JPH06331405A - 振動式測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は外部振動等によるノイズを除去して
被測流体の質量流量又は密度を正確に計測するよう構成
した振動式測定装置を提供することを目的とする。 【構成】 振動式測定装置１は、直線状に延在するセン
サチューブ７，８の流入側部分を振動させる第１の加振
器１１と、第１の加振器１１に対し逆位相でセンサチュ
ーブ７，８の流出側部分を振動させる第２の加振器１２
と、センサチューブ７，８の流入側部分の変位を検出す
る第１のピックアップ１３と、センサチューブ７，８の
流出側部分の変位を検出する第２のピックアップ１４
と、センサチューブ７，８の中間部分の変位を検出する
第３のピックアップ１５と、第１のピックアップ１３又
は第２のピックアップ１４の出力信号から１次モードの
振動成分を除去してセンサチューブ７，８のコリオリ力
による２次モードの振動成分を取り出す演算回路１７
と、よりなる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は振動式測定装置に係り、
特に外部振動等によるノイズを除去して被測流体の質量
流量又は密度を計測するよう構成した振動式測定装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】流体が通過する管路を振動させて流体の
物理量を測定する振動式測定装置として、例えばコリオ
リ式質量流量計又は振動式密度計がある。

【０００３】被測流体の物理量である流量を測定する場
合、被測流体の流量は流体の種類、物性（密度、粘度な
ど）、プロセス条件（温度、圧力）によって影響を受け
ない質量で表わされることが望ましい。

【０００４】そのため、被測流体の質量流量を計測する
種々の質量流量計が開発されつつあり、その中の一つと
して振動するセンサチューブ内に流体を流したときに生
ずるコリオリの力を利用して質量流量を直接計測するコ
リオリ式質量流量計がある。この種の従来の質量流量計
の一例としては、特開昭６３−３０７２１号公報により
開示された流量計がある。この公報の質量流量計は、被
測流体が通過する際の圧力損失を低減するため直線状に
延在するセンサチューブを半径方向に振動させ、流量に
比例したコリオリ力によるセンサチューブの変位を検出
するよう構成されている。

【０００５】又、振動式密度計の場合、上記コリオリ式
質量流量計と同様な構成とされ、センサチューブの固有
振動数より流体の密度を測定する。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上記振動式測定装置で
は、センサコイルと磁石とよりなるピックアップにより
上記センサチューブの変位を検出する際、外部振動によ
りピックアップのセンサコイルからの検出信号に含まれ
るノイズ成分を充分に除去することができず、流体の温
度あるいは流体の圧力によって器差がばらつくことがあ
る。例えば、流体の圧力が上昇すると、内部圧力により
センサチューブが外側に拡径するため、センサチューブ
の剛性（弾性）が変化して共振周波数が低下し、密度の
計測精度が低下することになる。

【０００７】又、特公昭６３−３３６５６号公報にみら
れるように、センサチューブの断面形状を楕円形状にし
て被測流体の圧力による共振周波数の変化を抑えるよう
に構成されたものもある。しかるに、肉厚が一様とされ
た楕円形のセンサチューブを使用した場合、曲率半径の
大きい短径側の応力が長径側よりも大きく作用し、特に
高圧流体を計測する場合、センサチューブの短径側の強
度不足になるおそれがある。

【０００８】そこで、本発明は上記課題を解決した振動
式測定装置を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、被測流体が流
入する流入口と被測流体が流出する流出口との間で直線
状に延在するセンサチューブと、前記センサチューブの
流入側部分を半径方向に振動させる第１の加振器と、該
第１の加振器に対し逆位相で前記センサチューブの流出
側部分を半径方向に振動させる第２の加振器と、前記セ
ンサチューブの振動に伴う前記センサチューブの流入側
部分の半径方向の変位を検出する第１のピックアップ
と、前記センサチューブの振動に伴う前記センサチュー
ブの流出側部分の半径方向の変位を検出する第２のピッ
クアップと、前記センサチューブの振動に伴う前記セン
サチューブの中間部分の半径方向の変位を検出する第３
のピックアップと、前記第１のピックアップ又は前記第
２のピックアップの出力信号に含まれる外部振動による
１次モードの振動成分を前記第３のピックアップからの
出力信号により検出し、前記第１のピックアップ又は前
記第２のピックアップの出力信号から１次モードの振動
成分を除去して前記センサチューブのコリオリ力による
２次モードの振動成分を取り出す外部振動除去手段と、
よりなる。

【００１０】

【作用】センサチューブの振動に伴う変位を検出する第
１のピックアップ又は第２のピックアップの出力信号に
含まれる外部振動による１次モードの振動成分を第３の
ピックアップからの出力信号により検出し、第１のピッ
クアップ又は第２のピックアップの出力信号から１次モ
ードの振動成分を除去してセンサチューブのコリオリ力
による２次モードの振動成分を取り出すことにより、外
部ノイズにより影響を受けることなく被測流体を計測す
ることが可能になる。

【００１１】

【実施例】図１及び図２に本発明になる振動式測定装置
の一実施例を示す。

【００１２】両図中、振動式測定装置１は、コリオリ式
質量流量計あるいは振動式密度計として使用される。こ
の振動式測定装置１は円筒状のケーシング２内に被測流
体が通過する管路３を設けてなる。管路３は流入口５を
有する流入側マニホールド６と、一対のセンサチューブ
７，８と、流出口９を有する流出側マニホールド１０と
より形成されている。又、ケーシング２は流入側開口２
ａに流入側マニホールド６が嵌合され、流出側開口２ｂ
に流出側マニホールド１０が嵌合している。

【００１３】流入管５は流入側端部に上流側配管（図示
せず）に連結されるフランジ５ｂを有し、流入管５の他
端は流入側マニホールド６の上流側接続口６ａに接続さ
れている。

【００１４】流入側マニホールド６は、流入口５に連通
する連通路６ａと、センサチューブ７，８の上流側端部
が接続固定される接続口６ｂ，６ｃとを有する。連通路
６ａと接続口６ｂ，６ｃとは、互いに連通されている。

【００１５】流出側マニホールド１０は、センサチュー
ブ７，８の下流側端部が接続固定される一対の接続口１
０ａ，１０ｂと、下流側の流出口９に連通する連通路１
０ｃとを有する。又、流出側マニホールド１０の接続口
１０ａ，１０ｂと連通路１０ｃとは、互いに連通されて
いる。

【００１６】一対のセンサチューブ７，８は流体の流れ
方向（Ｘ方向）に直線状に延在し、長手方向と直交する
断面が円形とされた直管により形成され、上記流入側マ
ニホールド６と流出側マニホールド１０との間で平行に
設けられている。

【００１７】１１は第１の加振器で、ドライブコイル１
１ａと磁石１１ｂとを組み合わせてなり、実質電磁ソレ
ノイドと同様な構成である。この第１の加振器１１は一
対のセンサチューブ７，８の間に設けられており、一対
のセンサチューブ７，８の全長Ｌに対し、上流端から長
手方向上１／４の位置に設けられている。

【００１８】１２は第２の加振器で、上記第１の加振器
１１と同様な構成で一対のセンサチューブ７，８の間に
設けられており、一対のセンサチューブ７，８の全長Ｌ
に対し、長手方向上３／４の位置に設けられている。

【００１９】流量計測時、一対のセンサチューブ７，８
は第１，２の加振器１１，１２により近接、離間する方
向（Ｙ方向）に加振される。その際、第１，２の加振器
１１，１２は、夫々１８０°の位相差で駆動され、交互
に一対のセンサチューブ７，８を互いに離間させる方向
に変位させる。よって、一対のセンサチューブ７，８は
第１，２の加振器１１，１２が１８０°の位相差で駆動
されると、中間位置及び両端が節となってＳ字状又は逆
Ｓ字状になって２次モードで振動する。

【００２０】１３は上流側の第１のピックアップで、第
１の加振器１１より上流側のセンサチューブ７，８間に
設けられており、後述するように第１の加振器１１によ
り加振されたセンサチューブ７，８の上流側の相対変位
を検出する。

【００２１】１４は下流側の第２のピックアップで、第
２の加振器１２より下流側のセンサチューブ７，８間に
設けられており、後述するように第２の加振器１２によ
り加振されたセンサチューブ７，８の下流側の相対変位
を検出する。

【００２２】１５は中間位置の第３のピックアップで、
一対のセンサチューブ７，８の全長Ｌに対し、長手方向
上１／２の中間位置に設けられており、後述するように
第１，２の加振器１２により加振されたセンサチューブ
７，８の中間位置、つまり振動するセンサチューブ７，
８の節となる部分の相対変位を検出する。尚、上記ピッ
クアップ１３〜１５は夫々センサコイル１３ａ〜１５ａ
と磁石１３ｂ〜１５ｂとよりなり、実質電磁ソレノイド
と同様な構成である。

【００２３】上記一対のセンサチューブ７，８は第１，
２の加振器１１，１２が１８０°の位相差で駆動される
ため、正常に振動しているときは中間位置及び両端が節
となってＳ字状又は逆Ｓ字状になって２次モードで振動
する。しかし、外部振動（１次振動）が一対のセンサチ
ューブ７，８に伝播したときは、一対のセンサチューブ
７，８の中間位置も振動し、その振動による変位が第３
のピックアップ１５により検出される。

【００２４】１６は温度センサで、被測流体の温度に応
じたセンサチューブ７の温度を測定するためセンサチュ
ーブ７の上流端に設けられている。

【００２５】又、上流側配管（図示せず）から供給され
た被測流体は、流入口５ａよりマニホールド６に至り、
さらにマニホールド６の流路６ｄ，６ｅを通過して振動
するセンサチューブ７，８内に流入する。そして、セン
サチューブ７，８を通過した流体はマニホールド９の流
路９ａ，９ｂより下流側の流出口１０ａより下流側配管
（図示せず）に流出する。

【００２６】このように、振動するセンサチューブ７，
８に流体が流れると、その流量に応じたコリオリ力が発
生する。そのため、直管状のセンサチューブ７，８の流
入側と流出側で動作遅れが生じ、これによりピックアッ
プ１３と１４との出力信号に位相差（時間差）があらわ
れる。従って、上記構成の振動式測定装置１を質量流量
計として使用する場合は、ピックアップ１３と１４との
出力信号の位相差が流量に比例するため、この位相差に
基づいて流量を算出する。

【００２７】又、振動式測定装置１を振動式密度計とし
て使用する場合は、センサチューブ７，８の固有振動数
が流体の密度によって変化するため、センサチューブ
７，８の振動周波数に基づいて被測流体の密度を算出す
る。

【００２８】演算装置１７は、図２に示すような回路構
成となっており、上記ピックアップ１３〜１５のセンサ
コイル１３ａ〜１５ａより出力された信号に基づいて被
測流体の流量又は密度を演算する。

【００２９】同図中、前述した加振器１１，１２はドラ
イブコイル１１ａ，１２ａがドライブ回路１８から出力
された駆動電圧により交互に駆動されてセンサチューブ
７，８の上流側と下流側とを１８０°の位相差で振動さ
せる。尚、ドライブ回路１８は、第２ピックアップ１４
のセンサコイル１４ａから出力された検出信号を増幅す
る第１増幅回路１９からの信号が入力され、センサチュ
ーブ７，８の振動数をチェックしており、センサチュー
ブ７，８が共振周波数で振動するように加振器１１，１
２のドライブコイル１１ａ，１２ａを駆動する。

【００３０】２０は時間差検出回路で、第１ピックアッ
プ１３のセンサコイル１３ａから出力された検出信号を
増幅する第１増幅回路１９と、第２ピックアップ１４の
センサコイル１４ａから出力された検出信号を増幅する
第２増幅回路２１と、から出力された両信号の時間差を
検出する。

【００３１】２２はゼロクロススイッチで、図３（Ａ）
に示すような正弦波が第２増幅回路２１から入力される
と、図３（Ｂ）に示すような矩形波に変換して出力す
る。さらに、ゼロクロススイッチ２２より出力された信
号（図３（Ｂ）に示す矩形波）は、アンド回路２３，遅
延回路２４，ワンショットパルス回路２５に供給され
る。

【００３２】又、アンド回路２３には、上記ゼロクロス
スイッチ２２からの信号と図３（Ｃ）に示すようなクロ
ックパルス回路２６からのクロックパルスとが供給され
ており、アンド回路２３は図３（Ｄ）に示すようにゼロ
クロススイッチ２２より出力された信号がＨレベルの間
だけパルスを出力する。

【００３３】カウンタ回路２７はアンド回路２３からの
出力されたパルスを積算し、遅延回路２４からの信号
（図３（Ｅ）に示す）によりカウント値をクリアする。
又、ワンショットパルス回路２５は、ゼロクロススイッ
チ２２からの出力の立ち下がりを読み取り、同時にパル
スを１発出力する。従って、ワンショットパルス回路２
５からのパルスを積算することによりセンサチューブ
７，８の振動数が分かる。

【００３４】又、第３ピックアップ１５から出力された
検出信号は、バンドパスフィルタ２８に出力され、バン
ドパスフィルタ２８は第３ピックアップ１５から出力さ
れた検出信号のうち１次モードの周波数を第３増幅回路
２９に出力する。

【００３５】上記第３増幅回路２９の出力は、ゼロクロ
ススイッチ３０により図３（Ｂ）に示すような矩形波に
変換される。さらに、ゼロクロススイッチ３０の出力
は、前述したゼロクロススイッチ２２と同様にアンド回
路３１，遅延回路３２，ワンショットパルス回路３３に
供給される。

【００３６】カウンタ回路３４は前述したカウンタ回路
２７と同様に、アンド回路３１からの出力されたパルス
を積算し、遅延回路３２からの信号（図３（Ｅ）に示
す）によりカウント値をクリアする。又、ワンショット
パルス回路３３は、ゼロクロススイッチ３０からの出力
の立ち下がりを読み取り、同時にパルスを１発出力す
る。

【００３７】又、温度センサ１６からの検出信号は、温
度検出回路３５に出力され、さらにＡ／Ｄコンバータ３
６によりデジタル信号に変換される。

【００３８】上記時間差検出回路２０，ワンショットパ
ルス回路２５，カウンタ回路２７，ワンショットパルス
回路３３，カウンタ回路３４，Ａ／Ｄコンバータ３６よ
り出力された信号は、夫々ＣＰＵ３７に供給される。そ
して、Ｄ／Ａコンバータ３９によりアナログ信号に変換
された演算データはアナログ出力回路４０を介して外部
機器に出力される。

【００３９】ＣＰＵ３７では、後述するように被測流体
の質量流量又は密度を演算し、その演算結果を表示回路
３８，Ｄ／Ａコンバータ３９に出力する。又、ＣＰＵ３
７は第１のピックアップ１３又は第２のピックアップ１
４の出力信号に含まれる外部振動による１次モードの振
動成分を第３のピックアップ１５からの出力信号により
検出し、第１のピックアップ１３又は第２のピックアッ
プ１４の出力信号から１次モードの振動成分を除去して
センサチューブ７，８のコリオリ力による２次モードの
振動成分を取り出す外部振動除去手段３７Ａを有する。

【００４０】前述したドライブ回路１８がセンサチュー
ブ７，８を共振周波数で振動するように加振器１１，１
２を１８０°の位相差で駆動すると、センサチューブ
７，８は２次モードで振動する。このように、２次モー
ドで振動するセンサチューブ７，８に被測流体が流れる
と、ピックアップ１３，１４のセンサコイル１３ａ，１
４ａの出力は正弦波となり、両正弦波の位相差を検出す
ることにより質量流量が計測される。

【００４１】又、ピックアップ１５が設けられたセンサ
チューブ７，８の中間位置は、センサチューブ７，８が
２次モードで振動するときの節であるので、センサチュ
ーブ７，８が静止状態のときピックアップ１５の出力
は、ほとんどゼロに近い値となる。

【００４２】しかし、被測流体がセンサチューブ７，８
を流れたり、外部からの振動や衝撃がセンサチューブ
７，８に伝播して外乱が印加されると、ピックアップ１
５は１次モードの振動を検出する。センサチューブ７，
８の共振周波数は、被測流体の密度によって変化する
が、被測流体の密度範囲を限定することにより、共振周
波数の変化範囲を特定することが可能である。従って、
ピックアップ１５の出力信号を１次モードの共振周波数
を含む狭帶域のバンドパスフィルタ２８に通すことによ
り、１次モードの共振周波数信号ｆ₁ を取り出すことが
できる。

【００４３】前述したＣＰＵ３７は、上記時間差検出回
路２０，ワンショットパルス回路２５，カウンタ回路２
７，ワンショットパルス回路３３，カウンタ回路３４，
Ａ／Ｄコンバータ３６より出力された信号及び１次モー
ド共振周波数ｆ₁ と２次モード共振周波数ｆ₂ とを用い
て以下の式により密度を算出することにより圧力による
周波数変化の影響を受けずに密度を求めることができ
る。

【００４４】尚、センサチューブ７，８は円筒状の直管
チューブよりなるため、共振周波数は圧力変化を考慮す
ると次式により精度よく近似的に求めることができる。

【００４５】

【数１】

【００４６】但し、上式（１）において、ａ，ｂは振動
モードによる係数、Ｌはセンサチューブ７，８の全長、
Ｅはヤング率、Ｉは断面２次モーメント、ρ_L ，ρ_P は
被測流体、センサチューブ７，８の密度、Ａ_L ，Ａ_P は
被測流体、センサチューブ７，８の断面積、Ｐは圧力で
ある。

【００４７】そして、１次モードの共振周波数をｆ₁ ，
２次モードの共振周波数をｆ₂ ，１次モードの係数をａ
₁ ，ｂ₁ ，２次モードの係数をａ₂ ，ｂ₂ とすると、

【００４８】

【数２】

【００４９】

【数３】

【００５０】上記式（２）（３）より圧力Ｐを消去して
密度ρ_L を求める。

【００５１】

【数４】

【００５２】上式（４）において、１次モードの共振周
波数ｆ₁ 及び２次モードの共振周波数ｆ₂ 以外は定数で
あり、且つヤング率Ｅが温度により変化することを考慮
すると、密度ρ_L は次式のように表せる。さらに、式
（４）は次式のように表せる。

【００５３】

【数５】

【００５４】但し、上式（５）において、 Ｃは定数、 Ｃ₁ ＝Ｉα（ａ₂ ｂ₁ −ａ₁ ｂ₂ ）Ｆ Ｃ₂ ＝Ｅ₀ Ｉ（ａ₂ ｂ₁ −ａ₁ ｂ₂ ） Ｃ₃ ＝Ａ_L Ｌ⁴ ｂ₁ ・４π² Ｃ₄ ＝Ａ_L Ｌ⁴ ｂ₂ ・４π² Ｃ₅ ＝ρ_P ・Ａ_P ／Ａ_L Ｅ＝Ｅ₀ ＋αＴ （尚、上記Ｅ₀ は０°Ｃのヤング率、Ｔは温度（°
Ｃ）、αは温度係数） １次モードの共振周波数ｆ₁ 、２次モードの共振周波数
ｆ₂ センサチューブの温度を測定し、上記式（５）の演
算を行うことにより圧力の影響を受けずに被測流体の密
度ρ_L が求まる。

【００５５】このように、振動周波数ｆ₁ ，ｆ₂ 及び温
度センサ１６より被測流体の密度ρ _L を算出できるの
で、１次モードの振動成分を除去してセンサチューブ
７，８のコリオリ力による２次モードの振動成分を取り
出すことにより、外部ノイズにより影響を受けることな
く被測流体を計測することができる。

【００５６】従って、流体の温度あるいは流体の圧力に
よって器差がばらつくことが防止され、例え流体の圧力
が上昇してセンサチューブ７，８の共振周波数が変化し
ても密度の計測精度が低下せず、計測時の器差のばらつ
きを抑えることが可能になる。又、従来のようにセンサ
チューブの断面形状を楕円形にする必要がなく、センサ
チューブの強度を確保することができる。

【００５７】ここで、上記ＣＰＵ３７が実行する処理に
つき説明する。

【００５８】ＣＰＵ３７は質量流量計モードに設定され
ると図４に示す処理を実行する。

【００５９】図４において、ステップＳ１（以下「ステ
ップ」を省略する）で、第１ピックアップ１３から出力
された検出信号と第２ピックアップ１４から出力された
検出信号との時間差信号を時間差検出回路２０から読み
込む。そして、この時間差信号に基づいてセンサチュー
ブ７，８を流れる被測流体の質量流量を演算する（Ｓ
２）。

【００６０】続いて、表示回路３８に演算した被測流体
の質量流量を表示させるとともに、アナログ出力回路４
０から外部に被測流体の質量流量の信号を出力する（Ｓ
３）。上記Ｓ１〜Ｓ３の処理は一定時間間隔（例えば５
ｍsec ）毎に繰り返し実行される。

【００６１】又、ＣＰＵ３７は密度計モードに設定され
ると図５に示す処理を実行する。

【００６２】図５において、まずＳ１１で前述したワン
ショットパルス回路２５からパルス信号が出力されたか
どうかをチェックする。このワンショットパルス回路２
５から出力されたパルス信号を読み取ると、Ｓ１２に進
みカウンタ回路２７により積算されたカウント値Ｎ₁ を
読み取る。そして、Ｓ１３でセンサチューブ７，８の振
動周期より１次モードの振動周波数ｆ₁ と２次モードの
振動周波数ｆ₂ とが合成された振動周波数を算出する。

【００６３】次のＳ１４では、前述したワンショットパ
ルス回路３３からパルス信号が出力されたかどうかをチ
ェックする。このワンショットパルス回路３３から出力
されたパルス信号を読み取ると、Ｓ１５に進みカウンタ
回路３４により積算されたカウント値Ｎ₂ を読み取る。
そして、Ｓ１６でセンサチューブ７，８の１次モードの
振動周波数ｆ₁ を算出する。

【００６４】続いて、Ｓ１７に進み上記１次モードの振
動周波数ｆ₁ より２次モードの振動周波数ｆ₂ を求めた
後、Ｓ１８で温度センサ１６により検出された被測流体
の温度Ｔを読み取る。そして、Ｓ１９に進み上記振動周
波数ｆ₁ ，ｆ₂ 及び温度センサ１６により検出された被
測流体の温度Ｔにより前述した式（５）の演算を行う。
これにより圧力の影響を受けることなく被測流体の密度
ρ_L を算出できる。

【００６５】さらに、表示回路３８に演算した被測流体
の密度ρ_L を表示させるとともに、アナログ出力回路４
０から外部に被測流体の密度ρ_L の信号を出力する（Ｓ
２０）。上記Ｓ１１〜Ｓ２０の処理は一定時間間隔（例
えば５ｍsec ）毎に繰り返し実行される。

【００６６】

【発明の効果】上述の如く、本発明になる振動式測定装
置は、センサチューブの振動に伴う変位を検出する第１
のピックアップ又は第２のピックアップの出力信号に含
まれる外部振動による１次モードの振動成分を第３のピ
ックアップからの出力信号により検出し、第１のピック
アップ又は第２のピックアップの出力信号から１次モー
ドの振動成分を除去してセンサチューブのコリオリ力に
よる２次モードの振動成分を取り出すことにより、外部
ノイズにより影響を受けることなく被測流体を計測する
ことができる。従って、流体の温度あるいは流体の圧力
によって器差がばらつくことが防止され、例え流体の圧
力が上昇してセンサチューブの共振周波数が変化しても
密度の計測精度が低下せず、計測時の器差のばらつきを
抑えることができる。又、従来のようにセンサチューブ
の断面形状を楕円形にする必要がなく、センサチューブ
の強度を確保することができる等の特長を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明になる振動式測定装置の一実施例を示す
縦断面図である。

【図２】演算回路の回路構成を示すブロック図である。

【図３】演算回路で処理する信号の波形図である。

【図４】質量流量計モード時にＣＰＵが実行する処理を
説明するためのフローチャートである。

【図５】密度計モード時にＣＰＵが実行する処理を説明
するためのフローチャートである。

【符号の説明】

１ 振動式測定装置 ２ ケーシング ７，８ センサチューブ １１，１２加振器 １３，１４，１５ ピックアップ １６ 温度センサ １７ 演算回路 １８ ドライブ回路 ２０ 時間差検出回路 ２２，３０ ゼロクロススイッチ ２６ クロックパルス回路 ２７，３４ カウンタ回路 ３７ ＣＰＵ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被測流体が流入する流入口と被測流体が
   流出する流出口との間で直線状に延在するセンサチュー
   ブと、 前記センサチューブの流入側部分を半径方向に振動させ
   る第１の加振器と、 該第１の加振器に対し逆位相で前記センサチューブの流
   出側部分を半径方向に振動させる第２の加振器と、 前記センサチューブの振動に伴う前記センサチューブの
   流入側部分の半径方向の変位を検出する第１のピックア
   ップと、 前記センサチューブの振動に伴う前記センサチューブの
   流出側部分の半径方向の変位を検出する第２のピックア
   ップと、 前記センサチューブの振動に伴う前記センサチューブの
   中間部分の半径方向の変位を検出する第３のピックアッ
   プと、 前記第１のピックアップ又は前記第２のピックアップの
   出力信号に含まれる外部振動による１次モードの振動成
   分を前記第３のピックアップからの出力信号により検出
   し、前記第１のピックアップ又は前記第２のピックアッ
   プの出力信号から１次モードの振動成分を除去して前記
   センサチューブのコリオリ力による２次モードの振動成
   分を取り出す外部振動除去手段と、 よりなることを特徴とする振動式測定装置。