JPH0630707U - Automatic dimension measuring device - Google Patents
Automatic dimension measuring deviceInfo
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- JPH0630707U JPH0630707U JP6690192U JP6690192U JPH0630707U JP H0630707 U JPH0630707 U JP H0630707U JP 6690192 U JP6690192 U JP 6690192U JP 6690192 U JP6690192 U JP 6690192U JP H0630707 U JPH0630707 U JP H0630707U
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 表裏両面に凹凸がある物体であっても測定器
及び検査工程を変えることなく物体の外形寸法、厚み、
反り等を同一測定装置で自動的に測定することが出来る
測定装置を提供することにある。
【構成】 機台１上に、被測定物８を載せＸ軸−Ｙ軸方
向へ可動する検査テーブル２が設置されると共に、該テ
ーブル上方に顕微鏡３が被測定物に対してＺ軸方向に移
動可能に取り付けられ、その顕微鏡にＴＶカメラ４を介
して画像処理装置５が接続された自動寸法測定装置にお
いて、検査テーブル２を挟む上下位置に距離検出センサ
ー６，７を同一軸上に位置させて設置すると共に、上側
及び下側の距離検出センサー６，７は夫々Ｚ軸方向に移
動可能とした。
(57) [Summary] [Purpose] Even if an object has irregularities on both front and back sides, the external dimensions, thickness, and
An object of the present invention is to provide a measuring device that can automatically measure warpage and the like with the same measuring device. [Structure] An inspection table 2 is installed on a machine base 1 and movable in the X-axis and Y-axis directions. In the automatic dimension measuring device, which is movably attached and whose image processing device 5 is connected to the microscope via the TV camera 4, the distance detecting sensors 6 and 7 are positioned on the same axis at the upper and lower positions sandwiching the inspection table 2. And the upper and lower distance detection sensors 6 and 7 are movable in the Z-axis direction.
Description
【０００１】[0001]
この考案は被測定物の平面外形寸法に加えて被測定物の厚み、反りを自動的に 測定する自動寸法測定装置に関する。 The present invention relates to an automatic dimension measuring device for automatically measuring the thickness and warpage of an object to be measured in addition to the planar outer dimension of the object to be measured.
【０００２】[0002]
従来、板状をなした物体（被測定物）の厚みを測定する装置、器具としてはノ ギス、マイクロメータ等の接触式測定器が存在する。又、物体の外形寸法を測定 する装置としては直交三軸メカニカルテーブル及び顕微鏡、ＴＶカメラ等を備え た画像処理装置で構成された自動寸法測定装置が存在する。 2. Description of the Related Art Conventionally, contact-type measuring instruments such as a caliper and a micrometer exist as devices and instruments for measuring the thickness of a plate-shaped object (measurement object). As an apparatus for measuring the external dimensions of an object, there is an automatic dimension measuring apparatus composed of an image processing apparatus equipped with an orthogonal triaxial mechanical table, a microscope, a TV camera and the like.
【０００３】[0003]
上記した接触式測定器にあっては物体に反りがあり、その反りと接触式測定器 との接触面積が大きいと正確な測定が出来ないといった問題がある。又、自動寸 法測定装置は物体の外形寸法と同時に該物体の片面の反りを測定することができ るが、物体の表裏両面の状態を知るためには物体を引っ繰り返さなければならず 、自動化の障害となっていた。特に、物体の表裏両面に凹凸があるものの場合は 同時に表裏の深さを計って物体の厚みを測定するということは出来ないものであ る。尚、従来は物体の外形寸法、厚み、反り等を測定する場合、夫々別々の測定 器と検査工程で行っているのが実状である。 In the above-mentioned contact type measuring instrument, there is a problem that the object has a warp and if the area of contact between the warp and the contact type measuring instrument is large, accurate measurement cannot be performed. In addition, an automatic measuring device can measure the warp of one side of an object at the same time as the external dimension of the object, but in order to know the state of both the front and back sides of the object, the object must be repeated and Had been an obstacle. In particular, if the surface of an object is uneven, it is not possible to measure the depth of the surface and measure the thickness of the object at the same time. Incidentally, conventionally, in the case of measuring the external dimensions, thickness, warpage, etc. of an object, the actual situation is that each is carried out in a separate measuring device and inspection process.
【０００４】 しかして、別々の測定器と検査工程で測定するということは、検査工程に沿っ て物体を移動させることになり、それに伴なって測定環境も異なって測定値に誤 差が生じ易くなるといった問題点を有する。[0006] However, the fact that the measurement is carried out in different measuring devices and in the inspection process means that the object is moved along the inspection process, and accordingly, the measurement environment is different and the measured values are likely to be erroneous. There is a problem that becomes.
【０００５】 本考案は上述したような従来の技術の有する問題点に鑑みてなされたもので、 その目的とするところは、表裏両面に凹凸がある物体であっても測定器及び検査 工程を変えることなく物体の外形寸法、厚み、反り等を同一測定装置で自動的に 測定することが出来る測定装置を提供することにある。The present invention has been made in view of the problems of the above-described conventional techniques, and its purpose is to change the measuring instrument and the inspection process even for an object having unevenness on both front and back surfaces. An object of the present invention is to provide a measuring device capable of automatically measuring the outer dimensions, thickness, warpage, etc. of an object with the same measuring device.
【０００６】[0006]
上記の目的を達成するために本考案が講じた技術的手段は、直交三軸メカニカ ルテーブル、顕微鏡、ＴＶカメラ、及び画像処理装置を組合わせた自動寸法測定 装置において、被測定物が載せられる検査テーブルを挟む上下位置に距離検出セ ンサーを同一軸上に配置し、その上側及び下側の距離検出センサーは夫々Ｚ軸方 向に移動可能に構成されている。 The technical means taken by the present invention to achieve the above object is to mount an object to be measured in an automatic dimension measuring device which is a combination of an orthogonal three-axis mechanical table, a microscope, a TV camera, and an image processing device. Distance detection sensors are arranged on the same axis at upper and lower positions sandwiching the inspection table, and the upper and lower distance detection sensors are movable in the Z-axis direction.
【０００７】 上記した上側の距離検出センサーは、被測定物が載せられる検査テーブルに対 して上下方向（Ｚ軸方向）に可動する可動体に取り付けるが、その可動体として は顕微鏡が取り付けられるＺテーブル、又はＺテーブルと平行に設けた別のＺテ ーブルに取り付けても良いものである。下側の距離検出センサーは、機台のテー ブルベース板に支持金具によって固定した直動１軸ステージに取り付けられ、検 査テーブルに対して上下方向（Ｚ軸方向）に移動可能とされている。The above-mentioned upper distance detection sensor is attached to a movable body that is movable in the vertical direction (Z-axis direction) with respect to the inspection table on which the object to be measured is placed. It may be attached to the table or another Z table provided in parallel with the Z table. The distance detection sensor on the lower side is attached to a direct-acting 1-axis stage fixed to the table base plate of the machine base by a support bracket, and is movable in the vertical direction (Z-axis direction) with respect to the inspection table.
【０００８】 又、検査テーブルの上下に配置される距離検出センサーとしては、レーザ変位 計が挙げられる。A laser displacement meter can be used as the distance detection sensor arranged above and below the inspection table.
【０００９】[0009]
上記の手段によれば、検査テーブル上に載せた被測定物は直交三軸メカニカル テーブルの移動によりＴＶカメラで撮像され、その被検査物の画像を画像処理装 置で得られた座標データに基づいて被測定物の長さ、幅等の外形寸法が自動的に 測定される。又、検査テーブルの上下に配置した距離検出センサーによって被測 定物の両面と該センサーとの間の距離を検出し、夫々のセンサーのアナログ電圧 出力を信号処理ユニットに入力して差分をとることで被測定物の厚さが測定され る。 According to the above means, the object to be measured placed on the inspection table is imaged by the TV camera by the movement of the orthogonal triaxial mechanical table, and the image of the object to be inspected is based on the coordinate data obtained by the image processing device. External dimensions such as the length and width of the measured object are automatically measured. In addition, the distance detection sensors located above and below the inspection table detect the distance between both sides of the DUT and the sensor, and input the analog voltage output of each sensor to the signal processing unit to obtain the difference. The thickness of the measured object is measured at.
【００１０】[0010]
【実施例】 以下、本考案の実施例を図面に基づき説明すると、図１は本装置の概略図で、 １は機台、２は検査テーブル、３は顕微鏡、４はＴＶカメラ、５は画像処理装置 、６は上側の距離検出センサー、７は下側の距離検出センサー、８は被測定物で ある。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic view of the apparatus. 1 is a machine base, 2 is an inspection table, 3 is a microscope, 4 is a TV camera, 5 is an image. A processing device, 6 is an upper distance detecting sensor, 7 is a lower distance detecting sensor, and 8 is an object to be measured.
【００１１】 検査テーブル２はＹ軸方向へ移動するＹテーブル２ａとＸ軸方向へ移動するＸ テーブル２ｂにより構成し、各テーブル２ａ，２ｂに夫々パルスモータ又はサー ボモータなどの駆動用モータ９，９’を連結して駆動するようにするとともにリ ニアスケール10，10’を設けて移動量を検出するようにし、被測定物８はＸテー ブル２ｂ上に載せて寸法測定をする。尚、検査テーブル２は後述する透過用光源 14からの光及び下側の距離検出センサー７のレーザ光が被測定物８に到達するよ うに該被測定物が載承される部分は穴を開け、その部分に照射光及びレーザ光が 透過する透明部材が取り付けられて構成されている。The inspection table 2 is composed of a Y table 2a that moves in the Y-axis direction and an X table 2b that moves in the X-axis direction, and each of the tables 2a and 2b has a driving motor 9, 9 such as a pulse motor or a servomotor. ′ Are connected and driven, and the linear scales 10 and 10 ′ are provided to detect the amount of movement, and the DUT 8 is placed on the X-table 2b for dimension measurement. The inspection table 2 has a hole in the portion on which the object to be measured is placed so that the light from the light source 14 for transmission and the laser light from the lower distance detecting sensor 7 reach the object 8 to be measured. A transparent member that transmits irradiation light and laser light is attached to that portion.
【００１２】 又、機台１には支柱１’を起設し、該支柱１’の先端に上下方向（Ｚ軸方向） へ移動するＺテーブル２ｃを取付け、このＺテーブル２ｃに顕微鏡３を前記検査 テーブル２の上方に位置するよう設置し、上記Ｚテーブル２ｃにはサーボモータ などの駆動用モータ11を連結するとともにリニアスケール12を設ける。Further, a column 1'is erected on the machine base 1, and a Z table 2c that moves in the vertical direction (Z-axis direction) is attached to the tip of the column 1 ', and the microscope 3 is attached to the Z table 2c. It is installed so as to be located above the inspection table 2, and a drive motor 11 such as a servomotor is connected to the Z table 2c and a linear scale 12 is provided.
【００１３】 顕微鏡３は検査テーブル２の上方に落射用光源13を、検査テーブル２の下方に 透過用光源14を有し、落射用光源13から出る光を対物レンズを介して被測定物８ の表面に投光し、この顕微鏡３により被測定物８表面を拡大してＴＶカメラ４に 撮像させる。上記顕微鏡３は駆動用モータ11を駆動させＺテーブル２ｃを上下動 させることにより被測定物８に対する焦点合せをすることができる。The microscope 3 has an epi-illumination light source 13 above the inspection table 2 and a transmissive light source 14 below the inspection table 2. The light emitted from the epi-illumination light source 13 passes through an objective lens to a subject 8 to be measured. The surface of the object to be measured 8 is enlarged by the microscope 3 and the TV camera 4 takes an image. The microscope 3 can focus on the object to be measured 8 by driving the driving motor 11 and moving the Z table 2c up and down.
【００１４】 ＴＶカメラ４は前記顕微鏡３上に連結して設置するとともにコードを介して画 像処理装置５に接続し、顕微鏡３により拡大された被測定物８の表面を撮像して 画像処理装置５へ送信する。The TV camera 4 is connected and installed on the microscope 3 and is connected to the image processing device 5 via a cord to image the surface of the DUT 8 magnified by the microscope 3 and image processing device. Send to 5.
【００１５】 画像処理装置５は表示用のブラウン管15を有し、且つその近傍に外部メモリの フロッピーディスク装置16，17、プリンタ18及び多数のファンクションキー19を 設け、それら各部15〜19が装置に内蔵する中央処理装置（ＣＰＵ）に接続されて いる。上記ブラウン管15は画像ラスターと副表示部とに区画し、その画像ラスタ ーに前記ＴＶカメラ４より送信された被測定物８の画像を映すようにし、副表示 部に英数字、カタカナによるキャラクタ表示やプログラムあるいは測定データな どを表示するようにする。The image processing device 5 has a cathode ray tube 15 for display, and is provided with floppy disk devices 16 and 17 of an external memory, a printer 18 and a large number of function keys 19 in the vicinity thereof. It is connected to the built-in central processing unit (CPU). The cathode ray tube 15 is divided into an image raster and a sub-display section, and the image of the DUT 8 transmitted from the TV camera 4 is projected on the image raster, and the sub-display section displays characters by alphanumeric characters and katakana. Display programs, measurement data, etc.
【００１６】 画像処理装置５のファンクションキー19は中央処理装置（ＣＰＵ）の制御部を 構成するもので、シーケンスによる自動操作又はシーケンスによらない手動操作 の何れかを選択する切換スイッチ、手動時におけるＹテーブル２ａの起動用スイ ッチ、Ｘテーブル２ｂの起動用スイッチ、Ｚテーブル２ｃの起動用スイッチなど のスイッチを有し、前記スイッチは切換スイッチを手動操作側にしたときにのみ 作動するようになっている。The function key 19 of the image processing apparatus 5 constitutes a control unit of a central processing unit (CPU), and is a changeover switch for selecting either automatic operation by sequence or manual operation not by sequence, and a manual switch at the time of manual operation. It has switches such as a start switch for the Y table 2a, a start switch for the X table 2b, and a start switch for the Z table 2c, and the switches are operated only when the changeover switch is set to the manual operation side. Has become.
【００１７】 上記中央処理装置（ＣＰＵ）の制御部はＮＣコントローラ20及びモータドライ バ21を介して前記駆動用モータ９，９’，11に接続されている。又、ＮＣコント ローラ20は照明コントロールユニット22を介して照明用ランプハウス装置23に接 続されている。The control unit of the central processing unit (CPU) is connected to the drive motors 9, 9 ′ and 11 via an NC controller 20 and a motor driver 21. The NC controller 20 is connected to a lighting lamp house device 23 via a lighting control unit 22.
【００１８】 上側の距離検出センサー６はレーザ変位計でＺテーブル２ｃに取り付けられた 顕微鏡３の側面、又はＺテーブル２ｃに支持部材を介して鉛直に取り付けられ、 レーザの光軸が検査テーブル２の表面と直角に交差するようにしてあり、その状 態で上下方向に移動可能とされている。The upper distance detection sensor 6 is vertically attached to the side surface of the microscope 3 attached to the Z table 2c by a laser displacement meter or to the Z table 2c via a support member, and the optical axis of the laser is the inspection table 2 It intersects the surface at a right angle, and in that state it can move vertically.
【００１９】 下側の距離検出センサー７は上側の距離検出センサー６と同様レーザ変位計を 用い、その距離検出センサー７は機台１のテーブルベース板24に支持金具25を介 して前記した検査テーブル２の表面と直角に交差する如く鉛直に取り付けられた 直動１軸ステージ26に取り付けられ、それによって距離検出センサー７は上下方 向に移動可能とされる。The lower distance detecting sensor 7 uses a laser displacement meter like the upper distance detecting sensor 6, and the distance detecting sensor 7 is mounted on the table base plate 24 of the machine base 1 through the support metal fittings 25 to perform the above-mentioned inspection. It is attached to a vertically-moving uniaxial stage 26 which is vertically attached so as to intersect the surface of the table 2 at a right angle, whereby the distance detecting sensor 7 can be moved upward and downward.
【００２０】 距離検出センサー７を支持する直動１軸ステージ26は、テーブルベース板24に 支持金具25で固定されたステーター27，リニアスケール28，リニアスケールヘッ ド29，スライダー30，ボールネジ31，クロスローラガイド32，カップリング33， 及びサーボモータ34とで構成され、距離検出センサー７のレーザ変位計はスライ ダー30に支持具35を介して取り付けられている。The linear motion single-axis stage 26 that supports the distance detection sensor 7 includes a stator 27 fixed to the table base plate 24 with support metal fittings 25, a linear scale 28, a linear scale head 29, a slider 30, a ball screw 31, and a cross. It is composed of a roller guide 32, a coupling 33, and a servomotor 34, and the laser displacement gauge of the distance detection sensor 7 is attached to the slider 30 via a support 35.
【００２１】 以上の如く構成した自動寸法測定装置で被測定物８の外形寸法及び厚み、反り を測定するときは、先ず検査テーブル２上に被測定物８を載せ、Ｙテーブル２ａ 、Ｘテーブル２ｂ及びＺテーブル２ｃを移動操作して被測定物８の外形（エッジ ）を顕微鏡３でとらえ、ＴＶカメラにより撮像した被測定物８の画像を画像処理 装置においてカーソル線により追跡しエッジ検出をするとともにカーソル線によ り得られた座標データに基づいて被測定物の長さ、幅などの寸法を自動的に測定 することができる。そして、被測定物８の厚みは外形（エッジ）より内側に所定 距離入った位置を測定するのが一般的であるため、その測定点が距離検出センサ ー６，７の光軸上に位置するように検査テーブル２を移動させ、測定点が距離検 出センサーの光軸に合致した段階で上下の距離検出センサー６，７を作動させて 被測定物の両面と該センサーとの間の距離を検出し、夫々のセンサーのアナログ 電圧出力を信号処理ユニットに入力して差分をとることで被測定物の厚さが測定 される。しかも、上下の距離検出センサー６，７はいずれも上下方向に移動可能 に構成されているため、被測定物８が表裏両面に凹凸を有していても上下の距離 検出センサー６，７を上下に調節することで高精度の測定を行うことが出来る。When measuring the outer dimensions, thickness, and warpage of the object to be measured 8 with the automatic dimension measuring device configured as described above, first, the object to be measured 8 is placed on the inspection table 2, and the Y table 2a and the X table 2b are placed. And the Z table 2c is moved to capture the outer shape (edge) of the DUT 8 with the microscope 3, and the image of the DUT 8 imaged by the TV camera is traced by the cursor line in the image processing device to detect the edge. It is possible to automatically measure the length, width and other dimensions of the DUT based on the coordinate data obtained from the cursor lines. Since the thickness of the DUT 8 is generally measured at a position inside the outer shape (edge) by a predetermined distance, the measurement point is located on the optical axis of the distance detection sensors 6 and 7. Move the inspection table 2 in this way, and when the measurement point matches the optical axis of the distance detection sensor, activate the upper and lower distance detection sensors 6 and 7 to determine the distance between both sides of the measured object and the sensor. The thickness of the DUT is measured by detecting and inputting the analog voltage output of each sensor to the signal processing unit and taking the difference. Moreover, since the upper and lower distance detection sensors 6 and 7 are configured to be movable in the vertical direction, the vertical distance detection sensors 6 and 7 can be moved up and down even if the DUT 8 has unevenness on both front and back surfaces. Highly accurate measurement can be performed by adjusting to.
【００２２】[0022]
本考案の自動寸法測定装置は以上詳述した如く構成したものであるから、単一 の測定装置で外形寸法，厚み，及び反りを全て自動的に測定することができる。 そして、上記の測定に際しては被測定物を移動、或いは反転させる必要が全くな いため、測定環境が変わるといったことは無く、従って測定誤差の要因を最小限 に抑えることが出来る。更に、厚み及び反りを測定する距離検出センサーは外形 寸法を測定する顕微鏡の光軸中心に対して一定の距離を置いて設置されているた め、厚み測定を行う測定点の位置決めを精度良く行うことができ、安定した測定 を行うことが出来る。しかも、上下の距離検出センサーは両方とも上下方向に移 動可能に支持されているため、表裏両面に凹凸がある被測定物でも高精度の測定 を行うことができる。又、測定を開始してから終了するまで途中にオペレータの 介入の必要がないため省力化を計ることが出来る。 Since the automatic dimension measuring device of the present invention is configured as described in detail above, it is possible to automatically measure all of the external dimensions, thickness and warpage with a single measuring device. Further, since it is not necessary to move or invert the object to be measured at the time of the above-mentioned measurement, the measurement environment does not change, and therefore the factor of measurement error can be minimized. Furthermore, since the distance detection sensor that measures thickness and warpage is installed at a fixed distance from the center of the optical axis of the microscope that measures the external dimensions, the measurement points for thickness measurement can be positioned accurately. Therefore, stable measurement can be performed. Moreover, since both the upper and lower distance detection sensors are supported so as to be movable in the vertical direction, it is possible to perform highly accurate measurement even on an object having unevenness on both front and back sides. Also, since there is no need for operator intervention on the way from the start to the end of measurement, labor can be saved.
【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]
【図１】本考案の自動寸法測定装置の概略を示す模式図
である。FIG. 1 is a schematic view showing an outline of an automatic dimension measuring device of the present invention.
【図２】本装置の一部切欠側面図である。FIG. 2 is a partially cutaway side view of the present device.
【図３】検査テーブル面を示平面図である。FIG. 3 is a plan view showing an inspection table surface.
１…機台 ２…検査テーブル ３…顕微鏡 ４…ＴＶカメラ ５…画像処理装置 ６…上側の距離検出
センサー ７…下側の距離検出センサー ８…被測定物1 ... Machine stand 2 ... Inspection table 3 ... Microscope 4 ... TV camera 5 ... Image processing device 6 ... Upper distance detection sensor 7 ... Lower distance detection sensor 8 ... Object to be measured
フロントページの続き (72)考案者 片桐 清男 東京都千代田区丸の内一丁目４番２号 信 越エンジニアリング株式会社内 (72)考案者 竹内 信悟 東京都千代田区丸の内一丁目４番２号 信 越エンジニアリング株式会社内 (72)考案者 古閑 泰行 東京都千代田区丸の内一丁目４番２号 信 越エンジニアリング株式会社内Front Page Continuation (72) Inventor Kiyoo Katagiri 1-4-2 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo Shin-Etsu Engineering Co., Ltd. (72) Inventor Shingo Takeuchi 1-4-2 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo Shin-Etsu Engineering Co., Ltd. (72) Inventor Yasuyuki Koga 1-4-2 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo Shin-Etsu Engineering Co., Ltd.
Claims (1)
向へ可動する検査テーブルが設置されると共に、該テー
ブル上方に顕微鏡が被測定物に対してＺ軸方向に移動可
能に取り付けられ、その顕微鏡にＴＶカメラを介して画
像処理装置が接続された自動寸法測定装置において、検
査テーブルを挟む上下位置に距離検出センサーを同一軸
上に位置させて設置すると共に、上側及び下側の距離検
出センサーは夫々Ｚ軸方向に移動可能としたことを特徴
とする自動寸法測定装置。1. An inspection table is mounted on a machine base and is movable in the X-axis and Y-axis directions, and a microscope is movable above the table in the Z-axis direction with respect to the object to be measured. In the automatic dimension measuring device attached to the microscope and the image processing device connected to the microscope via the TV camera, the distance detecting sensor is placed on the same axis at the vertical position sandwiching the inspection table, and the upper and lower sides are installed. The distance measuring sensor on the side is movable in the Z-axis direction, respectively.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992066901U JP2549802Y2 (en) | 1992-09-25 | 1992-09-25 | Automatic dimension measuring device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992066901U JP2549802Y2 (en) | 1992-09-25 | 1992-09-25 | Automatic dimension measuring device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0630707U true JPH0630707U (en) | 1994-04-22 |
| JP2549802Y2 JP2549802Y2 (en) | 1997-10-08 |
Family
ID=13329311
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1992066901U Expired - Fee Related JP2549802Y2 (en) | 1992-09-25 | 1992-09-25 | Automatic dimension measuring device |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2549802Y2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110307773A (en) * | 2019-08-21 | 2019-10-08 | 中车株洲电机有限公司 | A kind of band set group stator core three-phase lead-out wire measurement and positioning device and method |
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-
1992
- 1992-09-25 JP JP1992066901U patent/JP2549802Y2/en not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2549802Y2 (en) | 1997-10-08 |
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