JPH06310575A - Measuring mechanism for parallelism of bonding tool - Google Patents
Measuring mechanism for parallelism of bonding toolInfo
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- JPH06310575A JPH06310575A JP11774293A JP11774293A JPH06310575A JP H06310575 A JPH06310575 A JP H06310575A JP 11774293 A JP11774293 A JP 11774293A JP 11774293 A JP11774293 A JP 11774293A JP H06310575 A JPH06310575 A JP H06310575A
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- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】ＴＡＢボンダやフッリプチップボ
ンダのようにチップのリード全てを同時にボンディング
する所謂ギャングボンディング装置においては、ボンデ
ィングツールのボンディング面とチップステージのボン
ディングステージ面の平行度を保つことは極めて重要な
要素である。本発明は、かようなギャングボンディング
装置におけるボンディングツールとチップステージの平
行出しに用いられる平行度測定機構に関するものであ
る。[Industrial application] In a so-called gang bonding apparatus such as a TAB bonder or a flip chip bonder that simultaneously bonds all the leads of a chip, it is necessary to maintain the parallelism between the bonding surface of the bonding tool and the bonding stage surface of the chip stage. Is an extremely important factor. The present invention relates to a parallelism measuring mechanism used for parallelizing a bonding tool and a chip stage in such a gang bonding apparatus.
【０００２】[0002]
【従来の技術】ギャングボンディング装置において、ボ
ンディングツールとチップステージの平行度を出す手段
として、感圧シートをチップステージに乗せ、ボンディ
ングツールを降下させて感圧シートに残された圧痕の状
態で強度分布を観察し、平行度を出す方法や、実開平４
−２６０３４４号公報に記載された平行度調整手段のよ
うに非接触の測定装置を用い、ボンディングツールとチ
ップステージのボンディング面上の３点以上の測定点の
Ｚ軸寸法（距離）を測定する方法や、また、特開平４−
７６９３０号及び特開平４−７６９３１号公報に記載さ
れた検出手段のように、測定ピンにて３点の基準平面と
のズレ量を測定する方法等が開示されている。2. Description of the Related Art In a gang bonding apparatus, a pressure-sensitive sheet is placed on the chip stage as a means for providing parallelism between the bonding tool and the chip stage, and the bonding tool is lowered to obtain strength in the state of indentations left on the pressure-sensitive sheet. A method of observing the distribution and obtaining parallelism, and
Method for measuring the Z-axis dimension (distance) of three or more measurement points on the bonding surface of the bonding tool and the chip stage by using a non-contact measuring device like the parallelism adjusting means described in Japanese Patent Laid-Open No.-260344. Also, Japanese Patent Laid-Open No. 4-
Japanese Patent Laid-Open No. 76930 and Japanese Patent Laid-Open No. 4-76931 disclose a method of measuring the amount of deviation from three reference planes with a measuring pin.
【０００３】[0003]
【発明の解決しようとする課題】しかし、感圧シートの
圧痕で見るものは精度が低く、また、非接触の測定装置
を用いるものは高価でしかもボンダのボンディングヘッ
ドに比較して大型の機構が必要となり、ギャングボンデ
ィング装置自体が複雑かつ大型化し、更に、測定ピンに
てズレ量を測定するものでは、ボンディングツールと測
定ピンの交換や、測定ピンの進退動の機構が必要であ
り、作業が煩雑であるという難点を有していた。しか
も、感圧シートの圧痕を観察する方法以外は、いずれも
ボンディングツールとチップステージを独立して平行度
調整をする必要があった。本発明は、以上の様な欠点を
解決し、簡略に高精度で平行度調整を行うものである。However, what is seen by the indentation of the pressure-sensitive sheet is low in accuracy, and that which uses a non-contact measuring device is expensive and has a larger mechanism than the bonding head of the bonder. It becomes necessary, and the gang bonding device itself becomes complicated and large, and in the case of measuring the amount of deviation with the measuring pin, it is necessary to replace the bonding tool with the measuring pin and move the measuring pin back and forth. It had the difficulty of being complicated. Moreover, except for the method of observing the impression of the pressure-sensitive sheet, it is necessary to adjust the parallelism of the bonding tool and the chip stage independently. The present invention solves the above-mentioned drawbacks and simply adjusts the parallelism with high accuracy.
【０００４】[0004]
【課題を解決するための手段】本発明は、如上の課題を
解決するため、少なくともＺ軸移動可能で、かつ、Ｚ軸
の位置を検知可能なボンディングヘッドに取付けられた
ボンディングツールと少なくともＸ、Ｙ軸移動可能なボ
ンディングステージを有するギャングボンディング装置
において、可撓性を有する支持体にて支持される測定子
とボンディングツールの加圧力を測定するセンサを有
し、ボンディングツールのボンディング面とボンディン
グステージとで測定子をはさむことによりボンディング
ツールとボンディングステージの平行度を測定するボン
ディング装置のツール平行度測定機構を提供するもので
ある。In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a bonding tool attached to a bonding head which is movable at least in the Z axis and whose position can be detected in the Z axis, and at least X, In a gang bonding apparatus having a bonding stage movable in the Y-axis, it has a probe supported by a flexible support and a sensor for measuring a pressing force of the bonding tool, and the bonding surface of the bonding tool and the bonding stage. (EN) A tool parallelism measuring mechanism of a bonding apparatus for measuring the parallelism between a bonding tool and a bonding stage by sandwiching a probe with.
【０００５】[0005]
【実施例】以下図示の実施例に従い説明する。図１は、
ギャングボンディング装置１０の要部を示す斜視図であ
る。図中１は、ボンディングツールであり、２がチップ
ステージである。ボンディングツール１とチップステー
ジ２との間にはテープ搬送機構８が設置されている。図
中９がキャリアテープであり、６はテープガイドであ
る。テープガイド６には本発明の特色となる測定子３が
取付けられている。尚、図中Ａはボンディング対象のチ
ップである。Embodiments will be described below with reference to the illustrated embodiments. Figure 1
3 is a perspective view showing a main part of the gang bonding device 10. FIG. In the figure, 1 is a bonding tool, and 2 is a chip stage. A tape transport mechanism 8 is installed between the bonding tool 1 and the chip stage 2. In the figure, 9 is a carrier tape, and 6 is a tape guide. The measuring element 3, which is a feature of the present invention, is attached to the tape guide 6. In the figure, A is a chip to be bonded.
【０００６】ボンディングツール１は、下端面がボンデ
ィング面１１とされ、ボンディングヘッド５に取付けら
れている。ボンディンヘッド５には、ボンディングツー
ル１のボンディング面１１にかかる圧力を検出するため
の圧力センサ４が取付けられており、更に、ボンディン
グヘッド５は、図示されていない駆動機構によりボンデ
ィングツール１を図１に示すようにＸ軸方向（テープ進
行方向に対し直角方向）、Ｙ軸方向（テープ進行方
向）、Ｚ軸方向（上下方向）に移動可能としている。The lower end surface of the bonding tool 1 is a bonding surface 11 and is attached to the bonding head 5. A pressure sensor 4 for detecting a pressure applied to the bonding surface 11 of the bonding tool 1 is attached to the bondin head 5, and further, the bonding head 5 moves the bonding tool 1 by a drive mechanism (not shown). As shown in FIG. 1, it is movable in the X-axis direction (direction perpendicular to the tape advancing direction), the Y-axis direction (tape advancing direction), and the Z-axis direction (vertical direction).
【０００７】なお、ボンディングツール１のＸ軸方向、
Ｙ軸方向、Ｚ軸方向の移動寸法は図示されていないリニ
ヤスケールや駆動モータに取付けたエンコーダにより常
時確認可能とされている。さらに、ボンディングツール
１はボンディングヘッド５に対し取付角度が調整できる
様になっている。Incidentally, the X-axis direction of the bonding tool 1,
The moving dimensions in the Y-axis direction and the Z-axis direction can be always checked by a linear scale (not shown) or an encoder attached to a drive motor. Further, the bonding tool 1 can adjust the mounting angle with respect to the bonding head 5.
【０００８】チップステージ２は、図２の部分拡大図に
示されるように、上端面にボンディングステージ面２１
が形成されたもので、図示されていない駆動機構によ
り、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向の移動及びθ角度回
転可能とされている。チップステージ２におけるボンデ
ィングステージ面２１の平行度は据付時に調整するよう
になっており、通常の作業途中での調整は行われない。As shown in a partially enlarged view of FIG. 2, the chip stage 2 has a bonding stage surface 21 on the upper end surface.
Is formed, and can be moved in the X-axis direction, the Y-axis direction, the Z-axis direction and rotated by the θ angle by a drive mechanism (not shown). The parallelism of the bonding stage surface 21 of the chip stage 2 is adjusted at the time of installation, and is not adjusted during normal work.
【０００９】測定子３は、熱膨張率の極めて小さい材質
で、ボンディング面１１及びボンディングステージ面２
１に点接触できる形状のものである。例えば、図２に示
されるように、先端部が球形もしくはそれに相応する形
状に形成された治具が用いられる。図示の実施例での測
定子３はテープガイド６に上下方向に可ぎょう性を有す
るバネ等よりなる取付けアーム７介して取り付けられて
いる。該取付けアーム７が特許請求の範囲でいう支持具
に該当する。尚、測定子３先端部には直径２〜３ミリメ
ートルの大きさのルビー製の球が取付けらている。The tracing stylus 3 is made of a material having a very small coefficient of thermal expansion, and is composed of the bonding surface 11 and the bonding stage surface 2.
It has a shape capable of making point contact with 1. For example, as shown in FIG. 2, a jig having a spherical tip or a shape corresponding thereto is used. The tracing stylus 3 in the illustrated embodiment is attached to the tape guide 6 via a mounting arm 7 made of a spring or the like having flexibility in the vertical direction. The mounting arm 7 corresponds to the support in the claims. A sphere made of ruby having a diameter of 2 to 3 mm is attached to the tip of the probe 3.
【００１０】本実施例ではボンディングツール１及びチ
ップステージ２がＸ、Ｙ軸方向に移動可能であるので測
定子３は固定で良いが、ボンディングツール１がＸ、Ｙ
軸方向に移動できない装置においては測定子３の支持部
材７をＸ、Ｙ軸方向に移動可能とすることにより、本発
明を実施することができる。In this embodiment, since the bonding tool 1 and the chip stage 2 can be moved in the X and Y axis directions, the probe 3 can be fixed, but the bonding tool 1 is X and Y.
In an apparatus that cannot move in the axial direction, the present invention can be implemented by making the support member 7 of the probe 3 movable in the X and Y axis directions.
【００１１】以下本発明での平行度測定方法につき説明
する。本発明にて平行度測定を行う場合には、まずボン
ディングツール１のボンディング面１１のいずれかの端
の下方に測定子３の位置がくるようボンディングツール
１とチップステージ２を移動させる。図３が該位置を上
視透過図にて表したものである。The parallelism measuring method in the present invention will be described below. When performing parallelism measurement according to the present invention, first, the bonding tool 1 and the chip stage 2 are moved so that the position of the probe 3 is below either end of the bonding surface 11 of the bonding tool 1. FIG. 3 is a perspective view showing the position.
【００１２】その後、チップステージ２を、ボンディン
グステージ面２１が測定子３とあらかじめ定められた接
触する位置まで上昇させる。この状態を示すのが図４で
ある。このあらかじめ定められた位置は、測定子３との
接触点位置ではなく、チップステージ２により測定子３
がアーム７の可撓性の範囲内で若干押し上げられた位置
であることが好ましい。Then, the chip stage 2 is raised to a position where the bonding stage surface 21 comes into contact with the probe 3 in a predetermined manner. FIG. 4 shows this state. This predetermined position is not the contact point position with the tracing stylus 3 but is determined by the tip stage 2
Is preferably a slightly pushed up position within the flexibility of the arm 7.
【００１３】尚、ボンディングステージ面２１と測定子
３との接触する位置より下方でチップステージ２を停止
すると、ボンディングツール１の下降によってボンディ
ング面１１とボンディングステージ面２１との間に測定
子３を挟み込む前に、測定子３の取付けアーム７の反発
力がボンディング面１１に対して加わり、これを圧力セ
ンサ４が検知してしまい、正確なる測定ができなくなる
おそれがある。When the chip stage 2 is stopped below the position where the bonding stage surface 21 and the probe 3 are in contact with each other, the probe 3 is lowered between the bonding surface 11 and the bonding stage surface 21 by lowering the bonding tool 1. Before being sandwiched, the repulsive force of the mounting arm 7 of the tracing stylus 3 is applied to the bonding surface 11, and the pressure sensor 4 detects this, which may make accurate measurement impossible.
【００１４】ボンディングステージ面２１に測定子３が
接触した後、ボンディングツール１を下降させる。する
と結果的にボンディングツール１とチップステージ２で
測定子３をサンドイッチするようになり、一定圧力を検
知した時点でボンディングツール１は下降を停止する。
この時のボンディングツール１のＺ軸の値を記憶する。After the contact point 3 contacts the bonding stage surface 21, the bonding tool 1 is lowered. As a result, the probe 3 is sandwiched between the bonding tool 1 and the chip stage 2, and when the constant pressure is detected, the bonding tool 1 stops descending.
The value of the Z axis of the bonding tool 1 at this time is stored.
【００１５】この作業を、ボンディングツール１のボン
ディング面１１とチップステージ２のボンディングステ
ージ面２１の中心座標を一致させた状態のまま、他の２
点で実施する。即ち、ボンディングツール１とチップス
テージ２のＸ軸及びＹ軸方向の相対的位置は固定として
他の２点での測定を実施するのである。図５及び図６は
Ｘ及びＹ軸方向の相対的位置関係を固定して他の点へ移
動した状態を示す。This work is carried out while the center coordinates of the bonding surface 11 of the bonding tool 1 and the bonding stage surface 21 of the chip stage 2 are made to coincide with each other.
Do in points. That is, the relative positions of the bonding tool 1 and the chip stage 2 in the X-axis and Y-axis directions are fixed, and the measurement is performed at the other two points. 5 and 6 show a state in which the relative positional relationship in the X and Y axis directions is fixed and moved to another point.
【００１６】本発明は、この３点のＺ軸の値によりチッ
プステージ２のボンディングステージ面２１に対するボ
ンディングツール１のボンディング面１１の傾きを検知
するものである。これによりチップステージ２とボンデ
ィングツール１の相対的平行度が測定できるのである。
従って、検知したデータに従いボンディングツール１を
調整すれば、ボンディングツール１とチップステージ２
との平行度調整が可能となるものである。The present invention detects the inclination of the bonding surface 11 of the bonding tool 1 with respect to the bonding stage surface 21 of the chip stage 2 based on these three Z-axis values. Thereby, the relative parallelism between the chip stage 2 and the bonding tool 1 can be measured.
Therefore, if the bonding tool 1 is adjusted according to the detected data, the bonding tool 1 and the chip stage 2
The parallelism with and can be adjusted.
【００１７】[0017]
【発明の効果】本発明は、如上の様にしてボンディング
ツール１のボンディング面１１とチップステージ２のボ
ンディングステージ面２１の平行度を測定するのに、一
定圧力の検知時点でのＺ軸の値を用いるので、定量的に
ずれ量を求めることができると共に、ボンディングツー
ル１とチップステージ２を独立して測定することを必要
とせず、１度の測定により行うことが可能であれる。According to the present invention, in measuring the parallelism between the bonding surface 11 of the bonding tool 1 and the bonding stage surface 21 of the chip stage 2 as described above, the value of the Z axis at the time of detection of a constant pressure. Therefore, the shift amount can be quantitatively obtained, and it is not necessary to measure the bonding tool 1 and the chip stage 2 independently, and the measurement can be performed once.
【００１８】又、同時に一度の測定で両者の平行度を測
定する方法である感圧シートによる方法にくらべ、温度
条件での制約が少なく、実際の温度条件での測定が可能
である。Further, as compared with the method using a pressure sensitive sheet, which is a method of measuring the parallelism of both at the same time by one measurement, there are less restrictions on temperature conditions, and measurement under actual temperature conditions is possible.
【図１】 本発明に係るボンディング装置の斜視図FIG. 1 is a perspective view of a bonding apparatus according to the present invention.
【図２】 部分拡大の斜視図FIG. 2 is a partially enlarged perspective view.
【図３】 第１点における上視透過図FIG. 3 is a top transparent view at the first point.
【図４】 同側面図FIG. 4 is a side view of the same.
【図５】 第２点における上視透過図FIG. 5 is a top transparent view at the second point.
【図６】 同側面図FIG. 6 is a side view of the same.
１．．．．．ボンディングツール ２．．．．．チップステージ ３．．．．．測定子 ４．．．．．圧力センサ ５．．．．．ボンディングヘッド ６．．．．．テープガイド ７．．．．．アーム ８．．．．．テープ搬送機構 ９．．．．．キャリアテープ １０．．．．．ギャングボンディング装置 １１．．．．．ボンディング面 ２１．．．．．ボンディングステージ面 Ａ．．．．．チップ 1. ． ． ． ． Bonding tool 2. ． ． ． ． Chip stage 3. ． ． ． ． Stylus 4. ． ． ． ． Pressure sensor 5. ． ． ． ． Bonding head 6. ． ． ． ． Tape guide 7. ． ． ． ． Arm 8. ． ． ． ． Tape transport mechanism 9. ． ． ． ． Carrier tape 10. ． ． ． ． Gang bonding device 11. ． ． ． ． Bonding surface 21. ． ． ． ． Bonding stage surface A. ． ． ． ． Tip
Claims (1)
位置を検知可能なボンディングヘッドに取付けられたボ
ンディングツールと少なくともＸ、Ｙ軸移動可能なボン
ディングステージを有するギャングボンディング装置に
おいて、可撓性を有する支持体にて支持される測定子と
ボンディングツールの加圧力を測定するセンサを有し、
ボンディングツールのボンディング面とボンディングス
テージとで測定子をはさむことによりボンディングツー
ルとボンディングステージの平行度を測定するボンディ
ング装置の平行度測定機構。1. A gang bonding apparatus having a bonding tool mounted on a bonding head capable of moving at least the Z axis and capable of detecting the position of the Z axis and a bonding stage capable of moving at least the X and Y axes. Having a probe that is supported by a support having good properties and a sensor that measures the pressing force of the bonding tool,
A parallelism measuring mechanism for a bonding apparatus that measures the parallelism between the bonding tool and the bonding stage by sandwiching a probe between the bonding surface of the bonding tool and the bonding stage.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11774293A JP2717492B2 (en) | 1993-04-21 | 1993-04-21 | Bonding tool parallelism measurement mechanism |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11774293A JP2717492B2 (en) | 1993-04-21 | 1993-04-21 | Bonding tool parallelism measurement mechanism |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06310575A true JPH06310575A (en) | 1994-11-04 |
| JP2717492B2 JP2717492B2 (en) | 1998-02-18 |
Family
ID=14719185
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11774293A Expired - Fee Related JP2717492B2 (en) | 1993-04-21 | 1993-04-21 | Bonding tool parallelism measurement mechanism |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2717492B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20150064704A (en) * | 2013-12-03 | 2015-06-11 | 쿨리케 앤드 소파 인더스트리즈, 인코포레이티드 | Systems and methods for determining and adjusting a level of parallelism related to bonding of semiconductor elements |
-
1993
- 1993-04-21 JP JP11774293A patent/JP2717492B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20150064704A (en) * | 2013-12-03 | 2015-06-11 | 쿨리케 앤드 소파 인더스트리즈, 인코포레이티드 | Systems and methods for determining and adjusting a level of parallelism related to bonding of semiconductor elements |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2717492B2 (en) | 1998-02-18 |
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