JPH06333902A - 洗浄装置 - Google Patents
洗浄装置Info
- Publication number
- JPH06333902A JPH06333902A JP11612193A JP11612193A JPH06333902A JP H06333902 A JPH06333902 A JP H06333902A JP 11612193 A JP11612193 A JP 11612193A JP 11612193 A JP11612193 A JP 11612193A JP H06333902 A JPH06333902 A JP H06333902A
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- liquid
- chemical
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】半導体基板・液晶デバイスの洗浄・エッチング
を行う処理槽の薬液の液面検出を行う洗浄装置に関し、
非洗浄物の洗浄・エッチングする工程での処理槽内の薬
液の液面検出する際に、窒素の圧力変動等に起因した誤
判定を防止し、安定した液面管理が出来る洗浄装置を提
供する。 【構成】処理槽内にウキ式液面検出部とウキ式液面検出
できる手段より構成し、薬液の液面の高さを検出する。
薬液２を入れる処理槽１と薬液２を循環濾過するため
の、循環ポンプ４・フィルタ−５・配管３と、薬液２を
給廃液するための給液用エア−バルブ７と廃液用エア−
バルブ６、液面下限検出光電センサ−８・液面定量検出
光電センサ−９・液面上限検出光電センサ−１０・ウキ
式液面検出部１１・ウキ式液面検出部１１を支持するウ
キ式液面検出部支持１２、液面下限検出・液面定量検出
・液面上限検出をするための遮蔽板１３より構成する。
を行う処理槽の薬液の液面検出を行う洗浄装置に関し、
非洗浄物の洗浄・エッチングする工程での処理槽内の薬
液の液面検出する際に、窒素の圧力変動等に起因した誤
判定を防止し、安定した液面管理が出来る洗浄装置を提
供する。 【構成】処理槽内にウキ式液面検出部とウキ式液面検出
できる手段より構成し、薬液の液面の高さを検出する。
薬液２を入れる処理槽１と薬液２を循環濾過するため
の、循環ポンプ４・フィルタ−５・配管３と、薬液２を
給廃液するための給液用エア−バルブ７と廃液用エア−
バルブ６、液面下限検出光電センサ−８・液面定量検出
光電センサ−９・液面上限検出光電センサ−１０・ウキ
式液面検出部１１・ウキ式液面検出部１１を支持するウ
キ式液面検出部支持１２、液面下限検出・液面定量検出
・液面上限検出をするための遮蔽板１３より構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体基板・液晶デバ
イスの洗浄・エッチングを行う処理槽の薬液の液面検出
を行う洗浄装置に関するものである。
イスの洗浄・エッチングを行う処理槽の薬液の液面検出
を行う洗浄装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図２に示す、従来の処理槽内の薬液の液
面を検出する洗浄装置の構成は、薬液２を入れる処理槽
１と薬液２を循環濾過するための、循環ポンプ４・フィ
ルタ−５・配管３と、薬液２を給廃液するための給液用
エア−バルブ７と廃液用エア−バルブ６と窒素の圧力を
利用した液面下限検出センサ−８・液面定量検出センサ
−９・液面上限検出センサ−１０より構成される。
面を検出する洗浄装置の構成は、薬液２を入れる処理槽
１と薬液２を循環濾過するための、循環ポンプ４・フィ
ルタ−５・配管３と、薬液２を給廃液するための給液用
エア−バルブ７と廃液用エア−バルブ６と窒素の圧力を
利用した液面下限検出センサ−８・液面定量検出センサ
−９・液面上限検出センサ−１０より構成される。
【０００３】処理槽１に薬液２を供給する際、液面定量
検出センサ−９がＯＮしたら薬液の供給を止める。その
際、液面上限検出センサ−１０がＯＮしたら液面オ−バ
−のエラ−を出力する。薬液２を循環させるには、液面
下限検出センサ−８がＯＮしていないと循環ポンプ３が
作動しない。
検出センサ−９がＯＮしたら薬液の供給を止める。その
際、液面上限検出センサ−１０がＯＮしたら液面オ−バ
−のエラ−を出力する。薬液２を循環させるには、液面
下限検出センサ−８がＯＮしていないと循環ポンプ３が
作動しない。
【０００４】また、薬液の蒸発・デバイスの持ち出しに
よる液面レベルが低下した際、液面定量検出センサ−９
がＯＦＦしていたとき、液面定量検出センサ−９がＯＮ
するまで給液用エア−バルブ７を開け薬液２を処理槽１
に補充する。
よる液面レベルが低下した際、液面定量検出センサ−９
がＯＦＦしていたとき、液面定量検出センサ−９がＯＮ
するまで給液用エア−バルブ７を開け薬液２を処理槽１
に補充する。
【０００５】この窒素の圧力を利用した、液面下限検出
センサ−８・液面定量検出センサ−９・液面上限検出セ
ンサ−１０は、元圧の変動またはセンサ−の検出部内の
ダイヤフラムの損傷により、誤動作が発生し、洗浄装置
がエラ−を検出し停止するものであった。
センサ−８・液面定量検出センサ−９・液面上限検出セ
ンサ−１０は、元圧の変動またはセンサ−の検出部内の
ダイヤフラムの損傷により、誤動作が発生し、洗浄装置
がエラ−を検出し停止するものであった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前述の従来技
術では、窒素の圧力を利用した液面下限検出センサ−８
・液面定量検出センサ−９・液面上限検出センサ−１０
は、圧力の変動またはダイヤフラムの損傷が発生すると
誤判定するという問題が発生する。
術では、窒素の圧力を利用した液面下限検出センサ−８
・液面定量検出センサ−９・液面上限検出センサ−１０
は、圧力の変動またはダイヤフラムの損傷が発生すると
誤判定するという問題が発生する。
【０００７】そこで、本発明はこのような問題点を解決
するもので、その目的とするところは、ウキ式液面検出
部と液面検出できる手段を用い液面検出することを特徴
とする洗浄装置を提供するところにある。
するもので、その目的とするところは、ウキ式液面検出
部と液面検出できる手段を用い液面検出することを特徴
とする洗浄装置を提供するところにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の洗浄装置は、ウ
キ式液面検出部と液面検出できる手段を用い薬液の液面
検出することを手段とする。
キ式液面検出部と液面検出できる手段を用い薬液の液面
検出することを手段とする。
【０００９】
【実施例】図１は、本発明の実施例におけるフロ−図で
ある。
ある。
【００１０】本発明の構成は、薬液２を入れる処理槽１
と薬液２を循環濾過するための、循環ポンプ４・フィル
タ−５・配管３と、薬液２を給廃液するための給液用エ
ア−バルブ７と廃液用エア−バルブ６、液面下限検出光
電センサ−８・液面定量検出光電センサ−９・液面上限
検出光電センサ−１０・ウキ式液面検出部１１・ウキ式
液面検出部１１を支持するウキ式液面検出部支持１２、
液面下限検出・液面定量検出・液面上限検出をするため
の遮蔽板１３より構成する。
と薬液２を循環濾過するための、循環ポンプ４・フィル
タ−５・配管３と、薬液２を給廃液するための給液用エ
ア−バルブ７と廃液用エア−バルブ６、液面下限検出光
電センサ−８・液面定量検出光電センサ−９・液面上限
検出光電センサ−１０・ウキ式液面検出部１１・ウキ式
液面検出部１１を支持するウキ式液面検出部支持１２、
液面下限検出・液面定量検出・液面上限検出をするため
の遮蔽板１３より構成する。
【００１１】処理槽１に薬液２を供給する際、ウキ式液
面検出部１１に設けた遮蔽板１３が液面定量検出光電セ
ンサ−９を遮蔽することにより、液面定量検出光電セン
サ−９がＯＮとなり薬液２の供給を止める。その際、ウ
キ式液面検出部１１に設けた遮蔽板１３が液面上限検出
光電センサ−１０を遮蔽することにより、液面上限検出
光電センサ−１０がＯＮとなり液面オ−バ−のエラ−を
出力する。
面検出部１１に設けた遮蔽板１３が液面定量検出光電セ
ンサ−９を遮蔽することにより、液面定量検出光電セン
サ−９がＯＮとなり薬液２の供給を止める。その際、ウ
キ式液面検出部１１に設けた遮蔽板１３が液面上限検出
光電センサ−１０を遮蔽することにより、液面上限検出
光電センサ−１０がＯＮとなり液面オ−バ−のエラ−を
出力する。
【００１２】薬液２を循環濾過させるには、ウキ式液面
検出部１１に設けた遮蔽板１３が液面下限検出光電セン
サ−８を遮蔽することにより液面下限検出光電センサ−
８がＯＮとなり、循環ポンプ３が作動する。
検出部１１に設けた遮蔽板１３が液面下限検出光電セン
サ−８を遮蔽することにより液面下限検出光電センサ−
８がＯＮとなり、循環ポンプ３が作動する。
【００１３】また、薬液の蒸発・デバイスの持ち出しに
よる液面レベルが低下した際、処理槽１に薬液２を補充
するには、ウキ式液面検出部１１に設けた遮蔽板１３が
液面定量検出光電センサ−９を遮蔽していない時、遮蔽
板１３が液面定量検出光電センサ−９を遮蔽するまで、
給液用エア−バルブ７を開け薬液２を処理槽１に補充す
る。
よる液面レベルが低下した際、処理槽１に薬液２を補充
するには、ウキ式液面検出部１１に設けた遮蔽板１３が
液面定量検出光電センサ−９を遮蔽していない時、遮蔽
板１３が液面定量検出光電センサ−９を遮蔽するまで、
給液用エア−バルブ７を開け薬液２を処理槽１に補充す
る。
【００１４】ウキ式液面検出部１１・ウキ式液面検出部
支持１２・遮蔽板１３の材質は、耐薬品、耐熱性、金属
汚染の可能性ないフッ素系の樹脂を使用する。
支持１２・遮蔽板１３の材質は、耐薬品、耐熱性、金属
汚染の可能性ないフッ素系の樹脂を使用する。
【００１５】ウキ式液面検出部と液面検出光電センサ−
を使用することにより、圧力の変動または、センサ−の
検出部内のダイヤフラムの損傷に起因した誤判定の問題
が解決でき、処理槽１の薬液２において安定した液面管
理が可能となる。
を使用することにより、圧力の変動または、センサ−の
検出部内のダイヤフラムの損傷に起因した誤判定の問題
が解決でき、処理槽１の薬液２において安定した液面管
理が可能となる。
【００１６】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、薬液
の液面検出をウキ式液面検出部と液面検出できる手段を
用いることにより、圧力の変動またはセンサ−の検出部
内のダイヤフラムの損傷に起因した誤判定するという問
題がなくなり安定した液面管理が、出来るという効果を
有する。
の液面検出をウキ式液面検出部と液面検出できる手段を
用いることにより、圧力の変動またはセンサ−の検出部
内のダイヤフラムの損傷に起因した誤判定するという問
題がなくなり安定した液面管理が、出来るという効果を
有する。
【図１】 本発明の洗浄装置の処理槽フロ−図。
【図２】 従来の洗浄装置の処理槽フロ−図。
１・・・・・処理槽 ２・・・・・薬液 ３・・・・・配管 ４・・・・・循環ポンプ ５・・・・・フィルタ− ６・・・・・廃液用エア−バルブ ７・・・・・給液用エア−バルブ ８・・・・・液面下限検出光電センサ− ９・・・・・液面定量検出光電センサ− １０・・・・・液面上限検出光電センサ− １１・・・・・ウキ式液面検出部 １２・・・・・ウキ式液面検出部支持 １３・・・・・遮蔽板
Claims (1)
- 【請求項１】非洗浄物の洗浄・エッチングを行う工程に
おいて、処理槽内の薬液の液面を検出する際に、ウキ式
液面検出部と液面検出のできる手段を用い液面の検出す
ることを特徴とする洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11612193A JPH06333902A (ja) | 1993-05-18 | 1993-05-18 | 洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11612193A JPH06333902A (ja) | 1993-05-18 | 1993-05-18 | 洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06333902A true JPH06333902A (ja) | 1994-12-02 |
Family
ID=14679219
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11612193A Pending JPH06333902A (ja) | 1993-05-18 | 1993-05-18 | 洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06333902A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111520605A (zh) * | 2020-05-26 | 2020-08-11 | 东光县华宇纸箱机械有限公司 | 印刷模切用油位平衡机构 |
-
1993
- 1993-05-18 JP JP11612193A patent/JPH06333902A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111520605A (zh) * | 2020-05-26 | 2020-08-11 | 东光县华宇纸箱机械有限公司 | 印刷模切用油位平衡机构 |
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