JPH0627678B2 - 金属酸化物薄膜被覆基板検査用囲繞体 - Google Patents

金属酸化物薄膜被覆基板検査用囲繞体

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JPH0627678B2
JPH0627678B2 JP60204567A JP20456785A JPH0627678B2 JP H0627678 B2 JPH0627678 B2 JP H0627678B2 JP 60204567 A JP60204567 A JP 60204567A JP 20456785 A JP20456785 A JP 20456785A JP H0627678 B2 JPH0627678 B2 JP H0627678B2
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glass substrate
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JP60204567A
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ヌージレ デジレ
ドウ トイトツト フランソワ
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Saint Gobain Vitrage SA
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Saint Gobain Vitrage SA
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    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/02—Viewing or reading apparatus
    • G02B27/022—Viewing apparatus
    • G02B27/024—Viewing apparatus comprising a light source, e.g. for viewing photographic slides, X-ray transparancies
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は特に金属酸化物の薄膜で被覆されたガラス基板
の検査に係わる。
〔従来の技術および発明が解決しょうとする問題点〕
板状およびリボン状のガラス上に薄膜が形成される。特
に、薄膜はSnO2に基づき、薄膜が干渉効果を示しまた厚
さの急激な変化が色の変化を発生するような厚さを有す
る。
これらの層の品質、特に膜厚の一定性の関係である色の
均一性の検査は一部分目視観察によって行なわれる。
被覆された基板からなる窓ガラスが奏する効果の最も信
頼性のある表示を与える最良の観察形態は、工場では周
囲の建築物が被覆ガラス上に反射を生ずるので、屋外の
昼光で行なう観察である。
屋外で窓ガラスを観察する前に、その製造中に、特に観
察される品質が満足でない場合に製造条件をすぐに変更
することを許容するために、製造場所においてまず窓ガ
ラスを観察することが望ましい。
また、このような観察は空からの光の毎日あるいは季節
ごとの変化によって影響を受けないという利点を有す
る。
本発明は、周知のように干渉膜の欠陥（例えば雑多な色
および虹）の検査のための非常に敏感な条件を提供する
曇り空と同じようにガラス上に光を反射することが可能
な、ガラスを包囲する表面を有する被覆ガラスの観察手
段を提供することを目的とする。
〔問題点を解決するための手段および作用効果〕
本発明はこの目的を達成するために、金属酸化物薄膜で
被覆されたガラス基板の品質を検査するための囲繞体で
あって、床上にある検査されるべきガラス基板の上方に
あり、急激に変化する断続部なしで天井から床に向かっ
て連続しかつ一定の曲率又は変化する曲率で湾曲してお
り、光源から光のガラス基板に反射する無光沢散乱性不
透明層で覆われたルーフを有し、国際照明委員会(Commi
ssion Internationale de I′Eclairage)の規格におけ
る光源Ｄ65の波長に近い主波長を有し、ルーフを介して
ガラス基板を間接照明するための制御可能な光源を有
し、よってルーフは光源Ｄ65に近い自然色に調光可能で
あり、そして観察者が前記ルーフを仰ぎ又はそれに対面
し、ルーフからの光がガラス基板で反射した光を受け
て、前記薄膜の干渉光主び膜厚の変化による色の変化を
観察ができる位置に、観察者が立つための観察ステーシ
ョンとを有することを特徴とする囲繞体を提供する。
層およびその欠陥をよりよく観察することを許容するた
めに、観察すべき被覆基板が置かれる囲繞体の底部は光
吸収性であり、好ましくは黒色である。
本発明の有利な態様にしたがえば、被覆基板が２０ｍ／
分に達する速度で通過する製造ラインに沿って直線被覆
基板を観察することを許容するために、またその品質を
評価するために十分な時間を観察者に与えるために、屋
根は観察者に面する３ｍのオーダーの長さの基板に光を
反射するような寸法である。
異なる観察者の目視、層の性質および検査すべき欠陥の
性質に適合することを許容するために、屋根の照明はそ
の強度が調整可能である。
層の品質の評価を促進するために、比較試料を黒色支持
体上に観察すべき全幅にわたって観察者に面して配置
し、その入射角は観察者が検査すべき基板を見るのと同
様にする。
〔実施例〕
第１図は本発明による観察囲繞体の１断面を示す。
検査すべき被覆基板は平坦に配置され、囲繞体１の内部
をたとえばフェルトの好ましくは黒色の光吸収性底部３
上を矢印Ｆの方向に通過する。
この囲繞体１の上部は屋根４からなり屋根４は観察すべ
き基板２の少なくとも部分５上に光を反射する。この屋
根４は、Ｃ．Ｉ．Ｅ(Commission Internationale de
I′Eclairage)の光源Ｄ65（約6504Ｋの換算色温度を持
つ昼光の色相をいう。に実質的に近い三色色座標を有す
る光源６および７によって均一に間接照明され、Ｃ．
Ｉ．Ｅ．の光源Ｄ65に近い光を反射し、そして自然色を
拡散する無光沢の不透明表面を有する。
観察が妨げられるのを回避するために、光源６および７
は屋根４に面する側面を除いてストリップ８によって包
囲する。例えば、光源として「色温度約６０００゜Kの
昼光」のタイプの照明用蛍光燈を用いることができる。
光源６および７の強度は調整可能であることが有利であ
う。屋根４は円筒形または放物線の一部の形状を有し、
一般的に、一定または変化する曲率の連続表面をなし、
変化する曲率は鋭い破断なしで連続的に変化する。
囲繞体は方向Ｆに関して横断方向に配置された橋によっ
て形成された観察ステーション９を有し、その中央部に
観察者１０が立つ。この橋は例えば基板２の平面の約５
０cm上方に位置することができる。
橋９の位置は観察者の目が検査すべき基板２の部分５を
３０゜のオーダーの平均入射角で見るような位置であ
る。この平均角度は部分５の中心部に向かう観察者の目
からの線と法線とのなす角度である。観察者の目が検査
すべき基板２を見る角度は観察者の身長、位置、橋の高
さ、基板の長さなど依存するので一概ではない。
観察は静止したガラス板、また２０ｍ／分に達する速度
で矢印Ｆの方向に移動するリボン状被覆ガラスについて
実施することができる。観察者が層の品質を評価するた
めに十分な時間を有するために、３ｍの長さを設けてそ
れを観察するのに適当にする。
有利には、観察者１０による基板２のコーティング品質
の評価を促進するために、比較試料１１を評価すべき基
板２の上方に黒色支持体上に観察者に向けて、観察者１
０が基板２を見るのと近い入射角で配置する。
囲繞体１の側壁（図示されず）は観察すべき基板に光を
反射すべきではない。好ましくはそれらは鉛直であり囲
繞体１の屋根４と同じ色であって、検査すべき基板２の
幅の限界に配置する。
観察者１０は橋９の中央に位置して、観察者がその両側
に１．５〜２ｍのオーダーの幅で基板を評価することが
できることが好ましい。
周囲からの照明による不所望な影響をさけるために、囲
繞体全部が壁１２によって密閉され、特に観察者の背後
が密閉されることが好ましい。
この囲繞体はガラス基板上の干渉厚さのコーティング品
質の評価を許容するが、しかしこれは基板が静止しある
いは移動する、外部の昼光の条件により透明あるいは不
透明であるその他の基板の観察も許容する。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明による観察囲繞体の概略図である。 １……囲繞体、２……ガラス基板、３……光吸収性底
部、４……屋根、５……検査部分、６，７……光源、９
……橋、１０……観察者、１１……比較試料、１２……
壁。

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】金属酸化物薄膜で被覆されたガラス基板の
    品質を検査するための囲繞体であって、 床上にある検査されるべきガラス基板の上方にあり、急
    激に変化する断続部なしで天井から床に向かって連続し
    かつ一定の曲率又は変化する曲率で湾曲しており、光源
    からの光をガラス基板に反射する無光沢散乱性不透明層
    で覆われたルーフを有し、国際照明委員会(Commission
    Internationalede I′Eclairage)の規格における光源Ｄ
    65の波長に近い主波長を有し、ルーフを介してガラス基
    板を間接照明するための制御可能な光源を有し、よって
    ルーフは光源Ｄ65に近い自然色に調光可能であり、そし
    て 観察者が前記ルーフを仰ぎ又はそれに対面し、ルーフか
    らの光がガラス基板で反射した光を受けて、前記薄膜の
    干渉光及び膜厚の変化による色の変化を観察ができる位
    置に、観察者が立つための観察ステーションとを有する
    ことを特徴とする囲繞体。
  2. 【請求項２】ガラス基板が位置する囲繞体の底部が光吸
    収性である特許請求の範囲第１項記載の囲繞体。
  3. 【請求項３】前記囲繞体の前記底部が黒色である特許請
    求の範囲第２項記載の囲繞体。
  4. 【請求項４】観察者が検査しまたそこに屋根から光が反
    射されるガラス基板の帯域が３ｍのオーダーの長さを有
    する特許請求の範囲第１項、第２項または第３項記載の
    囲繞体。
  5. 【請求項５】屋根の照明の強度が可変である特許請求の
    範囲第１項から第４項までのいずれか１項に記載の囲繞
    体。
  6. 【請求項６】観察者が検査すべきガラス基板を見るのと
    ほぼ同じ入射角で見ることができるように、比較試料を
    検査すべきガラス基板上方に観察者に向けて配置した特
    許請求の範囲第１項から第５項までのいずれか１項に記
    載の囲繞体。
  7. 【請求項７】観察ステーションが検査すべきガラス基板
    の幅の実質的に中央にあり、ガラス基板が４ｍまでの全
    幅を有する特許請求の範囲第１項から第６項までのいず
    れか１項に記載の囲繞体。
  8. 【請求項８】囲繞体の側壁が鉛直であり屋根と同じ色で
    ある特許請求の範囲第１項から第７項までのいずれか１
    項に記載の囲繞体。
  9. 【請求項９】全体が囲繞されている特許請求の範囲第１
    項から第８項までのいずれか１項に記載の囲繞体。
  10. 【請求項１０】囲繞体を通って連続的に移動するリボン
    状ガラス上に形成された層を検査するための特許請求の
    範囲第１項から第９項までのいずれか１項に記載の囲繞
    体。
JP60204567A 1984-09-19 1985-09-18 金属酸化物薄膜被覆基板検査用囲繞体 Expired - Lifetime JPH0627678B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR8414344A FR2570497B1 (fr) 1984-09-19 1984-09-19 Cabine de controle de substrats revetus d'une couche mince d'oxyde metallique
FR8414344 1984-09-19

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6179132A JPS6179132A (ja) 1986-04-22
JPH0627678B2 true JPH0627678B2 (ja) 1994-04-13

Family

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JP60204567A Expired - Lifetime JPH0627678B2 (ja) 1984-09-19 1985-09-18 金属酸化物薄膜被覆基板検査用囲繞体

Country Status (6)

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US (1) US4653912A (ja)
EP (1) EP0175622B1 (ja)
JP (1) JPH0627678B2 (ja)
DE (1) DE3581028D1 (ja)
ES (1) ES8703200A1 (ja)
FR (1) FR2570497B1 (ja)

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Also Published As

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FR2570497A1 (fr) 1986-03-21
EP0175622A2 (fr) 1986-03-26
US4653912A (en) 1987-03-31
ES546188A0 (es) 1987-02-01
ES8703200A1 (es) 1987-02-01
EP0175622A3 (en) 1987-05-06
FR2570497B1 (fr) 1986-12-12
DE3581028D1 (de) 1991-02-07
EP0175622B1 (fr) 1991-01-02
JPS6179132A (ja) 1986-04-22

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