JPH06283020A - Paste for screen printing - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To obtain a paste for screen printing which can improve the smoothness of the surface of a formed membrane, and the evenness of the particle distribution in the membrane. CONSTITUTION:This paste is composed of 100 wt.pt. of the MgO minute powder whose specific surface area shown in the BET method is 8.7m<2>/g, 40 wt.pt. of a tetraethoxy silane partial hydrolysis condensate as a liquid binder, 5 wt.pt. of resin (ethyl cellulose, in this case), and a specific amount of solvent.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、スクリーン印刷用ペ
ーストに関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a screen printing paste.

【０００２】[0002]

【従来の技術】スクリーン印刷法は、例えばプリント配
線板やハイブリッドＩＣを形成する際に基板に導体、絶
縁体、抵抗体などを形成する方法として多用されてい
る。それは、真空装置を使用し薄膜を形成しこの薄膜を
パターニングして目的の導体、絶縁体、抵抗体などを形
成する技術に比べ、(1).導体などを低コストで形成で
き、(2).大面積な基板上にも導体などを形成できるなど
の特長を有するからである。しかし、その反面、スクリ
ーン印刷法は、真空装置等を用いる後者の方法に比べ、
(a).高精細なパターンを形成することが困難（例えば５
本／ｍｍのライン・アンド・スペース程度の分解能が限
界）、(b).多機能なスクリーン印刷用ペーストがなかな
か存在しないことなどから、導電体、絶縁体、抵抗体な
ど単機能な部品の形成に主に使用されていた。2. Description of the Related Art A screen printing method is widely used as a method of forming conductors, insulators, resistors, etc. on a substrate when forming a printed wiring board or a hybrid IC, for example. Compared with the technology of forming a thin film using a vacuum device and patterning this thin film to form the desired conductor, insulator, resistor, etc. (1). Conductors can be formed at low cost, (2) This is because it has features such as the ability to form conductors on a large substrate. However, on the other hand, the screen printing method is more difficult than the latter method using a vacuum device.
(a). It is difficult to form a high-definition pattern (for example, 5
(Resolution of line / space of books / mm is the limit), (b). Since there are few multifunctional screen printing pastes, formation of single-function parts such as conductors, insulators and resistors Was mainly used in.

【０００３】ところが、近年、単機能な膜ではなく多機
能な膜をスクリーン印刷法によって形成したいという要
望が出てきている。例えば、ガス放電パネルの分野では
それが顕著である。具体例でいえば、ガス放電パネルの
作製に当たってはパネルの大型化に対応するべくスクリ
ーン印刷法が多用されるが、その際に、電気特性にも優
れかつ耐スパッタ性にも優れた膜が必要とされるのであ
る。そこで、例えば文献Ｉ（１９９２年テレビジョン学
会年次大会予稿集，５−１，ｐ．１０１−１０２）に
は、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）粉末を含みさらに、低
温度融着を実現させるためにバインダとしてＰｂＯを含
むペーストによって、ＡＣ（交流）型のガス放電パネル
の保護層を形成する例が開示されている。さらに、この
文献には、ＭｇＯ粉末の代わりに水酸化マグネシウム
［Ｍｇ（ＯＨ）₂ ］をペースト中に含ませこれを後の焼
成時にＭｇＯにする構成のペーストを用いる例も開示さ
れている。粒子としてＭｇＯを用いているのは、ＭｇＯ
が２次電子放出比が高いためガス放電パネルの低電圧駆
動化が図れることが期待でき、さらにＭｇＯが耐スパッ
タ性に優れるため保護層の長寿命化が図れるからであっ
た。However, in recent years, there has been a demand for forming a multi-functional film by a screen printing method instead of a single-functional film. For example, it is remarkable in the field of gas discharge panels. As a specific example, in producing a gas discharge panel, a screen printing method is often used in order to cope with an increase in the size of the panel, but at that time, a film having excellent electrical characteristics and excellent spatter resistance is required. It is said that. Therefore, for example, Document I (Television Society Annual Conference Proceedings of 1992, 5-1, p. 101-102) contains a magnesium oxide (MgO) powder, and further a binder for realizing low temperature fusion. As an example, a paste containing PbO is used to form a protective layer for an AC (alternating current) type gas discharge panel. Further, this document also discloses an example of using a paste having a constitution in which magnesium hydroxide [Mg (OH) ₂ ] is contained in the paste in place of the MgO powder to be MgO at the time of subsequent firing. MgO is used as particles because
However, since the secondary electron emission ratio is high, it can be expected that the gas discharge panel can be driven at a low voltage, and since MgO has excellent spatter resistance, the life of the protective layer can be extended.

【０００４】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ところで、スクリーン
印刷用ペーストを用い形成される膜は、その表面がなる
べく平滑でかつ膜中に粒子が均一に分布しているものの
方が好ましい場合が多い。例えば、上記ＡＣ型のガス放
電パネルの保護層として有望なＭｇＯ膜の場合、その表
面に大きな凹凸があるとそこに放電の集中が生じ易くな
るので耐スパッタ性が悪化し、また、ＭｇＯ粒子の均一
性が悪いとＭｇＯ本来の特性が生かしにくい等の不具合
が生じるからである。しかしながら、従来の一般的なス
クリーン印刷用ペースト（一般には粒子、バインダ、樹
脂及び溶剤で構成される。）では、粒子として直径が数
μｍのものが用いられ、バインダとして低融点ガラス
（主に鉛ガラス）が用いられていた。また、上記文献Ｉ
に開示のＭｇＯペーストにあっても、粒子は０．０３μ
ｍ〜０．３μｍのものを用いているものの、バインダと
して低融点ガラス（主に鉛ガラス）が用いられていた。
このため、次のような問題点が生じていた。By the way, in many cases, it is preferable that the film formed by using the paste for screen printing has a surface as smooth as possible and particles are uniformly distributed in the film. For example, in the case of a MgO film, which is promising as a protective layer for the AC type gas discharge panel, if there are large irregularities on the surface, discharge concentration is likely to occur there, which deteriorates spatter resistance, and further This is because if the uniformity is poor, problems such as difficulty in utilizing the original characteristics of MgO occur. However, in a conventional general screen printing paste (generally composed of particles, binder, resin and solvent), particles having a diameter of several μm are used, and a low melting point glass (mainly lead Glass) was used. Further, the above-mentioned document I
Even with the MgO paste disclosed in US Pat.
Although low-melting-point glass (mainly lead glass) was used as the binder, although a glass having a thickness of m to 0.3 μm was used.
Therefore, the following problems have occurred.

【０００５】（１）粒子及びバインダの双方が共に粉末
であるので、両者の混合具合の均一性及び形成された膜
の表面平滑性を改善するにもおのずと限界がある。図３
（Ａ）及び（Ｂ）はその説明に供する図であり、特に図
３（Ａ）はＭｇＯの粉末１１と、低融点ガラス粉末１３
とを含む従来のペーストの印刷膜１５を下地１７上に形
成した状態を模式的に示した図である。なお、図３
（Ａ）において１９はこのペーストの他の構成成分であ
る樹脂及び溶剤部分である。また、図３（Ｂ）は前記印
刷膜１５を焼成して得た膜１５ａの状態を模式的に示し
た図である。ＭｇＯの粉末と低融点ガラス１３との混合
が固体同士の混合であるので膜１５ａ表面にはＭｇＯの
領域と低融点ガラスの領域とが混在した状態になると考
えられる。(1) Since both the particles and the binder are both powders, there is a limit to improving the uniformity of the mixing state of both and the surface smoothness of the formed film. Figure 3
FIGS. 3A and 3B are diagrams used for the description, and in particular, FIG. 3A is a MgO powder 11 and a low melting point glass powder 13.
It is the figure which showed typically the state which formed the printed film 15 of the conventional paste containing and on the base material 17. Note that FIG.
In (A), 19 is a resin and a solvent portion which are other constituent components of this paste. Further, FIG. 3B is a diagram schematically showing a state of the film 15a obtained by firing the printed film 15. Since the mixture of the MgO powder and the low melting point glass 13 is a mixture of solids, it is considered that the MgO region and the low melting point glass region are mixed on the surface of the film 15a.

【０００６】（２）上記（１）の理由で均一性の改善に
も限度があるため、従来のスクリーン印刷用ペーストで
大面積な基板上に所望の機能の膜を形成する場合その機
能を確保するには重ね印刷が必要になり結果的に、形成
された膜の厚さを厚くせざるを得ない。例えば、ＡＣ型
のガス放電パネルの保護層はその厚さを薄くできた方が
パネルの特性向上のうえで有利であるので、少ない重ね
印刷数で所望の特性が得られるペーストが望まれる。(2) Since improvement in uniformity is limited due to the reason (1) above, when a film having a desired function is formed on a large-area substrate with a conventional screen printing paste, that function is secured. In order to do so, overprinting is required, and as a result, the thickness of the formed film must be increased. For example, it is advantageous in terms of improving the characteristics of the panel that the thickness of the protective layer of the AC type gas discharge panel can be made thin. Therefore, a paste that can obtain the desired characteristics with a small number of overprints is desired.

【０００７】また、バインダとして低融点ガラスを用い
ていたため次のような問題も生じていた。Further, since the low melting point glass is used as the binder, the following problems occur.

【０００８】（ａ）バインダとして用いられる低融点ガ
ラスは溶解、固化を可逆的に起こすものであるので、こ
れを含む膜では膜の形成が完了した後でもその後に低融
点ガラスの溶解温度以上の熱処理工程がある場合にはそ
の都度低融点ガラスの溶解、固化が生じてしまう。この
ため、安定な膜が得がたい。(A) Since the low-melting glass used as a binder reversibly causes melting and solidification, a film containing the low-melting glass has a melting temperature higher than that of the low-melting glass even after the film formation is completed. Whenever there is a heat treatment step, the low melting point glass is melted and solidified. Therefore, it is difficult to obtain a stable film.

【０００９】（ｂ）膜中の低融点ガラスはこの膜が曝さ
れている環境の影響により変化し易くそのため弊害が生
じ易い。例えば、低融点ガラスとしての鉛ガラスはそれ
に含まれる酸化鉛が還元性雰囲気中では還元され鉛とな
るので膜表面に鉛が析出する。(B) The low melting point glass in the film is liable to change due to the influence of the environment to which the film is exposed, and therefore the harmful effect is likely to occur. For example, in lead glass as a low melting point glass, lead oxide contained therein is reduced to lead in a reducing atmosphere, so that lead is deposited on the film surface.

【００１０】（ｃ）低融点ガラスを充分に溶解させるた
めには通常５００℃以上の温度が必要であるので、低融
点ガラスを含むスクリーン印刷用ペーストで膜を形成す
る場合の下地はこの温度に耐え得るものである必要があ
る。このため、下地の選択度が制限される。また、５０
０℃以上の温度では下地を構成する元素が膜側へ拡散す
る恐れもありこの点からも下地の選択度は制限される。(C) Since a temperature of 500 ° C. or higher is usually required to sufficiently melt the low-melting glass, the base for forming a film with the screen-printing paste containing the low-melting glass is at this temperature. It must be able to withstand. Therefore, the selectivity of the background is limited. Also, 50
At a temperature of 0 ° C. or higher, the element forming the underlayer may diffuse to the film side, which also limits the selectivity of the underlayer.

【００１１】これに対し、従来のスクリーン印刷用ペー
ストの他の例として、固形分を用いないものもあった。
いわゆるメタルオーガニックペーストと称されるもので
ある。目的とする金属をその有機金属として含むペース
トでありその焼成時に有機物部分は除去される型のペー
ストである。しかし、このメタルオーガニックペースト
の場合も以下に説明するような問題点があった。On the other hand, as another example of the conventional screen printing paste, there is a paste which does not use solid content.
It is a so-called metal organic paste. This paste is a paste containing a target metal as its organic metal, and the organic material portion is removed during the firing. However, this metal organic paste also has the following problems.

【００１２】（ｉ）固形分が含まれていないため、焼成
後の膜厚は焼成前の膜厚に比べ通常１／１０にもなって
しまう。このため、１回の印刷及び焼成で形成される膜
の厚さは小さい（通常最大でも０．２μｍ程度）。した
がって、表面粗さが大きい下地に膜形成する場合その膜
にピンホールが生じ易い。(I) Since the solid content is not included, the film thickness after firing is usually 1/10 of the film thickness before firing. Therefore, the thickness of the film formed by one printing and firing is small (usually about 0.2 μm at the maximum). Therefore, when a film is formed on a base having a large surface roughness, pinholes are likely to occur in the film.

【００１３】（ii）固形分が含まれていないので良好な
印刷特性を得る状態ではその粘度が低いためパターンが
だれ易くそのため高精細なパターンが形成できない。(Ii) Since solid content is not contained, the viscosity is low in a state where good printing characteristics are obtained, and therefore the pattern is liable to sag, so that a high-definition pattern cannot be formed.

【００１４】（iii ）上記（ｉ）の問題を除去するため
に重ね印刷を行うとそれに伴い膜の応力が増え場合によ
っては膜にクラックが生じる。このため、膜厚を大きく
することが難しい。(Iii) When overlay printing is performed to eliminate the problem of (i) above, the stress of the film increases with the occurrence of cracks in the film in some cases. Therefore, it is difficult to increase the film thickness.

【００１５】このように従来のスクリーン印刷用ペース
トは必ずしも満足のゆくものではなかった。As described above, the conventional screen printing pastes are not always satisfactory.

【００１６】この発明はこのような点に鑑みなされたも
のであり、したがって、この発明の目的は上述の問題点
を解決若しくは従来より軽減できるスクリーン印刷用ペ
ーストを提供することにある。The present invention has been made in view of the above circumstances, and therefore an object of the present invention is to provide a screen printing paste capable of solving the above-mentioned problems or reducing the above problems.

【００１７】[0017]

【課題を解決するための手段】この目的の達成を図るた
め、この発明によれば、粒子及びバインダを含むスクリ
ーン印刷用ペーストにおいて、粒子を微粉末とし、バイ
ンダを当該ペーストを焼成する際の熱により酸化物とな
る液体バインダとしたことを特徴とする。In order to achieve this object, according to the present invention, in a screen printing paste containing particles and a binder, the particles are made into fine powder and the binder is heated at the time of firing the paste. It is characterized in that it is a liquid binder which becomes an oxide.

【００１８】ここで微粉末とは、形成したい膜に応じた
材料から成り、かつ、スクリーン印刷用ペーストに要求
される特性に応じ決定される適正な粒径のものをいうも
のとする。例えば、ＭｇＯを含む膜を作製したい場合は
例えばＭｇＯの微粉末であることができる。また、最終
的に目的の粒子が得られる前駆物質もここでいう粒子に
含み得る。例えばＭｇＯを目的の粒子とする場合のＭｇ
（ＯＨ）₂ はここでいう前駆物質である。また、粒子の
粒径はなるべく小さい方が粒子とバインダとの混合具合
の均一性が高まると考えられるので好ましい。これにか
ぎられないが、平均粒径が５μｍ以下、より好ましくは
２μｍ以下とする。Here, the fine powder means a material having a proper particle diameter which is made of a material corresponding to the film to be formed and which is determined according to the characteristics required for the screen printing paste. For example, when it is desired to form a film containing MgO, for example, fine powder of MgO can be used. Further, a precursor that finally obtains the target particles may be included in the particles here. For example, when MgO is the target particle, Mg
(OH) ₂ is a precursor as used herein. Further, it is preferable that the particle size of the particles is as small as possible because the uniformity of the mixing state of the particles and the binder is improved. Although not limited thereto, the average particle size is 5 μm or less, more preferably 2 μm or less.

【００１９】また、ペーストの焼成により酸化物となる
液体バインダも、形成したい膜に応じた種々のものとで
きる。粒子と特定の関係を持つもの（例えば粒子がＭｇ
Ｏであるなら液体バインダは焼成後にＭｇＯになるも
の）でも良いし、不特定の関係を持つもの（例えば粒子
がＭｇＯであるなら液体バインダは焼成後にＳｉＯ₂ な
どＭｇＯ以外の酸化物になるもの）でも良い。また、必
要によっては複数種の液体バインダを混合したものとし
ても良いと考える。The liquid binder that becomes an oxide by firing the paste can also be various according to the film to be formed. Those that have a specific relationship with the particles (for example, the particles are Mg
If it is O, the liquid binder may be MgO after firing) or may have an unspecified relationship (for example, if the particles are MgO, the liquid binder becomes an oxide other than MgO such as SiO ₂ after firing). But good. In addition, it is considered that a mixture of a plurality of types of liquid binders may be used if necessary.

【００２０】[0020]

【作用】この発明の構成によれば、バインダを所定の液
体バインダとし、粒子を微粉末としているので、バイン
ダ及び粒子双方を粉末とする場合に比べ、粒子とバイン
ダとの混合具合は良好になり、かつ、微粉末はバインダ
中に均一に分散しやすくなる。According to the structure of the present invention, since the binder is a predetermined liquid binder and the particles are fine powders, the mixing condition of the particles and the binder is better than in the case where both the binder and the particles are powders. Moreover, the fine powder is easily dispersed uniformly in the binder.

【００２１】また、粒子を微粉末としているので形成し
た膜の表面平滑性は粒子を無作為に使用する場合に比べ
良好になる。Further, since the particles are fine powders, the surface smoothness of the formed film is better than that when the particles are used randomly.

【００２２】また、液体バインダはペースト焼成後に酸
化物となる。そしてこの酸化物によって微粉末をつなぎ
とめる。酸化物は低融点ガラスに比べ熱的に安定なもの
が多いので、ペーストを焼成して得た膜にその後に熱
（例えばガス放電パネル製造工程で必要とされる熱）が
加えられたとしてもその熱でこの酸化物が溶融すること
は生じにくい。このため、バインダを低融点ガラスとし
ていた場合に比べ膜の安定性が良好になる。The liquid binder becomes an oxide after firing the paste. The fine powder is held together by this oxide. Since many oxides are more thermally stable than low-melting glass, even if heat is applied to the film obtained by firing the paste (for example, the heat required in the gas discharge panel manufacturing process), The heat is unlikely to cause the oxide to melt. For this reason, the stability of the film is improved as compared with the case where the binder is low melting glass.

【００２３】[0023]

【実施例】以下、図面を参照してこの発明のスクリーン
印刷用ペーストの実施例について比較例と共に説明す
る。しかしながら説明に用いる各図はこの発明を理解で
きる程度に概略的に示してあるにすぎない。また、以下
の説明中で述べる使用薬品及びその量、また温度、時間
などの数値的条件はこの発明の範囲内の一例にすぎな
い。EXAMPLES Examples of the screen printing paste of the present invention will be described below together with comparative examples with reference to the drawings. However, the drawings used in the description are merely schematic representations so that the present invention can be understood. The chemicals used and their amounts, and the numerical conditions such as temperature and time described in the following description are merely examples within the scope of the present invention.

【００２４】１．第１実施例 先ず、粒子としてのベット（ＢＥＴ）法で表わした比表
面積が８．７ｍ² ／ｇのＭｇＯ微粉末１００重量部と、
液体バインダとしてのテトラエトキシシラン部分加水分
解縮合物４０重量部と、樹脂（この場合エチルセルロー
ス）５重量部とを所定量の溶剤（この場合はジエチレン
グリコールモノブチルエーテル）に入れることで第１実
施例のペーストを調製する。なお、用いたテトラエトキ
シシラン部分加水分解縮合物はその平均重合度が６のも
のとしている。また、所定量の溶剤における所定量を、
この場合は、第１実施例のペーストにおける粒子の含有
量を２７〜２９重量％とし得るような量としている。ま
た、比表面積が８．７ｍ²／ｇのＭｇＯ微粉末の平均粒
径は、計算から求めると１８．９μｍということになる
が、ＭｇＯ微粉末は球形でなくかつその表面が凸凹して
いるため実際の粒径は２μｍ程度である。1. First Example First, 100 parts by weight of MgO fine powder having a specific surface area of 8.7 m ² / g expressed by BET method as particles,
40 parts by weight of tetraethoxysilane partially hydrolyzed condensate as a liquid binder and 5 parts by weight of resin (ethyl cellulose in this case) were put into a predetermined amount of solvent (diethylene glycol monobutyl ether in this case) to prepare the paste of the first embodiment. To prepare. The tetraethoxysilane partially hydrolyzed condensate used has an average degree of polymerization of 6. In addition, a predetermined amount in a predetermined amount of solvent,
In this case, the content of particles in the paste of the first embodiment is set to 27 to 29% by weight. Further, the average particle size of the MgO fine powder having a specific surface area of 8.7 m ² / g is calculated to be 18.9 μm, but the MgO fine powder is not spherical and the surface is uneven. The actual particle size is about 2 μm.

【００２５】この第１実施例のペーストをスクリーン印
刷法を用いガラス板上に一回の印刷操作により印刷す
る。図１（Ａ）は、この印刷によりガラス板２１上に形
成される印刷膜２３の状態を模式的に示した図である。
図１（Ａ）において、２５はＭｇＯ微粉末、２７は液体
バインダ、樹脂及び溶剤で構成される部分である。その
後この試料を５８０℃の温度で１０分間大気中で焼成す
る。得られた膜の膜厚は１０μｍとなっていることがわ
かった。図１（Ｂ）はこの焼成後に得られた膜２３ａの
状態を模式的に示した図である。膜２３ａ表面にはＭｇ
Ｏ微粉末２５が均一に分布し、かつ、各ＭｇＯ微粉末２
５間は酸化物２９（この場合はＳｉＯ₂ ）により良好に
埋められると考えられる。The paste of the first embodiment is printed on the glass plate by a single printing operation using the screen printing method. FIG. 1A is a diagram schematically showing a state of the printed film 23 formed on the glass plate 21 by this printing.
In FIG. 1A, 25 is a MgO fine powder, and 27 is a part composed of a liquid binder, a resin and a solvent. Thereafter, this sample is fired at a temperature of 580 ° C. for 10 minutes in the atmosphere. It was found that the thickness of the obtained film was 10 μm. FIG. 1B is a diagram schematically showing the state of the film 23a obtained after this firing. Mg on the surface of the film 23a
O fine powder 25 is evenly distributed, and each MgO fine powder 2
It is considered that the interval 5 is well filled with the oxide 29 (SiO _{2 in} this case).

【００２６】一方、比較例として、第１実施例と同様な
ＭｇＯ微粉末を５０重量％、バインダとして低融点ガラ
ス（Ｐｂガラス）を１５重量％、樹脂を５重量％及び溶
剤を３０重量％として構成したペーストを調製する。こ
の比較例のペーストを第１実施例のペーストの印刷時と
同様な版を用いかつ同様な印刷条件でガラス板上に１回
の印刷操作により印刷し、その後この試料を５８０℃の
温度で１０分間大気中で焼成する。得られた膜の膜厚は
１５〜２５μｍとなっていることがわかった。On the other hand, as a comparative example, 50% by weight of the same MgO fine powder as in the first embodiment, 15% by weight of a low melting point glass (Pb glass) as a binder, 5% by weight of a resin and 30% by weight of a solvent were used. Prepare the composed paste. The paste of this comparative example was printed by a single printing operation on a glass plate under the same printing conditions as the printing of the paste of the first embodiment and under the same printing conditions, and then this sample was printed at a temperature of 580 ° C. for 10 times. Bake in air for minutes. It was found that the film thickness of the obtained film was 15 to 25 μm.

【００２７】次に、第１実施例及び比較例各々のペース
トから形成した各膜の表面の粗さを、表面粗さ計を用い
てそれぞれ測定する。その結果、比較例のペーストから
得られた膜の表面の凹凸は最少でも５μｍであったのに
対し、第１実施例のペーストから得られた膜の表面の凹
凸は２〜４μｍとなっていることがわかった。この結果
から、この第１実施例のペーストは、バインダとして低
融点ガラスを用いていた従来のペーストに比べ、表面平
滑性に優れた膜の形成が可能なものであることが理解で
きる。Next, the surface roughness of each film formed from the pastes of the first example and the comparative example is measured using a surface roughness meter. As a result, the unevenness of the surface of the film obtained from the paste of the comparative example was at least 5 μm, while the unevenness of the surface of the film obtained from the paste of the first example was 2 to 4 μm. I understood it. From this result, it can be understood that the paste of the first embodiment is capable of forming a film having excellent surface smoothness as compared with the conventional paste in which the low melting point glass is used as the binder.

【００２８】また、第１実施例のペーストから形成した
膜でのＭｇＯ微粉末の分布の状況を周知の電子線マイク
ロアナライザ（ＥＰＭＡ）を用いて観察する。そして、
この結果を、粒子として酸化亜鉛（ＺｎＯ）の微粉末を
用い、かつ、バインダとしてＰｂガラスを用いたペース
トから形成された膜についてこの出願に係る発明者が文
献II（プロシーディングズ オブ ザ エスアイディー
(Proceedings of theSID)，Ｖｏｌ．３２．Ｎｏ．４，
ｐｐ．３１１−３１９（１９９１）に開示しているＥＰ
ＭＡによる分析結果と、比較したところ、第１実施例の
ペーストから形成した膜でのＭｇＯ微粉末の分布の均一
性の方が明らかに高いことが判った。比較例のペースト
（ＭｇＯ微粉末及びＰｂ鉛を用いたもの）でのＭｇＯの
分布具合がバインダとしてＰｂガラスを用いている以上
文献IIのものと同程度であるといえるので、第１実施例
及び比較例の関係においても第１実施例のペーストの方
がＭｇＯ微粉末の分布の均一性の良い膜が得られるとい
える。Further, the state of distribution of the MgO fine powder in the film formed from the paste of the first embodiment is observed using a well-known electron beam microanalyzer (EPMA). And
The results obtained by the inventor of the present application regarding the film formed from a paste using fine powder of zinc oxide (ZnO) as particles and using Pb glass as a binder are described in Document II (Proceedings of the SID).
(Proceedings of the SID), Vol. 32. No. 4,
pp. EP disclosed in 311-319 (1991)
As a result of comparison with the analysis result by MA, it was found that the uniformity of the distribution of the MgO fine powder in the film formed from the paste of the first example was clearly higher. Since the distribution of MgO in the paste of Comparative Example (using MgO fine powder and Pb lead) uses Pb glass as the binder, it can be said that it is about the same as that of Document II. In the relation of the comparative example, it can be said that the paste of the first embodiment can provide a film having a better distribution of the MgO fine powder.

【００２９】２．第２実施例 第１実施例の構成において、テトラエトキシシラン部分
加水分解縮合物の量を２０重量部としたこと以外は第１
実施例と同様にして第２実施例のペーストを調製する。
そして、この第２実施例のペーストを第１実施例の場合
と同様にガラス基板上に印刷し、さらにこの試料を焼成
する。得られた膜の表面を第１実施例同様に表面粗さ計
により観察する。この場合も第１実施例と同様な表面状
態となっていることがわかった。また、この膜でのＭｇ
Ｏ微粉末の分布具合も第１実施例のものと同様であっ
た。2. Second Example First example except that the amount of tetraethoxysilane partially hydrolyzed condensate was 20 parts by weight in the configuration of the first example.
The paste of the second embodiment is prepared in the same manner as the embodiment.
Then, the paste of the second embodiment is printed on the glass substrate as in the case of the first embodiment, and the sample is fired. The surface of the obtained film is observed with a surface roughness meter as in the first embodiment. Also in this case, it was found that the surface state was similar to that of the first embodiment. In addition, Mg in this film
The distribution of O fine powder was similar to that of the first embodiment.

【００３０】３．第３実施例 粒子として、ベット（ＢＥＴ）法で表わした比表面積が
１９．９ｍ² ／ｇのＭｇＯ微粉末を用いたこと以外は、
第１実施例と同様な構成として第３実施例のペーストを
調製する。そして、この第３実施例のペーストを第１実
施例の場合と同様にガラス基板上に印刷し、さらにこの
試料を焼成する。得られた膜の表面を第１実施例同様に
表面粗さ計により観察する。なお、比表面積が１９．９
ｍ² ／ｇのＭｇＯ微粉末の平均粒径は、計算から求める
と８．３μｍということになるが、ＭｇＯ微粉末は球形
でなくかつその表面が凸凹しているため実際の粒径は１
μｍ以下である。3. Third Example Except for using MgO fine powder having a specific surface area of 19.9 m ² / g expressed by the BET method as particles,
The paste of the third embodiment is prepared with the same structure as that of the first embodiment. Then, the paste of the third embodiment is printed on the glass substrate as in the case of the first embodiment, and the sample is fired. The surface of the obtained film is observed with a surface roughness meter as in the first embodiment. The specific surface area is 19.9.
The average particle size of the MgO fine powder of m ² / g is calculated to be 8.3 μm, but the actual particle size is 1 because the MgO fine powder is not spherical and the surface is uneven.
μm or less.

【００３１】この第３実施例で得られた膜では、最大２
μｍ程度の凹凸が認められた。比較例のペーストから形
成した膜に比べ明らかに平滑な表面を有した膜になって
いることがわかった。また、この膜でのＭｇＯ微粉末の
分布具合も第１実施例のものと同様であった。The film obtained in the third embodiment has a maximum of 2
Unevenness of about μm was recognized. It was found that the film formed had a smoother surface than the film formed from the paste of Comparative Example. The distribution of the MgO fine powder in this film was also the same as that in the first embodiment.

【００３２】４．第４実施例 第３実施例の構成において、テトラエトキシシラン部分
加水分解縮合物の量を２０重量部としたこと以外は第３
実施例と同様にして第４実施例のペーストを調製する。
そして、この第４実施例のペーストを第１実施例の場合
と同様にガラス基板上に印刷し、さらにこの試料を焼成
する。得られた膜の表面を第１実施例同様に表面粗さ計
により観察する。この場合も第３実施例と同様な表面状
態となっていることがわかった。また、この膜でのＭｇ
Ｏ微粉末の分布具合も第１実施例のものと同様であっ
た。4. Fourth Example Third example except that the amount of the tetraethoxysilane partially hydrolyzed condensate was 20 parts by weight in the configuration of the third example.
The paste of the fourth example is prepared in the same manner as the example.
Then, the paste of the fourth embodiment is printed on the glass substrate as in the case of the first embodiment, and the sample is fired. The surface of the obtained film is observed with a surface roughness meter as in the first embodiment. In this case as well, it was found that the surface state was similar to that of the third embodiment. In addition, Mg in this film
The distribution of O fine powder was similar to that of the first embodiment.

【００３３】５．第５実施例 粒子として、ベット（ＢＥＴ）法で表わした比表面積が
２０．７ｍ² ／ｇのＭｇ（ＯＨ）₂ 微粉末を用いたこと
以外は、第１実施例と同様な構成として第５実施例のペ
ーストを調製する。なお、このＭｇ（ＯＨ）₂ 微粉末の
実際の平均粒径も１μｍ以下である。次に、この第５実
施例のペーストを第１実施例の場合と同様にガラス基板
上に印刷し、さらにこの試料を焼成する。得られた膜の
表面を第１実施例同様に表面粗さ計により観察する。こ
の場合の膜では、最大２μｍ程度の凹凸が認められた。
比較例のペーストから形成した膜に比べ明らかに平滑な
表面を有した膜になっていることがわかった。また、こ
の膜でのＭｇＯ微粉末の分布具合も第１実施例のものと
同様であった。5. Fifth Example A fifth example having the same configuration as the first example except that Mg (OH) ₂ fine powder having a specific surface area of 20.7 m ² / g expressed by the BET method was used as the particles. Prepare the example pastes. The actual average particle size of this Mg (OH) ₂ fine powder is also 1 μm or less. Next, the paste of the fifth embodiment is printed on the glass substrate as in the case of the first embodiment, and the sample is fired. The surface of the obtained film is observed with a surface roughness meter as in the first embodiment. In the film in this case, unevenness of about 2 μm at maximum was recognized.
It was found that the film formed had a smoother surface than the film formed from the paste of Comparative Example. The distribution of the MgO fine powder in this film was also the same as that in the first embodiment.

【００３４】６．その他の実施例 例えば、次のような構成のペーストの場合も、これを用
いて形成される膜の表面平滑性及び膜での粒子の分布の
均一性を、バインダとして低融点ガラスを用いる場合に
比べ改善できる。6. Other Examples For example, also in the case of a paste having the following configuration, the surface smoothness of a film formed by using the paste and the uniformity of the distribution of particles in the film can be improved by using a low melting point glass as a binder. Can be improved in comparison.

【００３５】６−１．第１実施例〜第４実施例で用いた
ＭｇＯ微粉末またはＭｇ（ＯＨ）₂ 微粉末と、焼成する
際の熱によりＭｇＯになる液体バインダ（以下、「Ｍｇ
Ｏ液体前駆体」）と、樹脂と、溶剤とで構成したペース
ト。ＭｇＯ液体前駆体としては、例えば、マグネシウム
のナフテン酸塩とアルコールとを混合したもの、或い
は、マグネシウムジエトキシドなどを用いることができ
る。なお、このペーストの組成例としては、これに限ら
れないが、ＭｇＯ微粉末を５０重量％、ＭｇＯ液体前駆
体を５重量％、樹脂を５重量％及び溶剤を４０重量％と
した構成を挙げることができる。6-1. The MgO fine powder or Mg (OH) ₂ fine powder used in the first to fourth examples and a liquid binder (hereinafter, referred to as “Mg
O liquid precursor "), a resin, and a paste composed of a solvent. As the MgO liquid precursor, for example, a mixture of magnesium naphthenate and alcohol, or magnesium diethoxide can be used. An example of the composition of this paste is not limited to this, but a composition in which the MgO fine powder is 50% by weight, the MgO liquid precursor is 5% by weight, the resin is 5% by weight, and the solvent is 40% by weight is given. be able to.

【００３６】６−２．粒子としてのアルミナ（Ａｌ₂ Ｏ
₃ ）の微粉末と、焼成によりアルミナとなる液体バイン
ダ（以下、「アルミナ液体前駆体」）と、樹脂と、溶剤
とで構成したペースト。アルミナ液体前駆体としては、
例えば、アルミナのナフテン酸塩とアルコールとを混合
したもの、或いは、ジエチルアルミニウムエトキシド、
アルミニウムトリエトキシド、アルミニウムトリtert-
ブトキシドなどを用いることができる。この実施例のペ
ーストの場合は、形成される膜の表面平滑性、アルミナ
粒子の分布の均一性が従来に比べ良好な誘電体膜が得ら
れる。6-2. Alumina as particles (Al ₂ O
A paste composed of the fine powder of ₃ ), a liquid binder that becomes alumina by firing (hereinafter, "alumina liquid precursor"), a resin, and a solvent. As the alumina liquid precursor,
For example, a mixture of alumina naphthenate and alcohol, or diethyl aluminum ethoxide,
Aluminum triethoxide, aluminum tri tert-
Butoxide and the like can be used. In the case of the paste of this example, a dielectric film in which the surface smoothness of the formed film and the uniformity of the distribution of alumina particles are better than in the past can be obtained.

【００３７】６−３．粒子としての二酸化珪素（ＳｉＯ
₂ ）の微粉末と、焼成により二酸化珪素となる液体バイ
ンダ（以下、「二酸化珪素液体前駆体」）と、樹脂と、
溶剤とで構成したペースト。二酸化珪素液体前駆体とし
ては例えば第１実施例で用いたテトラエトキシシラン部
分加水分解縮合物を用いることができる。なお、このペ
ーストの組成例としては、これに限られないが、ＳｉＯ
₂ 微粉末を５０重量％、テトラエトキシシラン部分加水
分解縮合物を２０重量％、樹脂を５重量％及び溶剤を２
５重量％とした構成を挙げることができる。この実施例
のペーストの場合も、上記アルミナペースト同様、形成
される膜の表面平滑性、アルミナ粒子の分布の均一性が
従来に比べ良好な誘電体膜が得られる。6-3. Silicon dioxide as particles (SiO
₂ ) The fine powder, a liquid binder that becomes silicon dioxide by firing (hereinafter, "silicon dioxide liquid precursor"), a resin,
A paste composed with a solvent. As the silicon dioxide liquid precursor, for example, the tetraethoxysilane partially hydrolyzed condensate used in the first embodiment can be used. Note that the composition example of this paste is not limited to this, but SiO
₂ 50% by weight of fine powder, 20% by weight of tetraethoxysilane partially hydrolyzed condensate, 5% by weight of resin and 2% of solvent
An example of the composition is 5% by weight. Also in the case of the paste of this embodiment, as in the case of the above-mentioned alumina paste, a dielectric film having a surface smoothness of the formed film and a uniform distribution of alumina particles as compared with the conventional one can be obtained.

【００３８】６−４．粒子としての二酸化スズ（ＳｎＯ
₂ ）の微粉末と、焼成により二酸化スズとなる液体バイ
ンダ（以下、「二酸化スズ液体前駆体」）と、樹脂と、
溶剤とで構成したペースト。二酸化スズ液体前駆体とし
ては、例えば、スズのナフテン酸塩とアルコールとを混
合したもの、或いは、ニッカオクチックスズ［Ｓｎ（Ｃ
₇ Ｈ₁₅ＣＯ₂ ）₂ ：日本化学産業（株）製）、アセチル
アセトンスズ、ジ−ｎ−ブトキシスズ、塩化第二スズ
（ＳｎＣｌ₄ ）などを用いることができる。この実施例
のペーストの場合は、形成される膜の表面平滑性、アル
ミナ粒子の分布の均一性が従来に比べ良好な導電性の膜
が得られる。6-4. Tin dioxide as particles (SnO
₂ ) Fine powder, a liquid binder that becomes tin dioxide by firing (hereinafter, "tin dioxide liquid precursor"), a resin,
A paste composed with a solvent. Examples of the tin dioxide liquid precursor include, for example, a mixture of tin naphthenate and alcohol, or Nikkaoctic tin [Sn (C
₇ H ₁₅ CO ₂ ) ₂ : manufactured by Nippon Kagaku Sangyo Co., Ltd., acetylacetone tin, di-n-butoxytin, stannic chloride (SnCl ₄ ) and the like can be used. In the case of the paste of this example, a conductive film is obtained in which the surface smoothness of the formed film and the uniformity of the distribution of alumina particles are better than in the conventional case.

【００３９】７．応用例 上述において説明した各実施例のペーストは、例えば、
図２（Ａ）に断面図をもって示したＡＣ型ガス放電パネ
ル、図２（Ｂ）に断面図をもって示したＤＣ型のガス放
電パネルの作製にそれぞれ利用できる。ただし、図２の
各例では、ＡＣ型ガス放電パネルは、背面板３１と、こ
の背面板３１上に互いは離して設けられたＸ電極３３ａ
及びＹ電極３３ｂと、誘電体膜３５と、保護膜３７と、
この保護膜３７側で背面板３１に対向させて設けた前面
板３９とで構成されたものとしている。また、ＤＣ型ガ
ス放電パネルは、背面板４１と、この背面板４１上に順
に設けられたトリガ電極４３、誘電体４５、保護膜４７
及び陰極４９と、この陰極４９側で背面板４１に対向さ
せて設けた前面板５１と、この前面板５１に設けた陽極
５３と、背面板及び前面板間に設けた隔壁５５とで構成
されたものとしている。なお、図２（Ａ）及び（Ｂ）で
は断面を示すハッチングは省略してある。7. Application Example The paste of each embodiment described above, for example,
It can be used to manufacture an AC type gas discharge panel shown in a sectional view in FIG. 2A and a DC type gas discharge panel shown in a sectional view in FIG. 2B. However, in each example of FIG. 2, the AC type gas discharge panel includes a back plate 31 and X electrodes 33a provided on the back plate 31 and separated from each other.
And the Y electrode 33b, the dielectric film 35, the protective film 37,
The protective film 37 is formed of a front plate 39 facing the rear plate 31. Further, the DC type gas discharge panel includes a back plate 41, a trigger electrode 43, a dielectric 45, and a protective film 47 which are provided on the back plate 41 in this order.
And a cathode 49, a front plate 51 provided on the cathode 49 side so as to face the back plate 41, an anode 53 provided on the front plate 51, and a partition wall 55 provided between the back plate and the front plate. I am supposed to. 2A and 2B, hatching showing a cross section is omitted.

【００４０】上記各実施例のペーストのうちの、例えば
第１〜第５実施例のＭｇＯペーストは、ＡＣ型ガス放電
パネルの例えば保護膜３７やＤＣ型ガス放電パネルの保
護膜４７の形成材料として用いることができる。また、
上述のアルミナペーストやＳｉＯ₂ ペーストはＡＣ型及
びＤＣ型ガス放電パネルの誘電体膜３５，４５の形成材
料として用いることができる。また、ＳｎＯ₂ ペースト
は電極の形成材料として用いることができる。Among the pastes of the above-mentioned respective embodiments, for example, the MgO pastes of the first to fifth embodiments are used as a material for forming the protective film 37 of the AC type gas discharge panel or the protective film 47 of the DC type gas discharge panel. Can be used. Also,
The above-mentioned alumina paste or SiO ₂ paste can be used as a material for forming the dielectric films 35 and 45 of the AC type and DC type gas discharge panels. Further, the SnO ₂ paste can be used as a material for forming electrodes.

【００４１】なお、上述の各実施例では、粒子及び液体
バインダ以外に樹脂及び溶剤をペーストの構成成分とし
て説明していた。しかし、場合によっては樹脂及び溶剤
の一方または双方を用いない場合もこの発明は含み得
る。In each of the above-mentioned embodiments, the resin and the solvent are described as the constituent components of the paste in addition to the particles and the liquid binder. However, in some cases, the present invention may include the case where one or both of the resin and the solvent are not used.

【００４２】[0042]

【発明の効果】上述した説明から明らかなようにこの発
明によれば、スクリーン印刷用ペーストの粒子として微
粉末を用いバインダとして当該ペーストを焼成する際の
熱により酸化物となる液体バインダを用いたので、バイ
ンダ及び粒子双方を粉末とする場合また粒子を無作為な
径のものにする場合に比べ、粒子とバインダとの混合具
合は良好になり、かつ、微粉末はバインダ中に均一に分
散しやすくなる。このため、焼成して得られる膜の表面
平滑性及び微粉末の分布の均一性は従来に比べ良好にな
る。As is apparent from the above description, according to the present invention, a fine powder is used as the particles of the screen printing paste, and a liquid binder that becomes an oxide by the heat when the paste is fired is used as the binder. Therefore, as compared with the case where both the binder and the particles are powders and the case where the particles have a random diameter, the mixing condition of the particles and the binder is better, and the fine powder is uniformly dispersed in the binder. It will be easier. For this reason, the surface smoothness of the film obtained by firing and the uniformity of the fine powder distribution are better than in the prior art.

【００４３】また、形成された膜において微粉末は酸化
物でつなぎとめられる。酸化物は低融点ガラスに比べ熱
的に安定なものが多いので、バインダを低融点ガラスと
していた場合に比べ膜の安定性が良好になる。Further, in the formed film, the fine powder is held by the oxide. Since many oxides are more thermally stable than low-melting glass, the stability of the film is better than when the binder is low-melting glass.

【００４４】このため、従来スクリーン印刷用ペースト
を構成しにくかった材料でペーストを構成できるので、
高機能膜をスクリーン印刷法により形成することも可能
になる。Therefore, the paste can be made of a material which has been difficult to form the screen printing paste,
It is also possible to form the high-performance film by the screen printing method.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】（Ａ）は実施例のペーストの印刷膜の状態を模
式的に示した図、（Ｂ）はこの印刷膜を焼成して得た膜
の状態を模式的に示した図である。FIG. 1A is a diagram schematically showing a state of a printed film of a paste of an example, and FIG. 1B is a diagram schematically showing a state of a film obtained by firing the printed film. .

【図２】（Ａ）はこの発明のペーストを応用する対象例
としてのＡＣ型ガス放電パネルの一例を示した断面図、
（Ｂ）は同じくＤＣ型ガス放電パネルの一例を示した断
面図である。FIG. 2A is a cross-sectional view showing an example of an AC type gas discharge panel as an example to which the paste of the present invention is applied.
(B) is a sectional view showing an example of a DC type gas discharge panel.

【図３】（Ａ）は従来のペーストの印刷膜の状態を模式
的に示した図、（Ｂ）はこの印刷膜を焼成して得た膜の
状態を模式的に示した図である。3A is a diagram schematically showing a state of a printed film of a conventional paste, and FIG. 3B is a diagram schematically showing a state of a film obtained by firing the printed film.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

２１：下地（例えばガラス板） ２３：印刷膜 ２５：ＭｇＯ微粉末 ２７：液体バインダ等 ２３ａ：焼成により得られた膜 ２９：酸化物 21: Base (eg glass plate) 23: Printed film 25: MgO fine powder 27: Liquid binder etc. 23a: Film obtained by firing 29: Oxide

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 寺尾 芳孝 東京都港区虎ノ門１丁目７番12号 沖電気 工業株式会社内 (72)発明者 山形 俊和 東京都港区虎ノ門１丁目７番12号 沖電気 工業株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (72) Inventor Yoshitaka Terao 1-7 Toranomon, Minato-ku, Tokyo Oki Electric Industry Co., Ltd. (72) Toshikazu Yamagata 1-12 Toranomon, Minato-ku, Tokyo Oki Electric Industry Co., Ltd.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 粒子及びバインダを含むスクリーン印刷
用ペーストにおいて、 粒子を微粉末とし、バインダを当該ペーストを焼成する
際の熱により酸化物となる液体バインダとしたことを特
徴とするスクリーン印刷用ペースト。1. A screen printing paste containing particles and a binder, wherein the particles are fine powders, and the binder is a liquid binder which becomes an oxide by heat when the paste is fired. .