JPH06264160A - 複合セラミツクスチューブ - Google Patents
複合セラミツクスチューブInfo
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- JPH06264160A JPH06264160A JP5078728A JP7872893A JPH06264160A JP H06264160 A JPH06264160 A JP H06264160A JP 5078728 A JP5078728 A JP 5078728A JP 7872893 A JP7872893 A JP 7872893A JP H06264160 A JPH06264160 A JP H06264160A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】ラジアントチューブ等の高温特性の改良。クリ
ープ強度、耐酸化性、熱衝撃性を高め、炉操業の効率化
のための高温操炉を可能とし、かつ炉温制御の精度向上
を可能にする。 【構成】 このチューブは、Ｓｉをマトリツクスとし、
そのマトリツクス中に分散相としてＳｉＣセラミツクス
粒子を含む複合組織を有している。複合組織に占めるＳ
ｉマトリツクスの量比は、３０〜８０％である。約１２
００℃を越える高温域においても高クリープ強度を保持
し、クリープ変形抵抗が大きい。熱膨張率が小さいので
熱応力による変形も少ない。耐酸化性等に優れ、バーナ
ー火炎による酸化損傷も少ない。高クリープ強度、およ
び低密度であることにより薄肉・軽量化され、チューブ
の熱容量の大幅な低減効果として炉温の精度良い制御も
可能である。
ープ強度、耐酸化性、熱衝撃性を高め、炉操業の効率化
のための高温操炉を可能とし、かつ炉温制御の精度向上
を可能にする。 【構成】 このチューブは、Ｓｉをマトリツクスとし、
そのマトリツクス中に分散相としてＳｉＣセラミツクス
粒子を含む複合組織を有している。複合組織に占めるＳ
ｉマトリツクスの量比は、３０〜８０％である。約１２
００℃を越える高温域においても高クリープ強度を保持
し、クリープ変形抵抗が大きい。熱膨張率が小さいので
熱応力による変形も少ない。耐酸化性等に優れ、バーナ
ー火炎による酸化損傷も少ない。高クリープ強度、およ
び低密度であることにより薄肉・軽量化され、チューブ
の熱容量の大幅な低減効果として炉温の精度良い制御も
可能である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ラジアントチューブ等
として有用な、高クリープ強度を有し、耐酸化性、耐溶
損性、耐熱衝撃性等にすぐれ、かつ低熱容量である複合
セラミツクスチューブに関する。
として有用な、高クリープ強度を有し、耐酸化性、耐溶
損性、耐熱衝撃性等にすぐれ、かつ低熱容量である複合
セラミツクスチューブに関する。
【０００２】
【従来の技術】鋼材の焼鈍処理炉等に配設されるラジア
ントチューブ材料として、従来より２０Ｎｉ−２５Ｃｒ
−Ｆｅ（ＡＳＴＭ規格ＨＫ４０，ＪＩＳ Ｇ５１２２
ＳＣＨ２２）、３５Ｎｉ−２５Ｃｒ−Ｆｅ（ＨＰ４５，
ＳＣＨ２４）、あるいは５０Ｎｉ−３０Ｃｒ−１３Ｗ−
Ｆｅ等の高Ｎｉ−高Ｃｒ合金鋼が使用されてきた。近時
は、ファインセラミツクスの適用も試みられ、例えばＳ
ｉＯ2 、またはＳｉＯ2 −ＳｉＣ複合セラミツクス焼成
品（日本鉄鋼協会，「鉄と鋼」６９（１３）ｐ．１１
０，１９８３）や、ムライト（３Ａｌ2 Ｏ3 ・２ＳｉＯ
2 ）−Ａｌ2 Ｏ3 −ＣａＯ系複合セラミツクス（特開平
２−９７４６号公報）等の提案もなされている。
ントチューブ材料として、従来より２０Ｎｉ−２５Ｃｒ
−Ｆｅ（ＡＳＴＭ規格ＨＫ４０，ＪＩＳ Ｇ５１２２
ＳＣＨ２２）、３５Ｎｉ−２５Ｃｒ−Ｆｅ（ＨＰ４５，
ＳＣＨ２４）、あるいは５０Ｎｉ−３０Ｃｒ−１３Ｗ−
Ｆｅ等の高Ｎｉ−高Ｃｒ合金鋼が使用されてきた。近時
は、ファインセラミツクスの適用も試みられ、例えばＳ
ｉＯ2 、またはＳｉＯ2 −ＳｉＣ複合セラミツクス焼成
品（日本鉄鋼協会，「鉄と鋼」６９（１３）ｐ．１１
０，１９８３）や、ムライト（３Ａｌ2 Ｏ3 ・２ＳｉＯ
2 ）−Ａｌ2 Ｏ3 −ＣａＯ系複合セラミツクス（特開平
２−９７４６号公報）等の提案もなされている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】耐熱合金鋼製ラジアン
トチューブは、実使用過程で自重によるクリープや熱応
力等による変形、および変形に伴う割れを生じ易い。特
にバーナー側において顕著であり、バーナー火炎の接触
による管壁の酸化・溶損もチューブ寿命に大きな影響を
与えている。このため、実操業では、加熱温度を約１０
００℃以下に制限して使用されているが、その耐用寿命
は約２〜３年に過ぎず、近時の操炉効率改善を目的とし
た高温操業の要請に対処し得るものではない。セラミツ
クスの適用の試みは、高温クリープ強度、耐熱性・耐溶
損性を高めてて上記要請に応えようとするものである。
ラジアントチューブにセラミツクスを適用するために
は、高クリープ強度、耐酸化性・耐溶損性等と共に、加
熱・冷却過程での割れやスポーリングに対する抵抗性等
をも充足するものでなければならない。本発明は、この
ような諸特性を併せ有し、温度約１２００℃を越える高
温操業下にも安定な使用が可能であり、かつ炉温制御の
精度向上の要請にも応え得る複合セラミツクスチューブ
を提供するものである。
トチューブは、実使用過程で自重によるクリープや熱応
力等による変形、および変形に伴う割れを生じ易い。特
にバーナー側において顕著であり、バーナー火炎の接触
による管壁の酸化・溶損もチューブ寿命に大きな影響を
与えている。このため、実操業では、加熱温度を約１０
００℃以下に制限して使用されているが、その耐用寿命
は約２〜３年に過ぎず、近時の操炉効率改善を目的とし
た高温操業の要請に対処し得るものではない。セラミツ
クスの適用の試みは、高温クリープ強度、耐熱性・耐溶
損性を高めてて上記要請に応えようとするものである。
ラジアントチューブにセラミツクスを適用するために
は、高クリープ強度、耐酸化性・耐溶損性等と共に、加
熱・冷却過程での割れやスポーリングに対する抵抗性等
をも充足するものでなければならない。本発明は、この
ような諸特性を併せ有し、温度約１２００℃を越える高
温操業下にも安定な使用が可能であり、かつ炉温制御の
精度向上の要請にも応え得る複合セラミツクスチューブ
を提供するものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の複合セラミツク
スチューブは、マトリツクスＳｉ中に、ＳｉＣセラミツ
クス粒子が分散した複合組織を有し、複合組織における
マトリツクスＳｉ／ＳｉＣ粒子の量比（容積率）は３０
／７０〜８０／２０であることを特徴としている。
スチューブは、マトリツクスＳｉ中に、ＳｉＣセラミツ
クス粒子が分散した複合組織を有し、複合組織における
マトリツクスＳｉ／ＳｉＣ粒子の量比（容積率）は３０
／７０〜８０／２０であることを特徴としている。
【０００５】
【作用】本発明のチューブは、Ｓｉ−ＳｉＣの複合効果
として、温度約１２００℃以上の高温域においても、高
いクリープ強度を有し、クリープ変形抵抗が高く、かつ
耐酸化性や耐溶損性を有している。また、熱衝撃特性に
すぐれ、急熱・急冷に対する耐割れ性・耐スポーリング
を備えている。更に、高クリープ強度であること等によ
り、管壁肉厚（耐熱合金鋼製チューブの肉厚は概ね１０
ｍｍ程度である）を約３ｍｍ程度にまで薄肉・軽量化す
ることができる。しかも、その密度（見掛密度）は約
２．７９と耐熱合金鋼の密度（約７．８５）はむろん、
他のセラミツクスの見掛密度（例えば、ムライト：３．
１，サイアロン：３．３）に比べて小さい。この薄肉・
軽量化は、単にチューブの高温使用下での自重によるク
リープ変形の緩和に奏効するだけでなく、チューブの熱
容量の低減効果として、炉温制御の精度向上を可能とす
る。
として、温度約１２００℃以上の高温域においても、高
いクリープ強度を有し、クリープ変形抵抗が高く、かつ
耐酸化性や耐溶損性を有している。また、熱衝撃特性に
すぐれ、急熱・急冷に対する耐割れ性・耐スポーリング
を備えている。更に、高クリープ強度であること等によ
り、管壁肉厚（耐熱合金鋼製チューブの肉厚は概ね１０
ｍｍ程度である）を約３ｍｍ程度にまで薄肉・軽量化す
ることができる。しかも、その密度（見掛密度）は約
２．７９と耐熱合金鋼の密度（約７．８５）はむろん、
他のセラミツクスの見掛密度（例えば、ムライト：３．
１，サイアロン：３．３）に比べて小さい。この薄肉・
軽量化は、単にチューブの高温使用下での自重によるク
リープ変形の緩和に奏効するだけでなく、チューブの熱
容量の低減効果として、炉温制御の精度向上を可能とす
る。
【０００６】以下、本発明について詳しく説明する。マ
トリツクスＳｉ中にＳｉＣセラミツクス粒子が分散した
複合組織を有する本発明の複合セラミツクスチューブ
は、ＳｉＣ粒子の分散強化作用としてクリープ強度に優
れ、高クリープ変形抵抗性を有している。また、マトリ
ツクスがＳｉであることにより、ＳｉＯ2 やＡｌ2 Ｏ3
等の他のファインセラミツクスに比べ熱衝撃特性が高
く、急熱・急冷に対する優れた耐割れ性・耐スポーリン
グ性を有いている。複合組織におけるマトリツクスＳｉ
と分散相粒子であるＳｉＣ粒との量比「マトリツクスＳ
ｉ／ＳｉＣ粒子」（容積比）を、３０／７０以上とした
のは、それに満たないと、熱衝撃や機械衝撃特性が十分
でなく、特に急熱・急冷に対する耐割れ性や耐スポーリ
ング性の改善効果が不足するからであり、他方その上限
を８０／２０としたのは、それを越えると、ＳｉＣ粒子
の分散強化作用が不足し、高クリープ強度を確保し難く
なるからである。分散相粒子であるＳｉＣ粒子の粒径
は、約１００〜４００μｍ程度であつてよい。
トリツクスＳｉ中にＳｉＣセラミツクス粒子が分散した
複合組織を有する本発明の複合セラミツクスチューブ
は、ＳｉＣ粒子の分散強化作用としてクリープ強度に優
れ、高クリープ変形抵抗性を有している。また、マトリ
ツクスがＳｉであることにより、ＳｉＯ2 やＡｌ2 Ｏ3
等の他のファインセラミツクスに比べ熱衝撃特性が高
く、急熱・急冷に対する優れた耐割れ性・耐スポーリン
グ性を有いている。複合組織におけるマトリツクスＳｉ
と分散相粒子であるＳｉＣ粒との量比「マトリツクスＳ
ｉ／ＳｉＣ粒子」（容積比）を、３０／７０以上とした
のは、それに満たないと、熱衝撃や機械衝撃特性が十分
でなく、特に急熱・急冷に対する耐割れ性や耐スポーリ
ング性の改善効果が不足するからであり、他方その上限
を８０／２０としたのは、それを越えると、ＳｉＣ粒子
の分散強化作用が不足し、高クリープ強度を確保し難く
なるからである。分散相粒子であるＳｉＣ粒子の粒径
は、約１００〜４００μｍ程度であつてよい。
【０００７】本発明の複合セラミツクスチューブは、Ｓ
ｉ粉末と、ＳｉＣ粉末とを原料とし、これを誘導加熱炉
内に装填し、所謂帯域加熱溶融（ゾーンメルティング）
の手法を適用して製造することができる。これを図１を
参照して説明すると、１０は円筒形状を有する竪型誘導
加熱炉、２０は誘導コイルである。誘導加熱炉１０は、
同心円状の円筒立壁１１と円筒立壁１２とで画成された
空間を有し、Ｓｉ粉末Ｐ1 とＳｉＣ粉末Ｐ2 は、円筒立
壁の沿つて同心円状の２層に充填されている。この粉末
充填操作は、各粉末を円筒形状のフィーダヘッドを介し
てホッパから空間Ｓ内に流下させることにより行われ
る。
ｉ粉末と、ＳｉＣ粉末とを原料とし、これを誘導加熱炉
内に装填し、所謂帯域加熱溶融（ゾーンメルティング）
の手法を適用して製造することができる。これを図１を
参照して説明すると、１０は円筒形状を有する竪型誘導
加熱炉、２０は誘導コイルである。誘導加熱炉１０は、
同心円状の円筒立壁１１と円筒立壁１２とで画成された
空間を有し、Ｓｉ粉末Ｐ1 とＳｉＣ粉末Ｐ2 は、円筒立
壁の沿つて同心円状の２層に充填されている。この粉末
充填操作は、各粉末を円筒形状のフィーダヘッドを介し
てホッパから空間Ｓ内に流下させることにより行われ
る。
【０００８】図のようにＳｉ粉末Ｐ1 とＳｉＣ粉末Ｐ2
とを充填し、炉内を不活性雰囲気ないしは真空に保持し
て、誘導コイル２０により炉内粉末を加熱し、Ｓｉ粉末
Ｐ1を溶融する。溶融したＳｉはＳｉＣ粉末Ｐ2 の粒子
間隙内に浸透する。この加熱溶融操作は誘導コイル２０
を炉１０の上部から徐々に降下させる（例えば、２０ｍ
ｍ／分）ことにより行うとよい。誘導コイル２０の移動
に伴つて、Ｓｉ粉末の溶融と溶融したＳｉのＳｉＣ粒子
間隙への浸潤および凝固が、頂部から底部に向つて徐々
に進行し複合組織を有する凝固体（チューブ）が形成さ
れる。本発明の複合セラミツクスチューブは、公知の焼
結プロセスを用いて焼結品として製造することも不可能
ではないが、上記方法は複雑な装置や操作を必要とせず
極めて経済的である。しかも、この方法によればＳｉ粉
末とＳｉＣ粉末との比重（Ｓｉ：２．３３，ＳｉＣ：
３．１７）の差による両成分のムラを付随することもな
く、均質かつ高緻密質の複合組織を形成することができ
る。
とを充填し、炉内を不活性雰囲気ないしは真空に保持し
て、誘導コイル２０により炉内粉末を加熱し、Ｓｉ粉末
Ｐ1を溶融する。溶融したＳｉはＳｉＣ粉末Ｐ2 の粒子
間隙内に浸透する。この加熱溶融操作は誘導コイル２０
を炉１０の上部から徐々に降下させる（例えば、２０ｍ
ｍ／分）ことにより行うとよい。誘導コイル２０の移動
に伴つて、Ｓｉ粉末の溶融と溶融したＳｉのＳｉＣ粒子
間隙への浸潤および凝固が、頂部から底部に向つて徐々
に進行し複合組織を有する凝固体（チューブ）が形成さ
れる。本発明の複合セラミツクスチューブは、公知の焼
結プロセスを用いて焼結品として製造することも不可能
ではないが、上記方法は複雑な装置や操作を必要とせず
極めて経済的である。しかも、この方法によればＳｉ粉
末とＳｉＣ粉末との比重（Ｓｉ：２．３３，ＳｉＣ：
３．１７）の差による両成分のムラを付随することもな
く、均質かつ高緻密質の複合組織を形成することができ
る。
【０００９】
〔１〕供試材 前記図１のように、竪型誘導加熱炉内に、Ｓｉ粉末Ｐ1
（平均粒径：１０μｍ）とＳｉＣ粉末Ｐ2 （平均粒径：
３００μｍ）とを、２層同心円状に充填し、高周波誘導
加熱を行つてＳｉ粉末を溶解し、ＳｉＣ粉末粒子内に浸
潤させることにより、ＳｉマトリツクスにＳｉＣ粒子が
均一に分散混在した複合組織を有するチューブを得た。
このチューブを供試材Ａとする。 チューブサイズ（ｍｍ）：外径 ８０、肉厚 ３、長さ
１２００。
（平均粒径：１０μｍ）とＳｉＣ粉末Ｐ2 （平均粒径：
３００μｍ）とを、２層同心円状に充填し、高周波誘導
加熱を行つてＳｉ粉末を溶解し、ＳｉＣ粉末粒子内に浸
潤させることにより、ＳｉマトリツクスにＳｉＣ粒子が
均一に分散混在した複合組織を有するチューブを得た。
このチューブを供試材Ａとする。 チューブサイズ（ｍｍ）：外径 ８０、肉厚 ３、長さ
１２００。
【００１０】比較例として、下記供試チューブＢおよび
Ｃを用意した。 供試材Ｂ：０．４Ｃ−２０Ｎｉ−２５Ｃｒ−Ｆｅ系耐熱
合金鋼（ＡＳＴＭ規格ＨＫ４０材）製チューブ（遠心力
鋳造管：外径１１０ｍｍ，肉厚１０ｍｍ）、 供試材Ｃ：０．５Ｃ−５０Ｎｉ−３０Ｃｒ−１３Ｗ−Ｆ
ｅ系耐熱合金鋼製チューブ（遠心力鋳造管：外径１１０
ｍｍ，肉厚１０ｍｍ）。
Ｃを用意した。 供試材Ｂ：０．４Ｃ−２０Ｎｉ−２５Ｃｒ−Ｆｅ系耐熱
合金鋼（ＡＳＴＭ規格ＨＫ４０材）製チューブ（遠心力
鋳造管：外径１１０ｍｍ，肉厚１０ｍｍ）、 供試材Ｃ：０．５Ｃ−５０Ｎｉ−３０Ｃｒ−１３Ｗ−Ｆ
ｅ系耐熱合金鋼製チューブ（遠心力鋳造管：外径１１０
ｍｍ，肉厚１０ｍｍ）。
【００１１】上記各供試材Ａ，Ｂ，Ｃについて諸特性の
測定結果を測定し、表１に示す結果を得た。 （１）高温クリープ破断試験 ＪＩＳ Ｚ２２７２の規定による。但し、試験温度：１
２５０℃，荷重：０．５Ｋｇ／ｍｍ2 。 （２）高温酸化試験 試験片を、温度１２５０℃に設定した加熱炉（大気雰囲
気）内に１００Ｈｒ保持し、酸化減量を測定。 （３）熱衝撃試験 試験ａ：水中に浸漬急冷し、割れを生じない最高加熱温
度を求める。 試験ｂ：バーナーによりチューブを１２５０℃に加熱
（昇温速度１０００℃／Ｈｒ）した後、６００℃まで冷
却（冷却速度１０００℃／Ｈｒ）する急熱・急冷操作を
を反復し、割れが発生するまでの反復回数を求める。
測定結果を測定し、表１に示す結果を得た。 （１）高温クリープ破断試験 ＪＩＳ Ｚ２２７２の規定による。但し、試験温度：１
２５０℃，荷重：０．５Ｋｇ／ｍｍ2 。 （２）高温酸化試験 試験片を、温度１２５０℃に設定した加熱炉（大気雰囲
気）内に１００Ｈｒ保持し、酸化減量を測定。 （３）熱衝撃試験 試験ａ：水中に浸漬急冷し、割れを生じない最高加熱温
度を求める。 試験ｂ：バーナーによりチューブを１２５０℃に加熱
（昇温速度１０００℃／Ｈｒ）した後、６００℃まで冷
却（冷却速度１０００℃／Ｈｒ）する急熱・急冷操作を
を反復し、割れが発生するまでの反復回数を求める。
【００１２】
【表１】
【００１３】表１に示したように、供試材Ａ（発明例）
は、従来の耐熱合金鋼製ラジアントチューブ（供試材
Ｂ，Ｃ）に比べ、格段にすぐれたクリープ強度を有し、
クリープ変形抵抗が高い。しかも低熱膨張率であるの
で、熱応力による変形も少ない。その耐酸化性も高く、
バーナー火炎の接触による酸化損傷に対する抵抗性に優
れている。また、クリープ強度が高いこと、および低密
度であることによる軽量化の効果として、チューブ管壁
の肉厚の大幅な削減（約１／３ないしそれ以下）が可能
であり、このため比熱は耐熱合金鋼の約２倍の大きさで
ありながら、チューブの熱容量を低減することができ
る。
は、従来の耐熱合金鋼製ラジアントチューブ（供試材
Ｂ，Ｃ）に比べ、格段にすぐれたクリープ強度を有し、
クリープ変形抵抗が高い。しかも低熱膨張率であるの
で、熱応力による変形も少ない。その耐酸化性も高く、
バーナー火炎の接触による酸化損傷に対する抵抗性に優
れている。また、クリープ強度が高いこと、および低密
度であることによる軽量化の効果として、チューブ管壁
の肉厚の大幅な削減（約１／３ないしそれ以下）が可能
であり、このため比熱は耐熱合金鋼の約２倍の大きさで
ありながら、チューブの熱容量を低減することができ
る。
【００１４】
【発明の効果】本発明の複合セラミツクスチューブは、
高温クリープ強度、耐酸化性、耐溶損性に優れているの
で、ラジアントチューブとして、そのバーナー側の管材
として使用する場合にも、クリープ変形を生じ難く、ま
たバーナー火炎の局部加熱に対しても熱応力による変形
が少なく、かつ溶損・酸化に対する抵抗性にも優れてい
る。この改良された材料特性により、温度約１２００℃
以上の高温操業が可能となり、耐用寿命の向上、メンテ
ナンスの軽減、炉操業効率の向上等の効果が得られる。
また、本発明の複合セラミツクスチューブは、高クリー
プ強度であり、かつ低密度で軽量であることにり、壁壁
の薄肉化（耐熱合金鋼製チューブの約１／３以下）が可
能であり、その効果としてチューブの熱容量が小さくな
り、炉温制御の精度向上の効果が得られる。本発明の耐
熱合金鋼の用途は上記例示のものに限定されず、例えば
鋼材加熱処理炉の炉床構成部材であるスキッドパイプ、
ハースロール等の材料としても有用である。
高温クリープ強度、耐酸化性、耐溶損性に優れているの
で、ラジアントチューブとして、そのバーナー側の管材
として使用する場合にも、クリープ変形を生じ難く、ま
たバーナー火炎の局部加熱に対しても熱応力による変形
が少なく、かつ溶損・酸化に対する抵抗性にも優れてい
る。この改良された材料特性により、温度約１２００℃
以上の高温操業が可能となり、耐用寿命の向上、メンテ
ナンスの軽減、炉操業効率の向上等の効果が得られる。
また、本発明の複合セラミツクスチューブは、高クリー
プ強度であり、かつ低密度で軽量であることにり、壁壁
の薄肉化（耐熱合金鋼製チューブの約１／３以下）が可
能であり、その効果としてチューブの熱容量が小さくな
り、炉温制御の精度向上の効果が得られる。本発明の耐
熱合金鋼の用途は上記例示のものに限定されず、例えば
鋼材加熱処理炉の炉床構成部材であるスキッドパイプ、
ハースロール等の材料としても有用である。
【図１】本発明の複合セラミツクスチューブの製造方法
の例を示す断面説明図である。
の例を示す断面説明図である。
１０：誘導加熱炉、２０：誘導加熱コイル、Ｐ1 ：Ｓｉ
粉末、Ｐ2 ：ＳｉＣ粉末。
粉末、Ｐ2 ：ＳｉＣ粉末。
Claims (1)
- 【請求項１】 マトリツクスＳｉ中に、ＳｉＣセラミツ
クス粒子が分散した複合組織を有し、マトリツクスＳｉ
／ＳｉＣ粒子の量比（容積率）は３０／７０〜８０／２
０であることを特徴とする複合セラミツクスチューブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5078728A JPH06264160A (ja) | 1993-03-11 | 1993-03-11 | 複合セラミツクスチューブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5078728A JPH06264160A (ja) | 1993-03-11 | 1993-03-11 | 複合セラミツクスチューブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06264160A true JPH06264160A (ja) | 1994-09-20 |
Family
ID=13669950
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5078728A Pending JPH06264160A (ja) | 1993-03-11 | 1993-03-11 | 複合セラミツクスチューブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06264160A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016124761A (ja) * | 2015-01-06 | 2016-07-11 | 東京窯業株式会社 | 炭化珪素質セラミックス焼結体 |
-
1993
- 1993-03-11 JP JP5078728A patent/JPH06264160A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016124761A (ja) * | 2015-01-06 | 2016-07-11 | 東京窯業株式会社 | 炭化珪素質セラミックス焼結体 |
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