JPH06310789A - エキシマーレーザー用予備電離ピンの位置調整装置 - Google Patents
エキシマーレーザー用予備電離ピンの位置調整装置Info
- Publication number
- JPH06310789A JPH06310789A JP11657493A JP11657493A JPH06310789A JP H06310789 A JPH06310789 A JP H06310789A JP 11657493 A JP11657493 A JP 11657493A JP 11657493 A JP11657493 A JP 11657493A JP H06310789 A JPH06310789 A JP H06310789A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 レーザー発振の運転状況を調整するため
に、レーザー発振を行わせながらでも予備電離ピン６の
位置を適正に調整可能とするエキシマーレーザー用予備
電離ピン６の位置調整装置を提供すること。 【構成】 予備電離ピン６をレーザーチャンバー２の
外部から移動調整することに着目したものであって、主
電極用架台１５に対して予備電離ピン用架台１４を移動
可能とし、この予備電離ピン用架台１４を駆動する架台
駆動部１７を設け、予備電離ピン用架台１４をレーザー
チャンバー２の外部から駆動することにより、予備電離
ピン６と主放電電極３との間の位置調整を可能としたこ
とを特徴とする。
に、レーザー発振を行わせながらでも予備電離ピン６の
位置を適正に調整可能とするエキシマーレーザー用予備
電離ピン６の位置調整装置を提供すること。 【構成】 予備電離ピン６をレーザーチャンバー２の
外部から移動調整することに着目したものであって、主
電極用架台１５に対して予備電離ピン用架台１４を移動
可能とし、この予備電離ピン用架台１４を駆動する架台
駆動部１７を設け、予備電離ピン用架台１４をレーザー
チャンバー２の外部から駆動することにより、予備電離
ピン６と主放電電極３との間の位置調整を可能としたこ
とを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はエキシマーレーザー用予
備電離ピンの位置調整装置にかかるもので、とくに予備
電離ピンの位置調整を容易にしたエキシマーレーザー用
予備電離ピンの位置調整装置に関するものである。
備電離ピンの位置調整装置にかかるもので、とくに予備
電離ピンの位置調整を容易にしたエキシマーレーザー用
予備電離ピンの位置調整装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の、放電励起エキシマーレーザーな
どの気体レーザーでは、陽極および陰極の二本の電極か
らなる主電極間での主放電を起こす前に、主電極周辺の
ガスを予備電離する必要がある。
どの気体レーザーでは、陽極および陰極の二本の電極か
らなる主電極間での主放電を起こす前に、主電極周辺の
ガスを予備電離する必要がある。
【０００３】この予備電離を起こすためには、通常、上
記主電極から若干離して多数の予備電離ピンの対を配置
することが行われている。
記主電極から若干離して多数の予備電離ピンの対を配置
することが行われている。
【０００４】この予備電離ピンのうちの一本は、キーピ
ングキャパシタ（放電用コンデンサー）に直接これを接
続してあり、このキーピングキャパシタは予備電離ピン
用架台上にこれを配置してある。
ングキャパシタ（放電用コンデンサー）に直接これを接
続してあり、このキーピングキャパシタは予備電離ピン
用架台上にこれを配置してある。
【０００５】また、予備電離ピン用架台は、主電極を支
える主電極用架台にこれをビス止めしてある。
える主電極用架台にこれをビス止めしてある。
【０００６】上記二本の主電極の間での主放電によって
レーザー発振を行うが、予備電離ピンの位置によって
は、予備電離ピンと主電極（たとえば陰極）との間で放
電、すなわち絶縁破壊を生じてしまうという問題があ
る。
レーザー発振を行うが、予備電離ピンの位置によって
は、予備電離ピンと主電極（たとえば陰極）との間で放
電、すなわち絶縁破壊を生じてしまうという問題があ
る。
【０００７】したがって、予備電離ピンの位置が適当で
あるか否かはレーザー発振にとって重要であるにもかか
わらず、レーザーの運転を開始してからしかこれを確認
することができないという問題がある。
あるか否かはレーザー発振にとって重要であるにもかか
わらず、レーザーの運転を開始してからしかこれを確認
することができないという問題がある。
【０００８】すなわち、一旦エキシマーレーザーとして
組み上げてレーザーチャンバー内にガスを充満させたの
ち発振させてその運転状況が良好か否かを見きわめ、不
良であれば再度分解し、予備電離ピンの位置調整を行う
という試行錯誤を取らざるをえなかった。
組み上げてレーザーチャンバー内にガスを充満させたの
ち発振させてその運転状況が良好か否かを見きわめ、不
良であれば再度分解し、予備電離ピンの位置調整を行う
という試行錯誤を取らざるをえなかった。
【０００９】また、絶縁破壊を生じないように、主電極
から十分に離れた距離に予備電離ピンを配置したとする
と、予備電離ピンから主電極までの距離が遠いために、
予備電離によって発生した紫外線が主電極まで十分に到
達せず、主電極間に存在するガスの均一なる電離が行わ
れないという欠点がある。
から十分に離れた距離に予備電離ピンを配置したとする
と、予備電離ピンから主電極までの距離が遠いために、
予備電離によって発生した紫外線が主電極まで十分に到
達せず、主電極間に存在するガスの均一なる電離が行わ
れないという欠点がある。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】本発明は以上のような
諸問題にかんがみなされたもので、レーザー発振の運転
状況を調整するために、レーザー発振を行わせながらで
も予備電離ピンの位置を適正に調整可能とするエキシマ
ーレーザー用予備電離ピンの位置調整装置を提供するこ
とを課題とする。
諸問題にかんがみなされたもので、レーザー発振の運転
状況を調整するために、レーザー発振を行わせながらで
も予備電離ピンの位置を適正に調整可能とするエキシマ
ーレーザー用予備電離ピンの位置調整装置を提供するこ
とを課題とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】すなわち本発明は、予備
電離ピンをレーザーチャンバーの外部から移動調整する
ことに着目したものであって、レーザーチャンバーと、
互いに対向する一対の主電極と、この主電極の一方を支
持する主電極用架台と、互いに対向する一対の予備電離
ピンと、この予備電離ピンの一方を支持する予備電離ピ
ン用架台と、を有するエキシマーレーザー用予備電離ピ
ンの位置調整装置であって、上記主電極用架台に対して
上記予備電離ピン用架台を移動可能とし、この予備電離
ピン用架台を駆動する架台駆動部を設け、上記予備電離
ピン用架台を上記レーザーチャンバーの外部から駆動す
ることにより、上記予備電離ピンと上記主電極との間の
位置調整を可能としたことを特徴とするエキシマーレー
ザー用予備電離ピンの位置調整装置である。
電離ピンをレーザーチャンバーの外部から移動調整する
ことに着目したものであって、レーザーチャンバーと、
互いに対向する一対の主電極と、この主電極の一方を支
持する主電極用架台と、互いに対向する一対の予備電離
ピンと、この予備電離ピンの一方を支持する予備電離ピ
ン用架台と、を有するエキシマーレーザー用予備電離ピ
ンの位置調整装置であって、上記主電極用架台に対して
上記予備電離ピン用架台を移動可能とし、この予備電離
ピン用架台を駆動する架台駆動部を設け、上記予備電離
ピン用架台を上記レーザーチャンバーの外部から駆動す
ることにより、上記予備電離ピンと上記主電極との間の
位置調整を可能としたことを特徴とするエキシマーレー
ザー用予備電離ピンの位置調整装置である。
【００１２】上記一対の予備電離ピンは、これを上記主
電極の左右両側に配置することができる。
電極の左右両側に配置することができる。
【００１３】上記予備電離ピンの対は、その複数個を設
けることができる。
けることができる。
【００１４】上記予備電離ピンの他方部分は、これを断
面Ｌ字状とすることができる。
面Ｌ字状とすることができる。
【００１５】上記架台駆動部は、上記予備電離ピン用架
台一体につき、少なくともふたつ以上でこれを構成する
ことができる。
台一体につき、少なくともふたつ以上でこれを構成する
ことができる。
【００１６】
【作用】本発明によるエキシマーレーザー用予備電離ピ
ンの位置調整装置においては、予備電離ピンを主電極に
対して移動可能とするとともに、これをレーザーチャン
バーの外部から位置調整可能としたので、レーザー発振
を行いながらその最適な位置を決定することができ、エ
キシマーレーザーをはじめとする気体レーザーの運転の
能率を高めることが可能であるとともに出力の向上も期
待することができる。
ンの位置調整装置においては、予備電離ピンを主電極に
対して移動可能とするとともに、これをレーザーチャン
バーの外部から位置調整可能としたので、レーザー発振
を行いながらその最適な位置を決定することができ、エ
キシマーレーザーをはじめとする気体レーザーの運転の
能率を高めることが可能であるとともに出力の向上も期
待することができる。
【００１７】
【実施例】つぎに本発明の一実施例によるエキシマーレ
ーザー用予備電離ピンの位置調整装置を図面にもとづき
説明する。
ーザー用予備電離ピンの位置調整装置を図面にもとづき
説明する。
【００１８】図１は、このエキシマーレーザー用予備電
離ピンの位置調整装置を装備したエキシマーレーザー１
の縦断面図、図２は同エキシマーレーザー１の一部破断
斜視図であって、エキシマーレーザー１は、レーザーチ
ャンバー２と、主放電電極３を構成する陽極４および陰
極５と、予備電離ピン６を構成する断面Ｌ字状の固定プ
レート部材７およびピン部材８と、全反射ミラー９と、
部分反射ミラー１０（図２の仮想線）と、ラインフロー
ファン１１と、冷却用の熱交換器１２と、を有する。
離ピンの位置調整装置を装備したエキシマーレーザー１
の縦断面図、図２は同エキシマーレーザー１の一部破断
斜視図であって、エキシマーレーザー１は、レーザーチ
ャンバー２と、主放電電極３を構成する陽極４および陰
極５と、予備電離ピン６を構成する断面Ｌ字状の固定プ
レート部材７およびピン部材８と、全反射ミラー９と、
部分反射ミラー１０（図２の仮想線）と、ラインフロー
ファン１１と、冷却用の熱交換器１２と、を有する。
【００１９】エキシマーレーザー用予備電離ピンの位置
調整装置１３は、予備電離ピン６のピン部材８を移動調
整するもので、ピン部材８を支持する予備電離ピン用架
台１４と、主放電電極３の陰極５を支持する主電極用架
台１５と、予備電離ピン用架台１４および主電極用架台
１５の間に設けたバネ１６と、架台駆動部１７とを有す
る。
調整装置１３は、予備電離ピン６のピン部材８を移動調
整するもので、ピン部材８を支持する予備電離ピン用架
台１４と、主放電電極３の陰極５を支持する主電極用架
台１５と、予備電離ピン用架台１４および主電極用架台
１５の間に設けたバネ１６と、架台駆動部１７とを有す
る。
【００２０】予備電離ピン６のプレート部材７は、一般
的には長さ６０ｃｍ程度の主放電電極３の長手方向に沿
って、その左右にこれを設けてあり、ピン部材８は、主
放電電極３の長手方向に約５ｃｍの間隔でプレート部材
７に対向するようにその複数個を配置してある。
的には長さ６０ｃｍ程度の主放電電極３の長手方向に沿
って、その左右にこれを設けてあり、ピン部材８は、主
放電電極３の長手方向に約５ｃｍの間隔でプレート部材
７に対向するようにその複数個を配置してある。
【００２１】予備電離ピン用架台１４と主電極用架台１
５とは、これらを別々に設けるとともに、予備電離ピン
用架台１４を主電極用架台１５に対して移動可能として
ある。
５とは、これらを別々に設けるとともに、予備電離ピン
用架台１４を主電極用架台１５に対して移動可能として
ある。
【００２２】すなわち、架台駆動部１７により予備電離
ピン用架台１４を押す、あるいは引くことによって主電
極用架台１５つまり主放電電極３（陰極５）に対する予
備電離ピン６の位置決めを行うものである。
ピン用架台１４を押す、あるいは引くことによって主電
極用架台１５つまり主放電電極３（陰極５）に対する予
備電離ピン６の位置決めを行うものである。
【００２３】この押す、あるいは引く機能を有する架台
駆動部１７の機構としては、リニアアクチュエーターで
も良いし、磁気カップリングを用いてもよく、バネ１６
の位置としても架台駆動部１７と予備電離ピン用架台１
４との間としてもよい。
駆動部１７の機構としては、リニアアクチュエーターで
も良いし、磁気カップリングを用いてもよく、バネ１６
の位置としても架台駆動部１７と予備電離ピン用架台１
４との間としてもよい。
【００２４】架台駆動部１７は、予備電離ピン用架台１
４に沿ってその二個を設けてあるが、任意の数でよい。
４に沿ってその二個を設けてあるが、任意の数でよい。
【００２５】架台駆動部１７は、これをレーザーチャン
バー２の内部に配置させても良いが、レーザーチャンバ
ー２内部に反応ガスを充填させる場合には、これらの表
面材質および構造上の問題がある際には、レーザーチャ
ンバー２の外部に設置してもかまわない。
バー２の内部に配置させても良いが、レーザーチャンバ
ー２内部に反応ガスを充填させる場合には、これらの表
面材質および構造上の問題がある際には、レーザーチャ
ンバー２の外部に設置してもかまわない。
【００２６】こうした構成のエキシマーレーザー用予備
電離ピンの位置調整装置１３において、架台駆動部１７
により予備電離ピン用架台１４を押す、あるいは引くこ
とによって、予備電離ピン用架台１４と主電極用架台１
５との間の距離を微調整する。
電離ピンの位置調整装置１３において、架台駆動部１７
により予備電離ピン用架台１４を押す、あるいは引くこ
とによって、予備電離ピン用架台１４と主電極用架台１
５との間の距離を微調整する。
【００２７】なお、プレート部材７が断面Ｌ字状である
ため、ピン部材８を移動させてもピン部材８との間の距
離は事実上変わらず、予備電離ピン６としての放電特性
が変化することはない。
ため、ピン部材８を移動させてもピン部材８との間の距
離は事実上変わらず、予備電離ピン６としての放電特性
が変化することはない。
【００２８】かくして、既述のように従来の試行錯誤に
よる位置調整を行う必要はなく、エキシマーレーザー１
の分解の必要性はなくなり、エキシマーレーザー１の運
転を行いながら予備電離ピン６の位置を最適化すること
ができるため、その位置調整作業が容易であるととも
に、出力の向上を図ることも可能となる。
よる位置調整を行う必要はなく、エキシマーレーザー１
の分解の必要性はなくなり、エキシマーレーザー１の運
転を行いながら予備電離ピン６の位置を最適化すること
ができるため、その位置調整作業が容易であるととも
に、出力の向上を図ることも可能となる。
【００２９】なお、図１の構成では、予備電離ピン６の
一対のうち、陽電極４側の一方の電極（プレート部材
７）を固定し、陰極５側の電極（ピン部材８）を駆動さ
せる方式を採用したが、逆に陽極４側のプレート部材７
を駆動するような構成としてもよい。
一対のうち、陽電極４側の一方の電極（プレート部材
７）を固定し、陰極５側の電極（ピン部材８）を駆動さ
せる方式を採用したが、逆に陽極４側のプレート部材７
を駆動するような構成としてもよい。
【００３０】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、予備電離
ピンと主放電電極との間をレーザーチャンバーの外部か
ら微調整可能な架台駆動部を設けたので、エキシマーレ
ーザーの運転調整作業の能率を向上させることができ
る。
ピンと主放電電極との間をレーザーチャンバーの外部か
ら微調整可能な架台駆動部を設けたので、エキシマーレ
ーザーの運転調整作業の能率を向上させることができ
る。
【００３１】
【図１】本発明の一実施例によるエキシマーレーザー用
予備電離ピンの位置調整装置１３を装備したエキシマー
レーザー１の縦断面図である。
予備電離ピンの位置調整装置１３を装備したエキシマー
レーザー１の縦断面図である。
【図２】同、エキシマーレーザー１の一部破断斜視図で
ある。
ある。
１ エキシマーレーザー ２ レーザーチャンバー ３ 主放電電極 ４ 陽極 ５ 陰極 ６ 予備電離ピン ７ 断面Ｌ字状の固定プレート部材 ８ ピン部材 ９ 全反射ミラー １０ 部分反射ミラー １１ ラインフローファン １２ 冷却用の熱交換器 １３ エキシマーレーザー用予備電離ピンの位置調整装
置 １４ 予備電離ピン用架台 １５ 主電極用架台 １６ バネ １７ 架台駆動部
置 １４ 予備電離ピン用架台 １５ 主電極用架台 １６ バネ １７ 架台駆動部
Claims (5)
- 【請求項１】 レーザーチャンバーと、 互いに対向する一対の主電極と、 この主電極の一方を支持する主電極用架台と、 互いに対向する一対の予備電離ピンと、 この予備電離ピンの一方を支持する予備電離ピン用架台
と、を有するエキシマーレーザー用予備電離ピンの位置
調整装置であって、 前記主電極用架台に対して前記予備電離ピン用架台を移
動可能とし、 この予備電離ピン用架台を駆動する架台駆動部を設け、 前記予備電離ピン用架台を前記レーザーチャンバーの外
部から駆動することにより、前記予備電離ピンと前記主
電極との間の位置調整を可能としたことを特徴とするエ
キシマーレーザー用予備電離ピンの位置調整装置。 - 【請求項２】 前記一対の予備電離ピンは、これを前
記主電極の左右両側に配置したことを特徴とする請求項
１記載のエキシマーレーザー用予備電離ピンの位置調整
装置。 - 【請求項３】 前記予備電離ピンの対は、その複数個
を設けたことを特徴とする請求項１記載のエキシマーレ
ーザー用予備電離ピンの位置調整装置。 - 【請求項４】 前記予備電離ピンの他方部分は、これ
を断面Ｌ字状としたことを特徴とする請求項１記載のエ
キシマーレーザー用予備電離ピンの位置調整装置。 - 【請求項５】 前記架台駆動部は、前記予備電離ピン
用架台一体につき、少なくともふたつ以上でこれを構成
したことを特徴とする請求項１記載のエキシマーレーザ
ー用予備電離ピンの位置調整装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11657493A JPH06310789A (ja) | 1993-04-21 | 1993-04-21 | エキシマーレーザー用予備電離ピンの位置調整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11657493A JPH06310789A (ja) | 1993-04-21 | 1993-04-21 | エキシマーレーザー用予備電離ピンの位置調整装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06310789A true JPH06310789A (ja) | 1994-11-04 |
Family
ID=14690487
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11657493A Pending JPH06310789A (ja) | 1993-04-21 | 1993-04-21 | エキシマーレーザー用予備電離ピンの位置調整装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06310789A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8188222B2 (en) | 2006-11-08 | 2012-05-29 | Nippon Kayaku Kabushiki Kaisha | High molecular weight derivative of nucleic acid antimetabolite |
| US8323669B2 (en) | 2006-03-28 | 2012-12-04 | Nippon Kayaku Kabushiki Kaisha | Polymer conjugate of taxane |
| US8334364B2 (en) | 2006-11-06 | 2012-12-18 | Nipon Kayaku Kabushiki Kaisha | High-molecular weight derivative of nucleic acid antimetabolite |
| US8703878B2 (en) | 2007-09-28 | 2014-04-22 | Nippon Kayaku Kabushiki Kaisha | High-molecular weight conjugate of steroids |
-
1993
- 1993-04-21 JP JP11657493A patent/JPH06310789A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8323669B2 (en) | 2006-03-28 | 2012-12-04 | Nippon Kayaku Kabushiki Kaisha | Polymer conjugate of taxane |
| US8334364B2 (en) | 2006-11-06 | 2012-12-18 | Nipon Kayaku Kabushiki Kaisha | High-molecular weight derivative of nucleic acid antimetabolite |
| US8188222B2 (en) | 2006-11-08 | 2012-05-29 | Nippon Kayaku Kabushiki Kaisha | High molecular weight derivative of nucleic acid antimetabolite |
| US8703878B2 (en) | 2007-09-28 | 2014-04-22 | Nippon Kayaku Kabushiki Kaisha | High-molecular weight conjugate of steroids |
| USRE46190E1 (en) | 2007-09-28 | 2016-11-01 | Nippon Kayaku Kabushiki Kaisha | High-molecular weight conjugate of steroids |
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