JPH0628952Y2 - 超音波モ−タ - Google Patents
超音波モ−タInfo
- Publication number
- JPH0628952Y2 JPH0628952Y2 JP1987069914U JP6991487U JPH0628952Y2 JP H0628952 Y2 JPH0628952 Y2 JP H0628952Y2 JP 1987069914 U JP1987069914 U JP 1987069914U JP 6991487 U JP6991487 U JP 6991487U JP H0628952 Y2 JPH0628952 Y2 JP H0628952Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- elastic body
- annular
- annular portion
- vibration
- piezoelectric element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Landscapes
- Details Of Cameras Including Film Mechanisms (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、弾性体に固着された圧電素子に周波電圧を印
加することにより、弾性体表面に進行波を発生させ、こ
の弾性体表面に摩擦接触させた移動体を駆動するように
した超音波モータに関する。
加することにより、弾性体表面に進行波を発生させ、こ
の弾性体表面に摩擦接触させた移動体を駆動するように
した超音波モータに関する。
最近、電磁型モータに代わる新しいモータとして超音波
モータが脚光を浴びている。この超音波モータは原理的
に新しいというだけでなく、従来の電磁型モータにくら
べて次のような利点を有している。
モータが脚光を浴びている。この超音波モータは原理的
に新しいというだけでなく、従来の電磁型モータにくら
べて次のような利点を有している。
中心軸を必要としない。
薄型，軽量である。
磁気的影響の授受がない。
部品構成が単純で、信頼性が高い。
ギヤなしで定速，高トルクが得られる。
バックラッシュがなく位置決めが容易である。
ステータに対してロータが、回転，チャック，浮遊の
三態をとり得る。
三態をとり得る。
かくして、これらの利点を生かすべく、カメラやその他
の機器に関して種々の応用技術の研究が進められてい
る。
の機器に関して種々の応用技術の研究が進められてい
る。
第６図は「応用物理、第５４巻、第６号（１９８５）、
Ｐ．５８９〜５９０」に開示されていてる従来の代表的
な回転型超音波モータの概略図である。図中１は取付け
ベース、２はフェルト、３は円環状の圧電素子、４は弾
性金属材からなる円環状の振動板、５はスライダー、６
は回転体、７は回転シャフト、である。なお圧電素子３
と振動板４とでステータを構成しており、回転体６と回
転シャフト７とでロータを構成している。この超音波モ
ータの原理は、圧電素子３と一体化した振動板４に逆圧
電効果によって屈曲進行波を励起し、これによって発生
する表面質点の後方楕円運動軌跡の頂点に接するように
ロータを押圧配置することにより、同ロータを回転させ
るというものである。
Ｐ．５８９〜５９０」に開示されていてる従来の代表的
な回転型超音波モータの概略図である。図中１は取付け
ベース、２はフェルト、３は円環状の圧電素子、４は弾
性金属材からなる円環状の振動板、５はスライダー、６
は回転体、７は回転シャフト、である。なお圧電素子３
と振動板４とでステータを構成しており、回転体６と回
転シャフト７とでロータを構成している。この超音波モ
ータの原理は、圧電素子３と一体化した振動板４に逆圧
電効果によって屈曲進行波を励起し、これによって発生
する表面質点の後方楕円運動軌跡の頂点に接するように
ロータを押圧配置することにより、同ロータを回転させ
るというものである。
第７図は圧電素子３の分極状態を示す図である。各分極
部は、分極方向が＋−＋−…のように交互に逆向きにな
るように、リング状圧電体を分極するか、または分割し
た複数の圧電素子を分極方向が互いに逆向きになる様に
配置することによって得られる。この様な分極配置にお
いて、分極方向が互いに逆向きになった隣り合わせの１
組を１波長λに対応させる。そして、１８０°異なる位
置に各々、３／４λ，１／４λ長の未分極部（斜線部）
を配し、これらを結んだ中心線に対して対称に分極部を
ｎλ個分づつ配置する。ただし分極の向きは、円周方向
に分極方向が交互に逆向きになる様に連続的に配置す
る。
部は、分極方向が＋−＋−…のように交互に逆向きにな
るように、リング状圧電体を分極するか、または分割し
た複数の圧電素子を分極方向が互いに逆向きになる様に
配置することによって得られる。この様な分極配置にお
いて、分極方向が互いに逆向きになった隣り合わせの１
組を１波長λに対応させる。そして、１８０°異なる位
置に各々、３／４λ，１／４λ長の未分極部（斜線部）
を配し、これらを結んだ中心線に対して対称に分極部を
ｎλ個分づつ配置する。ただし分極の向きは、円周方向
に分極方向が交互に逆向きになる様に連続的に配置す
る。
この様な分極配置のうち、３／４λ，１／４λ長の未分
極部を間に挟んだ左半分の振動板に接していない面を一
つの電極でおおい、これを一方の片側共通電極とし、右
半分の振動板に接触していない面を別の電極でおおい、
これを他方の片側共通電極とする。そして、振動板側の
電極を振動板４と導通させ、すべての圧電素子のアース
側電極として共通化している。
極部を間に挟んだ左半分の振動板に接していない面を一
つの電極でおおい、これを一方の片側共通電極とし、右
半分の振動板に接触していない面を別の電極でおおい、
これを他方の片側共通電極とする。そして、振動板側の
電極を振動板４と導通させ、すべての圧電素子のアース
側電極として共通化している。
以上の様な構成体における電気信号入力端子は、三端子
Ｖ１，Ｖ２，Ｅとなる。この様な分極配置，電極配置を
有した構成体を駆動する場合には、端子Ｖ１−Ｅ，端子
Ｖ２−Ｅとの間に、互いにπ／２の位相差を有し、λ，
円環の内・外径，厚み，圧電セラミクスと振動板の平均
的弾性定数，密度，等で決定される固有振動数ωを有す
る電気信号を入力すればよい。
Ｖ１，Ｖ２，Ｅとなる。この様な分極配置，電極配置を
有した構成体を駆動する場合には、端子Ｖ１−Ｅ，端子
Ｖ２−Ｅとの間に、互いにπ／２の位相差を有し、λ，
円環の内・外径，厚み，圧電セラミクスと振動板の平均
的弾性定数，密度，等で決定される固有振動数ωを有す
る電気信号を入力すればよい。
第８図はステータの一部を切欠して示す側面図である。
今、振動板４と二つの圧電素子３の電極との間に前記交
流電圧を印加すると、振動板４には屈曲振動波が励起さ
れるが、第５図に示すように中心間距離がａである隣合
った分極部の一方には次式で示される屈曲振動波が発生
する。
今、振動板４と二つの圧電素子３の電極との間に前記交
流電圧を印加すると、振動板４には屈曲振動波が励起さ
れるが、第５図に示すように中心間距離がａである隣合
った分極部の一方には次式で示される屈曲振動波が発生
する。
ｙ１＝Ａｓｉｎ（ωｔ−２πｐ／λ） ＋Ａｓｉｎ（ωｔ＋２πｐ／λ）…（１） また、他方の分極部には（１）式とは位相差角がψだけ
ずれた次式で示される屈曲振動波が発生する。
ずれた次式で示される屈曲振動波が発生する。
ｙ２＝Ｂｓｉｎ ｛ωｔ−２π／λ（ｐ＋ａ）＋ψ｝ ＋Ｂｓｉｎ ｛ωｔ＋２π／λ（ｐ＋ａ）＋ψ｝…（２） ここで −２πａ／λ＋ψ＝ψ１， ＋２πａ／λ＋ψ＝ψ２ とおくと、（２）式は ｙ２＝Ｂｓｉｎ ｛ωｔ−２πｐ／λ＋ψ１｝ ＋Ｂｓｉｎ ｛ωｔ＋２πｐ／λ＋ψ２｝…（３） となる。上記二つの分極部で励起される屈曲振動波は、
（１）式と（３）式との和すなわち ｙ＝ｙ１＋ｙ２ なる合成屈曲振動波であると考えられる。この合成屈曲
振動波のうち進行波だけが存在するための条件は、 ψ１＝ｍπ （ｍ＝０，±２，±４…）， ψ２＝ｎπ （ｎ＝±１，±３，±５…）， である。
（１）式と（３）式との和すなわち ｙ＝ｙ１＋ｙ２ なる合成屈曲振動波であると考えられる。この合成屈曲
振動波のうち進行波だけが存在するための条件は、 ψ１＝ｍπ （ｍ＝０，±２，±４…）， ψ２＝ｎπ （ｎ＝±１，±３，±５…）， である。
ψ１＝−２πａ／λ＋ψ＝ｍπ， ψ２＝＋２πａ／λ＋ψ＝ｎπ であるから、 ａ＝λ（ｎ−ｍ）／４ （ｎ≠ｍ）…（４）， ψ＝π（ｎ＋ｍ）／２ …（５） となる。（４）式および（５）式の条件が成立すると、
合成屈曲振動波は ｙ＝Ａｓｉｎ（ωｔ−２πｐ／λ） ＋Ａｓｉｎ（ωｔ＋２πｐ／λ） ＋Ｂｓｉｎ ｛ωｔ−２πｐ／λ＋ｍπ｝ ＋Ｂｓｉｎ ｛ωｔ＋２πｐ／λ＋ｎπ｝ ＝（Ａ＋Ｂ）ｓｉｎ（ωｔ−２πｐ／λ） ＋（Ａ−Ｂ）ｓｉｎ（ωｔ＋２πｐ／λ）…（６） となる。したがって進行波だけが存在するためには Ａ＝Ｂ …（７） であることがもう一つの条件となる。
合成屈曲振動波は ｙ＝Ａｓｉｎ（ωｔ−２πｐ／λ） ＋Ａｓｉｎ（ωｔ＋２πｐ／λ） ＋Ｂｓｉｎ ｛ωｔ−２πｐ／λ＋ｍπ｝ ＋Ｂｓｉｎ ｛ωｔ＋２πｐ／λ＋ｎπ｝ ＝（Ａ＋Ｂ）ｓｉｎ（ωｔ−２πｐ／λ） ＋（Ａ−Ｂ）ｓｉｎ（ωｔ＋２πｐ／λ）…（６） となる。したがって進行波だけが存在するためには Ａ＝Ｂ …（７） であることがもう一つの条件となる。
ところで超音波モータの支持手段としては、第６図に示
す如くフェルト２などの吸振材を介して支持する手段
が、これまでは主として採用されてきた。しかし上記手
段では押圧力による支持損失がある上、圧電素子張合わ
せ面を支持するものであるため、進行波のダンピング効
果が大きく、吸振材側に漏れた振動が吸振材中でロスさ
れ、効率を低下させていた。このような振動漏れを防止
する為の手段として、従来いくつかの提案がなされてい
る。
す如くフェルト２などの吸振材を介して支持する手段
が、これまでは主として採用されてきた。しかし上記手
段では押圧力による支持損失がある上、圧電素子張合わ
せ面を支持するものであるため、進行波のダンピング効
果が大きく、吸振材側に漏れた振動が吸振材中でロスさ
れ、効率を低下させていた。このような振動漏れを防止
する為の手段として、従来いくつかの提案がなされてい
る。
第９図は特開昭６０−２１０１７４号公報に記載されて
いる手段を示す斜視図である。第９図において、９はリ
ング状弾性体、１０は補助振動子１０ａを周辺部に有す
る支持板、１１は電歪素子である。上記補助振動子１０
ａは、リング状弾性体９との接合端とは反対側の支持端
における振動モードの節を支持するものである。
いる手段を示す斜視図である。第９図において、９はリ
ング状弾性体、１０は補助振動子１０ａを周辺部に有す
る支持板、１１は電歪素子である。上記補助振動子１０
ａは、リング状弾性体９との接合端とは反対側の支持端
における振動モードの節を支持するものである。
第１０図は特開昭６１−２０８０１８号公報に記載され
ている手段を示す斜視図である。図中１２は圧電素子１
２ａと励振部１２ｂとからなる固定子、１３は円筒支持
体、１４は上記固定子１２と円筒支持体１３とを結合し
ている振動減衰部である。
ている手段を示す斜視図である。図中１２は圧電素子１
２ａと励振部１２ｂとからなる固定子、１３は円筒支持
体、１４は上記固定子１２と円筒支持体１３とを結合し
ている振動減衰部である。
第９図に示した手段では、支持板１０が弾性体９と電歪
素子１１との間に介在しているため、接合部が弾性体９
と支持板１０との間および支持板１０と電歪素子１１と
の間の２か所に存在する。このため、電歪素子１１によ
り励振された振動が弾性体９に効率よく伝達されない。
また補助振動子１０ａの端部を節として支持する構成で
あるため、補助振動子１０ａ自体の長さをある程度長い
ものにする必要がある。このため、径方向の寸法が大き
なものとなる上、機械的強度が弱く、この部分に加わる
押圧力に耐え得ないものとなる。さらに弾性体９と電歪
素子１１との平行度を出しにくいという問題がある。
素子１１との間に介在しているため、接合部が弾性体９
と支持板１０との間および支持板１０と電歪素子１１と
の間の２か所に存在する。このため、電歪素子１１によ
り励振された振動が弾性体９に効率よく伝達されない。
また補助振動子１０ａの端部を節として支持する構成で
あるため、補助振動子１０ａ自体の長さをある程度長い
ものにする必要がある。このため、径方向の寸法が大き
なものとなる上、機械的強度が弱く、この部分に加わる
押圧力に耐え得ないものとなる。さらに弾性体９と電歪
素子１１との平行度を出しにくいという問題がある。
第１０図に示した手段では、振動減衰部１４において十
分な振動減衰を生じさせるためには、上記振動減衰部１
４の厚みを十分薄いものとする必要があるが、このよう
にすると、この部分に大きな押圧力が加わった場合、損
傷等を生じ易いという問題がある。
分な振動減衰を生じさせるためには、上記振動減衰部１
４の厚みを十分薄いものとする必要があるが、このよう
にすると、この部分に大きな押圧力が加わった場合、損
傷等を生じ易いという問題がある。
そこで本考案は、圧電素子によって励起される振動が外
部に漏出することなく、効率のよい駆動を行なわせ得る
上、小型で堅牢な構造の超音波モータを提供することを
目的とする。
部に漏出することなく、効率のよい駆動を行なわせ得る
上、小型で堅牢な構造の超音波モータを提供することを
目的とする。
本考案は前記問題点を解決し、目的を達成するために、
次のような手段を講じた。
次のような手段を講じた。
弾性体に固着された圧電素子に周波電圧を印加すること
により、弾性体表面に進行波を発生させ、この弾性体表
面に摩擦接触させた移動体を駆動するようにした超音波
モータにおいて、 前記弾性体を、不動部材にて支持される第１の円環部
と、前記圧電素子を裏面に固着され表面に進行波を発生
させる第２の円環部と、上記第１の円環部と第２の円環
部とを連結する第３の円環部とから形成し、上記第１の
円環部から第３の円環部を介して第２の円環部に至る径
方向に延びた切り溝を、円周方向に沿って複数、少なく
とも上記弾性体表面に設けるようにした。
により、弾性体表面に進行波を発生させ、この弾性体表
面に摩擦接触させた移動体を駆動するようにした超音波
モータにおいて、 前記弾性体を、不動部材にて支持される第１の円環部
と、前記圧電素子を裏面に固着され表面に進行波を発生
させる第２の円環部と、上記第１の円環部と第２の円環
部とを連結する第３の円環部とから形成し、上記第１の
円環部から第３の円環部を介して第２の円環部に至る径
方向に延びた切り溝を、円周方向に沿って複数、少なく
とも上記弾性体表面に設けるようにした。
このような手段を講じた結果、次のような作用が生じ
る。弾性体における第１の円環部から第３の円環部を介
して第２の円環部に至る径方向に延びた切り溝によっ
て、第１の円環部と第２の円環部との間に存在する第３
の円環部の径方向にみた断面積寸法が絞り込まれたもの
となる。その結果、実効的な機械的インピーダンス（音
響インピーダンス）が第３の円環部で急変（増大）する
ことになり、見掛け上の機械的インピーダンス（音響イ
ンピーダンス）に大きな差が現れ、その境界部分で振動
が反射され、励起された進行波が不動部材側へ漏出しな
いものとなる。
る。弾性体における第１の円環部から第３の円環部を介
して第２の円環部に至る径方向に延びた切り溝によっ
て、第１の円環部と第２の円環部との間に存在する第３
の円環部の径方向にみた断面積寸法が絞り込まれたもの
となる。その結果、実効的な機械的インピーダンス（音
響インピーダンス）が第３の円環部で急変（増大）する
ことになり、見掛け上の機械的インピーダンス（音響イ
ンピーダンス）に大きな差が現れ、その境界部分で振動
が反射され、励起された進行波が不動部材側へ漏出しな
いものとなる。
第１図は本考案の一実施例を示す斜視図であり、超音波
モータのステータＳと不動部材としての保持枠Ｈとを取
出して示した図である。第２図はステータＳを保持枠Ｈ
に固定した状態の一部側断面図であり、第３図は第２図
の破線部Ａを拡大して示した斜視図である。
モータのステータＳと不動部材としての保持枠Ｈとを取
出して示した図である。第２図はステータＳを保持枠Ｈ
に固定した状態の一部側断面図であり、第３図は第２図
の破線部Ａを拡大して示した斜視図である。
なお超音波モータの移動体（ロータ）は、従来のものと
同様の構成であるため、図示を省略する。
同様の構成であるため、図示を省略する。
第１図に示すように保持枠Ｈは、円環状保持リング２０
の上端面内周部位に、ステータ保持用の段差部２０ａを
設けたものとなっている。また、ステータＳは、円環状
圧電セラミクスに第７図と同様の分極処理を施した圧電
素子２１を、弾性体２２の裏面にエポキシ樹脂等の接着
材で接着固定したものとなっている。
の上端面内周部位に、ステータ保持用の段差部２０ａを
設けたものとなっている。また、ステータＳは、円環状
圧電セラミクスに第７図と同様の分極処理を施した圧電
素子２１を、弾性体２２の裏面にエポキシ樹脂等の接着
材で接着固定したものとなっている。
上記弾性体２２は、例えばステンレス鋼，リン青銅，ア
ルミニウムなどからなる円環状の弾性金属板の表面に、
径方向の切り溝２３を円周方向に沿って所定ピッチで複
数個設けると共に、上記弾性金属板の周辺部を圧電素子
側へ折曲して支持部２４を設けたものとなっている。こ
の支持部２４の途中部分すなわち連結部２４ａは、第３
図に示すように径方向の切り溝２３が設けられている部
分を横切るように円周方向の溝２５が形成されたものと
なっているため、その厚み寸法および幅寸法が共に他の
部分に比べて絞り込まれたものとなっている。
ルミニウムなどからなる円環状の弾性金属板の表面に、
径方向の切り溝２３を円周方向に沿って所定ピッチで複
数個設けると共に、上記弾性金属板の周辺部を圧電素子
側へ折曲して支持部２４を設けたものとなっている。こ
の支持部２４の途中部分すなわち連結部２４ａは、第３
図に示すように径方向の切り溝２３が設けられている部
分を横切るように円周方向の溝２５が形成されたものと
なっているため、その厚み寸法および幅寸法が共に他の
部分に比べて絞り込まれたものとなっている。
換言すれば、上記弾性体２２は、不動部材である保持枠
Ｈに支持される第１の円環部Ｘと、前記圧電素子２１を
裏面に固着され表面に進行波を発生させる第２の円環部
Ｙと、径方向の切り溝２３を円周方向に沿って複数設け
られ上記第１の円環部Ｘと第２の円環部Ｙとを連結する
と共に、移動体が摩擦接触する部分を表面に有する第３
の円環部Ｚとで構成されている。
Ｈに支持される第１の円環部Ｘと、前記圧電素子２１を
裏面に固着され表面に進行波を発生させる第２の円環部
Ｙと、径方向の切り溝２３を円周方向に沿って複数設け
られ上記第１の円環部Ｘと第２の円環部Ｙとを連結する
と共に、移動体が摩擦接触する部分を表面に有する第３
の円環部Ｚとで構成されている。
なお前記支持部２４の上下方向の長さは、その下端部位
置すなわち円環状保持リング２０のステータ保持用の段
差部２０ａに当接する部分の位置が、板波振動の中立線
近傍にくるようにすることが好ましい。そして上記支持
部２４の端部は、ステータ保持用の段差部２０ａに対し
てエポキシ樹脂，シリコーン樹脂，ウレタン樹脂等の接
着剤により接着される。なお場合によってはネジ止めし
てもよい。この構造は、弾性体２２からその振動状態を
乱すことなくアース端子（第７図のＥに相当）を取出せ
る利点がある。
置すなわち円環状保持リング２０のステータ保持用の段
差部２０ａに当接する部分の位置が、板波振動の中立線
近傍にくるようにすることが好ましい。そして上記支持
部２４の端部は、ステータ保持用の段差部２０ａに対し
てエポキシ樹脂，シリコーン樹脂，ウレタン樹脂等の接
着剤により接着される。なお場合によってはネジ止めし
てもよい。この構造は、弾性体２２からその振動状態を
乱すことなくアース端子（第７図のＥに相当）を取出せ
る利点がある。
このように構成された本実施例においては、弾性体２２
の支持部２４に、径方向の切り溝２３と円周方向の溝２
５とがクロスすることにより厚み寸法および幅寸法が共
に他の部分に比べて絞り込まれた状態の連結部２４ａが
存在することになる。その結果、実効的な機械的インピ
ーダンスが急変することになり、見掛けの機械的インピ
ーダンスに大きな差が現われ、その境界で振動が反射さ
れることになる。したがって保持枠Ｈ側への振動の漏出
がなくなり、高効率な超音波モータを実現できる。また
支持部２４が弾性体２２の周辺部を折曲した構造を有し
ているので、機械的強度の点においても実用上全く支障
がなく、しかも大型化するおそれがない。
の支持部２４に、径方向の切り溝２３と円周方向の溝２
５とがクロスすることにより厚み寸法および幅寸法が共
に他の部分に比べて絞り込まれた状態の連結部２４ａが
存在することになる。その結果、実効的な機械的インピ
ーダンスが急変することになり、見掛けの機械的インピ
ーダンスに大きな差が現われ、その境界で振動が反射さ
れることになる。したがって保持枠Ｈ側への振動の漏出
がなくなり、高効率な超音波モータを実現できる。また
支持部２４が弾性体２２の周辺部を折曲した構造を有し
ているので、機械的強度の点においても実用上全く支障
がなく、しかも大型化するおそれがない。
第４図は本考案の第２実施例を示す斜視図である。この
実施例が前記第１実施例と異なる点は、弾性体２２の支
持部として端面が波形をなす支持部２４′を設けた点で
ある。
実施例が前記第１実施例と異なる点は、弾性体２２の支
持部として端面が波形をなす支持部２４′を設けた点で
ある。
このように構成された本実施例においては、前記第１実
施例と同様の作用効果を奏する上、支持部端面が波形を
なしていることから、弾性体２２に励起されている振動
を減衰させることなく、振動の漏れ防止効果をさらに向
上させ得る。また波形構造としたことによりスプリング
性が生じるため、移動体との接触がより安定確実なもの
となる利点がある。
施例と同様の作用効果を奏する上、支持部端面が波形を
なしていることから、弾性体２２に励起されている振動
を減衰させることなく、振動の漏れ防止効果をさらに向
上させ得る。また波形構造としたことによりスプリング
性が生じるため、移動体との接触がより安定確実なもの
となる利点がある。
第５図は本考案の第３実施例を示す斜視図である。この
実施例が前記第１実施例と異なる点は、弾性体２２の支
持部２４と保持リング２０の段差部２０との間に、局部
的に波形構造をなす円環状スプリング２６を介在させた
点である。なお上記スプリング２６はビス２７により前
記段差部２０ａに固定される。
実施例が前記第１実施例と異なる点は、弾性体２２の支
持部２４と保持リング２０の段差部２０との間に、局部
的に波形構造をなす円環状スプリング２６を介在させた
点である。なお上記スプリング２６はビス２７により前
記段差部２０ａに固定される。
本実施例においては、前記第１実施例と同様の作用効果
を奏する上、前記第２実施例の作用効果がより顕著に発
揮されるものとなる。
を奏する上、前記第２実施例の作用効果がより顕著に発
揮されるものとなる。
なお本考案は前記各実施例に限定されるものではなく、
本考案の要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施可能であ
るのは勿論である。
本考案の要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施可能であ
るのは勿論である。
本考案においては、弾性体が、不動部材にて支持される
第１の円環部と、前記圧電素子を裏面に固着され表面に
進行波を発生させる第２の円環部と、上記第１の円環部
と第２の円環部とを連結する第３の円環部とで形成さ
れ、上記第１の円環部から第３の円環部を介して第２の
円環部に至る径方向に延びた切り溝が、円周方向に沿っ
て複数、少なくとも上記弾性体表面に設けられている。
第１の円環部と、前記圧電素子を裏面に固着され表面に
進行波を発生させる第２の円環部と、上記第１の円環部
と第２の円環部とを連結する第３の円環部とで形成さ
れ、上記第１の円環部から第３の円環部を介して第２の
円環部に至る径方向に延びた切り溝が、円周方向に沿っ
て複数、少なくとも上記弾性体表面に設けられている。
かくして本考案によれば、上記切り溝により機械的イン
ピーダンス（音響インピーダンス）が増大した第３の円
環部の存在によって、第２の円環部に生じた振動が第１
の円環部には伝達されない状態を呈するため、圧電素子
により励起された進行波が外部（不動部材側）へ漏れる
のを防止でき、効率のよい駆動を行なえる上、小型で堅
牢な構造の超音波モータを提供できる。
ピーダンス（音響インピーダンス）が増大した第３の円
環部の存在によって、第２の円環部に生じた振動が第１
の円環部には伝達されない状態を呈するため、圧電素子
により励起された進行波が外部（不動部材側）へ漏れる
のを防止でき、効率のよい駆動を行なえる上、小型で堅
牢な構造の超音波モータを提供できる。
第１図〜第３図は本考案の第１実施例を示す図で、第１
図はステータおよび保持枠部分を取出して示した分解斜
視図、第２図は主要部の側断面図、第３図は第２図の破
線部を拡大して示す斜視図である。第４図は本考案の第
２実施例の構成を示す分解斜視図、第５図は本考案の第
３実施例の構成を示す分解斜視図である。第６図〜第１
０図は従来技術を説明するための図である。 Ｓ……ステータ、Ｈ……保持枠（不動部材）、２０……
円環状保持リング、２０ａ……段差部、２１……圧電素
子、２２……円環状弾性体、２３……径方向の切り溝、
２４……支持部、２４′……端面が波形の支持部、２５
……円周方向の溝、２６……円環状スプリング、２７…
…ビス。
図はステータおよび保持枠部分を取出して示した分解斜
視図、第２図は主要部の側断面図、第３図は第２図の破
線部を拡大して示す斜視図である。第４図は本考案の第
２実施例の構成を示す分解斜視図、第５図は本考案の第
３実施例の構成を示す分解斜視図である。第６図〜第１
０図は従来技術を説明するための図である。 Ｓ……ステータ、Ｈ……保持枠（不動部材）、２０……
円環状保持リング、２０ａ……段差部、２１……圧電素
子、２２……円環状弾性体、２３……径方向の切り溝、
２４……支持部、２４′……端面が波形の支持部、２５
……円周方向の溝、２６……円環状スプリング、２７…
…ビス。
フロントページの続き (72)考案者 舟窪 朋樹 東京都渋谷区幡ヶ谷２丁目43番２号 オリ ンパス光学工業株式会社内 (72)考案者 安達 日出夫 東京都渋谷区幡ヶ谷２丁目43番２号 オリ ンパス光学工業株式会社内 (56)参考文献 実開 昭63−120592（ＪＰ，Ｕ)
Claims (1)
- 【請求項１】弾性体に固着された圧電素子に周波電圧を
印加することにより、弾性体表面に進行波を発生させ、
この弾性体表面に摩擦接触させた移動体を駆動するよう
にした超音波モータにおいて、 前記弾性体を、不動部材にて支持される第１の円環部
と、前記圧電素子を裏面に固着され表面に進行波を発生
させる第２の円環部と、上記第１の円環部と第２の円環
部とを連結する第３の円環部とから形成し、上記第１の
円環部から第３の円環部を介して第２の円環部に至る径
方向に延びた切り溝を、円周方向に沿って複数、少なく
とも上記弾性体表面に設けたことを特徴とする超音波モ
ータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987069914U JPH0628952Y2 (ja) | 1987-05-11 | 1987-05-11 | 超音波モ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987069914U JPH0628952Y2 (ja) | 1987-05-11 | 1987-05-11 | 超音波モ−タ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63179795U JPS63179795U (ja) | 1988-11-21 |
| JPH0628952Y2 true JPH0628952Y2 (ja) | 1994-08-03 |
Family
ID=30911067
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987069914U Expired - Lifetime JPH0628952Y2 (ja) | 1987-05-11 | 1987-05-11 | 超音波モ−タ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0628952Y2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0626071Y2 (ja) * | 1987-01-30 | 1994-07-06 | 株式会社フコク | 超音波モ−タ |
-
1987
- 1987-05-11 JP JP1987069914U patent/JPH0628952Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63179795U (ja) | 1988-11-21 |
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