JPH0628622A - Magnetic head - Google Patents
Magnetic headInfo
- Publication number
- JPH0628622A JPH0628622A JP1038892A JP1038892A JPH0628622A JP H0628622 A JPH0628622 A JP H0628622A JP 1038892 A JP1038892 A JP 1038892A JP 1038892 A JP1038892 A JP 1038892A JP H0628622 A JPH0628622 A JP H0628622A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- gap
- metal
- layers
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、いわゆるメタルインギ
ャップ型の磁気ヘッドに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a so-called metal-in-gap type magnetic head.
【０００２】[0002]
【従来の技術】磁気記録の分野においては、記録密度を
高めるために磁気テープ等の記録媒体の高保磁力化が推
進されているが、それに対応する磁気ヘッドの磁気コア
の材料として、飽和磁束密度（Ｂｓ）の高いものが要求
されている。2. Description of the Related Art In the field of magnetic recording, a high coercive force of a recording medium such as a magnetic tape has been promoted in order to increase the recording density. Those with high (Bs) are required.
【０００３】しかし、従来のフェライトの磁気ヘッドは
飽和磁束密度が、約５０００Ｇ（ガウス）程度と低いた
め、高密度化の要求に対しては不十分である。このた
め、図６〜図８に示すような構成のいわゆるメタルイン
ギャップ型の磁気ヘッドが知られている。However, since the saturation magnetic flux density of the conventional ferrite magnetic head is as low as about 5000 G (Gauss), it is insufficient to meet the demand for higher density. Therefore, a so-called metal-in-gap type magnetic head having a configuration shown in FIGS. 6 to 8 is known.
【０００４】図６、図７に示す磁気ヘッドは、フェライ
トからなる一対の磁気コア半体１ａ、１ｂの各々の対向
端面に、例えばＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ系合金（センダス
ト）、パーマロイ、アモルファス金属等の金属磁性層２
ａ、２ｂを設けるとともに、この金属磁性層２ａ、２ｂ
を設けた磁気コア１ａ、１ｂの対向端面との間にＳｉＯ
2等の非磁性体からなるギャップ層３ａ、３ｂによって
主ギャップＲを形成し、上記のように成膜された磁気コ
ア半体１ａ、１ｂをガラス層１２、１２により接合する
ことによって構成されたものである。The magnetic heads shown in FIGS. 6 and 7 have, for example, Fe-Al-Si alloys (sendust), permalloy, amorphous metal, etc. on the opposing end faces of a pair of magnetic core halves 1a, 1b made of ferrite. Metal magnetic layer 2
a and 2b, the metal magnetic layers 2a and 2b are provided.
SiO between the opposing end faces of the magnetic cores 1a and 1b provided with
The main gap R is formed by the gap layers 3a and 3b made of non-magnetic material such as 2 and the magnetic core halves 1a and 1b formed as described above are joined by the glass layers 12 and 12. It is a thing.
【０００５】このようなメタルインギャップ型の磁気ヘ
ッドは、磁気コア半体１ａ、１ｂの対向端面に金属磁性
層を設けない一般的な磁気ヘッドに比較して、強くしか
も鋭い記録磁界を得られるという利点があり、今後の活
用が期待されている。Such a metal-in-gap type magnetic head can obtain a strong and sharp recording magnetic field as compared with a general magnetic head in which a metal magnetic layer is not provided on the opposing end surfaces of the magnetic core halves 1a and 1b. It has the advantage that it is expected to be utilized in the future.
【０００６】また、図８に示す磁気ヘッドは、フェライ
トからなる一対の磁気コア半体１ａ、１ｂの各々の対向
端面に、ＳｉＯ2、Ｓｉ4Ｎ3などの高融点材料からなる
下地層１０ａ、１０ｂを介して、例えばＦｅ−Ａｌ−Ｓ
ｉ系合金（センダスト）、パーマロイ、アモルファス金
属等の金属磁性層２ａ、２ｂを設けるとともに、この金
属磁性層２ａ、２ｂとを設けた磁気コア半体１ａ、１ｂ
の対向端面との間に、ＳｉＯ2等の非磁性体からなるギ
ャップ層３ａ、３ｂによって主ギャップＲを形成し、上
記のように成膜された磁気コア半体１ａ、１ｂをガラス
層１２、１２により接合することによって構成されたも
のである。[0006] The magnetic head shown in FIG. 8, a pair of magnetic core halves 1a made of ferrite, the respective facing end surface of the 1b, the base layer 10a made of a refractory material such as SiO 2, Si 4 N 3, Via 10b, for example Fe-Al-S
Magnetic core halves 1a, 1b provided with metal magnetic layers 2a, 2b such as i-based alloy (Sendust), permalloy, amorphous metal, etc.
A main gap R is formed by the gap layers 3a and 3b made of a non-magnetic material such as SiO 2 between the opposite end surfaces of the glass core 12 and the magnetic core halves 1a and 1b formed as described above. It is configured by joining with 12.
【０００７】上記の下地層１０ａ、１０ｂは、金属磁性
層層２ａ、２ｂの磁気コア半体１ａ、１ｂへの拡散を防
止するとともに、２次ギャップ対策として設けられる
が、これは省略されることもある。The underlayers 10a and 10b are provided as a measure against the secondary gap while preventing the metal magnetic layer layers 2a and 2b from diffusing into the magnetic core halves 1a and 1b, but this is omitted. There is also.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の磁
気ヘッドでは、前記金属磁性層２ａ、２ｂが、磁気ギャ
ップ層３との層間において、十分な密着強度を確保でき
ず、成膜段階で膜はがれを起こし易いという問題を有し
ていた。However, in the above-mentioned conventional magnetic head, the metal magnetic layers 2a and 2b cannot secure sufficient adhesion strength between the magnetic magnetic layers 2a and 2b and the magnetic gap layer 3, and the film is not formed at the film forming stage. It had a problem that peeling is likely to occur.
【０００９】特に、近年においては、磁気ヘッドに組み
込んだ装置は小型化、軽量化する傾向にあり、移動に伴
う振動にさらされたり、悪環境のもとで使用されたりす
ることが多くなっている。そこで、磁気ヘッドには、磁
気特性が優秀であって磁気テープに対する耐摩耗性が優
れていることは勿論、温度や腐食性の雰囲気中での耐用
性、すなわち耐環境性や、耐振動性が高いこと等が要求
されている。In recent years, in particular, the device incorporated in the magnetic head tends to be smaller and lighter, and is often exposed to vibrations caused by movement and used in a bad environment. There is. Therefore, the magnetic head not only has excellent magnetic characteristics and excellent wear resistance to the magnetic tape, but also has durability in a temperature or corrosive atmosphere, that is, environmental resistance and vibration resistance. It is required to be expensive.
【００１０】よって、本発明は上記課題に鑑みてなされ
たものであり、メタルインギャップ型の磁気ヘッドにお
いて、上記金属磁性層と磁気コア半体の間にＡｌ膜から
なる中間層を設けることによって、前記金属磁性層とギ
ャップ層における膜の密着強度を向上させ、膜付着力を
確保することによって、膜はがれを回避し、磁気記録特
性の良い磁気ヘッドの提供を目的としている。Therefore, the present invention has been made in view of the above problems, and in a metal-in-gap type magnetic head, an intermediate layer made of an Al film is provided between the metal magnetic layer and the magnetic core half body. The purpose of the present invention is to provide a magnetic head having improved magnetic recording characteristics by avoiding film peeling by improving the adhesion strength between the metal magnetic layer and the film in the gap layer and securing the film adhesion.
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、上記
課題を解決するために、一対の磁気コア半体と、それら
の間に設けられた磁気ギャップ層と、前記磁気コア半体
とギャップ層の間に設けられた金属磁性層を具備してな
るメタルインギャップ型の磁気ヘッドにおいて、前記金
属磁性層と磁気コア半体の間にＡｌ単体またはＡｌ化合
物からなる中間膜が形成されてなることを特徴とするも
のである。According to a first aspect of the present invention, in order to solve the above-mentioned problems, a pair of magnetic core halves, a magnetic gap layer provided between them, and the magnetic core halves are provided. In a metal-in-gap type magnetic head having a metal magnetic layer provided between gap layers, an intermediate film made of Al simple substance or Al compound is formed between the metal magnetic layer and the magnetic core half body. It is characterized by becoming.
【００１２】請求項２の発明は、上記課題を解決するた
めに、一対の磁気コア半体と、それらの間に設けられた
磁気ギャップ層と、前記磁気コアとギャップ層の間に設
けられた金属磁性層とを具備してなるメタルインギャッ
プ型の磁気ヘッドにおいて、前記金属磁性層と磁気コア
半体との間であって、前記ギャップ層間に形成された主
ギャップと非平行な部分のみに、Ａｌ単体又はＡｌ化合
物からなる中間膜が形成されてなることを特徴とするも
のである。In order to solve the above problems, the invention of claim 2 includes a pair of magnetic core halves, a magnetic gap layer provided between them, and a magnetic gap layer provided between the magnetic core and the gap layer. In a metal-in-gap type magnetic head comprising a metal magnetic layer, only in a portion between the metal magnetic layer and the magnetic core half body and not parallel to the main gap formed between the gap layers. , Al alone or an intermediate film made of an Al compound is formed.
【００１３】請求項３の発明は、上記課題を解決するた
めに、請求項１または請求項２の磁気ヘッドにおいて、
中間層と磁気コア半体の間に高融点金属からなる下地層
が形成されてなることを特徴とするものである。In order to solve the above-mentioned problems, the invention of claim 3 provides a magnetic head according to claim 1 or 2.
It is characterized in that an underlayer made of a refractory metal is formed between the intermediate layer and the magnetic core half body.
【００１４】[0014]
【作用】従って、本発明の磁気ヘッドでは、一対の磁気
コア半体と、それらの間に設けられた磁気ギャップ層
と、前記磁気コア半体とギャップ層の間に設けられた金
属磁性層とを具備してなるメタルインギャップ型の磁気
ヘッドの前記金属磁性層と前記磁気コア半体の間に、Ａ
ｌ又はＡｌ化合物からなる中間膜が形成されることによ
って、前記金属磁性層とギャップ層における膜の密着強
度を向上させ、膜付着力を確保し、膜はがれを回避する
ことにより磁気記録特性の向上を図ることができる。Therefore, in the magnetic head of the present invention, a pair of magnetic core halves, a magnetic gap layer provided between them, and a metal magnetic layer provided between the magnetic core halves and the gap layer. A metal-in-gap type magnetic head comprising: A between the metal magnetic layer and the magnetic core half;
By forming an intermediate film made of 1 or Al compound, the adhesion strength between the metal magnetic layer and the film in the gap layer is improved, the film adhesion is secured, and the film peeling is avoided, thereby improving the magnetic recording characteristics. Can be achieved.
【００１５】また、上記構成からなる磁気ヘッドの中間
層と磁気コア半体の間に高融点材料からなる下地層が設
けられることにより、中間膜を形成するＡｌ又はＡｌ化
合物の磁気コア半体への拡散を防止することが可能であ
り、２次ギャップの形成を防止する作用も奏する。そし
て、以上のように本発明の磁気ヘッドは、金属磁性層近
傍に薄膜を複数積層してなるものであり、渦電流損失の
増大や膜応力の増大を抑制し、磁気記録特性を向上を図
ることができる。Further, by providing an underlayer made of a high melting point material between the intermediate layer of the magnetic head having the above-mentioned structure and the magnetic core half body, the magnetic core half body of Al or Al compound forming the intermediate film is formed. Can be prevented from being diffused, and the action of preventing the formation of a secondary gap can also be achieved. As described above, the magnetic head of the present invention is formed by laminating a plurality of thin films in the vicinity of the metal magnetic layer, suppresses an increase in eddy current loss and a film stress, and improves magnetic recording characteristics. be able to.
【００１６】[0016]
【実施例】以下、本発明の実施例について図１〜図５を
参照して説明する。なお、以下の実施例の説明におい
て、前記従来例と同一の構成要素については同一の符号
を付し、その説明を省略する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to FIGS. In the following description of the embodiments, the same components as those of the conventional example will be designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.
【００１７】本実施例の磁気ヘッドは、図６〜図８に示
した従来のものと同様にメタルインギャップ型の磁気ヘ
ッドであるが、前記従来の磁気ヘッドと相違するところ
は、その金属磁性層２ａ、２ｂと磁気コア半体１ａ、１
ｂ間に、Ａｌ単体又はＡｌ化合物からなる中間層を設け
ているところである。The magnetic head of this embodiment is a metal-in-gap type magnetic head similar to the conventional magnetic head shown in FIGS. 6 to 8. Layers 2a, 2b and magnetic core halves 1a, 1
An intermediate layer made of Al alone or an Al compound is being provided between b.
【００１８】（第一構成例）図１に示す第一構成例の磁
気ヘッドは、フェライトなどからなる一対の磁気コア半
体１ａ、１ｂと、それらの間に設けられたＳｉＯ2など
からなる磁気ギャップ層３ａ、３ｂと、前記磁気コア半
体１ａ、１ｂとギャップ層３ａ、３ｂの間に形成された
Ｆｅ76−Ｔａ10−Ｃ14の組成の薄膜などからなる金属磁
性層２ａ、２ｂと、前記金属磁性層２ａ、２ｂ及び磁気
コア半体１ａ、１ｂ間に形成されたＡｌ単体からなる中
間膜４ａ、４ｂと、前記磁気コア半体１ａ、１ｂ接合す
るためのガラス層１２、１２により構成されているもの
である。なお、前記金属磁性層２ａ、２ｂはＦｅ−Ａｌ
−Ｓｉ合金のセンダスト、パーマロイ、アモルファスな
どから形成しても良く、中間膜４ａ、４ｂは、Ａｌ単体
のみならずＡｌ2Ｏ3やＡｌＮなどのＡｌ化合物を用いて
も良い。第一構成例の磁気ヘッドにおける諸元を以下に
示す。 金属磁性層の厚さ ： ３〜１０μm トラック幅 ： ２０μm ギャップ深さ ： ２０μm ギャップ長 ： ０．２μm 中間膜の厚さ ： ５０〜２００Å(First Structure Example) The magnetic head of the first structure example shown in FIG. 1 has a pair of magnetic core halves 1a and 1b made of ferrite or the like, and a magnetic material made of SiO 2 or the like provided between them. gap layer 3a, and 3b, the magnetic core halves 1a, 1b and the gap layer 3a, and the like Fe 76 -Ta 10 thin film of the composition of -C 14 formed between 3b metal magnetic layer 2a, and 2b, The metal magnetic layers 2a, 2b and the magnetic core halves 1a, 1b are formed of an intermediate film 4a, 4b made of Al alone, and the glass layers 12, 12 for joining the magnetic core halves 1a, 1b. It has been done. The metallic magnetic layers 2a and 2b are made of Fe-Al.
Sendust of -Si alloy, permalloy, it may be formed such as an amorphous, intermediate film 4a, 4b may be an Al compound such as Al 2 O 3 and AlN not Al alone only. The specifications of the magnetic head of the first configuration example are shown below. Thickness of metal magnetic layer: 3 to 10 μm Track width: 20 μm Gap depth: 20 μm Gap length: 0.2 μm Intermediate film thickness: 50 to 200 Å
【００１９】上記金属磁性層２ａ、２ｂの厚さは、それ
ぞれ３〜１０μm程度とすることが良く、Ａｌ単体から
なる中間膜４ａ、４ｂの厚さは、５０〜１００Å程度と
することが望ましい。The thickness of each of the metal magnetic layers 2a and 2b is preferably about 3 to 10 μm, and the thickness of the intermediate films 4a and 4b made of Al alone is preferably about 50 to 100 Å.
【００２０】尚、上記金属磁性層２ａ、２ｂは、スパッ
タ、蒸着等の薄膜形成装置により作製する。また、前記
金属磁性層中にＣを添加する方法としては、ターゲット
板上にグラファイトのペレットを配置して複合ターゲッ
トとし、これをスパッタする方法、あるいは、Ｃを含ま
ないターゲット（Ｆｅ−Ｔ−Ｍ系）を用い、Ａｒ等の不
活性ガス中にメタン（ＣＨ4）等の炭化水素ガスを混合
したガス雰囲気中でスパッタする反応性スパッタ法を用
いることができる。また、Ａｌからなる中間膜４ａ、４
ｂを形成する手段としては、スパッタ、真空蒸着法等を
用いる。The metal magnetic layers 2a and 2b are formed by a thin film forming apparatus such as sputtering or vapor deposition. As a method of adding C to the metal magnetic layer, a graphite target is arranged on a target plate to form a composite target, and the composite target is sputtered. Alternatively, a target containing no C (Fe-TM) is used. (A system) and a reactive sputtering method in which sputtering is performed in a gas atmosphere in which a hydrocarbon gas such as methane (CH 4 ) is mixed in an inert gas such as Ar. Further, the intermediate films 4a, 4 made of Al
As a means for forming b, sputtering, vacuum evaporation method, or the like is used.
【００２１】よって、上記のような組成からなる金属磁
性層２ａ、２ｂ中のＣ（炭素）は、中間膜４ａ、４ｂを
形成するＡｌと結合し易く、金属磁性層２ａ、２ｂと中
間膜４ａ、４ｂとの膜間の密着強度を向上させることが
可能である。Therefore, C (carbon) in the metal magnetic layers 2a and 2b having the above-mentioned composition is easily bonded to Al forming the intermediate films 4a and 4b, and the metal magnetic layers 2a and 2b and the intermediate film 4a. It is possible to improve the adhesion strength between the film and 4b.
【００２２】しかし、上記のように作製したままの膜
は、アモファス相をかなりの割合で含んだものであり、
不安定であるため、例えば５５０℃程度に加熱する熱処
理を施すことによって微結晶を析出させることが必要で
ある。However, the as-prepared film as described above contains the Amophas phase in a considerable proportion,
Since it is unstable, it is necessary to precipitate fine crystals by performing a heat treatment of heating at about 550 ° C., for example.
【００２３】ここで、上記構成からなる第一構成例の磁
気ヘッドにおけるフェライト（磁気コア）／Ａｌ膜（中
間膜）／Ｆｅ76Ｔａ10Ｃ14膜（金属磁性層）間の膜はが
れ率を以下のような方法により測定した。上記本発明に
よる磁気ヘッドのヘッドチップ製造工程中では、図５に
示すようなチップ切断工程において、切断の際の力学的
な力により膜はがれを生じ易い。そこで、本発明による
磁気ヘッドのチップ切断後のチップ外観を顕微鏡で観察
し、膜はがれの箇所の数を数え、又同様な観察方法で観
察した従来の磁気ヘッドにおけるフェライト（磁気コ
ア）／Ｆｅ76Ｔａ10Ｃ14膜（金属磁性層）の膜はがれ数
を数え、この値を１００として、本発明の磁気ヘッドに
おける膜はがれ数を規格化して表１に示した。Here, the film peeling ratio between the ferrite (magnetic core) / Al film (intermediate film) / Fe 76 Ta 10 C 14 film (metal magnetic layer) in the magnetic head of the first structure having the above-mentioned structure is expressed as follows. It measured by the method like. In the head chip manufacturing process of the magnetic head according to the present invention, in the chip cutting process as shown in FIG. 5, film peeling is likely to occur due to mechanical force during cutting. Therefore, the appearance of the chip after cutting the magnetic head according to the present invention is observed with a microscope, the number of film peeling points is counted, and a similar observation method is used to observe ferrite (magnetic core) / Fe 76 in the conventional magnetic head. The number of film peelings of the Ta 10 C 14 film (metal magnetic layer) was counted, and this value was set to 100, and the number of film peelings in the magnetic head of the present invention was standardized and shown in Table 1.
【００２４】 なお、この熱処理は磁気ヘッドの製造工程におけるガラ
ス溶着工程と兼ねて行なうことが可能である。[0024] This heat treatment can be performed concurrently with the glass welding process in the magnetic head manufacturing process.
【００２５】上記結果より、本発明の第一構成例の磁気
ヘッドは、従来の磁気ヘッドに比べ明らかに膜はがれ率
が低下し、膜付着力が向上していることがわかる。From the above results, it can be seen that the magnetic head of the first configuration example of the present invention has a clearly lower film peeling rate and an improved film adhesion force as compared with the conventional magnetic head.
【００２６】（第二構成例）図２に示す第二構成例の磁
気ヘッドは、一対の磁気コア半体１ａ、１ｂと、それら
の間に設けられた磁気ギャップ層３ａ、３ｂと、前記磁
気コア１ａ、１ｂとギャップ層３ａ、３ｂの間に形成さ
れた金属磁性層２ａ、２ｂとを具備し、前記金属磁性層
２ａ、２ｂと磁気コア半体１ａ、１ｂとの間であって、
前記ギャップ層３ａ、３ｂ間に形成された主ギャップＲ
と非平行な部分のみに、Ａｌ単体からなる中間膜５ａ、
５ｂが形成され、上記のように成膜された磁気コア半体
１ａ、１ｂをガラス層１２、１２によって接合されてな
るものである。第二構成例の磁気ヘッドにおける諸元を
以下に示す。 金属磁性層の厚さ ： ３〜１０μm トラック幅 ： ２０μm ギャップ深さ ： ２０μm ギャップ長 ： ０．２μm 中間膜の厚さ ： ５０〜２０００Å(Second Configuration Example) The magnetic head of the second configuration example shown in FIG. 2 has a pair of magnetic core halves 1a and 1b, magnetic gap layers 3a and 3b provided between them, and the magnetic field. A metal magnetic layer 2a, 2b formed between the core 1a, 1b and the gap layer 3a, 3b, and between the metal magnetic layer 2a, 2b and the magnetic core half 1a, 1b,
The main gap R formed between the gap layers 3a and 3b
The intermediate film 5a made of a simple substance of Al is formed only in a portion not parallel to
5b is formed, and the magnetic core halves 1a and 1b formed as described above are joined by the glass layers 12 and 12. The specifications of the magnetic head of the second configuration example are shown below. Thickness of metal magnetic layer: 3 to 10 μm Track width: 20 μm Gap depth: 20 μm Gap length: 0.2 μm Intermediate film thickness: 50 to 2000 Å
【００２７】上記金属磁性層２ａ、２ｂの厚さは、それ
ぞれ３〜１０μm程度とすることが良く、Ａｌ単体から
なる中間膜５ａ、５ｂの厚さは、５０〜２０００Å程度
とすることが望ましい。なお、前記金属磁性層２ａ、２
ｂ及びＡｌからなる中間膜５ａ、５ｂの作製方法は、上
述した第一構成例の薄膜形成方法と同様の方法を使用
し、さらに第一構成例の磁気ヘッドと同様に前記金属磁
性薄膜２ａ、２ｂ及び中間膜５ａ、５ｂを形成した後、
熱処理を施した。The thickness of each of the metal magnetic layers 2a and 2b is preferably about 3 to 10 μm, and the thickness of each of the intermediate films 5a and 5b made of a simple substance of Al is preferably about 50 to 2000 Å. The metal magnetic layers 2a, 2
The intermediate films 5a and 5b made of b and Al are formed by using the same method as the thin film forming method of the first configuration example described above. After forming 2b and the intermediate films 5a and 5b,
Heat treatment was applied.
【００２８】従って、上述した第二構成例の磁気ヘッド
は、前記中間膜５ａ、５ｂの形成部位は、第一構成例の
磁気ヘッドと異なるが、その効果は第一構成例と同様
に、金属磁性薄膜２ａ、２ｂ中のＣ（炭素）が、中間膜
５ａ、５ｂを形成するＡｌと結合し易く、金属磁性薄膜
２ａ、２ｂと中間膜５ａ、５ｂとの膜間の密着強度を向
上させ、前記両者の成膜段階における膜はがれを回避
し、膜付着力を向上させることができ、磁気記録特性の
向上を図ることが可能である。Therefore, the magnetic head of the second configuration example described above is different from the magnetic head of the first configuration example in the formation site of the intermediate films 5a and 5b, but the effect is similar to that of the first configuration example. C (carbon) in the magnetic thin films 2a, 2b easily bonds with Al forming the intermediate films 5a, 5b, and improves the adhesion strength between the metal magnetic thin films 2a, 2b and the intermediate films 5a, 5b. It is possible to avoid film peeling in the film forming stage of both of them, improve the film adhesion, and improve the magnetic recording characteristics.
【００２９】（第三構成例）図３に示す第三構成例の磁
気ヘッドは、フェライトなどからなる一対の磁気コア半
体１ａ、１ｂと、それらの間に設けられたＳｉＯ2など
からなる磁気ギャップ層３ａ、３ｂと、前記磁気コア半
体１ａ、１ｂとギャップ層３ａ、３ｂの間に設けられた
Ｆｅ76−Ｔａ10−Ｃ14の組成の薄膜などからなる金属磁
性層２ａ、２ｂと、前記金属磁性層２ａ、２ｂ及び磁気
コア１ａ、１ｂの間に設けられたＡｌ単体からなる中間
膜６ａ、６ｂと、前記中間膜６ａ、６ｂと磁気コア半体
１ａ、１ｂの間に形成された下地層７ａ、７ｂと、前記
磁気コア半体１ａ、１ｂを接合するためのガラス層１
２、１２によって構成されている。そして、前記金属磁
性層２ａ、２ｂはＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ合金のセンダスト、
パーマロイ、アモルファスなどから形成しても良く、中
間膜６ａ、６ｂは、Ａｌ単体のみならずＡｌ2Ｏ3やＡｌ
ＮなどのＡｌ化合物を用いることができ、前記下地層７
ａ、７ｂには、ＳｉＯ2の他に高融点材料であるＳｉ4Ｏ
3、ＳｉＮ2、ＴａＮ、ＺｒＮ、ＨｆＮ、Ｔａ、Ｐｔ等を
用いることが可能である。The magnetic head of the third configuration example shown in (Third Configuration Example) FIG. 3, magnetism and a pair of magnetic core halves 1a, 1b made of ferrite, and the like SiO 2 provided therebetween gap layer 3a, 3b and the magnetic core halves 1a, 1b and the gap layer 3a, made of a thin film of the composition of Fe 76 -Ta 10 -C 14 disposed between 3b metal magnetic layer 2a, and 2b, Intermediate films 6a and 6b made of Al alone provided between the metal magnetic layers 2a and 2b and the magnetic cores 1a and 1b, and formed between the intermediate films 6a and 6b and the magnetic core halves 1a and 1b. Glass layer 1 for joining the underlayers 7a, 7b and the magnetic core halves 1a, 1b
It is composed of 2 and 12. The metallic magnetic layers 2a and 2b are made of sendust of Fe-Al-Si alloy,
Permalloy, may be formed such as an amorphous, intermediate layer 6a, 6b is not Al alone only as Al 2 O 3 and Al
An Al compound such as N can be used, and the underlayer 7
In addition to SiO 2 , a high melting point material such as Si 4 O is used for a and 7b.
It is possible to use 3 , SiN 2 , TaN, ZrN, HfN, Ta, Pt and the like.
【００３０】従って、第三構成例の磁気ヘッドは第一構
成例の磁気ヘッドの磁気コア半体１ａ、１ｂと中間膜６
ａ、６ｂの間にＳｉＯ2等からなる下地層７ａ、７ｂを
設けたところに特徴がある。第三構成例の磁気ヘッドに
おける諸元を以下に示す。 金属磁性層の厚さ ： ３〜１０μm トラック幅 ： ２０μm ギャップ深さ ： ２０μm ギャップ長 ： ０．２μm 中間膜の厚さ ： ５０〜２００Å 下地層の厚さ ： ５０〜２００ÅTherefore, the magnetic head of the third configuration example is the magnetic core halves 1a and 1b and the intermediate film 6 of the magnetic head of the first configuration example.
The feature is that underlying layers 7a and 7b made of SiO 2 or the like are provided between a and 6b. The specifications of the magnetic head of the third configuration example are shown below. Thickness of metal magnetic layer: 3 to 10 μm Track width: 20 μm Gap depth: 20 μm Gap length: 0.2 μm Intermediate film thickness: 50 to 200 Å Underlayer thickness: 50 to 200 Å
【００３１】上記金属磁性薄層２ａ、２ｂはの厚さは、
それぞれ３〜１０μm程度とすることが良く、Ａｌから
なる中間膜６ａ、６ｂの厚さは、５０〜２００Å程度と
することが望ましい。そして、前記下地層７ａ、７ｂ
は、蒸着またはスパッタにより形成し、その厚さは５０
〜２００Å程度とすることが望ましい。The thickness of the metal magnetic thin layers 2a and 2b is
The thickness of each of the intermediate films 6a and 6b made of Al is preferably about 50 to 200Å. Then, the base layers 7a and 7b
Is formed by vapor deposition or sputtering, and has a thickness of 50
It is desirable to set it to about 200Å.
【００３２】尚、上記金属磁性層２ａ、２ｂ及びＡｌ中
間膜６ａ、６ｂは、第一、第二構成例と同様な方法によ
り形成する。そして、下地層７ａ、７ｂは、蒸着又はス
パッタ等により形成する。そして膜形成後には、第一構
成例及び第二構成例の磁気ヘッドと同様に熱処理を施
し、膜の安定化を図る。なお、この熱処理は第一構成例
及び第二構成例の磁気ヘッドと同様に、磁気ヘッドの製
造工程におけるガラス溶着工程と兼ねて行なうことが可
能である。The metal magnetic layers 2a and 2b and the Al intermediate films 6a and 6b are formed by the same method as in the first and second configuration examples. The base layers 7a and 7b are formed by vapor deposition, sputtering or the like. After the film is formed, heat treatment is performed in the same manner as the magnetic heads of the first configuration example and the second configuration example to stabilize the film. Note that this heat treatment can be performed concurrently with the glass welding step in the manufacturing process of the magnetic head, similarly to the magnetic heads of the first configuration example and the second configuration example.
【００３３】よって、第三構成例の磁気ヘッドにおいて
も、前記金属磁性層２ａ、２ｂ中のＣ（炭素）が中間膜
６ａ、６ｂを形成するＡｌと結合し易く、第一構成例及
び第二構成例の磁気ヘッドと同様に金属磁性層２ａ、２
ｂと中間膜６ａ、６ｂの膜間の密着強度を向上させるこ
とができる。Therefore, also in the magnetic head of the third configuration example, C (carbon) in the metal magnetic layers 2a, 2b easily bonds with Al forming the intermediate films 6a, 6b, and the first configuration example and the second configuration example Similar to the magnetic head of the configuration example, the metal magnetic layers 2a, 2
It is possible to improve the adhesion strength between the film b and the films of the intermediate films 6a and 6b.
【００３４】また、上記構成からなる第三構成例磁気ヘ
ッドは、前記中間膜６ａ、６ｂと磁気コア半体１ａ、１
ｂの間にＳｉＯ2等からなる下地層７ａ、７ｂを介在さ
せることによって、中間膜６ａ、６ｂを形成する磁性金
属の磁気コア半体１ａ、１ｂへの拡散を防止するととも
に、前記下地層７ａ、７ｂは、２次ギャップ対策として
も有効な効果を奏する。The third example of magnetic head having the above-mentioned structure has the intermediate films 6a and 6b and the magnetic core halves 1a and 1b.
By interposing underlayers 7a, 7b made of SiO 2 or the like between b, the magnetic metal forming the intermediate films 6a, 6b is prevented from diffusing into the magnetic core halves 1a, 1b and the underlayer 7a is formed. , 7b also have an effective effect as a countermeasure against the secondary gap.
【００３５】つまり、中間膜６ａ、６ｂを形成するＡｌ
は、Ｍｎ−Ｚｎフェライトからなる磁気コア半体１ａ、
１ｂ中のＯ2と結合し易く、前記中間膜６ａ、６ｂを形
成するＡｌの磁気コア半体１ａ、１ｂへの拡散を防止す
るために、下地層７ａ、７ｂは有効である。そして、こ
の下地層７ａ、７ｂをＳｉＯ2等より形成することによ
り、前記中間膜６ａ、６ｂ及び磁気ギャップ層３ａ、３
ｂそして下地層７ａ、７ｂを成膜した後に行なう膜の安
定化を図るための熱処理による高温に耐え、膜の特性に
影響を与えることがない。That is, Al forming the intermediate films 6a and 6b
Is a magnetic core half 1a made of Mn-Zn ferrite,
The underlayers 7a and 7b are effective for easily bonding with O 2 in 1b and preventing diffusion of Al forming the intermediate films 6a and 6b into the magnetic core halves 1a and 1b. By forming the underlayers 7a and 7b from SiO 2 or the like, the intermediate films 6a and 6b and the magnetic gap layers 3a and 3 are formed.
b, it withstands a high temperature due to heat treatment for stabilizing the film performed after forming the underlying layers 7a and 7b, and does not affect the characteristics of the film.
【００３６】（第四構成例）図４に示す第四構成例の磁
気ヘッドは、一対の磁気コア半体１ａ、１ｂと、それら
の間に設けられた磁気ギャップ層３ａ、３ｂと、前記磁
気コア１ａ、１ｂとギャップ層３ａ、３ｂの間に設けら
れた金属磁性層２ａ、２ｂとを具備し、前記金属磁性層
２ａ、２ｂと磁気コア半体１ａ、１ｂとの間であって、
前記ギャップ層３ａ、３ｂ間に形成された主ギャップＲ
と非平行な部分のみに、Ａｌ単体からなる中間膜８ａ、
８ｂが形成され、かつ前記中間膜８ａ、８ｂと磁気コア
半体１ａ、１ｂの間には、ＳｉＯ2等の高融点材料から
なる下地層９ａ、９ｂが設けられ、上記のように成膜さ
れた磁気コア半体１ａ、１ｂをガラス層１２、１２によ
って接合されてなるものである。なお、前記中間膜８
ａ、８ｂは、Ａｌ単体のみならずＡｌ2Ｏ3やＡｌＮなど
のＡｌ化合物を用いても良い。また、前記下地層９ａ、
９ｂには、ＳｉＯ2の他に高融点材料であるＳｉ4Ｏ3、
ＳｉＮ2、ＴａＮ、ＺｒＮ、ＨｆＮ、Ｔａ、Ｐｔ等を用
いても良い。(Fourth Configuration Example) The magnetic head of the fourth configuration example shown in FIG. 4 has a pair of magnetic core halves 1a and 1b, magnetic gap layers 3a and 3b provided between them, and the above-mentioned magnetic field. The magnetic magnetic layers 2a and 2b provided between the cores 1a and 1b and the gap layers 3a and 3b, and between the metallic magnetic layers 2a and 2b and the magnetic core halves 1a and 1b,
The main gap R formed between the gap layers 3a and 3b
An intermediate film 8a made of a simple substance of Al only in a portion not parallel to
8b is formed, and between the intermediate films 8a, 8b and the magnetic core halves 1a, 1b, the underlayers 9a, 9b made of a high melting point material such as SiO 2 are provided and formed as described above. The magnetic core halves 1a and 1b are joined together by the glass layers 12 and 12. The intermediate film 8
For a and 8b, not only Al alone but also Al compounds such as Al 2 O 3 and AlN may be used. In addition, the underlayer 9a,
9b includes Si 4 O 3 , which is a high melting point material, in addition to SiO 2 .
SiN 2 , TaN, ZrN, HfN, Ta, Pt, etc. may be used.
【００３７】そこで、第四構成例の磁気ヘッドにおける
諸元を以下に示す。 金属磁性層の厚さ ： ３〜１０μm トラック幅 ： ２０μm ギャップ深さ ： ２０μm ギャップ長 ： ０．２μｍ 中間膜の厚さ ： ５０〜２０００Å 下地層の厚さ ： ５０〜２００ÅThe specifications of the magnetic head of the fourth configuration example are shown below. Thickness of metal magnetic layer: 3 to 10 μm Track width: 20 μm Gap depth: 20 μm Gap length: 0.2 μm Intermediate film thickness: 50 to 2000 Å Underlayer thickness: 50 to 200 Å
【００３８】上記金属磁性層２ａ、２ｂの厚さは、それ
ぞれ３〜１０μｍ程度とすることが良く、Ａｌ膜からな
る中間膜８ａ、８ｂの厚さは、５０〜２０００Å程度と
することが望ましい。そして、前記下地層９ａ、９ｂ
は、蒸着またはスパッタにより形成し、その厚さは５０
〜２００Å程度とすることが好ましい。The thickness of each of the metal magnetic layers 2a and 2b is preferably about 3 to 10 μm, and the thickness of each of the intermediate films 8a and 8b made of an Al film is preferably about 50 to 2000 Å. Then, the underlying layers 9a and 9b
Is formed by vapor deposition or sputtering, and has a thickness of 50
It is preferably about 200 Å.
【００３９】なお、前記金属磁性層及びＡｌ単体からな
る中間膜８ａ、８ｂの作製方法は、上述した第三構成例
の薄膜形成方法と同様の方法を使用した。そして、第三
構成例の磁気ヘッドと同様に前記金属磁性層２ａ、２ｂ
及び下地層９ａ、９ｂ並びに中間膜８ａ、８ｂを形成し
た後、熱処理を施した。The method of forming the metal magnetic layer and the intermediate films 8a and 8b made of a simple substance of Al used the same method as the thin film forming method of the above-mentioned third structural example. Then, similar to the magnetic head of the third configuration example, the metal magnetic layers 2a and 2b are provided.
After forming the base layers 9a and 9b and the intermediate films 8a and 8b, heat treatment was performed.
【００４０】従って、上述した第四構成例の磁気ヘッド
は、前記中間膜８ａ、８ｂの形成部位は第三構成例の磁
気ヘッドと異なるが、その効果は前記金属磁性層２ａ、
２ｂ中のＣ（炭素）が、中間膜８ａ、８ｂを形成するＡ
ｌと結合し易く、金属磁性層２ａ、２ｂと中間膜８ａ、
８ｂとの膜間の密着強度を向上させることができる。Therefore, the magnetic head of the above-mentioned fourth structure example is different from the magnetic head of the third structure example in the formation portion of the intermediate films 8a and 8b, but the effect is the metal magnetic layer 2a,
C (carbon) in 2b forms A forming the intermediate films 8a and 8b.
l and the metal magnetic layers 2a and 2b and the intermediate film 8a,
The adhesion strength between the film and 8b can be improved.
【００４１】そして、第三構成例の磁気ヘッドと同様に
中間膜８ａ、８ｂと磁気コア半体１ａ、１ｂの間に下地
層９ａ、９ｂを設けることによって、前記中間膜８ａ、
８ｂを形成する磁性金属の磁気コア半体１ａ、１ｂへの
拡散を防止するとともに、２次ギャップ対策としても有
効な手段となる。Then, similarly to the magnetic head of the third configuration example, by providing the underlayers 9a and 9b between the intermediate films 8a and 8b and the magnetic core halves 1a and 1b, the intermediate films 8a and 8b can be formed.
This is an effective means for preventing the diffusion of the magnetic metal forming 8b into the magnetic core halves 1a, 1b and also as a countermeasure against the secondary gap.
【００４２】[0042]
【発明の効果】従って、本発明の磁気ヘッドでは、一対
の磁気コア半体と、それらの間に設けられた磁気ギャッ
プ層と、前記磁気コア半体とギャップ層の間に設けられ
た金属磁性層を具備してなるメタルインギャップ型の磁
気ヘッドの金属磁性層と磁気コアの間にＡｌ又はＡｌ化
合物からなる中間膜が形成されてなることにより、前記
金属磁性層及び中間膜との膜の付着力を向上させ、前記
金属磁性薄膜及び中間膜そして磁気コア半体間における
膜はがれを回避するとともに、磁気記録特性の向上を図
ることができる。Therefore, in the magnetic head of the present invention, a pair of magnetic core halves, a magnetic gap layer provided between them, and a metal magnetic layer provided between the magnetic core halves and the gap layer. By forming an intermediate film made of Al or an Al compound between the metal magnetic layer and the magnetic core of the metal-in-gap type magnetic head having a layer, a film of the metal magnetic layer and the intermediate film is formed. It is possible to improve the adhesive force, avoid film peeling between the metal magnetic thin film, the intermediate film and the magnetic core half body, and improve the magnetic recording characteristics.
【００４３】さらに前記中間膜と磁気コア半体の間に下
地層を形成した場合には、中間膜を形成する金属磁性層
の磁気コア半体への拡散を防止することが可能であり、
２次ギャップの形成を防止する作用も奏する。そして、
以上のように本発明の磁気ヘッドは、金属磁性層近傍に
薄膜を複数積層してなるものであり、渦電流損失の増大
や膜応力の増大を抑制し、磁気記録特性を向上を図るこ
とができる。Further, when the underlayer is formed between the intermediate film and the magnetic core half, it is possible to prevent the metal magnetic layer forming the intermediate film from diffusing into the magnetic core half.
It also acts to prevent the formation of a secondary gap. And
As described above, the magnetic head of the present invention is formed by laminating a plurality of thin films in the vicinity of the metal magnetic layer, and it is possible to suppress an increase in eddy current loss and a film stress and improve magnetic recording characteristics. it can.
【図１】図１は、本発明の実施例における第一構成例の
磁気ヘッドの磁気テープ摺接面における要部拡大図であ
る。FIG. 1 is an enlarged view of a main part of a magnetic tape sliding contact surface of a magnetic head having a first configuration example according to an embodiment of the present invention.
【図２】図２は、本発明の実施例における第二構成例の
磁気ヘッドの磁気テープ摺接面における要部拡大図であ
る。FIG. 2 is an enlarged view of a main part of a magnetic tape sliding contact surface of a magnetic head of a second configuration example according to an embodiment of the present invention.
【図３】図３は、本発明の実施例における第三構成例の
磁気ヘッドの磁気テープ摺接面の要部拡大図である。FIG. 3 is an enlarged view of a main part of a magnetic tape sliding contact surface of a magnetic head having a third configuration example according to an embodiment of the present invention.
【図４】図４は、本発明の実施例における第四構成例の
磁気ヘッドの磁気テープ摺接面の要部拡大図である。FIG. 4 is an enlarged view of a main part of a magnetic tape sliding contact surface of a magnetic head of a fourth configuration example according to an embodiment of the present invention.
【図５】図５は、本実施例における膜はがれ率を測定方
法を説明するための図である。FIG. 5 is a diagram for explaining a method of measuring a film peeling rate in this example.
【図６】図６は、一従来例のメタルインギャップ型の磁
気ヘッドの斜視図である。FIG. 6 is a perspective view of a conventional metal-in-gap type magnetic head.
【図７】図７は、図６の磁気ヘッドの磁気テープ摺接面
の要部拡大図である。7 is an enlarged view of a main part of a magnetic tape sliding contact surface of the magnetic head of FIG.
【図８】図８は、図６の磁気ヘッドの金属磁性層と磁気
コア半体の間に下地層を設けた磁気ヘッドにおける磁気
テープ摺接面の要部拡大図である。8 is an enlarged view of a main part of a magnetic tape sliding contact surface of a magnetic head of FIG. 6 in which an underlayer is provided between a metal magnetic layer and a magnetic core half body of the magnetic head of FIG. 6;
１ａ 磁気コア半体 １ｂ 磁気コア半体 ２ａ 金属磁性層 ２ｂ 金属磁性層 ３ａ ギャップ層 ３ｂ ギャップ層 ４ａ 中間膜 ４ｂ 中間膜 ５ａ 中間膜 ５ｂ 中間膜 ６ａ 中間膜 ６ｂ 中間膜 ７ａ 下地層 ７ｂ 下地層 ８ａ 中間膜 ８ｂ 中間膜 ９ａ 下地層 ９ｂ 下地層 1a Magnetic core half body 1b Magnetic core half body 2a Metal magnetic layer 2b Metal magnetic layer 3a Gap layer 3b Gap layer 4a Intermediate film 4b Intermediate film 5a Intermediate film 5b Intermediate film 6a Intermediate film 6b Intermediate film 7a Underlayer 7b Underlayer 8a Intermediate Film 8b Intermediate film 9a Underlayer 9b Underlayer
Claims (3)
けられた磁気ギャップ層と、前記磁気コア半体とギャッ
プ層の間に設けられた金属磁性層を具備してなるメタル
インギャップ型の磁気ヘッドにおいて、前記金属磁性層
と磁気コア半体の間にＡｌ単体またはＡｌ化合物からな
る中間膜が形成されてなることを特徴とする磁気ヘッ
ド。1. A metal-in-gap comprising a pair of magnetic core halves, a magnetic gap layer provided between them, and a metal magnetic layer provided between the magnetic core halves and the gap layer. Type magnetic head, characterized in that an intermediate film made of Al simple substance or Al compound is formed between the metal magnetic layer and the magnetic core half body.
けられた磁気ギャップ層と、前記磁気コアとギャップ層
の間に設けられた金属磁性層とを具備してなるメタルイ
ンギャップ型の磁気ヘッドにおいて、前記金属磁性層と
磁気コア半体との間であって、前記ギャップ層間に形成
された主ギャップと非平行な部分のみに、Ａｌ単体又は
Ａｌ化合物からなる中間膜が形成されてなることを特徴
とする磁気ヘッド。2. A metal-in-gap type comprising a pair of magnetic core halves, a magnetic gap layer provided between them, and a metallic magnetic layer provided between the magnetic core and the gap layer. In the magnetic head described above, an intermediate film made of Al alone or an Al compound is formed only between the metal magnetic layer and the magnetic core half body and only in a portion not parallel to the main gap formed between the gap layers. A magnetic head characterized in that
おいて、中間膜と磁気コア半体の間に高融点金属からな
る下地層が形成されてなることを特徴とする磁気ヘッ
ド。3. The magnetic head according to claim 1, wherein an underlayer made of a refractory metal is formed between the intermediate film and the magnetic core half body.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1038892A JPH0628622A (en) | 1992-01-23 | 1992-01-23 | Magnetic head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1038892A JPH0628622A (en) | 1992-01-23 | 1992-01-23 | Magnetic head |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0628622A true JPH0628622A (en) | 1994-02-04 |
Family
ID=11748744
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1038892A Withdrawn JPH0628622A (en) | 1992-01-23 | 1992-01-23 | Magnetic head |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0628622A (en) |
-
1992
- 1992-01-23 JP JP1038892A patent/JPH0628622A/en not_active Withdrawn
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4935311A (en) | Magnetic multilayered film and magnetic head using the same | |
| US5675460A (en) | Magnetic head and method of producing the same | |
| JP2635422B2 (en) | Magnetic head | |
| JPS6129105A (en) | Magnetic alloy thin film | |
| JPH0628622A (en) | Magnetic head | |
| JP2882927B2 (en) | Magnetic head and method of manufacturing magnetic head | |
| JP2947658B2 (en) | Magnetic head | |
| JP3452594B2 (en) | Manufacturing method of magnetic head | |
| JPH0536016A (en) | Magnetic head | |
| JP2995784B2 (en) | Magnetic head | |
| JPS63124208A (en) | Magnetic head | |
| JP3147434B2 (en) | Magnetic head | |
| JPH0765316A (en) | Magnetic head | |
| JP3211295B2 (en) | Stacked magnetic head | |
| JPH0721513A (en) | Magnetic head | |
| JPH02185707A (en) | Composite type magnetic head and production thereof | |
| JPH0376102A (en) | Multilayer magnetic thin film and magnetic head using the same | |
| JPH0722237A (en) | Soft magnetic film and magnetic head employing it | |
| JPH0696419A (en) | Magnetic head and its production | |
| JPH04289507A (en) | Magnetic head | |
| JPH06338015A (en) | Magnetic head | |
| JPH0529141A (en) | Metal magnetic thin film and magnetic head utilizing same | |
| JPH03113705A (en) | Production of composite magnetic head | |
| JPH05226151A (en) | Soft magnetic alloy film to be used for magnetic head and having high saturation flux density and high heat resistance and magnetic head | |
| JPH07334813A (en) | Magnetic head |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990408 |