JPH06260708A - Laser oscillation device - Google Patents
Laser oscillation deviceInfo
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- JPH06260708A JPH06260708A JP4231793A JP4231793A JPH06260708A JP H06260708 A JPH06260708 A JP H06260708A JP 4231793 A JP4231793 A JP 4231793A JP 4231793 A JP4231793 A JP 4231793A JP H06260708 A JPH06260708 A JP H06260708A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は金属加工等に使用される
大出力ガスレーザ発振装置の改良に関する。より詳細に
は、装置本体の構成部品に生じる結露の防止を図ったレ
ーザ発振装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an improvement of a high power gas laser oscillator used for metal working and the like. More specifically, the present invention relates to a laser oscillating device that prevents dew condensation from occurring in the components of the device body.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来例として高周波励起ＣＯ2 ガスレー
ザ発振装置につき図４を用いて説明する。図中、１００
Ａは高周波励起ＣＯ2 ガスレーザ発振装置（以下、「レ
ーザ発振装置」という）であり、レーザガスがガス循環
系２と放電管４内を循環する。 2. Description of the Related Art As a conventional example, a high frequency excitation CO 2 gas laser oscillator will be described with reference to FIG. 100 in the figure
A is a high frequency excitation CO 2 gas laser oscillator (hereinafter referred to as “laser oscillator”), and a laser gas circulates in the gas circulation system 2 and the discharge tube 4.
【０００３】送風機１から吐出したレーザガスは、送風
機１で受けた圧縮熱を取り去るために、熱交換器３によ
り冷却され、常に一定温度に管理されて放電管４に入
る。ここで、レーザ用電源５による高周波放電により励
起されて高温になったレーザガスは熱交換器３により再
び冷却され、送風機１に戻る。なお、レーザ発振装置１
００Ａ全体は、防塵のため容器１３の中に設置されてい
る。The laser gas discharged from the blower 1 is cooled by the heat exchanger 3 in order to remove the compression heat received by the blower 1, and enters the discharge tube 4 while being constantly maintained at a constant temperature. Here, the laser gas excited by the high frequency discharge from the laser power source 5 and having a high temperature is cooled again by the heat exchanger 3 and returns to the blower 1. The laser oscillator 1
The entire 00A is installed in the container 13 for dust prevention.
【０００４】放電管４は両端の全反射鏡７及び出力鏡８
によってファブリペロー型発振器を構成しており、放電
により発生したレーザ光を増幅して一部を外部に出力す
る。出力されたレーザ光は、容器１３の一部に設けられ
たビーム取り出し口１４を通過した後、ベンダミラー９
で方向を変えてレーザ加工機１０に入り、ワークを加工
する。これらレーザ発振装置１００Ａ及びレーザ加工機
１０はすべて数値制御装置１１が内部に記憶しているプ
ログラムにそって制御している。The discharge tube 4 has a total reflection mirror 7 and an output mirror 8 at both ends.
Constitutes a Fabry-Perot oscillator, which amplifies the laser light generated by the discharge and outputs a part of it to the outside. The output laser light passes through the beam extraction port 14 provided in a part of the container 13, and then the bender mirror 9
Change the direction to enter the laser processing machine 10 and process the work. The laser oscillator 100A and the laser processing machine 10 are all controlled according to a program stored internally by the numerical controller 11.
【０００５】レーザ発振装置１００Ａに使用される光学
部品は通常、レーザ光の吸収率は極めて小さいが、レー
ザ光自体の出力が大きくなると、光学部品でのレーザ光
吸収による発熱は無視できないものがある。レーザ光吸
収による発熱は、光学部品を熱膨張によって変形させ、
レーザ光のビーム品質を低下させるために、レーザ加工
機１０における切断性能を悪化させる。そのため、すべ
ての光学部品は、一定温度に管理された冷却水１２によ
り冷却されている。図では、冷却水１２は、出力鏡８の
みを冷却しているが、実際は全反射鏡７等すべての光学
部品を冷却する。また、冷却水１２は、レーザ用電源５
や熱交換器３、６等の他の部位にも同様に供給されて、
それらを冷却している。The optical components used in the laser oscillator 100A usually have a very low absorptance of laser light, but when the output of the laser light itself becomes large, the heat generated by the absorption of the laser light in the optical components cannot be ignored. . The heat generated by the absorption of laser light deforms the optical components by thermal expansion,
Since the beam quality of the laser light is deteriorated, the cutting performance of the laser processing machine 10 is deteriorated. Therefore, all the optical components are cooled by the cooling water 12 controlled to have a constant temperature. In the figure, the cooling water 12 cools only the output mirror 8, but actually cools all the optical components such as the total reflection mirror 7. Further, the cooling water 12 is the laser power source 5
And other parts such as the heat exchangers 3 and 6 are similarly supplied,
Are cooling them.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】ところで、レーザ発振
装置１００Ａは通常防塵のために、容器１３によって密
閉構造が取られているが、その容器１３は、ビーム取り
出し口１４等構造上どうしても開口部分を設ける必要が
ある。このため、容器１３内には、その開口部分から外
気が侵入してくる。夏期や雨期など高温多湿な条件下で
使用されると、その高温多湿な空気が、レーザ発振装置
１００Ａの内部に侵入し、冷却水により冷却されて周囲
より低い温度になっている部位に接すると、その部位で
結露することがある。By the way, the laser oscillator 100A normally has a sealed structure with a container 13 for dustproof purposes. However, the container 13 has an opening portion such as the beam outlet 14 due to its structure. It is necessary to provide. Therefore, outside air enters the container 13 through the opening. When used under high temperature and high humidity conditions such as the summer and rainy seasons, the high temperature and high humidity air enters the inside of the laser oscillator 100A and contacts a portion cooled by cooling water and having a temperature lower than the surroundings. , Condensation may form on the part.
【０００７】レーザ発振装置１００Ａの重要構成部品の
大半は高度に乾燥したレーザガスと接しており、結露は
問題とならないが、出力鏡８は半透過鏡でありレーザ光
透過により温度が上昇するのを防止するために水冷され
ており、かつ外側は容器１３に侵入してきた外気にふれ
ている。このため結露する可能性が大きくなる。一旦結
露が発生すると、その水分によりレーザ光が吸収され、
出力鏡８の温度が急激に上昇してレーザ光のビーム品質
の低下、最悪の場合出力鏡８の破損にいたり、レーザ発
振装置１００Ａに重大な障害をあたえる。また、冷却効
果を上げるために水冷しているレーザ用電源５もその内
部で結露すると安全上大きな問題となる。Most of the important components of the laser oscillating device 100A are in contact with the highly dry laser gas, so that dew condensation is not a problem, but the output mirror 8 is a semi-transmissive mirror and the temperature rises due to the laser light transmission. It is water-cooled for prevention, and the outside is exposed to the outside air that has entered the container 13. Therefore, the possibility of dew condensation increases. Once dew condensation occurs, the moisture absorbs the laser light,
The temperature of the output mirror 8 suddenly rises, the beam quality of the laser light deteriorates, and in the worst case, the output mirror 8 is damaged, and the laser oscillator 100A is seriously damaged. Further, if the laser power source 5 that is water-cooled in order to improve the cooling effect is condensed inside the power source 5, a serious safety problem will occur.
【０００８】そのため、従来は結露センサをレーザ発振
装置１００Ａの内部に設置し、結露している場合には、
レーザ発振装置１００Ａを起動出来ないようにしてい
た。ただし、この方法では、高温多湿の条件下で使用し
た場合、頻繁にレーザ発振装置１００Ａは停止すること
になり、使用上大きな問題となっていた。Therefore, conventionally, when the dew condensation sensor is installed inside the laser oscillator 100A and dew is condensed,
The laser oscillating device 100A is prevented from starting. However, in this method, when used under high temperature and high humidity conditions, the laser oscillator 100A is frequently stopped, which is a serious problem in use.
【０００９】また、結露の可能性がある所には室温に調
整した冷却水を使用し、結露を防ぐ方法もとられている
が、レーザ発振装置１００Ａの内部には、熱交換器３、
６等常に一定温度に管理されなければならな部位も多
く、結局２系統の冷却水を必要とし、そのため、冷却水
温度管理装置が複雑となり価格的な負担も大きかった。Although a method of preventing condensation by using cooling water adjusted to room temperature at a place where condensation may occur, the heat exchanger 3 and the heat exchanger 3 are provided inside the laser oscillator 100A.
There are many parts such as 6 that must always be maintained at a constant temperature, and in the end two systems of cooling water are required. Therefore, the cooling water temperature management device becomes complicated and the cost burden is large.
【００１０】さらに、レーザ発振装置１００Ａの内部に
除湿器を設置して内部の空気を積極的に乾燥させる方法
もとられる場合があるが、スペース的な問題や、除湿器
の構成部品であるコンプレッサやファン等の振動がレー
ザ発振装置１００Ａに悪影響を及ぼすこともあり、問題
が多かった。Further, there is a case where a dehumidifier is installed inside the laser oscillator 100A to positively dry the internal air, but there is a space problem and a compressor which is a component of the dehumidifier. There are many problems because the vibration of the fan or the fan may adversely affect the laser oscillator 100A.
【００１１】本発明はこのような点に鑑みてなされたも
のであり、装置内部での結露を防止することができるレ
ーザ発振装置を提供することを目的とする。The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide a laser oscillation device capable of preventing dew condensation inside the device.
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段】本発明では上記課題を解
決するために、レーザ発振によりレーザ光を出力するレ
ーザ発振装置において、装置本体を収納する容器と、前
記容器の内部に乾燥ガスを供給するガス供給部と、を有
することを特徴とするレーザ発振装置が、提供される。In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a container for accommodating a main body of a laser oscillation device which outputs laser light by laser oscillation, and a dry gas is supplied to the inside of the container. A laser oscillating device comprising:
【００１３】[0013]
【作用】装置本体を収納する容器の内部に、ガス供給部
からの乾燥ガスを供給する。容器内部の高温多湿の空気
を乾燥ガスで置換することにより、容器内部の露点は下
がる。したがって、レーザ発振装置の各部位での結露を
防止することができる。The dry gas is supplied from the gas supply unit to the inside of the container that houses the apparatus body. By replacing the hot and humid air inside the container with a dry gas, the dew point inside the container is lowered. Therefore, it is possible to prevent dew condensation at each part of the laser oscillator.
【００１４】[0014]
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。図１は本発明のレーザ発振装置の全体構成を示
す図である。上記の図４で示した従来例のレーザ発振装
置１００Ａと同じ構成要素には、同一符号を付して説明
を省略する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram showing the overall configuration of a laser oscillator according to the present invention. The same components as those of the conventional laser oscillation device 100A shown in FIG. 4 are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.
【００１５】図において、レーザ発振装置１００は、装
置本体１０１と乾燥ガス供給装置１０５とから成る。乾
燥ガス供給装置１０５は、装置本体１０１を収納してい
る容器１３の外側に設置される。乾燥ガス供給装置１０
５は、容器１３の内部に乾燥ガス（乾燥空気）を供給す
るための装置であり、エアコンプレッサ１５１、オイル
ミストフィルタ１５２、水分除去フィルタ１５３及び防
塵用フィルタ１５４で構成される。エアコンプレッサ１
５１で圧縮された空気は先ずオイルミストフィルタ１５
２で油分が取り除かれる。そののち水分除去フィルタ１
５３で水分が取り除かれて乾燥ガスとなる。ただし、そ
の乾燥ガスをそのまま容器１３内に供給すると塵埃等が
混入していて出力鏡８等を汚染する可能性があるため、
更に塵埃用フィルタ１５４を通して塵埃が取り除かれ
る。このような過程を経て生成した乾燥ガスは十分クリ
ーンとなり、容器１３内部に導入しても装置本体１０１
の構成部品になんら悪い影響を与えない。In the figure, a laser oscillation device 100 comprises a device body 101 and a dry gas supply device 105. The dry gas supply device 105 is installed outside the container 13 housing the device body 101. Dry gas supply device 10
Reference numeral 5 denotes an apparatus for supplying a dry gas (dry air) to the inside of the container 13, which includes an air compressor 151, an oil mist filter 152, a moisture removal filter 153, and a dustproof filter 154. Air compressor 1
First, the air compressed by 51 is supplied with the oil mist filter 15
At 2 the oil is removed. After that, water removal filter 1
At 53, the water is removed to form a dry gas. However, if the dry gas is supplied into the container 13 as it is, dust or the like may be mixed and contaminate the output mirror 8 or the like.
Further, the dust is removed through the dust filter 154. The dry gas generated through such a process becomes sufficiently clean, and even if introduced into the container 13, the apparatus main body 101
It does not have any adverse effect on the components of the.
【００１６】乾燥ガス供給装置１０５は装置本体１０１
とは電源系統や制御系統を全く別個に設けてあり、たと
え装置本体１０１が停止していても必要に応じて適切に
乾燥ガス供給装置１０５を運転することができる。The dry gas supply device 105 is the device body 101.
In addition, a power supply system and a control system are provided separately from each other, and the dry gas supply device 105 can be appropriately operated as necessary even if the apparatus main body 101 is stopped.
【００１７】乾燥ガス供給装置１０５を運転して、容器
１３の内部に乾燥ガス供給装置１０５からの乾燥ガスを
供給すると、容器１３内部の空気はその乾燥ガスで置換
され、容器１３内部の露点は下がる。この置換後の容器
１３内部の露点は冷却水１２の温度より低くなるように
調整される。その結果、装置本体１０１の各部位での結
露を確実に防止することができ、使用者がいつレーザ発
振装置１００の使用を開始しても、結露している可能性
はない。When the dry gas supply device 105 is operated to supply the dry gas from the dry gas supply device 105 to the inside of the container 13, the air inside the container 13 is replaced by the dry gas, and the dew point inside the container 13 becomes Go down. The dew point inside the container 13 after this replacement is adjusted to be lower than the temperature of the cooling water 12. As a result, it is possible to reliably prevent dew condensation on each part of the apparatus main body 101, and there is no possibility that dew condensation will occur no matter when the user starts using the laser oscillation device 100.
【００１８】このように、容器１３内に乾燥ガスを供給
することにより、装置本体１０１を構成する各部位での
結露を防止することができ、高温多湿下でも、レーザ発
振装置１００を常時使用できるようになる。また、装置
本体１０１に使用している出力鏡８等の光学部品を結露
から保護し、結露した水分の温度上昇により生じる光学
部品の破損も防止することができ、その長寿命化が可能
となる。さらに、レーザ電源５等が結露して生じる漏電
等の安全上の問題点も解消する。As described above, by supplying the dry gas into the container 13, it is possible to prevent dew condensation at each part constituting the apparatus main body 101, and the laser oscillation apparatus 100 can always be used even under high temperature and high humidity. Like Further, the optical components such as the output mirror 8 used in the apparatus main body 101 can be protected from dew condensation, and the damage of the optical components caused by the temperature rise of the dew condensation water can be prevented and the life thereof can be extended. . Further, safety problems such as electric leakage caused by dew condensation on the laser power source 5 and the like can be solved.
【００１９】また、乾燥ガス供給装置１０５の構成部品
の内、実際に稼働するのはエアコンプレッサ１５１のみ
であり、稼働部を少なく構成できるので、信頼性が高い
うえにランニングコストは極めて安価となる。Of the components of the dry gas supply device 105, only the air compressor 151 actually operates, and the number of operating parts can be reduced, so that the reliability is high and the running cost is extremely low. .
【００２０】図２は本発明の第２の実施例を示す図であ
る。上記第１の実施例との相違点は、乾燥ガス供給装置
１０５にタイマ１５６を設けた点である。乾燥ガス供給
装置１０５及びタイマ１５６は、第１の実施例と同様
に、装置本体１０１とは別個の電源系統や制御系統をも
っている。使用者が次回のレーザ発振装置使用開始時刻
と、その使用開始前に予め乾燥ガスを供給しておく時間
をタイマ１５６に設定することにより、使用開始時刻の
一定時間前から乾燥ガス供給装置１０５を運転させるこ
とが可能である。使用開始前に予め乾燥ガスを供給して
おく時間は、乾燥ガス供給装置１０５の供給能力、レー
ザ発振器装置１００の大きさ（容器１３の大きさ）、外
気の温度、湿度等の条件から総合的に決定され、タイマ
１５６には、容器１３の内部の露点を、使用する冷却水
１２の温度以下にするのに十分な時間が設定される。本
実施例ではその時間を２時間とした。日常的にレーザ発
振装置１００を使用する場合は、一度毎日のレーザ発振
装置使用開始時刻を設定しておけば、その後は再び設定
し直す必要はない。FIG. 2 is a diagram showing a second embodiment of the present invention. The difference from the first embodiment is that a timer 156 is provided in the dry gas supply device 105. The dry gas supply device 105 and the timer 156 have a power supply system and a control system separate from the device main body 101, as in the first embodiment. The user sets the timer 156 for the next start time of the laser oscillator device start time and the time for which the dry gas is supplied in advance before the start of the use of the laser oscillator device. It is possible to drive it. The time for supplying the dry gas in advance before the start of use depends on the supply capacity of the dry gas supply device 105, the size of the laser oscillator device 100 (size of the container 13), the temperature of the outside air, the humidity, and other conditions. The timer 156 is set to a time sufficient to keep the dew point inside the container 13 at or below the temperature of the cooling water 12 to be used. In this example, the time was set to 2 hours. When the laser oscillation device 100 is used on a daily basis, once the daily start time of the laser oscillation device is set, it is not necessary to set it again thereafter.
【００２１】このように、乾燥ガスの供給をタイマ１５
６で制御することにより、乾燥ガス供給装置１０５の無
駄な動作を低減することができ、効果的に結露を防止す
ることができる。As described above, the timer 15 is used to supply the dry gas.
By controlling with 6, the useless operation of the dry gas supply device 105 can be reduced, and dew condensation can be effectively prevented.
【００２２】図３は本発明の第３の実施例を示す図であ
る。本実施例では、乾燥ガス供給装置１０５に制御装置
１５７を設け、その制御装置１５７で乾燥ガス供給装置
１０５の運転を制御するようにしている。容器１３に
は、容器１３内の湿度を検出する湿度センサ１７及び容
器１３内の温度を検出する温度センサ１８が設けられ
る。FIG. 3 is a diagram showing a third embodiment of the present invention. In this embodiment, a control device 157 is provided in the dry gas supply device 105, and the control device 157 controls the operation of the dry gas supply device 105. The container 13 is provided with a humidity sensor 17 that detects the humidity inside the container 13 and a temperature sensor 18 that detects the temperature inside the container 13.
【００２３】乾燥ガス供給装置１０５、湿度センサ１
７、温度センサ１８、及び制御装置１５７は、第１の実
施例と同様に、装置本体１０１とは別個の電源系統や制
御系統をもっている。湿度センサ１７、温度センサ１８
は常に容器１３内部の空気をモニタしており、制御装置
１５７は、その湿度センサ１７及び温度センサ１８から
の検出信号を受けて、容器１３の内部空気の露点を計算
する。この露点が、冷却水１２の温度より高くなると、
制御装置１５７は、乾燥ガス供給装置１０５を動作さ
せ、乾燥ガスの容器１３内部への供給を開始する。容器
１３内部の空気状態に応じて、その乾燥ガス供給量を制
御し、容器１３内部の空気が冷却水１２によって結露す
る可能性がなくなるまで、乾燥ガスの供給を継続して行
う。Dry gas supply device 105, humidity sensor 1
7, the temperature sensor 18, and the control device 157 have a power supply system and a control system separate from the device main body 101, as in the first embodiment. Humidity sensor 17, temperature sensor 18
Constantly monitors the air inside the container 13, and the control device 157 receives the detection signals from the humidity sensor 17 and the temperature sensor 18, and calculates the dew point of the air inside the container 13. When this dew point becomes higher than the temperature of the cooling water 12,
The control device 157 operates the dry gas supply device 105 to start supplying the dry gas into the container 13. The dry gas supply amount is controlled according to the air state inside the container 13, and the dry gas is continuously supplied until the air inside the container 13 is unlikely to be condensed by the cooling water 12.
【００２４】このように、湿度センサ１７や温度センサ
１８を使用して、乾燥ガス供給の制御を行うことにより
必要最小限の乾燥ガス供給で結露を防止することがで
きる。As described above, the humidity sensor 17 and the temperature sensor 18 are used to control the supply of the dry gas, so that the dew condensation can be prevented with the minimum necessary supply of the dry gas.
【００２５】なお、湿度センサ１７のみにより、内部空
気の乾燥状態を簡易的に知ることができるので、制御装
置１５７は、湿度センサ１７の検出信号のみを受けて乾
燥ガス供給装置１０５の動作制御を行うように構成して
もよい。Since the dry condition of the internal air can be easily known only by the humidity sensor 17, the control device 157 receives only the detection signal of the humidity sensor 17 and controls the operation of the dry gas supply device 105. It may be configured to do so.
【００２６】上記の説明では、乾燥ガス供給装置１０５
を容器１３の外側に設置するようにしたが、容器１３の
内側に設置するように構成することもできる。In the above description, the dry gas supply device 105
Although it is arranged outside the container 13, it can be arranged inside the container 13.
【００２７】[0027]
【発明の効果】以上説明したように本発明では、装置本
体を収納する容器内に乾燥ガスを供給するように構成し
たので、装置本体を構成する各部位での結露を防止する
ことができ、高温多湿下でも、レーザ発振装置を常時使
用できるようになる。As described above, according to the present invention, since the dry gas is supplied into the container for accommodating the apparatus main body, it is possible to prevent dew condensation at each part constituting the apparatus main body. The laser oscillator can always be used even under high temperature and high humidity.
【００２８】また、装置本体に使用している出力鏡等の
光学部品を結露から保護し、結露した水分の温度上昇に
より生じる光学部品の破損も防止することができ、その
長寿命化が可能となる。Further, it is possible to protect the optical components such as the output mirror used in the apparatus main body from dew condensation and prevent the damage of the optical components caused by the temperature rise of the dew condensation water, and to extend the life thereof. Become.
【図１】本発明のレーザ発振装置の全体構成を示す図で
ある。FIG. 1 is a diagram showing an overall configuration of a laser oscillation device of the present invention.
【図２】本発明の第２の実施例を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a second embodiment of the present invention.
【図３】本発明の第３の実施例を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a third embodiment of the present invention.
【図４】ガスレーザ装置の従来例を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing a conventional example of a gas laser device.
１ 送風機 ２ ガス循環系 ３，６ 熱交換器 ４ 放電管 ５ レーザ用電源 ７ 全反射鏡 ８ 出力鏡 １０ レーザ加工機 １１ 数値制御装置 １２ 冷却水 １３ 容器 １７ 湿度センサ １８ 温度センサ １０５ 乾燥ガス供給装置 １５１ エアコンプレッサ １５２ オイルミストフィルタ １５３ 水分除去フィルタ １５４ 塵埃用フィルタ １５６ タイマ １５７ 制御装置 1 Blower 2 Gas circulation system 3, 6 Heat exchanger 4 Discharge tube 5 Laser power supply 7 Total reflection mirror 8 Output mirror 10 Laser processing machine 11 Numerical control device 12 Cooling water 13 Container 17 Humidity sensor 18 Temperature sensor 105 Dry gas supply device 151 Air Compressor 152 Oil Mist Filter 153 Moisture Removal Filter 154 Dust Filter 156 Timer 157 Controller
Claims (4)
ーザ発振装置において、 装置本体を収納する容器と、 前記容器の内部に乾燥ガスを供給するガス供給部と、 を有することを特徴とするレーザ発振装置。1. A laser oscillating device for outputting a laser beam by lasing, comprising: a container accommodating an apparatus main body; and a gas supply part for supplying a dry gas into the container. apparatus.
イマを用いて装置使用開始時刻より前に前記乾燥ガスを
前記容器の内部に供給することを特徴とする請求項１記
載のレーザ発振装置。2. The laser oscillation device according to claim 1, wherein the gas supply unit is provided with a timer, and the dry gas is supplied into the container before the time when the device is used by using the timer. .
くは温度センサ、または湿度センサ及び温度センサの双
方の検出信号に基づいて前記ガス供給部が前記乾燥ガス
を前記容器の内部に供給する時刻、供給する量を制御す
るように構成したことを特徴とする請求項１記載のレー
ザ発振装置。3. A time at which the gas supply unit supplies the dry gas to the inside of the container based on detection signals of a humidity sensor or a temperature sensor provided inside the container, or both a humidity sensor and a temperature sensor, The laser oscillation device according to claim 1, wherein the laser oscillation device is configured to control the amount to be supplied.
オイルミストフィルタ、水分除去フィルタ及び防塵用フ
ィルタを具備し、前記エアコンプレッサで圧縮された空
気から油分、水分、塵埃を取り除いて前記乾燥ガスを製
造し、前記容器の内部に供給することを特徴とする請求
項１記載のレーザ発振装置。4. The gas supply unit is an air compressor,
An oil mist filter, a water removal filter, and a dustproof filter are provided, and oil, moisture, and dust are removed from the air compressed by the air compressor to produce the dry gas, which is supplied to the inside of the container. The laser oscillation device according to claim 1.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4231793A JPH06260708A (en) | 1993-03-03 | 1993-03-03 | Laser oscillation device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4231793A JPH06260708A (en) | 1993-03-03 | 1993-03-03 | Laser oscillation device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06260708A true JPH06260708A (en) | 1994-09-16 |
Family
ID=12632645
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4231793A Pending JPH06260708A (en) | 1993-03-03 | 1993-03-03 | Laser oscillation device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06260708A (en) |
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