JPH06296378A - Drive circuit of ultrasonic motor - Google Patents
Drive circuit of ultrasonic motorInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、超音波モータの駆動回
路、より詳しくは、交流電圧を圧電素子に印加して発生
する超音波振動を被駆動部材の駆動力として用いる超音
波モータの駆動回路に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ultrasonic motor drive circuit, and more particularly to an ultrasonic motor drive using ultrasonic vibration generated by applying an alternating voltage to a piezoelectric element as a driving force for a driven member. Regarding the circuit.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年、電磁型モータに比べて、微小な外
形寸法を有しながら強力な駆動力を得られる超音波モー
タが注目を集めている。この超音波モータは、交流電圧
を圧電素子に印加して発生する超音波振動を被駆動部材
の駆動力として用いるものである。2. Description of the Related Art In recent years, ultrasonic motors have attracted much attention as compared with electromagnetic motors because they have a small outer dimension and can obtain a strong driving force. This ultrasonic motor uses ultrasonic vibration generated by applying an AC voltage to a piezoelectric element as a driving force for a driven member.
【０００３】このような超音波モータは、電圧を印加し
て駆動すると次第に温度が上昇することが多いが、超音
波モータを駆動するのに最適な駆動周波数は温度により
変化するために、そのままでは最適な駆動周波数を常に
得ることはできなかった。The temperature of such an ultrasonic motor often gradually rises when it is driven by applying a voltage. However, since the optimum driving frequency for driving the ultrasonic motor changes depending on the temperature, it remains as it is. The optimum driving frequency could not always be obtained.
【０００４】このような問題点を考慮した超音波モータ
の駆動回路は、従来より種々提案されていて、例えば特
開平１−２６４５７９号公報には、温度検知手段により
振動体の温度を検出して、この検出温度に対応した最適
な駆動周波数を設定して、超音波モータを駆動するよう
になっているものが開示されている。Various driving circuits for ultrasonic motors have been proposed in consideration of the above problems. For example, Japanese Patent Laid-Open No. 1-264579 discloses a driving circuit for detecting the temperature of a vibrating body. There is disclosed an ultrasonic motor driven by setting an optimum drive frequency corresponding to the detected temperature.
【０００５】また、上記問題点を考慮した超音波モータ
の駆動回路の他の例が、特開昭６１−２５１４９０号公
報に記載されている。該公報記載のものは、超音波モー
タに振動検出用のモニタ電極を設けて、温度等により最
適振動周波数がずれてた場合にも、該モニタ電極の出力
に基づいてこれを追尾するようにしたものである。Another example of an ultrasonic motor drive circuit in consideration of the above problems is described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 61-251490. In the device described in this publication, a monitor electrode for vibration detection is provided in the ultrasonic motor, and even if the optimum vibration frequency is deviated due to temperature or the like, it is tracked based on the output of the monitor electrode. It is a thing.
【０００６】また、さらに超音波モータの駆動回路の他
の例が、特願平３−１３４４３１号に記載されている。
これは、ボディ内に発振回路を設ける一方、レンズ内に
超音波モータ，モニタ手段，制御回路等を備えて、レン
ズ側の周波数制御信号に基づいてボディ側で周波数の設
定変更を行うものである。Another example of a drive circuit for an ultrasonic motor is described in Japanese Patent Application No. 3-134431.
In this system, an oscillating circuit is provided in the body, while an ultrasonic motor, monitor means, control circuit, etc. are provided in the lens, and the frequency setting is changed on the body side based on the frequency control signal on the lens side. .
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記特
開平１−２６４５７９号公報に記載の技術手段では、超
音波モータ単体の特性を温度補正することはできるが、
該モータにより駆動される被駆動部材の例えばグリスの
粘性が温度により変化する等より、機械的負荷が変化す
ることまでは考慮されていなかった。一般に超音波モー
タは、負荷が大きくなった場合には共振周波数が上昇す
るため、上記モータ単体での温度補正後も、共振周波数
にならない場合があった。そして、超音波モータは、駆
動周波数が共振周波数を下まわると急激に駆動トルクが
低下する傾向があるため、該過負荷時には停止しやすく
なるという問題点があった。However, with the technical means disclosed in the above-mentioned Japanese Patent Laid-Open No. 1-264579, the characteristics of the ultrasonic motor alone can be temperature-corrected.
Since the viscosity of grease, for example, of the driven member driven by the motor changes with temperature, changes in mechanical load have not been taken into consideration. Generally, in an ultrasonic motor, the resonance frequency rises when the load increases, and therefore the resonance frequency may not reach the resonance frequency even after the temperature correction of the motor alone. The ultrasonic motor has a problem that the driving torque tends to rapidly decrease when the driving frequency falls below the resonance frequency, and thus the ultrasonic motor is likely to stop at the time of the overload.
【０００８】また、上記特願平３−１３４４３１号に記
載のものでは、モニタ手段の設置によってモータが高価
になり、一方、上記特開昭６１−２５１４９０号公報に
記載のものは、モニタ電極設置が必要となってモータの
製作上コストアップを招き好ましくないという問題点が
あった。Further, in the one disclosed in the above-mentioned Japanese Patent Application No. 3-134431, the motor becomes expensive due to the installation of the monitor means, while in the one disclosed in the above-mentioned JP-A-61-251490, the monitor electrode is installed. However, there is a problem in that the manufacturing cost of the motor is increased, which is not preferable.
【０００９】さらに、上記従来例では、超音波モータや
被駆動部材の各々に存在する個体差を最適化する方法が
何等開示されていなかった。Further, in the above-mentioned conventional example, no method for optimizing the individual difference existing in each of the ultrasonic motor and the driven member is disclosed.
【００１０】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
のであり、負荷が温度により変化した場合にも最適な制
御が可能な、超音波モータや被駆動部材の個体差による
周波数特性のばらつきを補正することができる低コスト
な超音波モータの駆動回路を提供することを目的として
いる。The present invention has been made in view of the above problems, and it is possible to perform optimum control even when the load changes due to temperature, and to suppress variations in frequency characteristics due to individual differences in ultrasonic motors and driven members. An object of the present invention is to provide a low-cost ultrasonic motor drive circuit that can be corrected.
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明による超音波モータの駆動回路は、交流電
圧を圧電素子に印加して発生する超音波振動を被駆動部
材の駆動力として用いる超音波モータの駆動回路におい
て、上記超音波モータの近傍に配置された温度検知手段
と、この温度検知手段に対応する上記交流電圧の周波数
を記憶する記憶手段と、上記温度検知手段の出力および
記憶手段の記憶値に基づいて上記交流電圧の駆動周波数
を制御する周波数制御手段とを具備しており、上記記憶
手段の記憶値は、上記超音波モータ単体の温度特性と、
これにより駆動される被駆動部材の負荷温度特性による
シフト量とを加算した値である。In order to achieve the above-mentioned object, a driving circuit for an ultrasonic motor according to the present invention uses ultrasonic vibration generated by applying an AC voltage to a piezoelectric element to drive a driven member. In the drive circuit of the ultrasonic motor used as, the temperature detecting means arranged in the vicinity of the ultrasonic motor, the storing means for storing the frequency of the AC voltage corresponding to the temperature detecting means, and the output of the temperature detecting means. And a frequency control means for controlling the drive frequency of the AC voltage based on the storage value of the storage means, the storage value of the storage means, the temperature characteristics of the ultrasonic motor alone,
This is a value obtained by adding the shift amount due to the load temperature characteristic of the driven member driven by this.
【００１２】また、本発明による超音波モータの駆動回
路は、交流電圧を圧電素子に印加して発生する超音波振
動を被駆動部材の駆動力として用いる超音波モータの駆
動回路において、上記超音波モータの近傍に配置された
温度検知手段と、この温度検知手段の検知温度に対応し
た基準温度における上記交流電圧の周波数からのシフト
量を記憶する第１記憶手段と、上記超音波モータを組み
立てた後の所定の条件下における駆動により決定した上
記交流電圧の周波数および該駆動時の検出温度を記憶す
る第２記憶手段と、上記温度検知手段の出力と第１記憶
手段および第２記憶手段の記憶値に基づいて上記交流電
圧の周波数を制御する周波数制御手段とを備えている。The ultrasonic motor drive circuit according to the present invention is the ultrasonic motor drive circuit which uses ultrasonic vibration generated by applying an AC voltage to a piezoelectric element as a driving force for a driven member. The temperature detecting means arranged near the motor, the first storing means for storing the shift amount from the frequency of the AC voltage at the reference temperature corresponding to the detected temperature of the temperature detecting means, and the ultrasonic motor are assembled. Second storage means for storing the frequency of the AC voltage determined by driving and the detected temperature during the driving, the output of the temperature detecting means, and the storage of the first storage means and the second storage means. Frequency control means for controlling the frequency of the AC voltage based on the value.
【００１３】[0013]
【作用】超音波モータが交流電圧を圧電素子に印加する
ことで超音波振動を発生して被駆動部材を駆動し、上記
超音波モータの近傍に配置された温度検知手段が温度を
検知し、周波数制御手段が上記温度検知手段の出力およ
び記憶手段の記憶値に基づいて上記交流電圧の駆動周波
数を制御する。The ultrasonic motor applies an AC voltage to the piezoelectric element to generate ultrasonic vibrations to drive the driven member, and the temperature detecting means arranged in the vicinity of the ultrasonic motor detects the temperature, Frequency control means controls the drive frequency of the AC voltage based on the output of the temperature detection means and the stored value of the storage means.
【００１４】超音波モータが交流電圧を圧電素子に印加
することで超音波振動を発生して被駆動部材の駆動し、
上記超音波モータの近傍に配置された温度検知手段が温
度を検知し、周波数制御手段が上記温度検知手段の出力
と第１記憶手段および第２記憶手段の記憶値に基づいて
上記交流電圧の周波数を制御する。An ultrasonic motor applies an AC voltage to the piezoelectric element to generate ultrasonic vibration to drive the driven member,
The temperature detecting means arranged in the vicinity of the ultrasonic motor detects the temperature, and the frequency controlling means determines the frequency of the AC voltage based on the output of the temperature detecting means and the stored values of the first storing means and the second storing means. To control.
【００１５】[0015]
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を説明
する。図１ないし図６は本発明の第１実施例を示したも
のである。図１に示すように、この第１実施例の超音波
モータの駆動回路は、駆動周波数の約４倍の周波数の信
号φUSRを発生する発振回路３と、この発生信号を分周
して４つのパルスφ1，φ2，φ3，φ4にそれぞれ変換す
るパルス変換回路４と、トランスとスイッチングトラン
ジスタ等により構成されていて、上記φ1，φ2，φ3，
φ4の信号でトランスをスイッチングすることにより、
超音波モータ１０の電極に印加する２相の交流電圧ＶA
およびＶBを発生させる電力増幅器５と、例えば感温抵
抗や各種サーミスタ・チップ等で構成されていて、その
抵抗値の変化を検出することにより温度を検知する超音
波モータ１０の近傍に設けられた温度検知手段たる温度
センサ８と、超音波モータ１０またはこの超音波モータ
１０により駆動されるレンズ鏡筒等の被駆動機構１１に
取り付けられた、ＭＲセンサやフォト・インタラプタ等
で構成されていて回転量に比例したパルスを出力する回
転エンコーダ９と、上記温度センサ８，回転エンコーダ
９等の出力および記憶手段たるメモリ６の出力により発
振回路３の発する信号φUSRの発振周波数を決定するた
めの周波数制御手段たる発振制御回路７とで、その主要
部を構成されている。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1 to 6 show a first embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, the drive circuit for the ultrasonic motor of the first embodiment has an oscillator circuit 3 for generating a signal φUSR having a frequency about four times as high as the drive frequency, and a frequency divider circuit for dividing the generated signal into four. A pulse conversion circuit 4 for converting the pulses into φ1, φ2, φ3, and φ4, a transformer, a switching transistor, and the like, and the above φ1, φ2, φ3,
By switching the transformer with the φ4 signal,
Two-phase AC voltage VA applied to the electrodes of the ultrasonic motor 10
And a power amplifier 5 for generating VB, and a temperature sensitive resistor, various thermistor chips, etc., for example, and are provided in the vicinity of an ultrasonic motor 10 for detecting the temperature by detecting a change in the resistance value. The temperature sensor 8 serving as a temperature detecting means and an ultrasonic motor 10 or an MR sensor, a photo interrupter or the like mounted on a driven mechanism 11 such as a lens barrel driven by the ultrasonic motor 10 are configured to rotate. A frequency control for determining the oscillation frequency of the signal φUSR generated by the oscillation circuit 3 by the output of the rotary encoder 9 which outputs a pulse proportional to the quantity, the output of the temperature sensor 8, the rotary encoder 9 and the like and the output of the memory 6 which is a storage means. The oscillation control circuit 7 as a means constitutes a main part thereof.
【００１６】図５は、上記発振回路３から出力された信
号φUSR，パルス変換回路４から出力されたパルスφ1，
φ2，φ3，φ4，電力増幅回路５から出力された交流電
圧ＶA，ＶBの波形をそれぞれ示したものである。FIG. 5 shows the signal φUSR output from the oscillation circuit 3 and the pulse φ1 output from the pulse conversion circuit 4.
The waveforms of φ2, φ3, φ4 and the AC voltages VA and VB output from the power amplifier circuit 5 are shown respectively.
【００１７】図示のように、信号φUSRは駆動周波数の
約４倍の周波数のパルスであり、φ1はこのφUSRのパル
スの駆動周波数内の１番目のパルス，φ2は３番目のパ
ルス，φ3は２番目のパルス，φ4は４番目のパルスをそ
れぞれ分周したものである。また、超音波モータ１０の
電極に印加される交流電圧ＶA，ＶBは、それぞれ互いに
９０度位相がずれたものとなっている。As shown in the figure, the signal φUSR is a pulse whose frequency is about four times the driving frequency, φ1 is the first pulse within the driving frequency of this φUSR pulse, φ2 is the third pulse, and φ3 is 2 The fourth pulse, φ4, is the frequency division of the fourth pulse. Further, the AC voltages VA and VB applied to the electrodes of the ultrasonic motor 10 are 90 degrees out of phase with each other.
【００１８】次に、上記メモリ６内には、超音波モータ
１０を駆動するための下限周波数がデータとして格納さ
れているが、このデータがどのように決定されているか
を、図３および図４を参照して説明する。被駆動機構１
１等の負荷をかけた状態での超音波モータ１０の周波数
と回転数との関係は、図４に示すようになっている。す
なわち、超音波モータ１０は、ある特定の周波数つまり
共振周波数で回転数のピークを示し、この共振周波数よ
りも駆動周波数が低下すると、回転数は非常に急激に低
下する。そのためにこの第１実施例では、超音波モータ
が良好に駆動することができる周波数として、下限周波
数を設定している。一方、上記共振周波数よりも駆動周
波数が高くなると、周波数が低下した場合ほどではない
がやはり回転数が低下する。従って駆動周波数が共振周
波数よりも高い場合には、周波数を下げることで回転数
を上げることができる。また、同図に示すように、共振
周波数は、低温においてはｆlmLであったものが、温度
が高くなるに従って低下して、中温ではｆlmM，高温で
はｆlmHになるとともに、そのピーク回転数は上昇す
る。Next, the lower limit frequency for driving the ultrasonic motor 10 is stored as data in the memory 6, and how this data is determined will be described with reference to FIGS. 3 and 4. Will be described with reference to. Driven mechanism 1
The relationship between the frequency and the rotation speed of the ultrasonic motor 10 when a load such as 1 is applied is shown in FIG. That is, the ultrasonic motor 10 exhibits a peak rotation speed at a certain specific frequency, that is, a resonance frequency, and when the driving frequency is lower than this resonance frequency, the rotation speed drops very rapidly. Therefore, in this first embodiment, the lower limit frequency is set as the frequency at which the ultrasonic motor can be driven well. On the other hand, when the drive frequency becomes higher than the resonance frequency, the rotation speed also decreases, though not so much as when the frequency decreases. Therefore, when the drive frequency is higher than the resonance frequency, the rotation speed can be increased by lowering the frequency. Further, as shown in the same figure, the resonance frequency, which was flmL at low temperature, decreases as the temperature becomes higher, becomes flmM at medium temperature and flmH at high temperature, and the peak rotational speed thereof rises. .
【００１９】このような温度依存性を考慮して設定した
下限周波数を示したのが、図３である。この図３中、符
号ｌ1は、負荷を接続していない状態での超音波モータ
単体が、良好に駆動することができる下限の周波数（こ
の下限周波数は、具体的には、ほぼ共振周波数に対応し
ていて、この図３に対して温度と共振周波数の関係を示
したものが図２である。この図２中、符号ｌr1はモータ
単体の共振周波数特性、符号ｌr2は被駆動機構の負荷を
かけた場合のオフセット値によるシフトをかけた共振周
波数特性、符号ｌrmは被駆動機構の負荷の温度特性によ
る傾きの変化を考慮した共振周波数特性をそれぞれ示し
ている。）を示したものである。図に示すように、低温
では駆動に必要な周波数は高いが、温度が上昇するに連
れてほぼ線形的に周波数が低下して常温では符号Ｏ1に
示す下限周波数となり、さらに温度が上昇するとこれよ
り低い周波数でも駆動することができるようになる。こ
の超音波モータ単体の下限周波数Ｏ1は、この第１実施
例においては、定められた温度で測定されたものであ
る。FIG. 3 shows the lower limit frequency set in consideration of such temperature dependence. In FIG. 3, reference numeral l1 is a lower limit frequency at which the ultrasonic motor alone can be satisfactorily driven in a state in which no load is connected (the lower limit frequency specifically corresponds to the resonance frequency). 2 shows the relationship between temperature and resonance frequency with respect to Fig. 3. In Fig. 2, reference numeral lr1 is the resonance frequency characteristic of the motor alone, and reference numeral lr2 is the load of the driven mechanism. The reference numeral lrm indicates the resonance frequency characteristic shifted by the offset value when applied, and the reference numeral lrm indicates the resonance frequency characteristic considering the change of the inclination due to the temperature characteristic of the load of the driven mechanism. As shown in the figure, the frequency required for driving is high at low temperature, but the frequency decreases almost linearly as the temperature rises, and reaches the lower limit frequency indicated by symbol O1 at room temperature, and when the temperature further rises, It becomes possible to drive at a low frequency. The lower limit frequency O1 of the ultrasonic motor alone is measured at a predetermined temperature in the first embodiment.
【００２０】このような符号ｌ1に示した特性は、上述
のように、負荷を考慮に入れたものではないが、実際に
は超音波モータ１０には負荷たる被駆動機構１１が接続
されている。そのため、このような被駆動機構１１を考
慮に入れ、さらにその個体差も考慮に入れたシフト量
が、符号Ｏ2に示したものである。このシフト量Ｏ2は、
被駆動機構１１の常温における駆動周波数の変動量を、
あらかじめ実験で求めたものであり、上記ｌ1に示した
下限周波数をほぼ全体的に上にシフトするもので、その
結果符号ｌ2に示すものとなる。As described above, the characteristic indicated by reference numeral l1 does not take the load into consideration, but in reality, the ultrasonic motor 10 is connected to the driven mechanism 11 as a load. . Therefore, the shift amount in consideration of the driven mechanism 11 and the individual difference thereof is indicated by the symbol O2. This shift amount O2 is
The fluctuation amount of the driving frequency of the driven mechanism 11 at room temperature is
It is obtained in advance by an experiment, and the lower limit frequency shown in the above l1 is almost entirely shifted upward, and as a result, it becomes the one shown in the reference numeral l2.
【００２１】さらに上記符号ｌ2に示した特性は、負荷
の存在自体は考慮に入れられているものの、その温度特
性まで考慮されたものではない。しかしながら、例えば
低温では、該超音波モータ１０に接続されている被駆動
機構１１のグリス等が硬化して負荷が大きくなるなどす
るため、これにともない良好に駆動することができる下
限の周波数もやや高くなる。したがって、被駆動機構１
１の温度特性を考慮に入れて実験で決められたシフト量
がＳ1であり、上記符号ｌ2に示したものにこのシフトを
行うと、図中、符号ｌmに示すような特性になる。すな
わち、このシフトＳ1は、下限周波数の温度依存性をよ
り高めるもの、つまりグラフの傾きをより傾斜させるも
のである。Further, the characteristic indicated by the reference numeral l2 takes into consideration the existence of the load itself, but does not consider the temperature characteristic thereof. However, for example, at a low temperature, the grease or the like of the driven mechanism 11 connected to the ultrasonic motor 10 is hardened and the load increases, and accordingly, the lower limit frequency that can be favorably driven is also somewhat high. Get higher Therefore, the driven mechanism 1
The shift amount experimentally determined in consideration of the temperature characteristic of No. 1 is S1, and when this shift is applied to the one indicated by the reference numeral l2, the characteristic indicated by the reference numeral lm in the drawing is obtained. That is, the shift S1 further increases the temperature dependence of the lower limit frequency, that is, further increases the inclination of the graph.
【００２２】このようにして種々のシフト量を考慮して
求められた最終的な下限周波数の温度特性ｌmを上記メ
モリ６に書き込むようになっている。なお、シフト量Ｏ
2およびＳ1は、上述のように実験等で定められた一定の
数値でよい。特に、被駆動機構９が単純な構成の場合は
このような方法で十分である。In this way, the final temperature characteristic lm of the lower limit frequency obtained in consideration of various shift amounts is written in the memory 6. The shift amount O
2 and S1 may be constant numerical values determined by experiments as described above. In particular, when the driven mechanism 9 has a simple structure, such a method is sufficient.
【００２３】次に、図６のフローチャートを参照して、
発振制御回路７の動作を詳細に説明する。超音波モータ
１０を駆動する前に、まず温度センサ８により該超音波
モータ１０近傍の温度を検出する（Ｓ１）。次に、メモ
リ６から、上述のように決定された周波数の下限周波数
を読み出す（Ｓ２）。そして、上記下限周波数よりも高
いある周波数を起動周波数として、これを発振回路３に
発振させる（Ｓ３）。この後、超音波モータ１０をオン
して（Ｓ４）、該モータ１０の回転が始まる。Next, referring to the flowchart of FIG.
The operation of the oscillation control circuit 7 will be described in detail. Before driving the ultrasonic motor 10, the temperature sensor 8 first detects the temperature in the vicinity of the ultrasonic motor 10 (S1). Next, the lower limit frequency of the frequency determined as described above is read from the memory 6 (S2). Then, the oscillation circuit 3 is caused to oscillate by using a certain frequency higher than the lower limit frequency as the starting frequency (S3). After that, the ultrasonic motor 10 is turned on (S4), and the rotation of the motor 10 starts.
【００２４】次に、回転させるべきパルス数の残り量が
多いか否かを判断し（Ｓ５）、残り駆動量が多い場合は
目標速度を高く設定し（Ｓ６）、一方、残り駆動量が少
ない場合は目標速度を低く設定する（Ｓ７）。Next, it is judged whether or not the remaining amount of the number of pulses to be rotated is large (S5), and if the remaining driving amount is large, the target speed is set high (S6), while the remaining driving amount is small. In this case, the target speed is set low (S7).
【００２５】次に、回転エンコーダ９から出力されたパ
ルスの間隔等に基づいて速度を読み出し（Ｓ８）、それ
が上記設定された目標速度よりも大きいか小さいかを判
断する（Ｓ９）。現在の駆動速度が目標速度よりも小さ
い場合は、さらに上記メモリ６から読み出した下限周波
数よりも高いかどうかを判断し（Ｓ１０）、高くない場
合はそのままの速度で駆動させ、まだ下限周波数よりも
高い場合には周波数を低下させてモータの回転数を上げ
る（Ｓ１１）（図４参照）。一方、速度が目標速度より
大きいときは、周波数を上昇させてモータの回転数を下
げる（Ｓ１２）（図４参照）。Next, the speed is read out based on the pulse interval output from the rotary encoder 9 (S8), and it is determined whether the speed is higher or lower than the set target speed (S9). If the current drive speed is lower than the target speed, it is further judged whether or not it is higher than the lower limit frequency read from the memory 6 (S10). If it is higher, the frequency is lowered to increase the rotation speed of the motor (S11) (see FIG. 4). On the other hand, when the speed is higher than the target speed, the frequency is increased and the rotation speed of the motor is decreased (S12) (see FIG. 4).
【００２６】その後、残り駆動量がゼロか否かを判断し
て（Ｓ１３）、ゼロでなければステップＳ５へ戻り、ゼ
ロならば超音波モータ１０をオフして（Ｓ１４）から終
了する。Thereafter, it is judged whether or not the remaining drive amount is zero (S13), and if not zero, the process returns to step S5, and if it is zero, the ultrasonic motor 10 is turned off (S14) and the process is ended.
【００２７】なお、上記残り駆動量は、図示しないカウ
ンタに回転エンコーダ９のパルスが入力されており、そ
のカウンタ値の読み出しで得られるようになっている。
また、駆動速度も上記回転エンコーダ９のパルス間隔を
計測する図示しないタイマーカウンタにより得られる。The remaining drive amount is obtained by reading the counter value when the pulse of the rotary encoder 9 is input to a counter (not shown).
The driving speed is also obtained by a timer counter (not shown) that measures the pulse interval of the rotary encoder 9.
【００２８】このような第１実施例によれば、被駆動部
材のグリス等の温度による硬度変化等に起因する負荷特
性の変化をも考慮して下限周波数を設定しているため
に、周波数を高出力の出る共振周波数付近まで変化させ
た場合にも、この共振周波数より低い周波数領域に落ち
込んで急激に回転数が減少して停止してしまうことがな
い。また、モニタ電極を用いていないために、超音波モ
ータをコストダウンすることができる。さらに、被駆動
部材の負荷による駆動周波数のオフセット分を単体毎に
補正しているため、量産時の性能のバラツキを防止する
ことができる。このようにして、負荷が温度により変化
した場合にも最適な制御が可能な、超音波モータや被駆
動部材の個体差による周波数特性のばらつきを補正する
ことができる低コストな超音波モータの駆動回路とする
ことができる。According to the first embodiment as described above, the lower limit frequency is set in consideration of the change in the load characteristics due to the change in hardness of the driven member due to the temperature and the like. Even when the resonance frequency is changed to near the high output frequency, the frequency does not fall below the resonance frequency and the rotation speed does not suddenly decrease and stop. Moreover, since the monitor electrode is not used, the cost of the ultrasonic motor can be reduced. Further, since the offset of the drive frequency due to the load of the driven member is corrected for each individual unit, it is possible to prevent variations in performance during mass production. In this way, it is possible to perform optimal control even when the load changes due to temperature, and to drive a low-cost ultrasonic motor that can correct variations in frequency characteristics due to individual differences in the ultrasonic motor and driven members. It can be a circuit.
【００２９】図７ないし図９は本発明の第２実施例を示
したものである。この第２実施例は上述の第１実施例と
ほとんど同様であるので、主として異なる部分について
のみを説明する。7 to 9 show a second embodiment of the present invention. Since the second embodiment is almost the same as the above-mentioned first embodiment, mainly different parts will be described.
【００３０】この第２実施例の超音波モータの駆動回路
は、図７に示すように、上記第１実施例で用いていたメ
モリ６の代わりに、第１メモリ６ａと第２メモリ６ｂの
２つのメモリを備えた所が異なっているだけである。そ
して、例えば第２記憶手段たる第１メモリ６ａはＥＥＰ
ＲＯＭ、第１記憶手段たる第２メモリ６ｂはＲＯＭ等で
それぞれ構成されている。As shown in FIG. 7, the ultrasonic motor drive circuit of the second embodiment has two memory units, a first memory 6a and a second memory 6b, instead of the memory 6 used in the first embodiment. The only difference is that it has two memories. Then, for example, the first memory 6a serving as the second storage means is EEP
The ROM and the second memory 6b, which is the first storage means, are each configured by a ROM or the like.
【００３１】この第２実施例においては、超音波モータ
１０とその被駆動機構１１を一体的に組み立てた状態
で、その時の温度Ｔ0と、その時の下限周波数ｆ0を第１
メモリ６ａに書き込んでおく。In the second embodiment, the temperature T0 at that time and the lower limit frequency f0 at that time are set to the first value with the ultrasonic motor 10 and its driven mechanism 11 assembled together.
It is written in the memory 6a.
【００３２】一方、超音波モータ１０と被駆動機構１１
を一体にした場合の下限周波数についての常温（ある定
められた温度）を基準とした周波数シフト量を、固定的
に第２メモリ６ｂに書き込んでおく。このとき、図８に
示すように、例えば上記組立時の温度Ｔ0でのシフト量
はｆs0となり、また駆動時の検出温度Ｔ1におけるシフ
ト量はｆs1などとなる。On the other hand, the ultrasonic motor 10 and the driven mechanism 11
The frequency shift amount based on the room temperature (certain temperature) for the lower limit frequency in the case of integrating the above is fixedly written in the second memory 6b. At this time, as shown in FIG. 8, for example, the shift amount at the temperature T0 during assembly is fs0, and the shift amount at the detected temperature T1 during driving is fs1.
【００３３】次にこの第２実施例の発振制御回路７の動
作を、図９を参照して説明する。駆動モードに入ると、
まず温度Ｔ1を検出し（Ｓ２１）、第１メモリ６ａから
調整時の温度Ｔ0および下限周波数ｆ0を読み出す（Ｓ２
２）。次に、第２メモリ６ｂから温度Ｔ0に対応した周
波数シフト量ｆs0および温度Ｔ1に対応したｆs1を読み
出す（Ｓ２３）。次に下限周波数ｆを、ｆ＝ｆ0−ｆs1
＋ｆs0の計算式により算出する（Ｓ２４）（図８参
照）。そしてこの算出された周波数ｆを下限周波数とし
て設定する（Ｓ２５）。Next, the operation of the oscillation control circuit 7 of the second embodiment will be described with reference to FIG. When you enter the drive mode,
First, the temperature T1 is detected (S21), and the temperature T0 during adjustment and the lower limit frequency f0 are read from the first memory 6a (S2).
2). Next, the frequency shift amount fs0 corresponding to the temperature T0 and the fs1 corresponding to the temperature T1 are read from the second memory 6b (S23). Next, the lower limit frequency f is set to f = f0-fs1
It is calculated by the calculation formula of + fs0 (S24) (see FIG. 8). Then, the calculated frequency f is set as the lower limit frequency (S25).
【００３４】そして、この下限周波数ｆよりも高いある
周波数を起動周波数として、これを発振回路３に発振さ
せる（Ｓ２６）。この後、超音波モータ１０をオンして
（Ｓ２７）、該モータ１０の回転が始まる。Then, a certain frequency higher than the lower limit frequency f is set as a starting frequency and the oscillation circuit 3 oscillates this (S26). After that, the ultrasonic motor 10 is turned on (S27), and the rotation of the motor 10 starts.
【００３５】次に、回転させるべきパルス数の残り量が
多いか否かを判断し（Ｓ２８）、残り駆動量が多い場合
は目標速度を高く設定し（Ｓ２９）、一方、残り駆動量
が少ない場合は目標速度を低く設定する（Ｓ３０）。Next, it is judged whether or not the remaining amount of the number of pulses to be rotated is large (S28), and if the remaining driving amount is large, the target speed is set high (S29), while the remaining driving amount is small. In this case, the target speed is set low (S30).
【００３６】次に、回転エンコーダ９から出力されたパ
ルスの間隔等に基づいて速度を読み出して（Ｓ３１）、
それが設定された上記目標速度よりも大か小かを判断す
る（Ｓ３２）。現在の駆動速度が目標速度よりも小さい
場合は、さらに上記算出した下限周波数ｆよりも高いか
どうかを判断し（Ｓ３３）、高くない場合はそのままの
速度で駆動させ、まだ下限周波数ｆよりも高い場合には
周波数を低下させてモータの回転数を上げる（Ｓ３４）
（図４参照）。一方、現在の駆動速度が目標速度より大
きいときは、周波数を上昇させてモータの回転数を下げ
る（Ｓ３５）（図４参照）。Next, the speed is read out based on the pulse interval output from the rotary encoder 9 (S31),
It is determined whether it is higher or lower than the set target speed (S32). If the current drive speed is lower than the target speed, it is further determined whether or not it is higher than the lower limit frequency f calculated above (S33). If it is not higher, it is driven at the same speed and still higher than the lower limit frequency f. In that case, the frequency is lowered to increase the rotation speed of the motor (S34).
(See Figure 4). On the other hand, when the current drive speed is higher than the target speed, the frequency is increased and the rotation speed of the motor is decreased (S35) (see FIG. 4).
【００３７】その後、残り駆動量がゼロか否かを判断し
て（Ｓ３６）、ゼロでなければステップＳ２８へ戻り、
ゼロならば超音波モータ１０をオフして（Ｓ３７）から
終了する。Thereafter, it is judged whether or not the remaining drive amount is zero (S36). If it is not zero, the process returns to step S28,
If it is zero, the ultrasonic motor 10 is turned off (S37) and the process ends.
【００３８】このような第２実施例によれば、上記第１
実施例とほぼ同様の効果を有するとともに、被駆動機構
が複雑でその負荷のオフセットのばらつきが大きいもの
であっても、最適な駆動周波数で超音波モータを駆動す
ることができる。According to such a second embodiment, the first
The ultrasonic motor can be driven at an optimum driving frequency even if the driven mechanism is complicated and the load offset varies widely, while having substantially the same effect as the embodiment.
【００３９】図１０，図１１は本発明の第３実施例を示
したものである。この第３実施例は上記第１，第２実施
例とほとんど同様であるで、主として異なる部分のみを
説明する。この第３実施例は、超音波モータの駆動回路
をレンズ交換可能な一眼レフカメラのレンズ駆動に用い
る場合を示したものである。10 and 11 show a third embodiment of the present invention. The third embodiment is almost the same as the first and second embodiments, and therefore only different parts will be described. The third embodiment shows a case where a drive circuit of an ultrasonic motor is used for driving a lens of a single-lens reflex camera with interchangeable lenses.
【００４０】この第３実施例の回路構成は、図１０に示
すように、上記第２実施例とほぼ同様であるが、発振制
御回路がＬＣＰＵ７ａとＢＣＰＵ７ｂで構成されてい
て、発振回路３がボディ１５内に、その他の回路がレン
ズ１６内に、分散配置されていることろが異なる点であ
る。As shown in FIG. 10, the circuit configuration of the third embodiment is substantially the same as that of the second embodiment, except that the oscillation control circuit is composed of the LCPU 7a and the BCPU 7b, and the oscillation circuit 3 is the body. The difference is that other circuits are arranged in the lens 16 in a distributed manner in the lens 16.
【００４１】また発振回路３で発生したパルスφUSR
は、接点１７ａを介してボディ１５からレンズ１６へ供
給され、レンズ側ＣＰＵ（以下、ＬＣＰＵと略記する）
７ａとボディ側ＣＰＵ（以下、ＢＣＰＵと略記する）７
ｂは、接点１７ｂを介して信号を伝達することにより一
体的に動作するようになっている。また、発振制御のほ
とんどをＬＣＰＵ７ａが行い、これに対しＢＣＰＵ７ｂ
は、該ＬＣＰＵ７ａからの制御コマンドにより、発振回
路３の初期化や周波数のアップ・ダウンを行うものであ
る。Further, the pulse φUSR generated in the oscillation circuit 3
Is supplied from the body 15 to the lens 16 via the contact point 17a, and the lens side CPU (hereinafter, abbreviated as LCPU)
7a and CPU on the body side (hereinafter abbreviated as BCPU) 7
b is integrally operated by transmitting a signal through the contact 17b. Also, most of the oscillation control is performed by the LCPU 7a, while the BCPU 7b
Is for initializing the oscillation circuit 3 and for increasing / decreasing the frequency by a control command from the LCPU 7a.
【００４２】また、発振回路３は、高周波発振器を分周
して周波数を決定するデジタル発振回路であり、その周
波数変化は原振の周期の単位で不連続的である。The oscillating circuit 3 is a digital oscillating circuit that determines the frequency by dividing the frequency of the high frequency oscillator, and the frequency change is discontinuous in the unit of the cycle of the original vibration.
【００４３】次に、上記ＬＣＰＵ７ａの動作を、図１１
を参照して説明する。駆動モードに入ると、まず温度
（Ｔ1）を検出し（Ｓ４１）、調整時の温度Ｔ0、および
周波数の基準値からのアップ・ダウン数ｎｆ0を第１メ
モリ６ａから読み出す（Ｓ４３）。Next, the operation of the LCPU 7a will be described with reference to FIG.
Will be described with reference to. When the drive mode is entered, the temperature (T1) is first detected (S41), and the temperature T0 at the time of adjustment and the up / down number nf0 from the reference value of the frequency are read from the first memory 6a (S43).
【００４４】ここで、アップ・ダウン数ｎｆ0とは、あ
る周波数、例えば４３ＫＨｚを基準周波数として、そこ
から原振何個分をアップまたはダウンさせるかを示す数
である。原振が約１８ＭＨｚであれば、４３ＫＨｚ近傍
では約０．１ＫＨｚの単位で周波数が変化することにな
る。アップ・ダウン数ｎｆ0は、温度Ｔ0の場合、下限周
波数は上記基準周波数から何単位分アップまたはダウン
させるかを示す。＋がアップ、−はダウンとする。Here, the up / down number nf0 is a number indicating how many original vibrations are moved up or down from a certain frequency, for example, 43 KHz as a reference frequency. If the original vibration is about 18 MHz, the frequency changes in the unit of about 0.1 KHz in the vicinity of 43 KHz. The up / down number nf0 indicates how many units the lower limit frequency is raised or lowered from the reference frequency in the case of the temperature T0. + Is up and-is down.
【００４５】次に、Ｔ0対応のアップ・ダウン数ｎｆs0
およびＴ1対応のｎｆs1を読み出す（Ｓ４３）。そして
下限の積算アップ・ダウン数ｎｆをｎｆs1−ｎｆs0によ
り算出して設定する（Ｓ４４）。そして、ＬＣＰＵ７ａ
からＢＣＰＵ７ｂにイニシャライズコマンドを送る（Ｓ
４５）。これは例えば８ｂｉｔシリアル通信であり、そ
のコードに基づいてＢＣＰＵ７ｂは、発振回路３の発振
周波数を基準周波数の約４倍（例えばφ1，φ2，φ3，
φ4に変換した時点で４３ＫＨｚであるならば、φUSRは
１７２ＫＨｚである。）とする。Next, the up / down number nfs0 corresponding to T0
And nfs1 corresponding to T1 are read (S43). Then, the lower limit integrated up / down number nf is calculated and set by nfs1-nfs0 (S44). And the LCPU 7a
Sends an initialization command from the BCPU 7b (S
45). This is, for example, 8-bit serial communication, and based on the code, the BCPU 7b causes the oscillation frequency of the oscillation circuit 3 to be about four times the reference frequency (for example, φ1, φ2, φ3,
If it is 43 KHz when converted to φ4, φUSR is 172 KHz. ).
【００４６】次に、ＬＣＰＵ７ａはＢＣＰＵ７ｂに対し
て、起動周波数に対応するｎｆs回のアップ・ダウンコ
マンドを送信し、これにより初期周波数がセットされる
（Ｓ４６）。この後、超音波モータ１０をオンして（Ｓ
４７）、該モータ１０の回転が始まる。Next, the LCPU 7a transmits nfs up / down commands corresponding to the starting frequency to the BCPU 7b, whereby the initial frequency is set (S46). After that, the ultrasonic motor 10 is turned on (S
47), the rotation of the motor 10 starts.
【００４７】次に、回転させるべきパルス数の残り量が
多いか否かを判断し（Ｓ４８）、残り駆動量が多い場合
は目標速度を高く設定し（Ｓ４９）、一方、残り駆動量
が少ない場合は目標速度を低く設定する（Ｓ５０）。Next, it is judged whether or not the remaining amount of the number of pulses to be rotated is large (S48), and if the remaining driving amount is large, the target speed is set high (S49), while the remaining driving amount is small. In this case, the target speed is set low (S50).
【００４８】次に、回転エンコーダ９から出力されたパ
ルスの間隔等に基づいて速度を読み出し（Ｓ５１）、そ
れが設定された上記目標速度よりも大きいか小さいかを
判断する（Ｓ５２）。現在の駆動速度が目標速度よりも
小さい場合は、さらに上記積算アップ・ダウン数ｎｆに
より下限周波数よりも高いかどうかを判断し（Ｓ５
３）、高くない場合はそのままの速度で駆動させ、まだ
下限周波数よりも高い場合にはＢＣＰＵ７ｂにコマンド
送信をして周波数をダウンさせる（Ｓ５４）。一方、速
度が目標速度より大きいときは、ＢＣＰＵ７ｂにコマン
ド送信をして周波数をアップさせる（Ｓ５５）。Next, the speed is read out based on the pulse interval output from the rotary encoder 9 (S51), and it is determined whether the speed is higher or lower than the set target speed (S52). If the current drive speed is lower than the target speed, it is further determined whether or not it is higher than the lower limit frequency based on the integrated up / down number nf (S5).
3) If it is not higher than the lower limit frequency, it is driven at the same speed. If it is still higher than the lower limit frequency, a command is transmitted to the BCPU 7b to lower the frequency (S54). On the other hand, when the speed is higher than the target speed, a command is transmitted to the BCPU 7b to increase the frequency (S55).
【００４９】その後、残り駆動量がゼロか否かを判断し
て（Ｓ５６）、ゼロでなければステップＳ４８へ戻り、
ゼロならば超音波モータ１０をオフして（Ｓ５７）から
終了する。Thereafter, it is judged whether or not the remaining drive amount is zero (S56). If it is not zero, the process returns to step S48,
If it is zero, the ultrasonic motor 10 is turned off (S57) and the process ends.
【００５０】なお、周波数の変化は、例えば図１２にそ
の一例を示すように不連続的であり、マイナスシフト方
向には、下限周波数よりも低くならないように積算アッ
プ・ダウン数ｎｆにより禁止領域が設けられている。Note that the frequency change is discontinuous, as shown in an example in FIG. 12, and in the negative shift direction, the prohibition region is set by the cumulative up / down number nf so as not to become lower than the lower limit frequency. It is provided.
【００５１】また、ボディ発振回路３は、発振子のばら
つきを補正してより正確に絶対的な周波数を発生する分
周補正値を、図示しないボディ内メモリに記憶しておい
てもよい。Further, the body oscillator circuit 3 may store a frequency division correction value for correcting the variation of the oscillator and more accurately generating an absolute frequency, in a body memory (not shown).
【００５２】このような第３実施例によれば、上記第
１，第２実施例とほぼ同様の効果を有するとともに、消
費電流の大きい発振回路をボディ内に設けているため、
ボディ内の高周波回路と一体的に構成できて電力効率が
良い。また、基準値からのアップダウン数により周波数
を表現しているため、ＬＣＰＵ７ａとＢＣＰＵ７ｂの間
のコマンドが単純ですみ、データのビット数も少なくて
すむ。さらに、超音波モータや被駆動機構に固有のメモ
リをレンズ内に有しているため、レンズを交換した場合
にも、そのレンズに応じた最適な値を常に得ることがで
きる。According to the third embodiment as described above, the oscillator circuit which has substantially the same effect as the first and second embodiments and which consumes a large amount of current is provided in the body.
Power efficiency is good because it can be integrated with the high frequency circuit in the body. Further, since the frequency is expressed by the number of ups and downs from the reference value, the command between the LCPU 7a and the BCPU 7b can be simple and the number of bits of data can be small. Further, since the lens has a memory unique to the ultrasonic motor and the driven mechanism, it is possible to always obtain an optimum value according to the lens even when the lens is exchanged.
【００５３】なお、上記第１，第２，第３実施例におい
て、交流電圧ＶA，ＶBの発生方法はφUSRを分周する方
法を用いているが、これに限るものではない。また、温
度センサも感温抵抗やサーミスタ以外の他のものを用い
ても良いことはいうまでもない。さらに、周波数範囲の
上限／下限を設けて共に温度補正してもよい。また、周
波数を下限値に固定して電圧を変化させたり、スイッチ
ングパルスφ1，φ2，φ3，φ4の振幅を変えて速度制御
することも可能である。In the first, second and third embodiments described above, the method of generating AC voltages VA and VB is a method of dividing φUSR, but the method is not limited to this. Needless to say, a temperature sensor other than the temperature sensitive resistor or the thermistor may be used. Further, both the upper and lower limits of the frequency range may be set and the temperature may be corrected together. It is also possible to fix the frequency at the lower limit value and change the voltage, or change the amplitude of the switching pulses φ1, φ2, φ3, and φ4 to control the speed.
【００５４】[0054]
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、負
荷が温度により変化した場合にも最適な制御が可能な、
超音波モータや被駆動部材の個体差による周波数特性の
ばらつきを補正することができる低コストな超音波モー
タの駆動回路を提供することができる。As described above, according to the present invention, optimum control is possible even when the load changes with temperature.
It is possible to provide a low-cost ultrasonic motor drive circuit that can correct variations in frequency characteristics due to individual differences in ultrasonic motors and driven members.
【図１】本発明の第１実施例の超音波モータの駆動回路
を示すブロック図。FIG. 1 is a block diagram showing a drive circuit for an ultrasonic motor according to a first embodiment of the present invention.
【図２】上記第１実施例の超音波モータの駆動回路の、
温度による共振周波数の変化を示す線図。FIG. 2 is a diagram showing the drive circuit of the ultrasonic motor of the first embodiment,
A diagram showing a change in resonance frequency with temperature.
【図３】上記第１実施例の超音波モータの駆動回路の、
温度による下限周波数の変化を示す線図。FIG. 3 is a diagram showing the drive circuit of the ultrasonic motor of the first embodiment,
FIG. 6 is a diagram showing a change in lower limit frequency with temperature.
【図４】上記第１実施例の超音波モータの駆動回路の、
周波数による回転数の変化を示す線図。FIG. 4 is a diagram showing the drive circuit of the ultrasonic motor of the first embodiment,
The diagram which shows the change of the rotation speed by frequency.
【図５】上記第１実施例の超音波モータの駆動回路の各
回路の出力波形を示すタイミングチャート。FIG. 5 is a timing chart showing an output waveform of each circuit of the drive circuit for the ultrasonic motor of the first embodiment.
【図６】上記第１実施例の超音波モータの駆動回路の動
作を示すフローチャート。FIG. 6 is a flowchart showing the operation of the drive circuit for the ultrasonic motor of the first embodiment.
【図７】本発明の第２実施例の超音波モータの駆動回路
を示すブロック図。FIG. 7 is a block diagram showing a drive circuit for an ultrasonic motor according to a second embodiment of the present invention.
【図８】上記第２実施例の超音波モータの駆動回路の、
温度による周波数シフト量の変化を示す線図。FIG. 8 shows a drive circuit for the ultrasonic motor of the second embodiment,
FIG. 6 is a diagram showing a change in frequency shift amount depending on temperature.
【図９】上記第２実施例の超音波モータの駆動回路の動
作を示すフローチャート。FIG. 9 is a flowchart showing the operation of the drive circuit for the ultrasonic motor of the second embodiment.
【図１０】本発明の第３実施例の超音波モータの駆動回
路を示すブロック図。FIG. 10 is a block diagram showing a drive circuit for an ultrasonic motor according to a third embodiment of the present invention.
【図１１】上記第３実施例の超音波モータの駆動回路の
動作を示すフローチャート。FIG. 11 is a flowchart showing the operation of the drive circuit for the ultrasonic motor of the third embodiment.
【図１２】上記第３実施例の超音波モータの駆動回路の
周波数のアップダウン数の時間変化の一例を示す線図。FIG. 12 is a diagram showing an example of a change with time in the number of frequency ups and downs of the drive circuit for the ultrasonic motor of the third embodiment.
３…発振回路 ６…メモリ（記憶手段） ６ａ…第１メモリ（第２記憶手段） ６ｂ…第２メモリ（第１記憶手段） ７…発振制御回路（周波数制御手段） ８…温度センサ（温度検知手段） １０…超音波モータ １１…被駆動機構（被駆動部材） 3 ... Oscillation circuit 6 ... Memory (storage means) 6a ... First memory (second storage means) 6b ... Second memory (first storage means) 7 ... Oscillation control circuit (frequency control means) 8 ... Temperature sensor (temperature detection Means) 10 ... Ultrasonic motor 11 ... Driven mechanism (driven member)
Claims (2)
超音波振動を被駆動部材の駆動力として用いる超音波モ
ータの駆動回路において、 上記超音波モータの近傍に配置された温度検知手段と、 この温度検知手段に対応する上記交流電圧の周波数を記
憶する記憶手段と、 上記温度検知手段の出力および記憶手段の記憶値に基づ
いて上記交流電圧の駆動周波数を制御する周波数制御手
段と、 を具備しており、上記記憶手段の記憶値は、上記超音波
モータ単体の温度特性と、これにより駆動される被駆動
部材の負荷温度特性によるシフト量とを加算した値であ
ることを特徴とする超音波モータの駆動回路。1. A drive circuit for an ultrasonic motor, which uses ultrasonic vibration generated by applying an AC voltage to a piezoelectric element as a driving force for a driven member, and a temperature detection means arranged in the vicinity of the ultrasonic motor. Storage means for storing the frequency of the AC voltage corresponding to the temperature detection means, and frequency control means for controlling the drive frequency of the AC voltage based on the output of the temperature detection means and the storage value of the storage means. The storage value of the storage means is a value obtained by adding a temperature characteristic of the ultrasonic motor alone and a shift amount due to a load temperature characteristic of a driven member driven by the ultrasonic motor. Ultrasonic motor drive circuit.
超音波振動を被駆動部材の駆動力として用いる超音波モ
ータの駆動回路において、 上記超音波モータの近傍に配置された温度検知手段と、 この温度検知手段の検知温度に対応した、基準温度にお
ける上記交流電圧の周波数からのシフト量を記憶する第
１記憶手段と、 上記超音波モータを組み立てた後の、所定の条件下にお
ける駆動により決定した上記交流電圧の周波数および該
駆動時の検出温度を記憶する第２記憶手段と、 上記温度検知手段の出力と、第１記憶手段および第２記
憶手段の記憶値に基づいて上記交流電圧の周波数を制御
する周波数制御手段と、 を具備することを特徴とする超音波モータの駆動回路。2. A driving circuit for an ultrasonic motor, which uses ultrasonic vibration generated by applying an AC voltage to a piezoelectric element as a driving force for a driven member, and a temperature detecting means arranged in the vicinity of the ultrasonic motor. The first storage means for storing the shift amount from the frequency of the AC voltage at the reference temperature corresponding to the temperature detected by the temperature detection means, and the drive under predetermined conditions after the ultrasonic motor is assembled. Second storage means for storing the determined frequency of the AC voltage and the detected temperature during the driving, the output of the temperature detection means, and the stored value of the first storage means and the second storage means for the AC voltage. A drive circuit for an ultrasonic motor, comprising: a frequency control unit that controls a frequency.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5079612A JPH06296378A (en) | 1993-04-06 | 1993-04-06 | Drive circuit of ultrasonic motor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5079612A JPH06296378A (en) | 1993-04-06 | 1993-04-06 | Drive circuit of ultrasonic motor |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06296378A true JPH06296378A (en) | 1994-10-21 |
Family
ID=13694872
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5079612A Withdrawn JPH06296378A (en) | 1993-04-06 | 1993-04-06 | Drive circuit of ultrasonic motor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06296378A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US7023125B2 (en) | 2003-04-09 | 2006-04-04 | Olympus Corporation | Ultrasonic-motor driving apparatus |
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1993
- 1993-04-06 JP JP5079612A patent/JPH06296378A/en not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000704 |