JPH0623675A - 研磨シート - Google Patents

研磨シート

Info

Publication number
JPH0623675A
JPH0623675A JP4178660A JP17866092A JPH0623675A JP H0623675 A JPH0623675 A JP H0623675A JP 4178660 A JP4178660 A JP 4178660A JP 17866092 A JP17866092 A JP 17866092A JP H0623675 A JPH0623675 A JP H0623675A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
polishing
sheet
adhesive
polishing sheet
compression
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP4178660A
Other languages
English (en)
Inventor
Yasushi Yamanoi
泰 山之井
Akira Kondo
明 近藤
Hideo Takeuchi
秀雄 竹内
Koji Nishizuka
公次 西塚
Kazuyuki Tawara
和幸 田原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TAIYO KAGAKU SANGYO KK
Nikon Corp
Original Assignee
TAIYO KAGAKU SANGYO KK
Nikon Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by TAIYO KAGAKU SANGYO KK, Nikon Corp filed Critical TAIYO KAGAKU SANGYO KK
Priority to JP4178660A priority Critical patent/JPH0623675A/ja
Publication of JPH0623675A publication Critical patent/JPH0623675A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ガラスの外観品質及び研磨の面精度を確保
し、更に研磨の生産性向上とコスト低減が可能な研磨シ
ートを提供すること。 【構成】 発泡プラスチックを圧縮して得られる圧縮シ
ート1と基材2とを接着剤3により接着してなり、かつ
前記接着剤がすべて前記圧縮シート1及び/または基材
2に含浸して接着剤層の厚さがゼロであることを特徴と
する研磨シート4。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、レンズ、プリズム、エ
タロン板等のガラス製光学素子の研磨に使用される研磨
シート(ポリシャーとも呼ばれる)に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】従来、レンズ、プリズム、エタロン板等
のガラス製光学素子の研磨には以下に示す様な研磨シー
トが使用されていた。 1.ポリウレタン原料に金属酸化物(セリウム、ジルコ
ニア)砥粒を混入して、低発泡体(高密度)の素材を造
り、これを均一な厚みにスライスした研磨シート(ポリ
ウレタンパッドとも呼ばれている)。 2.スェードに、研磨シートとしての強度を持たせる為
に不織布(基材)を接着剤で貼り合わせた研磨シート。 3.フェルト(ポリエステル不織布)に、研磨シートと
しての硬度を持たせる為に液状ポリウレタンを含浸させ
た後、ポリウレタンを硬化させた研磨シート。 4.ナイロンやビニールの薄いシート(基材)にダイヤ
砥粒を塗布したフィルム状の研磨シート。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のポリシ
ャーは、研磨力が大きくて研磨の面精度は良いが、被研
磨物のガラスに傷がつきやすく外観品質を満足しない
か、または研磨力が小さくてガラスに傷がつかず外観品
質を満足するが、研磨の面精度が不良で、しかも研磨の
生産性が低いという問題点があった。
【0004】本発明は、この様な従来技術の問題点に鑑
みてなされたもので、ガラスの外観品質及び研磨の面精
度を満足し、更に研磨の生産性向上とコスト低減が可能
な研磨シートを提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】前記問題点の解決のため
に、本発明の研磨シート4は、発泡プラスチックを圧縮
して得られる圧縮シート1と基材2とが接着剤3により
接着され、かつ前記接着剤がすべて前記圧縮シート1及
び/または基材2に含浸して接着剤層の厚さがゼロにな
るような構造を有することとした。
【0006】
【作用】発泡プラスチックには、例えばポリウレタン、
ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン等がある
が、本発明の研磨シートには、連続気泡が多い発泡プラ
スチックが、より適している。例えば連続気泡構造を有
する軟質発泡ポリウレタンの使用が好ましい。連続気泡
構造の方が圧縮加工しやすく、また研磨シートの研磨性
(外観品質、面精度)を向上させる接着剤の含浸が容易
である。
【0007】軟質発泡ポリウレタンにはポリエステル系
とポリエーテル系があり、前者は強度と気泡の均一性の
点で後者よりも優れ、また後者は耐湿、耐水性において
前者よりも優れているが、研磨シート用にはどちらでも
使用可能である。また、軟質発泡ポリウレタンの圧縮加
工条件として例えば、表1に示す条件で加工すると、圧
縮率(加工前後の発泡ポリウレタンの厚さ比)が1/1
5〜1/30となり、研磨性の良い研磨シートが得られ
るが、この加工条件や圧縮率の範囲に限定されるもので
はない。
【0008】こうして得られた圧縮シート1はそのまま
使用しても良いが、一般に0.3 〜0.8 mmの厚さにスラ
イスして使用することが好ましい。但し、この厚さ範囲
に限定されるものではない。
【0009】接着剤は、圧縮シート1及び/または基材
2に含浸しやすい材料を選択すると良い。つまり、接着
剤3をすべて圧縮シート1及び/または基材2に含浸さ
せて、接着剤3層の厚みがゼロになるようにすると研磨
シート4の研磨性及び研磨シート4と研磨シート保持皿
5との接着性が飛躍的に向上する。研磨シートは研磨シ
ート保持皿に接着して使用される。圧縮シート1と基材
2の接着剤としては例えば、ホットメルト接着剤と、エ
ポキシ系、アクリル系接着剤等が使用できるが、より含
浸しやすいホットメルト接着剤の使用が好ましい。ホッ
トメルト接着剤は、均一性や作業性にも優れている。
【0010】ホットメルト接着剤にはポリアミド系、塩
化ビニール系、EVA系、ポリウレタン系、ポリエステ
ル系、合成ゴム系等があるが、耐水性が良い点で例えば
ポリアミド系の使用が好ましい。ポリアミド系ホットメ
ルト接着剤の中では、特に融点が130〜200℃のも
のが好ましい。
【0011】ホットメルト接着剤を使用する場合には、
圧縮シート1と基材2との間にホットメルト接着剤のシ
ート(好ましくは厚さが0.02〜0.1mmのもの)を挟
み、上下から加熱圧縮加工(表2参照)することによ
り、研磨シート4が製造される。
【0012】基材2には、研磨シート保持皿5との接着
性の良い、例えば、綿布や不織布または半硬質低発泡ポ
リウレタンを使用すると良い。基材2として厚さが0.1
〜1.0mmのものを使用すると研磨性の良い研磨シート
が得られるが、この範囲に限定されるものではない。
【0013】連続気泡構造の軟質発泡ポリウレタンの圧
縮シートをそのまま研磨シートとして使用した場合に
は、ガラス面上の傷の原因となる粒径の大きい研磨砥粒
や異物への研磨圧力の集中がないので外観品質の問題は
ない。その粒径の大きい研磨砥粒や異物が圧縮シートの
気泡に埋まったり、弾性を有する圧縮シート内に沈ん
で、粒径が比較的小さい他の研磨砥粒にも研磨圧力が分
散されるためである。
【0014】しかし、圧縮シートが縦横への伸縮性を有
することから研磨砥粒全体が圧縮シート内に大きく沈ん
で、研磨力が小さくなるので研磨面がリップル面(ゆず
肌面)となって良好な面精度が得られない。また、圧縮
シートをそのまま研磨シートとした場合、研磨シート
(圧縮シート)は研磨シート保持皿との接着性が悪く、
研磨中に剥がれやすい。
【0015】ところで面精度向上の為に、接着剤(ホッ
トメルト系が望ましい)を前記圧縮シートに含浸させて
研磨シートを作製した。これにより研磨シートの研磨力
が増大して面精度が向上したものの、まだ不十分であっ
た。
【0016】更に研磨シートの研磨力を増大して面精度
を向上させる為に、前記圧縮シートへの接着剤含浸厚を
厚くした。これにより面精度は、ほぼ満足されるように
なったが、研磨シートと研磨シート保持皿との接着性不
良の問題は未解決のままであった。
【0017】一般に研磨シートで研磨する場合は被研磨
物上に液状の研磨剤を供給しながら研磨を行うが、市販
研磨剤は0.05〜4 μmの広い砥粒の粒度分布(砥粒分
布)を持っている。図5に示す様に弾性が不十分な従来
の研磨シート6では、粒径の大きい研磨砥粒7や異物
が、研磨シート内に埋まったり、沈んだりすることがほ
とんどないので、この粒径の大きい研磨砥粒7や異物に
研磨圧力が集中してガラス面に傷が発生していた。
【0018】一方、本発明の研磨シート4における圧縮
シート1は、弾性のある連続気泡構造を有する。その
為、図4に示す様に粒径の大きい研磨砥粒や異物が圧縮
シート1の気泡に埋まり、また転進する場合も圧縮シー
ト1内に沈んで、粒径が比較的小さい他の研磨砥粒にも
研磨圧力が均一に分散する。つまり、研磨面に作用する
研磨砥粒7の研磨力は、研磨面全体で平均化されるので
本発明の研磨シート4は、研磨面に傷をつけることがな
い。また、圧縮シート1が基材2及び含浸した接着剤3
により補強されているので、研磨シート4は、研磨の面
精度を満足する研磨力に必要な硬度を有する。しかも、
基材2と研磨シート保持皿5の接着性が良いので長時間
使用しても研磨シート4が研磨シート保持皿5から剥が
れることもない。
【0019】また、例えば図3に示す様に本発明の研磨
シートに適当な間隔で穴を形成すると研磨砥粒7の捕捉
効果や研磨性が更に増大する。そして、研磨中にレンズ
8が研磨シート4に吸着して研磨性が低下するという不
具合も発生しない。この穴のパターンは一定間隔の円に
限定されるものではなく任意形状の任意間隔でも構わな
い。
【0020】本発明の研磨シート4では、ファイナルポ
リシング時に高価なファイナル研磨剤(砥粒分布小)の
代わりに安価な一般研磨剤(砥粒分布大)が、使用でき
るのでコストダウンできる。また、一般研磨剤でファイ
ナルポリシングができるのでラフポリシング(一般研磨
剤使用)終了後、ファイナルポリシング(ファイナル研
磨剤使用)前に通常、行っている一般研磨剤タンクとフ
ァイナル研磨剤タンクの交換作業が、不要となる。(一
般研磨剤:2500〜3500円/Kg、ファイナル研
磨剤:5000〜10000円/Kg)
【0021】
【実施例】まず、連続気泡構造を有する軟質発泡ポリウ
レタンとして、商品名エバーライト・スコットHR−2
0(ブリジストン製)を選択し、下記の加熱圧縮加工条
件で加工したものを0.5 mmの厚さでスライスして圧縮
シートを作製した。尚、加熱圧縮加工による圧縮率は1
/25であった。 1.加工圧力:20Kg/cm2 2.加工時間:60秒 3.加工温度:160℃
【0022】次に、ポリアミド系ホットメルト接着剤と
して、商品名ダイアミドフィルム7000(ダイセル化
学工業製、融点175℃、厚さ0.08mm)を、また基材
として市販の綿布のポプリン(厚さ0.5 mm)または半
硬質低発泡ポリウレタンの商品名ローランドパッド(米
国製,品番LP57,厚さ0.6mm,研磨剤含有せず)
を選択して、前記圧縮シートと基材の間にホットメルト
接着剤を挟んだ後、下記の加熱圧縮条件で加工して一体
の研磨シートを作製した。この結果、接着剤はすべて圧
縮シート及び/または基材中に含浸して独立した接着剤
層は見当たらなかった。 1.プレス圧力:0.5 Kg/cm2 2.加工時間:60秒 3.加工温度:190℃
【0023】この研磨シートを、直径3mmの円径の穴
が8mm間隔で規則的に並ぶパターンに打ち抜いた後、
研磨シートと研磨シート保持皿を接着剤の商品名セメダ
イン560で接着してから、表3に示すレンズを一般研
磨剤を使用して研磨した。表3に本発明の研磨シートと
従来品研磨シートによるレンズの加工性能の比較を示
す。
【表1】
【表2】
【表3】
【0024】
【発明の効果】以上の様に、本発明の研磨シートは、研
磨されたガラスの外観品質及び研磨の面精度を共に向上
させる。更に研磨の生産性向上とコスト低減が可能とな
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例にかかる研磨シート4の概略断
面図である。
【図2】本発明の実施例にかかる研磨シート4と研磨シ
ート保持皿5の概略断面図である。
【図3】本発明の研磨シート4の他の例を示す平面図で
ある。
【図4】本発明の研磨シート4による研磨例を示す概略
断面図である。
【図5】従来技術の研磨シート6による研磨例を示す概
略断面図である。
【符号の説明】
1 圧縮シート 2 基材 3 接着剤 4 研磨シート 5 研磨シート保持皿 6 従来技術の研磨シート 7 研磨砥粒 8 被研磨物 9 被研磨物受け台
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成4年8月13日
【手続補正1】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正内容】
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
フロントページの続き (72)発明者 竹内 秀雄 神奈川県相模原市麻溝台1丁目10番1号 株式会社ニコン相模原製作所内 (72)発明者 西塚 公次 神奈川県相模原市麻溝台1丁目10番1号 株式会社ニコン相模原製作所内 (72)発明者 田原 和幸 神奈川県相模原市麻溝台1丁目10番1号 株式会社ニコン相模原製作所内

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 発泡プラスチックを圧縮して得られる圧
    縮シートと基材とを接着剤により接着してなり、かつ前
    記接着剤がすべて前記圧縮シート及び/または基材に含
    浸して接着剤層の厚さがゼロであることを特徴とする研
    磨シート。
  2. 【請求項2】 前記発泡プラスチックが連続気泡構造を
    有することを特徴とする請求項1記載の研磨シート。
  3. 【請求項3】 前記発泡プラスチックがポリウレタンで
    あることを特徴とする請求項1または2記載の研磨シー
    ト。
  4. 【請求項4】 接着剤がホットメルト接着剤であること
    を特徴とする請求項1〜3のいずれかの項に記載の研磨
    シート。
JP4178660A 1992-07-06 1992-07-06 研磨シート Pending JPH0623675A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4178660A JPH0623675A (ja) 1992-07-06 1992-07-06 研磨シート

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4178660A JPH0623675A (ja) 1992-07-06 1992-07-06 研磨シート

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0623675A true JPH0623675A (ja) 1994-02-01

Family

ID=16052347

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4178660A Pending JPH0623675A (ja) 1992-07-06 1992-07-06 研磨シート

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0623675A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0638392A1 (en) * 1993-08-11 1995-02-15 Minnesota Mining And Manufacturing Company Coated abrasives utilizing a moisture curable polyurethane hot melt make coating
WO1995011111A1 (en) * 1993-10-19 1995-04-27 Minnesota Mining And Manufacturing Company Abrasive articles comprising a make coat transferred by lamination

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0638392A1 (en) * 1993-08-11 1995-02-15 Minnesota Mining And Manufacturing Company Coated abrasives utilizing a moisture curable polyurethane hot melt make coating
WO1995011111A1 (en) * 1993-10-19 1995-04-27 Minnesota Mining And Manufacturing Company Abrasive articles comprising a make coat transferred by lamination

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3024373B2 (ja) シート状弾性発泡体及びウェーハ研磨加工用治具
US4512113A (en) Workpiece holder for polishing operation
JP2632738B2 (ja) パッキングパッド、および半導体ウェーハの研磨方法
US6030280A (en) Apparatus for holding workpieces during lapping, honing, and polishing
JPH09155730A (ja) 研磨のための被加工物の保持具及びその製法
US3136614A (en) Coated abrasive products
WO2005081300A1 (ja) 研磨パッドおよびそれを使用する半導体デバイスの製造方法
JPH09201765A (ja) バッキングパッドおよび半導体ウエーハの研磨方法
CN109689293A (zh) 研磨辊
JPH10249709A (ja) 研磨布
JPH0623675A (ja) 研磨シート
US20110011007A1 (en) Polishing material having polishing particles and method for making the same
JP2891083B2 (ja) シート状研磨部材およびウエーハ研磨装置
CN105619237A (zh) 一种无腊抛光吸附垫及其制造方法
KR20150101916A (ko) 연마패드 및 그의 제조방법
JPH07164307A (ja) 研磨部材およびウエーハ研磨装置
US20080268227A1 (en) Complex polishing pad and method for making the same
CN101298132A (zh) 复合式研磨垫及其制造方法
TWI740042B (zh) 使用具備吸附層之研磨墊的研磨方法
JPS61214965A (ja) 弾性研摩工具
EP1316991A1 (en) Method of polishing semiconductor wafer
JPH06304859A (ja) 平面研磨装置用キャリヤ及びその製造方法
JPS5845861A (ja) 表面加工用ポリシヤ
JPS6320675B2 (ja)
TWI322061B (en) Polishing pad, use thereof and method for making the same