における位置検出器２
５の出力信号値Ｓは、工作物Ｗと砥石台１３の間の熱変
位の値Ｆだけずれ、これにより熱変位の値Ｆが得られ
る。後述のように、この熱変位Ｆを用いて、工作物Ｗと
砥石台１３の間の熱変位による位置検出器２５の出力信
号値（検出値）の補正を行う。## EQU1 ## S-R / 2 = B / 2 where R: grinding wheel 19 stored and updated in the memory 32
Position detector 2 in the same situation when there is thermal displacement
The output signal value S of 5 is shifted by the value F of thermal displacement between the workpiece W and the grindstone 13, whereby the value F of thermal displacement is obtained. As will be described later, the thermal displacement F is used to correct the output signal value (detection value) of the position detector 25 due to the thermal displacement between the workpiece W and the grindstone 13.

【００３２】図４のフローチャートの説明の続きに戻
り、スパークアウトが終了し、砥石車１９は工作物Ｗの
被研削面Ｗａに接しているがその間の研削抵抗は極めて
僅かである状態において、ステップＳ１４の補正値算出
及び砥石台位置補正を行う。ＣＰＵ３１は先ず、熱変位
を補正するための補正値を図５に示す補正値演算プログ
ラムにより算出する。すなわち、ＣＰＵ３１はステップ
Ｓ３０及びＳ３１において位置検出器２５の出力信号値
Ａ（熱変位の影響を受けた値）及び計測装置２４からの
出力信号値Ｂ（直径）を入力する。次いでステップＳ３
２において前記式１により出力信号値Ｂを位置検出器２
５の出力信号値Ｓ（熱変位がない場合の値）に変換し、
ステップＳ３３において次式Returning to the continuation of the explanation of the flow chart of FIG. 4, when the spark-out is completed and the grinding wheel 19 is in contact with the surface Wa to be ground of the workpiece W, but the grinding resistance between them is extremely small, the step is performed. The correction value calculation and the wheel head position correction of S14 are performed. First, the CPU 31 calculates a correction value for correcting the thermal displacement by the correction value calculation program shown in FIG. That is, the CPU 31 inputs the output signal value A (value affected by thermal displacement) of the position detector 25 and the output signal value B (diameter) from the measuring device 24 in steps S30 and S31. Then step S3
2, the output signal value B is calculated by the above equation 1 from the position detector 2
5 output signal value S (value when there is no thermal displacement),
In step S33

【００３３】[0033]

【数２】Ｆ＝Ｓ−Ａ により熱変位に対する補正値Ｆを算出する。そして位置
検出器２５の出力値（砥石台１３の切込み送り位置）は
この補正値Ｆの分だけセンサコントローラ４２において
補正され、ステップＳ１４を終了してステップＳ１５及
びＳ１６の第２粗研削に移る。この第２粗研削以後は、
この補正された切込み送り位置がＡ−Ｄコンバータ（図
示省略）によりデジタル変換されてＣＰＵ３１に伝達さ
れる。## EQU2 ## The correction value F for the thermal displacement is calculated by F = S-A. Then, the output value of the position detector 25 (the cutting feed position of the grindstone 13) is corrected by the sensor controller 42 by the amount of this correction value F, and step S14 is ended and the process proceeds to the second rough grinding of steps S15 and S16. After this second rough grinding,
The corrected cutting feed position is digitally converted by an AD converter (not shown) and transmitted to the CPU 31.

【００３４】以上のステップＳ１１〜Ｓ１４における作
動状態を図９により説明すれば、次の通りである。図に
おいて実線Ａは位置検出器２５により検出された砥石台
１３の切込み送り位置を、一点鎖線Ｅは砥石台１３の実
際の位置を、実線Ｃは計測装置２４により検出された被
研削面Ｗａの直径を上述の式１により砥石台１３の位置
に変換したものである。第１粗研削では位置検出器２５
により検出された砥石台１３の位置は線Ａ１に示すよう
に減少し、砥石台１３の実際の位置は線Ｅ１に示すよう
に減少し、その間には熱変位による差Ｆがある。砥石車
１９により研削がなされれば、計測装置２４により計測
される被研削面Ｗａの直径は線Ｃ１に示すように減少す
る。点Ａａにおいて第１定寸信号が生じ、砥石台１３は
線Ａ２（検出位置）及び線Ｅ２（実際位置）に示すよう
に停止される。これによりスパークアウトが行われ、被
研削面Ｗａの直径は線Ｃ２に示すように線Ｅ２に漸近し
点Ｃｂで一致してスパークアウトは終了する。The operation state in steps S11 to S14 will be described below with reference to FIG. In the figure, the solid line A indicates the cutting feed position of the grindstone 13 detected by the position detector 25, the alternate long and short dash line E indicates the actual position of the grindstone 13, and the solid line C indicates the ground surface Wa detected by the measuring device 24. The diameter is converted to the position of the grindstone base 13 by the above-mentioned formula 1. Position detector 25 in the first rough grinding
The position of the grinding wheel head 13 detected by means of is decreased as shown by the line A1, the actual position of the grinding wheel head 13 is decreased as shown by the line E1, and there is a difference F due to thermal displacement between them. When grinding is performed by the grinding wheel 19, the diameter of the grinding surface Wa measured by the measuring device 24 decreases as indicated by the line C1. The first sizing signal is generated at the point Aa, and the wheel head 13 is stopped as shown by the line A2 (detection position) and the line E2 (actual position). As a result, spark-out is performed, the diameter of the surface Wa to be ground asymptotically approaches the line E2 as shown by the line C2, and the spark-out ends at the point Cb.

【００３５】スパークアウト開始点Ａａから所定時間Ｔ
１が経過した点Ｃｃではスパークアウトは確実に終了し
ており、本実施例ではこの時間Ｔ１の経過によりスパー
クアウトが終了したことを判定している。この時点にお
いて、前述した図４のステップＳ１４に示す補正値算出
及び砥石台位置補正がなされ、これにより次いで開始さ
れる第２粗研削以後の位置検出器２５による砥石台１３
の検出位置は、図９に示すように線Ａ３から線Ａ３'に
移り、砥石台１３の実際位置Ｅ３と一致したものとな
る。熱変位の影響を除くための砥石台位置の補正は、算
出した補正値に基づき位置検出器２５の出力信号値をセ
ンサコントローラ４２において補正することによりなさ
れる。A predetermined time T from the spark-out starting point Aa
At the point Cc where 1 has elapsed, the spark out has definitely ended, and in this embodiment, it is determined that the spark out has ended after the elapse of this time T1. At this point, the correction value calculation and the wheel head position correction shown in step S14 of FIG. 4 described above are performed, and thereby the wheel head 13 by the position detector 25 after the second rough grinding is started next.
As shown in FIG. 9, the detection position of is shifted from the line A3 to the line A3 ', and becomes the same as the actual position E3 of the grindstone base 13. The correction of the grinding wheel head position for removing the influence of the thermal displacement is performed by correcting the output signal value of the position detector 25 in the sensor controller 42 based on the calculated correction value.

【００３６】再び、図４のフローチャートの説明の続き
に戻り、ステップＳ１４が終了すれば、ＣＰＵ３１はス
テップＳ１５及びＳ１６において、砥石台１３を予め設
定された第２粗研送り速度（本実施例では第１粗研送り
速度と同じ）で前進させ、図８の線Ｅ３に示すように、
工作物Ｗを第２粗研削する。第２粗研削が進行して計測
装置２４が第２粗研削完了径に相当する第２定寸信号を
生じれば（ステップＳ１６）第２粗研削は終了し、ステ
ップＳ１７及びＳ１８の精研削に移る。そして精研削
（図８の線Ｅ４）が行われて計測装置２４が精研削完了
径に相当する第３定寸信号を生じれば精研削は終了し、
ステップＳ１９及びＳ２０の微研削に移る。そして微研
削（図８の線Ｅ５）が行われて計測装置２４が微研削完
了径に相当する第４定寸信号を生じれば微研削は終了
し、ステップＳ２１で砥石台１３が原位置まで早送り後
退（図８の線Ｅ６）されて、図４に示すインプロセスゲ
ージ加工用プログラムは完了する。Returning to the continuation of the explanation of the flow chart of FIG. 4 again, when step S14 is completed, the CPU 31 advances the preset second rough-grinding feed speed (in this embodiment, in this embodiment) of the grinding wheel head 13 in steps S15 and S16. The same as the first roughing feed rate), and as shown by the line E3 in FIG.
The workpiece W is subjected to second rough grinding. If the second rough grinding progresses and the measuring device 24 generates a second constant size signal corresponding to the second rough grinding completion diameter (step S16), the second rough grinding is completed, and the fine grinding in steps S17 and S18 is performed. Move. If fine grinding (line E4 in FIG. 8) is performed and the measuring device 24 generates a third sizing signal corresponding to the fine grinding completion diameter, the fine grinding is finished,
The procedure moves to fine grinding in steps S19 and S20. Then, if the fine grinding (line E5 in FIG. 8) is performed and the measuring device 24 generates the fourth sizing signal corresponding to the fine grinding completion diameter, the fine grinding is finished, and in step S21 the grindstone 13 reaches the original position. The rapid retreat (line E6 in FIG. 8) is performed, and the in-process gauge machining program shown in FIG. 4 is completed.

【００３７】次に同一工作物Ｗの他の被研削面Ｗｂ，Ｗ
ｃ（図２２参照）を間接定寸加工により研削するため
に、予め工作物テーブル１２を所定量左進させ、工作物
Ｗの間接定寸加工を行う次段目の箇所へ砥石車１９を対
応させる。Next, other ground surfaces Wb, W of the same workpiece W
In order to grind c (see FIG. 22) by indirect sizing, the workpiece table 12 is moved to the left by a predetermined amount in advance, and the grinding wheel 19 is attached to the next stage where the indirect sizing of the workpiece W is performed. Let

【００３８】この状態では位置検出器２５により検出さ
れる切込み送り方向における砥石台１３の位置は熱変位
に応じた補正がなされており、この補正された砥石台１
３の切込み送り位置を使用して、図６のフローチャート
に示す間接定寸用加工プログラムによる加工が工作物Ｗ
の第２段目になされる。すなわち、先ずステップＳ４０
及びＳ４１において、ＣＰＵ３１は予め与えられた目標
位置情報と位置検出器２５により検出されて上記補正が
なされた砥石台１３の現在位置情報に基づき砥石台早送
り量Ｋを算出し、パルス分配回路３４に指令値を与え、
駆動装置４１を介してサーボモータ２３を駆動し、算出
された送り量Ｋだけ砥石台１３を早送り前進させて、砥
石車１９を工作物Ｗに接触する直前まで移動させる。In this state, the position of the grindstone base 13 in the cutting feed direction detected by the position detector 25 is corrected according to the thermal displacement, and the corrected grindstone base 1 is corrected.
Using the cutting feed position of No. 3, machining by the machining program for indirect sizing shown in the flowchart of FIG.
It is done in the second stage. That is, first, in step S40
In S41 and S41, the CPU 31 calculates the wheel head rapid feed amount K based on the target position information given in advance and the current position information of the wheel head 13 which is detected by the position detector 25 and corrected as described above, and then the pulse distributing circuit 34 is calculated. Give a command value,
The servo motor 23 is driven via the drive device 41, the grindstone base 13 is fast-forwarded and advanced by the calculated feed amount K, and the grindstone wheel 19 is moved until just before it comes into contact with the workpiece W.

【００３９】次いでステップＳ４２及びＳ４３におい
て、ＣＰＵ３１は前述と同様にして粗研送り量Ｌを算出
し、サーボモータ２３を駆動してこの送り量Ｌだけ砥石
台１３を前進させ、砥石車１９により工作物Ｗの粗研削
を行う。更に同様にしてＣＰＵ３１はステップＳ４４及
びＳ４５で送り量Ｎだけ砥石台１３を前進させて精研削
を行い、ステップＳ４６及びＳ４７で送り量Ｐだけ砥石
台１３を前進させて微研削を行う。次いでＣＰＵ３１は
ステップＳ４８及びＳ４９で早送り量Ｑを算出し、この
送り量Ｑだけ砥石台１３を早送り後退させて原位置に戻
して、図６に示す間接定寸用加工プログラムを完了す
る。なお、この実施例は、粗研完了位置、精研完了位
置、微研完了位置とに基づいて粗研送り量Ｌ、精研送り
量Ｎ、微研送り量Ｐを算出する例について述べたが、間
接定寸用加工プログラムに設定された粗研送り量Ｌ、精
研送り量Ｎ、微研送り量Ｐをパルス分配回路３４に与え
てもよい。この間接定寸加工によれば、計測装置２４に
よる計測が不要な分だけ、研削のサイクルタイムが短く
なる。Next, in steps S42 and S43, the CPU 31 calculates the rough grinding feed amount L in the same manner as described above, drives the servo motor 23 to move the grinding wheel head 13 forward by this feed amount L, and the grinding wheel 19 is used to machine the work. The object W is roughly ground. Similarly, the CPU 31 advances the grindstone base 13 by the feed amount N in steps S44 and S45 to perform fine grinding, and advances the grindstone base 13 by the feed amount P in steps S46 and S47 to perform fine grinding. Next, the CPU 31 calculates the rapid feed amount Q in steps S48 and S49, fast-forwards and retracts the grindstone base 13 by this feed amount Q to return it to the original position, and completes the indirect sizing machining program shown in FIG. In addition, in this embodiment, the example in which the rough-polishing feed amount L, the fine-polishing feed amount N, and the fine-polishing feed amount P are calculated based on the rough-polishing completion position, the fine-polishing completion position, and the fine-polishing completion position is described. Alternatively, the rough-working feed amount L, the fine-working feed amount N, and the fine-working feed amount P set in the machining program for indirect sizing may be given to the pulse distribution circuit 34. According to this indirect sizing, the grinding cycle time is shortened because the measurement by the measuring device 24 is unnecessary.

【００４０】上述のようにして１本目の加工が終了すれ
ば、工作物Ｗを次のものと取り替えて、図３のフローチ
ャートのステップＳ６に示す第２本目以後の加工が行わ
れる。この２本目以後の加工では、第１段目の研削加工
は、図４の代わりに図７のフローチャートに示すインプ
ロセスゲージ加工用プログラムを使用してなされる。第
２段目の研削加工は１本目と同じく、図６に示す間接定
寸用加工プログラムにより行われる。When the first machining is completed as described above, the workpiece W is replaced with the next one, and the second and subsequent machining steps shown in step S6 of the flowchart of FIG. 3 are performed. In the second and subsequent processes, the first-stage grinding process is performed using the in-process gauge machining program shown in the flowchart of FIG. 7 instead of that of FIG. The grinding process of the second step is performed by the indirect sizing process program shown in FIG. 6, as with the first process.

【００４１】図７に示す２本目以後の第１段目の研削加
工では、図４に示す１本目の第１段目の研削加工からス
テップＳ１２〜１５が省略されている。すなわちスパー
クアウトによる補正値算出及び砥石台位置補正は行われ
ず、粗研削は１回しか行われない。その代わり微研削を
終了して砥石台１３を早送り後退する前に、工作物Ｗを
連続して加工するにつれて上昇する温度による熱変位補
正するために、ステップＳ２０Ａにおいて補正値算出及
び砥石台位置補正を、１本の加工が終了する毎に行う。
この補正値算出は、微研削終了時点に計測装置２４によ
り計測した被研削面Ｗｂの外径と位置検出器２５により
検出した砥石台１３の位置の差（図２１のｄ参照）を取
り出すことにより行われ、その具体的方法は図５のフロ
ーチャートに示すものと実質的に同じである。砥石台位
置補正は位置検出器２５の出力値（砥石台１３の切込み
送り位置）をこの差の分だけセンサコントローラ４２に
おいて補正することにより行われる。In the second and subsequent first stage grinding processes shown in FIG. 7, steps S12 to S15 are omitted from the first first stage grinding process shown in FIG. That is, the correction value calculation and the wheel head position correction by the spark out are not performed, and the rough grinding is performed only once. Instead, in order to correct the thermal displacement due to the temperature rising as the workpiece W is continuously machined before finishing the fine grinding and retreating the grindstone base 13 fast-forwarding, in step S20A, a correction value is calculated and the grindstone position is corrected. Is performed every time one machining is completed.
This correction value calculation is performed by taking out the difference (see d in FIG. 21) between the outer diameter of the surface Wb to be ground measured by the measuring device 24 and the position of the wheel head 13 detected by the position detector 25 at the end of fine grinding. The specific method performed is substantially the same as that shown in the flowchart of FIG. The wheel head position correction is performed by correcting the output value of the position detector 25 (the cutting feed position of the wheel head 13) by the sensor controller 42 by the difference.

【００４２】上記第１実施例では、ステップＳ１３のス
パークアウトの終了の判定は所定時間Ｔ１の経過により
行っている。しかしこれに限らず、計測装置２４により
連続的に計測している被研削面Ｗａの単位時間当たりの
変化量が設定値以下となることによりスパークアウトの
終了を判定するようにしてもよい。図１１によりこのよ
うな変形例の作動の説明をすれば、スパークアウトが行
われれば、計測装置２４により検出される被研削面Ｗａ
の直径が線Ｃ２に示すように砥石台１３の実際位置を示
す線Ｅ２に漸近し、点Ｃｄで一致して一定の直径とな
る。ＣＰＵ３１は被研削面Ｗａの変化量が設定値以下と
なったことによりスパークアウトが終了したと判定し
て、ステップＳ１５及びＳ１６の第２粗研削を開始す
る。この場合には、設定したある所定時間Ｔ２内に被研
削面Ｗａの変化量が設定値以下にならないときは、計測
装置２４等に異常があるとして警告を発するようにする
こともできる。In the first embodiment described above, the determination of the end of the spark out in step S13 is made after the elapse of the predetermined time T1. However, the present invention is not limited to this, and the end of spark out may be determined when the amount of change per unit time of the surface to be ground Wa continuously measured by the measuring device 24 is equal to or less than a set value. The operation of such a modified example will be described with reference to FIG. 11. If spark-out is performed, the grinding surface Wa detected by the measuring device 24 will be described.
As shown by the line C2, the diameter gradually approaches the line E2 showing the actual position of the grinding wheel base 13, and at the point Cd, the diameter becomes constant and becomes constant. The CPU 31 determines that the spark out has ended because the amount of change in the surface Wa to be ground becomes equal to or less than the set value, and starts the second rough grinding in steps S15 and S16. In this case, if the amount of change in the surface to be ground Wa does not fall below the set value within the set predetermined time T2, it is possible to issue a warning that the measuring device 24 or the like is abnormal.

【００４３】次に第２実施例の説明をする。この第２実
施例では第１実施例で説明した図３のフローチャートに
示すメインプログラムが同じように実行され、そのメイ
ンプログラムのステップＳ４で第１実施例で説明した図
４のインプロセス用加工プログラムが実行される。ただ
し、メインプログラムのステップＳ６では、図６の間接
定寸用加工プログラムの代わりに、図１２〜図１５に示
すフローチャートによる研削加工が実施される。第２実
施例の第２本目以後の研削加工は計測装置２４を用いた
直接定寸加工であり、また粗研削、精研削、微研削など
の切換えを行う際の工作物Ｗの加工径を、砥石車１９の
研削面の性状（切れ味、真円度、面粗さ、砥粒の突出し
高さなど）に応じて修正するものであり、これによれば
工作物の加工精度を向上させることができる。Next, the second embodiment will be described. In the second embodiment, the main program shown in the flowchart of FIG. 3 described in the first embodiment is executed in the same manner, and in step S4 of the main program, the in-process machining program of FIG. 4 described in the first embodiment. Is executed. However, in step S6 of the main program, grinding processing is performed according to the flowcharts shown in FIGS. 12 to 15 instead of the indirect sizing processing program shown in FIG. The second and subsequent grinding operations of the second embodiment are direct sizing operations using the measuring device 24, and the processing diameter of the workpiece W when switching between rough grinding, fine grinding, fine grinding, etc. The correction is made according to the properties of the grinding surface of the grinding wheel 19 (sharpness, roundness, surface roughness, protruding height of abrasive grains, etc.), which improves the machining accuracy of the workpiece. it can.

【００４４】先ずステップＳ１０１では、工作物Ｗと砥
石車１９を予め設定された速度で回転させ、砥石台１３
を予め設定された送り速度で、砥石車１９が工作物Ｗに
接触する直前の所定の位置まで早送り前進させる（図８
の線Ｅ０）。ステップＳ１０２以後は、後述する演算チ
ェック修正プログラムを工作物Ｗの１回転毎に繰り返し
実行する。ステップＳ１０３で主軸１５を主軸回転速度
Ｓｂで回転させるとともに送り速度Ｆｂで切込み完了径
Ｐｂ（いずれも予め設定されてメモリ３２に記憶）に相
当する値に位置検出器２５の出力がなるまで砥石台１３
を前進させ、工作物Ｗの粗研削を開始する。ステップＳ
１０４で後述する演算チェック修正プログラムで研削条
件、即ち送り速度、切込み完了径の修正を行っているか
判定し、修正を行っているときはステップＳ１０６に進
んで修正された送り速度Ｆａで切込み完了径Ｐａまで砥
石台１３を前進させる。修正されていなければ、ステッ
プＳ１０５に進んで計測装置２４からの現在の加工径Ｄ
ａと前記切込み完了径Ｐｂが同じかどうか判定し、同じ
であればステップＳ１０９に進み、同じでなければステ
ップＳ１０３に戻る。First, in step S101, the workpiece W and the grinding wheel 19 are rotated at a preset speed, and the grinding wheel base 13 is rotated.
At a preset feed speed, and fast-forwards and advances to a predetermined position immediately before the grinding wheel 19 contacts the workpiece W (see FIG. 8).
Line E0). After step S102, the calculation check correction program, which will be described later, is repeatedly executed for each revolution of the workpiece W. In step S103, the spindle 15 is rotated at the spindle rotation speed Sb, and at the feed speed Fb until the output of the position detector 25 reaches a value corresponding to the cutting completion diameter Pb (both are preset and stored in the memory 32). Thirteen
To advance the rough grinding of the workpiece W. Step S
In step 104, it is determined whether or not the grinding conditions, that is, the feed rate and the cutting completion diameter are corrected by the calculation check correction program, which will be described later. The grindstone base 13 is advanced to Pa. If it has not been corrected, the process proceeds to step S105 and the current machining diameter D from the measuring device 24 is measured.
It is determined whether or not a is equal to the cutting completion diameter Pb. If they are the same, the process proceeds to step S109, and if they are not the same, the process returns to step S103.

【００４５】一方、ステップＳ１０６が完了し、ステッ
プＳ１０６に続くステップＳ１０７に進むと、演算チェ
ック修正プログラムで送り速度、切込み完了径の修正を
行っているか判定し、修正を行っているときはステップ
Ｓ１０６に進んでさらに修正された送り速度Ｆａで切込
み完了径Ｐａまで砥石台１３を前進させる。修正されて
いなければ、ステップＳ１０８に進んで計測装置２４か
らの現在の加工径Ｄａと前記切込み完了径Ｐａが同じか
どうか判定し、同じであればステップＳ１０９に進み、
同じでなければステップＳ１０６に戻る。以上のステッ
プＳ１０３〜Ｓ１０８により粗研削（図８の線Ｅ１及び
Ｅ３ａ）がなされる。On the other hand, when step S106 is completed and the process proceeds to step S107 following step S106, it is judged whether or not the feed rate and the cutting completion diameter are corrected by the calculation check correction program, and if so, step S106. Then, the grindstone 13 is advanced to the cutting completion diameter Pa at the further modified feed speed Fa. If it is not corrected, the process proceeds to step S108, and it is determined whether the current machining diameter Da from the measuring device 24 and the cutting completion diameter Pa are the same. If they are the same, the process proceeds to step S109.
If they are not the same, the process returns to step S106. Rough grinding (lines E1 and E3a in FIG. 8) is performed by the above steps S103 to S108.

【００４６】ステップＳ１０９〜Ｓ１１４では精研削
（図８の線Ｅ４ａ）がなされる。この精研削も、予め設
定されてメモリ３２に記憶された主軸回転速度Ｓｃ、送
り速度Ｆｃ及び切込み完了径Ｐｃが異なることを除き、
前述の粗研削と同様、工作物Ｗの１回転毎に後述する演
算チェック修正プログラムが実行され、計測装置２４か
らの現在の加工径Ｄａがもとの切込み完了径Ｐｃまたは
修正された切込み完了径ＰａとなればステップＳ１１５
に進む。In steps S109 to S114, fine grinding (line E4a in FIG. 8) is performed. In this fine grinding as well, except that the spindle rotation speed Sc, the feed speed Fc, and the cutting completion diameter Pc which are preset and stored in the memory 32 are different.
Similar to the above-described rough grinding, the calculation check correction program described later is executed for each rotation of the workpiece W, and the current machining diameter Da from the measuring device 24 is the original cutting completion diameter Pc or the corrected cutting completion diameter. If Pa, step S115
Proceed to.

【００４７】ステップＳ１１５〜Ｓ１２０では微研削
（図８の線Ｅ５ａ）がなされる。この微研削も、予め設
定されてメモリ３２に記憶された主軸回転速度Ｓｄ、送
り速度Ｆｄ及び切込み完了径Ｐｄが異なることを除き、
前述の粗研削と同様、工作物Ｗの１回転毎に後述する演
算チェック修正プログラムが実行され、計測装置２４か
らの現在の加工径Ｄａがもとの切込み完了径Ｐｄまたは
修正された切込み完了径ＰａとなればステップＳ１２１
に進む。In steps S115 to S120, fine grinding (line E5a in FIG. 8) is performed. Also in this fine grinding, except that the spindle rotation speed Sd, the feed speed Fd and the cutting completion diameter Pd which are set in advance and stored in the memory 32 are different.
Similar to the above-described rough grinding, the calculation check correction program described later is executed for each rotation of the workpiece W, and the current machining diameter Da from the measuring device 24 is the original cutting completion diameter Pd or the corrected cutting completion diameter. If Pa, step S121
Proceed to.

【００４８】ステップＳ１２１では、工作物Ｗを連続し
て加工するにつれて上昇する温度による熱変位補正する
ために、補正値算出及び砥石台位置補正を行う。この補
正値算出は、微研削終了時点に計測装置２４により計測
した被研削面の外径と位置検出器２５により検出した砥
石台１３の位置の差（図２１のｄ参照）を取り出すこと
により行われ、砥石台位置補正は位置検出器２５の出力
値（砥石台１３の切込み送り位置）をこの差の分だけセ
ンサコントローラ４２において補正することにより行わ
れる。In step S121, correction value calculation and wheel head position correction are performed in order to correct the thermal displacement due to the temperature rising as the workpiece W is continuously processed. This correction value calculation is performed by taking out the difference (see d in FIG. 21) between the outer diameter of the surface to be ground measured by the measuring device 24 and the position of the wheel head 13 detected by the position detector 25 at the end of the fine grinding. That is, the wheel head position correction is performed by correcting the output value of the position detector 25 (the cutting feed position of the wheel head 13) by the sensor controller 42 by the difference.

【００４９】ステップＳ１２２で砥石台１３を原位置ま
で早送り後退（図８の線Ｅ６ａ）させ、工作物Ｗと砥石
車１９の回転を停止させ、研削加工プログラムが停止す
る。ここで送り速度はＦｂ＞Ｆｃ＞Ｆｄの関係になるよ
うに設定され、切込み完了径はＰｂ＞Ｐｃ＞Ｐｄの関係
になるように設定され、主軸回転速度はＳｂ＞Ｓｃ＞Ｓ
ｄの関係になるように設定されている。In step S122, the grinding wheel base 13 is fast-forwarded and retracted to the original position (line E6a in FIG. 8), the rotation of the workpiece W and the grinding wheel 19 is stopped, and the grinding program is stopped. Here, the feed speed is set to have a relationship of Fb>Fc> Fd, the cutting completion diameter is set to have a relationship of Pb>Pc> Pd, and the spindle rotation speed is Sb>Sc> S.
It is set so as to have a relationship of d.

【００５０】次に図１４及び図１５により、図１２及び
図１３の研削加工プログラムのステップＳ１０２で実行
される演算チェック修正プログラムの説明をする。この
演算チェック修正プログラムは研削加工プログラムのス
テップＳ１０３以降のステップと並行して工作物１回転
毎に繰り返し実行される。ステップＳ１３０で計測装置
２４から出力される１回転中の現在の加工径Ｄａがメモ
リ３２に格納されている最大径Ｄｂよりも大きいか判別
し、大きければステップＳ１３１に進みメモリ３２に格
納されている最大径Ｄｂを現在の加工径Ｄａに更新して
ステップＳ１３２に進む。大きくなければ更新すること
なくステップＳ１３２に進む。Next, referring to FIGS. 14 and 15, the calculation check correction program executed in step S102 of the grinding program of FIGS. 12 and 13 will be described. This calculation check correction program is repeatedly executed every one revolution of the work piece in parallel with the steps after step S103 of the grinding program. In step S130, it is determined whether the current machining diameter Da output from the measuring device 24 during one rotation is larger than the maximum diameter Db stored in the memory 32. If larger, the process proceeds to step S131 and is stored in the memory 32. The maximum diameter Db is updated to the current machining diameter Da and the process proceeds to step S132. If it is not larger, the process proceeds to step S132 without updating.

【００５１】ステップＳ１３２で計測装置２４から出力
される１回転中の現在の加工径Ｄａがメモリ３２に格納
されている最大径Ｄｃよりも小さいか判別し、小さけれ
ばステップＳ１３３に進みメモリ３２に格納されている
最大径Ｄｃを現在の加工径Ｄａに更新してステップＳ１
３４に進む。大きくなければ更新することなくステップ
Ｓ１３４に進む。ステップＳ１３４で工作物Ｗが１回転
したと判定するまで、ステップＳ１３０からステップＳ
１３４を繰り返し実行する。In step S132, it is determined whether the current machining diameter Da output from the measuring device 24 during one rotation is smaller than the maximum diameter Dc stored in the memory 32. If smaller, the process proceeds to step S133 and is stored in the memory 32. The maximum diameter Dc that has been set is updated to the current machining diameter Da, and step S1 is performed.
Proceed to 34. If it is not larger, the process proceeds to step S134 without updating. Until it is determined in step S134 that the workpiece W has made one revolution, steps S130 to S
Repeat 134.

【００５２】工作物Ｗが１回転した時点で、ステップＳ
１３５でメモリ３２に格納されている１回転前の前加工
径Ｄｆがメモリ３２に格納されている１回転後の現加工
径Ｄｅに更新される。ステップＳ１３６でメモリ３２に
格納されている１回転後の現加工径Ｄｅが計測装置２４
からの現加工径Ｄａに更新される。ステップＳ１３７で
砥石台１３の位置を基にメモリ３２に格納されている工
作物加工径Ｄｇを選定し、ステップＳ１３８でＤｇ＜Ｄ
ａかどうか判定する。Ｄｇ＜Ｄａであれば、そのままス
テップＳ１４０に進み、Ｄｇ＜Ｄａでなければ、ステッ
プＳ１３９に進んでＡを１にセットし、ステップＳ１４
０に進む。When the workpiece W makes one revolution, step S
At 135, the pre-machining diameter Df before one rotation stored in the memory 32 is updated to the current machining diameter De after one rotation stored in the memory 32. The current machining diameter De after one rotation stored in the memory 32 in step S136 is the measuring device 24.
To the current machining diameter Da. In step S137, the workpiece machining diameter Dg stored in the memory 32 is selected based on the position of the wheel head 13, and in step S138 Dg <D.
Determine if a. If Dg <Da, the process directly proceeds to step S140. If Dg <Da, the process proceeds to step S139 to set A to 1, and step S14.
Go to 0.

【００５３】ステップＳ１４０でメモリ３２に格納され
ている最大径Ｄｂと最小径Ｄｃを基に工作物径の振れ量
Ｂａを演算する。ステップＳ１４１で現加工径Ｄａに応
じてメモリ３２に格納されている振れ量の許容値Ｂｂを
選定し、ステップＳ１４２でＢｂ＜Ｂａかどうか判定す
る。Ｂｂ＜Ｂａでなければ、そのままステップＳ１４４
に進み、Ｂｂ＜Ｂａであれば、ステップＳ１４３に進ん
でＡを１にセットし、ステップＳ１４４に進む。前記振
れ量Ｂｂは現加工径に応じて複数設定され、加工径が小
さくなるに従って小さくなるように設定されている。In step S140, the deflection amount Ba of the workpiece diameter is calculated based on the maximum diameter Db and the minimum diameter Dc stored in the memory 32. In step S141, the allowable value Bb of the shake amount stored in the memory 32 is selected according to the current machining diameter Da, and in step S142, it is determined whether Bb <Ba. If Bb <Ba is not satisfied, step S144 is performed as it is.
If Bb <Ba, the process proceeds to step S143, A is set to 1, and the process proceeds to step S144. A plurality of the shake amounts Bb are set according to the current machining diameter, and are set to be smaller as the machining diameter becomes smaller.

【００５４】ステップＳ１４４でメモリ３２に格納され
ている１回転前の前加工径Ｄｆと１回転後の現加工径Ｄ
ｅを基に工作物径の減少量Ｅａを演算する。ステップＳ
１４５で現加工径Ｄａに応じてメモリ３２に格納されて
いる減少量の許容値Ｅｂを選定し、ステップＳ１４６で
Ｅｂ＞ＥａまたはＥｂ＜Ｅａかどうか判定する。現加工
径ＤａがＤａ１〜Ｄａ３（粗研の範中に入る加工径）の
範囲に入る時は、Ｅｂ＞Ｅａの判定を選定し、現加工径
ＤａがＤａ３〜Ｄａ７（精研、微研の範中に入る加工
径）の範囲に入る時は、Ｅｂ＜Ｅａの判定を選定する。
即ち、粗研の際に工作物径の減少量が少ない時は、砥石
車の研削面が劣化していると判定し、精研，微研の時に
減少量が多い時は、粗研時の工作物の撓みが多く、精
研，微研時に砥石台の送り速度を遅くすることによって
工作物のスプリングバックにより急激に工作物が削れ始
め、これによって工作物の加工精度が劣化すると判定し
ている。ステップＳ１４６でＹＥＳであればステップＳ
１４７に進んでＡを１にセットしてステップＳ１４８に
進み、ＮＯであれば、ステップＳ１５２に進む。前記減
少量の許容値Ｅｂは現加工径に応じて複数設定され、加
工径が小さくなるに従って小さくなるように設定されて
いる。In step S144, the pre-machining diameter Df before one rotation and the current machining diameter D after one rotation stored in the memory 32.
The reduction amount Ea of the workpiece diameter is calculated based on e. Step S
In 145, the allowable value Eb of the reduction amount stored in the memory 32 is selected according to the current machining diameter Da, and in step S146 it is determined whether Eb> Ea or Eb <Ea. When the current machining diameter Da falls within the range of Da1 to Da3 (machining diameter within the range of rough grinding), the judgment of Eb> Ea is selected, and the current machining diameter Da is Da3 to Da7 (for fine grinding and fine grinding). When it falls within the range of the processing diameter), the judgment of Eb <Ea is selected.
That is, when the amount of decrease in the workpiece diameter during the rough grinding is small, it is determined that the grinding surface of the grinding wheel is deteriorated, and when the amount of decrease is large during the fine and fine grinding, it is There is a lot of bending of the workpiece, and by slowing down the feed rate of the grindstone during precision and fine grinding, the workpiece springs back and the workpiece begins to sharply ablate, which determines that the machining accuracy of the workpiece deteriorates. There is. If YES in step S146, step S146
Proceeding to 147, A is set to 1 and proceeding to step S148. If NO, proceeding to step S152. The allowable value Eb of the reduction amount is set in plural according to the current machining diameter, and is set to be smaller as the machining diameter becomes smaller.

【００５５】ステップＳ１４８でＡが１であるか判定
し、Ａが１であればステップＳ１４９へ進み、Ａが１で
なければステップＳ１５２へ進む。ステップＳ１４９で
研削残量Ｔ０を算出する。研削残量Ｔ０は計測装置２４
の加工径Ｄａに砥石台１３の位置Ｓと砥石車１９の直径
Ｒから求められる加工径Ｄｐ（＝Ｓ−Ｒ／２）を引いた
値である。ステップＳ１５０で以下の計算式に基づいて
切込み完了径Ｐａを演算する。例えば、精研完了径Ｐｂ
をＰａ（＞Ｐｂ）に変更することにより、微研にて加工
径がＰｂになった場合の許容できる減少量の許容値をＥ
ｂとし、現在の研削残量がＴ０，現在の減少量がＥ０，
現在の工作物１回転当たりの切込み量がＵであるとする
と、In step S148, it is determined whether A is 1, and if A is 1, the process proceeds to step S149, and if A is not 1, the process proceeds to step S152. In step S149, the remaining grinding amount T0 is calculated. The remaining grinding amount T0 is measured by the measuring device 24.
Is a value obtained by subtracting a machining diameter Dp (= S−R / 2) obtained from the position S of the grindstone 13 and the diameter R of the grinding wheel 19 from the machining diameter Da of the above. In step S150, the cutting completion diameter Pa is calculated based on the following calculation formula. For example, the completed diameter Pb
Is changed to Pa (> Pb), the allowable value of the reduction amount that can be tolerated when the processing diameter becomes Pb in the micro-laboratory is E
b, the current remaining grinding amount is T0, the current reduction amount is E0,
If the current cutting depth per revolution of the workpiece is U,

【００５６】[0056]

【数３】ｋ＝Ｔ０／Ｅ０， Ｅ１＝（Ｔ０＋Ｕ）／（ｋ＋１）， から１回転後の減少量Ｅ１が予想できる。From k = T0 / E0, E1 = (T0 + U) / (k + 1), the reduction amount E1 after one rotation can be predicted.

【００５７】[0057]

【数４】Ｔ１＝ｋＥ１， Ｅ２＝（Ｔ１＋Ｕ）／（ｋ＋１）， ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ Ｔｉ−１＝ｋＥｉ−１， Ｅｉ＝（Ｔｉ−１＋Ｕ）／（ｋ＋１）， からｉ回転後の減少量Ｅｉが予想でき、許容値Ｅｂ以下
になるまでＥｉを求める。## EQU4 ## T1 = kE1, E2 = (T1 + U) / (k + 1), ... Ti-1 = kEi-1, Ei = (Ti- Ei is calculated until the reduction amount Ei after i rotations can be predicted from 1 + U) / (k + 1), and becomes equal to or less than the allowable value Eb.

【００５８】[0058]

【数５】Ｐａ＝Ｐｂ＋Ｅ１＋Ｅ２・・・＋Ｅｉ ステップＳ１５１で以下の計算式に基づいて送り速度Ｆ
ａを演算する。例えば、精研中にステップＳ１４６でＥ
ｂ＜Ｅａと判定された場合、Ｔ０はＥｂ＜Ｅａと判定さ
れた時点での研削残量，Ｅ０はＥｂ＜Ｅａと判定された
時点での減少量，Ｅｂは加工径（Ｅｂ＜Ｅａと判定され
た時点での加工径）に応じて選定された許容できる減少
量，Ｕは現在の工作物１回転当りの切込み量，ＵａはＥ
ｂ＜Ｅａと判定された時点でＥｂ＝Ｅａとなるための工
作物１回転当たりの切込み量、Ｔｐは精研開始時の研削
残量であるとすると、[Equation 5] Pa = Pb + E1 + E2 ... + Ei In step S151, the feed rate F is calculated based on the following calculation formula.
Calculate a. For example, during step S146
When it is determined that b <Ea, T0 is the amount of grinding remaining at the time when it is determined that Eb <Ea, E0 is the reduction amount when it is determined that Eb <Ea, and Eb is the machining diameter (determined as Eb <Ea. Permissible reduction amount selected according to the machining diameter at the time of machining, U is the current cutting depth per revolution of the workpiece, and Ua is E
If it is determined that b <Ea, Eb = Ea, the cutting amount per one revolution of the workpiece, and Tp is the remaining amount of grinding at the start of polishing,

【００５９】[0059]

【数６】ｋ＝Ｔ０／Ｅ０， Ｕａ＝（Ｔｐ−（Ｔ０−ｋＥｂ））×Ｕ／Ｔｐ Ｆａ＝Ｕａ×現在の主軸回転数 ステップＳ１５２でＡを０にセットする。## EQU6 ## k = T0 / E0, Ua = (Tp- (T0-kEb)). Times.U / Tp Fa = Ua.times.current spindle rotational speed A is set to 0 in step S152.

【００６０】ステップＳ１５３で最大径Ｄｂを仕上げ径
にセットし、ステップＳ１５４で最小径Ｄｃを素材径に
セットする。ステップＳ１５５で微研完了、即ち加工プ
ログラムのステップＳ１２２であるか判定し、微研完了
していなければ、ステップＳ１３０に戻り、微研完了し
ていれば終了する。In step S153, the maximum diameter Db is set as the finishing diameter, and in step S154, the minimum diameter Dc is set as the material diameter. In step S155, it is determined whether or not the fine grinding is completed, that is, step S122 of the machining program. If the fine grinding is not completed, the process returns to step S130, and if the fine grinding is completed, the processing ends.

【００６１】この第２実施例では、砥石車の研削面の性
状が悪くなれば例えば粗研の最中に切込み完了径を修正
して粗研を早めに終わらせ、精研，微研の切込み量を多
くすることによって工作物の加工精度が向上する。ま
た、砥石車の研削面の性状が悪くなれば例えば粗研の最
中に砥石台の送り速度を遅くすることによって工作物の
加工精度が向上する。In the second embodiment, if the quality of the grinding surface of the grinding wheel deteriorates, for example, during the rough grinding, the cutting completion diameter is corrected to finish the rough grinding earlier, and the fine grinding and the fine grinding are cut. By increasing the amount, the machining accuracy of the workpiece is improved. Further, if the quality of the grinding surface of the grinding wheel deteriorates, the machining accuracy of the workpiece is improved by, for example, slowing down the feed speed of the wheel head during the rough grinding.

【００６２】次に第３実施例の説明をする。この第３実
施例では図３のメインプログラムは前記各実施例と同じ
であるが、第１本目及び第２本目以後の研削加工は何れ
も異なっており、また２段目の研削加工は行っていな
い。これを図１６〜図１９により説明する。Next, the third embodiment will be described. In this third embodiment, the main program of FIG. 3 is the same as that of each of the above-mentioned embodiments, but the grinding process for the first and second and subsequent products is different, and the second stage grinding process is not performed. Absent. This will be described with reference to FIGS.

【００６３】第１実施例の場合と同様にして第１本目の
研削加工が開始されれば、図１６のフローチャートに示
す加工プログラムによる研削加工が開始される。先ずＣ
ＰＵ３１は、先ずステップＳ２１０において、次の式７
により第１粗研削完了径Ｄ１及び第２粗研削完了径Ｄ２
を演算する。When the first grinding process is started as in the case of the first embodiment, the grinding process according to the machining program shown in the flowchart of FIG. 16 is started. First C
In step S210, the PU 31 first calculates the following expression 7
Thus, the first rough grinding completion diameter D1 and the second rough grinding completion diameter D2
Is calculated.

【００６４】[0064]

【数７】 Ｄ１＝Ｄ＋Ｕ１＋２・Ｕ２・Ｎ２＋２・Ｕ３・Ｎ３ Ｄ２＝Ｄ＋Ｕ２＋２・Ｕ３・Ｎ３ 但し Ｄ：仕上目標径 Ｕ１，Ｕ２，Ｕ３：それぞれ第１粗研削、第２粗研削及
び微研削時における、工作物Ｗ１回転当たりの砥石車１
９の切込み送り量（＝各研削時における研削速度／工作
物Ｗの回転速度） Ｎ２：第２粗研削時における、所定の仕上げ状態の被研
削面Ｗａを作るのに必要な回転数 Ｎ３：微研削時における、所定の仕上げ状態の被研削面
Ｗａを作るのに必要な回転数 ここで、Ｄ、各研削時における研削速度及び工作物Ｗの
回転速度並びにＮ２、Ｎ３は、入力装置４０からメモリ
３２に格納されるデータであり、これらのデータによっ
てＵ１、Ｕ２及びＵ３が算出される。## EQU00007 ## D1 = D + U1 + 2.U2.N2 + 2.U3.N3 D2 = D + U2 + 2.U3.N3 However, D: Target finish diameter U1, U2, U3: At the first rough grinding, second rough grinding and fine grinding, respectively. Grinding wheel 1 per rotation of workpiece W
Depth feed amount of 9 (= grinding speed in each grinding / rotational speed of the workpiece W) N2: number of rotations required to make a ground surface Wa in a predetermined finishing state during the second rough grinding N3: minute The number of rotations required to form the surface to be ground Wa in a predetermined finished state during grinding, where D, the grinding speed during each grinding, the rotation speed of the workpiece W, and N2 and N3 are stored in the memory from the input device 40. The data is stored in 32, and U1, U2, and U3 are calculated by these data.

【００６５】ＣＰＵ３１は以上のように第１粗研削完了
径Ｄ１及び第２粗研削完了径Ｄ２を演算してから、砥石
車１９及び工作物Ｗが所定の速度で回転した状態で、ス
テップＳ２１１で砥石台１３を工作物Ｗに接触する直前
の位置まで早送り前進させる（図１７の線Ｅ０）。次い
でＣＰＵ３１は、ステップＳ２１２において砥石台１３
を予め設定した第１粗研削送り速度で前進させ、工作物
Ｗを第１粗研削する（図１７の線Ｅ１）。前述の各実施
例と同様、この場合も、砥石台１３に第１粗研削送りが
与えられると、時々刻々変化する砥石台１３の切込み送
り位置は位置検出器２５により検出され、その検出値は
センサコントローラ４２を経てＣＰＵ３１に入力され
る。また計測装置２４の測定子３４ａは工作物Ｗの被研
削面Ｗａに係合され、これにより被研削面Ｗａの外径を
インプロセス計測し、その計測値はＡ−Ｄコンバータ３
５によりデジタル信号に変換してＣＰＵ３１に入力され
る。After the CPU 31 has calculated the first rough grinding completion diameter D1 and the second rough grinding completion diameter D2 as described above, the grinding wheel 19 and the workpiece W are rotated at a predetermined speed in step S211. The grindstone base 13 is fast-forwarded and advanced to the position immediately before contacting the workpiece W (line E0 in FIG. 17). Next, in step S212, the CPU 31 sets the grindstone base 13
Is advanced at the preset first rough grinding feed rate to perform the first rough grinding of the workpiece W (line E1 in FIG. 17). In this case as well, similarly to each of the above-described embodiments, when the first rough grinding feed is applied to the grindstone base 13, the cutting feed position of the grindstone base 13 that changes momentarily is detected by the position detector 25, and the detected value is It is input to the CPU 31 via the sensor controller 42. Further, the tracing stylus 34a of the measuring device 24 is engaged with the ground surface Wa of the workpiece W, whereby the outer diameter of the ground surface Wa is measured in-process, and the measured value is the A-D converter 3
It is converted into a digital signal by 5 and input to the CPU 31.

【００６６】第１粗研削が進行し、計測装置２４により
計測された被研削面Ｗａの径がステップＳ２１０で演算
された第１粗研削完了径Ｄ１に達すれば、ＣＰＵ３１は
ステップＳ２１３において第１粗研削が完了したと判断
し、砥石台１３をその位置で停止させてステップＳ１４
のスパークアウトを行う。次いでステップＳ２１５の補
正値算出及び砥石台位置補正が行われる。このスパーク
アウト並びに補正値算出及び砥石台位置補正は、第１実
施例のステップＳ１３及び詳細を図５に示すステップＳ
１４と実質的に同一である。熱変位の影響を除くための
砥石台位置の補正は、算出した補正値に基づき位置検出
器２５の出力信号値をセンサコントローラ４２において
補正することによりなされ、引き続いて行われるステッ
プＳ２１６の第２粗研削（図１７の線Ｅ３）以後におい
ては、この補正された出力信号値が使用される。If the first rough grinding progresses and the diameter of the surface to be ground Wa measured by the measuring device 24 reaches the first rough grinding completion diameter D1 calculated in step S210, the CPU 31 executes the first rough grinding in step S213. It is determined that the grinding is completed, the whetstone base 13 is stopped at that position, and step S14 is performed.
Spark out of. Next, the correction value calculation and the whetstone head position correction in step S215 are performed. This spark out, correction value calculation, and wheel head position correction are performed in step S13 of the first embodiment and step S shown in detail in FIG.
It is substantially the same as 14. The correction of the grinding wheel head position for removing the influence of the thermal displacement is performed by correcting the output signal value of the position detector 25 in the sensor controller 42 based on the calculated correction value, and the second roughening of step S216 that is subsequently performed. After the grinding (line E3 in FIG. 17), this corrected output signal value is used.

【００６７】ステップＳ２１６の第２粗研削が進行し、
計測装置２４により計測された被研削面Ｗａの径が演算
された第２粗研削完了径Ｄ２に達すれば、ＣＰＵ３１は
ステップＳ２１７において第２粗研削が完了したと判断
し、ステップＳ２１８でその時点における研削残量Ｚ２
（実測値）を取り出す。この研削残量Ｚ２は、粗研削
（第２粗研削）完了時点における計測装置２４により測
定された被研削面Ｗａの径と位置検出器２５により検出
された砥石台１３の位置（熱変位の補正がなされ、かつ
被研削面Ｗａの径に換算した値）の差として取り出され
る。The second rough grinding in step S216 proceeds,
When the diameter of the surface to be ground Wa measured by the measuring device 24 reaches the calculated second rough grinding completion diameter D2, the CPU 31 determines in step S217 that the second rough grinding is completed, and in step S218, the CPU 31 determines that the second rough grinding is completed. Remaining amount of grinding Z2
Take out (measured value). The remaining amount Z2 of grinding is the diameter of the surface to be ground Wa measured by the measuring device 24 at the time of completion of rough grinding (second rough grinding) and the position of the wheel head 13 detected by the position detector 25 (correction of thermal displacement). And the difference (value converted into the diameter of the surface to be ground Wa).

【００６８】続くステップＳ２１９において、ＣＰＵ３
１は粗研削後の後退位置Ｆ２を演算し、この後退位置Ｆ
２まで砥石台１３を後退させる。この後退位置Ｆ２は次
のようにして演算する。同一工作物Ｗの研削中または連
続した２個の工作物Ｗの研削であって、砥石車１９の切
れ味があまり変化していない場合には、研削残量は工作
物１回転当たりの砥石車１９の切込み送り量に比例する
ので次の式８が得られる。In the following step S219, the CPU3
1 calculates the retracted position F2 after rough grinding, and calculates the retracted position F2.
The whetstone base 13 is retracted to 2. This retracted position F2 is calculated as follows. When the same workpiece W is being ground or two consecutive workpieces W are being ground and the sharpness of the grinding wheel 19 has not changed much, the remaining grinding amount is the grinding wheel 19 per one rotation of the workpiece. Since it is proportional to the cutting feed amount of, the following formula 8 is obtained.

【００６９】[0069]

【数８】Ｚ２／Ｕ２＝Ｚ３／Ｕ３ 但し Ｚ２，Ｚ３：それぞれ第２粗研削及び微研削終了
時における研削残量（直径に換算） 従って、微研削終了時の研削残量Ｚ３は次式９のように
なり、この値を引き続き行う微研削終了時の研削残量の
予測値Ｙ３とする。## EQU00008 ## Z2 / U2 = Z3 / U3 where Z2 and Z3: Grinding residual amount (converted to diameter) at the end of the second rough grinding and fine grinding, respectively. Then, this value is used as the predicted value Y3 of the remaining grinding amount at the end of the fine grinding that is subsequently performed.

【００７０】[0070]

【数９】Ｚ３＝Ｚ２・Ｕ３／Ｕ２＝Ｙ３ 粗研削後の砥石台１３の後退位置Ｆ２は、この予測値Ｙ
３を使用して次の式１０により演算される。[Formula 9] Z3 = Z2 · U3 / U2 = Y3 The retracted position F2 of the wheel head 13 after the rough grinding is the predicted value Y.
It is calculated by the following Expression 10 using 3.

【００７１】[0071]

【数１０】Ｆ２＝Ｅ２−Ｙ３／２ 但し Ｅ２：粗研削完了時点における計測装置２４によ
り計測された被研削面Ｗａの径に対応する砥石台１３の
位置 ＣＰＵ３１は、ステップＳ２１９でこのようにして微研
削終了時の研削残量の予測値Ｙ３に基づき後退位置Ｆ２
を演算して、この後退位置Ｆ２まで砥石台１３を後退さ
せる。[Equation 10] F2 = E2-Y3 / 2 However, E2: Position of the grinding wheel head 13 corresponding to the diameter of the surface to be ground Wa measured by the measuring device 24 at the time of completion of rough grinding. Retreat position F2 based on the predicted value Y3 of the remaining grinding amount at the end of fine grinding
Is calculated, and the grindstone base 13 is retracted to the retracted position F2.

【００７２】ステップＳ２１５の補正値算出及び砥石台
位置補正がなされてからステップＳ２１９までの作動状
態を図１７により説明すれば、次の通りである。第２粗
研削では位置検出器２５により検出される砥石台１３の
位置は線Ｅ３に示すように早い切込み送り速度で減少
し、被研削面Ｗａは砥石車１９により研削がされて、計
測装置２４により計測される被研削面Ｗａの直径も減少
する。この早い切込み速度により、工作物Ｗの研削残量
は急激に増大する。計測装置２４により検出される被研
削面Ｗａの径がステップＳ２１０で演算された第２粗研
削完了径Ｄ２に達すれば、砥石台１３は線Ｅ４に示すよ
うに後退位置Ｆ２まで後退され、これにより研削残量は
急激に減少して微研削終了時の研削残量の予測値Ｙ３に
なる。この結果、工作物Ｗには微研削に必要な撓みが加
えられており、砥石台１３を微研削送り（ステップＳ２
２０）すると、直ちに工作物Ｗの微研削が開始される。The operation state from the calculation of the correction value and the grinding wheel head position correction in step S215 to step S219 will be described with reference to FIG. In the second rough grinding, the position of the grinding wheel base 13 detected by the position detector 25 decreases at a high cutting feed rate as shown by the line E3, and the grinding surface Wa is ground by the grinding wheel 19 and the measuring device 24 The diameter of the surface to be ground Wa measured by is also reduced. Due to this high cutting speed, the remaining amount of grinding of the workpiece W rapidly increases. When the diameter of the surface to be ground Wa detected by the measuring device 24 reaches the second rough grinding completion diameter D2 calculated in step S210, the grinding wheel head 13 is retracted to the retracted position F2 as indicated by the line E4. The remaining amount of grinding sharply decreases to a predicted value Y3 of the remaining amount of grinding at the end of fine grinding. As a result, the work piece W is flexed for fine grinding, and the grindstone 13 is fed by fine grinding (step S2).
20) Then, the fine grinding of the workpiece W is immediately started.

【００７３】図１６のフローチャートの説明の続きに戻
り、ＣＰＵ３１はステップＳ２１９に引き続き、後退位
置Ｆ２から砥石台１３を前進させてステップＳ２２０の
微研削を実施する。微研削では砥石台１３の位置は後退
位置Ｆ３から図１７の線Ｅ５に示すように低い切込み送
り速度で減少し、計測装置２４により計測される被研削
面Ｗａの径は次第に減少する。微研削が進行し被研削面
Ｗａの径が仕上目標径Ｄに達すれば、ＣＰＵ３１はステ
ップＳ２２１において微研削が完了したと判断して制御
動作をステップＳ２２２に進め、図１７の線Ｅ６に示す
ように砥石台１３を原位置に後退させて図１６のフロー
チャートに示す加工プログラムを終了する。Returning to the continuation of the explanation of the flow chart of FIG. 16, the CPU 31 continues to step S219 and advances the grindstone base 13 from the retracted position F2 to carry out the fine grinding of step S220. In fine grinding, the position of the wheel head 13 decreases from the retracted position F3 at a low cutting feed rate as shown by the line E5 in FIG. 17, and the diameter of the grinding surface Wa measured by the measuring device 24 gradually decreases. When the fine grinding progresses and the diameter of the surface to be ground Wa reaches the finishing target diameter D, the CPU 31 determines in step S221 that the fine grinding is completed, advances the control operation to step S222, and as shown by line E6 in FIG. Then, the grindstone base 13 is retracted to the original position, and the machining program shown in the flowchart of FIG. 16 is terminated.

【００７４】ステップＳ２１７の第２粗研削が完了した
時点では、計測装置２４による被研削面Ｗａの計測値は
Ｄ２（＝Ｄ＋Ｕ２＋２・Ｕ３・Ｎ３）であるが、被研削
面Ｗａの形状は図１８に誇張して示すような渦巻線の一
部である。この状態では、工作物Ｗの回転軸線Ｏと砥石
車１９の研削点の距離は（Ｄ＋２・Ｕ３・Ｎ３）／２で
あるが計測装置２４から得られる信号は Ｄ＋Ｕ２＋２
・Ｕ３・Ｎ３ である。この状態のまま工作物Ｗを回転
させて破線で示す真円とした場合の工作物Ｗの直径は
Ｄ＋２・Ｕ３・Ｎ３ である。この状態から計測装置２
４による被研削面Ｗａの計測値が仕上目標径Ｄに達する
微研削完了時点までの間に、工作物Ｗは微研削時におい
て所定の仕上げ状態の被研削面Ｗａを作るのに必要な回
転数Ｎ３とほゞ等しい回転数だけ回転する。At the time point when the second rough grinding is completed in step S217, the measured value of the ground surface Wa by the measuring device 24 is D2 (= D + U2 + 2.U3.N3), but the shape of the ground surface Wa is as shown in FIG. It is part of a spiral as shown exaggeratedly. In this state, the distance between the rotation axis O of the workpiece W and the grinding point of the grinding wheel 19 is (D + 2 · U3 · N3) / 2, but the signal obtained from the measuring device 24 is D + U2 + 2.
・ U3 and N3. The diameter of the workpiece W when the workpiece W is rotated in this state to form a perfect circle indicated by the broken line is
D + 2 · U3 · N3. From this state, the measuring device 2
By the time the fine grinding is completed when the measured value of the ground surface Wa according to No. 4 reaches the target finishing diameter D, the number of rotations of the workpiece W required for producing the ground surface Wa in a predetermined finishing state during the fine grinding. It rotates about the same number of revolutions as N3.

【００７５】上述のようにして１本目の加工が終了すれ
ば、工作物Ｗを次のものと取り替えて、図３のメインプ
ログラムのステップＳ６に示す第２本目以後の加工が行
われる。この２本目以後の加工は、図１６の代わりに図
１９のフローチャートに示すインプロセスゲージ加工用
プログラムによりなされる。When the first machining is completed as described above, the workpiece W is replaced with the next one, and the second and subsequent machining shown in step S6 of the main program of FIG. 3 is performed. The second and subsequent machining is performed by the in-process gauge machining program shown in the flowchart of FIG. 19 instead of FIG.

【００７６】図１９に示すフローチャートは、図１６に
示す１本目の研削加工からステップＳ２１３〜Ｓ２１６
を省略したものである。すなわち２本目以後の研削加工
では、スパークアウトによる補正値算出及び砥石台位置
補正は行われず、粗研削は１回しか行われない。その代
わり微研削を終了して砥石台１３を早送り後退する前
に、工作物Ｗを連続して加工するにつれて上昇する温度
による熱変位補正するために、ステップＳ２２１Ａにお
いて補正値算出及び砥石台位置補正を行う。この補正値
算出は、微研削終了時点に計測装置２４により計測した
被研削面Ｗｂの外径と位置検出器２５により検出した砥
石台１３の位置の差（図２１のｄ参照）を取り出すこと
により行われ、砥石台位置補正は位置検出器２５の出力
値（砥石台１３の切込み送り位置）をこの差の分だけセ
ンサコントローラ４２において補正することにより行わ
れる。この場合の作動状態を図１７により示せば、ステ
ップＳ２１１の砥石台早送りは線Ｅ０、ステップＳ２１
２の粗研削は線Ｅ１及びＥ３ａ、ステップＳ２１９の後
退は線Ｅ４ａ、ステップＳ２２０の微研削は線Ｅ５ａ、
ステップＳ２２２の砥石台後退は線Ｅ６ａの通りであ
る。The flowchart shown in FIG. 19 shows steps S213 to S216 from the first grinding process shown in FIG.
Is omitted. That is, in the second and subsequent grinding processes, the correction value calculation by spark out and the wheel head position correction are not performed, and the rough grinding is performed only once. Instead, in order to correct the thermal displacement due to the temperature rising as the workpiece W is continuously machined before finishing the fine grinding and retreating the grinding wheel head 13 fast-forwarding, the correction value is calculated and the wheel head position is corrected in step S221A. I do. This correction value calculation is performed by taking out the difference (see d in FIG. 21) between the outer diameter of the surface Wb to be ground measured by the measuring device 24 and the position of the wheel head 13 detected by the position detector 25 at the end of fine grinding. The position of the grinding wheel head is corrected by correcting the output value of the position detector 25 (the cutting feed position of the wheel head 13) by the sensor controller 42 by the difference. If the operating state in this case is shown in FIG. 17, the grindstone rapid traverse in step S211 is line E0, step S21.
2 are lines E1 and E3a for rough grinding, line E4a for step S219 receding, and line E5a for step S220 fine grinding.
The retreat of the wheel head in step S222 is as shown by line E6a.

【００７７】この第３実施例によれば、微研削時の研削
量は必要な最低値であり従って被研削面Ｗａの径が仕上
目標径Ｄに達するまでの微研削時間は短いが、微研削開
始時の研削残量は微研削終了時の研削残量の予測値Ｙ３
であるので、研削残量はこの短い微研削時間の間にほゞ
一定値に収束する。従って、被研削面Ｗａの面粗度及び
真円度などの仕上げ状態は所望のものが得られる。なお
微研削量の減少の分だけ粗研削量は増大するが、粗研削
における送り速度は大であるので粗研削時間の増大は僅
かであり、従って砥石車の切れ味の変化による研削時間
全体のばらつきの増大も僅かである。従って、１本の工
作物を加工するためのサイクルタイムが減少すると共に
サイクルタイムのばらつきは減少する。According to the third embodiment, the grinding amount at the time of fine grinding is the required minimum value, and therefore the fine grinding time until the diameter of the surface to be ground Wa reaches the target finish diameter D is short, but fine grinding is performed. The remaining grinding amount at the start is the predicted value Y3 of the remaining grinding amount at the end of fine grinding.
Therefore, the remaining amount of grinding converges to a substantially constant value during this short fine grinding time. Therefore, desired finishing conditions such as surface roughness and roundness of the surface Wa to be ground can be obtained. The amount of rough grinding increases as the amount of fine grinding decreases, but since the feed rate in rough grinding is large, the increase in rough grinding time is small.Therefore, variations in overall grinding time due to changes in the sharpness of the grinding wheel are significant. Is also small. Therefore, the cycle time for machining one workpiece is reduced and the variation in cycle time is reduced.

【００７８】また、上述の第３実施例において図１６に
示す１本目の加工に使用するフローチャートの代わりに
１本目から図１９に示すフローチャートを実行してもよ
い。なお、この場合においては、ステップＳ２１８にて
取り出される研削残量には熱変位による砥石台１３の誤
差も含まれているため、ステップＳ２１９にて実行され
る後退位置の演算及び後退については工作物Ｗの撓みを
全て除去するまでには至らない場合や工作物Ｗから離れ
てしまう場合があるため、この後にステップＳ２２０で
実施される微研削が図１７のＥ５ａよりさらに低速にて
行わせ、微研削による撓みがある場合には徐々に減少さ
せ計測装置２４からの計測値が仕上目標値Ｄに達したと
きに撓みがなくなるようにし、このような状態で砥石台
１３の位置を位置検出器２５の出力で検出して熱変位補
正を行えばよい。但し、このように１本目から図１９に
示すフローチャートを実行した場合には微研削の送り速
度が遅くなるため、サイクルタイムは第１，第２および
第３実施例と比較して長くなる。Further, instead of the flow chart used for the first machining shown in FIG. 16 in the above-mentioned third embodiment, the flow charts shown from the first machining to FIG. 19 may be executed. In this case, since the remaining grinding amount taken out in step S218 includes an error of the grinding wheel head 13 due to thermal displacement, the retreat position calculation and the retreat executed in step S219 are performed on the workpiece. Since it may not be possible to completely remove the deflection of W or the workpiece W may be separated from the workpiece W, after that, the fine grinding performed in step S220 is performed at a lower speed than E5a in FIG. If there is a bending due to grinding, the bending is gradually reduced so that the bending is eliminated when the measured value from the measuring device 24 reaches the finishing target value D. In such a state, the position of the wheel head 13 is detected by the position detector 25. The thermal displacement correction may be performed by detecting with the output of. However, when the flow chart shown in FIG. 19 is executed from the first piece in this way, the feed rate of the fine grinding becomes slower, so the cycle time becomes longer than in the first, second and third embodiments.

【００７９】次に第４実施例の説明をする。この第４実
施例では図３のメインプログラムは前記各実施例と同じ
であり、第１段目と第２段目の研削加工を行っている。
第１本目の第１段目の研削加工は第３実施例と同じであ
り、第２段目の研削加工は間接定寸によるコンタリング
加工である。次にこれを図２０により説明する。Next, the fourth embodiment will be described. In the fourth embodiment, the main program of FIG. 3 is the same as that in each of the above-mentioned embodiments, and the first and second steps of grinding are performed.
The first-stage first-stage grinding process is the same as in the third embodiment, and the second-stage grinding process is a contouring process by indirect sizing. Next, this will be described with reference to FIG.

【００８０】図２０に示すように、第４実施例では、実
施に使用する研削盤の砥石台１３上に軸支された砥石車
１９は、工作物テーブル１２の移動方向Ｚと砥石台１３
の移動方向Ｘの両方に対し傾斜した軸線回りに回転駆動
されて、Ｚ方向と並行な研削面１９ａにより工作物Ｗの
外周面となる被研削面Ｗａ及び被研削面Ｗｂを研削し、
Ｘ方向と並行な研削面１９ｂにより端面となる被研削面
Ｗｄを研削するようになっている。As shown in FIG. 20, in the fourth embodiment, the grinding wheel 19 axially supported on the grindstone base 13 of the grinder used for the practical use has a movement direction Z of the workpiece table 12 and the grindstone base 13.
Is driven to rotate about an axis inclined with respect to both the moving directions X, and the ground surface Wa and the ground surface Wb which are the outer peripheral surface of the workpiece W are ground by the grinding surface 19a parallel to the Z direction,
The grinding surface 19b, which is parallel to the X direction, grinds the end surface Wd to be ground.

【００８１】この第４実施例の第１段目の研削加工で
は、工作物Ｗの被研削面Ｗａの研削加工を砥石車１９の
研削面１９ａにより行い、上述した第１実施例のインプ
ロセスゲージを使った研削加工と実質的に同じである。
すなわち、砥石台１３に先ず早送り、次いで第１粗研削
送りを与え、一点鎖線１９Ｂに示すように砥石車１９の
研削面１９ａを被研削面Ｗａに係合して第１粗研削を行
った後スパークアウトを行い、補正値算出及び砥石台位
置補正を行う。次いで第２粗研削を行い、被研削面Ｗａ
の径が第２粗研削完了径Ｄ２に達して第２粗研削が完了
すれば後退位置Ｆ２を演算してその位置まで砥石台１３
を後退させ、次いで微研削送りを与えて微研削を行い、
被研削面Ｗａの径が仕上目標径Ｄに達して微研削が完了
すれば砥石台１３を原位置まで後退させる。In the first stage grinding of the fourth embodiment, the grinding surface Wa of the workpiece W is ground by the grinding surface 19a of the grinding wheel 19, and the in-process gauge of the first embodiment described above is used. Is substantially the same as the grinding process using.
That is, after first fast-feeding the grindstone base 13 and then applying the first rough grinding feed, the grinding surface 19a of the grinding wheel 19 is engaged with the surface Wa to be ground as shown by the alternate long and short dash line 19B to perform the first rough grinding. Spark out, calculate the correction value and correct the wheel head position. Next, the second rough grinding is performed, and the surface to be ground Wa
If the diameter reaches the second rough grinding completion diameter D2 and the second rough grinding is completed, the retracted position F2 is calculated and the grinding wheel head 13 is reached to that position.
Back, then give a fine grinding feed to perform fine grinding,
When the diameter of the surface to be ground Wa reaches the finishing target diameter D and the fine grinding is completed, the grindstone base 13 is retracted to the original position.

【００８２】次に、第２段目の研削加工による、被研削
面Ｗｂ，Ｗｄ，Ｗｅのコンタリング研削加工の説明をす
る。第１段目の研削加工により原位置１９Ａに戻った砥
石車１９は、工作物テーブル１２を所定量左進させるこ
とにより工作物Ｗに対し１９Ｃの位置に位置決めされ
る。この位置から工作物テーブル１２と砥石台１３に送
りを与えることにより、砥石車１９は工作物Ｗに対し傾
斜したＶ１方向に送られて二点鎖線１９Ｄで示す位置に
移動される。この位置では砥石車１９の角部１９ｃは工
作物Ｗの隅アール部Ｗｅの開始位置に位置し、研削面１
９ｂは被研削面Ｗｄに所定量切り込まれる。この位置か
ら工作物テーブル１２と砥石台１３に送りを与えること
により、砥石車１９は工作物Ｗに対し所定の円弧Ｖ２に
沿って三点鎖線１９Ｅで示す位置まで移動され、隅アー
ル部Ｗｅの研削加工がなされる。以上の作動において
は、第１実施例の場合の間接定寸による研削加工と同
様、工作物テーブル１２と砥石台１３には、（目標位置
−現在位置）に基づき送りが与えられる。この期間の最
後に研削面１９ａによる被研削面Ｗｂの研削がなされ、
その後に砥石台１３を後退させる。Next, the contouring grinding process of the surfaces Wb, Wd and We to be ground by the second stage grinding process will be described. The grinding wheel 19 returned to the original position 19A by the first-stage grinding process is positioned at a position 19C with respect to the workpiece W by moving the workpiece table 12 left by a predetermined amount. By feeding the work table 12 and the grindstone base 13 from this position, the grinding wheel 19 is fed in the V1 direction inclined with respect to the work W and moved to the position indicated by the chain double-dashed line 19D. In this position, the corner portion 19c of the grinding wheel 19 is located at the start position of the corner rounded portion We of the workpiece W, and the grinding surface 1
9b is cut into the ground surface Wd by a predetermined amount. By feeding the work table 12 and the grindstone base 13 from this position, the grinding wheel 19 is moved with respect to the work W along a predetermined arc V2 to a position indicated by a three-dot chain line 19E, and the corner rounded portion We Grinding is done. In the above operation, similarly to the grinding process by the indirect sizing in the case of the first embodiment, the work table 12 and the grindstone base 13 are fed based on (target position-current position). At the end of this period, the surface Wb to be ground is ground by the ground surface 19a,
After that, the grindstone base 13 is retracted.

【００８３】以上に述べた各実施例においては、インプ
ロセスゲージ加工用プログラムの第１粗研削の終了後に
スパークアウトを行い、このスパークアウトの終了直後
の時点において、位置検出器２５により検出された砥石
台１３の送り位置と計測装置２４により計測された被研
削面Ｗａの外径に基づいて工作物Ｗと砥石台１３の間の
熱変位量を算出し、位置検出器２５により検出された砥
石台１３の送り位置を、前述のように算出した熱変位量
により補正し、これにより検出される砥石台１３の送り
位置の熱変位による誤差は補償される。しかもこの補正
が行われるスパークアウトの終了時点においては、研削
抵抗は僅かであるので工作物Ｗ等の撓みは実質的に０で
あり、従って工作物Ｗ等の撓みによる砥石台１３の送り
位置の誤差は除かれ、このような誤差に伴う加工誤差を
除くことができる。In each of the embodiments described above, spark-out is performed after the completion of the first rough grinding of the in-process gauge machining program, and the position detector 25 detects the spark-out immediately after the spark-out. The amount of thermal displacement between the workpiece W and the grindstone 13 is calculated based on the feed position of the grindstone 13 and the outer diameter of the grinding surface Wa measured by the measuring device 24, and the grindstone detected by the position detector 25 is calculated. The feed position of the base 13 is corrected by the thermal displacement amount calculated as described above, and the error due to the thermal displacement of the feed position of the grindstone base 13 detected by this is compensated. Moreover, at the end of the spark-out when this correction is performed, the grinding resistance is small, so that the deflection of the workpiece W or the like is substantially zero, and therefore the feed position of the grindstone 13 due to the deflection of the workpiece W or the like is changed. The error is removed, and the processing error caused by such an error can be removed.

【００８４】なお、上記各実施例では、工作物Ｗと砥石
台１３の間の熱変位量の検出は、インプロセスゲージ用
加工プログラムの第１粗研削と第２粗研削の間（または
粗研削の途中）に行っているが、インプロセスゲージに
よる加工中であれば、その他の時期に行っても差し支え
ない。In each of the above embodiments, the amount of thermal displacement between the workpiece W and the grindstone 13 is detected during the first rough grinding and the second rough grinding of the machining program for the in-process gauge (or rough grinding). However, as long as it is being processed by the in-process gauge, it can be done at other times.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】 本発明による研削装置の構成を示す図であ
る。FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a grinding apparatus according to the present invention.

【図２】 本発明による研削装置の各実施例に共通な全
体構成を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing an overall configuration common to each embodiment of the grinding apparatus according to the present invention.

【図３】 本発明による研削装置の第１実施例の全体を
制御するメインプログラムの一例を示すフローチャート
である。FIG. 3 is a flowchart showing an example of a main program for controlling the entire first embodiment of the grinding apparatus according to the present invention.

【図４】 第１実施例における１本目の工作物の加工に
使用するインプロセスゲージ用加工プログラムを示すフ
ローチャートである。FIG. 4 is a flowchart showing a machining program for an in-process gauge used for machining the first workpiece in the first embodiment.

【図５】 第１実施例に使用する補正値算出プログラム
を示すフローチャートである。FIG. 5 is a flowchart showing a correction value calculation program used in the first embodiment.

【図６】 第１実施例に使用する間接定寸用加工プログ
ラムを示すフローチャートである。FIG. 6 is a flowchart showing a machining program for indirect sizing used in the first embodiment.

【図７】 第１実施例における２本目以後の工作物の加
工に使用するインプロセスゲージ用加工プログラムを示
すフローチャートである。FIG. 7 is a flowchart showing an in-process gauge machining program used for machining the second and subsequent workpieces in the first embodiment.

【図８】 第１実施例の全体的作動の説明図である。FIG. 8 is an explanatory diagram of the overall operation of the first embodiment.

【図９】 第１実施例の作動の説明図である。FIG. 9 is an explanatory diagram of an operation of the first embodiment.

【図１０】 研削装置における砥石台位置と被研削面直
径との関係の説明図である。FIG. 10 is an explanatory diagram of a relationship between a wheel head position and a diameter of a surface to be ground in the grinding device.

【図１１】 第１実施例の変形例の作動の説明図であ
る。FIG. 11 is an explanatory diagram of an operation of a modified example of the first embodiment.

【図１２】 第２実施例に使用するインプロセスゲージ
用加工プログラムの一部を示すフローチャートである。FIG. 12 is a flowchart showing a part of a machining program for an in-process gauge used in the second embodiment.

【図１３】 第２実施例に使用するインプロセスゲージ
用加工プログラムの残りの部分を示すフローチャートで
ある。FIG. 13 is a flowchart showing the remaining part of the in-process gauge machining program used in the second embodiment.

【図１４】 第２実施例に使用する演算チェック修正プ
ログラムの一部を示すフローチャートである。FIG. 14 is a flowchart showing a part of a calculation check correction program used in the second embodiment.

【図１５】 第２実施例に使用する演算チェック修正プ
ログラムの残りの部分を示すフローチャートである。FIG. 15 is a flowchart showing the remaining part of the calculation check correction program used in the second embodiment.

【図１６】 第３実施例における１本目の工作物の加工
に使用するインプロセスゲージ用加工プログラムを示す
フローチャートである。FIG. 16 is a flowchart showing a machining program for an in-process gauge used for machining the first workpiece in the third embodiment.

【図１７】 第３実施例の全体的作動の説明図である。FIG. 17 is an explanatory diagram of the overall operation of the third embodiment.

【図１８】 第３実施例の粗研削完了時点における被研
削面及びその近傍を示す説明図である。FIG. 18 is an explanatory diagram showing a surface to be ground and its vicinity at the time of completion of rough grinding in the third embodiment.

【図１９】 第３実施例における２本目以後の工作物の
加工に使用するインプロセスゲージ用加工プログラムを
示すフローチャートである。FIG. 19 is a flowchart showing a machining program for an in-process gauge used for machining the second and subsequent workpieces in the third embodiment.

【図２０】 第４実施例の要部の説明図である。FIG. 20 is an explanatory diagram of a main part of the fourth embodiment.

【図２１】 従来の研削装置の作動の説明図である。FIG. 21 is an explanatory diagram of the operation of the conventional grinding device.

【図２２】 本発明が対象とする研削装置の一例の主要
部を示す図である。FIG. 22 is a diagram showing a main part of an example of a grinding device targeted by the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１３…砥石台、１９…砥石車、１００…駆動手段、１１
０…位置検出手段、１２０…計測手段、１３０…制御手
段、１４０…撓み除去手段、１５０…演算手段、１６０
…補正手段、Ｗ…工作物、Ｗａ…被研削面。13 ... Grinding stone base, 19 ... Grinding wheel, 100 ... Driving means, 11
0 ... Position detecting means, 120 ... Measuring means, 130 ... Control means, 140 ... Deflection removing means, 150 ... Computing means, 160
... correction means, W ... workpiece, Wa ... surface to be ground.

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】モータにより回転駆動される砥石車を有す
る砥石台と、前記砥石車とこれにより研削される工作物
が互いに接近離間する方向に前記砥石台と工作物を相対
移動させる駆動手段と、前記工作物に対する前記砥石台
の位置を検出する位置検出手段と、研削中に工作物の被
研削面の外径を計測する計測手段と、前記駆動手段を作
動させて前記砥石車により工作物の被研削面の外径を研
削する制御手段と、前記制御手段にて研削中に発生する
工作物の撓みを除去する撓み除去手段と、前記撓み除去
手段にて工作物の撓みを除去した状態で前記位置検出手
段により検出された前記砥石台の位置と前記計測手段に
より計測された工作物の被研削面の外径に基づいて工作
物に対する前記砥石台の熱変位量を算出する演算手段
と、前記位置検出手段により検出される砥石台の位置を
前記演算手段により算出された熱変位量に基づき補正す
る補正手段とを備えたことを特徴とする研削装置。1. A grindstone base having a grindstone wheel driven to rotate by a motor, and a drive means for relatively moving the grindstone mount and the workpiece in a direction in which the grindstone wheel and a workpiece ground by the grindstone wheel move toward and away from each other. Position detecting means for detecting the position of the grindstone base with respect to the workpiece, measuring means for measuring the outer diameter of the surface to be ground of the workpiece during grinding, and the driving means to operate the workpiece by the grinding wheel. Control means for grinding the outer diameter of the surface to be ground, deflection removing means for removing the deflection of the workpiece generated during grinding by the control means, and a state in which the deflection of the workpiece is removed by the deflection removing means. And a calculation means for calculating a thermal displacement amount of the grinding wheel base with respect to the workpiece based on the position of the grinding wheel base detected by the position detection means and the outer diameter of the ground surface of the workpiece measured by the measuring means. , The position detection hand Grinding apparatus, wherein a wheel head position is detected and a correction means for correcting, based on the thermal displacement amount calculated by said calculating means by. 【請求項２】前記撓み除去手段が制御手段による研削の
途中で工作物に対する前記砥石台の移動を一旦停止させ
てスパークアウトを行うスパークアウト手段である特許
請求の範囲の請求項１に記載の研削装置。2. The method according to claim 1, wherein the deflection removing means is a spark-out means for performing a spark-out by temporarily stopping the movement of the wheel head with respect to the workpiece during the grinding by the control means. Grinding equipment. 【請求項３】熱変位補正が必要か否かを判定する判定手
段と、この判定手段の判定結果に基づいて熱変位補正が
必要と判定した場合のみ前記撓み除去手段と演算手段を
実行する実行手段を備えた特許請求の範囲の請求項１お
よび請求項２に記載の研削装置。3. Determining means for determining whether or not the thermal displacement correction is necessary, and executing the deflection removing means and the computing means only when it is determined that the thermal displacement correction is necessary based on the determination result of the determining means. The grinding apparatus according to claim 1 and claim 2, which is provided with means. 【請求項４】モータにより回転駆動される砥石車を有す
る砥石台と、前記砥石車とこれにより研削される工作物
が互いに接近離間する方向に前記砥石台と工作物を相対
移動させる駆動手段と、前記工作物に対する前記砥石台
の位置を検出する位置検出手段と、研削中に工作物の被
研削面の外径を計測する計測手段と、前記駆動手段を作
動させて前記砥石車により工作物の被研削面の外径を研
削する制御手段と、前記制御手段による研削の途中で工
作物に対する前記砥石台の移動を一旦停止させてスパー
クアウトを行うスパークアウト手段と、前記スパークア
ウト手段のスパークアウトの終了直後に前記位置検出手
段により検出された前記砥石台の位置と前記計測手段に
より計測された工作物の被研削面の外径に基づいて工作
物に対する前記砥石台の熱変位量を算出する第１の演算
手段と、前記制御手段の研削完了時において前記位置検
出手段により検出された前記砥石台の位置と前記計測手
段により計測された工作物の被研削面の外径に基づいて
工作物に対する前記砥石台の熱変位量を算出する第２の
演算手段と、熱変位補正が必要か否かを判定する判定手
段と、前記位置検出手段により検出される砥石台の位置
を前記第１もしくは第２の演算手段により算出された熱
変位量に基づき補正する補正手段と、前記判定手段の判
定結果に基づいて熱変位補正が必要と判定した場合には
前記スパークアウト手段と第１の演算手段および補正手
段を実行し、熱変位補正が必要ないと判定した場合には
前記第２の演算手段と補正手段を実行する実行手段とを
備えたことを特徴とする研削装置。4. A grindstone base having a grindstone wheel that is driven to rotate by a motor, and drive means for relatively moving the grindstone base and the workpiece in a direction in which the grindstone wheel and a workpiece ground by the grindstone move toward and away from each other. Position detecting means for detecting the position of the grindstone base with respect to the workpiece, measuring means for measuring the outer diameter of the surface to be ground of the workpiece during grinding, and the driving means to operate the workpiece by the grinding wheel. Control means for grinding the outer diameter of the surface to be ground, a spark-out means for temporarily stopping the movement of the wheel head relative to the workpiece during the grinding by the control means, and a spark-out, and a spark-out means of the spark-out means. Immediately after the end of the out, the grinding for the workpiece is performed based on the position of the grinding wheel head detected by the position detecting means and the outer diameter of the surface to be ground of the workpiece measured by the measuring means. First calculation means for calculating the amount of thermal displacement of the table, the position of the grinding wheel base detected by the position detection means when the grinding of the control means is completed, and the ground surface of the workpiece measured by the measurement means Second computing means for calculating the amount of thermal displacement of the grindstone base relative to the workpiece based on the outer diameter of the workpiece, determining means for determining whether or not thermal displacement correction is necessary, and the grindstone detected by the position detecting means. The correction means for correcting the position of the table based on the thermal displacement amount calculated by the first or second calculating means, and the spark when the thermal displacement correction is determined to be necessary based on the determination result of the determination means. The present invention is characterized in that the output means, the first calculation means and the correction means are executed, and the second calculation means and the execution means for executing the correction means are provided when it is determined that the thermal displacement correction is not necessary. Grinding equipment.