JPH06312509A - Ink jet record head, manufacture thereof, and ink jet recording device equipped therewith - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To simultaneously form a filter in manufacturing a record head by generating cracks on a solid layer at a filter forming predetermined part in an ink passage upstream part of a nozzle near a discharge energy generating element and curing a nozzle forming material. CONSTITUTION:In manufacturing a record head, a desired number of liquid discharge energy generating elements 2 are arranged on a base plate 1. Thereafter, at a liquid passage and a liquid chamber forming part on the base plate 1, a solid layer is formed in accordance with an image forming process of dry film by using a photosensitive dry film. A filter forming part of the solid layer is processed with blasting so as to generate cracks. Next, an active energy line curing material is layered on the solid layer so as to cover it and a cover plate 4 layered thereon. After a mask is layered on a liquid chamber forming predetermined part, it is irradiated with active energy line so as to be cured. Thereafter, the solid layer and the uncured curing material are removed by melting them so as to complete a record head having mesh filters 14.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、インクジェット記録方
式に用いる記録液小滴を発生するためのインクジェット
記録ヘッド、その製造方法及び前記インクジェット記録
ヘッドを備えた記録装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an inkjet recording head for generating recording liquid droplets used in an inkjet recording system, a method for manufacturing the same, and a recording apparatus equipped with the inkjet recording head.

【０００２】[0002]

【従来の技術】本発明に類似したインクジェット記録ヘ
ッドの製造方法としては、特開昭６１−１５４９４７
号、同６２−２５３４５７号公報に提案されているよう
なインクジェット記録ヘッドの製造方法がある。以下、
このインクジェット記録ヘッドの製造方法の一例を図面
を参照して概説する。2. Description of the Related Art A method of manufacturing an ink jet recording head similar to the present invention is disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 61-154947.
No. 62-253457, there is a method for manufacturing an ink jet recording head. Less than,
An example of a method of manufacturing this inkjet recording head will be outlined with reference to the drawings.

【０００３】まず、図１０に示すように、基板１上にポ
ジ型ドライフィルム等を積層し、パターニングすること
によってノズル形成予定部位上に固体層３を形成する。
次に、その上に該固体層を覆うノズル形成材料である活
性エネルギー線硬化材料層７（図１１）と液室形成部材
（蓋板４）を順次積層した（図１２）後に活性エネルギ
ー線９を照射して、活性エネルギー線硬化材料を硬化せ
しめる（図１３）。そして最後に、図１４に示すよう
に、アルカリ水溶液等で固体層３のみを洗い流して除去
し、ヘッドを形成する。First, as shown in FIG. 10, a positive type dry film or the like is laminated on a substrate 1 and patterned to form a solid layer 3 on a site where a nozzle is to be formed.
Next, an active energy ray-curable material layer 7 (FIG. 11) that is a nozzle forming material that covers the solid layer and a liquid chamber forming member (cover plate 4) are sequentially laminated thereon (FIG. 12), and then the active energy ray 9 is formed. Is irradiated to cure the active energy ray-curable material (FIG. 13). Then, finally, as shown in FIG. 14, only the solid layer 3 is washed away with an alkaline aqueous solution or the like to be removed to form a head.

【０００４】図１５に、以上の工程を経て得られるイン
クジェット記録ヘッドの模式的斜視図を示す。同図に示
されるインクジェット記録ヘッドは、インクを吐出する
ための液体吐出エネルギー発生素子２が微細なノズル１
１の各々に設けられており、液滴は液体吐出エネルギー
発生素子２の作用により吐出口１３より吐出される。ま
た、インク供給を説明すると、不図示のインクタンクよ
りチューブ等のインク供給部材により運ばれたインク
は、液室形成部材４の供給口６より共通液室１２に達す
る。更に共通液流路１５からノズル１１に達して吐出さ
れる。ここで、液室１２は複数のノズルが設けられたヘ
ッド、特に記録幅に対応したノズルが設けられたフルマ
ルチタイプのヘッドには必要であり、供給口６から各ノ
ズルまでの液路抵抗の差を小さくし、吐出のばらつきを
問題ない程度まで小さくする働きがある。一方、共通液
通路１５は特に必要ではない。FIG. 15 is a schematic perspective view of an ink jet recording head obtained through the above steps. The ink jet recording head shown in FIG. 1 has a nozzle 1 having a fine liquid ejection energy generating element 2 for ejecting ink.
The liquid droplets are provided in each of No. 1 and are ejected from the ejection port 13 by the action of the liquid ejection energy generating element 2. Further, describing the ink supply, the ink carried by an ink supply member such as a tube from an ink tank (not shown) reaches the common liquid chamber 12 through the supply port 6 of the liquid chamber forming member 4. Further, the common liquid flow path 15 reaches the nozzle 11 and is discharged. Here, the liquid chamber 12 is necessary for a head provided with a plurality of nozzles, especially for a full multi-type head provided with nozzles corresponding to the recording width, and the liquid path resistance from the supply port 6 to each nozzle is reduced. It has the function of reducing the difference and reducing the variation in ejection to the extent that there is no problem. On the other hand, the common liquid passage 15 is not particularly necessary.

【０００５】上記の従来のインクジェット記録ヘッドで
は、ヘッド中にフィルターを有していないために多くの
問題を生じている。The conventional ink jet recording head described above has many problems because it has no filter in the head.

【０００６】特にインク中に不純物粒子等のゴミが存在
している場合に、そのゴミが液流路に入り込みインクの
正常な供給を阻害したり、また、最悪の場合には吐出口
を詰まらせることになり、それによってインクの吐出方
向がヨレたり、またムラ（吐出量が変化する）を生じた
り、場合によっては、完全に吐出口を詰まらせてインク
の不吐出を生じさせる等の重大な問題を引き起こすこと
になる。Particularly, when dust such as impurity particles is present in the ink, the dust enters the liquid flow path and hinders the normal supply of ink, and in the worst case, clogs the ejection port. As a result, the ejection direction of the ink may be deflected, unevenness may occur (the ejection amount may change), or in some cases, the ejection port may be completely blocked, resulting in non-ejection of the ink. Will cause problems.

【０００７】上記諸点の問題を解決するために、従来か
ら知られている方法でフィルターやヨレ防止の機能を付
与しようとすると、プロセスが複雑になったり、部品点
数が多くなり、結果としてコストが大幅に増大する。ま
た、このプロセスの複雑化や部品点数の増加がかえって
ゴミの発生につながるなどの問題があった。In order to solve the above-mentioned problems, it is attempted to add a filter and a function of preventing twisting by a conventionally known method, which makes the process complicated and increases the number of parts, resulting in cost reduction. Greatly increased. Further, there is a problem that the process is complicated and the number of parts is increased, which leads to generation of dust.

【０００８】これに対し、特願平３−２８６６５４号に
は、固体層の共通液路部にパターニングによってフィル
ターを形成する方法が提案されているが、フィルター部
の流路壁の最小幅はパターニング可能な幅となり、それ
に伴い開口部が狭くなるために液体抵抗が大きくなり、
吐出周波数がフィルターのない場合と比べて低くなって
しまうことが確認されている。On the other hand, Japanese Patent Application No. 3-286654 proposes a method of forming a filter by patterning in the common liquid passage portion of the solid layer, but the minimum width of the flow passage wall of the filter portion is patterned. Since the width becomes possible and the opening becomes narrower accordingly, the liquid resistance increases,
It has been confirmed that the ejection frequency is lower than that without the filter.

【０００９】[0009]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記問題点
を解決する新しいインクジェット記録ヘッドの製造方
法、及び該製造方法により製造されるインクジェット記
録ヘッドを提供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a new ink jet recording head manufacturing method which solves the above problems, and an ink jet recording head manufactured by the manufacturing method.

【００１０】[0010]

【課題を解決するための手段】即ち本発明は、ノズルパ
ターンの固体層が設けられた基板上に活性エネルギー線
硬化型のノズル形成部材を被覆し、活性エネルギー線を
透過する蓋板を前記ノズル形成部材を介して基板に接合
後、活性エネルギー線を照射して、前記ノズル形成部材
を硬化させ、しかる後に、ノズルパターンの固体層を除
去することによりノズルを形成する工程、及び吐出エネ
ルギー発生素子形成工程を包含するインクジェット記録
ヘッドの製造方法において、吐出エネルギー発生素子よ
りノズルのインク流路上流部の前記固体層に亀裂を生じ
せしめた後に前記ノズル形成部材を硬化させることを特
徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法である。That is, according to the present invention, an active energy ray-curing nozzle forming member is coated on a substrate provided with a solid layer of a nozzle pattern, and a lid plate that transmits active energy rays is used as the nozzle. A step of forming a nozzle by irradiating an active energy ray to cure the nozzle forming member after bonding to the substrate via the forming member, and then forming a nozzle by removing the solid layer of the nozzle pattern, and an ejection energy generating element. In a method for manufacturing an inkjet recording head including a forming step, the nozzle forming member is cured after causing a crack in the solid layer in an upstream portion of an ink flow path of a nozzle from an ejection energy generating element, and the inkjet recording member is cured. It is a method of manufacturing a head.

【００１１】本発明によれば、固体層に亀裂を生じせし
めた後にノズル形成部材（特に液状であることが望まし
い）が硬化されるために、この亀裂にノズル形成部材が
入り込み、液流路上に微細な３次元構造のフィルターを
形成することができる。According to the present invention, since the nozzle forming member (particularly preferably liquid) is hardened after the solid layer is cracked, the nozzle forming member enters into the crack and is formed on the liquid flow path. It is possible to form a filter having a fine three-dimensional structure.

【００１２】以下、必要に応じて図面を参照しつつ、本
発明を詳細に説明する。The present invention will be described below in detail with reference to the drawings as necessary.

【００１３】図１乃至図７は、本発明の基本的な態様を
説明するための模式図であり、図１乃至図７のそれぞれ
には、本発明の方法に係わるインクジェット記録ヘッド
の構成とその作製手順の一例が示されている。尚、本例
においては、２つの吐出口（以下、オリフィス）を有す
るインクジェット記録ヘッドが示されているが、勿論こ
れ以上のオリフィスを有する高密度マルチアレイインク
ジェット記録ヘッドの場合、あるいは１つのオリフィス
を有するインクジェット記録ヘッドの場合でも同様であ
ることは言うまでもない。FIGS. 1 to 7 are schematic views for explaining the basic mode of the present invention. In each of FIGS. 1 to 7, the constitution of an ink jet recording head relating to the method of the present invention and its structure are shown. An example of the fabrication procedure is shown. In addition, in this example, an ink jet recording head having two ejection ports (hereinafter, orifices) is shown, but of course, in the case of a high density multi-array ink jet recording head having more orifices, one orifice is used. It goes without saying that the same applies to the case of the inkjet recording head having the same.

【００１４】本発明においては、ガラス、セラミック
ス、プラスチックあるいは金属等からな基板が用いられ
る。図１は固体層形成前の基板の一例の模式的斜視図で
ある。In the present invention, a substrate made of glass, ceramics, plastic, metal or the like is used. FIG. 1 is a schematic perspective view of an example of a substrate before forming a solid layer.

【００１５】このような基板１は、液流路および液室構
成材料の一部として機能し、また後述する固体層および
硬化性材料積層時の支持体として機能させるものであ
る。後述する実施例のように液室を設ける場合、活性エ
ネルギー線照射の工程を基板１側から行う場合には、基
板１は活性エネルギー線透過性であることが必要である
が、その他の場合には、その形状、材質等、特に限定さ
れることなく使用することができる。上記基板１上に
は、電気熱変換体あるいは圧電素子等の液体吐出エネル
ギー発生素子２が所望の個数配設される（図１において
は２個）。このような液体吐出エネルギー発生素子２に
よって記録液小滴を吐出させるための吐出エネルギーが
記録液に与えられ、記録が行われる。因みに、例えば、
上記液体吐出エネルギー発生素子２として電気熱変換体
が用いられた時には、この素子が、近傍の記録液を加熱
することにより、吐出エネルギーを発生する。また、例
えば、液体吐出エネルギー発生素子２として圧電素子が
用いられる時は、この素子の機械的振動によって、吐出
エネルギーが発生される。Such a substrate 1 functions as a part of a liquid flow path and a material for forming a liquid chamber, and also as a support for laminating a solid layer and a curable material, which will be described later. When a liquid chamber is provided as in the example described later, when the step of irradiation with active energy rays is performed from the substrate 1 side, the substrate 1 must be transparent to active energy rays, but in other cases. Can be used without any particular limitation on its shape, material and the like. A desired number of liquid ejection energy generating elements 2 such as electrothermal converters or piezoelectric elements are arranged on the substrate 1 (two in FIG. 1). Ejection energy for ejecting the recording liquid droplets is applied to the recording liquid by the liquid ejection energy generating element 2 and recording is performed. By the way, for example,
When an electrothermal converter is used as the liquid ejection energy generation element 2, the element heats the recording liquid in the vicinity to generate ejection energy. Further, for example, when a piezoelectric element is used as the liquid ejection energy generation element 2, ejection energy is generated by mechanical vibration of this element.

【００１６】尚、これらの素子２には、これらの素子を
動作させるための制御信号入力用電極（不図示）が接続
されている。また、一般にはこれらの液体吐出エネルギ
ー発生素子の耐用性の向上等を目的として、保護層等の
各種機能層が設けられるが、もちろん、本発明において
もこのような機能層を設けることは一向に差し支えな
い。Note that these elements 2 are connected to control signal input electrodes (not shown) for operating these elements. Further, generally, various functional layers such as a protective layer are provided for the purpose of improving the durability of these liquid ejection energy generating elements, but, of course, the provision of such a functional layer is also acceptable in the present invention. Absent.

【００１７】次いで、上記液体吐出エネルギー発生素子
２を含む第１の基板１上の液流路形成部位及びそれと連
絡する液室形成部位に、例えば図２（Ａ）に示されるよ
うな固体層３を積層した後、吐出エネルギー発生素子２
より上流側（液室側）に微細な亀裂１００を生じせしめ
る。特に好ましくは、ノズル１１と共通液室１２の間の
共通液流路部１５に設けられる。但し、共通液室部に対
応する位置の固体層に亀裂が生じても後工程からも明ら
かなように支障はない。Next, in the liquid flow path forming portion on the first substrate 1 including the liquid discharge energy generating element 2 and the liquid chamber forming portion in communication therewith, for example, the solid layer 3 as shown in FIG. 2 (A). After stacking, the discharge energy generating element 2
A fine crack 100 is generated on the upstream side (liquid chamber side). Particularly preferably, it is provided in the common liquid flow path portion 15 between the nozzle 11 and the common liquid chamber 12. However, even if the solid layer at the position corresponding to the common liquid chamber portion is cracked, there is no problem as will be apparent from the subsequent process.

【００１８】尚、本発明においては液流路及び液室形成
部位の双方に固体層を設けることは必ずしも必要ではな
く、固体層は少なくとも液流路形成部位に設ければ良
い。また、説明が前後するが、図２（Ｂ）に蓋板の一例
を示す。本例では、蓋板４は、液室形成予定部位に凹部
５及び２個の液供給口６を有したものとして構成されて
いる。尚、本発明では必ずしもこのような液室形成予定
部位に凹部５を設ける必要なない。In the present invention, it is not always necessary to provide a solid layer in both the liquid flow passage and the liquid chamber forming portion, and the solid layer may be provided at least in the liquid flow passage forming portion. Although described before and after, an example of the lid plate is shown in FIG. In this example, the lid plate 4 is configured to have a concave portion 5 and two liquid supply ports 6 in the liquid chamber formation planned site. In the present invention, it is not always necessary to provide the recess 5 in such a liquid chamber formation planned site.

【００１９】以後図３乃至図６のそれぞれにおいて、
（Ａ）は図２のＡ−Ａ’線で、（Ｂ）はＢ−Ｂ’線で、
（Ｃ）はＣ−Ｃ’線で切断した基板及び蓋板の模式的断
面図を示すものとする。Thereafter, in each of FIGS. 3 to 6,
(A) is the AA 'line of FIG. 2, (B) is the BB' line,
(C) shows a schematic cross-sectional view of the substrate and the cover plate taken along the line CC ′.

【００２０】上記固体層３は、後述する各工程を経た後
に除去され、該除去部分に液流路、液室及びフィルター
が構成される。もちろん、液流路、液室、フィルターの
形状は所望のものとすることが可能であり、固体層３も
該液流路、液室及びフィルターの形状に応じたものとす
ることができる。因に、本例では、２つの液体吐出エネ
ルギー発生素子に対応して設けられる２つのオリフィス
のそれぞれから記録液小滴を吐出させることが可能なよ
うに、液流路は２つに分岐され、液室は該液流路の夫々
に記録液を供給し得るようにこれらと連通したものとさ
れている。The solid layer 3 is removed after each step described below, and a liquid flow path, a liquid chamber and a filter are formed in the removed portion. Of course, the shapes of the liquid flow path, the liquid chamber, and the filter can be set as desired, and the solid layer 3 can also be formed according to the shapes of the liquid flow path, the liquid chamber, and the filter. Incidentally, in this example, the liquid flow path is branched into two so that the recording liquid droplets can be discharged from each of the two orifices provided corresponding to the two liquid discharge energy generating elements, The liquid chambers are communicated with the liquid channels so that the recording liquid can be supplied to each of the liquid channels.

【００２１】このような固体層３を構成するに際して用
いられる材料及び手段としては、例えば、下記に列挙す
るようなものが具体的なものとして挙げられる。Specific examples of materials and means used to form the solid layer 3 include those listed below.

【００２２】感光性ドライフィルムを用い、所謂ドラ
イフィルムの画像形成プロセスに従って固体層３を形成
する。The solid layer 3 is formed using a photosensitive dry film according to a so-called dry film image forming process.

【００２３】第１の基板１上に所望の厚さの溶剤可溶
性ポリマー層およびフォトレジスト層を順に積層し、該
フォトレジスト層のパターン形成後、溶剤可溶性ポリマ
ー層を選択的に除去する。A solvent-soluble polymer layer having a desired thickness and a photoresist layer are sequentially laminated on the first substrate 1, and after the patterning of the photoresist layer, the solvent-soluble polymer layer is selectively removed.

【００２４】樹脂を印刷する。Print the resin.

【００２５】に挙げた感光性ドライフィルムとして
は、ポジ型のものもネガ型のものも用いることができる
が、例えばポジ型ドライフィルムであれば、活性エネル
ギー線照射によって、現像液に可溶化するポジ型ドライ
フィルム、またネガ型ドライフィルムであれば、光重合
型であるが塩化メチレンあるいは強アルカリで溶解ある
いは剥離除去し得るネガ型ドライフィルムが適してい
る。As the photosensitive dry film mentioned above, either a positive type or a negative type can be used. For example, a positive type dry film is solubilized in a developing solution by irradiation with active energy rays. In the case of a positive type dry film or a negative type dry film, a negative type dry film which is a photopolymerization type but can be dissolved or peeled off with methylene chloride or a strong alkali is suitable.

【００２６】ポジ型ドライフィルムとしては、具体的に
は、例えば「OZATEC R225」〔商品名、ヘキストジャパ
ン（株）〕等、またネガ型ドライフィルムとしては、
「OZATEC Tシリーズ」〔商品名、ヘキストジャパン
（株）〕、「PHOTEC PHTシリーズ」〔商品名、日立化成
工業（株）〕、「RISTON」〔商品名、デュ・ポン・ド・
ネモアース・Ｃｏ．〕等が用いられる。Specific examples of the positive dry film include "OZATEC R225" [trade name, Hoechst Japan Co., Ltd.], and examples of the negative dry film include:
"OZATEC T Series" [Product Name, Hoechst Japan Co., Ltd.], "PHOTEC PHT Series" [Product Name, Hitachi Chemical Co., Ltd.], "RISTON" [Product Name, Du Pont de
Nemo Earth Co. ] Etc. are used.

【００２７】もちろん、これらの市販材料のみならず、
ポジティブに作用する樹脂組成物、例えばナフトキノン
ジアド誘導体とノボラック型フェノール樹脂を主体とす
る樹脂組成物、及びネガティブに作用する樹脂組成物、
例えばアクリルエステルを反応基とするアクリルオリゴ
マーと熱可塑性高分子化合物および増感剤を主体とする
組成物、あるいはポリチオールとポリエン化合物および
増感剤とからなる組成物等が同様に用いることができ
る。Of course, not only these commercially available materials,
A resin composition acting positively, for example, a resin composition mainly composed of a naphthoquinone diad derivative and a novolac type phenolic resin, and a resin composition acting negatively,
For example, a composition mainly composed of an acrylic oligomer having an acrylic ester as a reactive group and a thermoplastic polymer compound and a sensitizer, or a composition composed of a polythiol, a polyene compound and a sensitizer can be similarly used.

【００２８】に挙げた溶剤可溶性ポリマーとしては、
それを溶解する溶剤が存在し、コーティングによって被
膜形成し得る高分子化合物であればいずれでも用い得
る。ここで用い得るフォトレジスト層としては、典型的
にはノボラック型フェノール樹脂とナフトキノンジアジ
ドから成るポジ型液状フォトレジスト、ポリビニルシン
ナメートから成るネガ型液状フォトレジスト、環化ゴム
とビスアジドから成るネガ型液状フォトレジスト、ネガ
型感光性ドライフィルム、熱硬化型および紫外線硬化型
のインキ等が挙げられる。As the solvent-soluble polymer mentioned in the above,
Any polymer compound which has a solvent capable of dissolving it and can form a film by coating may be used. The photoresist layer that can be used here is typically a positive liquid photoresist composed of a novolac phenolic resin and naphthoquinone diazide, a negative liquid photoresist composed of polyvinyl cinnamate, a negative liquid composed of cyclized rubber and bisazide. Examples thereof include photoresists, negative photosensitive dry films, thermosetting inks and ultraviolet curable inks.

【００２９】に挙げた印刷法によって固体層３を形成
する材料としては、例えば蒸発乾燥型、熱硬化型あるい
は紫外線硬化型等のそれぞれの乾燥方式で用いられてい
る平板インキ、スクリーンインキならびに転写型の樹脂
等が用いられる。Examples of the material for forming the solid layer 3 by the printing method mentioned above are flat plate ink, screen ink and transfer type which are used in respective drying methods such as evaporation drying type, thermosetting type and ultraviolet curing type. Resin etc. are used.

【００３０】以上に挙げた材料群の中で、加工精度や除
去の容易性あるいは作業性等の面から見て、の感光性
ドライフィルムを用いる手段が好ましく、その中でもポ
ジ型ドライフィルムを用いるのが特に好ましい。すなわ
ち、ポジ型感光性材料は、例えば解像度がネガ型の感光
性材料よりも優れている、レリーフパターンが垂直かつ
平滑な側壁面を持つ、あるいはテーパ型ないし逆テーパ
型の断面形状が容易につくれるという特長を持ち、液流
路を形づくる上で最適である。また、レリーフパターン
を現像液や有機溶剤で溶解除去できる等の特長も有して
おり、本発明における固体層形成材料として好ましいも
のである。特に、例えば先に挙げたナフトキノンジアジ
ドとノボラック型フェノール樹脂を用いたポジ型感光性
材料では、弱アルカリ水溶液あるいはアルコールで完全
溶解できるので、エネルギー発生素子に損傷を何ら与え
ることがなく、かつ後工程での除去もきわめて速やかで
ある。このようなポジ型感光性材料の中でも、ドライフ
ィルム状のものは、１０〜１００μｍの厚膜のものが得
られる点で、最も好ましい材料である。Among the materials listed above, the means using a photosensitive dry film is preferable in view of processing accuracy, easiness of removal, workability, etc. Among them, a positive type dry film is used. Is particularly preferable. That is, the positive photosensitive material has, for example, a resolution superior to that of the negative photosensitive material, the relief pattern has a vertical and smooth side wall surface, or a tapered or inverse tapered cross-sectional shape can be easily formed. It has the feature that it is optimal for shaping the liquid flow path. Further, it has a feature that the relief pattern can be dissolved and removed with a developing solution or an organic solvent, which is preferable as the solid layer forming material in the present invention. In particular, for example, in the positive-type photosensitive material using the naphthoquinonediazide and novolac-type phenol resin mentioned above, since it can be completely dissolved in a weak alkaline aqueous solution or alcohol, it does not cause any damage to the energy generating element, and the post-process Removal is extremely quick. Among such positive type photosensitive materials, the dry film type is the most preferable material in that a thick film having a thickness of 10 to 100 μm can be obtained.

【００３１】上記固体層３が形成された基板１には、図
３の（Ａ）、（Ｂ）および（Ｃ）に示されるように、固
体層３を覆うように、活性エネルギー線硬化性材料７が
積層される。On the substrate 1 on which the solid layer 3 is formed, as shown in FIGS. 3A, 3B and 3C, an active energy ray curable material is formed so as to cover the solid layer 3. 7 are stacked.

【００３２】活性エネルギー線硬化性材料としては、固
体層３を覆設し得るものであれば好適に使用することが
できるが、該材料は、液流路、液室および固体層の亀裂
に入り込みフィルターを形成してインクジェット記録ヘ
ッドとしての構造材料と成るものであるので、基板との
接着性、機械的強度、寸法安定性、耐蝕性の面で優れ、
低粘度の液状のものを選択し用いることが好ましい。そ
のような材料を具体的に示せば、紫外線硬化および電子
ビーム硬化などの活性エネルギー線硬化性材料が適して
おり、中でもエポキシ樹脂、アクリル樹脂、ジグリコー
ルジアルキルカーボネート樹脂、不飽和ポリエステル樹
脂、ポリウレタン樹脂、ポリイミド樹脂、メラミン樹
脂、フェノール樹脂、尿素樹脂等が用いられる。特に、
光によってカチオン重合を開始することのできるエポキ
シ樹脂、光によってラジカル重合できるアクリルエステ
ル基を持ったアクリルオリゴマー類、ポリチオールとポ
リエンを用いた光付加重合型樹脂、不飽和シクロアセタ
ール樹脂等は、重合速度が大きく、重合体の物性も優れ
ており、構造部材として適している。As the active energy ray curable material, any material capable of covering the solid layer 3 can be preferably used, but the material penetrates into the liquid flow path, the liquid chamber and the crack of the solid layer. Since it forms a filter and becomes a structural material for an ink jet recording head, it is excellent in terms of adhesion to a substrate, mechanical strength, dimensional stability, and corrosion resistance.
It is preferable to select and use a liquid having a low viscosity. Specific examples of such materials include active energy ray curable materials such as ultraviolet ray curable and electron beam curable, among which epoxy resin, acrylic resin, diglycol dialkyl carbonate resin, unsaturated polyester resin, polyurethane resin. , Polyimide resin, melamine resin, phenol resin, urea resin and the like are used. In particular,
Epoxy resins capable of initiating cationic polymerization by light, acrylic oligomers having an acrylic ester group capable of radical polymerization by light, photo-addition polymerization type resins using polythiols and polyenes, unsaturated cycloacetal resins, etc. It is suitable for a structural member because of its large size and excellent polymer physical properties.

【００３３】活性エネルギー線硬化性材料７の積層方法
としては、例えば基板形状に即したノズルを用いた吐出
器具、アプリケータ、カーテンコータ、ロールコータ、
スプレコータ、スピンコータ等の手段で積層する方法が
具体的なものとして挙げられる。尚、固体層の微細な亀
裂に液状の硬化性材料を注入させるために、該材料の被
覆を行った後、脱気を行うのが好ましい。更に有効な方
法として、特願平２−１２６９２号に示されているよう
に前記活性エネルギー線硬化性材料の被覆から蓋板４の
積層までを減圧雰囲気中で行う方法が挙げられる。As a method for laminating the active energy ray curable material 7, for example, a discharge device using a nozzle suitable for the shape of the substrate, an applicator, a curtain coater, a roll coater,
Specific examples include a method of laminating with a means such as a spray coater or a spin coater. In order to inject the liquid curable material into the fine cracks of the solid layer, it is preferable to perform deaeration after coating the material. As a more effective method, there is a method of performing the steps from the coating of the active energy ray-curable material to the stacking of the cover plate 4 in a reduced pressure atmosphere as shown in Japanese Patent Application No. 2-12692.

【００３４】次に、図４の（Ａ）、（Ｂ）および（Ｃ）
に示すように、基板１の活性エネルギー線硬化性材料７
上に蓋板４を積層する。尚、蓋板４は本発明に必ずしも
必要な物ではない。この際、蓋板４には、所望の液室容
積を得るための凹部５を必要に応じて液室形成部位に設
けてもよい。もちろん蓋板４も基板１と同様に、ガラ
ス、プラスチック、感光性樹脂、金属、セラミックス等
の所望の材質のものを用いることができるが、後述する
活性エネルギー線照射の工程を蓋板４側から行なう場合
は、活性エネルギー線透過性であることが必要である。
また、蓋板４には、記録液供給用の供給口６が予め設け
られていてもよい。Next, in FIGS. 4A, 4B and 4C,
As shown in FIG.
The lid plate 4 is laminated on top. The lid plate 4 is not always necessary for the present invention. At this time, the lid plate 4 may be provided with a recess 5 for obtaining a desired liquid chamber volume at the liquid chamber forming portion, if necessary. Of course, the lid plate 4 can also be made of a desired material such as glass, plastic, photosensitive resin, metal, or ceramics like the substrate 1, but the step of activating the active energy rays described below is performed from the lid plate 4 side. If it is performed, it must be transparent to active energy rays.
Further, the cover plate 4 may be provided with a supply port 6 for supplying the recording liquid in advance.

【００３５】上記においては特に示さなかったが、活性
エネルギー線硬化性材料層７の積層は、蓋板４を固体層
３に積層した後に行なってもよい。この場合の積層方法
としては、蓋板４を基板１と圧着した後、内部を減圧に
し、その後、活性エネルギー線硬化性材料７を注入する
等の方法が好ましく用いられる。また、蓋板４を積層す
るに際しては、活性エネルギー線硬化性材料７を所要の
厚さにするべく、例えば基板１と蓋板４間にスペーサー
を設けたり、蓋板４の端部に凸部を設ける等の工夫をし
てもよい。Although not specifically shown in the above, the active energy ray-curable material layer 7 may be laminated after the lid plate 4 is laminated on the solid layer 3. As a stacking method in this case, it is preferable to use a method in which the cover plate 4 is pressure-bonded to the substrate 1, the inside pressure is reduced, and then the active energy ray-curable material 7 is injected. When stacking the cover plate 4, a spacer is provided between the substrate 1 and the cover plate 4 or a convex portion is formed at the end of the cover plate 4 so that the active energy ray-curable material 7 has a required thickness. May be devised such as provision of.

【００３６】こうして基板１、固体層３、活性エネルギ
ー線硬化性材料７および蓋板４が順次積層された積層体
を得た後、図５の（Ａ）、（Ｂ）および（Ｃ）に示すよ
うに、液室形成予定部位に対して、それを活性エネルギ
ー線９から遮蔽するように、活性エネルギー線透過性の
基板側（本実施例では蓋板４）にマスク８を積層し、マ
スク８の上方から活性エネルギー線９を照射する（図中
に示したマスク８の黒塗りの部分が活性エネルギー線を
透過しない部分であり、黒塗り部以外が活性エネルギー
線を透過する部分である）。この活性エネルギー線９の
照射により、該照射部分の活性エネルギー線硬化性材料
（図４参照）が硬化して硬化樹脂層１０が形成されると
ともに、該硬化によって基板１と蓋板４の接合も行なわ
れる。活性エネルギー線９が照射されない活性エネルギ
ー線硬化性材料７は未硬化のままである。In this way, after obtaining a laminated body in which the substrate 1, the solid layer 3, the active energy ray-curable material 7 and the cover plate 4 are laminated in this order, they are shown in FIGS. 5 (A), 5 (B) and 5 (C). As described above, the mask 8 is laminated on the active energy ray permeable substrate side (the lid plate 4 in this embodiment) so as to shield the liquid chamber formation planned portion from the active energy ray 9. Is irradiated with the active energy ray 9 from above (the black portion of the mask 8 shown in the figure is a portion which does not transmit the active energy ray, and the portion other than the black portion is a portion which transmits the active energy ray). The irradiation of the active energy ray 9 cures the active energy ray curable material (see FIG. 4) in the irradiated portion to form the cured resin layer 10, and the curing also bonds the substrate 1 and the cover plate 4. Done. The active energy ray curable material 7 which is not irradiated with the active energy ray 9 remains uncured.

【００３７】活性エネルギー線９としては、紫外線、電
子線、可視光線等が利用できるが、基板を透過させての
露光であるので紫外線、可視光線が好ましく、また重合
速度の面から紫外線が最も適している。紫外線の線源と
しては、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、ハロゲンランプ、
キセノンランプ、メタルハライドランプ、カーボンアー
ク等のエネルギー密度の高い光源が好ましく用いられ
る。光源からの光線は、平行性が高く、熱の発生が少な
いもの程精度の良い加工が行なえるが、印刷製版ないし
プリント配線板加工あるいは光硬化型塗料の硬化に一般
に用いられている紫外線光源であれば概ね利用可能であ
る。As the active energy ray 9, ultraviolet rays, electron rays, visible rays, etc. can be used. However, ultraviolet rays and visible rays are preferable because they are exposed through the substrate, and ultraviolet rays are most suitable from the viewpoint of polymerization rate. ing. Ultraviolet radiation sources include high-pressure mercury lamps, ultra-high pressure mercury lamps, halogen lamps,
A light source having a high energy density such as a xenon lamp, a metal halide lamp, or a carbon arc is preferably used. The light from the light source has high parallelism and the less heat is generated, the more accurate processing can be performed.However, it is an ultraviolet light source that is generally used for printing plate making or printed wiring board processing or curing of photo-curable paint. If there is, it is almost available.

【００３８】活性エネルギー線９に対するマスク８とし
ては、特に紫外線もしくは可視光線を用いる場合、メタ
ルマスク、銀塩のエマルジョンマスク、ジアゾマスク等
が挙つける等の方法でもかまわない。As the mask 8 for the active energy rays 9, when ultraviolet rays or visible rays are used, a metal mask, a silver salt emulsion mask, a diazo mask or the like may be used.

【００３９】次いで、例えばオリフィス端面が露出して
いない場合等、必要に応じてダイヤモンドブレードを用
いたダイシングソー等によって、活性エネルギー線９の
照射による硬化を終了した積層体を所要の位置で切断
し、オリフィス端面を露出させる。しかし、このような
切断の操作は、本発明の実施のために必ずしも必要では
なく、例えば液状の硬化性材料を用い、該材料を積層す
る際に型を使用し、オリフィス先端部が閉じて覆われて
しまうことがなく、且つオリフィス端面が平滑に成型さ
れるようにした場合等には、切断は不要である。Then, for example, when the end face of the orifice is not exposed, etc., the layered body which has been cured by the irradiation of the active energy ray 9 is cut at a required position by a dicing saw using a diamond blade or the like, if necessary. , Expose the end face of the orifice. However, such a cutting operation is not always necessary for the practice of the present invention. For example, a liquid curable material is used, a mold is used when laminating the material, and the orifice tip is closed and covered. If the orifice end surface is formed so as not to be broken and the orifice end surface is formed to be smooth, the cutting is not necessary.

【００４０】次いで、活性エネルギー線照射を終了した
上記積層体から、固体層３および未硬化の活性エネルギ
ー線硬化性材料７を図６の（Ａ）、（Ｂ）および（Ｃ）
に示すように除去して、液流路１１、液室１２、フィル
ター１４をを形成する。Next, the solid layer 3 and the uncured active energy ray-curable material 7 are removed from the above-mentioned laminated body after the irradiation with active energy rays, and are shown in FIGS.
Then, the liquid flow path 11, the liquid chamber 12, and the filter 14 are formed by removing them as shown in FIG.

【００４１】固体層３および未硬化の活性エネルギー線
硬化性材料７（図５参照）の除去手段としては特に限定
されるものではないが、具体的には、例えば固体層３と
未硬化の活性エネルギー線硬化性材料７とを溶解または
膨潤あるいは剥離する液体に浸漬して除去する等の方法
が好ましいものとして挙げられる。この際、必要に応じ
て超音波処理、スプレー、加熱、攪枠、振とう、加圧循
環、その他の除去促進手段を用いることも可能である。The means for removing the solid layer 3 and the uncured active energy ray-curable material 7 (see FIG. 5) is not particularly limited, but specifically, for example, the solid layer 3 and the uncured active material. A preferable method is a method of immersing and removing the energy ray-curable material 7 in a liquid that dissolves, swells, or peels. At this time, it is also possible to use ultrasonic treatment, spraying, heating, stirring, shaking, pressurization circulation, and other removal promoting means, if necessary.

【００４２】上記除去手段に対して用いられる液体とし
ては、例えば含ハロゲン炭化水素、ケトン、エステル、
芳香族炭化水素、エーテル、アルコール、Ｎ−メチルピ
ロリドン、ジメチルホルムアミド、フェノール、水、酸
あるいはアルカリを含む水、等が挙げられる。これら液
体には、必要に応じて界面活性剤を加えても良い。ま
た、固体層３としてポジ型ドライフィルムを用いる場合
には、除去を容易にするために固体層３に改めて紫外線
照射を施すのが好ましく、その他の材料を用いた場合
は、４０〜６０℃に液体を加温するのが好ましい。The liquid used for the removing means is, for example, a halogen-containing hydrocarbon, a ketone, an ester,
Examples thereof include aromatic hydrocarbons, ethers, alcohols, N-methylpyrrolidone, dimethylformamide, phenol, water, water containing an acid or alkali, and the like. If necessary, a surfactant may be added to these liquids. Further, when a positive type dry film is used as the solid layer 3, it is preferable to irradiate the solid layer 3 again with ultraviolet rays in order to facilitate the removal, and when other materials are used, the temperature is 40 to 60 ° C. It is preferred to warm the liquid.

【００４３】図６の（Ａ）、（Ｂ）および（Ｃ）には、
上記のような固体層３および未硬化の活性エネルギー線
硬化性材料７の除去を行なった後の状態が示されている
が、本例の場合、固体層３および未硬化の活性エネルギ
ー線硬化性材料７は、これを溶解する液体中に浸漬さ
れ、記録ヘッドのオリフィスと液供給口６を通して溶解
除去されている。In FIGS. 6A, 6B and 6C,
The state after removing the solid layer 3 and the uncured active energy ray curable material 7 as described above is shown, but in the case of this example, the solid layer 3 and the uncured active energy ray curable material are shown. The material 7 is immersed in a liquid that dissolves it, and is dissolved and removed through the orifice of the recording head and the liquid supply port 6.

【００４４】図７には、以上の各工程を経て得られたイ
ンクジェット記録ヘッドの模式的分解斜視図が示されて
いる。尚、以上の各工程を終了した後、液体吐出エネル
ギー発生素子２とオリフィス１３との間隔を最適化する
ために、必要に応じてオリフィス先端の切断、研摩、平
滑化を行なってもよい。FIG. 7 is a schematic exploded perspective view of an ink jet recording head obtained through the above steps. After the above steps are completed, the tip of the orifice may be cut, polished, or smoothed, if necessary, in order to optimize the distance between the liquid ejection energy generating element 2 and the orifice 13.

【００４５】本発明において、固体層３のフィルター形
成部位に亀裂を生じせしめる方法としては、固体層上に
活性エネルギー線硬化性材料を積層する際に、活性エネ
ルギー線硬化性材料にあらかじめフィラーを混入させて
おき、固体層のフィルター形成部位に対して硬化性材料
を加圧することにより、フィラーを固体層に食い込ませ
ることによって、亀裂を生じせしめる方法や、固体層の
フィルター形成部位に対してブラスト処理等を施して亀
裂を生じせしめ、その後活性エネルギー線硬化性材料の
積層を行うなどの方法が挙げられるが、本発明ではこれ
らの方法に限定される事無く、固体層のフィルター形成
部位に対して亀裂を生じせしめることができればいずれ
の方法によっても良い。In the present invention, as a method of causing cracks in the filter forming portion of the solid layer 3, when the active energy ray curable material is laminated on the solid layer, a filler is mixed in advance with the active energy ray curable material. Then, by pressing the curable material to the filter forming part of the solid layer to cause the filler to bite into the solid layer to cause cracks, or to blast the filter forming part of the solid layer. Etc. to generate cracks, and the method of laminating the active energy ray-curable material after that can be mentioned, but the present invention is not limited to these methods, with respect to the filter forming portion of the solid layer. Any method may be used as long as cracks can be generated.

【００４６】本発明は、特にインクジェット記録方式の
中でもの熱エネルギーを利用して飛翔液滴を形成し記録
を行うインクジェット記録ヘッド、記録装置において優
れた効果をもたらすものである。The present invention brings excellent effects particularly in an ink jet recording head and a recording apparatus which form flying droplets by utilizing thermal energy among the ink jet recording methods for recording.

【００４７】本発明によって製造できる記録ヘッドの代
表的な構成や原理については、例えば、米国特許第４，
７２３，１２９号明細書、同４，７４０，７９６号明細
書に開示されており、本発明はこれらの基本的な原理を
用いて行なうものが好ましい。この方式は所謂オンデマ
ンド型、コンティニュアス型のいずれにも適用可能であ
る。A typical structure and principle of a recording head which can be manufactured by the present invention is described in, for example, US Pat.
Nos. 723,129 and 4,740,796, and the present invention is preferably carried out using these basic principles. This method is applicable to both so-called on-demand type and continuous type.

【００４８】特にオンデマンド型の場合には、液体（イ
ンク）が保持されているシートや液路に対応して配置さ
れている電気熱変換体に、記録情報に対応していて核沸
騰を超える急速な温度上昇を与える少なくとも一つの駆
動信号を印加することによって、電気熱変換体に熱エネ
ルギーを発生せしめ、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰さ
せて、結果的にこの駆動信号に一対一に対応し、液体
（インク）内の気泡を形成できるので有効である。この
気泡の成長、収縮により吐出用開口（吐出口）を介して
液体（インク）を吐出させて、少なくとも一つの滴を形
成する。この駆動信号をパルス形状とすると、即時適切
に気泡の成長、収縮が行なわれるので、特に応答性に優
れた液体（インク）の吐出が達成でき、より好ましい。
このパルス形状の駆動信号としては、米国特許第４，４
６３，３５９号明細書、同４，３４５，２６２号明細書
に記載されているようなものが適している。なお、上記
熱作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許第４，３
１３，１２４号明細書に記載されている条件を採用する
と、更に優れた記録を行なうことができる。Particularly in the case of the on-demand type, the electrothermal converter arranged corresponding to the sheet or liquid path holding the liquid (ink) corresponds to the recorded information and exceeds the nucleate boiling. By applying at least one drive signal that gives a rapid temperature rise, heat energy is generated in the electrothermal converter, causing film boiling on the heat-acting surface of the recording head, resulting in a one-to-one correspondence with this drive signal. Correspondingly, it is effective because bubbles can be formed in the liquid (ink). Due to the growth and contraction of the bubbles, the liquid (ink) is ejected through the ejection opening (ejection port) to form at least one droplet. It is more preferable to make this drive signal into a pulse shape because bubbles can be grown and contracted immediately and appropriately, so that liquid (ink) ejection with excellent responsiveness can be achieved.
As this pulse-shaped drive signal, US Pat.
Those described in 63,359 and 4,345,262 are suitable. Note that US Pat.
If the conditions described in the specification of No. 13,124 are adopted, more excellent recording can be performed.

【００４９】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出口、液路、電気熱変換体
の組み合わせ構成（直線状液流路または直角液流路）の
他に熱作用部が屈曲する領域に配置されている構成を開
示する米国特許第４，５５８，３３３号明細書、同４，
４５９，６００号明細書に記載の構成も本発明に含まれ
るものである。加えて、複数の電気熱変換体に対して、
共通するスリットを電気熱変換体の吐出部とする構成を
開示する特開昭５９−１２３６７０号公報や熱エネルギ
ーの圧力波を吸収する開孔を吐出部に対応させる構成を
開示する特開昭５９−１３８４６１号公報に基づいた構
成の記録ヘッドに対しても本発明は有効である。As the constitution of the recording head, in addition to the combination constitution of the discharge port, the liquid passage, and the electrothermal converter (the linear liquid passage or the right-angled liquid passage) as disclosed in the above-mentioned respective specifications. U.S. Pat. Nos. 4,558,333, which disclose a configuration in which a heat acting portion is arranged in a bending region.
The structure described in the specification of 459,600 is also included in the present invention. In addition, for multiple electrothermal converters,
Japanese Unexamined Patent Publication No. 59-123670, which discloses a configuration in which a common slit is used as a discharge portion of an electrothermal converter, and Japanese Patent Laid-Open No. 59-63670, which discloses a configuration in which an opening for absorbing a pressure wave of thermal energy is associated with the discharge portion. The present invention is also effective for a recording head having a structure based on Japanese Patent Laid-Open No. 138461.

【００５０】更に、本発明が有効に利用される記録ヘッ
ドとしては、記録装置が記録できる最大記録媒体の幅に
対応した長さを有するフルラインタイプの記録ヘッドが
ある。このフルラインタイプの記録ヘッドは、上述した
明細書に開示されているような記録ヘッドを複数組み合
わせることにフルライン構成にしたものや、一体的に形
成された一個の記録ヘッドとしての構成のいずれでも良
い。Further, as a recording head in which the present invention is effectively used, there is a full line type recording head having a length corresponding to the maximum recording medium width that can be recorded by the recording apparatus. The full-line type recording head has a full-line configuration formed by combining a plurality of recording heads as disclosed in the above specification, or a configuration as one recording head integrally formed. But good.

【００５１】加えて、装置本体に装着されることで、装
置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給
が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あ
るいは記録ヘッド自体に一体的に設けられたカートリッ
ジタイプの記録ヘッドの場合にも本発明は有効である。In addition, by being mounted on the apparatus main body, it can be electrically connected to the apparatus main body and can be supplied with ink from the apparatus main body by a replaceable chip type recording head or the recording head itself. The present invention is also effective in the case of a cartridge-type recording head that is provided in a specific manner.

【００５２】また、本発明の記録装置に、記録ヘッドに
対しての回復手段、予備的な補助手段等を付加すること
は、本発明の記録装置を一層安定にすることができるの
で好ましいものである。これらを具体的に挙げれば、記
録ヘッドに対してのキャッピング手段、クリーニング手
段、加圧あるいは吸引手段、電気熱変換体あるいはこれ
とは別の加熱素子、あるいはこれらの組み合わせによる
予備加熱手段、記録とは別の吐出を行なう予備吐出モー
ドを行なう手段を付加することも安定した記録を行なう
ために有効である。Further, it is preferable to add recovery means for the recording head, preliminary auxiliary means, etc. to the recording apparatus of the present invention because the recording apparatus of the present invention can be made more stable. is there. Specific examples thereof include capping means for the recording head, cleaning means, pressure or suction means, an electrothermal converter or a heating element other than this, or a preheating means by a combination thereof, recording and Adding a means for performing a preliminary ejection mode for performing another ejection is also effective for stable recording.

【００５３】更に記録装置の記録モードとしては、黒色
等の主流色のみの記録モードだけではなく、記録ヘッド
を一体的に構成するか複数個の組み合わせによってでも
良いが、異なる色の複色カラーまたは、混色によるフル
カラーの少なくとも一つを備えた装置に使用できる記録
ヘッドにも本発明はきわめて有効である。Further, the recording mode of the recording apparatus is not limited to the recording mode of only the mainstream color such as black, but the recording head may be integrally formed or a plurality of combinations may be used. The present invention is also extremely effective for a recording head that can be used in an apparatus provided with at least one of full-color mixed colors.

【００５４】以上の説明においては、インクを液体とし
て説明しているが、室温やそれ以下で固化するインクで
あって、室温で軟化もしくは液体となるもの、あるいは
インクジェットにおいて一般的に行なわれている温度調
整の温度範囲である３０℃以上７０℃以下の温度範囲で
軟化もしくは液体となるものでも良い。すなわち、使用
記録信号付与時にインクが液状をなすものであれば良
い。In the above description, the ink is described as a liquid, but it is an ink that solidifies at room temperature or lower and becomes soft or liquid at room temperature, or is generally used in ink jet. It may soften or become a liquid in the temperature range of 30 ° C. or higher and 70 ° C. or lower, which is the temperature range for temperature adjustment. That is, the ink may be in a liquid state when the use recording signal is applied.

【００５５】加えて、熱エネルギーによるヘッドやイン
クの過剰な昇温をインクの固形状態から液体状態への状
態変化のエネルギーとして使用せしめることで積極的に
防止するか、または、インクの蒸発防止を目的として放
置状態で固化するインクを用いることもできる。いずれ
にしても熱エネルギーの記録信号に応じた付与によって
インクが液化してインク液状として吐出するものや記録
媒体に到達する時点では既に固化し始めるもの等のよう
な、熱エネルギーの付与によって初めて液化する性質を
有するインクの使用も本発明には適用可能である。In addition, excessive temperature rise of the head or ink due to thermal energy is positively prevented by using it as energy for changing the state of the ink from a solid state to a liquid state, or ink evaporation is prevented. For the purpose, it is possible to use an ink that solidifies when left standing. In any case, liquefaction occurs only when heat energy is applied, such as when the ink is liquefied by applying heat energy according to the recording signal and ejected as an ink liquid, or when it begins to solidify when it reaches the recording medium. The use of an ink having the property of applying is also applicable to the present invention.

【００５６】このようなインクは、特開昭５４−５６８
４７号公報あるいは特開昭６０−７１２６０号公報に記
載されるような、多孔質シートの凹部又は貫通孔に液状
又は固形物として保持された状態で、電気熱変換体に対
向するような形態としても良い。Such an ink is disclosed in JP-A-54-568.
No. 47 or JP-A No. 60-71260, a configuration in which the electrothermal converter is opposed to a liquid sheet or a solid material held in the recesses or through holes of the porous sheet. Is also good.

【００５７】本発明において、上述した各インクに対し
て最も有効なものは、上述した膜沸騰方式を実行するも
のである。In the present invention, the most effective one for each of the above-mentioned inks is to execute the above-mentioned film boiling method.

【００５８】図１６は、本発明により得られた記録ヘッ
ドをインクジェットヘッドカートリッジ（ＩＪＣ）とし
て装着したインクジェット記録装置（ＩＪＲＡ）の一例
を示す外観斜視図である。FIG. 16 is an external perspective view showing an example of an ink jet recording apparatus (IJRA) in which the recording head obtained by the present invention is mounted as an ink jet head cartridge (IJC).

【００５９】同図において、２０はプラテン２４上に送
紙されてきた記録紙の記録面に対向してインク吐出を行
うノズル群を備えたＩＪＣである。１６はＩＪＣ２０を
保持するキャリッジ（ＨＣ）であり、駆動モータ１７の
駆動力を伝達する駆動ベルト１８の一部と連結し、互い
に平行に配設された２本のガイドシャフト１９Ａ及び１
９Ｂと摺動可能とすることによりＩＪＣ２０の記録紙の
全幅にわたる往復移動が可能となる。In the figure, reference numeral 20 is an IJC provided with a nozzle group for ejecting ink in opposition to the recording surface of the recording paper fed onto the platen 24. Reference numeral 16 is a carriage (HC) for holding the IJC 20, which is connected to a part of the drive belt 18 for transmitting the driving force of the drive motor 17 and has two guide shafts 19A and 19A arranged in parallel with each other.
By making it slidable with 9B, reciprocating movement over the entire width of the recording paper of the IJC 20 is possible.

【００６０】２６はヘッド回復装置であり、ＩＪＣ２０
の移動経路の一端、例えばホームポジションと対向する
位置に配設される。伝動機構２３を介したモータ２２の
駆動力によって、ヘッド回復装置２６を動作せしめ、Ｉ
ＪＣ２０のキャッピングを行う。このヘッド回復装置２
６のキャップ部２６ＡによるＩＪＣ２０へのキャッピン
グに関連させて、ヘッド回復装置２６内に設けた適宜の
吸引手段によるインク吸引もしくはＩＪＣ２０へのイン
ク供給経路に設けた適宜の加圧手段によるインク圧送を
行い、インクを吐出口より強制的に排出させることによ
りノズル内の増粘インクを除去する等の吐出回復処理を
行う。また、記録終了時等にキャッピングを施すことに
よりＩＪＣ２０が保護される。Reference numeral 26 is a head recovery device, which is an IJC 20.
Is arranged at one end of the movement path of, for example, at a position facing the home position. The drive force of the motor 22 via the transmission mechanism 23 causes the head recovery device 26 to operate, and
Cap the JC20. This head recovery device 2
In association with the capping of the IJC 20 by the cap portion 26A of 6, the ink is sucked by an appropriate suction means provided in the head recovery device 26 or the ink is pressure-fed by an appropriate pressure means provided in the ink supply path to the IJC 20. The ejection recovery process such as removing the thickened ink in the nozzle by forcibly ejecting the ink from the ejection port is performed. Also, the IJC 20 is protected by capping at the end of recording or the like.

【００６１】３０はヘッド回復装置２６の側面に配設さ
れ、シリコンゴムで形成されるワイピング部材としての
ブレードである。ブレード３０はブレード保持部材３０
Ａにカンチレバー形態で保持され、ヘッド回復装置２６
と同様、モータ２２及び伝動機構２３によって動作し、
ＩＪＣ２０の吐出面との係合が可能となる。これによ
り、ＩＪＣ２０の記録動作における適切なタイミング
で、あるいはヘッド回復装置２６を用いた吐出回復処理
後に、ブレード３０をＩＪＣ２０の移動経路中に突出さ
せ、ＩＪＣ２０の移動動作に伴ってＩＪＣ２０の吐出面
における結露、濡れあるいは塵埃等をふき取るものであ
る。A blade 30 is provided on the side surface of the head recovery device 26 and is made of silicon rubber as a wiping member. The blade 30 is a blade holding member 30.
The head recovery device 26 is held by A in a cantilever form.
Is operated by the motor 22 and the transmission mechanism 23,
It becomes possible to engage with the ejection surface of the IJC 20. As a result, the blade 30 is projected into the movement path of the IJC 20 at an appropriate timing in the recording operation of the IJC 20 or after the ejection recovery process using the head recovery device 26, and the ejection surface of the IJC 20 is moved along with the movement operation of the IJC 20. Wipe off condensation, wetness or dust.

【００６２】[0062]

【実施例】以下、実施例を挙げて本発明を具体的に説明
する。EXAMPLES The present invention will be specifically described below with reference to examples.

【００６３】実施例１ 図１乃至図６に示した作製手順に準じて、図７の構成の
インクジェット記録ヘッドを作製した。Example 1 An ink jet recording head having the structure shown in FIG. 7 was manufactured according to the manufacturing procedure shown in FIGS.

【００６４】まず、液体吐出エネルギー発生素子２とし
て、電気熱変換体（材質ＨｆＢ₂）を、基板１としての
ガラス基板（厚さ１．１ｍｍ）上に形成した後、該基板
上にポジ型ドライフィルム（「ＯＺＡＴＥＣ Ｒ２２
５」、ヘキストジャパン（株）製）からなる厚さ５０μ
ｍの感光層をラミネーションにより形成した。この感光
層に図２（Ａ）に相当するパターンのマスクを重ね、液
流路、液室及びフィルター形成予定部位を除く部分に７
０ｍＪ／ｃｍ²の紫外線照射を行った。First, as a liquid discharge energy generating element 2, an electrothermal converter (material HfB ₂ ) is formed on a glass substrate (thickness: 1.1 mm) as the substrate 1, and then a positive type dry substrate is formed on the substrate. Film ("OZATEC R22
5 ", made by Hoechst Japan Ltd., thickness 50μ
The photosensitive layer of m was formed by lamination. A mask having a pattern corresponding to that shown in FIG. 2A is laid on the photosensitive layer, and the liquid flow path, the liquid chamber, and the portion where the filter is to be formed 7
Ultraviolet irradiation of 0 mJ / cm ² was performed.

【００６５】次に５％のメタケイ酸ナトリウム水溶液に
てスプレー現像を行い、上記電気熱変換体を含む基板上
の液流路及び液室形成予定部分に厚さ約５０μｍのレリ
ーフの固体層３を形成した。Next, spray development is carried out with a 5% aqueous solution of sodium metasilicate to form a relief solid layer 3 having a thickness of about 50 μm on the liquid flow path and the liquid chamber forming portion on the substrate including the electrothermal converter. Formed.

【００６６】該固体層が形成されている基板のそれぞれ
に、液状の下記組成 エポキシ樹脂：日本ユニオンカーバイト（株）製、Ｃｙ
ｒａｃｕｒｅ ＵＶＲ−６１１０（商品名）４０部、Ｃ
ｙｒａｃｕｒｅ ＵＶＲ−６２００（商品名）２０部、
Ｃｙｒａｃｕｒｅ ＵＶＲ−６３５１（商品名）４０部
よりなるエポキシ樹脂組成物にフィラー（大きさ１００
μｍ以下、二酸化チタン（ＴｉＯ₂）を２０％加え、エ
ポキシ樹脂の硬化触媒としてトリフェニルホニウムヘキ
サフルオロアンチモネート（下記構造式）The following liquid epoxy resin was applied to each of the substrates on which the solid layers were formed: Cy, manufactured by Nippon Union Carbide Co., Ltd.
racure UVR-6110 (trade name) 40 parts, C
20 parts of yracure UVR-6200 (trade name),
An epoxy resin composition consisting of 40 parts of Cycure UVR-6351 (trade name) is added to a filler (size 100).
Titanium dioxide (TiO ₂ ) of 20 μm or less is added, and triphenylphonium hexafluoroantimonate (the following structural formula) is used as a curing catalyst for epoxy resin.

【００６７】[0067]

【化１】 からなる活性エネルギー線硬化性材料を積層した。操作
手順は以下のようにして行った。[Chemical 1] The active energy ray-curable material consisting of was laminated. The operating procedure was as follows.

【００６８】上記活性エネルギー線硬化性材料としてエ
ポキシ樹脂組成物を触媒と混合し、フィラーとしての二
酸化チタンを所定量加えて攪拌した。その後、この活性
エネルギー線硬化性材料を脱泡し、この脱泡した物を前
記固体層が積層されている基板１に、真空度０．１Ｔｏ
ｒｒ程度の減圧雰囲気中でディスペンサーを用いて塗布
した。この時の塗布厚さは１００μｍ以下であればよ
く、厳しくはない。An epoxy resin composition as the active energy ray-curable material was mixed with a catalyst, and a predetermined amount of titanium dioxide as a filler was added and stirred. Then, the active energy ray-curable material is degassed, and the degassed material is vacuumed on the substrate 1 on which the solid layer is laminated to a vacuum degree of 0.1 To
Application was performed using a dispenser in a reduced pressure atmosphere of about rr. The coating thickness at this time may be 100 μm or less and is not critical.

【００６９】次に固体層に微細な亀裂を生じせしめる。
まず図８（Ａ）に示すように、上記減圧雰囲気中でフィ
ルター形成予定部位の固体層に対応した加圧部材３００
により加圧を行う。このとき、加圧部材３００と固体層
３の間にあるフィラーは固体層に食い込み、微細な亀裂
を生じせしめる。そして、ノズル部以外の部分にスペー
サーが設けられた蓋板４を接合した後、大気圧に戻すこ
とにより亀裂の中にまで活性エネルギー線硬化性材料が
注入される。続いて、基板１と蓋板４との位置合わせを
行い、積層体を得た。Next, fine cracks are caused in the solid layer.
First, as shown in FIG. 8 (A), the pressure member 300 corresponding to the solid layer at the site where the filter is to be formed in the reduced pressure atmosphere.
To apply pressure. At this time, the filler between the pressing member 300 and the solid layer 3 bites into the solid layer and causes fine cracks. Then, after joining the cover plate 4 provided with the spacer to the portion other than the nozzle portion, the active energy ray curable material is injected into the cracks by returning to atmospheric pressure. Subsequently, the substrate 1 and the lid plate 4 were aligned with each other to obtain a laminated body.

【００７０】次に、この積層体の蓋板４の上面にフィル
ムマスク８を密着させ、液室形成予定部位に対して活性
エネルギー線を遮蔽して、上方から超高圧水銀灯「ユニ
アーク」（ウシオ電機（株）製）による照射を行った。
この時の３６５ｎｍ付近の光の積算強度は、１０００ｍ
Ｗ／ｃｍ²であった。次いでフィルムマスク８を取り外
し、電気熱変換体がオリフィス先端から０．１ｍｍの位
置となるように切断し、オリフィス端面を形成した。Next, a film mask 8 is brought into close contact with the upper surface of the cover plate 4 of this laminated body to shield the active energy rays from the site where the liquid chamber is to be formed, and the ultra-high pressure mercury lamp "Uniarc" (USHIO INC. (Manufactured by Co., Ltd.).
At this time, the integrated intensity of light near 365 nm is 1000 m
It was W / cm ² . Next, the film mask 8 was removed, and the electrothermal converter was cut so as to be at a position of 0.1 mm from the tip of the orifice to form the end face of the orifice.

【００７１】オリフィス端面を露出させた積層体をエタ
ノール中に浸漬し、液室中にエタノールを充填し、かつ
オリフィス端面をエタノールに接触させた状態で超音波
洗浄槽中にて３分間固体層の溶解除去操作を行った。溶
解除去が終了した後、５％のＮａＯＨ水溶液及び純水で
洗浄を行った。洗浄後、これらの積層体を乾燥させ、高
圧水銀灯を用いて１０ｍＪ／ｃｍ²の後露光を行い活性
エネルギー線硬化性材料を完全に硬化させた。The laminate having the exposed end face of the orifice was dipped in ethanol, the liquid chamber was filled with ethanol, and the end face of the orifice was kept in contact with ethanol. A dissolution removal operation was performed. After completion of dissolution removal, washing was performed with a 5% NaOH aqueous solution and pure water. After washing, these laminates were dried and post-exposed at 10 mJ / cm ² using a high pressure mercury lamp to completely cure the active energy ray-curable material.

【００７２】このようにして作製されたインクジェット
記録ヘッドの液流路中には、いずれの場合も固体層の残
渣が全く存在しなかった。また、このようにして作製さ
れたフィルターは３次元の網状に形成されており、その
ほとんどが５μｍ以下の糸状であった。このようにして
作製されたフィルターにより、液体抵抗が低く、かつ、
ゴミの補足効果が大であるインクジェット記録ヘッドを
得ることができた。In any case, no residue of the solid layer was present in the liquid flow path of the ink jet recording head thus manufactured. Further, the filter thus produced was formed into a three-dimensional net-like shape, and most of them had a thread shape of 5 μm or less. With the filter manufactured in this way, the liquid resistance is low, and
It was possible to obtain an ink jet recording head having a great dust trapping effect.

【００７３】実施例２ 実施例１において、固体層のフィルター形成予定部位へ
の加圧を、図８（Ｂ）に示す、ノズル部１１に２０μｍ
以上の凹部を形成した蓋板４により減圧雰囲気中で加圧
し、接合する以外は実施例１と同様にしてインクジェッ
ト記録ヘッドを作製した。このように蓋板４自体に加圧
部材としての機能を付加することにより実施例１で用い
た加圧部材が不要となる。Example 2 In Example 1, 20 μm was applied to the nozzle portion 11 as shown in FIG.
An ink jet recording head was produced in the same manner as in Example 1 except that the lid plate 4 having the above-described recesses was pressed in a reduced pressure atmosphere and bonded. By thus adding the function as a pressure member to the cover plate 4 itself, the pressure member used in the first embodiment becomes unnecessary.

【００７４】実施例３ ノズルパターンの固体層を基板１上に実施例１と同様に
して設けた後、フィルター形成予定部位の固体層以外を
遮蔽し、１００μｍ以下の粒子径を有する粒子２００に
よりブラスト処理を施すことによって、固体層のフィル
ター形成予定部位に微細な亀裂を生じせしめる（図９参
照）。次に減圧雰囲気で実施例１で用いた活性エネルギ
ー線硬化性材料（この場合、フィラーは必要ない）を塗
布した後、蓋板４を位置合わせし、実施例１と同様に大
気圧に戻して活性エネルギー線硬化性材料を微細な亀裂
にしみこませてから、硬化させ、固体層及び未硬化の活
性エネルギー線硬化性材料を除去し、実施例１と同様の
フィルターを有するインクジェット記録ヘッドを得た。Example 3 A solid layer having a nozzle pattern was provided on the substrate 1 in the same manner as in Example 1, and then the portion other than the solid layer at the site where the filter was to be formed was shielded and blasted with particles 200 having a particle size of 100 μm or less. By performing the treatment, fine cracks are generated at the filter formation site of the solid layer (see FIG. 9). Next, after applying the active energy ray-curable material used in Example 1 (a filler is not necessary in this case) in a reduced pressure atmosphere, the cover plate 4 is aligned and returned to atmospheric pressure as in Example 1. The active energy ray-curable material was impregnated into fine cracks and then cured to remove the solid layer and the uncured active energy ray-curable material to obtain an inkjet recording head having the same filter as in Example 1. .

【００７５】[0075]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば簡
単な工程の追加により、３次元的なフィルターを形成す
ることが可能となり、その結果、従来防ぐことができな
かった糸状のゴミ等も容易に捕捉することが可能とな
り、その他のゴミの捕捉効果も増大した。更に、フィル
ターが網状であり、それぞれが細い糸状であるために、
液体抵抗はほとんど問題にするレベルではなく、吐出周
波数もフィルターのないインクジェット記録ヘッドと同
等のものが採用でき、高速記録を確保することが可能と
なった。As described above, according to the present invention, it becomes possible to form a three-dimensional filter by adding simple steps, and as a result, thread-like dust and the like which could not be prevented in the past. Can be easily captured, and the effect of capturing other dust is also increased. Furthermore, since the filters are mesh-shaped and each is a thin thread,
The liquid resistance is not at a level that causes almost any problem, and the ejection frequency can be the same as that of an inkjet recording head without a filter, and high-speed recording can be ensured.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】固体層形成前の基板の模式的斜視図である。FIG. 1 is a schematic perspective view of a substrate before a solid layer is formed.

【図２】（Ａ）は固体層形成後の基板の模式的平面図で
あり、（Ｂ）は蓋板の模式的平面図である。FIG. 2A is a schematic plan view of a substrate after a solid layer is formed, and FIG. 2B is a schematic plan view of a cover plate.

【図３】活性エネルギー線硬化性材料積層後の各部の模
式的断面図である。FIG. 3 is a schematic cross-sectional view of each part after laminating an active energy ray-curable material.

【図４】蓋板積層後の各部の模式的断面図である。FIG. 4 is a schematic cross-sectional view of each part after stacking the cover plates.

【図５】活性エネルギー線硬化性材料硬化時の各部の模
式的断面図である。FIG. 5 is a schematic cross-sectional view of each part when the active energy ray-curable material is cured.

【図６】固体層及び未硬化の活性エネルギー線硬化性材
料除去後の各部の模式的断面図である。FIG. 6 is a schematic cross-sectional view of each part after removing the solid layer and the uncured active energy ray-curable material.

【図７】図３乃至図６の各工程を経て形成されたインク
ジェット記録ヘッドの模式的分解斜視図である。FIG. 7 is a schematic exploded perspective view of an inkjet recording head formed through the steps of FIGS. 3 to 6.

【図８】固体層に微細な亀裂を生じせしめる方法を説明
するもので、（Ａ）は実施例１で説明した加圧部材を用
いた例を示す図２のＣ−Ｃ’線での模式的切断面図、
（Ｂ）は実施例２で説明した蓋板に加圧部材の機能を付
加した例を示す図２のＤ−Ｄ’線での模式的切断面図で
ある。8A and 8B are views for explaining a method of causing fine cracks in a solid layer, and FIG. 8A is a schematic view taken along line CC ′ of FIG. 2 showing an example using the pressing member described in Example 1. Section view,
(B) is a schematic cross-sectional view taken along the line DD ′ of FIG. 2, showing an example in which the function of a pressing member is added to the cover plate described in the second embodiment.

【図９】実施例３で説明したブラスト処理による固体層
に微細な亀裂を生じせしめる方法を説明する概念図であ
る。FIG. 9 is a conceptual diagram illustrating a method of producing fine cracks in a solid layer by the blasting process described in Example 3.

【図１０】従来のインクジェット記録ヘッドの製造方法
を説明する模式的斜視図で、基体上に固体層が形成され
た状態を示す。FIG. 10 is a schematic perspective view illustrating a conventional method for manufacturing an inkjet recording head, showing a state in which a solid layer is formed on a substrate.

【図１１】従来のインクジェット記録ヘッドの製造方法
を説明する模式的斜視図で、図１０にさらに活性エネル
ギー線硬化性材料を積層した状態を示す。FIG. 11 is a schematic perspective view illustrating a conventional method for manufacturing an inkjet recording head, and FIG. 10 shows a state in which an active energy ray-curable material is further laminated.

【図１２】従来のインクジェット記録ヘッドの製造方法
を説明する模式的斜視図で、図１１にさらに蓋板を積層
した状態を示す。FIG. 12 is a schematic perspective view illustrating a conventional method for manufacturing an inkjet recording head, and FIG. 11 shows a state in which a cover plate is further laminated.

【図１３】従来のインクジェット記録ヘッドの製造方法
を説明する模式的斜視図で、図１２に活性エネルギー線
を照射する状態を示す。FIG. 13 is a schematic perspective view illustrating a conventional method for manufacturing an inkjet recording head, and FIG. 12 shows a state in which active energy rays are irradiated.

【図１４】従来のインクジェット記録ヘッドの製造方法
を説明する模式的斜視図で、図１３の後に固体層と未硬
化の活性エネルギー線硬化性材料を除去する状態を示
す。14 is a schematic perspective view illustrating a conventional method for manufacturing an inkjet recording head, showing a state in which a solid layer and an uncured active energy ray-curable material are removed after FIG.

【図１５】図１０乃至図１４の工程を経て形成された従
来のインクジェット記録ヘッドの模式的斜視図である。FIG. 15 is a schematic perspective view of a conventional inkjet recording head formed through the steps of FIGS.

【図１６】本発明に係わるインクジェット記録ヘッド備
えた記録装置の一例を示す斜視図である。FIG. 16 is a perspective view showing an example of a recording apparatus provided with an inkjet recording head according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ 基板 ２ 液体吐出エネルギー発生素子 ３ 固体層 ４ 蓋板 ７ 活性エネルギー線硬化性材料 １００ フィラー ２００ 加圧部材 ３００ ブラスト粒子 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate 2 Liquid discharge energy generating element 3 Solid layer 4 Lid plate 7 Active energy ray curable material 100 Filler 200 Pressing member 300 Blast particles

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 ノズルパターンの固体層が設けられた基
板上に活性エネルギー線硬化型のノズル形成材料を被覆
し、活性エネルギー線を透過する蓋板を前記ノズル形成
材料を介して基板に接合後、活性エネルギー線を照射し
て、前記ノズル形成材料を硬化させ、しかる後に、ノズ
ルパターンの固体層を除去することによりノズルを形成
する工程、及び吐出エネルギー発生素子形成工程を包含
するインクジェット記録ヘッドの製造方法において、吐
出エネルギー発生素子よりノズルのインク流路上流部の
フィルター形成予定部位の前記固体層に亀裂を生じせし
めた後に前記ノズル形成材料を硬化させることを特徴と
するインクジェット記録ヘッドの製造方法。1. A substrate on which a solid layer of a nozzle pattern is provided is coated with an active energy ray-curable nozzle forming material, and a lid plate that transmits active energy rays is bonded to the substrate via the nozzle forming material. Of an ink jet recording head including a step of irradiating an active energy ray to cure the nozzle forming material, and thereafter forming a nozzle by removing a solid layer of a nozzle pattern, and an ejection energy generating element forming step. In the manufacturing method, a method for manufacturing an ink jet recording head, characterized in that the nozzle forming material is cured after causing a crack in the solid layer in a filter formation planned portion of an ink flow path upstream portion of a nozzle from an ejection energy generating element. . 【請求項２】 ノズル形成材料が、活性エネルギー線を
照射するまでは液状であることを特徴とする請求項１に
記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。2. The method for manufacturing an ink jet recording head according to claim 1, wherein the nozzle forming material is in a liquid state until it is irradiated with an active energy ray. 【請求項３】 あらかじめノズル形成材料に微細な粒子
が混入されており、固体層の設けられた基体に該ノズル
形成材料を被覆した後、加圧することにより微細な粒子
により固体層のフィルター形成予定部位のみに微細な亀
裂を生じせしめることを特徴とする請求項１または２に
記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。3. A nozzle for forming a solid layer filter, wherein fine particles are preliminarily mixed in a nozzle forming material, and a base provided with a solid layer is coated with the nozzle forming material and then pressurized to form a solid layer filter. The method for producing an ink jet recording head according to claim 1, wherein fine cracks are generated only in the portion. 【請求項４】 固体層のフィルター形成予定部位を微細
な粒子によるブラスト処理により固体層のフィルター形
成予定部位のみに微細な亀裂を生じせしめることを特徴
とする請求項１または２に記載のインクジェット記録ヘ
ッドの製造方法。4. The ink jet recording according to claim 1, wherein fine cracks are produced only in the filter formation planned portion of the solid layer by blasting the filter formation planned portion of the solid layer with fine particles. Head manufacturing method. 【請求項５】 請求項１乃至４のいずれか１項に記載の
方法で製造されるインクジェット記録ヘッド。5. An inkjet recording head manufactured by the method according to claim 1. 【請求項６】 吐出エネルギー発生素子が、インクを吐
出するために利用される熱エネルギーを発生する電気熱
変換体である請求項５のインクジェット記録ヘッド。6. The ink jet recording head according to claim 5, wherein the ejection energy generating element is an electrothermal converter that generates thermal energy used for ejecting ink. 【請求項７】 吐出口が被記録媒体の記録領域の全幅に
わたって複数設けられているフルラインタイプである請
求項５または６に記載のインクジェット記録ヘッド。7. The inkjet recording head according to claim 5, wherein the inkjet recording head is a full line type in which a plurality of ejection openings are provided over the entire width of the recording area of the recording medium. 【請求項８】 被記録媒体の被記録面に対向してインク
を吐出するインク吐出口が設けられている請求項５乃至
７のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド
と、該記録ヘッドを載置するための部材とを少なくとも
具備することを特徴とする記録装置。8. The ink jet recording head according to claim 5, wherein an ink ejection port for ejecting ink is provided so as to face a recording surface of a recording medium. A recording apparatus comprising at least a member for mounting.