JPH06320729A - インクジェット記録ヘッドおよびその検査方法ならびに検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 印字検査工程において、吐出開始電圧もしく
は吐出開始パルス幅の測定を省略できるインクジェット
記録ヘッドの検査方法を提供する。 【構成】 インクジェット記録ヘッドの製造工程中に得
られた各電気熱変換体３２の抵抗値データおよび電気熱
変換体３２を構成している保護膜２３，２４の膜厚デー
タに基づいて、インクジェット記録ヘッドの駆動電圧ま
たは駆動パルス幅を決定し、決定した駆動電圧または駆
動パルス幅でインクジェット記録ヘッドを駆動すること
により、インクジェット記録ヘッドの印字検査を行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、熱エネルギーを利用し
て吐出口からインク滴を吐出させるインクジェット記録
ヘッド、およびそのインクジェット記録ヘッドの検査方
法および検査装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】インクジェット記録装置は種々の方式に
よりインクの吐出液滴を形成し、これを記録紙などの被
記録材に付着させて記録を行う記録装置である。なかで
も吐出液滴形成のためのエネルギーとして熱を利用する
インクジェット記録装置は、高密度のマルチノズル化が
容易に具現化できるので、高解像度、高画質の画像を高
速度に得られるという優れた特徴を有している。

【０００３】この種のインクジェット記録装置として
は、インクに熱エネルギーを与えることで吐出口よりイ
ンクの液滴を吐出させるための複数の液滴形成手段、す
なわち電流パルスを供給することにより発熱しインクを
加熱することができる電気熱変換体を有する液滴形成手
段と、その電気熱変換体を駆動するための集積回路（駆
動用ＩＣ）とを同一基板上に複数配設し、記録ヘッドを
構成したものがある。

【０００４】図９はかかる形態のインクジェット記録ヘ
ッドの構成例を示したもので、特に被記録材の全幅に対
応した範囲にわたって吐出口を整列させた形態の所謂フ
ルマルチ型のものを示す。ここで、発熱抵抗体２１１
は、通電に応じて発熱し、インク内に膜沸騰による気泡
を生じさせてインク吐出を行わせるための電気熱変換体
２０２（図１０参照）を構成するものであり、配線とと
もに基板２１２上に半導体と同様の製造工程を経て形成
されている。２１３Ａは発熱抵抗体２１１に対応して吐
出口２１３およびこれに連通する液路２１４を形成する
ための液路形成部材、２１５は天板である。また２１６
は各液路２１４に共通に連通する共通液室であり、不図
示のインク供給源から供給されたインクを貯留する。

【０００５】図１０は図９のような機械的構成を有する
インクジェット記録ヘッドの回路構成の一例を示すブロ
ック図であり、図１１はその駆動タイミングを示す図で
ある。図１０において、電気熱変換体２０２は電圧ＶＭ
の電源配線に接続されている。電気熱変換体２０２は、
複数のインク吐出口２１３（図９参照）に対応して設け
られるものであり、電気熱変換体２０２と同一のビット
数である記録データＳＩが、図１１に示すように、不図
示の画像データ生成回路より駆動用ＩＣ２０３内のシフ
トレジスタ２０４にデータ転送用クロックＣＬＫに同期
して順次転送され、転送された記録データはラッチ信号
ＬＡＴの入力によりラッチ回路２０５に読み込まれる。
その後分割駆動用信号ＥＩおよび分割駆動信号転送クロ
ックＥＣＫの入力に応じてフリップフロップ（Ｆ／Ｆ）
２０６により駆動用ＩＣ２０３が順次アクティブの状態
にされ、パルス幅設定用信号ＥＮＢのオンの間のみその
駆動用ＩＣ２０３の記録データ信号がオンの状態の電気
熱変換体２０２を選択的に通電することにより、その吐
出口２１３からインクの吐出が行われる。この場合、画
像データ転送クロックの周波数は数ＭＨｚ、１つの電気
熱変換体への通電時間は数μｓが一般的である。

【０００６】またこの種のインクジェット記録ヘッド
は、通常半導体と同様な製造工程により基板上に電気熱
変換体や、配線を形成する配線基板形成工程、配線基板
上にインク流路を形成するノズル形成工程、基板上への
駆動素子の実装およびその他の部品の組立を行う組立工
程を経て製造され、最終的にその記録ヘッドに最適な駆
動条件で駆動する印字検査工程にて、印字品位や各種性
能を確認される。

【０００７】ところがこのインクジェット記録ヘッドに
最適な駆動条件は、電気熱変換体の形状、構成、インク
種類などにより異なることはもちろんであるが、同一種
類のインクジェット記録ヘッドにおいても製造工程中の
膜厚変動、膜厚分布などにより異なる場合がある。した
がって前記印字検査工程においては、まずインクジェッ
ト記録ヘッドの吐出開始電圧もしくは吐出開始パルス幅
を、電圧もしくはパルス幅を変化させながら各ノズルの
吐出状態を観察して、インクジェット記録ヘッドごとに
測定し、測定された吐出開始電圧もしくは吐出開始パル
ス幅に別途実験で求められたマージン値を加えた値を最
適駆動条件として印字検査を行っている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述の
従来の技術では、記録ヘッドの吐出開始電圧もしくは吐
出開始パルス幅の測定は、電圧もしくはパルス幅を変化
させながら吐出状態を観察して行うため、かなりの時間
を費やす。特に被記録材の全幅に対応した範囲にわたり
吐出口を整列させた形態の所謂フルマルチ型のものにお
いては、ビット数も多く、また各ビットの吐出開始電圧
もしくは吐出開始パルス幅もばらつきを持ち、測定作業
者の熟練を要し、またかなりの時間を費やすこととな
る。このことが記録ヘッドの低廉化の大きな障害となっ
ていた。

【０００９】本発明の目的は、かかる問題点に着目し、
その解決を図るべく比較的簡単な手段によりインクジェ
ット記録ヘッドの最適な駆動条件を決定し、印字検査工
程において、吐出開始電圧もしくは吐出開始パルス幅の
測定を省略できるインクジェット記録ヘッドの検査方法
および検査装置を提供することにある。本発明の他の目
的は、上記検査方法および検査装置に用いることができ
るインクジェット記録ヘッドを提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明の第１のインクジ
ェット記録ヘッドの検査方法は、記録液滴形成のための
熱エネルギーを発生する複数の電気熱変換体と駆動信号
に応じて前記電気熱変換体の通電を制御する駆動素子を
備えたインクジェット記録ヘッドの検査方法において、
前記インクジェット記録ヘッドの製造工程中に得られた
各電気熱変換体の抵抗値データおよび電気熱変換体を構
成している保護膜の膜厚データに基づいて、前記インク
ジェット記録ヘッドの駆動電圧または駆動パルス幅を決
定し、決定した駆動電圧または駆動パルス幅で前記イン
クジェット記録ヘッドを駆動することにより、前記イン
クジェット記録ヘッドの印字検査を行うことを特徴とす
る。

【００１１】本発明のインクジェット記録ヘッドの検査
装置は、記録液滴形成のための熱エネルギーを発生する
複数の電気熱変換体と駆動信号に応じて前記電気熱変換
体の通電を制御する駆動素子を備えたインクジェット記
録ヘッドの検査装置において、前記インクジェット記録
ヘッドの製造工程中に得られた各電気熱変換体の抵抗値
データおよび電気熱変換体を構成している保護膜の膜厚
データを記憶する記憶装置と、その抵抗値データおよび
膜厚データに基づいて、前記インクジェット記録ヘッド
の駆動電圧または駆動パルス幅を決定する駆動条件決定
装置と、決定した駆動電圧または駆動パルス幅で前記イ
ンクジェット記録ヘッドの印字検査を行う駆動制御装置
とを有することを特徴とする。

【００１２】本発明のインクジェット記録ヘッドは、熱
エネルギーを利用して吐出口からインク滴を吐出させる
インクジェット記録ヘッドにおいて、記録液滴形成のた
めの熱エネルギーを発生する複数の第１の電気熱変換体
と、駆動信号に応じて第１の電気熱変換体の通電を制御
する駆動素子と、第１の電気熱変換体と同一構成、形状
の検査のための第２の電気熱変換体と、駆動信号に応じ
て第２の電気熱変換体の通電を制御する駆動素子と、第
２の電気熱変換体の表面温度を測定するための温度セン
サーとを具備することを特徴とする。

【００１３】前記温度センサーは、Ａｌ薄膜で形成され
ていることが好ましい。。

【００１４】本発明のインクジェット記録ヘッドは、吐
出口が記録媒体の記録領域の全幅にわたって複数設けら
れているフルラインタイプであることが可能である。

【００１５】本発明の第２のインクジェット記録ヘッド
の検査方法は、記録液滴形成のための熱エネルギーを発
生する複数の第１の電気熱変換体と駆動信号に応じて第
１の電気熱変換体の通電を制御する駆動素子を備え、さ
らに、第１の電気熱変換体と同一構成、形状の検査のた
めの第２の電気熱変換体と、第２の電気熱変換体の表面
温度を測定するための温度センサーとを具備するインク
ジェット記録ヘッドの検査方法であって、第２の電気熱
変換体の通電時の表面温度を測定し、その測定データに
基づき前記インクジェット記録ヘッドの駆動電圧または
駆動パルス幅を決定し、決定した駆動電圧または駆動パ
ルス幅で前記インクジェット記録ヘッドの印字駆動を行
うことにより、前記インクジェット記録ヘッドの印字検
査を行うことを特徴とする。

【００１６】

【作用】本発明は、製造工程中に得られた各種データを
有効に利用し、インクジェット記録ヘッドの最適な駆動
条件を決定し、その駆動条件に基づき印字検査を行うも
のである。本発明によれば比較的簡単な方法にてインク
ジェット記録ヘッドの最適駆動条件が決定でき、低廉
で、高品位なインクジェット記録ヘッドの提供が可能で
ある。

【００１７】また本発明は、記録液滴形成のための第１
の電気熱変換体とは別に同一構成、形状の第２の電気熱
変換体を具備し、その表面温度を測定することにより、
第１の電気熱変換体の表面温度を推定し、インクジェッ
ト記録ヘッドの最適な駆動条件を決定し、その駆動条件
に基づき印字検査を行うものである。本発明によれば比
較的簡単な方法にてインクジェット記録ヘッドの最適駆
動条件が決定でき、低廉で、高品位なインクジェット記
録ヘッドの提供が可能である。

【００１８】

【実施例】以下に、図面に基づいて本発明の実施例を説
明する。

【００１９】図１は本発明の第１実施例のインクジェッ
ト記録ヘッドの印字検査装置を示すブロック図である。
図１に示すように、本実施例の印字検査装置は、インク
ジェット記録ヘッド１１と、電気熱変換体３２（図２参
照）や配線のオープン、ショートなどの不良を検出する
ために配線基板形成工程後に行われる抵抗検査で得られ
た抵抗値データを記憶する抵抗データ記憶装置１２ａ
と、膜厚不良を検出するために行われる膜厚検査で得ら
れた保護膜の膜厚データを記憶する膜厚データ記憶装置
１２ｂと、その他の記憶装置１２ｃと、その抵抗値デー
タと膜厚データとに基づき演算を行う演算装置１３と、
その演算結果に基づきインクジェット記録ヘッド１１の
駆動電圧、または駆動パルス幅を決定する駆動条件決定
装置１４と、インクジェット記録ヘッド１１を駆動する
ための各種制御信号を発生するための駆動制御装置１５
と、ヘッド駆動電源１６などで構成されている。さら
に、インクジェット記録ヘッド１１には、図２に示す電
気熱変換体３２が設けられている。

【００２０】図２は電気熱変換体３２の形状例を示し、
（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＸ−Ｘ平面図であ
る。図２（ａ），（ｂ）において、電気熱変換体３２は
配線２１とともに基板上に形成された発熱抵抗体２２
と、発熱抵抗体２２上に形成された保護膜２３，２４と
で構成されている。この発熱抵抗体２２に通電を行い、
保護膜２４表面の温度を上昇させ、保護膜２４表面に接
したインク内に膜沸騰による気泡を生じてインク吐出を
行うものである。したがって、インクジェット記録ヘッ
ドの吐出開始電圧は、発熱抵抗体２２の形状、保護膜２
３，２４の厚さ、インクの種類などにより異なるが、同
一種類のインクジェット記録ヘッドにおいては製造工程
中に起こり得る、膜厚変動や膜厚分布、配線幅変動など
に起因することとなる。

【００２１】図３はインクジェット記録ヘッドの発熱抵
抗体の抵抗値と吐出開始電圧の関係を示すグラフ、図４
はインクジェット記録ヘッドの保護膜厚と吐出開始電圧
の関係を示すグラフである。図３、図４からわかる通
り、吐出開始電圧は、少なくとも設計値に対する製造ば
らつき範囲において、発熱抵抗体の抵抗値および保護膜
の膜厚を変数としたある関数によって求めることが可能
である。この吐出開始電圧は、発熱抵抗体の抵抗値およ
び保護膜の膜厚以外にも、製造工程中に起こり得るその
他の変動においても若干変動する可能性があるが、その
変動幅は、発熱抵抗体の抵抗値や保護膜の膜厚に比べ無
視できる程度に少なく、製造工程中に得られた発熱抵抗
体の抵抗値データと保護膜の膜厚データによりかなり正
確に求めることができる。

【００２２】また、インクジェット記録ヘッドの最適な
駆動電圧は、この吐出開始電圧に耐久性を考慮して別途
実験で求められたマージン値を加えて求められる。吐出
開始電圧をＶ₁ とすると、駆動電圧Ｖ₀ は、 Ｖ₀ ＝ｋＶ₁ ＋Ｖ₂ で求められる。ただし、ｋ，Ｖ₂ は記録ヘッド毎に定ま
る定数である。

【００２３】したがって、本実施例においては、製造工
程中に得られた発熱抵抗体２２の抵抗値データと保護膜
２３，２４の膜厚データをそれぞれ抵抗データ記憶装置
１２ａ、膜厚データ記憶装置１２ｂに記憶させ、そのデ
ータを演算装置１３で演算し、その演算結果に基づき最
適な駆動電圧を決定する。そして決定した駆動電圧でイ
ンクジェット記録ヘッド１を駆動することにより、印字
検査を行う。

【００２４】本実施例においては、インクジェット記録
ヘッドの最適駆動条件を電圧指定する場合を述べたが、
インクジェット記録ヘッドによっては電圧を一定にして
駆動パルス幅を指定する場合がある。この場合において
も前述と同様に、抵抗値データと膜厚データにより、吐
出開始パルス幅を求めることが可能であり、最適駆動パ
ルス幅を決定し、印字検査を行うことができる。吐出開
始パルス幅をＰ₁ とすると、駆動パルス幅Ｐ₀ は、 Ｐ₀ ＝ｋＰ₁ ＋Ｐ₂ で求められる。ただし、ｋ，Ｐ₂ は記録ヘッド毎に定ま
る定数である。また本実施例においては、演算に用いる
データを発熱抵抗体の抵抗値データと保護膜の膜厚デー
タとしたが、その他の膜厚データやその他の製造工程で
得られる、各種データをともに用いることによって、よ
り精度の高い最適駆動条件を求めることができることは
言うまでもない。

【００２５】図５は本発明の第２実施例のインクジェッ
ト記録ヘッドを示すブロック図、図６は第２実施例のイ
ンクジェット記録ヘッドの第２の電気熱変換体および温
度センサーの構成例を示す図である。

【００２６】図５に示すように、本実施例のインクジェ
ット記録ヘッドは、インク吐出（記録液滴形成）を行う
ための第１の電気熱変換体３２とは別に、同一構成、形
状の検査のための第２の電気熱変換体３８を有し、第２
の電気熱変換体３８の表面上に温度センサー３９が配置
されている。この第２の電気熱変換体３８に一定時間の
通電を行い、温度センサー３９にて第２の電気熱変換体
表面３８の温度を測定する。

【００２７】第１実施例において述べたように、インク
ジェット記録ヘッドの吐出開始電圧は、発熱抵抗体の形
状、保護膜厚さ、インク種類などにより異なりまた、同
一種類のインクジェット記録ヘッドにおいても製造工程
中に起こり得る、膜厚変動や膜厚分布、配線幅変動など
により異なる。しかしながら、同一種類のインクジェッ
ト記録ヘッドにおいては吐出開始時の電気熱変換体の保
護膜幕表面の温度はほぼ一定であることが知られてい
る。したがって、図６に示すように、第１の電気熱変換
体３２と同一の構成、形状の第２の電気熱変換体３８の
表面上にＡｌ薄膜による配線（センサー３９）を形成
し、その抵抗値変化を測定すれば、第１の電気熱変換体
３２の表面温度が推定でき、吐出開始電圧を求めること
ができる。

【００２８】図７はインクジェット記録ヘッドの第１の
電気熱変換体３２および第２の電気熱変換体３８の通電
時間中およびその後の表面温度を示すグラフである。第
１の電気熱変換体３２の表面温度と、第２の電気熱変換
体３８の表面温度は、インクの有無、温度センサー３９
の応答性、位置関係などによって差はあるが、その差は
同一のインクジェット記録ヘッドにおいてほぼ一定であ
り、第２の電気熱変換体３８の表面温度の測定により、
吐出開始電圧がかなり正確に求めることができる。

【００２９】また、インクジェット記録ヘッドの最適な
駆動電圧は、この吐出開始電圧に耐久性を考慮して別途
実験で求められたマージン値を加えて求められる。した
がって、本実施例においては、第２の電気熱変換体３８
に一定時間の通電を行い、その時の表面温度を測定し、
そのデータを演算装置で演算し、その演算結果に基づき
最適な駆動電圧を決定し、印字検査を行う。

【００３０】本実施例においては、インクジェット記録
ヘッドの最適駆動条件を電圧指定する場合を述べたが、
インクジェット記録ヘッドによっては電圧を一定にして
駆動パルス幅を指定する場合がある。この場合において
も前述と同様に、抵抗値データと膜厚データにより、吐
出開始パルス幅を求めることが可能であり、最適駆動パ
ルス幅を決定し、印字検査を行うことができる。また本
実施例においては、温度センサーにＡｌ薄膜を用いたが
その他の温度センサーを用いることが可能であることは
言うまでもない。

【００３１】図８は本発明の各実施例に用いられるイン
クジェット記録ヘッドをインクジェットヘッドカートリ
ッジ（ＩＪＣ）として装着したインクジェット記録装置
（ＩＪＲＡ）の一例を示す外観斜視図である。

【００３２】図８において、１２０はプラテン１２４上
に送紙されてきた記録紙の記録面に対向してインク吐出
を行うノズル群を具えたインクジェットヘッドカートリ
ッジ（ＩＪＣ）である。１１６はＩＪＣ１２０を保持す
るキャリッジＨＣであり、駆動モータ１１７の駆動力を
伝達する駆動ベルト１１８の一部と連結し、互いに平行
に配設された２本のガイドシャフト１１９Ａおよび１１
９Ｂと摺動可能とすることにより、ＩＪＣ１２０の記録
紙の全幅にわたる往復移動が可能となる。

【００３３】１２６はヘッド回復装置であり、ＩＪＣ１
２０の移動経路の一端、例えばホームポジションと対向
する位置に配設される。伝動機構１２３を介したモータ
１２２の駆動力によって、ヘッド回復装置１２６を動作
せしめ、ＩＪＣ１２０のキャッピングを行う。このヘッ
ド回復装置１２６のキャップ部１２６ＡによるＩＪＣ１
２０へのキャッピングに関連させて、ヘッド回復装置１
２６内に設けた適宜の吸引手段によるインク吸引もしく
はＩＪＣ１２０へのインク供給経路に設けた適宜の加圧
手段によるインク圧送を行い、インクを吐出口より強制
的に排出させることによりノズル内の増粘インクを除去
する等の吐出回復処理を行う。また、記録終了時等にキ
ャッピングを施すことによりＩＪＣが保護される。

【００３４】１３０はヘッド回復装置１２６の側面に配
設され、シリコンゴムで形成されるワイピング部材とし
てのブレードである。ブレード１３０はブレード保持部
材１３０Ａにカンチレバー形態で保持され、ヘッド回復
装置１２６と同様、モータ１２２および伝動機構１２３
によって動作し、ＩＪＣ１２０の吐出面との係合が可能
となる。これにより、ＩＪＣ１２０の記録動作における
適切なタイミングで、あるいはヘッド回復装置１２６を
用いた吐出回復処理後に、ブレード１３０をＩＪＣ１２
０の移動経路中に突出させ、ＩＪＣ１２０の移動動作に
伴ってＩＪＣ１２０の吐出面における結露、濡れあるい
は塵埃等をふきとるものである。

【００３５】本発明は、特にインクジェット記録方式の
中でも熱エネルギーを利用して飛翔的液滴を形成し、記
録を行うインクジェット方式の記録ヘッド、記録装置に
おいて優れた効果をもたらすものである。

【００３６】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第４７２３１２９号明細書、同第４７４０
７９６号明細書に開示されている基本的な原理を用いて
行うものが好ましい。この方式はいわゆるオンデマンド
型、コンティニュアス型のいずれにも適用可能である
が、特に、オンデマンド型の場合には、液体（インク）
が保持されているシートや液路に対応して配置されてい
る電気熱変換体に、記録情報に対応していて核沸騰を越
える急速な温度上昇を与える少なくとも一つの駆動信号
を印加することによって、電気熱変換体に熱エネルギー
を発生せしめ、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさ
せて、結果的にこの駆動信号に一対一で対応した液体
（インク）内の気泡を形成できるので有効である。この
気泡の成長、収縮により吐出用開口を介して液体（イン
ク）を吐出させて、少なくとも一つの滴を形成する。こ
の駆動信号をパルス形状とすると、即時適切に気泡の成
長収縮が行われるので、特に応答性に優れた液体（イン
ク）の吐出が達成でき、より好ましい。

【００３７】このパルス形状の駆動信号としては、米国
特許第４４６３３５９号明細書、同第４３４５２６２号
明細書に記載されているようなものが適している。な
お、上記熱作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許
第４３１３１２４号明細書に記載されている条件を採用
すると、さらに優れた記録を行うことができる。

【００３８】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出口、液路、電気熱変換体
の組み合わせ構成（直線状液流路または直角液流路）の
他に、熱作用部が屈曲する領域に配置されている構成を
開示する米国特許第４５５８３３３号明細書、米国特許
第４４５９６００号明細書を用いた構成も本発明に含ま
れるものである。

【００３９】加えて、複数の電気熱変換体に対して、共
通するスリットを電気熱変換体の吐出部とする構成を開
示する特開昭５９−１２３６７０号公報や熱エネルギー
の圧力波を吸収する開孔を吐出部に対応させる構成を開
示する特開昭５９−１３８４６１号公報に基づいた構成
としても本発明は有効である。

【００４０】さらに、記録装置が記録できる最大記録媒
体の幅に対応した長さを有するフルラインタイプの記録
ヘッドとしては、上述した明細書に開示されているよう
な複数記録ヘッドの組み合わせによってその長さを満た
す構成や、一体的に形成された１個の記録ヘッドとして
の構成のいずれでもよいが、本発明は、上述した効果を
一層有効に発揮することができる。

【００４１】加えて、装置本体に装着されることで、装
置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給
が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あ
るいは記録ヘッド自体に一体的にインクタンクが設けら
れたカートリッジタイプの記録ヘッドを用いた場合にも
本発明は有効である。

【００４２】また、本発明の記録装置の構成として設け
られる、記録ヘッドに対しての回復手段、予備的な補助
手段等を付加することは本発明の効果を一層安定できる
ので好ましいものである。これらを具体的に挙げれば、
記録ヘッドに対してのキャッピング手段、クリーニング
手段、加圧あるいは吸引手段、電気熱変換体あるいはこ
れとは別の加熱素子あるいはこれらの組み合わせによる
予備加熱手段、記録とは別の吐出を行う予備吐出モード
を行うことも安定した記録を行うために有効である。

【００４３】さらに、記録装置の記録モードとしては黒
色等の主流色のみを記録モードだけではなく、記録ヘッ
ドを一体的に構成するか複数個を組み合わせによってで
もよいが、異なる色の複色カラー、または混色によるフ
ルカラーの少なくとも一つを備えた装置にも本発明は極
めて有効である。

【００４４】以上説明した本発明実施例においては、イ
ンクを液体として説明しているが、室温やそれ以下で固
化するインクであって、室温で軟化するもの、もしくは
液体であるもの、あるいは上述のインクジェット方式で
はインク自体を３０℃以上７０℃以下の範囲内で温度調
整を行ってインクの粘性を安定吐出範囲にあるように温
度制御するものが一般的であるから、使用記録信号付与
時にインクが液状をなすものであればよい。

【００４５】加えて、積極的に熱エネルギーによる昇温
をインクの固形状態から液体状態への状態変化のエネル
ギーとして使用せしめることで防止するか、またはイン
クの蒸発防止を目的として放置状態で固化するインクを
用いるかして、いずれにしても熱エネルギーの記録信号
に応じた付与によってインクが液化し、液状インクとし
て吐出するものや、記録媒体に到達する時点では既に固
化し始めるもの等のような、熱エネルギーによって初め
て液化する性質のインクの使用も本発明には適用可能で
ある。このような場合インクは、特開昭５４−５６８４
７号公報あるいは特開昭６０−７１２６０号公報に記載
されるような、多孔質シート凹部または貫通孔に液状ま
たは固形物として保持された状態で、電気熱変換体に対
して対向するような形態としてもよい。本発明において
は、上述した各インクに対して最も有効なものは、上述
した膜沸騰方式を実行するものである。

【００４６】さらに加えて、本発明に係る記録装置の形
態としては、ワードプロセッサやコンピュータ等の情報
処理機器の画像出力端末として一体または別体に設けら
れるものの他、リーダ等と組み合わせた複写装置、さら
には送受信機能を有するファクシミリ装置の形態を採る
ものであっても良い。

【００４７】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、比
較的簡単な方法にてインクジェット記録ヘッドの駆動条
件が決定でき、印字検査工程において、吐出開始電圧も
しくは吐出開始パルス幅の測定を省略し、しかも吐出開
始電圧もしくは吐出開始パルス幅を正確かつ高精度に決
定することが可能となる。したがって、インクジェット
記録ヘッドの検査工程にかかる費用を低減できる。すな
わち、低廉なインクジェット記録ヘッドを提供すること
ができ、ひいてはインクジェット記録装置の価格を低減
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例のインクジェット記録ヘッ
ドの印字検査装置を示すブロック図である。

【図２】は電気熱変換体の形状例を示し、（ａ）は平面
図、（ｂ）は（ａ）のＸ−Ｘ平面図である。

【図３】インクジェット記録ヘッドの発熱抵抗体の抵抗
値と吐出開始電圧の関係を示すグラフである。

【図４】インクジェット記録ヘッドの保護膜厚と吐出開
始電圧の関係を示すグラフである。

【図５】本発明の第２実施例のインクジェット記録ヘッ
ドを示すブロック図である。

【図６】第２実施例のインクジェット記録ヘッドの第２
の電気熱変換体および温度センサーの構成例を示す図で
ある。

【図７】インクジェット記録ヘッドの第１の電気熱変換
体３２および第２の電気熱変換体３８の通電時間中およ
びその後の表面温度を示すグラフである。

【図８】各実施例に用いられるインクジェット記録ヘッ
ドを装着したインクジェット記録装置の一例を示す外観
斜視図である。

【図９】インクジェット記録ヘッドの構成例を示す図で
ある。

【図１０】インクジェット記録ヘッドの回路構成の回路
構成の一例を示すブロック図である。

【図１１】インクジェット記録ヘッドの駆動タイミング
の一例を示す図である。

【符号の説明】

１１ インクジェット記録ヘッド １２ａ 抵抗データ記憶装置 １２ｂ 膜厚データ記憶装置 １３ 演算装置 １４ 駆動条件設定装置 １５ 駆動制御装置 １６ ヘッド駆動電源 ３２ 第１の電気熱変換体 ３８ 第２の電気熱変換体 ３９ 温度センサー

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 記録液滴形成のための熱エネルギーを発
   生する複数の電気熱変換体と駆動信号に応じて前記電気
   熱変換体の通電を制御する駆動素子を備えたインクジェ
   ット記録ヘッドの検査方法において、 前記インクジェット記録ヘッドの製造工程中に得られた
   各電気熱変換体の抵抗値データおよび電気熱変換体を構
   成している保護膜の膜厚データに基づいて、前記インク
   ジェット記録ヘッドの駆動電圧または駆動パルス幅を決
   定し、決定した駆動電圧または駆動パルス幅で前記イン
   クジェット記録ヘッドを駆動することにより、前記イン
   クジェット記録ヘッドの印字検査を行うことを特徴とす
   るインクジェット記録ヘッドの検査方法。
2. 【請求項２】 記録液滴形成のための熱エネルギーを発
   生する複数の電気熱変換体と駆動信号に応じて前記電気
   熱変換体の通電を制御する駆動素子を備えたインクジェ
   ット記録ヘッドの検査装置において、 前記インクジェット記録ヘッドの製造工程中に得られた
   各電気熱変換体の抵抗値データおよび電気熱変換体を構
   成している保護膜の膜厚データを記憶する記憶装置と、 その抵抗値データおよび膜厚データに基づいて、前記イ
   ンクジェット記録ヘッドの駆動電圧または駆動パルス幅
   を決定する駆動条件決定装置と、 決定した駆動電圧または駆動パルス幅で前記インクジェ
   ット記録ヘッドの印字検査を行う駆動制御装置とを有す
   ることを特徴とするインクジェット記録ヘッドの検査装
   置。
3. 【請求項３】 熱エネルギーを利用して吐出口からイン
   ク滴を吐出させるインクジェット記録ヘッドにおいて、 記録液滴形成のための熱エネルギーを発生する複数の第
   １の電気熱変換体と、 駆動信号に応じて第１の電気熱変換体の通電を制御する
   駆動素子と、 第１の電気熱変換体と同一構成、形状の検査のための第
   ２の電気熱変換体と、 駆動信号に応じて第２の電気熱変換体の通電を制御する
   駆動素子と、 第２の電気熱変換体の表面温度を測定するための温度セ
   ンサーとを具備することを特徴とするインクジェット記
   録ヘッド。
4. 【請求項４】 前記温度センサーは、Ａｌ薄膜で形成さ
   れていることを特徴とする請求項３記載のインクジェッ
   ト記録ヘッド。
5. 【請求項５】 吐出口が記録媒体の記録領域の全幅にわ
   たって複数設けられているフルラインタイプであること
   を特徴とする請求項３または４記載のインクジェット記
   録ヘッド。
6. 【請求項６】 記録液滴形成のための熱エネルギーを発
   生する複数の第１の電気熱変換体と駆動信号に応じて第
   １の電気熱変換体の通電を制御する駆動素子を備え、さ
   らに、第１の電気熱変換体と同一構成、形状の検査のた
   めの第２の電気熱変換体と、第２の電気熱変換体の表面
   温度を測定するための温度センサーとを具備するインク
   ジェット記録ヘッドの検査方法であって、 第２の電気熱変換体の通電時の表面温度を測定し、その
   測定データに基づき前記インクジェット記録ヘッドの駆
   動電圧または駆動パルス幅を決定し、決定した駆動電圧
   または駆動パルス幅で前記インクジェット記録ヘッドの
   印字駆動を行うことにより、前記インクジェット記録ヘ
   ッドの印字検査を行うことを特徴とするインクジェット
   記録ヘッドの検査方法。