JPH06308026A - 光計測装置およびオゾン水濃度計 - Google Patents
光計測装置およびオゾン水濃度計Info
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- JPH06308026A JPH06308026A JP10145193A JP10145193A JPH06308026A JP H06308026 A JPH06308026 A JP H06308026A JP 10145193 A JP10145193 A JP 10145193A JP 10145193 A JP10145193 A JP 10145193A JP H06308026 A JPH06308026 A JP H06308026A
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- Japan
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- temperature
- ozone water
- photodetector
- concentration meter
- photodiode
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 周囲の温度変動の影響を受けないようにす
る。 【構成】 オゾン水Sを透過した光を検出するフォトダ
イオード6と、オゾン水Sを透過しない光を検出するフ
ォトダイオード8と、暗電流を検出するフォトダイオー
ド10とを、アルミブロック11に取り付ける。そのア
ルミブロック11にヒータとしてFET12を取り付
け、サーミスタ13でアルミブロック11の温度をフィ
ードバックし、温度制御回路14でFET12での発熱
量を調整して、アルミブロック11を目的温度に維持す
る。 【効果】 フォトダイオードが一定温度に維持されるの
で、周囲の温度変動の影響を受けなくなり、安定性と精
度を向上できる。
る。 【構成】 オゾン水Sを透過した光を検出するフォトダ
イオード6と、オゾン水Sを透過しない光を検出するフ
ォトダイオード8と、暗電流を検出するフォトダイオー
ド10とを、アルミブロック11に取り付ける。そのア
ルミブロック11にヒータとしてFET12を取り付
け、サーミスタ13でアルミブロック11の温度をフィ
ードバックし、温度制御回路14でFET12での発熱
量を調整して、アルミブロック11を目的温度に維持す
る。 【効果】 フォトダイオードが一定温度に維持されるの
で、周囲の温度変動の影響を受けなくなり、安定性と精
度を向上できる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、光計測装置およびオ
ゾン水濃度計に関し、さらに詳しくは、光検出器の周囲
の温度変動の影響を受けないようにした光計測装置およ
びオゾン水濃度計に関する。
ゾン水濃度計に関し、さらに詳しくは、光検出器の周囲
の温度変動の影響を受けないようにした光計測装置およ
びオゾン水濃度計に関する。
【0002】
【従来の技術】図5は、従来のオゾン水濃度計を示す構
成図である。このオゾン水濃度計500は、検出部51
0と、処理部530と、表示部140とからなってい
る。検出部510は、紫外線ランプ1と、干渉フィルタ
2a,2bと、セル53と、測定光検出用フォトダイオー
ド6と、基準光検出用フォトダイオード8とを具備して
いる。処理部530は、測定光検出信号用処理回路66
aと、基準光検出信号用処理回路66bと、CPU67
とを具備している。表示部140は、表示器ドライバ1
9と、表示器20とを具備している。
成図である。このオゾン水濃度計500は、検出部51
0と、処理部530と、表示部140とからなってい
る。検出部510は、紫外線ランプ1と、干渉フィルタ
2a,2bと、セル53と、測定光検出用フォトダイオー
ド6と、基準光検出用フォトダイオード8とを具備して
いる。処理部530は、測定光検出信号用処理回路66
aと、基準光検出信号用処理回路66bと、CPU67
とを具備している。表示部140は、表示器ドライバ1
9と、表示器20とを具備している。
【0003】図6は、検出部510の詳細構成図であ
る。紫外線ランプ1からの光は干渉フィルタ2aを通り
セル53中のオゾン水Sに照射される。オゾン水Sを通
過してきた光は、測定光用フォトダイオード6で受光さ
れる。一方、紫外線ランプ1からの光は、干渉フィルタ
2bを通して、基準光用フォトダイオード8で受光して
いる。
る。紫外線ランプ1からの光は干渉フィルタ2aを通り
セル53中のオゾン水Sに照射される。オゾン水Sを通
過してきた光は、測定光用フォトダイオード6で受光さ
れる。一方、紫外線ランプ1からの光は、干渉フィルタ
2bを通して、基準光用フォトダイオード8で受光して
いる。
【0004】図7は、処理部530の詳細回路図であ
る。この処理部530の測定光検出信号用処理回路66
aは、電流電圧変換回路81aと,アンプ82aと,A
/D変換器83aとを具備し、測定光検出用フォトダイ
オード6に流れる測定光電流Isを表わすデジタル値を
CPU67へ出力する。また、基準光検出信号用処理回
路66bは、電流電圧変換回路81bと,アンプ82b
と,A/D変換器83bとを具備し、基準光検出用フォ
トダイオード8に流れる基準光電流Ioを表わすデジタ
ル値をCPU67へ出力する。CPU67は、ランバー
ト=ベールの法則より、 C=−(1/α・L)・ln{(Is/Io)・K} …(1) ここで、 L:測定光路長 K:Is'/Io'であらかじめ測定しておく Is':基準水(0ppm)を流したときの基準光検出用フォ
トダイオードに流れる基準光電流 Io':基準水(0ppm)を流したときの測定光検出用フォ
トダイオードに流れる測定光電流 α:モル吸光係数 からオゾン水Sの濃度Cを算出し、表示部140へ出力
する。
る。この処理部530の測定光検出信号用処理回路66
aは、電流電圧変換回路81aと,アンプ82aと,A
/D変換器83aとを具備し、測定光検出用フォトダイ
オード6に流れる測定光電流Isを表わすデジタル値を
CPU67へ出力する。また、基準光検出信号用処理回
路66bは、電流電圧変換回路81bと,アンプ82b
と,A/D変換器83bとを具備し、基準光検出用フォ
トダイオード8に流れる基準光電流Ioを表わすデジタ
ル値をCPU67へ出力する。CPU67は、ランバー
ト=ベールの法則より、 C=−(1/α・L)・ln{(Is/Io)・K} …(1) ここで、 L:測定光路長 K:Is'/Io'であらかじめ測定しておく Is':基準水(0ppm)を流したときの基準光検出用フォ
トダイオードに流れる基準光電流 Io':基準水(0ppm)を流したときの測定光検出用フォ
トダイオードに流れる測定光電流 α:モル吸光係数 からオゾン水Sの濃度Cを算出し、表示部140へ出力
する。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上記オゾン水濃度計5
00において、測定光検出用フォトダイオード6および
基準光検出用フォトダイオード8は、周囲温度の影響を
受ける。しかも、各フォトダイオード6,8が影響を受
ける程度は大きく異なる。すなわち、測定光検出用フォ
トダイオード6に比べて基準光検出用フォトダイオード
8は、光源1の近くに配置されているので、光源1から
の温度の影響を強く受ける。このため、上記(1)式より
得られる濃度Cが周囲温度に影響されてしまう。このよ
うに、従来の光計測装置では、周囲温度の影響を受けフ
ォトダイオードの感度と暗電流が変化する問題点があっ
た。そこで、この発明の目的は、周囲温度が変化しても
フォトダイオードの感度と暗電流を一定にした光計測装
置およびオゾン水濃度計を提供することにある。
00において、測定光検出用フォトダイオード6および
基準光検出用フォトダイオード8は、周囲温度の影響を
受ける。しかも、各フォトダイオード6,8が影響を受
ける程度は大きく異なる。すなわち、測定光検出用フォ
トダイオード6に比べて基準光検出用フォトダイオード
8は、光源1の近くに配置されているので、光源1から
の温度の影響を強く受ける。このため、上記(1)式より
得られる濃度Cが周囲温度に影響されてしまう。このよ
うに、従来の光計測装置では、周囲温度の影響を受けフ
ォトダイオードの感度と暗電流が変化する問題点があっ
た。そこで、この発明の目的は、周囲温度が変化しても
フォトダイオードの感度と暗電流を一定にした光計測装
置およびオゾン水濃度計を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】第1の観点では、この発
明は、光源から出射した光を、試料に透過させ、その透
過光を光検出器で検出する光計測装置において、光検出
器(6),(8),(10)を加熱または冷却するヒータ(1
2)またはクーラ手段と、光検出器(6),(8),(10)
の温度を検知する温度検知手段(13)と、その温度検知
手段(13)が検知した温度を基にヒータ(12)またはク
ーラ手段を制御して光検出器(6),(8),(10)の温度
を一定に保持する温度制御手段(14)とを具備したこと
を特徴とする光計測装置(100)を提供する。
明は、光源から出射した光を、試料に透過させ、その透
過光を光検出器で検出する光計測装置において、光検出
器(6),(8),(10)を加熱または冷却するヒータ(1
2)またはクーラ手段と、光検出器(6),(8),(10)
の温度を検知する温度検知手段(13)と、その温度検知
手段(13)が検知した温度を基にヒータ(12)またはク
ーラ手段を制御して光検出器(6),(8),(10)の温度
を一定に保持する温度制御手段(14)とを具備したこと
を特徴とする光計測装置(100)を提供する。
【0007】第2の観点では、この発明は、光源から出
射した光を、オゾン水に透過させ、その透過光を光検出
器で検出するオゾン水濃度計において、光検出器(6),
(8),(10)を加熱または冷却するヒータ(12)または
クーラ手段と、光検出器(6),(8),(10)の温度を検
知する温度検知手段(13)と、この温度検知手段が検知
した温度を基にヒータ(12)またはクーラ手段を制御し
て光検出器(6),(8),(10)の温度を一定に保持する
温度制御手段(14)とを具備したことを特徴とするオゾ
ン水濃度計(100)を提供する。
射した光を、オゾン水に透過させ、その透過光を光検出
器で検出するオゾン水濃度計において、光検出器(6),
(8),(10)を加熱または冷却するヒータ(12)または
クーラ手段と、光検出器(6),(8),(10)の温度を検
知する温度検知手段(13)と、この温度検知手段が検知
した温度を基にヒータ(12)またはクーラ手段を制御し
て光検出器(6),(8),(10)の温度を一定に保持する
温度制御手段(14)とを具備したことを特徴とするオゾ
ン水濃度計(100)を提供する。
【0008】
【作用】この発明の光計測装置およびオゾン水濃度計で
は、光検出器の温度を温度検知手段で検知し、その検知
温度に基づいてヒータまたはクーラ手段を温度制御手段
で制御し、温度が一定になるように光検出器を加熱また
は冷却する。従って、光検出器は、周囲温度の変動に影
響されなくなり、安定性と精度を向上できる。
は、光検出器の温度を温度検知手段で検知し、その検知
温度に基づいてヒータまたはクーラ手段を温度制御手段
で制御し、温度が一定になるように光検出器を加熱また
は冷却する。従って、光検出器は、周囲温度の変動に影
響されなくなり、安定性と精度を向上できる。
【0009】
【実施例】以下、図に示す実施例によりこの発明をさら
に詳細に説明する。なお、これによりこの発明が限定さ
れるものではない。図1は、この発明の一実施例である
オゾン水濃度計100を示す構成図である。このオゾン
水濃度計100は、検出部110と、温度コントロール
部120と、処理部130と、表示部140とからなっ
ている。検出部110は、紫外線ランプ1と、干渉フィ
ルタ2と、セル3と、ガラス棒4,5,7と、測定光検
出用フォトダイオード6と、基準光検出用フォトダイオ
ード8と、光遮蔽箱9に収容された暗電流検出用フォト
ダイオード10とを具備している。温度コントロール部
120は、各フォトダイオード6,8,10を取り付け
たアルミブロック11と、ヒータとして機能するFET
12と、サーミスタ13と、温度制御回路14とを具備
している。処理部130は、フォトダイオード6,8,
10のいずれか一つを選択するスイッチ回路15と、そ
のスイッチ回路15で選択されたフォトダイオードから
の信号を処理する処理回路16と、CPU17と、スイ
ッチ切換ドライバ18とを具備している。表示部140
は、表示器ドライバ19と、表示器20とを具備してい
る。
に詳細に説明する。なお、これによりこの発明が限定さ
れるものではない。図1は、この発明の一実施例である
オゾン水濃度計100を示す構成図である。このオゾン
水濃度計100は、検出部110と、温度コントロール
部120と、処理部130と、表示部140とからなっ
ている。検出部110は、紫外線ランプ1と、干渉フィ
ルタ2と、セル3と、ガラス棒4,5,7と、測定光検
出用フォトダイオード6と、基準光検出用フォトダイオ
ード8と、光遮蔽箱9に収容された暗電流検出用フォト
ダイオード10とを具備している。温度コントロール部
120は、各フォトダイオード6,8,10を取り付け
たアルミブロック11と、ヒータとして機能するFET
12と、サーミスタ13と、温度制御回路14とを具備
している。処理部130は、フォトダイオード6,8,
10のいずれか一つを選択するスイッチ回路15と、そ
のスイッチ回路15で選択されたフォトダイオードから
の信号を処理する処理回路16と、CPU17と、スイ
ッチ切換ドライバ18とを具備している。表示部140
は、表示器ドライバ19と、表示器20とを具備してい
る。
【0010】図2は、検出部110の詳細構成図であ
る。この検出部110では、5℃程度のオゾン水Sを流
通させるセル3に、紫外線ランプ1側からガラス棒4を
挿入し、測定光検出用フォトダイオード6側からガラス
棒5を挿入し、両ガラス棒4,5の端面をセル3中で対
向させている。両者の距離が測定光路長Lとなる。オゾ
ン水Sが低濃度のときは測定光路長Lを大きくし、高濃
度のときは測定光路長Lを小さくするように、ガラス棒
4,5を動かせば、低濃度から高濃度までに容易に対応
することが出来る。また、ガラス棒4,5を十分長くす
れば、ガラス棒4,5の一端の温度がオゾン水Sの温度
まで冷却されても他端の温度はそれほど下がらないよう
になり、ガラス棒4,5の他端の端面に結露を生じるこ
とを防止できるようになる。ガラス棒4,5は、例えば
直径6mm,長さ50mmの合成石英製である。ガラス
棒7は、ガラス棒4,5と平行に置かれており、例えば
直径6mm,長さ110mmの合成石英製である。ガラ
ス棒4,7と紫外線ランプ1の間には、干渉フィルタ2
が設置されている。また、ガラス棒5,7のフォトダイ
オード6,8側の端面は、測定光検出用フォトダイオー
ド6,基準光検出用フォトダイオード8に密接してい
る。なお、オゾン水Sの代りに他の液体試料または気体
試料を光計測するときは、紫外線ランプ1,干渉フィル
タ2,ガラス棒4,5,7に代えて、その試料に合せた
波長の光源,干渉フィルタ,光透過材を用いるのが好ま
しい。
る。この検出部110では、5℃程度のオゾン水Sを流
通させるセル3に、紫外線ランプ1側からガラス棒4を
挿入し、測定光検出用フォトダイオード6側からガラス
棒5を挿入し、両ガラス棒4,5の端面をセル3中で対
向させている。両者の距離が測定光路長Lとなる。オゾ
ン水Sが低濃度のときは測定光路長Lを大きくし、高濃
度のときは測定光路長Lを小さくするように、ガラス棒
4,5を動かせば、低濃度から高濃度までに容易に対応
することが出来る。また、ガラス棒4,5を十分長くす
れば、ガラス棒4,5の一端の温度がオゾン水Sの温度
まで冷却されても他端の温度はそれほど下がらないよう
になり、ガラス棒4,5の他端の端面に結露を生じるこ
とを防止できるようになる。ガラス棒4,5は、例えば
直径6mm,長さ50mmの合成石英製である。ガラス
棒7は、ガラス棒4,5と平行に置かれており、例えば
直径6mm,長さ110mmの合成石英製である。ガラ
ス棒4,7と紫外線ランプ1の間には、干渉フィルタ2
が設置されている。また、ガラス棒5,7のフォトダイ
オード6,8側の端面は、測定光検出用フォトダイオー
ド6,基準光検出用フォトダイオード8に密接してい
る。なお、オゾン水Sの代りに他の液体試料または気体
試料を光計測するときは、紫外線ランプ1,干渉フィル
タ2,ガラス棒4,5,7に代えて、その試料に合せた
波長の光源,干渉フィルタ,光透過材を用いるのが好ま
しい。
【0011】図3は、温度コントロール部120の一部
破断斜視図である。アルミブロック11に、ガラス棒
5,7の端部と、フォトダイオード6,8,10とを埋
設する。さらに、アルミブロック11に、FET12
と、サーミスタ13を取り付ける。FET12は、温度
制御回路14から通電されて発熱し、アルミブロック1
1を加熱する。そのアルミブロック11の温度は、サー
ミスタ13で検知され、温度制御回路14にフィードバ
ックされる。温度制御回路14は、フィードバックされ
た検知温度と所与の目的温度(例えば50℃)とを比較
し、検知温度が低ければゲート−ソース間電圧を変化さ
せてFET12での発熱量を増加させ、検知温度が高け
ればゲート−ソース間電圧を変化させてFET12での
発熱量を減少させ、アルミブロック11の温度を目的温
度に維持する。この結果、フォトダイオード6,8,1
0は一定の温度に維持され、フォトダイオードの感度と
暗電流は周囲温度の影響を受けなくなる。従って、オゾ
ン水濃度計の安定性と精度が向上する。なお、FET1
2の代りに電子冷却板を用いて、アルミブロック11を
冷却し、周囲温度より低温の目的温度(例えば5℃)に
維持するようにしてもよい。
破断斜視図である。アルミブロック11に、ガラス棒
5,7の端部と、フォトダイオード6,8,10とを埋
設する。さらに、アルミブロック11に、FET12
と、サーミスタ13を取り付ける。FET12は、温度
制御回路14から通電されて発熱し、アルミブロック1
1を加熱する。そのアルミブロック11の温度は、サー
ミスタ13で検知され、温度制御回路14にフィードバ
ックされる。温度制御回路14は、フィードバックされ
た検知温度と所与の目的温度(例えば50℃)とを比較
し、検知温度が低ければゲート−ソース間電圧を変化さ
せてFET12での発熱量を増加させ、検知温度が高け
ればゲート−ソース間電圧を変化させてFET12での
発熱量を減少させ、アルミブロック11の温度を目的温
度に維持する。この結果、フォトダイオード6,8,1
0は一定の温度に維持され、フォトダイオードの感度と
暗電流は周囲温度の影響を受けなくなる。従って、オゾ
ン水濃度計の安定性と精度が向上する。なお、FET1
2の代りに電子冷却板を用いて、アルミブロック11を
冷却し、周囲温度より低温の目的温度(例えば5℃)に
維持するようにしてもよい。
【0012】図4は、処理部130の詳細回路図であ
る。この処理部130の処理回路16は、電流電圧変換
回路161と,アンプ162と,A/D変換器163と
を具備し、スイッチ回路15で測定光検出用フォトダイ
オード6を選択したときは、測定光検出用フォトダイオ
ード6に流れる測定光電流Isを表わすデジタル値をC
PU17へ出力する。また、スイッチ回路15で基準光
検出用フォトダイオード8を選択したときは、基準光検
出用フォトダイオード8に流れる基準光電流Ioを表わ
すデジタル値をCPU17へ出力する。また、スイッチ
回路15で暗電流検出用フォトダイオード10を選択し
たときは、暗電流検出用フォトダイオード10に流れる
暗電流Idを表わすデジタル値をCPU17へ出力す
る。スイッチ回路15は、例えばアナログスイッチであ
る。CPU17は、スイッチ切換ドライバ18を介して
スイッチ回路15を切り替えて、測定光電流Is,基準
光電流Io,暗電流Idを得ると、ランバート=ベール
の法則より、 C=−(1/α・L)・ln[{(Is−Id)/(Io−Id)}・K'] …(1’) ここで、 L:測定光路長 K':(Is'−Id')/(Io'−Id')であらかじめ測定し
ておく Is':基準水(0ppm)を流したときの基準光検出用フォ
トダイオードに流れる基準光電流 Io':基準水(0ppm)を流したときの測定光検出用フォ
トダイオードに流れる測定光電流 Id':基準水(0ppm)を流したときの暗電流検出用フォ
トダイオードに流れる暗電流 α:モル吸光係数 からオゾン水Sの濃度Cを算出し、表示部140へ出力
する。 さて、処理回路16の出力値Dは、 Ds=Is*G(t)+Df(t) …(2) Do=Io*G(t)+Df(t) …(3) Dd=Id*G(t)+Df(t) …(4) G(t) :処理回路16のゲイン(電流/電圧の変換も
含む) Df(t):処理回路16のオフセット値 (t)は、温度により変動することを表わす。である。C
PU17は、上記(1’)式の(Is−Id)/(Io−I
d)の計算を、実際には、 (Ds−Dd)/(Do−Dd) …(5) で行っている。この(5)式に、上記(2)(3)(4)式を代
入すれば、 {Is*G(t)+Df(t)}-{Id*G(t)+Df(t)}/{Io*G(t)+Df(t)}-
{Id*G(t)+Df(t)}=(Is−Id)/(Io−Id) となり、G(t) ,Df(t)が完全に消える。これは、ゲ
インやオフセット値に温度ドリフトが生じても、その影
響を全く受けないことを意味している。このように、処
理部130は、同一の処理回路16を用いて、測定光電
流Is,基準光電流Io,暗電流Idの処理を行ってい
るため、温度ドリフトの影響を全く受けず、従って、安
定性と精度が向上する。なお、部品点数を低減できる利
点もある。
る。この処理部130の処理回路16は、電流電圧変換
回路161と,アンプ162と,A/D変換器163と
を具備し、スイッチ回路15で測定光検出用フォトダイ
オード6を選択したときは、測定光検出用フォトダイオ
ード6に流れる測定光電流Isを表わすデジタル値をC
PU17へ出力する。また、スイッチ回路15で基準光
検出用フォトダイオード8を選択したときは、基準光検
出用フォトダイオード8に流れる基準光電流Ioを表わ
すデジタル値をCPU17へ出力する。また、スイッチ
回路15で暗電流検出用フォトダイオード10を選択し
たときは、暗電流検出用フォトダイオード10に流れる
暗電流Idを表わすデジタル値をCPU17へ出力す
る。スイッチ回路15は、例えばアナログスイッチであ
る。CPU17は、スイッチ切換ドライバ18を介して
スイッチ回路15を切り替えて、測定光電流Is,基準
光電流Io,暗電流Idを得ると、ランバート=ベール
の法則より、 C=−(1/α・L)・ln[{(Is−Id)/(Io−Id)}・K'] …(1’) ここで、 L:測定光路長 K':(Is'−Id')/(Io'−Id')であらかじめ測定し
ておく Is':基準水(0ppm)を流したときの基準光検出用フォ
トダイオードに流れる基準光電流 Io':基準水(0ppm)を流したときの測定光検出用フォ
トダイオードに流れる測定光電流 Id':基準水(0ppm)を流したときの暗電流検出用フォ
トダイオードに流れる暗電流 α:モル吸光係数 からオゾン水Sの濃度Cを算出し、表示部140へ出力
する。 さて、処理回路16の出力値Dは、 Ds=Is*G(t)+Df(t) …(2) Do=Io*G(t)+Df(t) …(3) Dd=Id*G(t)+Df(t) …(4) G(t) :処理回路16のゲイン(電流/電圧の変換も
含む) Df(t):処理回路16のオフセット値 (t)は、温度により変動することを表わす。である。C
PU17は、上記(1’)式の(Is−Id)/(Io−I
d)の計算を、実際には、 (Ds−Dd)/(Do−Dd) …(5) で行っている。この(5)式に、上記(2)(3)(4)式を代
入すれば、 {Is*G(t)+Df(t)}-{Id*G(t)+Df(t)}/{Io*G(t)+Df(t)}-
{Id*G(t)+Df(t)}=(Is−Id)/(Io−Id) となり、G(t) ,Df(t)が完全に消える。これは、ゲ
インやオフセット値に温度ドリフトが生じても、その影
響を全く受けないことを意味している。このように、処
理部130は、同一の処理回路16を用いて、測定光電
流Is,基準光電流Io,暗電流Idの処理を行ってい
るため、温度ドリフトの影響を全く受けず、従って、安
定性と精度が向上する。なお、部品点数を低減できる利
点もある。
【0013】
【発明の効果】この発明の光計測装置およびオゾン水濃
度計によれば、光検出器の温度を積極的に一定値にコン
トロールするので、光検出器が周囲温度の変動に影響さ
れなくなり、安定性と精度を向上することが出来る。
度計によれば、光検出器の温度を積極的に一定値にコン
トロールするので、光検出器が周囲温度の変動に影響さ
れなくなり、安定性と精度を向上することが出来る。
【図1】この発明の一実施例であるオゾン水濃度計を示
す構成図である。
す構成図である。
【図2】図1のオゾン水濃度計にかかる検出部を示す詳
細構成図である。
細構成図である。
【図3】図1のオゾン水濃度計にかかる温度コントロー
ル部を示す一部破断斜視図である。
ル部を示す一部破断斜視図である。
【図4】図1のオゾン水濃度計にかかる処理部を示す回
路図である。
路図である。
【図5】従来のオゾン水濃度計の一例を示す構成図であ
る。
る。
【図6】図5のオゾン水濃度計にかかる検出部を示す詳
細構成図である。
細構成図である。
【図7】図5のオゾン水濃度計にかかる処理部を示す回
路図である。
路図である。
100 オゾン水濃度計 110 検出部 120 温度コントロール部 130 処理部 140 表示部 1 紫外線ランプ 2 干渉フィルタ 4,5,7 ガラス棒 6,8,10 フォトダイオード 11 アルミブロック 12 FET 13 サーミスタ 14 温度制御回路 15 スイッチ回路 16 処理回路 17 CPU 18 スイッチ切換ドライバ 19 表示器ドライバ 20 表示器
Claims (2)
- 【請求項1】 光源から出射した光を、試料に透過さ
せ、その透過光を光検出器で検出する光計測装置におい
て、 前記光検出器を加熱または冷却するヒータまたはクーラ
手段と、前記光検出器の温度を検知する温度検知手段
と、その温度検知手段が検知した温度を基に前記ヒータ
またはクーラ手段を制御して前記光検出器の温度を一定
に保持する温度制御手段とを具備したことを特徴とする
光計測装置。 - 【請求項2】 光源から出射した光を、オゾン水に透過
させ、その透過光を光検出器で検出するオゾン水濃度計
において、 前記光検出器を加熱または冷却するヒータまたはクーラ
手段と、前記光検出器の温度を検知する温度検知手段
と、その温度検知手段が検知した温度を基に前記ヒータ
またはクーラ手段を制御して前記光検出器の温度を一定
に保持する温度制御手段とを具備したことを特徴とする
オゾン水濃度計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10145193A JPH06308026A (ja) | 1993-04-27 | 1993-04-27 | 光計測装置およびオゾン水濃度計 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10145193A JPH06308026A (ja) | 1993-04-27 | 1993-04-27 | 光計測装置およびオゾン水濃度計 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06308026A true JPH06308026A (ja) | 1994-11-04 |
Family
ID=14301065
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10145193A Pending JPH06308026A (ja) | 1993-04-27 | 1993-04-27 | 光計測装置およびオゾン水濃度計 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH06308026A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008001833A1 (ja) | 2006-06-29 | 2008-01-03 | Sakura Color Products Corporation | 溶存オゾン検知用インキ組成物及び溶存オゾン検知方法 |
JP2014168595A (ja) * | 2013-03-04 | 2014-09-18 | Ihi Shibaura Machinery Corp | 殺菌・脱臭装置 |
US10180395B2 (en) | 2015-07-10 | 2019-01-15 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Functional water concentration sensor |
-
1993
- 1993-04-27 JP JP10145193A patent/JPH06308026A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008001833A1 (ja) | 2006-06-29 | 2008-01-03 | Sakura Color Products Corporation | 溶存オゾン検知用インキ組成物及び溶存オゾン検知方法 |
JP2014168595A (ja) * | 2013-03-04 | 2014-09-18 | Ihi Shibaura Machinery Corp | 殺菌・脱臭装置 |
US10180395B2 (en) | 2015-07-10 | 2019-01-15 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Functional water concentration sensor |
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