JPH0631272A - 膜処理装置 - Google Patents
膜処理装置Info
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- JPH0631272A JPH0631272A JP4189430A JP18943092A JPH0631272A JP H0631272 A JPH0631272 A JP H0631272A JP 4189430 A JP4189430 A JP 4189430A JP 18943092 A JP18943092 A JP 18943092A JP H0631272 A JPH0631272 A JP H0631272A
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- permeated water
- permeated
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ＲＯ装置を２段に用いて高純度水を製造する
膜処理装置において、２段目のＲＯ装置の透過水の水質
を一定の値に安定化させること。 【構成】 第１ＲＯ装置（４）の透過水を第２のＲＯ装
置（５）により処理する膜処理装置において、第１のＲ
Ｏ装置の透過水（４．１）又は第２のＲＯ装置の濃縮水
（５．２）のｐＨを測定機（６．１）により測定し、そ
の測定値に基づいて薬注手段（７、７．２）を制御
（６）して、第１のＲＯ装置からの給水（３．１）への
ｐＨ調整薬（７．１）の供給量を調整し、第１のＲＯ装
置の透過水のｐＨを一定に維持し、第２のＲＯ装置の透
過水の水質を安定化させる。
膜処理装置において、２段目のＲＯ装置の透過水の水質
を一定の値に安定化させること。 【構成】 第１ＲＯ装置（４）の透過水を第２のＲＯ装
置（５）により処理する膜処理装置において、第１のＲ
Ｏ装置の透過水（４．１）又は第２のＲＯ装置の濃縮水
（５．２）のｐＨを測定機（６．１）により測定し、そ
の測定値に基づいて薬注手段（７、７．２）を制御
（６）して、第１のＲＯ装置からの給水（３．１）への
ｐＨ調整薬（７．１）の供給量を調整し、第１のＲＯ装
置の透過水のｐＨを一定に維持し、第２のＲＯ装置の透
過水の水質を安定化させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電子工業における半導
体洗浄等に使用される、安定した水質の高純度水を製造
するための膜処理装置に関する。
体洗浄等に使用される、安定した水質の高純度水を製造
するための膜処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】純水、超純水等と呼ばれる所謂高純度水
は、半導体洗浄や製薬用等に利用される。この高純度水
を製造するための装置として、第１の逆浸透膜装置（以
下「ＲＯ装置」という）の透過水を、更に第２のＲＯ装
置により処理して、第２のＲＯ装置の透過水が高純度水
となるようにした、所謂２段ＲＯ装置式の膜処理装置は
公知である。
は、半導体洗浄や製薬用等に利用される。この高純度水
を製造するための装置として、第１の逆浸透膜装置（以
下「ＲＯ装置」という）の透過水を、更に第２のＲＯ装
置により処理して、第２のＲＯ装置の透過水が高純度水
となるようにした、所謂２段ＲＯ装置式の膜処理装置は
公知である。
【０００３】上記のような膜処理装置において、第１の
ＲＯ装置の給水のｐＨ調整が行われていた。その理由
は、例えば被処理水中のＣＯ2 は、特別の手段を講じな
い限りＲＯ膜を透過してしまい、除去することができな
いので、それを防ぐために、第１のＲＯ装置の給水のｐ
Ｈを高くすることにより、ＣＯ2 を炭酸水素イオン等の
イオンに変化させてＲＯ装置により除去可能としなけれ
ばならないからである。このようなｐＨ調整に際し、従
来は、第１のＲＯ装置の給水のｐＨを測定し、その測定
結果に応じて苛性ソーダ等のｐＨ調整薬を該給水に薬注
し、該給水のｐＨをＣＯ2 の除去に好適な一定値に維持
していた。
ＲＯ装置の給水のｐＨ調整が行われていた。その理由
は、例えば被処理水中のＣＯ2 は、特別の手段を講じな
い限りＲＯ膜を透過してしまい、除去することができな
いので、それを防ぐために、第１のＲＯ装置の給水のｐ
Ｈを高くすることにより、ＣＯ2 を炭酸水素イオン等の
イオンに変化させてＲＯ装置により除去可能としなけれ
ばならないからである。このようなｐＨ調整に際し、従
来は、第１のＲＯ装置の給水のｐＨを測定し、その測定
結果に応じて苛性ソーダ等のｐＨ調整薬を該給水に薬注
し、該給水のｐＨをＣＯ2 の除去に好適な一定値に維持
していた。
【０００４】従来は、上記のように、第１のＲＯ装置の
給水のｐＨを所定値に維持することにより、第２のＲＯ
装置から得られる透過水は、高純度水としての十分な品
質を備えるものと考えられていた。ところが、第１及び
第２のＲＯ装置を有する実際の膜処理装置において、上
記のようなｐＨ調整を行っていた所、ＣＯ2 が十分に除
去されず、第２のＲＯ装置の透過水に品質の低下が見ら
れることがあった。これを更に図５，６を参照して説明
すると、従来装置では、図５に示すように、第１のＲＯ
装置の給水のｐＨを測定しながら薬注して、第１のＲＯ
装置の給水のｐＨを一定値に維持しても、第１のＲＯ装
置の透過水のｐＨに変化が見られ、第２のＲＯ装置の透
過水の水質等の低下が見られた。
給水のｐＨを所定値に維持することにより、第２のＲＯ
装置から得られる透過水は、高純度水としての十分な品
質を備えるものと考えられていた。ところが、第１及び
第２のＲＯ装置を有する実際の膜処理装置において、上
記のようなｐＨ調整を行っていた所、ＣＯ2 が十分に除
去されず、第２のＲＯ装置の透過水に品質の低下が見ら
れることがあった。これを更に図５，６を参照して説明
すると、従来装置では、図５に示すように、第１のＲＯ
装置の給水のｐＨを測定しながら薬注して、第１のＲＯ
装置の給水のｐＨを一定値に維持しても、第１のＲＯ装
置の透過水のｐＨに変化が見られ、第２のＲＯ装置の透
過水の水質等の低下が見られた。
【０００５】第１のＲＯ装置給水のｐＨを一定値に維持
すれば、所定量のＣＯ2 が除去され、第２のＲＯ装置か
らは一定品質の透過水が得られるであろうと予測する、
従来の技術常識からは、上記のような現象は理解困難で
あった。そこで本発明者らは、上記現象について鋭意研
究した結果、第２のＲＯ装置の透過水水質の変動は第１
のＲＯ装置透過水ｐＨ変動の影響を受けていることが判
明した。
すれば、所定量のＣＯ2 が除去され、第２のＲＯ装置か
らは一定品質の透過水が得られるであろうと予測する、
従来の技術常識からは、上記のような現象は理解困難で
あった。そこで本発明者らは、上記現象について鋭意研
究した結果、第２のＲＯ装置の透過水水質の変動は第１
のＲＯ装置透過水ｐＨ変動の影響を受けていることが判
明した。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、ＲＯ装置を
２段に用いた従来の膜処理装置において、第２ＲＯ装置
からの透過水の品質の不安定の問題を、前記知見により
解決し、品位の安定した高純度水を製造し得る膜処理装
置を提供することを目的とする。
２段に用いた従来の膜処理装置において、第２ＲＯ装置
からの透過水の品質の不安定の問題を、前記知見により
解決し、品位の安定した高純度水を製造し得る膜処理装
置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明による課題を解決
するための手段は、特許請求の範囲の請求項に記載のと
おりである。そしてその作用は次のとおりである。第１
のＲＯ装置及び第２のＲＯ装置を有する膜処理装置にお
いて、第１のＲＯ装置の給水側のｐＨ調整を、第１のＲ
Ｏ装置の透過水または第２のＲＯ装置の濃縮水のｐＨの
測定結果に基づいて行い、第１のＲＯ装置の透過水のｐ
Ｈを一定値に維持することにより、第２のＲＯ装置によ
り所定量の不純物を除去し、第２のＲＯ装置の透過水の
品質を一定にする。
するための手段は、特許請求の範囲の請求項に記載のと
おりである。そしてその作用は次のとおりである。第１
のＲＯ装置及び第２のＲＯ装置を有する膜処理装置にお
いて、第１のＲＯ装置の給水側のｐＨ調整を、第１のＲ
Ｏ装置の透過水または第２のＲＯ装置の濃縮水のｐＨの
測定結果に基づいて行い、第１のＲＯ装置の透過水のｐ
Ｈを一定値に維持することにより、第２のＲＯ装置によ
り所定量の不純物を除去し、第２のＲＯ装置の透過水の
品質を一定にする。
【０００８】
【実施例】以下本発明の一実施例について、図１を参照
して説明する。図１において、原水１は前処理装置２に
給水される。前処理装置２は、凝集沈殿・濾過、凝集濾
過、砂濾過、ＭＦ処理、ＵＦ処理、活性炭処理、加圧浮
上等の公知手段の１つ又はそれ以上の組合せにより構成
される。前処理装置２による処理水２．１は、ｐＨ調節
のために酸を添加後（図示せず）、脱炭酸塔３で炭酸を
低減され、次いで第１のＲＯ装置４に給水される。該給
水３．１は、第１のＲＯ装置において、透過水４．１と
濃縮水４．２とに分離される。第１のＲＯ装置からの透
過水４．１は、次いで第２のＲＯ装置５に供給され、該
第２のＲＯ装置５において、透過水５．１と濃縮水５．
２とに分離される。濃縮水５．２は脱炭酸塔３の前段に
適宜還流される。
して説明する。図１において、原水１は前処理装置２に
給水される。前処理装置２は、凝集沈殿・濾過、凝集濾
過、砂濾過、ＭＦ処理、ＵＦ処理、活性炭処理、加圧浮
上等の公知手段の１つ又はそれ以上の組合せにより構成
される。前処理装置２による処理水２．１は、ｐＨ調節
のために酸を添加後（図示せず）、脱炭酸塔３で炭酸を
低減され、次いで第１のＲＯ装置４に給水される。該給
水３．１は、第１のＲＯ装置において、透過水４．１と
濃縮水４．２とに分離される。第１のＲＯ装置からの透
過水４．１は、次いで第２のＲＯ装置５に供給され、該
第２のＲＯ装置５において、透過水５．１と濃縮水５．
２とに分離される。濃縮水５．２は脱炭酸塔３の前段に
適宜還流される。
【０００９】給水３．１は第１のＲＯ装置４に供給され
る際に、次のようにｐＨ調整がなされる。第１のＲＯ装
置４の透過水４．１のｐＨは、第１のｐＨ測定機６．１
により測定され、その測定値に基づく信号は、薬注制御
装置６に送信される。薬注制御装置６においては、ｐＨ
測定機６．１からの信号即ちｐＨ測定値により透過水
４．１のｐＨ値を一定に維持する制御信号が出力され、
該制御信号は、薬注ポンプ７に入力される。該制御信号
により薬注ポンプ７は制御され、薬液タンク７．２内の
薬液７．１が、薬注ポンプ７により給水３．１に供給さ
れる。薬液７．１は、給水３．１のｐＨを調整する液で
あり、例えば苛性ソーダ等のアルカリ液が用いられる。
る際に、次のようにｐＨ調整がなされる。第１のＲＯ装
置４の透過水４．１のｐＨは、第１のｐＨ測定機６．１
により測定され、その測定値に基づく信号は、薬注制御
装置６に送信される。薬注制御装置６においては、ｐＨ
測定機６．１からの信号即ちｐＨ測定値により透過水
４．１のｐＨ値を一定に維持する制御信号が出力され、
該制御信号は、薬注ポンプ７に入力される。該制御信号
により薬注ポンプ７は制御され、薬液タンク７．２内の
薬液７．１が、薬注ポンプ７により給水３．１に供給さ
れる。薬液７．１は、給水３．１のｐＨを調整する液で
あり、例えば苛性ソーダ等のアルカリ液が用いられる。
【００１０】アルカリ液が加えらられた給水３．１は、
必要に応じ第２の測定機６．２により測定され、その測
定値は電気信号として制御装置６に送信される。測定機
６．２により測定されたｐＨが、制御装置６において、
ｐＨの上限設定値に一致又はこれを超えたと判断された
時は、該制御装置６から制御信号が出力され、該信号に
より、薬注ポンプ７は停止され、給水３．１へのｐＨ調
整薬の薬注量の増加が停止される。また該制御信号によ
り、必要に応じ警報装置（図示せず）が作動される。
必要に応じ第２の測定機６．２により測定され、その測
定値は電気信号として制御装置６に送信される。測定機
６．２により測定されたｐＨが、制御装置６において、
ｐＨの上限設定値に一致又はこれを超えたと判断された
時は、該制御装置６から制御信号が出力され、該信号に
より、薬注ポンプ７は停止され、給水３．１へのｐＨ調
整薬の薬注量の増加が停止される。また該制御信号によ
り、必要に応じ警報装置（図示せず）が作動される。
【００１１】第２の測定器６．２は必ずしも設ける必要
がないが、これを設置することにより、上述した制御も
可能となるので、ＲＯ膜の炭酸カルシウムによる汚染を
防止する意味から設けることが望ましい。
がないが、これを設置することにより、上述した制御も
可能となるので、ＲＯ膜の炭酸カルシウムによる汚染を
防止する意味から設けることが望ましい。
【００１２】図２は本発明の第２の実施例を示す。前記
実施例においては、薬注ポンプ７を制御するためのｐＨ
測定値を、第１のＲＯ装置の透過水４．１に求めたが、
本実施例においては、当該測定値を第２のＲＯ装置の濃
縮水５．２に求める。即ち、第１の測定機６．１によ
り、第２のＲＯ装置の濃縮水５．２のｐＨが測定され、
その測定値に応じた信号が測定機６．１から制御装置６
に送信され、該信号に応じて、前記実施例同様に、薬注
ポンプ７は制御装置６により制御されて、所定量の薬注
がなされる。本実施例におけるその他の構成は、第１実
施例と同様である。本実施例によれば、第１のＲＯ装置
の透過水４．１のｐＨ値と第２のＲＯ装置の濃縮水のそ
れとの相関関係を利用して、透過水４．１のｐＨが間接
的に測定されることになる。本実施例の利点の１つは、
透過水４．１系の圧力より濃縮水５．２系の圧力がかな
り低いので、濃縮水５．２系に設ける測定機６．１の耐
圧強度を低減できることである。
実施例においては、薬注ポンプ７を制御するためのｐＨ
測定値を、第１のＲＯ装置の透過水４．１に求めたが、
本実施例においては、当該測定値を第２のＲＯ装置の濃
縮水５．２に求める。即ち、第１の測定機６．１によ
り、第２のＲＯ装置の濃縮水５．２のｐＨが測定され、
その測定値に応じた信号が測定機６．１から制御装置６
に送信され、該信号に応じて、前記実施例同様に、薬注
ポンプ７は制御装置６により制御されて、所定量の薬注
がなされる。本実施例におけるその他の構成は、第１実
施例と同様である。本実施例によれば、第１のＲＯ装置
の透過水４．１のｐＨ値と第２のＲＯ装置の濃縮水のそ
れとの相関関係を利用して、透過水４．１のｐＨが間接
的に測定されることになる。本実施例の利点の１つは、
透過水４．１系の圧力より濃縮水５．２系の圧力がかな
り低いので、濃縮水５．２系に設ける測定機６．１の耐
圧強度を低減できることである。
【００１３】なお、第２の測定器６．２の設置に関して
は、前記実施例と同じである。
は、前記実施例と同じである。
【００１４】
【試験例】図１の実施例装置において、第１のＲＯ装置
に東レ製ＳＵ−７１０、第２のＲＯ装置に東レ製ＳＵ−
９１０を用いて実験を行った。その結果を図３．４に示
す。これらの図に示す結果と、前述の従来例の図５．６
のそれとを比較した場合、本実施例において、第１のＲ
Ｏ装置の透過水３．１のｐＨが略一定に維持され、また
第２のＲＯ装置の透過水５．１の抵抗率は略一定の値に
維持され、透過水の品質が安定していることが明らかで
ある。
に東レ製ＳＵ−７１０、第２のＲＯ装置に東レ製ＳＵ−
９１０を用いて実験を行った。その結果を図３．４に示
す。これらの図に示す結果と、前述の従来例の図５．６
のそれとを比較した場合、本実施例において、第１のＲ
Ｏ装置の透過水３．１のｐＨが略一定に維持され、また
第２のＲＯ装置の透過水５．１の抵抗率は略一定の値に
維持され、透過水の品質が安定していることが明らかで
ある。
【００１５】また第１のＲＯ装置および第２のＲＯ装置
共に東レ製ＳＵ−７１０を用いても、第２のＲＯ装置透
過水の抵抗率は、５ＭΩ・ｃｍと図４に示す値より多少
低かったものの、やはりその値は略一定であった。
共に東レ製ＳＵ−７１０を用いても、第２のＲＯ装置透
過水の抵抗率は、５ＭΩ・ｃｍと図４に示す値より多少
低かったものの、やはりその値は略一定であった。
【００１６】本発明の実施例による第２のＲＯ装置透過
水の品質安定の理由は、従来方法では第１のＲＯ装置の
給水３．１のｐＨを測定して制御していたため、透過水
４．１にＣＯ2 が残留しやすく、これが第１のＲＯ装置
を透過して、第１のＲＯ装置透過水（透過水４．１に相
当）のｐＨが低下してしまい、第２のＲＯ装置透過水
（透過水５．１に相当）の水質が低下してしまうのに対
し、本実施例においては、直接第１のＲＯ装置透過水
４．１のｐＨで制御するので、その制御が正確となり透
過水４．１のｐＨが一定に保たれるため、透過水４．１
のＣＯ2 量を可及的に少なくすることができ、第２のＲ
Ｏ装置５の透過水５．１の水質が安定すると考えられ
る。
水の品質安定の理由は、従来方法では第１のＲＯ装置の
給水３．１のｐＨを測定して制御していたため、透過水
４．１にＣＯ2 が残留しやすく、これが第１のＲＯ装置
を透過して、第１のＲＯ装置透過水（透過水４．１に相
当）のｐＨが低下してしまい、第２のＲＯ装置透過水
（透過水５．１に相当）の水質が低下してしまうのに対
し、本実施例においては、直接第１のＲＯ装置透過水
４．１のｐＨで制御するので、その制御が正確となり透
過水４．１のｐＨが一定に保たれるため、透過水４．１
のＣＯ2 量を可及的に少なくすることができ、第２のＲ
Ｏ装置５の透過水５．１の水質が安定すると考えられ
る。
【００１７】第２実施例についても、第１実施例同様の
実験を行ったところ、略同様の結果が得られた。
実験を行ったところ、略同様の結果が得られた。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
第１のＲＯ装置及び第２のＲＯ装置を２段に用いる膜処
理装置において、第１のＲＯ装置の透過水又は第２のＲ
Ｏ装置の濃縮水のｐＨを測定し、該測定値に基づいて薬
注を行うので、第１のＲＯ装置の透過水のｐＨを一定に
維持し、それによって第２のＲＯ装置の透過水即ち膜処
理装置による製造水の水質を安定させることができる。
第１のＲＯ装置及び第２のＲＯ装置を２段に用いる膜処
理装置において、第１のＲＯ装置の透過水又は第２のＲ
Ｏ装置の濃縮水のｐＨを測定し、該測定値に基づいて薬
注を行うので、第１のＲＯ装置の透過水のｐＨを一定に
維持し、それによって第２のＲＯ装置の透過水即ち膜処
理装置による製造水の水質を安定させることができる。
【図１】本発明の第１実施例の膜処理装置の概要図。
【図２】本発明の第２実施例の膜処理装置の概要図。
【図３】本発明の実験における第１のＲＯ装置の実験結
果を示す図。
果を示す図。
【図４】本発明の実験における第２のＲＯ装置の結果を
示す図。
示す図。
【図５】従来の第１のＲＯ装置の水質を示す図。
【図６】従来の第２のＲＯ装置の水質を示す図。
３．１…給水 ４…第１の逆浸透Ｒ
Ｏ装置 ５…第２の逆浸透ＲＯ装置 ４．１、５．１…透
過水 ４．２、５．２…濃縮水 ６…制御装置 ６．１、６．２…ｐＨ測定機 ７…薬注ポンプ ７．２…薬液タンク
Ｏ装置 ５…第２の逆浸透ＲＯ装置 ４．１、５．１…透
過水 ４．２、５．２…濃縮水 ６…制御装置 ６．１、６．２…ｐＨ測定機 ７…薬注ポンプ ７．２…薬液タンク
Claims (1)
- 【請求項１】 水処理を行う第１の逆浸透膜装置、第１
の逆浸透膜装置の透過水を処理する第２の逆浸透膜装
置、及び第１の逆浸透膜装置の給水側にｐＨ調整薬を供
給する薬注手段を有する膜処理装置において、前記第１
の逆浸透膜装置の透過水又は前記第２の逆浸透膜装置の
濃縮水のｐＨを測定するｐＨ測定機及び該ｐＨ測定機に
よる測定値に基づいて前記薬注手段を制御する薬注制御
装置を設けたことを特徴とする膜処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4189430A JPH0631272A (ja) | 1992-07-16 | 1992-07-16 | 膜処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4189430A JPH0631272A (ja) | 1992-07-16 | 1992-07-16 | 膜処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0631272A true JPH0631272A (ja) | 1994-02-08 |
Family
ID=16241121
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4189430A Pending JPH0631272A (ja) | 1992-07-16 | 1992-07-16 | 膜処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0631272A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998039085A1 (en) * | 1997-03-03 | 1998-09-11 | Zenon Environmental, Inc. | High resistivity water production |
| US5833846A (en) * | 1996-01-17 | 1998-11-10 | Orango Corporation | High-purity water producing apparatus utilizing boron-selective ion exchange resin |
| US5923131A (en) * | 1996-03-21 | 1999-07-13 | Matsushita Electronics Corporation | Compensating device for raster distortion of CRT |
| JP2012183473A (ja) * | 2011-03-04 | 2012-09-27 | Miura Co Ltd | 水処理装置 |
-
1992
- 1992-07-16 JP JP4189430A patent/JPH0631272A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5833846A (en) * | 1996-01-17 | 1998-11-10 | Orango Corporation | High-purity water producing apparatus utilizing boron-selective ion exchange resin |
| MY120689A (en) * | 1996-01-17 | 2005-11-30 | Organo Corp | High-purity water producing apparatus utilizing boron-selective ion exchange resin. |
| US5923131A (en) * | 1996-03-21 | 1999-07-13 | Matsushita Electronics Corporation | Compensating device for raster distortion of CRT |
| WO1998039085A1 (en) * | 1997-03-03 | 1998-09-11 | Zenon Environmental, Inc. | High resistivity water production |
| JP2012183473A (ja) * | 2011-03-04 | 2012-09-27 | Miura Co Ltd | 水処理装置 |
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