JPH06323881A - Fluidic flowmeter - Google Patents
Fluidic flowmeterInfo
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- JPH06323881A JPH06323881A JP11014693A JP11014693A JPH06323881A JP H06323881 A JPH06323881 A JP H06323881A JP 11014693 A JP11014693 A JP 11014693A JP 11014693 A JP11014693 A JP 11014693A JP H06323881 A JPH06323881 A JP H06323881A
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- flow
- sensor
- fluidic
- flow rate
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、気体や液体の流量の計
測に用いられるフルイディック流量計に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a fluidic flow meter used for measuring the flow rate of gas or liquid.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来の膜式ガスメータに代るものとして
開発されている、フルイディック発振を利用したフルイ
ディック流量計は、小型で可動部がないので、耐久性に
優れていることから、各方面でその研究・改良が進めら
れている。さらに、従来からのガス流量計は、取付けに
関して立上り面積を要することや都市美観の上からも小
型にして取付けに際して方向性を問わないものが望まれ
る。このような観点から、フルイディック流量計におい
てその特徴を活かした小型で性能のよいものが望まれて
いる。フルイディック流量計は、一般の教科書にも説明
されているように、流れが自己を制御するように働くこ
とで振動を起こすことに着目し、その振動数が流量に比
例することを利用したものである。2. Description of the Related Art A fluidic flowmeter utilizing fluidic oscillation, which has been developed as an alternative to a conventional membrane gas meter, is small in size and has no moving parts. The research and improvement are being promoted in the field. Further, it is desired that the conventional gas flow meter requires a rising area for installation and is small in size in view of urban aesthetics, regardless of directionality in installation. From this point of view, there is a demand for a compact and high-performance fluidic flowmeter that takes advantage of its features. As explained in general textbooks, the fluidic flow meter focuses on the fact that the flow acts to control itself, causing vibration, and utilizes the fact that the frequency is proportional to the flow rate. Is.
【０００３】ここに、この種のフルイディック流量計で
は、低流量域ではジェットノズルを出た流れが規則的に
交互に振動しなかったり、振動そのものが起こらなかっ
たりする。このため、フルイディック振動を測定し流量
を求める方法は使えず、ジェットノズル中などに流量を
測定できるフローセンサなどを設置することで低流量域
の流量を測定するようにしている。このように、高流量
域でのフルイディック振動現象は高分子圧電膜センサで
検出して流量を算出し、低流量域はフローセンサで流量
を算出するという複合流量計は、特開平１−３０８９２
１号公報等に示されている。Here, in this type of fluidic flow meter, the flow exiting the jet nozzle does not regularly and alternately vibrate or the vibration itself does not occur in the low flow rate region. Therefore, the method of measuring the flow rate by measuring the fluidic vibration cannot be used, and the flow rate in the low flow rate range is measured by installing a flow sensor or the like in the jet nozzle or the like. As described above, the composite flowmeter in which the fluidic oscillation phenomenon in the high flow rate region is detected by the polymer piezoelectric film sensor to calculate the flow rate, and the flow rate is calculated in the low flow rate region is disclosed in JP-A-1-30892.
No. 1 publication and the like.
【０００４】また、このようなフローセンサの取付法に
関しては、例えば、特開平１−３０８９２１号公報に示
されるようにジェットノズル上部に配置する方法や、特
開平３−５３１２５号公報に示されるようにノズル側面
に配置する方法や、特開平３−５３１２４号公報に示さ
れるようにバイパス流路を設けて配置する方法や、特開
平４−３２６０１９号公報に示されるようにフルイディ
ック素子と並列に流路を設けてこの流路の絞り部に配置
する方法などが提案されている。Regarding the mounting method of such a flow sensor, for example, a method of arranging the flow sensor above a jet nozzle as disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 1-308921 or a method disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 3-53125 is disclosed. In the nozzle side surface, a method in which a bypass flow path is provided as disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 3-53124, and a method in which the bypass flow path is provided in parallel with a fluidic element as disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 326019. A method of providing a flow channel and arranging the flow channel at the narrowed portion of the flow channel has been proposed.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】このように、従来の複
合流量計では、一定値以下の流量域において流速を検出
するためのフローセンサを、ジェットノズルの上面、底
面或いは側面に配置させているが、このような個所に設
置すると、壁面に発達する境界層の影響を受け、特に低
流量域（例えば、３〜３０リットル／Ｈ）では十分な出
力が得られないものとなっている。また、ジェットノズ
ルの壁面にフローセンサを配置すると、その凸部形状に
より下流側に３次元的な乱れが生じ、フルイディック振
動に悪影響を与えるものとなる。As described above, in the conventional composite flowmeter, the flow sensor for detecting the flow velocity in the flow rate region below a certain value is arranged on the upper surface, the bottom surface or the side surface of the jet nozzle. However, when it is installed in such a place, it is affected by the boundary layer that develops on the wall surface, and a sufficient output cannot be obtained particularly in a low flow rate region (for example, 3 to 30 liters / H). Further, when the flow sensor is arranged on the wall surface of the jet nozzle, three-dimensional turbulence is generated on the downstream side due to the shape of the convex portion, which adversely affects the fluidic vibration.
【０００６】また、２mm角程度のフローセンサチップを
幅３〜４mmのノズル部に組込む作業は容易ではなく、誤
ってフローセンサチップに触れて破損してしまう、とい
う問題もある。Further, it is not easy to assemble a flow sensor chip of about 2 mm square into a nozzle portion having a width of 3 to 4 mm, and there is a problem that the flow sensor chip is accidentally touched and damaged.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明で
は、流入管から流入する流れを整流するセットリングス
ペースとジェットノズルと流路拡大部とを同一線上に順
に設け、前記流路拡大部中のジェットノズル対向位置で
その中心線の延長線上に偏流を起こさせる誘振子を設
け、この流路拡大部中の前記誘振子の背後で排出管に至
るまでの位置に帰還用のエンドブロックを設けたフルイ
ディック素子と、流量が一定値以下のとき流量計測を行
うフローセンサと、前記フルイディック素子が十分にフ
ルイディック振動する流量域でその振動現象を検出する
高分子圧電膜センサとを有するフルイディック流量計に
おいて、前記フローセンサを搭載したセンサ基板を両側
から挾持して前記フルディック素子本体に固定されるセ
ンサユニットを設けた。According to a first aspect of the invention, a set ring space for rectifying a flow flowing in from an inflow pipe, a jet nozzle, and a flow passage expanding portion are sequentially provided on the same line, and the flow passage expanding portion is provided. Provided with an exciter that causes uneven flow on the extension of the center line at the position facing the jet nozzle inside, and an end block for return at the position behind the exciter in this enlarged flow path to the discharge pipe. A fluidic element provided, a flow sensor for measuring the flow rate when the flow rate is below a certain value, and a polymer piezoelectric film sensor for detecting the vibration phenomenon in the flow rate range in which the fluidic element vibrates sufficiently In the fluidic flow meter, a sensor unit is provided which is fixed to the fluidic element body by sandwiching the sensor substrate on which the flow sensor is mounted from both sides.
【０００８】請求項２記載の発明では、フローセンサを
搭載したセンサ基板とこのセンサ基板を挾持するととも
に前記セットリングスペースを形成するセットリングブ
ロックとを一体とし前記フルディック素子本体に固定さ
れるセンサユニットを設けた。According to a second aspect of the present invention, a sensor substrate having a flow sensor mounted thereon and a set ring block that holds the sensor substrate and forms the set ring space are integrally fixed to the full Dick element body. A unit was set up.
【０００９】[0009]
【作用】請求項１記載の発明においては、フローセンサ
を搭載したセンサ基板を両側から挾持するセンサユニッ
トによりフルイディック素子本体に固定するので、流路
中で流速分布が最大となる個所にフローセンサを配置す
るのが容易となり、かつ、センサ基板をセットリングス
ペースの流路断面を２分割するように挿入することによ
り、流れを２次元的に整流することも可能となる。According to the first aspect of the present invention, since the sensor substrate on which the flow sensor is mounted is fixed to the fluidic element body by the sensor units that are held from both sides, the flow sensor is located at a position where the flow velocity distribution is maximum in the flow path. Can be easily arranged, and the flow can be two-dimensionally rectified by inserting the sensor substrate so as to divide the channel cross section of the set ring space into two.
【００１０】請求項２記載の発明においても、同様に、
フローセンサを搭載したセンサ基板をセンサユニットに
よりフルイディック素子本体に固定するので、流路中で
流速分布が最大となる個所にフローセンサを配置するの
が容易となり、かつ、セットリングスペースを形成する
セットリングブロックをセンサ基板と一体としてフルデ
ィック素子本体に固定させるので、組込みに際して、フ
ローセンサチップに触れたりして破損させてしまうよう
な不都合がなく、かつ、組立作業性のよいものとなる。Also in the invention described in claim 2, similarly,
Since the sensor substrate equipped with the flow sensor is fixed to the fluidic element body by the sensor unit, it becomes easy to place the flow sensor at the location where the flow velocity distribution is maximized in the flow path, and a settling space is formed. Since the set ring block is fixed to the body of the full-dic element together with the sensor substrate, there is no inconvenience that the flow sensor chip may be touched and damaged when assembled, and the assembling workability is improved.
【００１１】[0011]
【実施例】請求項１記載の発明の一実施例を図１ないし
図５に基づいて説明する。まず、本実施例が適用される
フルイディック流量計の基本構成及び作用を図３により
説明する。流入管１から排出管２を結ぶ経路上に、セッ
トリングスペース３、流路縮小部４、ジェットノズル
５、流路拡大部６を順に設け、かつ、流路拡大部６中に
誘振子７とエンドブロック８とを備えて構成されてい
る。ここでは、ジェットノズル５の中心と誘振子７とを
結ぶ直線に対して線対称な形状とされている。また、こ
のエンドブロック８の背後は、排出空間９とされてい
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the invention described in claim 1 will be described with reference to FIGS. First, the basic configuration and operation of the fluidic flow meter to which this embodiment is applied will be described with reference to FIG. A set ring space 3, a flow path contracting section 4, a jet nozzle 5, and a flow path expanding section 6 are provided in this order on a path connecting the inflow tube 1 and the exhaust tube 2, and a pendulum 7 is provided in the flow path expanding section 6. And an end block 8. Here, the shape is axisymmetric with respect to a straight line connecting the center of the jet nozzle 5 and the exciter 7. A discharge space 9 is formed behind the end block 8.
【００１２】これにより、流路上流側から流入管１を流
れてきた流れはセットリングスペース３で２次元的な流
れに整流され、流路縮小部４によりさらに整流されて円
滑にジェットノズル５に向かう。そして、ジェットノズ
ル５からのジェット流は、誘振子７に当たることにより
左右（図面上は、上下）に分れるが、エンドブロック８
に至るまでの流路拡大部６の空間において、ある流量を
越えると誘振子７の背後にできる渦の不安定性によっ
て、左又は右に偏った流れを形成する。そのため、エン
ドブロック８にぶつかった流れは、エンドブロック８の
前面に沿い、さらに流路拡大部６の内壁６ａを帰還流路
としてジェットノズル５の出口に達し、ジェット流に直
角的にぶつかる。このため、その脇から帰還した流れに
よってジェット流の方向を最初の偏流とは反対方向に偏
らせる。これにより、反対側では再び同様のことが起こ
り、結果としてジェットノズル５を出る流れは規則的に
交互に流れの方向を変化させる。この規則的に方向を変
化させる振動の周波数は、流量の増加に対して直線的に
増加する。As a result, the flow flowing through the inflow pipe 1 from the upstream side of the flow path is rectified into a two-dimensional flow in the set ring space 3 and further rectified by the flow path contracting section 4 to be smoothly flown to the jet nozzle 5. Go to Then, the jet flow from the jet nozzle 5 is divided into left and right (upper and lower in the drawing) by hitting the pendulum 7, but the end block 8
In the space of the flow path expansion portion 6 up to the point, when the flow rate exceeds a certain flow rate, a flow biased to the left or the right is formed due to the instability of the vortex formed behind the exciter 7. Therefore, the flow that hits the end block 8 reaches the outlet of the jet nozzle 5 along the front surface of the end block 8 with the inner wall 6a of the flow path enlarging portion 6 as a return flow path, and hits the jet flow at a right angle. Therefore, the direction of the jet flow is biased in the direction opposite to the initial drift by the flow returning from that side. This again causes the same on the other side, with the result that the flow exiting the jet nozzle 5 changes direction of the flow in a regular and alternating manner. The frequency of this regular directional vibration increases linearly with increasing flow rate.
【００１３】このようなフルイディック素子１０を利用
したフルイディック流量計１１は、フルイディック素子
１０が振動しない流量域ではフローセンサ（後述する）
の検出信号で、フルイディック素子１０が十分にフルイ
ディック振動する流量域ではその振動現象を圧力セン
サ、ここでは高分子圧電膜センサ（図示せず）で検出
し、流量を検出する方法が一般的であり、本実施例でも
これに準ずるものとされている。ここに、このようなフ
ルイディック流量計１１をガスメータとして使用する場
合、要求される最低計測流量は３リットル／Ｈであり、
セットリングスペース３の断面を５mm×２０mmとする
と、流速は１cm／ｓ程度と、非常に小さな値となる。こ
れは、計算で算出した平均流速であり、実際は図４に示
すような流速分布を持っている。即ち、前述したような
セットリングスペース３形状の場合、縦方向（図３で
は、表裏方向）は同図（ａ）に示すように、上下各々約
２０％の領域までは速度勾配を持っているが、それ以外
の領域では安定した分布を示し、一方、横方向（図３で
は、上下方向）は中央部を最大として壁に近づくにつれ
て減少する分布となっている。このため、同じ流量であ
っても設置場所によりフローセンサの感度は大きく左右
されるので、フローセンサは縦及び横方向の中央個所に
設置するのが望ましいといえる。A fluidic flow meter 11 using such a fluidic element 10 has a flow sensor (described later) in a flow rate range in which the fluidic element 10 does not vibrate.
In the flow rate region in which the fluidic element 10 sufficiently vibrates by the fluid, the vibration phenomenon is generally detected by a pressure sensor, here a polymer piezoelectric film sensor (not shown), and the flow rate is detected. This is also the case in the present embodiment. Here, when such a fluidic flow meter 11 is used as a gas meter, the minimum measured flow rate required is 3 liters / H,
If the cross section of the settling space 3 is 5 mm × 20 mm, the flow velocity will be a very small value of about 1 cm / s. This is the average flow velocity calculated, and actually has a flow velocity distribution as shown in FIG. That is, in the case of the shape of the set ring space 3 as described above, the vertical direction (front and back direction in FIG. 3) has a velocity gradient up to about 20% in each of the upper and lower regions as shown in FIG. However, a stable distribution is shown in the other regions, while the lateral direction (vertical direction in FIG. 3) has a maximum in the central portion and decreases as it approaches the wall. Therefore, even if the flow rate is the same, the sensitivity of the flow sensor greatly depends on the installation location, so it can be said that it is desirable to install the flow sensor at the central portion in the vertical and horizontal directions.
【００１４】このような点を考慮し、本実施例では、フ
ローセンサ１２の取付け方式が図１及び図２に示すよう
に工夫されている。まず、前述したような基本構造のフ
ルイディック素子１０は流路拡大部６等が適宜形成され
たベース部材１０ａとこれを覆う蓋部材１０ｂとの組合
せをフルイディック素子本体とするものであり、前記蓋
部材１０ｂのセットリングスペース３対応位置には角穴
１３が形成されている。一方、２mm角程度の小さなフロ
ーセンサ１２は短冊状の薄いセンサ基板１４の片面所定
位置に搭載されたもので、前記角穴１３を介してこのセ
ンサ基板１４とともにセットリングスペース３内の流路
中に配設し得るように設定されている。このようなセン
サ基板１４を両側から挾持してセンサ基板１４及びフロ
ーセンサ１２を位置決め固定するための一対のセンサ固
定ブロック（センサユニット）１５ａ，１５ｂが設けら
れている。これらのセンサ固定ブロック１５ａ，１５ｂ
は蓋部材１０ｂ上に位置してねじ１６によりこの蓋部材
１０ｂに固定される部分を有するＬ字形のものであり、
一方のセンサ固定ブロック１５ａの挾持面には前記セン
サ基板１４を位置決めするための凹部１５ａ1 が形成さ
れている。In consideration of these points, the mounting method of the flow sensor 12 is devised as shown in FIGS. 1 and 2 in this embodiment. First, in the fluidic element 10 having the basic structure as described above, a combination of a base member 10a in which the flow path expanding portion 6 and the like are appropriately formed and a lid member 10b that covers the base member 10a is used as a fluidic element body. Square holes 13 are formed in the lid member 10b at positions corresponding to the set ring space 3. On the other hand, a small flow sensor 12 of about 2 mm square is mounted on a predetermined position on one side of a strip-shaped thin sensor substrate 14, and is disposed in the flow path in the set ring space 3 together with the sensor substrate 14 through the square hole 13. It is set so that it can be installed in the. A pair of sensor fixing blocks (sensor units) 15a and 15b for holding the sensor substrate 14 from both sides to position and fix the sensor substrate 14 and the flow sensor 12 are provided. These sensor fixing blocks 15a, 15b
Is an L-shaped member having a portion located on the lid member 10b and fixed to the lid member 10b by a screw 16.
A concave portion 15a 1 for positioning the sensor substrate 14 is formed on the holding surface of one of the sensor fixing blocks 15a.
【００１５】このような構成において、組立てに際して
は、センサ基板１４をセンサ固定ブロック１５ａ，１５
ｂで挾み、センサ固定ブロック１５ａ，１５ｂ間をねじ
１７で固定して一体化する（なお、接着剤で一体化して
もよい）。このようなユニットを蓋部材１０ｂの角穴１
３に挿入し、センサ基板１４及びフローセンサ１２をセ
ットリングスペース３内の流路中に位置させる。この状
態で、センサ固定ブロック１５ａ，１５ｂをねじ１６に
より蓋部材１０ｂに固定する（なお、接着剤で固定して
もよい）。この時、各部材の寸法、位置関係により、図
２（ａ）に示すように、センサ基板１４がセットリング
スペース３の流れに対して垂直方向の中心線上にその流
路を２分割する位置となるように設定され、かつ、同図
（ｂ）に示すように、高さ方向の中心部、即ち、流速の
最大位置となるように設定されている。さらには、同図
（ｂ）に示すように、センサ基板１４上においてフロー
センサ１２は幅方向の中心線より上流側（図面上、左
側）位置となるように設定されている。最後に、センサ
ユニットと蓋部材１０ｂとの接合部をシーリング剤で充
填する。In this structure, the sensor substrate 14 is attached to the sensor fixing blocks 15a, 15 when assembling.
It is sandwiched by b, and the sensor fixing blocks 15a and 15b are fixed with screws 17 to be integrated (it may be integrated with an adhesive). Such a unit is used in the square hole 1 of the lid member 10b.
3, and the sensor substrate 14 and the flow sensor 12 are positioned in the flow path in the set ring space 3. In this state, the sensor fixing blocks 15a and 15b are fixed to the lid member 10b with the screws 16 (it may be fixed with an adhesive). At this time, depending on the size and positional relationship of each member, as shown in FIG. 2A, a position where the sensor substrate 14 divides the flow path into two on the center line in the direction perpendicular to the flow of the set ring space 3 is set. And, as shown in (b) of the figure, the center of the height direction, that is, the maximum position of the flow velocity. Further, as shown in FIG. 3B, the flow sensor 12 is set on the sensor substrate 14 at a position upstream (left side in the drawing) from the center line in the width direction. Finally, the joint between the sensor unit and the lid member 10b is filled with a sealing agent.
【００１６】よって、本実施例によれば、フローセンサ
１２を搭載したセンサ基板１４を両側から挾持するセン
サ固定ブロック１５ａ，１５ｂにより本体に固定するよ
うにしたので、セットリングスペース３内の流路中で流
速分布が最大となる個所にフローセンサ１２を配置する
のが容易となる。同時に、センサ基板１２をセットリン
グスペース３の流路断面を２分割するように挿入するこ
とで、流れを２次元的に整流することも可能となる。Therefore, according to the present embodiment, the sensor substrate 14 on which the flow sensor 12 is mounted is fixed to the main body by the sensor fixing blocks 15a and 15b which are held from both sides. It becomes easy to arrange the flow sensor 12 at a position where the flow velocity distribution is maximum. At the same time, by inserting the sensor substrate 12 so that the flow path cross section of the set ring space 3 is divided into two, it is possible to rectify the flow two-dimensionally.
【００１７】つづいて、請求項２記載の発明の一実施例
を図５により説明する。前記実施例で示した部分と同一
部分は同一符号を用いて示す。本実施例は、対向する壁
面が曲面状とされてセットリングスペース３を形成する
一対のセットリングブロック２１ａ，２１ｂをベース部
材１０ａとは別個に設け、これらのセットリングブロッ
ク２１ａ，２１ｂでフローセンサ１２を搭載したセンサ
基板１４を挾持させ、これらが一体化されたセンサユニ
ット２２を構成するようにしたものである。このため、
前記セットリングブロック２１ａの挾持面には前記セン
サ基板１４を位置決めするための凹部２１ａ1 が形成さ
れている。前記ベース部材１０ａのセットリングスペー
ス３対応個所には前記センサユニット２２を取付け固定
するための取付部２３が形成されている。また、セット
リングブロック２１ａ，２１ｂ同士は、ねじ又は接着剤
により一体化固定されるように設定されている。Next, an embodiment of the invention described in claim 2 will be described with reference to FIG. The same parts as those shown in the above-mentioned embodiment are designated by the same reference numerals. In the present embodiment, a pair of set ring blocks 21a and 21b whose opposing wall surfaces are curved to form the set ring space 3 are provided separately from the base member 10a, and the set ring blocks 21a and 21b are used to form the flow sensor. The sensor substrate 14 on which the 12 is mounted is sandwiched, and the sensor unit 22 in which these are integrated is configured. For this reason,
The holding surface of the set ring block 21a is formed with a recess 21a 1 for positioning the sensor substrate 14. A mounting portion 23 for mounting and fixing the sensor unit 22 is formed at a portion of the base member 10a corresponding to the set ring space 3. Further, the set ring blocks 21a and 21b are set so as to be integrally fixed by a screw or an adhesive.
【００１８】なお、フローセンサ１２ないしはセンサ基
板１４に関する設置個所の設定等は前記実施例と同様で
ある。The setting of the installation location of the flow sensor 12 or the sensor substrate 14 is the same as in the above embodiment.
【００１９】本実施例による場合も、前記実施例の場合
と同様の効果が得られるが、特に、本実施例の場合、セ
ットリングスペース３をセットリングブロック２１ａ，
２１ｂで形成するものとし、このセットリングブロック
２１ａ，２１ｂをセンサ基板１４と一体としてベース部
材１０ａの取付部２３に固定させるようにしたので、組
込みに際して、フローセンサ１２ないしはセンサ基板１
２をセットリングスペース３中に挿入させる、といった
作業がなくなり、挾み込む作業となるため、フローセン
サチップを破損させてしまうような不都合がなく、か
つ、組立作業性のよいものとなる。In the case of this embodiment, the same effect as that of the above embodiment can be obtained. In particular, in the case of this embodiment, the set ring space 3 is connected to the set ring block 21a,
21b, and the set ring blocks 21a and 21b are fixed to the mounting portion 23 of the base member 10a integrally with the sensor substrate 14, so that the flow sensor 12 or the sensor substrate 1 can be assembled.
Since the work of inserting 2 into the set ring space 3 is eliminated and the work is carried in, there is no inconvenience of damaging the flow sensor chip, and the assembling workability is good.
【００２０】なお、本発明は、図３に示したような構造
のフルイディック流量計をその基本構造とするが、図３
に示した構造に限らず、その流入管１や排出管２などの
方向、取付け位置等を適宜変更したものであってもよ
い。また、図示例は、ノズル中心線に対して対称形構造
のものとしたが、これに限らず、非対称形とした構造の
ものでもよい。The basic structure of the present invention is the fluidic flowmeter having the structure shown in FIG.
Not limited to the structure shown in FIG. 2, the direction of the inflow pipe 1 and the exhaust pipe 2, the mounting position, etc. may be appropriately changed. Further, although the illustrated example has a symmetrical structure with respect to the nozzle center line, the present invention is not limited to this, and an asymmetrical structure may be used.
【００２１】[0021]
【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、複合型の
フルイディック流量計において、フローセンサを搭載し
たセンサ基板を両側から挾持してフルディック素子本体
に固定されるセンサユニットを設けたので、流路中で流
速分布が最大となる個所にフローセンサを配置するのが
容易となり、かつ、センサ基板をセットリングスペース
の流路断面を２分割するように挿入することにより、流
れを２次元的に整流することも可能となる。According to the first aspect of the present invention, in the composite fluidic flowmeter, a sensor unit is provided which is fixed to the fluidic element body by sandwiching a sensor substrate having a flow sensor from both sides. Therefore, it becomes easy to dispose the flow sensor at a position where the flow velocity distribution is maximized in the flow channel, and the flow rate can be reduced by inserting the sensor substrate so as to divide the flow channel cross section of the set ring space into two. It is also possible to rectify it dimensionally.
【００２２】請求項２記載の発明によれば、フローセン
サを搭載したセンサ基板とこのセンサ基板を挾持すると
ともにセットリングスペースを形成するセットリングブ
ロックとを一体としフルディック素子本体に固定される
センサユニットを設けたので、同様に、流路中で流速分
布が最大となる個所にフローセンサを配置するのが容易
となり、かつ、セットリングスペースを形成するセット
リングブロックをセンサ基板と一体としてフルディック
素子本体に固定させるようにしたので、組込みに際し
て、セットリングスペース壁面等にフローセンサチップ
が触れて破損してしまう、といった不都合を生ずること
がなく、かつ、組立作業性のよいものとなる。According to the second aspect of the present invention, a sensor substrate having a flow sensor mounted thereon and a set ring block that holds the sensor substrate and forms a set ring space are integrally fixed to the full Dick element body. Since the unit is provided, similarly, it becomes easy to place the flow sensor at the position where the flow velocity distribution is maximized in the flow path, and the set ring block that forms the set ring space is integrated with the sensor substrate to form a full-dic. Since the flow sensor chip is fixed to the element body, the flow sensor chip does not come into contact with and damage the wall surface of the set ring space when assembled, and the assembling workability is improved.
【図１】請求項１記載の発明の一実施例を示す分解斜視
図である。FIG. 1 is an exploded perspective view showing an embodiment of the invention described in claim 1. FIG.
【図２】そのセットリングスペース付近を示し、（ａ）
は縦断正面図、（ｂ）は縦断側面図である。FIG. 2 shows the vicinity of the set ring space, (a)
Is a vertical sectional front view, and (b) is a vertical sectional side view.
【図３】フルイディック流量計の基本構造を示す水平断
面図である。FIG. 3 is a horizontal sectional view showing the basic structure of a fluidic flow meter.
【図４】縦方向及び横方向の速度分布を示す特性図であ
る。FIG. 4 is a characteristic diagram showing velocity distributions in a vertical direction and a horizontal direction.
【図５】請求項２記載の発明の一実施例を示す分解斜視
図である。FIG. 5 is an exploded perspective view showing an embodiment of the invention described in claim 2.
１ 流入管 ２ 排出管 ３ セットリングスペース ４ 流路縮小部 ５ ジェットノズル ６ 流路拡大部 ７ 誘振子 ８ エンドブロック １０ フルイディック素子 １０ａ，１０ｂ フルイディック素子本体 １１ フルイディック流量計 １２ フローセンサ １４ センサ基板 １５ａ，１５ｂ センサユニット ２１ａ，２１ｂ セットリングブロック ２２ センサユニット 1 Inflow pipe 2 Discharge pipe 3 Settling space 4 Flow path reducing part 5 Jet nozzle 6 Flow path expanding part 7 Pendulum 8 End block 10 Fluidic element 10a, 10b Fluidic element main body 11 Fluidic flow meter 12 Flow sensor 14 Sensor Substrate 15a, 15b Sensor unit 21a, 21b Set ring block 22 Sensor unit
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高宮 敏行 東京都品川区南大井６−16−10 リコー精 器株式会社内 (72)発明者 伊藤 茂行 愛知県名古屋市東区泉二丁目28番24号 リ コーエレメックス株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued Front Page (72) Inventor Toshiyuki Takamiya 6-16-10 Minamioi, Shinagawa-ku, Tokyo Ricoh Seiki Co., Ltd. (72) Inventor Shigeyuki Ito 2-28-24 Izumi, Higashi-ku, Nagoya, Aichi Prefecture Ricoh Elemex Co., Ltd.
Claims (2)
トリングスペースとジェットノズルと流路拡大部とを同
一線上に順に設け、前記流路拡大部中のジェットノズル
対向位置でその中心線の延長線上に偏流を起こさせる誘
振子を設け、この流路拡大部中の前記誘振子の背後で排
出管に至るまでの位置に帰還用のエンドブロックを設け
たフルイディック素子と、流量が一定値以下のとき流量
計測を行うフローセンサと、前記フルイディック素子が
十分にフルイディック振動する流量域でその振動現象を
検出する高分子圧電膜センサとを有するフルイディック
流量計において、前記フローセンサを搭載したセンサ基
板を両側から挾持して前記フルディック素子本体に固定
されるセンサユニットを設けたことを特徴とするフルイ
ディック流量計。1. A set ring space for rectifying a flow flowing from an inflow pipe, a jet nozzle, and a flow passage expanding portion are sequentially provided on the same line, and a center line thereof is extended at a position facing the jet nozzle in the flow passage expanding portion. Provided with a pendulum that causes a biased flow on the line, and a fluidic element with an end block for feedback provided at a position behind the pendulum in the flow path expansion section up to the discharge pipe, and the flow rate is below a certain value. In a fluidic flowmeter having a flow sensor for performing flow rate measurement and a polymer piezoelectric film sensor that detects the vibration phenomenon in a flow rate region in which the fluidic element sufficiently vibrates fluidically, the flow sensor is mounted. A fluidic flowmeter comprising a sensor unit that is fixed to the fluidic element body by holding the sensor substrate from both sides.
トリングスペースとジェットノズルと流路拡大部とを同
一線上に順に設け、前記流路拡大部中のジェットノズル
対向位置でその中心線の延長線上に偏流を起こさせる誘
振子を設け、この流路拡大部中の前記誘振子の背後で排
出管に至るまでの位置に帰還用のエンドブロックを設け
たフルイディック素子と、流量が一定値以下のとき流量
計測を行うフローセンサと、前記フルイディック素子が
十分にフルイディック振動する流量域でその振動現象を
検出する高分子圧電膜センサとを有するフルイディック
流量計において、前記フローセンサを搭載したセンサ基
板とこのセンサ基板を挾持するとともに前記セットリン
グスペースを形成するセットリングブロックとを一体と
し前記フルディック素子本体に固定されるセンサユニッ
トを設けたことを特徴とするフルイディック流量計。2. A set ring space for rectifying a flow flowing from an inflow pipe, a jet nozzle, and a flow passage expanding portion are sequentially provided on the same line, and a center line thereof is extended at a position facing the jet nozzle in the flow passage expanding portion. Provided with a pendulum that causes a biased flow on the line, and a fluidic element with an end block for feedback provided at a position behind the pendulum in the flow path expansion section up to the discharge pipe, and the flow rate is below a certain value. In a fluidic flowmeter having a flow sensor for performing flow rate measurement and a polymer piezoelectric film sensor that detects the vibration phenomenon in a flow rate region in which the fluidic element sufficiently vibrates fluidically, the flow sensor is mounted. The sensor board and the set ring block that holds the sensor board and forms the set ring space are integrated to form the full-dic A fluidic flowmeter characterized by having a sensor unit fixed to the element body.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11014693A JPH06323881A (en) | 1993-05-12 | 1993-05-12 | Fluidic flowmeter |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11014693A JPH06323881A (en) | 1993-05-12 | 1993-05-12 | Fluidic flowmeter |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06323881A true JPH06323881A (en) | 1994-11-25 |
Family
ID=14528218
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11014693A Pending JPH06323881A (en) | 1993-05-12 | 1993-05-12 | Fluidic flowmeter |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06323881A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014518705A (en) * | 2011-05-12 | 2014-08-07 | アークアクア・プロプライエタリー・リミテッド | Ozone-based sterilizer with flow sensor |
-
1993
- 1993-05-12 JP JP11014693A patent/JPH06323881A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014518705A (en) * | 2011-05-12 | 2014-08-07 | アークアクア・プロプライエタリー・リミテッド | Ozone-based sterilizer with flow sensor |
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