JPH06306613A - バブリング容器 - Google Patents
バブリング容器Info
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- JPH06306613A JPH06306613A JP11370193A JP11370193A JPH06306613A JP H06306613 A JPH06306613 A JP H06306613A JP 11370193 A JP11370193 A JP 11370193A JP 11370193 A JP11370193 A JP 11370193A JP H06306613 A JPH06306613 A JP H06306613A
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- bubbling
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 バブリング法による気化装置に用いられるバ
ブリング容器において、容器内の温度分布を一様にする
と共に、バブリング開始時や停止時の温度変化に対する
応答性を向上させる。 【構成】 バブリング容器１は、ステンレス鋼のような
耐食性金属の内容器２１と、銅のような熱良導性金属の
外容器２３とからなる２重構造を持つ。外容器２３の底
面には加熱及び冷却機能を持つ発熱冷却器２７が取り付
けられる。更にその外周はグラスウールのような断熱材
の層２５で包囲される。
ブリング容器において、容器内の温度分布を一様にする
と共に、バブリング開始時や停止時の温度変化に対する
応答性を向上させる。 【構成】 バブリング容器１は、ステンレス鋼のような
耐食性金属の内容器２１と、銅のような熱良導性金属の
外容器２３とからなる２重構造を持つ。外容器２３の底
面には加熱及び冷却機能を持つ発熱冷却器２７が取り付
けられる。更にその外周はグラスウールのような断熱材
の層２５で包囲される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、バブリング法による気
化装置に用いられるバブリングを行うための容器に関す
る。
化装置に用いられるバブリングを行うための容器に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】バブリング法による気化装置は、例えば
ＣＶＤ（化学蒸着法）において蒸着材料を気化するため
に広く利用されている。この気化装置では、液体の蒸着
材料（例えばＴｅｔｒａ ｅｔｈｏｘｙ ｓｉｌａｎｅ
以下ＴＥＯＳと呼ぶ）が容器（以下、バブリング容器
という）に収容され、このバブリング容器にはその底側
から蒸着材料液内に所定のキャリアガス（例えばＮ2 ）
が導入される。
ＣＶＤ（化学蒸着法）において蒸着材料を気化するため
に広く利用されている。この気化装置では、液体の蒸着
材料（例えばＴｅｔｒａ ｅｔｈｏｘｙ ｓｉｌａｎｅ
以下ＴＥＯＳと呼ぶ）が容器（以下、バブリング容器
という）に収容され、このバブリング容器にはその底側
から蒸着材料液内に所定のキャリアガス（例えばＮ2 ）
が導入される。
【０００３】このキャリアガスは材料液内にバブルとし
て供給され、このバブルが液内を上昇していく間に、材
料は気化してバブル中に取り込まれる。こうして、気化
した材料を含んだキャリアガス（以下、混合ガスとい
う）が得られ、この混合ガスがＣＶＤ装置に供給され
る。
て供給され、このバブルが液内を上昇していく間に、材
料は気化してバブル中に取り込まれる。こうして、気化
した材料を含んだキャリアガス（以下、混合ガスとい
う）が得られ、この混合ガスがＣＶＤ装置に供給され
る。
【０００４】このバブリング気化装置において、混合ガ
ス中の材料の含有率は、材料の蒸気圧に比例し、この蒸
気圧はバブリング容器内の温度によって決まる。従っ
て、一定の材料含有率を得るためには、バブリング容器
内の温度を一様、かつ一定に保つ必要がある。
ス中の材料の含有率は、材料の蒸気圧に比例し、この蒸
気圧はバブリング容器内の温度によって決まる。従っ
て、一定の材料含有率を得るためには、バブリング容器
内の温度を一様、かつ一定に保つ必要がある。
【０００５】そのための技術として、例えば特開平３−
４９２９号に開示されたものが知られている。これは、
バブリング容器全体を、シリコンオイルなどの加熱媒体
を満たした恒温槽内に入れ、この恒温槽の底部に加熱用
ヒータを設け、加熱媒体の温度を測定しながら、ヒータ
の電源を制御して、それによりバブリング容器内の温度
を一様、かつ一定に制御しようとするものである。
４９２９号に開示されたものが知られている。これは、
バブリング容器全体を、シリコンオイルなどの加熱媒体
を満たした恒温槽内に入れ、この恒温槽の底部に加熱用
ヒータを設け、加熱媒体の温度を測定しながら、ヒータ
の電源を制御して、それによりバブリング容器内の温度
を一様、かつ一定に制御しようとするものである。
【０００６】このように恒温槽内にバブリング容器を入
れておくことにより、容器内部の温度分布が一様に成る
という利点が得られる。
れておくことにより、容器内部の温度分布が一様に成る
という利点が得られる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上述した恒温槽を用い
る従来技術の問題は、バブリング開始時の温度変動に対
する追従能力が十分でないことである。
る従来技術の問題は、バブリング開始時の温度変動に対
する追従能力が十分でないことである。
【０００８】即ち、通常、まずバブリングを開始する前
から恒温槽のヒータを制御して容器内を目標温度に制御
しておき、その状態からバブリングが開始される。バブ
リングが開始されると、容器内は材料の気化熱のために
温度が低下する。装置は、これによる加熱媒体の温度低
下を検出してヒータの電力を増加させ、それにより容器
内温度が再び目標温度に戻される。
から恒温槽のヒータを制御して容器内を目標温度に制御
しておき、その状態からバブリングが開始される。バブ
リングが開始されると、容器内は材料の気化熱のために
温度が低下する。装置は、これによる加熱媒体の温度低
下を検出してヒータの電力を増加させ、それにより容器
内温度が再び目標温度に戻される。
【０００９】しかしながら、恒温槽はその目的から大き
な熱容量を有しているため、バブリング容器内の温度変
化が加熱媒体に伝わり、加熱媒体の温度に変化が生じ
て、ヒータの電源が制御されるまでに、かなりの時間が
かかると共に、ヒータの電源が制御されてから、それが
容器内の温度上昇となって現れ、そして平衡状態となる
までに、さらにかなりの時間を要する。このように、従
来の装置は、バブリングの開始時の温度変化に対する応
答性が悪いという問題がある。
な熱容量を有しているため、バブリング容器内の温度変
化が加熱媒体に伝わり、加熱媒体の温度に変化が生じ
て、ヒータの電源が制御されるまでに、かなりの時間が
かかると共に、ヒータの電源が制御されてから、それが
容器内の温度上昇となって現れ、そして平衡状態となる
までに、さらにかなりの時間を要する。このように、従
来の装置は、バブリングの開始時の温度変化に対する応
答性が悪いという問題がある。
【００１０】また、混合ガス中の材料ガスの量を変える
必要が生じた場合には、キャリアガス量を変えることで
材料ガスの量を調節するが、このようにキャリアガス量
を変えた時には、その温度変化に応じて、容器内の温度
をもとの温度に戻すというようなことには向いていない
という問題がある。
必要が生じた場合には、キャリアガス量を変えることで
材料ガスの量を調節するが、このようにキャリアガス量
を変えた時には、その温度変化に応じて、容器内の温度
をもとの温度に戻すというようなことには向いていない
という問題がある。
【００１１】従って、本発明の目的は、バブリングの開
始時及びガス量を変えた時の温度変化に対する応答性が
良好で、よって常に容器内の材料液温度を一定に保ち得
て、混合ガス中の材料の濃度を一定にできるバブリング
容器を提供することにある。また、本発明のさらなる目
的は、容器内の材料液の温度分布を良好に一様にできる
バブリング容器を提供することにある。
始時及びガス量を変えた時の温度変化に対する応答性が
良好で、よって常に容器内の材料液温度を一定に保ち得
て、混合ガス中の材料の濃度を一定にできるバブリング
容器を提供することにある。また、本発明のさらなる目
的は、容器内の材料液の温度分布を良好に一様にできる
バブリング容器を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明は、バブリング法
による気化装置に用いられる容器において、この容器に
収容される液材に対する耐食性をもつ材料より成る内側
部分と、この内側部分の外側に、容器の実質的全体に亘
って内側部分に接して配置された熱良導性材料より成る
導熱部分とを有するバブリング容器を提供する。
による気化装置に用いられる容器において、この容器に
収容される液材に対する耐食性をもつ材料より成る内側
部分と、この内側部分の外側に、容器の実質的全体に亘
って内側部分に接して配置された熱良導性材料より成る
導熱部分とを有するバブリング容器を提供する。
【００１３】
【作用】本発明によれば、導熱部分によって容器全体に
一様に熱が伝えられるため、容器内の液材の温度分布が
良好に一様に成ると共に、バブリング開始時やガス量を
変えた時の液材の温度変動に対しても容器全体から液材
へ良好に熱を伝えられるため、良好な応答性が得られ
る。
一様に熱が伝えられるため、容器内の液材の温度分布が
良好に一様に成ると共に、バブリング開始時やガス量を
変えた時の液材の温度変動に対しても容器全体から液材
へ良好に熱を伝えられるため、良好な応答性が得られ
る。
【００１４】
【実施例】図１は、本発明が適用されるバブリング気化
装置の全体構造を概略的に示す。
装置の全体構造を概略的に示す。
【００１５】図１において、バブリング容器１内には、
ＣＶＤにより蒸着される所定の蒸着材料、例えばＴＥＯ
Ｓの液体３が収容されている。このバブリング容器１内
には、先端にバブル形成用の細孔を持ったバブラ管５が
容器底部近くまで挿入され、このバブラ管５には図示し
ないキャリアガス源からマスフローコントローラ７を介
して、キャリアガス、例えばＮ2 が供給される。
ＣＶＤにより蒸着される所定の蒸着材料、例えばＴＥＯ
Ｓの液体３が収容されている。このバブリング容器１内
には、先端にバブル形成用の細孔を持ったバブラ管５が
容器底部近くまで挿入され、このバブラ管５には図示し
ないキャリアガス源からマスフローコントローラ７を介
して、キャリアガス、例えばＮ2 が供給される。
【００１６】このバブラ管５に供給されたＮ2 ガスは、
バブラ管５の管先端から細かいバブル９となってＴＥＯ
Ｓ液３内に放出され上昇していく。この上昇中にＴＥＯ
Ｓがバブル９内へ気化して取り込まれ、そしてＮ2 とＴ
ＥＯＳとの混合ガスが、バブリング容器１の上部空間１
１に溜まる。
バブラ管５の管先端から細かいバブル９となってＴＥＯ
Ｓ液３内に放出され上昇していく。この上昇中にＴＥＯ
Ｓがバブル９内へ気化して取り込まれ、そしてＮ2 とＴ
ＥＯＳとの混合ガスが、バブリング容器１の上部空間１
１に溜まる。
【００１７】この容器１の上部空間１１には吸ガス管１
３が挿入されており、Ｎ2 とＴＥＯＳとの混合ガスは、
この吸ガス管１３を通じて図示しないＣＶＤ装置へ供給
される。尚、吸ガス管１３には、マスフローメータ１５
が取り付けられており、混合ガスの流量を検出する。
３が挿入されており、Ｎ2 とＴＥＯＳとの混合ガスは、
この吸ガス管１３を通じて図示しないＣＶＤ装置へ供給
される。尚、吸ガス管１３には、マスフローメータ１５
が取り付けられており、混合ガスの流量を検出する。
【００１８】さらに、混合ガスの総流量を必要に応じて
増減できるように、容器１をバイパスしたＮ2 ガスがマ
スフローコントローラ１７を通じて、ＣＶＤ装置へ供給
される混合ガスに加えられるようになっている。
増減できるように、容器１をバイパスしたＮ2 ガスがマ
スフローコントローラ１７を通じて、ＣＶＤ装置へ供給
される混合ガスに加えられるようになっている。
【００１９】この装置において、混合ガス内のＴＥＯＳ
の絶対量は、マスフローコントローラ７が示すＮ2 ガス
の流量Ｑc と、マスフローメータ１５が示す混合ガスの
流量Ｑ0 とから計算できる。そして、この計算したＴＥ
ＯＳの絶対量を目標量と比較して、その偏差に応じてマ
スフローコントローラ７の流量を調整することにより、
目標の絶対量が得られる。混合ガス中のＴＥＯＳの濃度
が高いので、これを稀釈するためには、バイパス流路の
マスフローコントローラ１７を通じてＮ2 ガスが補充さ
れる。
の絶対量は、マスフローコントローラ７が示すＮ2 ガス
の流量Ｑc と、マスフローメータ１５が示す混合ガスの
流量Ｑ0 とから計算できる。そして、この計算したＴＥ
ＯＳの絶対量を目標量と比較して、その偏差に応じてマ
スフローコントローラ７の流量を調整することにより、
目標の絶対量が得られる。混合ガス中のＴＥＯＳの濃度
が高いので、これを稀釈するためには、バイパス流路の
マスフローコントローラ１７を通じてＮ2 ガスが補充さ
れる。
【００２０】図２は、このような気化装置に用いられる
本発明に従うバブリング容器１の一実施例の断面構造を
示す。
本発明に従うバブリング容器１の一実施例の断面構造を
示す。
【００２１】図２において、バブリング容器１は内容器
２１と外容器２３の２重構造から成る。内容器２１は蒸
着材料（例えばＴＥＯＳ）液３に対する耐食性をもつ適
当な金属材料により構成される。耐食性金属としては、
実用上はステンレス鋼が好適であり、特にＳＵＳ３１６
Ｌステンレス鋼が望ましい。この内容器２１は、その周
囲、特に少なくとも側面及び底面の周囲を、熱良導性の
金属板又は金属箔より成る外容器２３により覆われる。
この外容器２３は、図示のように内容器２１の上面も覆
えばより望ましい。
２１と外容器２３の２重構造から成る。内容器２１は蒸
着材料（例えばＴＥＯＳ）液３に対する耐食性をもつ適
当な金属材料により構成される。耐食性金属としては、
実用上はステンレス鋼が好適であり、特にＳＵＳ３１６
Ｌステンレス鋼が望ましい。この内容器２１は、その周
囲、特に少なくとも側面及び底面の周囲を、熱良導性の
金属板又は金属箔より成る外容器２３により覆われる。
この外容器２３は、図示のように内容器２１の上面も覆
えばより望ましい。
【００２２】この熱良導性金属としては、銅、アルミニ
ウム、銀などが考えられるが、実用上は銅が最適であ
る。
ウム、銀などが考えられるが、実用上は銅が最適であ
る。
【００２３】この熱良導性金属より成る外容器２３の底
面には、発熱冷却器２７が取り付けられている。この発
熱冷却器２７としては、例えば、ペルチェ効果を利用し
た、加熱及び冷却装置であって、外容器２３を通じて内
容器２１へ熱を良好に伝え得るものが好適である。蒸着
材料液の種類によっては、温度−蒸気圧曲線が異なるの
で、１０℃程度に冷却してバブリングを行ったり、４０
℃程度に加熱してバブリングを行ったりするものがあ
る。従って、このような場合には、ペルチェ効果を利用
した冷却器であるとか、電気ヒータ式のホットプレート
であるとか、その用途に応じて適宜選択して使用すれば
よい。
面には、発熱冷却器２７が取り付けられている。この発
熱冷却器２７としては、例えば、ペルチェ効果を利用し
た、加熱及び冷却装置であって、外容器２３を通じて内
容器２１へ熱を良好に伝え得るものが好適である。蒸着
材料液の種類によっては、温度−蒸気圧曲線が異なるの
で、１０℃程度に冷却してバブリングを行ったり、４０
℃程度に加熱してバブリングを行ったりするものがあ
る。従って、このような場合には、ペルチェ効果を利用
した冷却器であるとか、電気ヒータ式のホットプレート
であるとか、その用途に応じて適宜選択して使用すれば
よい。
【００２４】外容器２３は、その周囲、特に少なくとも
側面の周囲は、グラスウールのような断熱層２５で覆わ
れることが望ましい。この断熱層２５も容器上面や発熱
冷却器２７を含んだ容器全体を覆っていれば一層望まし
い。
側面の周囲は、グラスウールのような断熱層２５で覆わ
れることが望ましい。この断熱層２５も容器上面や発熱
冷却器２７を含んだ容器全体を覆っていれば一層望まし
い。
【００２５】このように構成されたバブリング容器１で
は、従来のバブリング容器に比較して、バブリング容器
内の材料液の温度分布が良好に一様になると共に、温度
変化に対する応答性も向上するという効果が得られる。
これは、熱良導性金属製の外容器２３による、発熱冷却
器２７から内容器２１全体への良好なる熱伝達の作用に
よるものである。
は、従来のバブリング容器に比較して、バブリング容器
内の材料液の温度分布が良好に一様になると共に、温度
変化に対する応答性も向上するという効果が得られる。
これは、熱良導性金属製の外容器２３による、発熱冷却
器２７から内容器２１全体への良好なる熱伝達の作用に
よるものである。
【００２６】この効果を立証するための実験結果を以下
に示す。図３は温度分布の一様性を立証するための実験
に用いた容器の構造と容器各部の測定温度とを示したも
のである。
に示す。図３は温度分布の一様性を立証するための実験
に用いた容器の構造と容器各部の測定温度とを示したも
のである。
【００２７】同図（Ａ）は、ステンレス鋼製の内容器２
１の底面に直接、発熱冷却器２７としての電気ヒータを
取り付けた容器構造に関するものであり、同図（Ｂ）
は、本発明に従って、内容器２１の側面及び底面をそれ
に接した銅製の外容器２３で覆い、その底面にヒータ２
７を取り付けた容器構造に関するものであり、同図
（Ｃ）は（Ｂ）の外容器２３の側面、及び底面をグラス
ウール層２５で更に覆った容器構造に関するものであ
る。尚、気化材料液３としてＴＥＯＳを用いた。
１の底面に直接、発熱冷却器２７としての電気ヒータを
取り付けた容器構造に関するものであり、同図（Ｂ）
は、本発明に従って、内容器２１の側面及び底面をそれ
に接した銅製の外容器２３で覆い、その底面にヒータ２
７を取り付けた容器構造に関するものであり、同図
（Ｃ）は（Ｂ）の外容器２３の側面、及び底面をグラス
ウール層２５で更に覆った容器構造に関するものであ
る。尚、気化材料液３としてＴＥＯＳを用いた。
【００２８】この実験においては、各容器構造につい
て、内容器２１の外部上面と外部底面、及び内容器２１
の内部底面と内部水面、の４箇所の温度を、目標温度６
０℃の制御下で、熱平衡状態において５００秒以上の時
間に亘って測定した。使用した容器の仕様は、内容器２
１が内径９６mm、外径１００mm、深さ１００mmのステン
レス容器であり、外容器２３が内径１００mm、外径１１
０mm、深さ１１０mmの銅容器である。
て、内容器２１の外部上面と外部底面、及び内容器２１
の内部底面と内部水面、の４箇所の温度を、目標温度６
０℃の制御下で、熱平衡状態において５００秒以上の時
間に亘って測定した。使用した容器の仕様は、内容器２
１が内径９６mm、外径１００mm、深さ１００mmのステン
レス容器であり、外容器２３が内径１００mm、外径１１
０mm、深さ１１０mmの銅容器である。
【００２９】図３から明らかに判るように、（Ａ）の構
造に比較し、（Ｂ）の銅の外容器２３を有する構造の方
が、外部上面と外部底面間の温度差（つまり、内容器２
１自体の最大温度偏差）についても、内部水面と内部底
面間の温度差（つまり、材料液３の最大温度偏差）につ
いても、偏差が約半分に縮まっており、更に（Ｃ）の銅
容器の外周をグラスウール層２５で覆った構造の方が、
より効果的に偏差が縮まっている。特に（Ｃ）の構造で
は、材料液３の最大偏差は０．８℃と極めて小さくなっ
ている。
造に比較し、（Ｂ）の銅の外容器２３を有する構造の方
が、外部上面と外部底面間の温度差（つまり、内容器２
１自体の最大温度偏差）についても、内部水面と内部底
面間の温度差（つまり、材料液３の最大温度偏差）につ
いても、偏差が約半分に縮まっており、更に（Ｃ）の銅
容器の外周をグラスウール層２５で覆った構造の方が、
より効果的に偏差が縮まっている。特に（Ｃ）の構造で
は、材料液３の最大偏差は０．８℃と極めて小さくなっ
ている。
【００３０】この０．８℃という偏差の値は、ＴＥＯＳ
とＮ2 との混合比を一定に保つ上で実用上十分に満足す
べき値である。これを以下に検証する。
とＮ2 との混合比を一定に保つ上で実用上十分に満足す
べき値である。これを以下に検証する。
【００３１】上述の実験における目標温度６０℃という
値は、混合比（ＴＥＯＳ／Ｎ2 ）＝２％にするために設
定された値である。ここで、ＴＥＯＳの蒸気圧を述べる
と、５５℃では１．５２ｋＰａ（１１．４mmＨg ）、６
０℃では２．００ｋＰａ（１５mmＨg ）、及び６５℃で
は２．５３ｋＰａ（１９mmＨg ）である。従って、５５
℃と６５℃間の１０℃の温度差による蒸気圧の差ΔＰ
は、 ΔＰ＝１．０１ｋＰａ／１０℃ である。つまり、温度１℃の変化に対してＴＥＯＳの蒸
気圧は０．１ｋＰａだけ変化する。
値は、混合比（ＴＥＯＳ／Ｎ2 ）＝２％にするために設
定された値である。ここで、ＴＥＯＳの蒸気圧を述べる
と、５５℃では１．５２ｋＰａ（１１．４mmＨg ）、６
０℃では２．００ｋＰａ（１５mmＨg ）、及び６５℃で
は２．５３ｋＰａ（１９mmＨg ）である。従って、５５
℃と６５℃間の１０℃の温度差による蒸気圧の差ΔＰ
は、 ΔＰ＝１．０１ｋＰａ／１０℃ である。つまり、温度１℃の変化に対してＴＥＯＳの蒸
気圧は０．１ｋＰａだけ変化する。
【００３２】上述の実験結果によれば（Ｃ）の構造で
は、ＴＥＯＳの温度偏差は０．８℃であるから、これは
ＴＥＯＳの温度を６０℃±０．４℃に管理できることを
意味する。この６０℃±０．４℃に、上記の温度変化に
対する蒸気圧の変化率を当てはめると、混合ガス全体中
のＴＥＯＳの含有率は、２％±０．０４％に管理される
こととなり、極めて精度良く一定の含有率が得られるこ
とが判る。
は、ＴＥＯＳの温度偏差は０．８℃であるから、これは
ＴＥＯＳの温度を６０℃±０．４℃に管理できることを
意味する。この６０℃±０．４℃に、上記の温度変化に
対する蒸気圧の変化率を当てはめると、混合ガス全体中
のＴＥＯＳの含有率は、２％±０．０４％に管理される
こととなり、極めて精度良く一定の含有率が得られるこ
とが判る。
【００３３】図４は、前記実験に使用した図３（Ａ）の
銅容器無し容器と、図３（Ｂ）の銅容器側の本発明容器
とに関し、バブリング開始時の温度変動を測定した結果
を示す。
銅容器無し容器と、図３（Ｂ）の銅容器側の本発明容器
とに関し、バブリング開始時の温度変動を測定した結果
を示す。
【００３４】ここでは、材料液としてＴＥＯＳを用い、
目標温度を６０℃、ＴＥＯＳの質量を２８０ｇ、Ｎ2 ガ
ス流量を４９００標準ｃｃ／ｍｉｎ、Ｎ2 ガス温度を２
０℃と設定した。尚、この条件下では、ＴＥＯＳの気化
量は１００標準ｃｃ／ｍｉｎ、蒸発熱は３．４３Ｊ／ｓ
ｅｃ、比熱は２．５Ｊ／ｇ・Ｋ、Ｎ2 ガスによる熱移動
は３．０８Ｊ／ｓｅｃである。
目標温度を６０℃、ＴＥＯＳの質量を２８０ｇ、Ｎ2 ガ
ス流量を４９００標準ｃｃ／ｍｉｎ、Ｎ2 ガス温度を２
０℃と設定した。尚、この条件下では、ＴＥＯＳの気化
量は１００標準ｃｃ／ｍｉｎ、蒸発熱は３．４３Ｊ／ｓ
ｅｃ、比熱は２．５Ｊ／ｇ・Ｋ、Ｎ2 ガスによる熱移動
は３．０８Ｊ／ｓｅｃである。
【００３５】図４から判るように、銅容器無しの構造に
比較し、銅容器有りの本発明構造の方が、明らかにバブ
リング開始時の温度変動が小さく、かつ熱平衡状態に至
る整定時間が短い。
比較し、銅容器有りの本発明構造の方が、明らかにバブ
リング開始時の温度変動が小さく、かつ熱平衡状態に至
る整定時間が短い。
【００３６】以上、本発明の好適な実施例を説明した
が、本発明はこの実施例のみに限定されるものではな
く、種々の別の形態で実施することができる。
が、本発明はこの実施例のみに限定されるものではな
く、種々の別の形態で実施することができる。
【００３７】例えば、バブリング容器全体を熱良導性の
材料で作り、その内面を耐食性の膜でコーティングした
ものや、逆に、容器全体を耐食性材料で作り、その外面
を熱良導性の材料でコーティングしたものや、熱良導性
材料のネットで耐食性材料の容器を包囲したものなど、
耐食性材料と熱良導性材料との複合によって容器内面が
収容される材料液に対して耐食性であると共に、容器の
実質的に全体が熱良導性を持つようになっているもので
有れば本発明の範囲に含まれる。
材料で作り、その内面を耐食性の膜でコーティングした
ものや、逆に、容器全体を耐食性材料で作り、その外面
を熱良導性の材料でコーティングしたものや、熱良導性
材料のネットで耐食性材料の容器を包囲したものなど、
耐食性材料と熱良導性材料との複合によって容器内面が
収容される材料液に対して耐食性であると共に、容器の
実質的に全体が熱良導性を持つようになっているもので
有れば本発明の範囲に含まれる。
【００３８】
【発明の効果】本発明は、バブリング容器の内側部分を
耐食性材料で形成すると共に、その外側に容器の実質的
全体に亘って熱良導性材料を配置した複合構造を採用す
ることにより、バブリング容器内の温度分布を良好に一
様にすることができ、混合ガス中の材料の濃度を安定さ
せることができ、かつ、バブリング開始時やガス量を変
化させた時の温度変化に対する応答性を向上させること
ができるという効果を奏する。
耐食性材料で形成すると共に、その外側に容器の実質的
全体に亘って熱良導性材料を配置した複合構造を採用す
ることにより、バブリング容器内の温度分布を良好に一
様にすることができ、混合ガス中の材料の濃度を安定さ
せることができ、かつ、バブリング開始時やガス量を変
化させた時の温度変化に対する応答性を向上させること
ができるという効果を奏する。
【図１】本発明が適用されるバブリング法による気化装
置の全体構成図。
置の全体構成図。
【図２】本発明に係るバブリング容器の一実施例の断面
図。
図。
【図３】温度分布の一様性に関する本発明の効果を立証
するための実験に用いた容器の構造と実験結果を示す
図。
するための実験に用いた容器の構造と実験結果を示す
図。
【図４】温度変化に関する本発明の効果を立証するため
の実験の結果を示す図。
の実験の結果を示す図。
１ バブリング容器 ３ 材料液 ２１ 内容器 ２３ 外容器 ２５ 断熱層 ２７ 発熱冷却器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 毛利 昌宏 三重県桑名市大福２番地 日立金属株式会 社桑名工場内 (72)発明者 石川 誠 三重県桑名市大福２番地 日立金属株式会 社桑名工場内 (72)発明者 内山 太郎 東京都小平市上水本町五丁目20番１号 株 式会社日立製作所武蔵工場内 (72)発明者 鈴木 新平 東京都千代田区大手町二丁目６番２号 日 立電子エンジニアリング株式会社内 (72)発明者 谷口 和雄 東京都千代田区大手町二丁目６番２号 日 立電子エンジニアリング株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】 バブリング法による気化装置に用いられ
る容器において、この容器に収容される液材に対する耐
食性をもつ材料より成る内側部分と、この内側部分の外
側に、前記容器の実質的全体に亘って配置された熱良導
性材料より成る導熱部分とを有するバブリング容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11370193A JPH06306613A (ja) | 1993-04-16 | 1993-04-16 | バブリング容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11370193A JPH06306613A (ja) | 1993-04-16 | 1993-04-16 | バブリング容器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06306613A true JPH06306613A (ja) | 1994-11-01 |
Family
ID=14618987
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11370193A Pending JPH06306613A (ja) | 1993-04-16 | 1993-04-16 | バブリング容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06306613A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7404986B2 (en) * | 2004-05-07 | 2008-07-29 | United Technologies Corporation | Multi-component deposition |
| JP2009532579A (ja) * | 2006-03-30 | 2009-09-10 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | Ｃｖｄ又はａｌｄのための化学分配装置 |
| KR101458474B1 (ko) * | 2007-08-08 | 2014-11-10 | 엘아이지에이디피 주식회사 | 챔버에 유기물을 제공하는 캐니스터 |
| US8951478B2 (en) | 2006-03-30 | 2015-02-10 | Applied Materials, Inc. | Ampoule with a thermally conductive coating |
-
1993
- 1993-04-16 JP JP11370193A patent/JPH06306613A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7404986B2 (en) * | 2004-05-07 | 2008-07-29 | United Technologies Corporation | Multi-component deposition |
| JP2009532579A (ja) * | 2006-03-30 | 2009-09-10 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | Ｃｖｄ又はａｌｄのための化学分配装置 |
| US8951478B2 (en) | 2006-03-30 | 2015-02-10 | Applied Materials, Inc. | Ampoule with a thermally conductive coating |
| KR101458474B1 (ko) * | 2007-08-08 | 2014-11-10 | 엘아이지에이디피 주식회사 | 챔버에 유기물을 제공하는 캐니스터 |
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