JPH06275665A - ダイボンダ及びその駆動制御方法 - Google Patents
ダイボンダ及びその駆動制御方法Info
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- JPH06275665A JPH06275665A JP6497593A JP6497593A JPH06275665A JP H06275665 A JPH06275665 A JP H06275665A JP 6497593 A JP6497593 A JP 6497593A JP 6497593 A JP6497593 A JP 6497593A JP H06275665 A JPH06275665 A JP H06275665A
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- Japan
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- collet
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- semiconductor pellet
- semiconductor
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 複数のペレットを連続して良否選別を行って
マウントするダイボンダのロスタイムを削減して高速化
を実現させる。 【構成】 伸縮性シート(2)上の複数の半導体ペレッ
ト(1)を順次に認識ポジションPaに送り、画像認識装
置(5)で良否判定の検査を開始させると共に、認識ポ
ジションPaの半導体ペレット(1)を連続動作するコレ
ット(6)で取出す。コレットがマウントポジションPb
まで移動する間に、画像認識装置(5)で複数の検査項
目の検査を終了させ、その検査結果が良品であれば、コ
レット(6)で半導体ペレット(1)をマウントポジショ
ンPbのリードフレーム(7)にマウントし、検査結果が
不良品であれば、コレット(6)がマウントポジション
Pbに移動するまでに、コレット(6)から半導体ペレッ
ト(1)を離脱させて不良品回収装置(8)に供給する。
マウントするダイボンダのロスタイムを削減して高速化
を実現させる。 【構成】 伸縮性シート(2)上の複数の半導体ペレッ
ト(1)を順次に認識ポジションPaに送り、画像認識装
置(5)で良否判定の検査を開始させると共に、認識ポ
ジションPaの半導体ペレット(1)を連続動作するコレ
ット(6)で取出す。コレットがマウントポジションPb
まで移動する間に、画像認識装置(5)で複数の検査項
目の検査を終了させ、その検査結果が良品であれば、コ
レット(6)で半導体ペレット(1)をマウントポジショ
ンPbのリードフレーム(7)にマウントし、検査結果が
不良品であれば、コレット(6)がマウントポジション
Pbに移動するまでに、コレット(6)から半導体ペレッ
ト(1)を離脱させて不良品回収装置(8)に供給する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウェーハから分
割された半導体ペレットの良否選別を行って、良品だけ
を1個ずつリードフレーム等にマウントするダイボンダ
に関する。
割された半導体ペレットの良否選別を行って、良品だけ
を1個ずつリードフレーム等にマウントするダイボンダ
に関する。
【0002】
【従来の技術】図3に示される従来のダイボンダの概略
を説明すると、定位置の認識ポジションPaの半導体ペ
レット(1)は、その形状等の良否が画像認識装置(5)
で判定され、良品と判定されるとコレット(6)で認識
ポジションPaから取出されて、一定距離離れたマウン
トポジションPbまで移送され、マウントポジションPb
の例えばリードフレーム(7)にマウントされる。
を説明すると、定位置の認識ポジションPaの半導体ペ
レット(1)は、その形状等の良否が画像認識装置(5)
で判定され、良品と判定されるとコレット(6)で認識
ポジションPaから取出されて、一定距離離れたマウン
トポジションPbまで移送され、マウントポジションPb
の例えばリードフレーム(7)にマウントされる。
【0003】半導体ペレット(1)は、伸縮性シート
(2)上に貼着された1枚の半導体ウェーハ〔図示せ
ず〕をブレーキングして個々に分割されたもので、半導
体ウェーハのときに特性検査され、特性不良品だけが上
面に不良マークがマーキングされる。半導体ウェーハを
個々の半導体ペレット(1)に分割した後、シート(2)
が放射状に伸ばされて、個々の半導体ペレット(1)の
間隔が拡げられ、この状態が保持される。シート(2)
の間欠移動で半導体ペレット(1)が1個ずつ認識ポジ
ションPaに順に送られる。
(2)上に貼着された1枚の半導体ウェーハ〔図示せ
ず〕をブレーキングして個々に分割されたもので、半導
体ウェーハのときに特性検査され、特性不良品だけが上
面に不良マークがマーキングされる。半導体ウェーハを
個々の半導体ペレット(1)に分割した後、シート(2)
が放射状に伸ばされて、個々の半導体ペレット(1)の
間隔が拡げられ、この状態が保持される。シート(2)
の間欠移動で半導体ペレット(1)が1個ずつ認識ポジ
ションPaに順に送られる。
【0004】認識ポジションPaの上方に画像認識装置
(5)のカメラ(4)が配置される。認識ポジションPa
に1個の半導体ペレット(1)が送られてくると、この
半導体ペレット(1)をカメラ(4)が撮像し、その画像
を画像認識装置(5)が処理して半導体ペレット(1)の
良否判定を行う。この良否判定は、半導体ペレット
(1)の特性不良品、傷や欠けの発生による不良品、シ
ート(2)上で異常に位置ずれしたマウント不適当品な
どの検知を基準に行われる。したがって、画像認識装置
(5)は、半導体ペレット(1)の画像から不良マークの
有無検査、表面傷の有無検査、欠けの有無検査、位置ず
れ量検査などの複数項目の検査を順に行い、全項目の検
査終了時点で良否判定信号を出力する。
(5)のカメラ(4)が配置される。認識ポジションPa
に1個の半導体ペレット(1)が送られてくると、この
半導体ペレット(1)をカメラ(4)が撮像し、その画像
を画像認識装置(5)が処理して半導体ペレット(1)の
良否判定を行う。この良否判定は、半導体ペレット
(1)の特性不良品、傷や欠けの発生による不良品、シ
ート(2)上で異常に位置ずれしたマウント不適当品な
どの検知を基準に行われる。したがって、画像認識装置
(5)は、半導体ペレット(1)の画像から不良マークの
有無検査、表面傷の有無検査、欠けの有無検査、位置ず
れ量検査などの複数項目の検査を順に行い、全項目の検
査終了時点で良否判定信号を出力する。
【0005】画像認識装置(5)が良品判定信号を出力
すると、認識ポジションPaの下方に配置された突上ピ
ン(3)が認識ポジションPaの半導体ペレット(1)を
シート(2)から突き上げ、この半導体ペレット(1)を
認識ポジションPaに移動したコレット(6)が真空吸着
してシート(2)から取出す。コレット(6)はシート
(2)から取出した半導体ペレット(1)を吸着したまま
認識ポジションPaからマウントポジションPbまで移動
して、半導体ペレット(1)をリードフレーム(7)にマ
ウントする。この後、コレット(6)はマウントポジシ
ョンPbから認識ポジションPaに戻る。
すると、認識ポジションPaの下方に配置された突上ピ
ン(3)が認識ポジションPaの半導体ペレット(1)を
シート(2)から突き上げ、この半導体ペレット(1)を
認識ポジションPaに移動したコレット(6)が真空吸着
してシート(2)から取出す。コレット(6)はシート
(2)から取出した半導体ペレット(1)を吸着したまま
認識ポジションPaからマウントポジションPbまで移動
して、半導体ペレット(1)をリードフレーム(7)にマ
ウントする。この後、コレット(6)はマウントポジシ
ョンPbから認識ポジションPaに戻る。
【0006】コレット(6)が認識ポジションPaとマウ
ントポジションPbの間を往復する間に、認識ポジショ
ンPaに次の半導体ペレット(1)が送られ、画像認識装
置(5)で良否判定が行われる。認識ポジションPaの半
導体ペレット(1)が良品と判定されると、これを認識
ポジションPaに戻ったコレット(6)が取出す。この間
にリードフレーム(7)が1ピッチ送りされて、次の被
半導体ペレットマウント箇所がマウントポジションPb
に移動する。
ントポジションPbの間を往復する間に、認識ポジショ
ンPaに次の半導体ペレット(1)が送られ、画像認識装
置(5)で良否判定が行われる。認識ポジションPaの半
導体ペレット(1)が良品と判定されると、これを認識
ポジションPaに戻ったコレット(6)が取出す。この間
にリードフレーム(7)が1ピッチ送りされて、次の被
半導体ペレットマウント箇所がマウントポジションPb
に移動する。
【0007】また、画像認識装置(5)が認識ポジショ
ンPaの半導体ペレット(1)が不良品である判定信号を
出力すると、認識ポジションPaでコレット(6)と突上
ピン(3)が動作せずに待機する。そして、認識ポジシ
ョンPaに次の半導体ペレット(1)が送られ、画像認識
装置(5)で良否判定の動作が行われて、良品と判定さ
れると待機していたコレット(6)と突上ピン(3)が取
出し動作を開始する。画像認識装置(5)が不良品判定
信号を続けて出力すると、その間、認識ポジションPa
にコレット(6)が待機したままとなる。
ンPaの半導体ペレット(1)が不良品である判定信号を
出力すると、認識ポジションPaでコレット(6)と突上
ピン(3)が動作せずに待機する。そして、認識ポジシ
ョンPaに次の半導体ペレット(1)が送られ、画像認識
装置(5)で良否判定の動作が行われて、良品と判定さ
れると待機していたコレット(6)と突上ピン(3)が取
出し動作を開始する。画像認識装置(5)が不良品判定
信号を続けて出力すると、その間、認識ポジションPa
にコレット(6)が待機したままとなる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】認識ポジションPaに
順次送られる半導体ペレット(1)が良品ばかりである
と、コレット(6)が認識ポジションPaで待機すること
が無く、コレット(6)は認識ポジションPaとマウント
ポジションPbの間を連続して往復移動して、良品半導
体ペレット(1)をリードフレーム(7)に高速でマウン
トする。しかし、認識ポジションPaに送られる半導体
ペレット(1)が不良品であると、認識ポジションPaで
コレット(6)を少なくとも1個の半導体ペレット(1)
が画像認識されて良否判定されるまで待機させておく必
要があり、この待機時間が一連のマウント動作のロスタ
イムとなって、ダイボンダの高速化を難しくしていた。
順次送られる半導体ペレット(1)が良品ばかりである
と、コレット(6)が認識ポジションPaで待機すること
が無く、コレット(6)は認識ポジションPaとマウント
ポジションPbの間を連続して往復移動して、良品半導
体ペレット(1)をリードフレーム(7)に高速でマウン
トする。しかし、認識ポジションPaに送られる半導体
ペレット(1)が不良品であると、認識ポジションPaで
コレット(6)を少なくとも1個の半導体ペレット(1)
が画像認識されて良否判定されるまで待機させておく必
要があり、この待機時間が一連のマウント動作のロスタ
イムとなって、ダイボンダの高速化を難しくしていた。
【0009】それ故に、本発明の目的とするところは、
認識ポジションとマウントポジションの間を往復移動す
るコレットで、認識ポジションからペレットを取出して
マウントポジションに供給するダイボンダの高速化を実
現することにある。
認識ポジションとマウントポジションの間を往復移動す
るコレットで、認識ポジションからペレットを取出して
マウントポジションに供給するダイボンダの高速化を実
現することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明方法は、所定の認
識ポジションの半導体ペレットを撮像し、その画像処理
から半導体ペレット良否判定のための複数の検査項目を
順に検査して良否判定信号を出力する画像認識装置と、
認識ポジションと所定距離離れたマウントポジションの
間で連続して往復移動し、認識ポジションから半導体ペ
レットを取出し、この取出した半導体ペレットを画像認
識装置の良品判定信号でマウントポジジョンに供給する
コレットを備えたダイボンダの駆動制御において、画像
認識装置が認識ポジションの半導体ペレットの複数の検
査項目の検査を行う前或いは検査途中で認識ポジション
の半導体ペレットをコレットで取出し、このコレットが
マウントポジションに移動する間に画像認識装置で複数
全ての検査項目の検査を終了させて、画像認識装置の良
否判定信号が良品判定信号のときに、コレットで半導体
ペレットをマウントポジジョンに供給させ、不良品判定
信号のときにはコレットが認識ポジションとマウントポ
ジションの間を移動する途中でコレットから半導体ペレ
ットを離脱させることを特徴とする。
識ポジションの半導体ペレットを撮像し、その画像処理
から半導体ペレット良否判定のための複数の検査項目を
順に検査して良否判定信号を出力する画像認識装置と、
認識ポジションと所定距離離れたマウントポジションの
間で連続して往復移動し、認識ポジションから半導体ペ
レットを取出し、この取出した半導体ペレットを画像認
識装置の良品判定信号でマウントポジジョンに供給する
コレットを備えたダイボンダの駆動制御において、画像
認識装置が認識ポジションの半導体ペレットの複数の検
査項目の検査を行う前或いは検査途中で認識ポジション
の半導体ペレットをコレットで取出し、このコレットが
マウントポジションに移動する間に画像認識装置で複数
全ての検査項目の検査を終了させて、画像認識装置の良
否判定信号が良品判定信号のときに、コレットで半導体
ペレットをマウントポジジョンに供給させ、不良品判定
信号のときにはコレットが認識ポジションとマウントポ
ジションの間を移動する途中でコレットから半導体ペレ
ットを離脱させることを特徴とする。
【0011】また、本発明装置は、所定の認識ポジショ
ンの半導体ペレットを撮像し、その画像処理から半導体
ペレット良否判定のための複数の検査項目を順に検査し
て良否判定信号を出力する画像認識装置と、認識ポジシ
ョンと所定距離離れたマウントポジションの間で連続し
て往復移動し、画像認識装置が良否判定信号を出力する
前に認識ポジションから半導体ペレットを取出し、この
取出した半導体ペレットが画像認識装置で良品と判定さ
れたときだけマウントポジジョンに供給するコレット
と、認識ポジションとマウントポジションの間に配置さ
れ、コレットで認識ポジションから取出されて画像認識
装置で不良品と判定された半導体ペレットをコレットか
ら離脱させて回収する不良品回収装置とを具備したこと
を特徴とする。
ンの半導体ペレットを撮像し、その画像処理から半導体
ペレット良否判定のための複数の検査項目を順に検査し
て良否判定信号を出力する画像認識装置と、認識ポジシ
ョンと所定距離離れたマウントポジションの間で連続し
て往復移動し、画像認識装置が良否判定信号を出力する
前に認識ポジションから半導体ペレットを取出し、この
取出した半導体ペレットが画像認識装置で良品と判定さ
れたときだけマウントポジジョンに供給するコレット
と、認識ポジションとマウントポジションの間に配置さ
れ、コレットで認識ポジションから取出されて画像認識
装置で不良品と判定された半導体ペレットをコレットか
ら離脱させて回収する不良品回収装置とを具備したこと
を特徴とする。
【0012】
【作用】画像認識装置が認識ポジションのペレットの画
像処理を開始して良否判定信号を出するまでに、認識ポ
ジションのペレットをコレットで取出し、取出したペレ
ットが良品の場合にコレットでマウントポジションに供
給し、不良品の場合にはコレットでマウントポジション
に供給せずに、認識ポジションとマウントポジションの
間でコレットから離脱させ排除するようにすると、コレ
ットは認識ポジションのペレットの良否に関係無く認識
ポジションとマウントポジションの間を連続移動して、
認識ポジションで待機させるといったロスタイムが無く
なる。
像処理を開始して良否判定信号を出するまでに、認識ポ
ジションのペレットをコレットで取出し、取出したペレ
ットが良品の場合にコレットでマウントポジションに供
給し、不良品の場合にはコレットでマウントポジション
に供給せずに、認識ポジションとマウントポジションの
間でコレットから離脱させ排除するようにすると、コレ
ットは認識ポジションのペレットの良否に関係無く認識
ポジションとマウントポジションの間を連続移動して、
認識ポジションで待機させるといったロスタイムが無く
なる。
【0013】
【実施例】以下、実施例について図1及び図2を参照し
て説明する。尚、図1のダイボンダにおける図3のダイ
ボンダと同一又は相当部分には同一符号を付す。
て説明する。尚、図1のダイボンダにおける図3のダイ
ボンダと同一又は相当部分には同一符号を付す。
【0014】図1のダイボンダは、認識ポジションPa
とマウントポジションPbの間に不良品回収装置(8)を
追加設置している。不良品回収装置(8)は、コレット
(6)の移動経路の真下に配置され、コレット(6)で吸
着された半導体ペレット(1)が不良品の場合に、この
不良半導体ペレット(1)を回収する。
とマウントポジションPbの間に不良品回収装置(8)を
追加設置している。不良品回収装置(8)は、コレット
(6)の移動経路の真下に配置され、コレット(6)で吸
着された半導体ペレット(1)が不良品の場合に、この
不良半導体ペレット(1)を回収する。
【0015】図2は、図1のダイボンダの画像認識装置
(5)の検査順序とコレット(6)の動作のタイムチャー
トを示す。本発明においては、コレット(6)を認識ポ
ジションPaとマウントポジションPbの間で連続して往
復移動させ、認識ポジションPaに戻ると認識ポジショ
ンPaの半導体ペレット(1)をその良否に関係無く取出
すこと、コレット(6)が認識ポジションPaからマウン
トポジションPbに移動する間に画像認識装置(5)で良
否判定結果を出して、コレット(6)のマウント動作、
不良品回収動作を制御することを特徴とする。
(5)の検査順序とコレット(6)の動作のタイムチャー
トを示す。本発明においては、コレット(6)を認識ポ
ジションPaとマウントポジションPbの間で連続して往
復移動させ、認識ポジションPaに戻ると認識ポジショ
ンPaの半導体ペレット(1)をその良否に関係無く取出
すこと、コレット(6)が認識ポジションPaからマウン
トポジションPbに移動する間に画像認識装置(5)で良
否判定結果を出して、コレット(6)のマウント動作、
不良品回収動作を制御することを特徴とする。
【0016】図2に基づきコレット(6)の動作を説明
する。認識ポジションPaに1個の半導体ペレット(1)
が送られると、この半導体ペレット(1)をカメラ(4)
が撮像し、その画像を画像認識装置(5)が処理して、
複数の検査項目の検査を開始する。画像認識装置(5)
の複数の検査項目は、例えば不良マークの有無検査、表
面傷の有無検査、コーナ欠けの有無検査などで、これら
複数の検査項目の検査は、不良品と判定される確率の高
い項目順に開始される。画像認識装置(5)が複数の検
査項目の検査を開始する前後のタイミングで、認識ポジ
ションPaにコレット(6)が戻る。
する。認識ポジションPaに1個の半導体ペレット(1)
が送られると、この半導体ペレット(1)をカメラ(4)
が撮像し、その画像を画像認識装置(5)が処理して、
複数の検査項目の検査を開始する。画像認識装置(5)
の複数の検査項目は、例えば不良マークの有無検査、表
面傷の有無検査、コーナ欠けの有無検査などで、これら
複数の検査項目の検査は、不良品と判定される確率の高
い項目順に開始される。画像認識装置(5)が複数の検
査項目の検査を開始する前後のタイミングで、認識ポジ
ションPaにコレット(6)が戻る。
【0017】例えば、画像認識装置(5)が初めの検査
項目の不良マークの有無検査を行った時点で、認識ポジ
ションPaにコレット(6)が戻るとすると、認識ポジシ
ョンPaに戻ったコレット(6)を待機させること無くコ
レット(6)で認識ポジションPaの良否検査途中の半導
体ペレット(1)を取出す〔図2のピックアップA〕。
コレット(6)は連続動作して認識ポジションPaからマ
ウントポジションPbへと移動し、この移動の間に画像
認識装置(5)は、全ての検査項目の検査を終了して、
良品判定信号OK又は不良品判定信号NGを出力する。
項目の不良マークの有無検査を行った時点で、認識ポジ
ションPaにコレット(6)が戻るとすると、認識ポジシ
ョンPaに戻ったコレット(6)を待機させること無くコ
レット(6)で認識ポジションPaの良否検査途中の半導
体ペレット(1)を取出す〔図2のピックアップA〕。
コレット(6)は連続動作して認識ポジションPaからマ
ウントポジションPbへと移動し、この移動の間に画像
認識装置(5)は、全ての検査項目の検査を終了して、
良品判定信号OK又は不良品判定信号NGを出力する。
【0018】コレット(6)が認識ポジションPaからマ
ウントポジションPbに移動する間に画像認識装置(5)
が良品判定信号OKを出力すると、この良品判定信号O
Kに基づいてコレット(6)はマウントポジションPbま
で移動し、吸着した半導体ペレット(1)をリードフレ
ーム(7)にマウントする〔図2のマウントA〕。コレ
ット(6)は連続動作をして、マウントポジションPbか
ら認識ポジションPaに戻る。この間にリードフレーム
(7)が1ピッチ送りされる。
ウントポジションPbに移動する間に画像認識装置(5)
が良品判定信号OKを出力すると、この良品判定信号O
Kに基づいてコレット(6)はマウントポジションPbま
で移動し、吸着した半導体ペレット(1)をリードフレ
ーム(7)にマウントする〔図2のマウントA〕。コレ
ット(6)は連続動作をして、マウントポジションPbか
ら認識ポジションPaに戻る。この間にリードフレーム
(7)が1ピッチ送りされる。
【0019】認識ポジションPaにコレット(6)が戻る
前に、認識ポジションPaに次の半導体ペレット(1)が
送られ、その画像認識が開始される。そして、画像認識
装置(5)が最初の検査項目の検査をした時点で、認識
ポジションPaに戻ったコレット(6)が半導体ペレット
(1)を取出す〔図2のピックアップB〕。コレット
(6)が認識ポジションPaからマウントポジションPb
に移動する間に画像認識装置(5)の検査が進行し、画
像認識装置(5)が良品判定信号OKを出力すると、コ
レット(6)は上記同様のマウント動作をする。
前に、認識ポジションPaに次の半導体ペレット(1)が
送られ、その画像認識が開始される。そして、画像認識
装置(5)が最初の検査項目の検査をした時点で、認識
ポジションPaに戻ったコレット(6)が半導体ペレット
(1)を取出す〔図2のピックアップB〕。コレット
(6)が認識ポジションPaからマウントポジションPb
に移動する間に画像認識装置(5)の検査が進行し、画
像認識装置(5)が良品判定信号OKを出力すると、コ
レット(6)は上記同様のマウント動作をする。
【0020】コレット(6)が認識ポジションPaからマ
ウントポジションPbに移動する間に画像認識装置(5)
が不良品判定信号NGを出力すると、この不良品判定信
号NGに基づいてコレット(6)は、マウントポジショ
ンPbの手前の不良品回収装置(8)の在る不良品回収ポ
ジションPcを移動するときに半導体ペレット(1)の吸
着を中断して、半導体ペレット(1)を不良品回収装置
(8)に落下させる〔図2の排除A〕。コレット(6)は
半導体ペレット(1)を排除しながら不良品回収ポジシ
ョンPcを通過してマウントポジションPbまで移動し、
マウントポジションPbから認識ポジションPaに戻る。
このときはリードフレーム(7)の1ピッチ送りは実行
されない。
ウントポジションPbに移動する間に画像認識装置(5)
が不良品判定信号NGを出力すると、この不良品判定信
号NGに基づいてコレット(6)は、マウントポジショ
ンPbの手前の不良品回収装置(8)の在る不良品回収ポ
ジションPcを移動するときに半導体ペレット(1)の吸
着を中断して、半導体ペレット(1)を不良品回収装置
(8)に落下させる〔図2の排除A〕。コレット(6)は
半導体ペレット(1)を排除しながら不良品回収ポジシ
ョンPcを通過してマウントポジションPbまで移動し、
マウントポジションPbから認識ポジションPaに戻る。
このときはリードフレーム(7)の1ピッチ送りは実行
されない。
【0021】コレット(6)は以上の動作を繰り返し
て、認識ポジションPaの半導体ペレット(1)が良品の
場合にこれをマウントポジションPbに供給し、不良品
の場合に不良品回収装置(8)に供給する。半導体ペレ
ット(1)が良品の場合と不良品の場合のコレット(6)
の認識ポジションPaとマウントポジションPbの間の往
復移動は、同一速度パターンで行われる。つまり、コレ
ット(6)は、認識ポジションPaの半導体ペレット
(1)が不良品であっても、認識ポジションPaで待機す
ることなく半導体ペレット(1)を取出す連続動作をす
る。
て、認識ポジションPaの半導体ペレット(1)が良品の
場合にこれをマウントポジションPbに供給し、不良品
の場合に不良品回収装置(8)に供給する。半導体ペレ
ット(1)が良品の場合と不良品の場合のコレット(6)
の認識ポジションPaとマウントポジションPbの間の往
復移動は、同一速度パターンで行われる。つまり、コレ
ット(6)は、認識ポジションPaの半導体ペレット
(1)が不良品であっても、認識ポジションPaで待機す
ることなく半導体ペレット(1)を取出す連続動作をす
る。
【0022】認識ポジションPaでコレット(6)が半導
体ペレット(1)を取出すタイミングは、画像認識装置
(5)が最初の検査項目の検査を終了した時点に限ら
ず、図2の二点鎖線に示されるように最初の検査項目の
検査前の時点にしてもよく、このことは検査項目の内容
及び数に応じる。また、画像認識装置(5)の検査項目
数が多くて、コレット(6)が不良品回収ポジションPc
からマウントポジションPbに達する間に検査結果が出
るような場合は、コレット(6)がマウントポジション
Pbから認識ポジションPaに戻る途中の不良品回収ポジ
ションPcで不良品半導体ペレット(1)をコレット
(6)から離脱させ、不良品回収装置(8)に回収させる
ようにすればよい。
体ペレット(1)を取出すタイミングは、画像認識装置
(5)が最初の検査項目の検査を終了した時点に限ら
ず、図2の二点鎖線に示されるように最初の検査項目の
検査前の時点にしてもよく、このことは検査項目の内容
及び数に応じる。また、画像認識装置(5)の検査項目
数が多くて、コレット(6)が不良品回収ポジションPc
からマウントポジションPbに達する間に検査結果が出
るような場合は、コレット(6)がマウントポジション
Pbから認識ポジションPaに戻る途中の不良品回収ポジ
ションPcで不良品半導体ペレット(1)をコレット
(6)から離脱させ、不良品回収装置(8)に回収させる
ようにすればよい。
【0023】不良品回収装置(8)は、コレット(6)か
ら半導体ペレット(1)を積極的に回収する真空吸引ノ
ズル構造のものが、ペレット回収動作が確実となって望
ましい。この場合、コレット(6)が不良品回収ポジシ
ョンPcを移動する間、真空吸引を止め、代わりにエア
ブローさせて半導体ペレット(1)を積極的に離脱さ
せ、この離脱して落下する半導体ペレット(1)を不良
品回収装置(8)で真空吸引すればよい。
ら半導体ペレット(1)を積極的に回収する真空吸引ノ
ズル構造のものが、ペレット回収動作が確実となって望
ましい。この場合、コレット(6)が不良品回収ポジシ
ョンPcを移動する間、真空吸引を止め、代わりにエア
ブローさせて半導体ペレット(1)を積極的に離脱さ
せ、この離脱して落下する半導体ペレット(1)を不良
品回収装置(8)で真空吸引すればよい。
【0024】
【発明の効果】本発明によれば、認識ポジションの半導
体ペレットは、画像認識装置で良否検査される途中で、
その良否に関係無く連続動作するコレットで認識ポジシ
ョンから取出され、コレットがマウントポジションに移
動する間に画像認識装置が良否を判定して、判定結果が
良品の場合にコレットは半導体ペレットをマウントポジ
ションに供給し、判定結果が不良品の場合にコレットは
半導体ペレットをマウントポジションに供給せずに認識
ポジションとマウントポジションの間でコレットから離
脱させ、不良品回収装置に排除するので、コレットは認
識ポジションの半導体ペレットが不良品であっても認識
ポジションで待機するロスタイムが無くなり、半導体ペ
レットのマウント動作の高速化が図れる。
体ペレットは、画像認識装置で良否検査される途中で、
その良否に関係無く連続動作するコレットで認識ポジシ
ョンから取出され、コレットがマウントポジションに移
動する間に画像認識装置が良否を判定して、判定結果が
良品の場合にコレットは半導体ペレットをマウントポジ
ションに供給し、判定結果が不良品の場合にコレットは
半導体ペレットをマウントポジションに供給せずに認識
ポジションとマウントポジションの間でコレットから離
脱させ、不良品回収装置に排除するので、コレットは認
識ポジションの半導体ペレットが不良品であっても認識
ポジションで待機するロスタイムが無くなり、半導体ペ
レットのマウント動作の高速化が図れる。
【図1】本発明の一実施例であるダイボンダの要部の部
分断面を含む側面図
分断面を含む側面図
【図2】図1のダイボンダのコレット動作のタイムチャ
ート
ート
【図3】従来のダイボンダの要部の部分断面を含む側面
図
図
1 半導体ペレット 5 画像認識装置 6 コレット 8 不良品回収装置 Pa 認識ポジション Pb マウントポジション
Claims (3)
- 【請求項1】 所定の認識ポジションの半導体ペレット
を撮像し、その画像処理から半導体ペレット良否判定の
ための複数の検査項目を順に検査して良否判定信号を出
力する画像認識装置と、認識ポジションと所定距離離れ
たマウントポジションの間で連続して往復移動し、認識
ポジションから半導体ペレットを取出し、この取出した
半導体ペレットを画像認識装置の良品判定信号でマウン
トポジジョンに供給するコレットを備えたダイボンダの
制御方法であって、 画像認識装置が認識ポジションの半導体ペレットの複数
の検査項目の検査を行う前或いは検査途中で認識ポジシ
ョンの半導体ペレットをコレットで取出し、このコレッ
トがマウントポジションに移動する間に画像認識装置で
複数全ての検査項目の検査を終了させて、画像認識装置
の良否判定信号が良品判定信号のときにコレットで半導
体ペレットをマウントポジジョンに供給させ、不良品判
定信号のときにはコレットが認識ポジションとマウント
ポジションの間を移動する途中でコレットから半導体ペ
レットを離脱させるようにしたことを特徴とするダイボ
ンダの駆動制御方法。 - 【請求項2】 所定の認識ポジションの半導体ペレット
を撮像し、その画像処理から半導体ペレット良否判定の
ための複数の検査項目を順に検査して良否判定信号を出
力する画像認識装置と、 認識ポジションと所定距離離れたマウントポジションの
間で連続して往復移動し、画像認識装置が良否判定信号
を出力する前に認識ポジションから半導体ペレットを取
出し、この取出した半導体ペレットが画像認識装置で良
品と判定されたときだけマウントポジジョンに供給する
コレットと、 認識ポジションとマウントポジションの間に配置され、
コレットで認識ポジションから取出されて画像認識装置
で不良品と判定された半導体ペレットをコレットから離
脱させて回収する不良品回収装置とを具備したことを特
徴とするダイボンダ。 - 【請求項3】 不良品回収装置が、コレットから半導体
ペレットを真空吸引して回収することを特徴とする請求
項2記載のダイボンダ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6497593A JPH06275665A (ja) | 1993-03-24 | 1993-03-24 | ダイボンダ及びその駆動制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6497593A JPH06275665A (ja) | 1993-03-24 | 1993-03-24 | ダイボンダ及びその駆動制御方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06275665A true JPH06275665A (ja) | 1994-09-30 |
Family
ID=13273564
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6497593A Pending JPH06275665A (ja) | 1993-03-24 | 1993-03-24 | ダイボンダ及びその駆動制御方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH06275665A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2003015489A2 (en) * | 2001-08-08 | 2003-02-20 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Apparatus and method for mounting electronic parts |
KR100499699B1 (ko) * | 2002-10-16 | 2005-07-07 | 주식회사 고영테크놀러지 | 기판 모듈 테스트 장치 및 방법 |
JP2007220754A (ja) * | 2006-02-14 | 2007-08-30 | Shibuya Kogyo Co Ltd | 不良電子部品の回収装置 |
-
1993
- 1993-03-24 JP JP6497593A patent/JPH06275665A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2003015489A2 (en) * | 2001-08-08 | 2003-02-20 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Apparatus and method for mounting electronic parts |
WO2003015489A3 (en) * | 2001-08-08 | 2003-10-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Apparatus and method for mounting electronic parts |
US6792676B2 (en) | 2001-08-08 | 2004-09-21 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Apparatus and method for mounting electronic parts |
US7137195B2 (en) | 2001-08-08 | 2006-11-21 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method for mounting electronic parts onto a board |
KR100499699B1 (ko) * | 2002-10-16 | 2005-07-07 | 주식회사 고영테크놀러지 | 기판 모듈 테스트 장치 및 방법 |
JP2007220754A (ja) * | 2006-02-14 | 2007-08-30 | Shibuya Kogyo Co Ltd | 不良電子部品の回収装置 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20010911 |