JPH06258341A - 加速度センサ - Google Patents
加速度センサInfo
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- JPH06258341A JPH06258341A JP5065919A JP6591993A JPH06258341A JP H06258341 A JPH06258341 A JP H06258341A JP 5065919 A JP5065919 A JP 5065919A JP 6591993 A JP6591993 A JP 6591993A JP H06258341 A JPH06258341 A JP H06258341A
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- axis
- frame
- acceleration sensor
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/125—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by capacitive pick-up
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/0888—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values for indicating angular acceleration
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
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- G01P15/18—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration in two or more dimensions
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 Ｘ軸およびＹ軸回りの角加速度とＺ軸方向の
加速度との３つの加速度を検出することができる加速度
センサを提供する。 【構成】 内側フレーム２１から外側へ向かって順次、
内側支持体２４、重り２２、外側支持体２５、外側フレ
ーム２３を同心に配置する。支持体２４，２５は、曲げ
およびねじり変形可能で、かつ面と平行な方向に変形し
ないような薄い膜または板状に形成する。内側支持体２
４の内周部には、Ｘ軸上において内側フレーム２１と連
結する内側連結部２６，２６を形成する。内側支持体２
４の外周部には、Ｙ軸上において重り２２と連結する外
側連結部２７，２７を形成する。外側支持体２５の内周
部には、Ｙ軸上において重り２２と連結する内側連結部
２８を形成する。外側支持体２５の外周部にはＸ軸上に
おいて外側フレーム２３と連結する外側連結部２９を形
成する。
加速度との３つの加速度を検出することができる加速度
センサを提供する。 【構成】 内側フレーム２１から外側へ向かって順次、
内側支持体２４、重り２２、外側支持体２５、外側フレ
ーム２３を同心に配置する。支持体２４，２５は、曲げ
およびねじり変形可能で、かつ面と平行な方向に変形し
ないような薄い膜または板状に形成する。内側支持体２
４の内周部には、Ｘ軸上において内側フレーム２１と連
結する内側連結部２６，２６を形成する。内側支持体２
４の外周部には、Ｙ軸上において重り２２と連結する外
側連結部２７，２７を形成する。外側支持体２５の内周
部には、Ｙ軸上において重り２２と連結する内側連結部
２８を形成する。外側支持体２５の外周部にはＸ軸上に
おいて外側フレーム２３と連結する外側連結部２９を形
成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、車両等に作用する加
速度を検出するための加速度を検出するようにした加速
度センサに関する。
速度を検出するための加速度を検出するようにした加速
度センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】この種の加速度センサの１つとして半導
体加速度センサがある。半導体加速度センサは、変位可
能な重りと、この重りに対向して配置された固定電極と
を備えており、重りと固定電極との間隔変化に対応する
静電容量変化に基づいて加速度を検出するようになって
いる。
体加速度センサがある。半導体加速度センサは、変位可
能な重りと、この重りに対向して配置された固定電極と
を備えており、重りと固定電極との間隔変化に対応する
静電容量変化に基づいて加速度を検出するようになって
いる。
【０００３】このような加速度センサは、例えば特開平
４ー１３０２７７号公報、特開平４ー２５２９６１号公
報等に記載されている。前者の公報に記載の加速度セン
サは、重りを１軸方向へ変位可能に設けたものであり、
１軸方向の加速度を検出することができる。また、後者
の公報に記載の加速度センサは、第１の重りをＸ軸を中
心として回動可能に設けるとともに、この第１の重りに
第２の重りをＹ軸を中心として回動自在に設けたもので
あり、Ｘ軸およびＹ軸回りの角加速度を検出することが
できる。
４ー１３０２７７号公報、特開平４ー２５２９６１号公
報等に記載されている。前者の公報に記載の加速度セン
サは、重りを１軸方向へ変位可能に設けたものであり、
１軸方向の加速度を検出することができる。また、後者
の公報に記載の加速度センサは、第１の重りをＸ軸を中
心として回動可能に設けるとともに、この第１の重りに
第２の重りをＹ軸を中心として回動自在に設けたもので
あり、Ｘ軸およびＹ軸回りの角加速度を検出することが
できる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】加速度には、Ｘ、Ｙ、
Ｚ軸方向の加速度と各軸回りの角加速度との６つの加速
度がある。したがって、加速度センサが１つの加速度し
か検出することができない場合には、６個のセンサが必
要である。これに対し、１つのセンサで複数の加速度を
検出することができれば、それだけ加速度センサの数を
減らすことができ、加速度センサに要する費用および設
置の手間等を軽減することができる。
Ｚ軸方向の加速度と各軸回りの角加速度との６つの加速
度がある。したがって、加速度センサが１つの加速度し
か検出することができない場合には、６個のセンサが必
要である。これに対し、１つのセンサで複数の加速度を
検出することができれば、それだけ加速度センサの数を
減らすことができ、加速度センサに要する費用および設
置の手間等を軽減することができる。
【０００５】しかしながら、上記従来の加速度センサ
は、せいぜい２軸に関する加速度を検出することができ
るだけであり、さらに多くの加速度を検出することがで
きる加速度センサの開発が要望されていた。
は、せいぜい２軸に関する加速度を検出することができ
るだけであり、さらに多くの加速度を検出することがで
きる加速度センサの開発が要望されていた。
【０００６】この発明は、上記要望に応えるためになさ
れたものであり、より多くの加速度、具体的にはＸ軸お
よびＹ軸回りの角加速度と、Ｚ軸方向の加速度との３つ
の加速度を検出することができる加速度センサを提供す
ることを目的とする。
れたものであり、より多くの加速度、具体的にはＸ軸お
よびＹ軸回りの角加速度と、Ｚ軸方向の加速度との３つ
の加速度を検出することができる加速度センサを提供す
ることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明は、上記の目的
を達成するために、フレームの内側または外側に重りが
配置され、これらフレームと重りとの間に重りを変位可
能に支持する支持体が配置され、上記重りと固定電極間
の間隔変化に対応する静電容量の変化によって加速度を
検出するようにした加速度センサにおいて、上記支持体
を薄いリング状に形成し、この支持体の外周部の上記重
りの中心を通るＸ軸と交差する２箇所には、支持体を上
記フレームと上記重りとのうちの支持体の外側に配置さ
れた一方に連結する外側連結部を形成し、上記支持体の
内周部の上記重りの中心を通るＹ軸と交差する２箇所に
は、支持体を上記フレームと上記重りとのうちの他方に
連結する内側連結部を形成したことを特徴とするもので
ある。
を達成するために、フレームの内側または外側に重りが
配置され、これらフレームと重りとの間に重りを変位可
能に支持する支持体が配置され、上記重りと固定電極間
の間隔変化に対応する静電容量の変化によって加速度を
検出するようにした加速度センサにおいて、上記支持体
を薄いリング状に形成し、この支持体の外周部の上記重
りの中心を通るＸ軸と交差する２箇所には、支持体を上
記フレームと上記重りとのうちの支持体の外側に配置さ
れた一方に連結する外側連結部を形成し、上記支持体の
内周部の上記重りの中心を通るＹ軸と交差する２箇所に
は、支持体を上記フレームと上記重りとのうちの他方に
連結する内側連結部を形成したことを特徴とするもので
ある。
【０００８】
【作用】支持体は、外側連結部と内側連結部との間の部
分が捩りおよび曲げ弾性変形することにより、重りをＸ
軸およびＹ軸をそれぞれ中心として回動可能に支持する
ともに、Ｚ軸方向へ移動可能に支持する。したがって、
Ｘ軸およびＹ軸回りの角加速度およびＺ軸方向の加速度
を検出することができる。
分が捩りおよび曲げ弾性変形することにより、重りをＸ
軸およびＹ軸をそれぞれ中心として回動可能に支持する
ともに、Ｚ軸方向へ移動可能に支持する。したがって、
Ｘ軸およびＹ軸回りの角加速度およびＺ軸方向の加速度
を検出することができる。
【０００９】
【実施例】以下、この発明の一実施例について図面の図
１〜図４を参照して説明する。なお、図１（Ａ）はこの
発明に係る加速度センサの平面図であり、図１（Ｂ）は
図１（Ａ）のＢ−Ｂ矢視断面図である。図１（Ｂ）から
明らかなように、この加速度センサ１は、三層構造をな
しており、中央部の基板２と、上下のガラス板３，４と
を備えている。
１〜図４を参照して説明する。なお、図１（Ａ）はこの
発明に係る加速度センサの平面図であり、図１（Ｂ）は
図１（Ａ）のＢ−Ｂ矢視断面図である。図１（Ｂ）から
明らかなように、この加速度センサ１は、三層構造をな
しており、中央部の基板２と、上下のガラス板３，４と
を備えている。
【００１０】基板２は、半導体たるシリコン板状に形成
したものであり、異方性エッチングによって次のような
構造に形成されている。なお、以下においては、説明の
便宜上、基板２の中央を通り、かつ基板２と平行な２つ
の軸をＸ軸、Ｙ軸とし、これらＸ軸およびＹ軸と直交す
る軸をＺ軸とする。
したものであり、異方性エッチングによって次のような
構造に形成されている。なお、以下においては、説明の
便宜上、基板２の中央を通り、かつ基板２と平行な２つ
の軸をＸ軸、Ｙ軸とし、これらＸ軸およびＹ軸と直交す
る軸をＺ軸とする。
【００１１】基板２には、その中央部に正方形状をなす
内側フレーム２１が形成され、この内側フレームの外側
に正方形のリング状をなす重り２２が形成され、この重
り２２の外側に内周が正方形で外周が長方形状をなす外
側フレーム２３が形成されている。内側フレーム２１，
重り２２および外側フレーム２３は、それぞれの辺が中
央部においてＸ軸、Ｙ軸と直交するように配置されてい
る。
内側フレーム２１が形成され、この内側フレームの外側
に正方形のリング状をなす重り２２が形成され、この重
り２２の外側に内周が正方形で外周が長方形状をなす外
側フレーム２３が形成されている。内側フレーム２１，
重り２２および外側フレーム２３は、それぞれの辺が中
央部においてＸ軸、Ｙ軸と直交するように配置されてい
る。
【００１２】内側フレーム２１と重り２２との間には、
正方形のリング状をなす内側支持体２４が形成されてい
る。内側支持体２４は、Ｚ軸方向における重り２２の両
端部にそれぞれ形成されている。以下、図１（Ｂ）にお
いて上側に位置する内側支持体２４を上内側支持体２４
ｕと称し、下側に位置する内側支持体２４を下内側支持
体２４ｄと称する。
正方形のリング状をなす内側支持体２４が形成されてい
る。内側支持体２４は、Ｚ軸方向における重り２２の両
端部にそれぞれ形成されている。以下、図１（Ｂ）にお
いて上側に位置する内側支持体２４を上内側支持体２４
ｕと称し、下側に位置する内側支持体２４を下内側支持
体２４ｄと称する。
【００１３】重り２２と外側フレーム２３との間には、
正方形のリング状をなす外側支持体２５が形成されてい
る。外側支持体２５も内側支持体２４と同様に、上外側
支持体２５ｕと下外側支持体２５ｄとがある。
正方形のリング状をなす外側支持体２５が形成されてい
る。外側支持体２５も内側支持体２４と同様に、上外側
支持体２５ｕと下外側支持体２５ｄとがある。
【００１４】内側支持体２４および外側支持体２５は、
薄膜または薄板状に形成されており、Ｚ軸方向に向かう
曲げ力および捩り力に対しては比較的容易に弾性変形す
るが、Ｘ軸およびＹ軸方向に向かう力、特に引っ張り力
に対してはほとんど弾性変形しないようにその寸法が設
定されている。ちなみに、この実施例では、内側支持体
２４は、外側の一辺の長さが１ｍｍの正方形で、幅が
０.０９ｍｍであり、外側支持体２５は、外側の一辺の
長さが３.１ｍｍの正方形で、幅が０.１７ｍｍであるの
に対し、両者の厚さはいずれも０.０１ｍｍに設定され
ている。
薄膜または薄板状に形成されており、Ｚ軸方向に向かう
曲げ力および捩り力に対しては比較的容易に弾性変形す
るが、Ｘ軸およびＹ軸方向に向かう力、特に引っ張り力
に対してはほとんど弾性変形しないようにその寸法が設
定されている。ちなみに、この実施例では、内側支持体
２４は、外側の一辺の長さが１ｍｍの正方形で、幅が
０.０９ｍｍであり、外側支持体２５は、外側の一辺の
長さが３.１ｍｍの正方形で、幅が０.１７ｍｍであるの
に対し、両者の厚さはいずれも０.０１ｍｍに設定され
ている。
【００１５】上内側支持体２４ｕの左右（図１（Ａ）に
おける左右。以下、同じ。）の２辺の中央部には、内側
へ向かって突出する内側連結部２６が形成されている。
この内側連結部２６により、上内側支持体２４ｕと内側
フレーム２１とがＸ軸上において連結されている。ま
た、上内側支持体２４ｕの上下（図１（Ａ）における上
下。以下、同じ。）の２辺の中央部には、外側へ向かっ
て突出する外側連結部２７が形成されている。この外側
連結部２７により、内側支持体２４ｕと重り２２とがＹ
軸上において連結されている。
おける左右。以下、同じ。）の２辺の中央部には、内側
へ向かって突出する内側連結部２６が形成されている。
この内側連結部２６により、上内側支持体２４ｕと内側
フレーム２１とがＸ軸上において連結されている。ま
た、上内側支持体２４ｕの上下（図１（Ａ）における上
下。以下、同じ。）の２辺の中央部には、外側へ向かっ
て突出する外側連結部２７が形成されている。この外側
連結部２７により、内側支持体２４ｕと重り２２とがＹ
軸上において連結されている。
【００１６】下内側支持体２４ｄにも、上内側支持体２
４ｕと同様に、支持体２４ｄを内側フレーム２１と連結
する内側連結部２６と、支持体２４ｄを重り２２と連結
する外側連結部２７とがそれぞれ形成されている。ただ
し、下内側支持体２４ｄの内側連結部２６はＹ軸上に形
成され、外側連結部２７はＸ軸上に形成されている。つ
まり、下内側支持体２４ｄの連結部２６，２７は、上内
側支持体２４ｕの各連結部２６、２７に対して位相がそ
れぞれ９０°ずらされている。なお、各連結部２６，２
７の厚さは支持体２４と同一であるが、その幅は支持体
２４の幅より広くなっている。
４ｕと同様に、支持体２４ｄを内側フレーム２１と連結
する内側連結部２６と、支持体２４ｄを重り２２と連結
する外側連結部２７とがそれぞれ形成されている。ただ
し、下内側支持体２４ｄの内側連結部２６はＹ軸上に形
成され、外側連結部２７はＸ軸上に形成されている。つ
まり、下内側支持体２４ｄの連結部２６，２７は、上内
側支持体２４ｕの各連結部２６、２７に対して位相がそ
れぞれ９０°ずらされている。なお、各連結部２６，２
７の厚さは支持体２４と同一であるが、その幅は支持体
２４の幅より広くなっている。
【００１７】上外側支持体２５ｕの上下の２辺の中央部
には、内側へ向かって突出する内側連結部２８が形成さ
れ、この内側連結部２８によって外側支持対２５ｕと重
り２２とがＹ軸線上において連結されている。上外側支
持体２５ｕの左右の２辺には、外側へ突出する外側連結
部２９が形成されており、この外側連結部２９によって
上外側支持体２５ｕと外側フレーム２３とがＸ軸上にお
いて連結されている。なお、この配置から明らかなよう
に、上外側支持体２５ｕの内側連結部２８と外側連結部
２９とは、上内側支持体２４ｕの内側連結部２６と外側
連結部２７とに対してそれぞれ位相が９０°ずらされて
いる。
には、内側へ向かって突出する内側連結部２８が形成さ
れ、この内側連結部２８によって外側支持対２５ｕと重
り２２とがＹ軸線上において連結されている。上外側支
持体２５ｕの左右の２辺には、外側へ突出する外側連結
部２９が形成されており、この外側連結部２９によって
上外側支持体２５ｕと外側フレーム２３とがＸ軸上にお
いて連結されている。なお、この配置から明らかなよう
に、上外側支持体２５ｕの内側連結部２８と外側連結部
２９とは、上内側支持体２４ｕの内側連結部２６と外側
連結部２７とに対してそれぞれ位相が９０°ずらされて
いる。
【００１８】下外側支持体２５ｄにも、上外側支持体２
５ｕと同様に、内側連結部２８，２９がそれぞれ形成さ
れている。ただし、下外側支持体２５ｄの内側連結部２
８はＹ軸上に形成され、外側連結部２９はＸ軸上に形成
されており、上外側支持体２５ｕの各連結部２８、２９
に対し周方向へ９０°位相がずらされている。なお、各
連結部２８，２９の厚さは支持体２５と同一であるが、
その幅は支持体２５の幅より広くなっている。
５ｕと同様に、内側連結部２８，２９がそれぞれ形成さ
れている。ただし、下外側支持体２５ｄの内側連結部２
８はＹ軸上に形成され、外側連結部２９はＸ軸上に形成
されており、上外側支持体２５ｕの各連結部２８、２９
に対し周方向へ９０°位相がずらされている。なお、各
連結部２８，２９の厚さは支持体２５と同一であるが、
その幅は支持体２５の幅より広くなっている。
【００１９】上記重り２２の上面には、４つの電極３１
〜３４がメッキ、蒸着その他の手段によって形成されて
いる。電極３１，３３は、Ｘ軸上に配置され、しかも中
心Ｏを間にして互いに逆側に配置されている。電極３
２，３４は、Ｙ軸上に配置され、中心Ｏを間にして互い
に逆側に配置されている。同様に、重り２２の下面に
も、４つの電極３５〜３８（電極３５，３７のみ図示）
が形成されている。
〜３４がメッキ、蒸着その他の手段によって形成されて
いる。電極３１，３３は、Ｘ軸上に配置され、しかも中
心Ｏを間にして互いに逆側に配置されている。電極３
２，３４は、Ｙ軸上に配置され、中心Ｏを間にして互い
に逆側に配置されている。同様に、重り２２の下面に
も、４つの電極３５〜３８（電極３５，３７のみ図示）
が形成されている。
【００２０】なお、電極３１〜３４は、外側フレーム２
３の上面に形成された４つの端子３９に、重り２２、上
外側支持体２５ｕおよび外側フレーム２３に渡って形成
されたリード線４０を介してそれぞれ接続されている。
勿論、端子３９およびリード線４０は、メッキ、蒸着そ
の他の手段によって形成されている。
３の上面に形成された４つの端子３９に、重り２２、上
外側支持体２５ｕおよび外側フレーム２３に渡って形成
されたリード線４０を介してそれぞれ接続されている。
勿論、端子３９およびリード線４０は、メッキ、蒸着そ
の他の手段によって形成されている。
【００２１】上記ガラス板３の下面には、重り２２と対
向する部分に略正方形の環状をなす凹部３ａが形成され
ている。この凹部３ａの底面には、４つの固定電極４１
〜４４（電極４１，４３のみ図示）がそれぞれメッキ、
蒸着その他の手段によって形成されている。各固定電極
４１〜４４は、それぞれ上記電極３１〜３４と対向して
配置されており、各電極３１〜３４とでコンデンサ
Ｃ1，Ｃ2，Ｃ3，Ｃ4を構成している。
向する部分に略正方形の環状をなす凹部３ａが形成され
ている。この凹部３ａの底面には、４つの固定電極４１
〜４４（電極４１，４３のみ図示）がそれぞれメッキ、
蒸着その他の手段によって形成されている。各固定電極
４１〜４４は、それぞれ上記電極３１〜３４と対向して
配置されており、各電極３１〜３４とでコンデンサ
Ｃ1，Ｃ2，Ｃ3，Ｃ4を構成している。
【００２２】ガラス板４にも、ガラス板３と同様に、凹
部４ａが形成されるとともに、凹部４ａの底面には、重
り２２の電極３５〜３８とコンデンサＣ5〜Ｃ8を構成す
る電極４５〜４８（電極４５，４７のみ図示）が形成さ
れている。
部４ａが形成されるとともに、凹部４ａの底面には、重
り２２の電極３５〜３８とコンデンサＣ5〜Ｃ8を構成す
る電極４５〜４８（電極４５，４７のみ図示）が形成さ
れている。
【００２３】なお、図示していないが、ガラス板３，４
には、スルーホールが形成されるとともに、その内面に
メッキその他の手段によって導体層が形成されており、
上記電極４１〜４８は、導体層を介してガラス板３の上
面とガラス板４の下面とにそれぞれ導出され、同上面ま
たは下面に形成された４個宛形成された端子にそれぞれ
接続されている。そして、各端子からコンピュータ等に
接続されるようになっている。また、各ガラス板３，４
には、上記基板２の上面および下面に形成された端子３
９（下面の端子は図示していない）に接触する端子がそ
れぞれ形成され、各端子は上記と同様にしてガラス板
３，４の上面または下面に形成された端子に接続されて
いる。
には、スルーホールが形成されるとともに、その内面に
メッキその他の手段によって導体層が形成されており、
上記電極４１〜４８は、導体層を介してガラス板３の上
面とガラス板４の下面とにそれぞれ導出され、同上面ま
たは下面に形成された４個宛形成された端子にそれぞれ
接続されている。そして、各端子からコンピュータ等に
接続されるようになっている。また、各ガラス板３，４
には、上記基板２の上面および下面に形成された端子３
９（下面の端子は図示していない）に接触する端子がそ
れぞれ形成され、各端子は上記と同様にしてガラス板
３，４の上面または下面に形成された端子に接続されて
いる。
【００２４】ガラス板３，４は、基板２にそれぞれ固着
されている。通常、陽極接合法によって固着されるが、
他の方法によって固着してもよいことは勿論である。
されている。通常、陽極接合法によって固着されるが、
他の方法によって固着してもよいことは勿論である。
【００２５】次に、上記構成の加速度センサ１の作用を
図３および図４に基づいて説明する。加速度センサ１に
Ｚ軸方向の加速度が作用した場合には、重り２２がＺ軸
方向へ平行移動する。これに伴って支持体２４，２５の
各連結部２６〜２９のうちの重り２２に連結された連結
部、すなわち上下の内側支持体２４ｕ，２４ｄの外側連
結部２７、上下の外側支持体２５ｕ，２５ｄの内側支持
体２８が重り２２と共に移動する。勿論、連結部２６〜
２９のうちの内側フレーム２１と外側フレーム２３にそ
れぞれ連結された内側連結部２６および外側連結部２９
は、位置が変わることがない。
図３および図４に基づいて説明する。加速度センサ１に
Ｚ軸方向の加速度が作用した場合には、重り２２がＺ軸
方向へ平行移動する。これに伴って支持体２４，２５の
各連結部２６〜２９のうちの重り２２に連結された連結
部、すなわち上下の内側支持体２４ｕ，２４ｄの外側連
結部２７、上下の外側支持体２５ｕ，２５ｄの内側支持
体２８が重り２２と共に移動する。勿論、連結部２６〜
２９のうちの内側フレーム２１と外側フレーム２３にそ
れぞれ連結された内側連結部２６および外側連結部２９
は、位置が変わることがない。
【００２６】図４に示すように、上外側支持体２５ｕの
内側連結部２８がＺ軸方向へ移動すると、上外側支持体
２５ｕのうちの内側連結部２８と外側連結部２９との間
に位置する部分Ｐが捩りおよび曲げ弾性変形を受けるこ
とにより、部分Ｐの中間部が内側へ変位するように弾性
変形される。この弾性変形により、部分Ｐには重り２２
の移動を阻止する力が生じる。なお、この点は、上外側
支持体２５ｕの他の部分のみならず、他の支持体２４
ｕ，２４ｄ，２５ｄについても同様である。そこで、以
下においては、上外側支持体２５ｕの内側連結部２８と
外側連結部２９とについてのみ説明することとし、他の
支持体については、必要がある場合を除きその説明を省
略する。
内側連結部２８がＺ軸方向へ移動すると、上外側支持体
２５ｕのうちの内側連結部２８と外側連結部２９との間
に位置する部分Ｐが捩りおよび曲げ弾性変形を受けるこ
とにより、部分Ｐの中間部が内側へ変位するように弾性
変形される。この弾性変形により、部分Ｐには重り２２
の移動を阻止する力が生じる。なお、この点は、上外側
支持体２５ｕの他の部分のみならず、他の支持体２４
ｕ，２４ｄ，２５ｄについても同様である。そこで、以
下においては、上外側支持体２５ｕの内側連結部２８と
外側連結部２９とについてのみ説明することとし、他の
支持体については、必要がある場合を除きその説明を省
略する。
【００２７】各支持体２４ｕ〜２５ｄに生じる力が、重
り２２に作用する力（加速度に基づいて作用する力。）
とが釣り合ったとき、重り２２が停止する。換言すれ
ば、重り２２は、各支持体２４ｕ〜２５ｄを弾性変形さ
せつつ、重り２２に作用する加速度の大きさに見合った
距離だけ移動する。これにより、図３（Ａ）に示すよう
に（図３（Ａ）は、Ｚ軸方向上方への加速度が作用して
重り２２が下方へ移動した場合の図である。）、電極３
１〜３４と固定電極４１〜４４との間の距離が長くな
り、電極３５〜３８と固定電極４５〜４８との間の距離
が短くなる。この結果、コンデンサＣ1〜Ｃ4の静電容量
が小さくなり、コンデンサＣ5〜Ｃ8の静電容量が大きく
なる。しかも、コンデンサＣ1〜Ｃ4の静電容量は互いに
等しく、コンデンサＣ5〜Ｃ8の静電容量は互いに等し
い。これから、加速度センサ１にＺ軸方向上方への加速
度が作用していること、および加速度の大きさを検出す
ることができる。
り２２に作用する力（加速度に基づいて作用する力。）
とが釣り合ったとき、重り２２が停止する。換言すれ
ば、重り２２は、各支持体２４ｕ〜２５ｄを弾性変形さ
せつつ、重り２２に作用する加速度の大きさに見合った
距離だけ移動する。これにより、図３（Ａ）に示すよう
に（図３（Ａ）は、Ｚ軸方向上方への加速度が作用して
重り２２が下方へ移動した場合の図である。）、電極３
１〜３４と固定電極４１〜４４との間の距離が長くな
り、電極３５〜３８と固定電極４５〜４８との間の距離
が短くなる。この結果、コンデンサＣ1〜Ｃ4の静電容量
が小さくなり、コンデンサＣ5〜Ｃ8の静電容量が大きく
なる。しかも、コンデンサＣ1〜Ｃ4の静電容量は互いに
等しく、コンデンサＣ5〜Ｃ8の静電容量は互いに等し
い。これから、加速度センサ１にＺ軸方向上方への加速
度が作用していること、および加速度の大きさを検出す
ることができる。
【００２８】Ｙ軸回りの角加速度が作用した場合には、
重り２２がＹ軸を中心に回転変位する。これに伴って、
内側連結部２８が回転し、その側部がＸ軸方向へ移動す
る。これにより、部分Ｐが捩りおよび曲げ弾性変形し、
部分Ｐの中間部が内側へ変位するように弾性変形する。
ただし、下外側支持体２５ｄについては、その内側連結
部２８および外側連結部２９が上外側支持体２５ｕの各
連結部２８，２９と位相が９０°ずれているので、Ｙ軸
回りの角加速度が作用すると、図４においてあたかもＸ
軸回りの角加速度が作用した状況を呈する。つまり、内
側連結部２８がＺ軸方向へ移動する（勿論、他の内側連
結部２８はＺ軸方向の他方向へ移動する）。したがっ
て、重り２２がＺ軸方向へ移動した場合と同様に部分Ｐ
が弾性変形する。
重り２２がＹ軸を中心に回転変位する。これに伴って、
内側連結部２８が回転し、その側部がＸ軸方向へ移動す
る。これにより、部分Ｐが捩りおよび曲げ弾性変形し、
部分Ｐの中間部が内側へ変位するように弾性変形する。
ただし、下外側支持体２５ｄについては、その内側連結
部２８および外側連結部２９が上外側支持体２５ｕの各
連結部２８，２９と位相が９０°ずれているので、Ｙ軸
回りの角加速度が作用すると、図４においてあたかもＸ
軸回りの角加速度が作用した状況を呈する。つまり、内
側連結部２８がＺ軸方向へ移動する（勿論、他の内側連
結部２８はＺ軸方向の他方向へ移動する）。したがっ
て、重り２２がＺ軸方向へ移動した場合と同様に部分Ｐ
が弾性変形する。
【００２９】そして、角加速度の作用によって重り２２
に作用する力と、角支持体２４ｕ〜２５ｄの弾性変形に
伴う力とが一致すると重り２２が停止する。この状態で
は、図３（Ｂ）に示すように（図３（Ｂ）はセンサ１に
Ｙ軸を中心とした反時計方向の角加速度が作用した状態
を示す図である。）、コンデンサＣ1，Ｃ7の静電容量が
小さくなり、コンデンサＣ3，Ｃ5の静電容量が大きくな
る。コンデンサＣ2，Ｃ4，Ｃ6，Ｃ7の容量は変わらな
い。これにより、加速度センサ１にＹ軸回りの角加速
度、それも反時計方向の角加速度が作用していることが
分かり、さらにコンデンサＣ1，Ｃ3またはＣ5，Ｃ7の静
電容量から角加速度の大きさが分かる。
に作用する力と、角支持体２４ｕ〜２５ｄの弾性変形に
伴う力とが一致すると重り２２が停止する。この状態で
は、図３（Ｂ）に示すように（図３（Ｂ）はセンサ１に
Ｙ軸を中心とした反時計方向の角加速度が作用した状態
を示す図である。）、コンデンサＣ1，Ｃ7の静電容量が
小さくなり、コンデンサＣ3，Ｃ5の静電容量が大きくな
る。コンデンサＣ2，Ｃ4，Ｃ6，Ｃ7の容量は変わらな
い。これにより、加速度センサ１にＹ軸回りの角加速
度、それも反時計方向の角加速度が作用していることが
分かり、さらにコンデンサＣ1，Ｃ3またはＣ5，Ｃ7の静
電容量から角加速度の大きさが分かる。
【００３０】なお、Ｘ軸回りの角加速度が作用した場合
は、Ｙ軸回りの角加速度が作用した場合と同様であるの
で、その説明は省略する。ここで留意すべき点は、上外
側支持体２５ｕの連結部２８，２９と下外側支持体２５
ｄの連結部２８，２９の位相を９０°ずらすことによ
り、Ｘ軸回りの角加速度とＹ軸回りの角加速度とが同一
の大きさであるならば、重り２２が同一角度だけ回転変
位することである。
は、Ｙ軸回りの角加速度が作用した場合と同様であるの
で、その説明は省略する。ここで留意すべき点は、上外
側支持体２５ｕの連結部２８，２９と下外側支持体２５
ｄの連結部２８，２９の位相を９０°ずらすことによ
り、Ｘ軸回りの角加速度とＹ軸回りの角加速度とが同一
の大きさであるならば、重り２２が同一角度だけ回転変
位することである。
【００３１】すなわち、部分ＰはＸ軸回りの角加速度が
作用した場合とＹ軸回りの角加速度が作用した場合とで
は、上記のように変形の態様が異なる。このため、仮に
上外側支持体２５ｕの連結部２８，２９と，下外側支持
体２５ｄの連結部２８，２９との位相を一致させると、
角加速度の大きさが同一であってもＸ軸回りに作用する
場合とＹ軸回りに作用する場合とでは、重り２２の回転
変位量に差異が生じる。このような差異が生じないよ
う、上下の外側支持体２５ｕ，２５ｄの連結部２８，２
９の位相を９０°ずらしたものである。この点は、上下
の内側支持体２４ｕ，２４ｄについても同様である。
作用した場合とＹ軸回りの角加速度が作用した場合とで
は、上記のように変形の態様が異なる。このため、仮に
上外側支持体２５ｕの連結部２８，２９と，下外側支持
体２５ｄの連結部２８，２９との位相を一致させると、
角加速度の大きさが同一であってもＸ軸回りに作用する
場合とＹ軸回りに作用する場合とでは、重り２２の回転
変位量に差異が生じる。このような差異が生じないよ
う、上下の外側支持体２５ｕ，２５ｄの連結部２８，２
９の位相を９０°ずらしたものである。この点は、上下
の内側支持体２４ｕ，２４ｄについても同様である。
【００３２】また、Ｘ軸方向またはＹ軸方向への加速度
が作用した場合には、各支持体２４ｕ〜２５ｄがほとん
ど変形しないので、図３（Ｃ）に示すように、重り２２
が変位することがない。したがって、それらの加速度に
起因する検出誤差が生じることがない。
が作用した場合には、各支持体２４ｕ〜２５ｄがほとん
ど変形しないので、図３（Ｃ）に示すように、重り２２
が変位することがない。したがって、それらの加速度に
起因する検出誤差が生じることがない。
【００３３】なお、実際には、Ｘ軸回りの角加速度、Ｙ
軸回りの角加速度、またはＺ軸方向の加速度が単独で加
速度センサ１に作用することはほとんどなく、通常はそ
れらが合成された形態で作用する。このような場合に
は、各コンデンサＣ1〜Ｃ8の静電容量の変化からＸ軸お
よびＹ軸回りの加速度並びにＺ軸方向の加速度を分析す
ることができる。
軸回りの角加速度、またはＺ軸方向の加速度が単独で加
速度センサ１に作用することはほとんどなく、通常はそ
れらが合成された形態で作用する。このような場合に
は、各コンデンサＣ1〜Ｃ8の静電容量の変化からＸ軸お
よびＹ軸回りの加速度並びにＺ軸方向の加速度を分析す
ることができる。
【００３４】上記のように、加速度センサ１によれば、
Ｘ軸およびＹ軸回りの角加速度と、Ｚ軸方向の加速度と
の３つの加速度を検出することができる。したがって、
車両等に加速度センサを設置する場合には、その設置数
を減らすことができ、これによって設置費用および手間
を大幅に軽減することができる。
Ｘ軸およびＹ軸回りの角加速度と、Ｚ軸方向の加速度と
の３つの加速度を検出することができる。したがって、
車両等に加速度センサを設置する場合には、その設置数
を減らすことができ、これによって設置費用および手間
を大幅に軽減することができる。
【００３５】また、この実施例の加速度センサ１におい
ては、内外の支持体２４，２５を備えているので、Ｘ軸
およびＹ軸回りの角加速度の検出感度とＺ軸方向の加速
度の感度とを比較的自由に設定することができる。
ては、内外の支持体２４，２５を備えているので、Ｘ軸
およびＹ軸回りの角加速度の検出感度とＺ軸方向の加速
度の感度とを比較的自由に設定することができる。
【００３６】すなわち、図２（Ｂ）から明らかなよう
に、重り２２がＸ軸またはＹ軸回りに回転変位した場
合、外側支持体２５の変形量が大きく、内側支持体２４
の変形量が小さい。したがって、内側支持体２４のばね
定数を大きくしたとしても、角加速度に対する検出感度
にはそれほど影響がない。
に、重り２２がＸ軸またはＹ軸回りに回転変位した場
合、外側支持体２５の変形量が大きく、内側支持体２４
の変形量が小さい。したがって、内側支持体２４のばね
定数を大きくしたとしても、角加速度に対する検出感度
にはそれほど影響がない。
【００３７】これに対し、図２（Ａ）から明らかなよう
に、重り２２がＺ軸方向へ変位した場合には、内外の支
持体２４，２５の変形量はほぼ等しいから、内側支持体
２４のばね定数を大きくすると、一定の加速度に対する
重り２２の変位量が小さくなり、検出感度が角加速度の
検出感度に対して相対的に低くなる。勿論、外側支持体
２５のばね定数を大きくすれば、角加速度に対する検出
感度がＺ軸方向の加速度に対する検出感度に比して相対
的に低くなる。
に、重り２２がＺ軸方向へ変位した場合には、内外の支
持体２４，２５の変形量はほぼ等しいから、内側支持体
２４のばね定数を大きくすると、一定の加速度に対する
重り２２の変位量が小さくなり、検出感度が角加速度の
検出感度に対して相対的に低くなる。勿論、外側支持体
２５のばね定数を大きくすれば、角加速度に対する検出
感度がＺ軸方向の加速度に対する検出感度に比して相対
的に低くなる。
【００３８】なお、コンデンサＣ1〜Ｃ8の静電容量の変
化を検出するには、図５に示す差動ブリッジ回路を用い
るのがよい。このブリッジ回路は、上下に向かい合う２
つのコンデンサ（例えば、コンデンサＣ1，Ｃ5）を直列
に接続するとともに、静電容量が既知である２つのコン
デンサＣm，Ｃn（通常は、加速度が作用していない状態
でのコンデンサＣ1，Ｃ5の静電容量と同一の静電容量を
有するコンデンサが用いられる。）とを直接に接続し、
さらにこれらを並列に接続してブリッジ回路を構成した
ものであり、コンデンサＣ1，Ｃmの接続部とコンデンサ
Ｃ5，Ｃn間に高周波電圧を印加する一方、コンデンサＣ
1，Ｃ5の接続部とコンデンサＣm，Ｃnのが接続部との間
の電圧を検出するようになっている。このような差動ブ
リッジ回路によれば、各コンデンサＣ1〜Ｃ8の静電容量
変化をそれぞれ検出する場合に比して検出感度を２倍に
することができる。
化を検出するには、図５に示す差動ブリッジ回路を用い
るのがよい。このブリッジ回路は、上下に向かい合う２
つのコンデンサ（例えば、コンデンサＣ1，Ｃ5）を直列
に接続するとともに、静電容量が既知である２つのコン
デンサＣm，Ｃn（通常は、加速度が作用していない状態
でのコンデンサＣ1，Ｃ5の静電容量と同一の静電容量を
有するコンデンサが用いられる。）とを直接に接続し、
さらにこれらを並列に接続してブリッジ回路を構成した
ものであり、コンデンサＣ1，Ｃmの接続部とコンデンサ
Ｃ5，Ｃn間に高周波電圧を印加する一方、コンデンサＣ
1，Ｃ5の接続部とコンデンサＣm，Ｃnのが接続部との間
の電圧を検出するようになっている。このような差動ブ
リッジ回路によれば、各コンデンサＣ1〜Ｃ8の静電容量
変化をそれぞれ検出する場合に比して検出感度を２倍に
することができる。
【００３９】なお、この発明は、上記の実施例に限定さ
れるものでなく、その要旨を逸脱しない範囲において適
宜変更可能である。例えば、上記の実施例においては、
シリコンからなる基板２を異方性エッチングすることに
よって上記形状を得ているため、内側フレーム２１、内
側支持体２４ｕ，２４ｄ、重り２２、外側支持体２５
ｕ，２５ｄおよび外側フレーム２３の内周をそれぞれ正
方形にしているが、他の方法によって形成するのであれ
ば他の形状、例えば円形にしてもよい。
れるものでなく、その要旨を逸脱しない範囲において適
宜変更可能である。例えば、上記の実施例においては、
シリコンからなる基板２を異方性エッチングすることに
よって上記形状を得ているため、内側フレーム２１、内
側支持体２４ｕ，２４ｄ、重り２２、外側支持体２５
ｕ，２５ｄおよび外側フレーム２３の内周をそれぞれ正
方形にしているが、他の方法によって形成するのであれ
ば他の形状、例えば円形にしてもよい。
【００４０】また、４つの支持体２４ｕ〜２５ｄを設け
ているが、いずれか１つだけでもよい。１つだけ設ける
場合には、それをＺ軸方向における重り２２の中間部に
連結するのがよい。勿論、支持体を１つだけ設ける場合
には、内側フレーム２１と外側フレーム２３とのうちの
いずれか一方だけを設ければよい。
ているが、いずれか１つだけでもよい。１つだけ設ける
場合には、それをＺ軸方向における重り２２の中間部に
連結するのがよい。勿論、支持体を１つだけ設ける場合
には、内側フレーム２１と外側フレーム２３とのうちの
いずれか一方だけを設ければよい。
【００４１】さらに、上下の支持体２４ｕ，２４ｄ（２
５ｕ，２５ｄ）の内側連結部２６，２６、外側連結部２
７，２７の位相をそれぞれ９０°ずらし、かつＺ軸方向
において同一側に配置された内外の支持体２４ｕ，２５
ｕ（２４ｄ，２５ｄ）の内側連結部２６，２８、外側連
結部２７，２９の位相をそれぞれ９０°ずらしている
が、全ての支持体２４ｕ〜２５ｄの内側連結部２６，２
８を同一位相とし、外側連結部２７，２９を同一位相に
してもよい。
５ｕ，２５ｄ）の内側連結部２６，２６、外側連結部２
７，２７の位相をそれぞれ９０°ずらし、かつＺ軸方向
において同一側に配置された内外の支持体２４ｕ，２５
ｕ（２４ｄ，２５ｄ）の内側連結部２６，２８、外側連
結部２７，２９の位相をそれぞれ９０°ずらしている
が、全ての支持体２４ｕ〜２５ｄの内側連結部２６，２
８を同一位相とし、外側連結部２７，２９を同一位相に
してもよい。
【００４２】さらにまた、上記の実施例においては、重
り２２の上下両面に４つの電極３１〜３４；３５〜３８
をそれぞれ形成しているが、電極３１〜３４；３５〜３
８を一体に形成して接地してもよい。逆に、重り２２の
上下両面に４つの電極をそれぞれ形成する場合には、上
下のガラス板３，４の固定電極４１〜４４；４５〜４８
を一体に形成して接地してもよい。また、重り２２が導
電性を有している場合には、重り２２に電極を形成しな
くともよく、重り２２を接地してもよい。
り２２の上下両面に４つの電極３１〜３４；３５〜３８
をそれぞれ形成しているが、電極３１〜３４；３５〜３
８を一体に形成して接地してもよい。逆に、重り２２の
上下両面に４つの電極をそれぞれ形成する場合には、上
下のガラス板３，４の固定電極４１〜４４；４５〜４８
を一体に形成して接地してもよい。また、重り２２が導
電性を有している場合には、重り２２に電極を形成しな
くともよく、重り２２を接地してもよい。
【００４３】
【発明の効果】以上説明したように、この発明の加速度
センサによれば、フレームと重りとの間に薄いリング状
の支持体を配置し、この支持体をフレームとＸ軸上で連
結させる一方、重りとＹ軸上で連結させたものであるか
ら、Ｘ軸、Ｙ軸回りの角加速度とＺ軸方向の加速度との
３つの加速度を検出することができる。したがって、設
置すべき加速度センサの数を減らすことができ、設置に
要する費用および手間を軽減することができるという効
果が得られる。
センサによれば、フレームと重りとの間に薄いリング状
の支持体を配置し、この支持体をフレームとＸ軸上で連
結させる一方、重りとＹ軸上で連結させたものであるか
ら、Ｘ軸、Ｙ軸回りの角加速度とＺ軸方向の加速度との
３つの加速度を検出することができる。したがって、設
置すべき加速度センサの数を減らすことができ、設置に
要する費用および手間を軽減することができるという効
果が得られる。
【図１】この発明の一実施例を示すもので、図１（Ａ）
はガラス板を取り除いて示す平面図であり、図１（Ｂ）
は図１（Ａ）のＢ−Ｂ矢視断面図である。
はガラス板を取り除いて示す平面図であり、図１（Ｂ）
は図１（Ａ）のＢ−Ｂ矢視断面図である。
【図２】加速度センサに加速度が作用した場合の状態を
示す模式図であって、図２（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）はそ
れぞれＺ軸方向、Ｙ軸回り、Ｘ方向の加速度が作用した
場合の模式図である。
示す模式図であって、図２（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）はそ
れぞれＺ軸方向、Ｙ軸回り、Ｘ方向の加速度が作用した
場合の模式図である。
【図３】図１に示す実施例の作用を説明するために、そ
の一部を拡大して示す平面図である。
の一部を拡大して示す平面図である。
【図４】コンデンサの容量変化を検出するのに好適な差
動ブリッジ回路を示す図である。
動ブリッジ回路を示す図である。
１ 加速度センサ ２ 基板 ２１ 内側フレーム（フレーム） ２２ 重り ２３ 外側フレーム（フレーム） ２４ｕ 上内側支持体（支持体） ２４ｄ 下内側支持体（支持体） ２５ｕ 上外側支持体（支持体） ２５ｄ 下外側支持体（支持体） ２６ 内側連結部（連結部） ２７ 外側連結部（連結部） ２８ 内側連結部（連結部） ２９ 外側連結部（連結部） ４１ 固定電極 ４２ 固定電極 ４３ 固定電極 ４４ 固定電極 ４５ 固定電極 ４６ 固定電極 ４７ 固定電極 ４８ 固定電極
Claims (6)
- 【請求項１】 フレームの内側または外側に重りが配置
され、これらフレームと重りとの間に重りを変位可能に
支持する支持体が配置され、上記重りと固定電極間の間
隔変化に対応する静電容量の変化によって加速度を検出
するようにした加速度センサにおいて、上記支持体を薄
いリング状に形成し、この支持体の外周部の上記重りの
中心を通るＸ軸と交差する２箇所には、支持体を上記フ
レームと上記重りとのうちの支持体の外側に配置された
一方に連結する外側連結部を形成し、上記支持体の内周
部の上記重りの中心を通るＹ軸と交差する２箇所には、
支持体を上記フレームと上記重りとのうちの他方に連結
する内側連結部を形成したことを特徴とする加速度セン
サ。 - 【請求項２】 請求項１に記載の加速度センサにおい
て、上記フレームには内側フレームと外側フレームとが
あり、上記重りはリング状に形成され、上記支持体には
内側支持体と外側支持体とがあり、上記内側フレームの
外側に上記内側支持体が配置され、この内側支持体の外
側に上記重りが配置され、この重りの外側に上記外側支
持体が配置され、この外側支持体の外側に上記外側フレ
ームが配置されていることを特徴とする加速度センサ。 - 【請求項３】 請求項２に記載の加速度センサにおい
て、上記内側支持体の外側連結部と上記外側支持体の外
側連結部とが位相を９０°ずらして形成され、上記内側
支持体の内側連結部と上記外側支持体の内側連結部とが
位相を９０°ずらして形成されていることを特徴とする
加速度センサ。 - 【請求項４】 請求項１〜３のいずれかに記載の加速度
センサにおいて、上記支持体が、上記Ｘ軸およびＹ軸と
直交するＺ軸方向における上記重りの両端側にそれぞれ
配置されていることを特徴とする加速度センサ。 - 【請求項５】 請求項４に記載の加速度センサにおい
て、上記重りの一端側に配置された支持体の外側連結部
と上記重りの他端側に配置された支持体の外側連結部と
が位相を９０°ずらして形成され、上記重りの一端側に
配置された支持体の内側連結部と上記重りの他端側に配
置された支持体の内側連結部とが位相を９０°ずらして
形成されていることを特徴とする加速度センサ。 - 【請求項６】 請求項１〜５のいずれかに記載の加速度
センサにおいて、上記フレーム、重りおよび支持体がシ
リコン基板をエッチングすることによって一体に形成さ
れていることを特徴とする加速度センサ。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5065919A JPH06258341A (ja) | 1993-03-03 | 1993-03-03 | 加速度センサ |
| US08/197,269 US5415040A (en) | 1993-03-03 | 1994-02-16 | Acceleration sensor |
| DE4406867A DE4406867C2 (de) | 1993-03-03 | 1994-03-02 | Beschleunigungsaufnehmer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5065919A JPH06258341A (ja) | 1993-03-03 | 1993-03-03 | 加速度センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06258341A true JPH06258341A (ja) | 1994-09-16 |
Family
ID=13300865
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5065919A Pending JPH06258341A (ja) | 1993-03-03 | 1993-03-03 | 加速度センサ |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5415040A (ja) |
| JP (1) | JPH06258341A (ja) |
| DE (1) | DE4406867C2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5691471A (en) * | 1994-11-16 | 1997-11-25 | Nikon Corporation | Acceleration and angular velocity detector |
| JP2008203071A (ja) * | 2007-02-20 | 2008-09-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 複合センサ |
| US8505381B2 (en) | 2009-07-16 | 2013-08-13 | Mitsubishi Electric Corporation | Capacitive acceleration sensor |
| JP2016070817A (ja) * | 2014-09-30 | 2016-05-09 | 株式会社日立製作所 | 慣性センサ |
| CN106405151A (zh) * | 2016-08-25 | 2017-02-15 | 华东光电集成器件研究所 | 一种低应力z轴加速度计的制备方法 |
Families Citing this family (31)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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