JPH06292206A - 固体撮像素子式カラーカメラ - Google Patents
固体撮像素子式カラーカメラInfo
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- JPH06292206A JPH06292206A JP5078093A JP7809393A JPH06292206A JP H06292206 A JPH06292206 A JP H06292206A JP 5078093 A JP5078093 A JP 5078093A JP 7809393 A JP7809393 A JP 7809393A JP H06292206 A JPH06292206 A JP H06292206A
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- Japan
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- light
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- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 反射光を低減し、しかも製造の容易な反射防
止手段を備えた固体撮像素子式カラーカメラを提案す
る。 【構成】 入射光を複数の色の光に分解する色分解光学
手段と、その色分解光学手段によって分解された複数の
色の光をそれぞれ受光する複数の固体撮像素子とを有す
る固体撮像素子式カラーカメラにおいて、複数の固体撮
像素子それぞれに、受光する色の光に応じて、その受光
する色の光を他の色の光に比べてその反射光を低減する
反射防止膜１０を備えた光学素子を設けたものである。
止手段を備えた固体撮像素子式カラーカメラを提案す
る。 【構成】 入射光を複数の色の光に分解する色分解光学
手段と、その色分解光学手段によって分解された複数の
色の光をそれぞれ受光する複数の固体撮像素子とを有す
る固体撮像素子式カラーカメラにおいて、複数の固体撮
像素子それぞれに、受光する色の光に応じて、その受光
する色の光を他の色の光に比べてその反射光を低減する
反射防止膜１０を備えた光学素子を設けたものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は固体撮像素子式カラーカ
メラ、特に、その反射防止手段に関する。
メラ、特に、その反射防止手段に関する。
【０００２】
【従来の技術】以下に、図３及び図４を参照して、従来
の固体撮像素子式カラーカメラについて説明する。図３
は従来の固体撮像素子式カラーカメラの一例の３板式Ｃ
ＣＤ（チャージカプルドデバイス）カラーカメラを示
す。撮像レンズ５よりの入射光がダイクロイックプリズ
ム４に入射して、赤色光、緑色光及び青色光に分解さ
れ、その赤色光、緑色光及び青色光がそれぞれＣＣＤ
１、２及び３に入射して受光せしめられる。
の固体撮像素子式カラーカメラについて説明する。図３
は従来の固体撮像素子式カラーカメラの一例の３板式Ｃ
ＣＤ（チャージカプルドデバイス）カラーカメラを示
す。撮像レンズ５よりの入射光がダイクロイックプリズ
ム４に入射して、赤色光、緑色光及び青色光に分解さ
れ、その赤色光、緑色光及び青色光がそれぞれＣＣＤ
１、２及び３に入射して受光せしめられる。
【０００３】次に、これらＣＣＤ１〜３の構造を図４を
参照して説明する。金属よりなるパッケージ６の内にＣ
ＣＤチップ７が収納固定され、そのパッケージ６の単色
光が入射する開口がシールガラス（窓ガラス）９で封止
される。そして、このシールガラス９の両面にそれぞれ
多層膜から成る反射防止膜１０、１１が被着形成されて
いる。この反射防止膜１０、１１は、上述のＣＣＤ１〜
３の各パッケージ６のシールガラス９に対し、可視光全
体を反射する同じ特性のものである。又、ＣＣＤチップ
７の受光側には酸化膜／絶縁膜８が被着形成されてい
る。
参照して説明する。金属よりなるパッケージ６の内にＣ
ＣＤチップ７が収納固定され、そのパッケージ６の単色
光が入射する開口がシールガラス（窓ガラス）９で封止
される。そして、このシールガラス９の両面にそれぞれ
多層膜から成る反射防止膜１０、１１が被着形成されて
いる。この反射防止膜１０、１１は、上述のＣＣＤ１〜
３の各パッケージ６のシールガラス９に対し、可視光全
体を反射する同じ特性のものである。又、ＣＣＤチップ
７の受光側には酸化膜／絶縁膜８が被着形成されてい
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の固体撮像素子式
カラーカメラに使用される反射防止手段は、上述したよ
うに、ＣＣＤ１〜３のＣＣＤチップ７の収納されたパッ
ケージ６のシールガラス９に反射防止膜１０、１１が形
成されたものであるが、この反射防止膜１０、１１は、
上述のＣＣＤ１〜３の各パッケージ６のシールガラス９
に対し、可視光全体を反射する同じ特性のものであるの
で、層数の多い多層膜で構成しなければならない。この
ため、かかる反射防止手段はその反射率はあまり低くで
きないし、製造工程が不必要に複雑に成る。反射防止手
段の反射率を低くできにないと、フレヤやセルゴースト
が発生し易くなる。
カラーカメラに使用される反射防止手段は、上述したよ
うに、ＣＣＤ１〜３のＣＣＤチップ７の収納されたパッ
ケージ６のシールガラス９に反射防止膜１０、１１が形
成されたものであるが、この反射防止膜１０、１１は、
上述のＣＣＤ１〜３の各パッケージ６のシールガラス９
に対し、可視光全体を反射する同じ特性のものであるの
で、層数の多い多層膜で構成しなければならない。この
ため、かかる反射防止手段はその反射率はあまり低くで
きないし、製造工程が不必要に複雑に成る。反射防止手
段の反射率を低くできにないと、フレヤやセルゴースト
が発生し易くなる。
【０００５】かかる点に鑑み、本発明は、反射率が少な
く、しかも製造の容易な反射防止手段を備えた固体撮像
素子式カラーカメラを提案しようとするものである。
く、しかも製造の容易な反射防止手段を備えた固体撮像
素子式カラーカメラを提案しようとするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、入射光を複数
の色の光に分解する色分解光学手段４と、その色分解光
学手段４によって分解された複数の色の光をそれぞれ受
光する複数の固体撮像素子１、２、３とを有する固体撮
像素子式カラーカメラにおいて、複数の固体撮像素子
１、２、３それぞれに、受光する色の光に応じて、その
受光する色の光を他の色の光に比べてその反射光を低減
する反射防止膜１０を備えた光学素子を設けたものであ
る。
の色の光に分解する色分解光学手段４と、その色分解光
学手段４によって分解された複数の色の光をそれぞれ受
光する複数の固体撮像素子１、２、３とを有する固体撮
像素子式カラーカメラにおいて、複数の固体撮像素子
１、２、３それぞれに、受光する色の光に応じて、その
受光する色の光を他の色の光に比べてその反射光を低減
する反射防止膜１０を備えた光学素子を設けたものであ
る。
【０００７】この反射防止膜を備えた光学素子は、複数
の固体撮像素子１、２、３それぞれの固体撮像素子チッ
プ７の収納されたパッケージ６のガラス窓９に反射防止
膜１２、１３が形成されたもの、又は、複数の固体撮像
素子１、２、３それぞれの固体撮像素子チップ７に反射
防止膜２１、２２が形成されたもの、あるいは両者を併
用したものである。
の固体撮像素子１、２、３それぞれの固体撮像素子チッ
プ７の収納されたパッケージ６のガラス窓９に反射防止
膜１２、１３が形成されたもの、又は、複数の固体撮像
素子１、２、３それぞれの固体撮像素子チップ７に反射
防止膜２１、２２が形成されたもの、あるいは両者を併
用したものである。
【０００８】
【作用】かかる本発明によれば、複数の固体撮像素子
１、２、３それぞれに、受光する色の光に応じて、その
受光する色の光を他の色の光に比べてその反射光を低減
する反射防止光学素子を設けたので、かかる反射防止光
学素子によって、複数の固体撮像素子１、２、３それぞ
れが受光する色の光の反射光を、従来のものに比べて低
減でき、又、その製造も容易と成る。
１、２、３それぞれに、受光する色の光に応じて、その
受光する色の光を他の色の光に比べてその反射光を低減
する反射防止光学素子を設けたので、かかる反射防止光
学素子によって、複数の固体撮像素子１、２、３それぞ
れが受光する色の光の反射光を、従来のものに比べて低
減でき、又、その製造も容易と成る。
【０００９】
【実施例】以下、図１及び図２を参照して、本発明の２
つの実施例を説明するも、固体撮像素子式カラーカメラ
の全体構造及び各ＣＣＤ１、２、３の構造は従来例と略
同様であるので、その重複説明を省略する。
つの実施例を説明するも、固体撮像素子式カラーカメラ
の全体構造及び各ＣＣＤ１、２、３の構造は従来例と略
同様であるので、その重複説明を省略する。
【００１０】先ず、図１の実施例を説明する。この実施
例の反射防止光学素子は、各ＣＣＤ１、２、３のＣＣＤ
チップ７の収納されているパッケージ６のシールガラス
（窓ガラス）９の表面（上面）に反射防止膜１０を被着
形成して構成したものである。この反射防止膜１０は、
シールガラス９上に被着形成された第１のコーティング
層（例えば、酸化マグネシウムから成る）１２と、その
第１のコーティング層１２上に被着形成された第２のコ
ーティング層（例えば、フッ化カルシウムから成る）１
３から構成される。
例の反射防止光学素子は、各ＣＣＤ１、２、３のＣＣＤ
チップ７の収納されているパッケージ６のシールガラス
（窓ガラス）９の表面（上面）に反射防止膜１０を被着
形成して構成したものである。この反射防止膜１０は、
シールガラス９上に被着形成された第１のコーティング
層（例えば、酸化マグネシウムから成る）１２と、その
第１のコーティング層１２上に被着形成された第２のコ
ーティング層（例えば、フッ化カルシウムから成る）１
３から構成される。
【００１１】第１及び第２のコーティング層１２、１３
の屈折率をそれぞれｎ1 、ｎ2 とすると、 ｎ1 （酸化マグネシウム）＝１．７３ ｎ2 （フッ化カルシウム）＝１．３８ と成る。尚、シールガラス９の屈折率をｎg 、空気の屈
折率をｎ0 とする。又、第１及び第２のコーティング層
１２、１３の厚さをそれぞれｄ1 、ｄ2 とする。赤色
光、緑色光及び青色光の波長λをそれぞれ６５０ｎｍ、
５００ｎｍ、４５０ｎｍである。
の屈折率をそれぞれｎ1 、ｎ2 とすると、 ｎ1 （酸化マグネシウム）＝１．７３ ｎ2 （フッ化カルシウム）＝１．３８ と成る。尚、シールガラス９の屈折率をｎg 、空気の屈
折率をｎ0 とする。又、第１及び第２のコーティング層
１２、１３の厚さをそれぞれｄ1 、ｄ2 とする。赤色
光、緑色光及び青色光の波長λをそれぞれ６５０ｎｍ、
５００ｎｍ、４５０ｎｍである。
【００１２】かくすると、第２のコーティング層１３側
に波長λの単色光が入射したときにその反射光が最も小
さく成るには、次にの２式を満足すれば良いことが知ら
れている。
に波長λの単色光が入射したときにその反射光が最も小
さく成るには、次にの２式を満足すれば良いことが知ら
れている。
【００１３】 ｎ0 ｎ1 2＝ｎ2 2ｎg ……………………（１） ｎ1 ｄ1 ＝ｎ2 ｄ2 ＝λ／４…………（２）
【００１４】これら（１）、（２）式に上述した数値を
代入して計算すると、赤色光、緑色光及び青色光をそれ
ぞれ受光するＣＣＤ１、２、３のパッケージ６のシール
ガラス９上の第１及び第２のコーティング層１２、１３
の厚さｄ1 、ｄ2 は次のような値に成る。
代入して計算すると、赤色光、緑色光及び青色光をそれ
ぞれ受光するＣＣＤ１、２、３のパッケージ６のシール
ガラス９上の第１及び第２のコーティング層１２、１３
の厚さｄ1 、ｄ2 は次のような値に成る。
【００１５】 赤 色 光 緑 色 光 青 色 光 ｄ1 （酸化マグネシウム） ９３．９ｎｍ ７２．３ｎｍ ６５ ｎｍ ｄ2 （フッ化カルシウム） １１８ ｎｍ ９０．６ｎｍ ８１．５ｎｍ
【００１６】上述の実施例では、シールガラス９の上面
に反射防止膜１０を形成した場合であるが、シールガラ
ス９の下面又は両面に被着形成しても良い。
に反射防止膜１０を形成した場合であるが、シールガラ
ス９の下面又は両面に被着形成しても良い。
【００１７】尚、反射防止膜１０は２層でなくても、１
層又３層以上でも良い。
層又３層以上でも良い。
【００１８】次に、図２の実施例を説明する。この実施
例の反射防止光学素子は、各ＣＣＤ１、２、３のＣＣＤ
チップ７内に、反射防止膜１０を形成した場合である。
このＣＣＤチップ７の構造を説明する。１５はマトリッ
クス状に形成された画素と成る受光部、１６は各受光部
１５の列の一側に設けられた垂直転送レジスタである。
垂直転送レジスタ１６には、絶縁層を介して転送電極１
７が形成される。垂直転送レジスタ１６上には層間絶縁
層１８を介してアルミニウム膜等による遮光膜１９が被
着形成される。遮光膜１９及び受光部１５の上には有機
膜２０が形成される。有機膜２０の上には、有機層２０
上に被着形成された第１のコーティング層（ＳｉＯ
2 〈ＰＳＧ、ＢＰＳＧ）２１及びその上に被着形成され
た第２のコーティング層（プラズマＳｉＮより成るパッ
シベーション）２２から成る反射防止膜１０が被着形成
されている。この反射防止膜１０の上に平坦化層２３が
被着形成され、その上にオンチップマイクロレンズ２４
が被着形成されている。
例の反射防止光学素子は、各ＣＣＤ１、２、３のＣＣＤ
チップ７内に、反射防止膜１０を形成した場合である。
このＣＣＤチップ７の構造を説明する。１５はマトリッ
クス状に形成された画素と成る受光部、１６は各受光部
１５の列の一側に設けられた垂直転送レジスタである。
垂直転送レジスタ１６には、絶縁層を介して転送電極１
７が形成される。垂直転送レジスタ１６上には層間絶縁
層１８を介してアルミニウム膜等による遮光膜１９が被
着形成される。遮光膜１９及び受光部１５の上には有機
膜２０が形成される。有機膜２０の上には、有機層２０
上に被着形成された第１のコーティング層（ＳｉＯ
2 〈ＰＳＧ、ＢＰＳＧ）２１及びその上に被着形成され
た第２のコーティング層（プラズマＳｉＮより成るパッ
シベーション）２２から成る反射防止膜１０が被着形成
されている。この反射防止膜１０の上に平坦化層２３が
被着形成され、その上にオンチップマイクロレンズ２４
が被着形成されている。
【００１９】そして、上述の（１）式及び（２）式を満
足するように、第１及び第２のコーティング層２１、２
２の各屈折率に応じて、ＣＣＤ１、２、３で受光する赤
色光、緑色光及び青色光の波長に違いに応じて、第１及
び第２っのティング層２１、２２の厚さを選定する。
足するように、第１及び第２のコーティング層２１、２
２の各屈折率に応じて、ＣＣＤ１、２、３で受光する赤
色光、緑色光及び青色光の波長に違いに応じて、第１及
び第２っのティング層２１、２２の厚さを選定する。
【００２０】上述の実施例では、固体撮像素子式カラー
カメラとして、３板式ＣＣＤカラーカメラの場合につい
て述べたが、入射光をダイクロイックプリズムによっ
て、緑色光と、赤色光＋青色光とに分離して、２枚のＣ
ＣＤに入射せしめるようにした２板式ＣＣＤカラーカメ
ラにも本発明を適用できる。又、固体撮像素子として
は、ＣＣＤに限らず、ＢＢＤ（バケットブリゲードデバ
イス）、ＣＩＤ（チャージインジェクションデバイ
ス）、ＣＰＤ（チャージプライミングデバイス）、加速
転送ＭＯＳ型デバイス、ＣＳＤ（チャージスイープデバ
イス）、ＳＩＴ（スタッティックインダクショントラン
ジスタ）等でも良い。
カメラとして、３板式ＣＣＤカラーカメラの場合につい
て述べたが、入射光をダイクロイックプリズムによっ
て、緑色光と、赤色光＋青色光とに分離して、２枚のＣ
ＣＤに入射せしめるようにした２板式ＣＣＤカラーカメ
ラにも本発明を適用できる。又、固体撮像素子として
は、ＣＣＤに限らず、ＢＢＤ（バケットブリゲードデバ
イス）、ＣＩＤ（チャージインジェクションデバイ
ス）、ＣＰＤ（チャージプライミングデバイス）、加速
転送ＭＯＳ型デバイス、ＣＳＤ（チャージスイープデバ
イス）、ＳＩＴ（スタッティックインダクショントラン
ジスタ）等でも良い。
【００２１】
【発明の効果】上述せる本発明によれば、入射光を複数
の色の光に分解する色分解光学手段と、その色分解光学
手段によって分解された複数の色の光をそれぞれ受光す
る複数の固体撮像素子とを有する固体撮像素子式カラー
カメラにおいて、複数の固体撮像素子それぞれに、受光
する色の光に応じて、その受光する色の光を他の色の光
に比べてその反射光を低減する反射防止膜を備えた反射
防止光学素子を設けたので、反射光が低減し、しかも製
造の容易な反射防止手段を備えた固体撮像素子式カラー
カメラを得ることができる。このように、反射防止手段
の反射光が低減するので、フレヤやセルゴーストの発生
を低減することができる。
の色の光に分解する色分解光学手段と、その色分解光学
手段によって分解された複数の色の光をそれぞれ受光す
る複数の固体撮像素子とを有する固体撮像素子式カラー
カメラにおいて、複数の固体撮像素子それぞれに、受光
する色の光に応じて、その受光する色の光を他の色の光
に比べてその反射光を低減する反射防止膜を備えた反射
防止光学素子を設けたので、反射光が低減し、しかも製
造の容易な反射防止手段を備えた固体撮像素子式カラー
カメラを得ることができる。このように、反射防止手段
の反射光が低減するので、フレヤやセルゴーストの発生
を低減することができる。
【図１】本発明の実施例の反射防止光学素子（１）を示
す断面図
す断面図
【図２】実施例の反射防止光学素子（２）を示す断面図
【図３】３板式固体撮像素子（ＣＣＤ）カラーカメラを
示す配置図
示す配置図
【図４】そのカラーカメラのＣＣＤを示す断面図
１ ＣＣＤ ２ ＣＣＤ ３ ＣＣＤ ４ ダイクロイックプリズム ５ 撮像レンズ ６ パッケージ ７ ＣＣＤチップ ９ シールガラス １０ 反射防止膜 １２ コーティング層 １３ コーティング層 ２１ コーティング層 ２２ コーティング層
Claims (3)
- 【請求項１】 入射光を複数の色の光に分解する色分解
光学手段と、該色分解光学手段によって分解された複数
の色の光をそれぞれ受光する複数の固体撮像素子とを有
する固体撮像素子式カラーカメラにおいて、 上記複数の固体撮像素子それぞれに、受光する色の光に
応じて、該受光する色の光を他の色の光に比べてその反
射光を低減する反射防止膜を備えた反射防止光学素子を
設けたことを特徴とする固体撮像素子式カラーカメラ。 - 【請求項２】 上記反射防止光学素子は、上記複数の固
体撮像素子それぞれの固体撮像素子チップの収納された
パッケージのガラス窓に反射防止膜が形成されたもので
あることを特徴とする請求項１記載の固体撮像素子式カ
ラーカメラ。 - 【請求項３】 上記反射防止光学素子は、上記複数の固
体撮像素子それぞれの固体撮像素子チップに反射防止膜
が形成されたものであることを特徴とする請求項１記載
の固体撮像素子式カラーカメラ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5078093A JPH06292206A (ja) | 1993-04-05 | 1993-04-05 | 固体撮像素子式カラーカメラ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5078093A JPH06292206A (ja) | 1993-04-05 | 1993-04-05 | 固体撮像素子式カラーカメラ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06292206A true JPH06292206A (ja) | 1994-10-18 |
Family
ID=13652255
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5078093A Pending JPH06292206A (ja) | 1993-04-05 | 1993-04-05 | 固体撮像素子式カラーカメラ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06292206A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007242697A (ja) * | 2006-03-06 | 2007-09-20 | Canon Inc | 撮像装置および撮像システム |
| EP2237318A2 (en) | 2009-03-31 | 2010-10-06 | Sony Corporation | Solid-state imaging device, fabrication method thereof, imaging apparatus, and fabrication method of anti-reflection structure |
| JP2011040774A (ja) * | 2010-10-06 | 2011-02-24 | Sony Corp | 固体撮像素子、カメラモジュール及び電子機器モジュール |
| US8558158B2 (en) | 2009-11-06 | 2013-10-15 | Sony Corporation | Solid-state imaging device, manufacturing method and designing method thereof, and electronic device |
| US9279917B2 (en) | 2013-12-31 | 2016-03-08 | Samsung Display Co., Ltd. | Optical film, method of manufacturing the same, and electronic device including the same |
| WO2022009693A1 (ja) * | 2020-07-09 | 2022-01-13 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 固体撮像装置およびその製造方法 |
-
1993
- 1993-04-05 JP JP5078093A patent/JPH06292206A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007242697A (ja) * | 2006-03-06 | 2007-09-20 | Canon Inc | 撮像装置および撮像システム |
| EP2237318A2 (en) | 2009-03-31 | 2010-10-06 | Sony Corporation | Solid-state imaging device, fabrication method thereof, imaging apparatus, and fabrication method of anti-reflection structure |
| US8558158B2 (en) | 2009-11-06 | 2013-10-15 | Sony Corporation | Solid-state imaging device, manufacturing method and designing method thereof, and electronic device |
| US9419157B2 (en) | 2009-11-06 | 2016-08-16 | Sony Corporation | Solid-state imaging device, manufacturing method and designing method thereof, and electronic device |
| JP2011040774A (ja) * | 2010-10-06 | 2011-02-24 | Sony Corp | 固体撮像素子、カメラモジュール及び電子機器モジュール |
| US9279917B2 (en) | 2013-12-31 | 2016-03-08 | Samsung Display Co., Ltd. | Optical film, method of manufacturing the same, and electronic device including the same |
| WO2022009693A1 (ja) * | 2020-07-09 | 2022-01-13 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 固体撮像装置およびその製造方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |