JPH06313644A - 極低温冷凍装置の制御方法 - Google Patents

極低温冷凍装置の制御方法

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JPH06313644A
JPH06313644A JP10301193A JP10301193A JPH06313644A JP H06313644 A JPH06313644 A JP H06313644A JP 10301193 A JP10301193 A JP 10301193A JP 10301193 A JP10301193 A JP 10301193A JP H06313644 A JPH06313644 A JP H06313644A
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JP
Japan
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oil
air
cooling
heat exchanger
temperature
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JP10301193A
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English (en)
Inventor
Tokuji Nishijo
徳二 西場
Shigeru Murayama
茂 村山
Hiroyuki Mochihara
浩行 持原
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Sanyo Electric Co Ltd
Original Assignee
Sanyo Electric Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 外気の温度が大幅に低下した時にも、圧縮機
の圧縮部においてオイル不足を来さないようにする。 【構成】 温度センサ52が計測する外気が所定温度以
下に下がると、圧縮機11からのオイルが側路管38に
流れてオイル熱交換器12Aを側路するように切換弁3
9を操作すると共に、電熱ヒータ42・43に通電して
オイル戻り経路36を流れるオイルを加熱するので、寒
冷地の冬期などで外気の温度が大きく下がることがあっ
ても、オイルの粘性が増して流量不足になることがな
く、圧縮機11には常に十分な量のオイルが供給され、
年間を通して正常な状態で運転されることから、極低温
冷却器23では常に正常な状態の冷却作用がなされる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、加圧ガス体を冷却媒体
として膨張冷却を行う極低温冷凍装置に関する技術であ
る。
【0002】
【従来の技術】この種の装置は、図4に例示した極低温
冷凍装置500のように、圧縮部100で加圧した冷媒
体、例えばヘリウムを極低温冷却部200に送って所要
の冷却を行った後、圧縮部100に戻し、再び加圧して
極低温冷却部200に送ると云う循環を行うと共に、圧
縮部100における種々の動作を円滑安定に行うための
調整部300を設けた構成になっている。
【0003】具体的に説明すると、圧縮機11により所
定のガス体、例えばヘリウムガスを冷媒体として用いて
加圧し、第2熱交換器12Bで圧縮による温度上昇分を
冷却した後、オイルセパレータ13に与えて加圧の際に
用いたオイル分を分流し、オイル分は後記する経路を介
して圧縮機11に戻し、冷却後の冷媒体をアドソーバ1
4に与える。アドソーバ14は、内部に活性炭などの吸
収剤を収納したものであり、オイルセパレータ13で分
流しきれなかった細かいオイル分を吸収分離して、冷媒
体のみを往路管21に送出する。
【0004】冷媒体は、供給弁22を介してクライオポ
ンプなどからなる極低温冷却機23で所要の冷却作用を
果した後、排出弁24・復路管25を経由してアキュム
レータ15に流入し、ここに一時的に貯溜されて、再び
圧縮機11で加圧されると云う循環経路を辿る。
【0005】圧縮機11内での圧縮時に、オイルと冷媒
体の混合流体に生ずる発熱分を、第1熱交換器12Cに
おいて冷却する。
【0006】調整部300は、オイルセパレータ13の
オイル出口側と復路管25との間を側路する側路管31
の途中に設けた差圧弁32と均圧弁33とによって所要
の圧力調節を行うことにより、極低温冷却機23または
圧縮機11に対する不要な高圧などを側路して極低温冷
却機23と圧縮機11との異常運転を防止する調整動作
と、オイルセパレータ13で分離したオイル分を圧縮機
11に戻す側路管34に、キャピラリーチューブなどか
らなる減圧器35を設けて減圧する調整動作と、圧縮機
11内のオイルをオイル熱交換器12Aで冷却して再び
圧縮機11に戻すためのオイル戻り経路36に、キャピ
ラリーチューブなどからなる減圧器37を設けて減圧す
る調整動作と、を行うものである。
【0007】なお、第1熱交換器12Cは前記したよう
に冷媒体とオイルとの混合流体を冷却するための熱交換
器であり、冷媒体の圧縮熱の大半を冷却する。また、第
2熱交換器12Bは主として冷媒体を冷却するための熱
交換器であり、圧縮機11の動作部分、例えばモータ部
の発熱と、圧縮熱の熱伝導部分とを冷却する。また、オ
イル熱交換器12Aは主にオイルを冷却するための熱交
換器であり、圧縮機11内のオイルを冷却し、冷媒体の
圧縮過程における発熱を抑えるものである。
【0008】そして、これら第1熱交換器12C・第2
熱交換器12B・オイル熱交換器12Aに、冷却ファン
16を用いて相対的に冷たい空気(外気)を冷却用空気
として送風し、熱交換効率の改善を図っている。
【0009】しかし、上記構成の極低温冷凍装置500
は、しばしば空気の清浄な高地に建てられた例えば天文
台の観測機器に設けられることがあり、そのような高緯
度の寒冷地に設置する場合には、冬期に氷点下になるこ
とも珍しいことではない。
【0010】したがって、特開昭3−217763号公
報などに開示されている、オイル熱交換器12Aを水冷
する方式の極低温冷凍装置が、冷却水の凝固により使用
できないのはもちろん、図4に示したオイル熱交換器1
2Aを空冷する極低温冷凍装置500であっても、外気
温度が低くなると、冷却ファン16で冷却したオイルの
温度が低下し過ぎて粘性が増し、これによりオイル循環
に支障を来し、正常な運転が出来なくなると云った問題
点があった。
【0011】このため、例えば図5に例示したように、
圧縮機11の外表面に加熱手段としての電熱ヒータ41
を設置すると共に、温度センサ51を設けて圧縮機11
の温度を計測し、コントローラ61によって電熱ヒータ
41への通電を制御し、圧縮機11の温度が所定温度
(例えば、0℃)以下に低下しないように工夫した、極
低温冷凍装置500Dがある。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記構成の極
低温冷凍装置500Dにおいては、電熱ヒータ41が折
角暖めた圧縮機11のオイルは、冷却ファン16が送風
して冷却するオイル熱交換器12Aにおいて冷却される
ので、オイル熱交換器12A出口部の温度は外気温度に
より大きく左右される。このため、例えば寒冷地におけ
る冬期などで外気温度が低くなり過ぎると、オイル熱交
換器12A・オイル戻り経路36においてオイルの温度
が下がり過ぎ、粘性が増してオイルの循環量不足を来
し、圧縮機11の安定した運転を継続することができな
くなることがあった。
【0013】また、外気の温度がそれほど低下していな
い時にも、メンテナンスを行う時などでは長時間に渡っ
て運転を停止させることになり、これにより圧縮機11
・オイル熱交換器12A・オイル戻り経路36などの温
度が下がってしまうため、再起動するためのウォーミン
グアップに長い時間を要するようになり、再起動した後
もオイル熱交換器12A・オイル戻り経路36が十分暖
められるまではオイル温度が低く、十分な量のオイル循
環が確保されないことから、圧縮機11が苛酷な条件下
で運転され、装置寿命を縮めると云った問題点もあり、
この点の解決が課題となっていた。
【0014】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記従来技術
の課題を解決するため、オイルを介在させて冷媒体を加
圧する圧縮部を備え、この圧縮部で加圧した冷媒体を極
低温冷却部に供給して所要の極低温冷却を行うと共に、
圧縮部にオイルを冷却するための空冷式オイル熱交換器
と、この空冷式オイル熱交換器に冷却用空気を送風する
冷却ファンとを設け、且つこの空冷式オイル熱交換器か
ら前記加圧を行う部分に至るオイル戻り経路にオイル加
熱手段を設け、さらにこの空冷式オイル熱交換器のオイ
ル入口側とオイル出口側とを連通する側路管を設けた極
低温冷凍装置において、
【0015】前記冷却用空気の温度低下に伴って、前記
空冷式オイル熱交換器を側路して前記側路管に流れるオ
イル量を増加し、且つ前記オイル加熱手段を起動して加
熱量を増加させることを特徴とする極低温冷凍装置の制
御方法であり、
【0016】前記冷却用空気が所定温度以下に下がった
時、循環オイル全量を前記空冷式オイル熱交換器を側路
して前記側路管に流し、且つ前記オイル加熱手段を起動
することを特徴とする極低温冷凍装置の制御方法であ
り、
【0017】前記冷却用空気または前記空冷式オイル熱
交換器のオイル出口側を臨むオイル戻り経路の温度低下
に伴って、前記側路管に流れるオイル量を制御し、且つ
前記加熱手段の設置部より下流側の前記オイル戻り経路
の温度低下に伴って前記加熱手段を起動することを特徴
とする極低温冷凍装置の制御方法である。
【0018】
【作用】請求項1;冷却ファンが送る冷却用空気(外
気)の温度が低下すると、側路管に流れてオイル熱交換
器を側路するオイル量が増加すると共に、オイル加熱手
段が起動してオイル戻り経路を流れているオイルが加熱
される。このため、オイル戻り経路を流れるオイルを所
定の温度以上に維持して、オイルの粘性増加を防止する
ことが可能であるから、外気の温度が寒冷地における冬
期などで大きく下がることがあっても、オイルの循環量
が大きく減少して装置の正常な運転ができなくなると云
った懸念がない。
【0019】請求項2;冷却ファンが送る冷却用空気
(外気)の温度が所定温度以下に下がると、循環してい
るオイルの全量が側路管に流れてオイル熱交換器を完全
に側路すると共に、オイル加熱手段が起動してオイル戻
り経路を流れているオイルが加熱される。このため、オ
イル戻り経路を流れるオイルを所定の温度以上に維持し
て、オイルの粘性増加を防止することが可能であるか
ら、外気の温度が寒冷地における冬期などで大きく下が
ることがあっても、オイルの循環量が大きく減少して装
置の正常な運転ができなくなると云った懸念がない。
【0020】請求項3;冷却ファンが送る冷却用空気
(外気)または空冷式オイル熱交換器のオイル出口側を
臨むオイル戻り経路の温度が低下すると、側路管に流れ
てオイル熱交換器を側路するオイルが増加し、加熱手段
の設置部位より下流側のオイル戻り経路の温度が低下す
ると、加熱手段が起動してオイルを加熱するので、オイ
ル戻り経路を流れるオイルを所定の温度以上に維持し
て、オイルの粘性増加を防止することが可能であり、外
気の温度が寒冷地における冬期などで大きく下がること
があっても、オイルの循環量が大きく減少して装置の正
常な運転ができなくなると云った懸念がない。
【0021】
【実施例】
(実施例1)以下、本発明になる第1の実施例を図1に
示した極低温冷凍装置500Aに基づいて詳細に説明す
る。なお、この図において、図4・図5における符号と
同一の符号で示した部分は、前記図面により説明した部
分と同一の機能を持つ部分であり、本発明の理解を損な
わない範囲で説明を省略した。
【0022】図1において、符号38は、空冷式のオイ
ル熱交換器12Aのオイル入口側とオイル出口側とを連
通する側路管である。この側路管38にはコントローラ
62が制御する切替弁39を介して、温度センサ52が
計測する冷却用空気(外気)の温度が所定温度以下に下
がった時に、圧縮機11から吐出したオイルがオイル熱
交換器12Aを側路して流れるようになっている。
【0023】また、前記温度センサ52が計測する外気
の温度データに基づいて、コントローラ63が、オイル
戻り経路36のオイル熱交換器12Aと減圧器37との
間の配管部に設置された電熱ヒータ42と、減圧器37
に設置された電熱ヒータ43への通電を制御するように
設けられている。
【0024】すなわち、前記コントローラ62・63
は、例えば表1に例示したように、温度センサ52が計
測した外気の温度Tが所定温度T1(例えば、0℃)よ
り高い時には圧縮機11から吐出したオイルがオイル熱
交換器12Aに流れるように切替弁39のスイッチを切
り、電熱ヒータ42・43による通電加熱が行われない
ようにヒータのスイッチを切り、外気温度Tが前記所定
温度T1以下の時には圧縮機11から吐出したオイルが
側路管38に流れてオイル熱交換器12Aを側路するよ
うに切替弁39のスイッチが入り、同時に電熱ヒータ4
2・43による通電加熱が行われるようにヒータのスイ
ッチが入る設計となっている。
【0025】
【表1】
【0026】したがって、上記制御が可能なコントロー
ラ62・63を備えた極低温冷凍装置500Aにおいて
は、温度センサ52が計測する外気温度Tが前記所定温
度T1より高い時には、圧縮機11から吐出したオイル
はオイル熱交換器12Aに流れ、ここで冷却ファン16
が送風する相対的に低温度の外気によって効果的に冷却
され、オイル戻り経路36の加熱手段42・43による
通電加熱がないので、圧縮機11内での圧縮時に加熱さ
れたオイルは十分冷却された状態で還流し、
【0027】外気温度Tが前記所定温度T1以下に下が
ると、オイルは側路管38を流れてオイル熱交換器12
Aに流れなくなり、同時に加熱手段42・43による通
電加熱が行なわれてオイル戻り経路36で加熱されるた
め、外気温度Tが大きく低下してもオイルは所定温度
(例えば、10℃)以上に維持され、オイルの粘性増加
が防止されてオイル循環量が確保されることから、圧縮
機11には常に十分な量のオイルが還流し、圧縮機11
は四季を問わず常に正常な状態で運転される。
【0028】なお、コントローラ62・63は、切替弁
39と電熱ヒータ42・43とを表1のように操作する
ほか、表2〜表4などのように、温度センサ52が計測
した外気温度Tを三領域以上に区分し、外気温度Tが高
い時ほど圧縮機11に還流するオイルの温度が低下する
ように切替弁39と電熱ヒータ42・43とを操作し、
外気温度Tが低い時ほど圧縮機11に還流するオイルの
温度が低下し難くなるように切替弁39と電熱ヒータ4
2・43とを操作することも可能である。
【0029】
【表2】
【0030】
【表3】
【0031】
【表4】
【0032】(実施例2)次に、本発明になる第2の実
施例を図2に示した極低温冷凍装置500Bに基づいて
詳細に説明する。なお、この図において、図1および図
4・図5における符号と同一の符号で示した部分は、既
に説明した部分であるから、本発明の理解を損なわない
範囲で説明を省略した。
【0033】符号53は、オイル戻り経路36のオイル
熱交換器12A出口部を臨む部位の管内に挿入設置され
て、管内を流れているオイルの温度を直接計測する温度
センサ、符号54は、オイル戻り経路36の復路管25
を臨む部位の管内に挿入設置されて、管内を流れている
オイルの温度を直接計測する温度センサである。
【0034】そして、この場合は温度センサ53が計測
するオイルの温度データに基づいてコントローラ62が
切替弁39の切り替えを制御し、温度センサ54が計測
するオイルの温度データに基づいてコントローラ63が
電熱ヒータ42・43による通電加熱を制御するように
なっている。
【0035】すなわち、コントローラ62は、温度セン
サ53が計測したオイル熱交換器12A下流部のオイル
の温度が所定温度より高いと圧縮機11から吐出したオ
イルがオイル熱交換器12Aに流れるように切替弁39
を操作し、前記所定温度以下になると側路管38に流れ
てオイル熱交換器12Aを側路するように切替弁39を
操作し、コントローラ63は、温度センサ54が計測し
た復路管25に合流するオイルの温度が所定温度より高
い時には電熱ヒータ42・43による通電加熱が行われ
ないようにスイッチを切り、前記所定温度以下になると
電熱ヒータ42・43による通電加熱が行われるように
スイッチが入る設計となっている。
【0036】したがって、上記構成の極低温冷凍装置5
00Bにおいては、温度センサ53が計測するオイル温
度が所定温度より高いと、圧縮機11から吐出したオイ
ルはオイル熱交換器12Aに流れてここで効果的に冷却
されるので、圧縮機11内での圧縮時に加熱されても圧
縮機11には十分冷却されて還流する。
【0037】一方、温度センサ53が計測するオイル温
度が所定温度以下になった時には、コントローラ62か
らの指令により、圧縮機11から吐出したオイルが側路
管38に流れてオイル熱交換器12Aに流れないように
切替弁39が切り換わり、オイル熱交換器12Aを側路
しても温度センサ54が計測したオイルの温度が所定温
度以下になっていると、コントローラ63が制御信号を
出力して電熱ヒータ42・43による通電加熱が行なわ
れ、外気温度が大きく低下することがあっても、オイル
戻り経路36を通って圧縮機11に還流するオイルは所
定温度以上に保たれるので、オイルの粘性増加が防止さ
れてオイル循環量が確保されることから、圧縮機11に
は常に十分な量のオイルが還流し、圧縮機11は常に正
常な状態で運転される。
【0038】なお、この場合も切替弁39の切り替え操
作と電熱ヒータ42・43の通電加熱操作については、
前記した表2〜表4のように、温度センサ53・54が
計測するオイルの温度レベルによって、多段制御とする
ことも可能である。
【0039】また、温度センサ53・54については、
オイル戻り経路36の管内に挿入設置して管内を流れて
いるオイルの温度を直接計測する他、管外に貼り付け設
置して、管壁を介して管内を流れているオイルの温度を
計測したり、あるいは管壁内に埋め込み設置して、管内
を流れているオイルの温度を計測するものであっても良
い。
【0040】(実施例3)次に、本発明になる第3の実
施例である極低温冷凍装置500Cを、図3に基づいて
詳細に説明する。なお、この図において、図1・図2お
よび図4・図5における符号と同一の符号で示した部分
は、既に説明した部分であるから、本発明の理解を損な
わない範囲で説明を省略した。
【0041】この極低温冷凍装置500Cにおいては、
温度センサ52が計測した冷却用空気(外気)の温度デ
ータに基づいてコントローラ62が切替弁39の切り替
えを制御し、温度センサ54が計測したオイルの温度デ
ータに基づいてコントローラ63が電熱ヒータ42・4
3への通電を制御するように設けられている。
【0042】すなわち、上記構成の極低温冷凍装置50
0Cにおいては、温度センサ52が計測した外気の温度
が所定温度より高い時には圧縮機11からのオイルがオ
イル熱交換器12Aに流れるように切替弁39を操作
し、温度センサ54が計測したオイルの温度が所定温度
より高い時には電熱ヒータ42・43による通電加熱が
行われず、温度センサ52が計測した外気の温度が所定
温度以下の時には側路管38に流れてオイル熱交換器1
2Aに流れないように切替弁39を操作し、オイル熱交
換器12Aを側路しても温度センサ54が計測したオイ
ルの温度が所定温度以下の時には電熱ヒータ42・43
による通電加熱が行われて、圧縮機11に還流するオイ
ルの温度が所定温度を維持するようになっている。
【0043】このため、上記構成の極低温冷凍装置50
0Cにおいても、外気の温度が高い時には圧縮機11内
での圧縮工程で加熱されたオイルを冷却する作用を強
め、外気の温度が低い時にはオイルを加熱する作用を強
める運転制御となっているので、四季を問わず常に正常
な状態での運転が可能である。
【0044】なお、この場合も切替弁39の切り替え操
作と電熱ヒータ42・43の通電加熱操作については、
前記した表2〜表4のように、温度センサ53・54が
計測するオイルの温度レベルによって、多段制御とする
ことも可能である。
【0045】ところで、本発明は上記実施例に限定され
るものではないので、特許請求の範囲に記載の趣旨から
逸脱しない範囲で適宜の変形実施が可能であり、例えば
切替弁39に代えてオイル熱交換器12Aに流れるオイ
ル流量と側路管38に流れるオイル流量との比が自在に
調節できる弁を設置することも可能である。
【0046】また、この種の弁は、側路管38とオイル
戻り経路36との合流部に設置したり、オイル戻り経路
36の途中に設置することも可能である。
【0047】
【発明の効果】以上説明したように本発明になる極低温
冷凍装置の制御方法は、オイルを介在させて冷媒体を加
圧する圧縮部を備え、この圧縮部で加圧した冷媒体を極
低温冷却部に供給して所要の極低温冷却を行うと共に、
圧縮部にオイルを冷却するための空冷式オイル熱交換器
と、この空冷式オイル熱交換器に冷却用空気を送風する
冷却ファンとを設け、且つこの空冷式オイル熱交換器か
ら前記加圧を行う部分に至るオイル戻り経路にオイル加
熱手段を設け、さらにこの空冷式オイル熱交換器のオイ
ル入口側とオイル出口側とを連通する側路管を設けた極
低温冷凍装置において、
【0048】前記冷却用空気または前記オイル戻り経路
の温度低下に伴って、前記冷却ファンの回転数を減らす
と共に、前記オイル加熱手段を起動することを特徴とす
る極低温冷凍装置の制御方法であり、
【0049】前記冷却用空気または前記空冷式オイル熱
交換器のオイル出口側を臨むオイル戻り経路の温度低下
に伴って、前記側路管に流れるオイル量を制御し、且つ
前記加熱手段の設置部より下流側の前記オイル戻り経路
の温度低下に伴って前記加熱手段を起動することを特徴
とする極低温冷凍装置の制御方法であるから、
【0050】外気の温度が低下しても、オイルの温度を
所定温度以上に維持することが可能であり、粘性が増加
してオイルの循環量が減少する懸念がない。
【0051】これにより、外気温度が冬期などに大きく
低下することがあっても、圧縮機を正常な状態で運転す
ることができるので、極低温冷凍装置を例えば寒冷地に
設置する天文台の電波望遠鏡の観測機器などを冷却する
装置として使用する時にも、全く問題なく冷凍作用を発
揮することが可能になるなど、顕著な効果を奏するもの
である。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施例の説明図。
【図2】第2の実施例の変形例。
【図3】第3の実施例の変形例。
【図4】極低温冷凍装置の全体構成を示すブロック図。
【図5】従来技術の説明図。
【符号の説明】
11 圧縮機 12A オイル熱交換器 12B 第2熱交換器 12C 第1熱交換器 13 オイルセパレータ 14 アドソーバ 16 冷却ファン 21 往路管 23 極低温冷却機 25 復路管 36 オイル戻り経路 37 減圧器 38 側路管 39 切替弁 41・42・43 電熱ヒータ 51・52・53・54 温度センサ 61・62・63 コントローラ 100 圧縮部 200 極低温冷却部 300 調整部 500・500A・500B・500C・500D 極
低温冷凍装置

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 オイルを介在させて冷媒体を加圧する圧
    縮部を備え、この圧縮部で加圧した冷媒体を極低温冷却
    部に供給して所要の極低温冷却を行うと共に、圧縮部に
    オイルを冷却するための空冷式オイル熱交換器と、この
    空冷式オイル熱交換器に冷却用空気を送風する冷却ファ
    ンとを設け、且つこの空冷式オイル熱交換器から前記加
    圧を行う部分に至るオイル戻り経路にオイル加熱手段を
    設け、さらにこの空冷式オイル熱交換器のオイル入口側
    とオイル出口側とを連通する側路管を設けた極低温冷凍
    装置において、前記冷却用空気の温度低下に伴って、前
    記空冷式オイル熱交換器を側路して前記側路管に流れる
    オイル量を増加し、且つ前記オイル加熱手段を起動して
    加熱量を増加させることを特徴とする極低温冷凍装置の
    制御方法。
  2. 【請求項2】 オイルを介在させて冷媒体を加圧する圧
    縮部を備え、この圧縮部で加圧した冷媒体を極低温冷却
    部に供給して所要の極低温冷却を行うと共に、圧縮部に
    オイルを冷却するための空冷式オイル熱交換器と、この
    空冷式オイル熱交換器に冷却用空気を送風する冷却ファ
    ンとを設け、且つこの空冷式オイル熱交換器から前記加
    圧を行う部分に至るオイル戻り経路にオイル加熱手段を
    設け、さらにこの空冷式オイル熱交換器のオイル入口側
    とオイル出口側とを連通する側路管を設けた極低温冷凍
    装置において、前記冷却用空気が所定温度以下に下がっ
    た時、循環オイル全量を前記空冷式オイル熱交換器を側
    路して前記側路管に流し、且つ前記オイル加熱手段を起
    動することを特徴とする極低温冷凍装置の制御方法。
  3. 【請求項3】 オイルを介在させて冷媒体を加圧する圧
    縮部を備え、この圧縮部で加圧した冷媒体を極低温冷却
    部に供給して所要の極低温冷却を行うと共に、圧縮部に
    オイルを冷却するための空冷式オイル熱交換器と、この
    空冷式オイル熱交換器に冷却用空気を送風する冷却ファ
    ンとを設け、且つこの空冷式オイル熱交換器から前記加
    圧を行う部分に至るオイル戻り経路にオイル加熱手段を
    設け、さらにこの空冷式オイル熱交換器のオイル入口側
    とオイル出口側とを連通する側路管を設けた極低温冷凍
    装置において、前記冷却用空気または前記空冷式オイル
    熱交換器のオイル出口側を臨むオイル戻り経路の温度低
    下に伴って、前記側路管に流れるオイル量を制御し、且
    つ前記加熱手段の設置部より下流側の前記オイル戻り経
    路の温度低下に伴って前記加熱手段を起動することを特
    徴とする極低温冷凍装置の制御方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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