JPH0631637A - バフ用多孔性ゴム研磨材 - Google Patents
バフ用多孔性ゴム研磨材Info
- Publication number
- JPH0631637A JPH0631637A JP18611892A JP18611892A JPH0631637A JP H0631637 A JPH0631637 A JP H0631637A JP 18611892 A JP18611892 A JP 18611892A JP 18611892 A JP18611892 A JP 18611892A JP H0631637 A JPH0631637 A JP H0631637A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- abrasive
- rubber
- parts
- oil
- porous rubber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 従来、異なる種類の研磨材やバフを組み合わ
せて使用し、複雑な工程で実施されていた研磨仕上加工
を、一個の研磨材のみの使用で、操作性よく、非常に効
果的に実施可能とする、バフ用ゴム研磨材を提供する。 【構成】 ゴム研磨材を、多孔性ゴムに研磨剤と油質を
含ませたものとすることによって、仕上げ研磨とバフ加
工を、同時に、非常に操作性よく実施可能とする。
せて使用し、複雑な工程で実施されていた研磨仕上加工
を、一個の研磨材のみの使用で、操作性よく、非常に効
果的に実施可能とする、バフ用ゴム研磨材を提供する。 【構成】 ゴム研磨材を、多孔性ゴムに研磨剤と油質を
含ませたものとすることによって、仕上げ研磨とバフ加
工を、同時に、非常に操作性よく実施可能とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、バフ用に使用できるゴ
ム研磨材に関する。
ム研磨材に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、研磨仕上加工には、数種の研磨材
やバフを使用した熟練した操作が必要とされており、例
えば、ステンレスの研磨等における仕上加工は、サンド
ペーパーと不織布による研磨２工程の後、更に、布帛等
を使用したバフ仕上げ数工程を必要とするものであっ
た。
やバフを使用した熟練した操作が必要とされており、例
えば、ステンレスの研磨等における仕上加工は、サンド
ペーパーと不織布による研磨２工程の後、更に、布帛等
を使用したバフ仕上げ数工程を必要とするものであっ
た。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、このような
研磨仕上加工を、一個の研磨材のみの使用で、操作性よ
く、非常に効果的に実施可能とする、バフ用ゴム研磨材
を提供することを課題とする。
研磨仕上加工を、一個の研磨材のみの使用で、操作性よ
く、非常に効果的に実施可能とする、バフ用ゴム研磨材
を提供することを課題とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、多孔性ゴム研
磨材に、研磨剤と油質を含有させることによって、上記
課題を解決した。
磨材に、研磨剤と油質を含有させることによって、上記
課題を解決した。
【０００５】多孔性ゴムは、連続気泡ゴム、独立気泡ゴ
ム及び微孔性気泡ゴムのいずれであってもよく、例え
ば、連続気泡ゴムは、重炭酸ソーダと酒石酸など、反応
により気体を発生する薬剤を、また、独立気泡ゴムは、
ネオセルボン（永和化成工業株式会社製）の如き有機発
泡剤を、それぞれ加硫剤、加硫促進剤その他配合剤と共
にゴムに混練加硫して製造される。また、微孔性気泡ゴ
ムは、ラテックス中に加硫剤、加硫促進剤その他配合剤
を分散させて、硫酸アンモニウムの如き遅速性凝固剤を
加えてラテックスをゲル化させ、この時、金型に流し込
み、熱湯中にて、加硫後、洗浄、乾燥して製造できる。
ム及び微孔性気泡ゴムのいずれであってもよく、例え
ば、連続気泡ゴムは、重炭酸ソーダと酒石酸など、反応
により気体を発生する薬剤を、また、独立気泡ゴムは、
ネオセルボン（永和化成工業株式会社製）の如き有機発
泡剤を、それぞれ加硫剤、加硫促進剤その他配合剤と共
にゴムに混練加硫して製造される。また、微孔性気泡ゴ
ムは、ラテックス中に加硫剤、加硫促進剤その他配合剤
を分散させて、硫酸アンモニウムの如き遅速性凝固剤を
加えてラテックスをゲル化させ、この時、金型に流し込
み、熱湯中にて、加硫後、洗浄、乾燥して製造できる。
【０００６】研磨剤としては、一般に弁柄、クロームグ
リーン、タルク、活石、グラファイト、炭化珪素、アル
ミナ等の微粉末が使用できるが、特に、ガラス表面研磨
材又はワックスに混練して赤棒、青棒として金属その他
の他の研磨材に広く使用されている弁柄、クロームグリ
ーン等の使用が好ましい。これらの研磨剤はゴム混練時
に添加して、研磨材に製造されればよい。
リーン、タルク、活石、グラファイト、炭化珪素、アル
ミナ等の微粉末が使用できるが、特に、ガラス表面研磨
材又はワックスに混練して赤棒、青棒として金属その他
の他の研磨材に広く使用されている弁柄、クロームグリ
ーン等の使用が好ましい。これらの研磨剤はゴム混練時
に添加して、研磨材に製造されればよい。
【０００７】なお、多孔性ゴムに脂肪油又は鉱油等の油
質を含有させめる方法としては、ゴム混練時に必要な量
の油質を混練してもよいが、その他、製造した連続気泡
多孔性ゴムを脂肪油又は鉱油等の油質の中に浸漬して、
連続気泡中に油質を含浸せしめる方法、又は油質を界面
活性剤にて乳化するか又はマイクロカプセル中に入れ、
ゴムラテックス中に分散し、これをゲル化、加硫する方
法等も適用できる。
質を含有させめる方法としては、ゴム混練時に必要な量
の油質を混練してもよいが、その他、製造した連続気泡
多孔性ゴムを脂肪油又は鉱油等の油質の中に浸漬して、
連続気泡中に油質を含浸せしめる方法、又は油質を界面
活性剤にて乳化するか又はマイクロカプセル中に入れ、
ゴムラテックス中に分散し、これをゲル化、加硫する方
法等も適用できる。
【０００８】更に、研磨材の使用時に、研磨剤を含む多
孔性ゴムに油質が徐々に補給されるようにすることもで
きる。これは、回転させて使用する円板状研磨材におい
て、周囲に研磨剤を含む多孔性ゴム体を配置し、中心部
に油室を設け、使用時に遠心力により、前記油室から前
記多孔性ゴム体に油質が移行するようにすることによっ
て、達成できる。この油室としては、例えば、コルクや
発泡樹脂成型体等の多孔性成型体に油質を充填したも
の、又は油質を含む金属容器等が使用できる。なお、油
室は、研磨剤を含む多孔性ゴム体と接する面に、油質供
給用の細孔を有するのは勿論であり、更に油室には油質
補給用の口部を設けるのが好ましい。
孔性ゴムに油質が徐々に補給されるようにすることもで
きる。これは、回転させて使用する円板状研磨材におい
て、周囲に研磨剤を含む多孔性ゴム体を配置し、中心部
に油室を設け、使用時に遠心力により、前記油室から前
記多孔性ゴム体に油質が移行するようにすることによっ
て、達成できる。この油室としては、例えば、コルクや
発泡樹脂成型体等の多孔性成型体に油質を充填したも
の、又は油質を含む金属容器等が使用できる。なお、油
室は、研磨剤を含む多孔性ゴム体と接する面に、油質供
給用の細孔を有するのは勿論であり、更に油室には油質
補給用の口部を設けるのが好ましい。
【０００９】このように、本発明では、多孔性ゴム、油
質、研磨剤の三者の性質をそれぞれ有効に使用するもの
であり、ゴム研磨材をバフ用に非常に効果的に使用可能
とする。すなわち、本発明の研磨材によれば、上記三者
の作用にて、非常に操作性よおく、短時間で、被研磨物
の表面を、光沢があり、かつ非常に滑らかな面に仕上げ
ることが出来るものである。
質、研磨剤の三者の性質をそれぞれ有効に使用するもの
であり、ゴム研磨材をバフ用に非常に効果的に使用可能
とする。すなわち、本発明の研磨材によれば、上記三者
の作用にて、非常に操作性よおく、短時間で、被研磨物
の表面を、光沢があり、かつ非常に滑らかな面に仕上げ
ることが出来るものである。
【００１０】また、所望に応じて、弁柄、クロームグリ
ーン等の研磨剤の他に、アルミナ、カーボランダムその
他硬質の研磨剤の微粉を混入して、被研磨物表面の微細
な傷や凹凸を微細なアルミナ、カーボランダムその他の
作用にて平らにし、油質、弁柄、クロームグリーン等の
作用にて、更に光沢があり、非常に滑らかな面に仕上げ
ることができる。更に、本発明のバフ用多孔性ゴム研磨
材が、柔軟にしてバフ作業に差し支えある時には、該ゴ
ム研磨材に金属又は合成樹脂板等を接着補強してもよ
い。この補強は、作業に差し支えない面、例えば円板状
の多孔性ゴム研磨材の場合、その円板の平面を使用する
時には、その反対の背面に、又は円周を使用する場合
は、上下の円板面に、金属又は合成樹脂の円板等を接着
することにより達成できる。
ーン等の研磨剤の他に、アルミナ、カーボランダムその
他硬質の研磨剤の微粉を混入して、被研磨物表面の微細
な傷や凹凸を微細なアルミナ、カーボランダムその他の
作用にて平らにし、油質、弁柄、クロームグリーン等の
作用にて、更に光沢があり、非常に滑らかな面に仕上げ
ることができる。更に、本発明のバフ用多孔性ゴム研磨
材が、柔軟にしてバフ作業に差し支えある時には、該ゴ
ム研磨材に金属又は合成樹脂板等を接着補強してもよ
い。この補強は、作業に差し支えない面、例えば円板状
の多孔性ゴム研磨材の場合、その円板の平面を使用する
時には、その反対の背面に、又は円周を使用する場合
は、上下の円板面に、金属又は合成樹脂の円板等を接着
することにより達成できる。
【００１１】
【実施例】次に、実施例に従って本発明を更に詳しく説
明するが、実施例において％及び部とあるのは、特に断
らない限り、重量％及び重量部を示す。 実施例１ スモークトシート １００部 硫黄 ３部 亜鉛華 ５部 ステアリン酸 １部 加硫促進剤Ｍ 0.５部 加硫促進剤ＤＭ 0.３部 チタンホワイト １０部 弁柄 １００部 重炭酸ソーダ １０部 酒石酸 8.５部 上記配合物をロールにて混練し、その適量を金型に入
れ、１５０℃にて１０分間加硫して、研磨剤を含有し、
連続気泡を有するゴム研磨材を製造した。次いで、これ
を植物油中に浸漬して、植物油を適量連続気泡中に含浸
せしめ、油質、研磨剤及び連続気泡を有するバフ用ゴム
研磨材とした。この製品を、金属、石材、木材等の研磨
の最後の仕上げ時に使用すると、弁柄の研磨作用と、被
研磨物表面に形成した油質の薄膜のために、被研磨物の
表面を、容易に、平滑かつ光沢あるものとできた。
明するが、実施例において％及び部とあるのは、特に断
らない限り、重量％及び重量部を示す。 実施例１ スモークトシート １００部 硫黄 ３部 亜鉛華 ５部 ステアリン酸 １部 加硫促進剤Ｍ 0.５部 加硫促進剤ＤＭ 0.３部 チタンホワイト １０部 弁柄 １００部 重炭酸ソーダ １０部 酒石酸 8.５部 上記配合物をロールにて混練し、その適量を金型に入
れ、１５０℃にて１０分間加硫して、研磨剤を含有し、
連続気泡を有するゴム研磨材を製造した。次いで、これ
を植物油中に浸漬して、植物油を適量連続気泡中に含浸
せしめ、油質、研磨剤及び連続気泡を有するバフ用ゴム
研磨材とした。この製品を、金属、石材、木材等の研磨
の最後の仕上げ時に使用すると、弁柄の研磨作用と、被
研磨物表面に形成した油質の薄膜のために、被研磨物の
表面を、容易に、平滑かつ光沢あるものとできた。
【００１２】実施例２ ＳＢＲ １００部 硫黄 2.５部 亜鉛華 ５部 ステアリン酸 １部 加硫促進剤ＴＳ 0.８部 クロームグリーン １００部 チタンホワイト １０部 パラフィンワックス １５部 発泡剤ネオセルボン ８部 カーボランダムＪＩＳ＃２０００ ８０部 上記配合物をロールにて混練し、金型に入れ、１４０℃
にて５分間加硫して、研磨剤、油質及び独立気泡を有す
るバフ用ゴム研磨材を得た。このバフ用ゴム研磨材に
て、被研磨物の表面をバフ仕上げすると、被研磨物の表
面は、残存する微細な傷や凹凸をカーボランダム微細粉
で平滑に削られ、更にクロームグリーン、パラフィンワ
ックスの作用にて、光沢のある極めて平滑な面に仕上げ
られた。
にて５分間加硫して、研磨剤、油質及び独立気泡を有す
るバフ用ゴム研磨材を得た。このバフ用ゴム研磨材に
て、被研磨物の表面をバフ仕上げすると、被研磨物の表
面は、残存する微細な傷や凹凸をカーボランダム微細粉
で平滑に削られ、更にクロームグリーン、パラフィンワ
ックスの作用にて、光沢のある極めて平滑な面に仕上げ
られた。
【００１３】実施例３ ６０％ＮＲラテックス １６６部 コロイド硫黄 ４部 活性亜鉛華 １０部 加硫促進剤ＴＳ １部 微粉弁柄 ６０部 微粉チタンホワイト ５部 上記配合物をよく混合し、これに、綿実油１０部、界面
活性剤１部及び水１０部からなるエマルジョンを加え
て、よく混合し、次いで、カゼイン３部、アンモニア水
１５部、水５０部からなるカゼンイン液を加えて、よく
混和しつつ、硫酸アンモニウム２５％液を徐々に加え
た。この結果、ラテックスはゲル化しはじめるが、この
時、このゲル化液を金型に流し込み、熱湯中に浸漬し、
金型を熱湯中に入れたまま、蒸気圧3.５ kg/cm2 にて２
０分間加熱して、油剤、研磨剤を含む微孔性バフ用ゴム
研磨材を得た。この製品も、実施例１の製品と同様、バ
フ用研磨材として非常に効率よく使用できた。
活性剤１部及び水１０部からなるエマルジョンを加え
て、よく混合し、次いで、カゼイン３部、アンモニア水
１５部、水５０部からなるカゼンイン液を加えて、よく
混和しつつ、硫酸アンモニウム２５％液を徐々に加え
た。この結果、ラテックスはゲル化しはじめるが、この
時、このゲル化液を金型に流し込み、熱湯中に浸漬し、
金型を熱湯中に入れたまま、蒸気圧3.５ kg/cm2 にて２
０分間加熱して、油剤、研磨剤を含む微孔性バフ用ゴム
研磨材を得た。この製品も、実施例１の製品と同様、バ
フ用研磨材として非常に効率よく使用できた。
【００１４】実施例４ 図１の如く、中心部に油室１を設け、その外周部に、実
施例１の前段と同様の方法で得た、研磨剤を含み、連続
気泡を有するゴム研磨材２を装着した円板状研磨材３を
製造した。油室１は金属製容器に油質を充填したもので
あり、油室１のゴム研磨材２との接触部分には、微細孔
４が設けられている。この円板状研磨材３では、回転使
用する時、遠心力によって、油室１からゴム研磨材２
に、上記微細孔４を通って油質が移行するため、非常に
スムーズなバフ効果ある研磨が可能となる。
施例１の前段と同様の方法で得た、研磨剤を含み、連続
気泡を有するゴム研磨材２を装着した円板状研磨材３を
製造した。油室１は金属製容器に油質を充填したもので
あり、油室１のゴム研磨材２との接触部分には、微細孔
４が設けられている。この円板状研磨材３では、回転使
用する時、遠心力によって、油室１からゴム研磨材２
に、上記微細孔４を通って油質が移行するため、非常に
スムーズなバフ効果ある研磨が可能となる。
【００１５】実施例５ 図１の油室１を、連続気泡を有する固体発泡体に油質を
含浸させたものとした以外は、実施例４と同様の方法を
実施した。この場合も、実施例４同様、非常に効果的に
本発明が効果が得られた。
含浸させたものとした以外は、実施例４と同様の方法を
実施した。この場合も、実施例４同様、非常に効果的に
本発明が効果が得られた。
【００１６】実施例６ 実施例２の混練配合物を、図２の如き、多数の穴５を有
する金属製補強板６を表裏に当てた状態で、金型に入
れ、１４０℃にて５分間加硫して、研磨剤、油質及び独
立気泡を有するゴム研磨材２を得た。ゴム研磨材２が補
強板６の穴５に食い込んだ状態で、補強板６とゴム研磨
材２は一体化され、バフ用研磨材として非常に扱い易い
製品となった。
する金属製補強板６を表裏に当てた状態で、金型に入
れ、１４０℃にて５分間加硫して、研磨剤、油質及び独
立気泡を有するゴム研磨材２を得た。ゴム研磨材２が補
強板６の穴５に食い込んだ状態で、補強板６とゴム研磨
材２は一体化され、バフ用研磨材として非常に扱い易い
製品となった。
【００１７】
【発明の効果】本発明の研磨材は、バフ効果ある多孔性
ゴムからなり、しかも油質と研磨剤を含むため、これら
三者の作用にて、被研磨物の表面を、容易に非常に滑ら
かで、光沢のある面に仕上げることができる。従って、
本発明の研磨材は、非常に操作性よく使用でき、通常の
バフ仕上げの約半分の工程で、従来になく、効果あるバ
フ仕上げを可能とする。
ゴムからなり、しかも油質と研磨剤を含むため、これら
三者の作用にて、被研磨物の表面を、容易に非常に滑ら
かで、光沢のある面に仕上げることができる。従って、
本発明の研磨材は、非常に操作性よく使用でき、通常の
バフ仕上げの約半分の工程で、従来になく、効果あるバ
フ仕上げを可能とする。
【図１】本発明の一例を示す断面図である。
【図２】本発明の一例を示すもので、Ａは平面図、Ｂは
断面図である。
断面図である。
１ 油室 ２ ゴム研磨材 ３ 円板状研磨材 ４ 微細孔 ５ 穴 ６ 補強板
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成５年８月２日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００９】このように、本発明では、多孔性ゴム、油
質、研磨剤の三者の性質をそれぞれ有効に使用するもの
であり、ゴム研磨材をバフ用に非常に効果的に使用可能
とする。すなわち、本発明の研磨材によれば、上記三者
の作用にて、非常に操作性よく、短時間で、被研磨物の
表面を、光沢があり、かつ非常に滑らかな面に仕上げる
ことが出来るものである。
質、研磨剤の三者の性質をそれぞれ有効に使用するもの
であり、ゴム研磨材をバフ用に非常に効果的に使用可能
とする。すなわち、本発明の研磨材によれば、上記三者
の作用にて、非常に操作性よく、短時間で、被研磨物の
表面を、光沢があり、かつ非常に滑らかな面に仕上げる
ことが出来るものである。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１１】
【実施例】次に、実施例に従って本発明を更に詳しく説
明するが、実施例において％及び部とあるのは、特に断
らない限り、重量％及び重量部を示す。 実施例１ スモークトシート １００部 硫黄 ３部 亜鉛華 ５部 ステアリン酸 １部 加硫促進剤Ｍ ０．５部 加硫促進剤ＤＭ ０．３部 チタンホワイト １０部 弁柄 １００部 重炭酸ソーダ １０部 酒石酸 ８．５部 上記配合物をロールにて混練し、その適量を金型に入
れ、１５０℃にて１０分間加硫して、研磨剤を含有し、
連続気泡を有するゴム研磨材を製造した。次いで、これ
を植物油中に浸漬して、植物油を適量連続気泡中に含浸
せしめ、油質、研磨剤及び連続気泡を有するバフ用ゴム
研磨材とした。この製品を、金属、石材、木材等の研磨
の最後の仕上げ時に使用すると、弁柄の研磨作用と、被
研磨物表面に形成した油質の薄膜のために、被研磨物の
表面を、容易に、平滑かつ光沢あるものに仕上げること
ができた。
明するが、実施例において％及び部とあるのは、特に断
らない限り、重量％及び重量部を示す。 実施例１ スモークトシート １００部 硫黄 ３部 亜鉛華 ５部 ステアリン酸 １部 加硫促進剤Ｍ ０．５部 加硫促進剤ＤＭ ０．３部 チタンホワイト １０部 弁柄 １００部 重炭酸ソーダ １０部 酒石酸 ８．５部 上記配合物をロールにて混練し、その適量を金型に入
れ、１５０℃にて１０分間加硫して、研磨剤を含有し、
連続気泡を有するゴム研磨材を製造した。次いで、これ
を植物油中に浸漬して、植物油を適量連続気泡中に含浸
せしめ、油質、研磨剤及び連続気泡を有するバフ用ゴム
研磨材とした。この製品を、金属、石材、木材等の研磨
の最後の仕上げ時に使用すると、弁柄の研磨作用と、被
研磨物表面に形成した油質の薄膜のために、被研磨物の
表面を、容易に、平滑かつ光沢あるものに仕上げること
ができた。
Claims (2)
- 【請求項１】 研磨剤と油質を含む多孔性ゴム研磨材か
らなることを特徴とするバフ用多孔性ゴム研磨材。 - 【請求項２】 回転させて使用する円板状研磨材であっ
て、周囲が研磨剤を含む多孔性ゴム体からなり、中心部
に油室が設けられ、使用時に遠心力により、前記油室か
ら前記多孔性ゴム体に油質が移行するようになっている
ことを特徴とするバフ用多孔性ゴム研磨材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18611892A JPH0631637A (ja) | 1992-06-19 | 1992-06-19 | バフ用多孔性ゴム研磨材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18611892A JPH0631637A (ja) | 1992-06-19 | 1992-06-19 | バフ用多孔性ゴム研磨材 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0631637A true JPH0631637A (ja) | 1994-02-08 |
Family
ID=16182679
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18611892A Pending JPH0631637A (ja) | 1992-06-19 | 1992-06-19 | バフ用多孔性ゴム研磨材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0631637A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101158137B1 (ko) * | 2003-08-08 | 2012-06-19 | 엔테그리스, 아이엔씨. | 회전식 기부 상에 주조된 일체형 다공성 패드를 제조하기위한 방법 및 재료 |
| US20220048156A1 (en) * | 2020-08-14 | 2022-02-17 | Steven Anneker | Polishing pad assembly |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54549A (en) * | 1977-06-02 | 1979-01-05 | Mitsubishi Electric Corp | Waveform generator |
| JPS57163070A (en) * | 1981-10-21 | 1982-10-07 | Nippon Tokushu Kento Kk | Manufacture of polishing buff |
| JPS57184659A (en) * | 1981-02-02 | 1982-11-13 | Norton Co | Grinding article and its manufacture |
| JPS5942855B2 (ja) * | 1977-08-15 | 1984-10-18 | 株式会社リコー | 複数ビ−ム同時走査装置 |
| JPH02185373A (ja) * | 1989-01-13 | 1990-07-19 | Kanebo Ltd | 合成砥石 |
-
1992
- 1992-06-19 JP JP18611892A patent/JPH0631637A/ja active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54549A (en) * | 1977-06-02 | 1979-01-05 | Mitsubishi Electric Corp | Waveform generator |
| JPS5942855B2 (ja) * | 1977-08-15 | 1984-10-18 | 株式会社リコー | 複数ビ−ム同時走査装置 |
| JPS57184659A (en) * | 1981-02-02 | 1982-11-13 | Norton Co | Grinding article and its manufacture |
| JPS57163070A (en) * | 1981-10-21 | 1982-10-07 | Nippon Tokushu Kento Kk | Manufacture of polishing buff |
| JPH02185373A (ja) * | 1989-01-13 | 1990-07-19 | Kanebo Ltd | 合成砥石 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101158137B1 (ko) * | 2003-08-08 | 2012-06-19 | 엔테그리스, 아이엔씨. | 회전식 기부 상에 주조된 일체형 다공성 패드를 제조하기위한 방법 및 재료 |
| US10040226B2 (en) | 2003-08-08 | 2018-08-07 | Entegris, Inc. | Methods and materials for making a monolithic porous pad cast onto a rotatable base |
| US20220048156A1 (en) * | 2020-08-14 | 2022-02-17 | Steven Anneker | Polishing pad assembly |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US2885276A (en) | Abrasive products and method of making | |
| US5976000A (en) | Polishing pad with incompressible, highly soluble particles for chemical-mechanical planarization of semiconductor wafers | |
| TWI591709B (zh) | 具孔直徑多模態分佈之拋光墊 | |
| US6290883B1 (en) | Method for making porous CMP article | |
| JPH0747267B2 (ja) | 発泡研摩体の製造方法 | |
| US3773480A (en) | Abrasive means and method of manufacture | |
| US6514301B1 (en) | Foam semiconductor polishing belts and pads | |
| US2327001A (en) | Pore surfaced foam rubber and method | |
| JPH0631637A (ja) | バフ用多孔性ゴム研磨材 | |
| US2972527A (en) | Abrasive products and method of making | |
| US2734812A (en) | robie | |
| JP2000344850A (ja) | 研磨パッド用ウレタン成形物の製造方法及び研磨パッド用ウレタン成形物 | |
| US2140062A (en) | Manufacture of rubber products, more particularly of porous and spongy masses and articles | |
| JP2015180519A (ja) | 化学機械研磨層を製造する改良された方法 | |
| JP3122374B2 (ja) | 多孔質レジノイド砥石の製造方法 | |
| EP1555285B1 (en) | Production method for a cosmetic applicator | |
| KR20020095941A (ko) | 반도체 소재 연마용 고분자 연마패드의 제조방법 및 그제조 패드 | |
| USRE19802E (en) | Abrading material and process for | |
| US2113185A (en) | Method of manufacturing, grinding, and polishing bodies | |
| JPH01222868A (ja) | 研磨材用ポリウレタン組成物およびポリウレタン発泡体の製造方法 | |
| JPS63174878A (ja) | 精密研磨用研磨材 | |
| JPH10193270A (ja) | 研磨用材料と工具並びに研磨用工具の製造方法 | |
| US2091184A (en) | Flexible abrasives and method of making | |
| CA1258182A (en) | Foamed organopolysiloxane abrasive materials | |
| USRE19318E (en) | Abrasive article |