JPH0633322U - 導入端子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 真空容器内等に高電圧を導入するに当たり、
電圧導入点における隔壁からの突出代を小さくすること
ができ、装置の小型化およひ取扱いの容易化並びに安全
性を向上させることのできる導入端子を提供する。 【構成】 内部導体と、この内部導体と隔壁との間の絶
縁を保つための外部絶縁体を備えた端子において、内部
導体の一部もしくは全部を高抵抗率材料によって形成し
た構造とする。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、例えば高電圧応用機器、電子ビーム応用装置、あるいはイオンビー ム応用装置等の、隔壁を貫いて電気的接続を行う必要のある装置に用いられる導 入端子に関する。

【０００２】

【従来の技術】

上記のような導入端子としては、一般に、電気的接続のための内部導体の周囲 を外部絶縁体で囲み、この外部絶縁体によって内部導体と隔壁との間の絶縁を保 つような構造となっている。

【０００３】 このような導入端子においては、従来、内部導体としては銅などの良導体が一 般に使用されている。このような導入端子では、端子における損失が小さく、電 力伝達、電流伝達に適しており、真空容器内への真空導入端子や高圧電源装置の 出力端子として広く使用されている。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

ところで、電子ビーム応用装置等においては、例えばその電界レンズに電位を 与えるために、高電圧のみを多数にわたって真空容器内に導入する場合がある。 このような場合、真空容器内における偶発的な放電現象等から電源機器等を保護 する目的で、真空容器の直前で直列に高抵抗を挿入するのが一般的である。その 場合、図３に例示するように、真空容器の壁体Ｗ等に対して導入端子Ｔを固着す るとともに、その導入端子Ｔの後端部に高抵抗器Ｒを接続する必要がある。

【０００５】 このような従来の導入端子Ｔを用いた構造では、例えば３０ｋＶ程度の電圧を 導入する場合において、導入端子Ｔの大気側長さが図３のようにひだ状の外部絶 縁体を用いても約１００ｍｍ程度必要となり、また、抵抗器Ｒもそれと同等以上 の長さが必要となることから、導入端子Ｔと抵抗器Ｒの大気側での合計長さＬが 真空容器の本体の大きさと比べて相当に長大となり、装置全体の小型化を妨げる ばかりでなく、取扱いや安全性の点でも問題となっている。

【０００６】 本考案はこのような点に鑑みてなされたもので、真空容器内等に高電圧を導入 するに当たり、電圧導入点における隔壁からの突出代を小さくすることができ、 もって装置の小型化および取扱いの容易化を達成することのできる導入端子の提 供を目的としている。

【０００７】

【課題を解決するための手段】

上記の目的を達成するため、本考案の導入端子は、内部導体と、この内部導体 と隔壁との間の絶縁を保つための外部絶縁体とを備えた端子において、内部導体 の一部もしくは全部が高抵抗率材料で形成されていることによって特徴づけられ る。

【０００８】

【作用】

本来の導入端子と高抵抗器という２つの回路要素が物理的に一体化されて１つ の回路要素として纏められる。すなわち導入端子自体が高抵抗器を兼ねることに なり、高抵抗器の長さ分だけ電圧導入点における隔壁からの突出代を短縮化でき る。

【０００９】

【実施例】

図１は本考案実施例の正面図で、図２はその中央断面図である。 内部導体１は、その中央部分が例えばセラミック等の高抵抗率材料１ａによっ て形成され、その両端部には、電気接続を容易化するべく銅等の良導体１ｂおよ び１ｃが固着された構造となっている。

【００１０】 この内部導体１を囲むように外部絶縁体２がその一端部において内部導体１に 固着されている。外部絶縁体２は従来の導入端子と同等のもので、その他端部の 外周には真空容器等の壁体Ｗへの固着用のフランジ３が固着されており、内部導 体１およびフランジ３との間の気密性を保っている。

【００１１】 以上の本考案実施例は、例えば電子ビーム装置等の電子レンズに数十ｋＶ程度 の電圧を導入するような用途に適しており、導入すべき電圧が例えば３０ｋＶで ある場合には、壁体Ｗへの装着状態において大気側への突出代Ｌは約１００ｍｍ となり、従来の導入端子と高抵抗器を用いた場合には前記したように２００ｍｍ 以上を必要としていたのに比して、半分以下の突出代ですむ。

【００１２】 なお、以上の実施例では内部導体１の両端部に良導体１ｂおよび１ｃを配置し た構造として、導入端子への電気的接続を従来のものと同等に容易化した例を示 したが、本考案は特にこの構造に限定されることなく、内部導体１の全てを高抵 抗率材料１ａによって形成してもよい。また、高抵抗率材料１ａの材質としては セラミックのほか、セメント等の公知の任意の高抵抗率材料を使用し得ることは 勿論である。

【００１３】

【考案の効果】

以上説明したように、本考案によれば、導入端子の内部導体の一部または全部 を高抵抗材料によって形成しているので、真空容器等の内部に高電圧を導入する に当たり、従来のように導入端子に高抵抗器を直列接続する必要がなくなり、電 圧導入点における隔壁からの突出代がその分だけ小さくてすみ、回路の保護を達 成しつつ装置の小型化および取扱いの容易化が達成されるとともに、安全性の点 においても向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案実施例の正面図

【図２】その中央断面図

【図３】従来の導入端子を用いて真空容器内に高電圧を
導入する場合の電圧導入点における構成例の説明図

【符号の説明】

１ 内部導体 １ａ 高抵抗材料 １ｂ，１ｃ 良導体 ２ 外部絶縁体 ３ フランジ Ｗ 隔壁

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 隔壁を貫いて電気的接続を行うべく、内
   部導体と、この内部導体と隔壁との間の絶縁を保つため
   の外部絶縁体とを備えた端子において、上記内部導体の
   一部もしくは全部が高抵抗率材料によって形成されてい
   ることを特徴とする導入端子。