JPH06234522A - 導電性材料およびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ＩＴＯ、ＡＴＯよりも耐湿性に優れ、黒化し
にくいとともに、ＩＴＯ、ＡＴＯと同等の導電性を有す
る導電性材料を提供する。 【構成】 ＩｎとＺｎを主成分とし、Ｉｎの原子比Ｉｎ
／（Ｉｎ＋Ｚｎ）が０．１〜０．９である実質的に非晶
質の酸化物からなることを特徴とする導電性材料。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、樹脂などの帯電防止剤
または静電制御剤、表面導電性付与剤、導電性塗料、ス
パッタリング用のターゲット又は表示装置の透明電極な
どに用いられる導電性材料およびその製造方法に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】透明、白色または淡色の導電性材料とし
ては、酸化錫にアンチモンを添加したもの（ＡＴＯ）、
酸化インジウムに錫を添加したもの（ＩＴＯ）、酸化亜
鉛にアルミニウムを添加したもの等が知られている。こ
れらは、粉末の状態で帯電防止または静電制御のために
合成樹脂などに添加され、樹脂の電気抵抗値を調製する
ために用いられている。また、表面導電性を付与するた
めに用いられる導電性塗料等にも添加されている（例え
ば静電塗装用のプライマーとして）。

【０００３】また粉末を所定形状に成形し焼結すること
により焼結体を作製し、ターゲット材を得ている。そし
てこの焼結体からなるターゲットを用いて、スパッタ
法、蒸着法、イオンプレーティング法等で表示装置用の
透明電極がガラスや樹脂基板の上に形成されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ＩＴ
Ｏ、ＡＴＯは粉末の状態では耐湿性が比較的低く、湿気
により電気抵抗値が増大するという難点を有している。
またＩＴＯ、ＡＴＯ粉末は還元状態では黒化するため、
樹脂に添加すると樹脂製品の自由な着色が困難になると
いう欠点を有している。またＩＴＯ、ＡＴＯ焼結体から
なるターゲットも還元により黒化し易いため、その特性
の経時変化が問題となっている。

【０００５】本発明の目的は、ＩＴＯ、ＡＴＯよりも耐
湿性に優れ、黒化しにくいとともに、ＩＴＯ、ＡＴＯと
同等の導電性を有する導電性材料およびその製造方法を
提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の導電性材料は、ＩｎとＺｎを主成分とし、Ｉｎの原
子比Ｉｎ／（Ｉｎ＋Ｚｎ）が０．１〜０．９である実質
的に非晶質の酸化物からなることを特徴とする導電性材
料（以下、この導電性材料を導電性材料Ｉという）であ
る。また、前記実質的に非晶質の酸化物が、正三価以上
の原子価を有する第３の元素の少なくとも１種を、第３
元素の原子比（全第３元素／（Ｉｎ＋Ｚｎ＋全第３元
素））が２０原子％以下の範囲で含むものであることを
特徴とする導電性材料もまた、上記目的を達成する（以
下、この導電性材料を導電性材料IIという）。

【０００７】一方、上記目的を達成する本発明の導電性
材料の製造方法は、インジウム化合物および亜鉛化合物
を用い、これらの少なくとも１種を含む１種以上の溶液
から、沈澱形成剤により形成される沈澱を、固液分離
し、必要により焼成、還元処理して実質的に非晶質の酸
化物を得ることを特徴とする導電性材料の製造方法（以
下、この方法を方法Ｉという）である。さらに、インジ
ウム化合物、亜鉛化合物および正三価以上の原子価を有
する元素の少なくとも１種の化合物を用い、これらの少
なくとも１種を含む１種以上の溶液から、沈澱形成剤に
より形成される沈澱を、固液分離し、必要により焼成、
還元処理して実質的に非晶質の酸化物を得ることを特徴
とする導電性材料の製造方法もまた、上記目的を達成す
る（以下、この方法を方法IIという）。

【０００８】以下、本発明を詳細に説明する。

【０００９】まず、本発明の導電性材料Ｉは、上述した
ようにＩｎとＺｎを主成分とし、Ｉｎの原子比Ｉｎ／
（Ｉｎ＋Ｚｎ）が０．１〜０．９である実質的に非晶質
の酸化物からなることを特徴とする導電性材料からなる
ものである。

【００１０】ここに、「実質的に非晶質」とは、Ｘ線回
折測定で、結晶性を示す物質の量を定量し、その残量を
非晶質物質であるとした場合に、所定量の非晶質物質を
含むものをいう。

【００１１】より具体的には、この実質的に非晶質の酸
化物は、非晶質酸化物を５０重量％以上、より好ましく
は７０重量％以上、特に好ましくは８０重量％以上含
む。

【００１２】本発明の導電性材料Ｉにおいて、ＩｎとＺ
ｎの原子比（Ｉｎ／（Ｉｎ＋Ｚｎ））は０．１〜０．９
であるのが好ましい。その理由は、０．１未満では導電
性材料の導電性が低くなり、０．９を超えると導電性材
料の耐湿、耐熱性が低下するからである。原子比（Ｉｎ
／（Ｉｎ＋Ｚｎ））は０．５〜０．９がより好ましく、
０．６〜０．７５が特に好ましい。

【００１３】上記のＩｎとＺｎの原子比は沈澱形成時の
インジウム化合物と亜鉛化合物の混合比を調整すること
により得られる。

【００１４】本発明の導電性材料Ｉは、ＩＴＯ、ＡＴＯ
よりも耐湿性に優れ、還元によっても黒化しにくいとと
もにＩＴＯ、ＡＴＯと同等の導電性を有し、前記した各
種の用途（帯電防止剤、表面導電性付与剤、導電性塗
料、スパッタリング用のターゲット、表示装置の透明電
極など）に用いられる。

【００１５】導電性材料Ｉは気相法（ＣＶＤ法）、固相
法（物理混合法）などの種々の方法により製造すること
が可能であるが、後述する本発明の方法Ｉに従って液相
法（共沈法）により製造することが好ましい。

【００１６】次に、本発明の導電性材料IIについて説明
する。

【００１７】この導電性材料IIは、ＩｎとＺｎ以外に、
正三価以上の原子価を有する元素の少なくとも１種を、
第３元素の原子比（全第３元素／（Ｉｎ＋Ｚｎ＋全第３
元素））が２０原子％以下の範囲で含む実質的に非晶質
の酸化物からなるものである。ここで、正三価以上の原
子価を有する元素としては、Ａｌ，Ｇａ（正三価）、Ｓ
ｉ，Ｇｅ，Ｓｎ（正四価）、Ｓｂ（正五価）の元素が挙
げられるが、導電性改良の効果が大きいＳｎが望まし
い。

【００１８】また、本発明の導電性材料IIにおいて、正
三価以上の原子価を有する元素、例えばＳｎ，Ａｌ，Ｇ
ａ，Ｓｂ，Ｓｉ，Ｇｅ元素を２０原子％を超えて添加す
ると、導電性が低下することがある。

【００１９】本発明の導電性材料IIは、ＩＴＯ、ＡＴＯ
よりも耐湿性に優れ、黒化しにくいとともにＩＴＯ、Ａ
ＴＯと同等の導電性を有するので、前記した各種の用途
（帯電防止剤、表面導電性付与剤、導電性塗料、スパッ
タリング用のターゲット、表示装置の透明電極など）に
用いられる。

【００２０】導電性材料IIも気相法（ＣＶＤ法）、固相
法（物理混合法）などの種々の方法により製造すること
が可能であるが、後述する本発明の方法IIに従って溶液
法（共沈法）により製造することが好ましい。

【００２１】次に、本発明の方法Ｉおよび方法IIについ
て説明する。

【００２２】まず本発明の方法Ｉは、前述したようにイ
ンジウム化合物および亜鉛化合物を用い、これらの少な
くとも１種を含む１種以上の溶液から、沈澱形成剤によ
り形成される沈澱を、固液分離し、必要により焼成、還
元処理して実質的に非晶質の酸化物からなる導電性材料
を得ることを特徴とする。

【００２３】方法Ｉで原料として用いるインジウム化合
物および亜鉛化合物は、酸化物または焼成後に酸化物に
なるもの（酸化物前駆体）であれば良い。インジウム酸
化物前駆体、亜鉛酸化物前駆体としては、インジウム、
亜鉛の硫化物、硫酸塩、硝酸塩、ハロゲン化物（塩化
物、臭化物等）、炭酸塩、有機酸塩（酢酸塩、プロピオ
ン酸塩、ナフテン酸塩等）、アルコキシド（メトキシ
ド、エトキシド等）、有機金属錯体（アセチルアセトナ
ート等）等が挙げられる。

【００２４】特に、低温で完全に熱分解し、不純物が残
存しないようにするためには、この中でも、硝酸塩、有
機酸塩、アルコキシド、有機金属錯体を用いるのが好ま
しい。

【００２５】方法Ｉでは、先ず沈澱を形成するが、沈澱
の形成は、具体的には、以下に示す方法で行なうことが
できる。

【００２６】まず、インジウム化合物と亜鉛化合物を溶
解した溶液、もしくは少なくともインジウム化合物を溶
解した溶液と少なくとも亜鉛化合物を溶解した溶液、お
よび沈澱形成剤を溶解した溶液をそれぞれ調製し、別個
に用意した容器（必要により溶媒を入れておいてもよ
い）に必要により撹拌しながら前述の溶液を同時にある
いは順次添加混合して沈澱を形成することができる。

【００２７】また、インジウム化合物と亜鉛化合物を溶
解した溶液に沈澱形成剤を溶解した溶液を添加してもよ
いし、またその逆であってもよい。

【００２８】例えば、インジウム化合物と亜鉛化合物を
溶解した溶液と沈澱形成剤を溶解した溶液をそれぞれ調
製し、別個に溶媒を入れた容器に撹拌しながら両者の溶
液を同時に添加混合して沈澱を形成する場合について以
下詳細に説明する。

【００２９】先ず、上記インジウム化合物および亜鉛化
合物を、適当な溶媒に溶解させた溶液（以下、溶液Ａと
いう）を準備する。溶媒は、用いるインジウム化合物ま
たは亜鉛化合物の溶解性に応じて適宜選択すればよく、
例えば、水、アルコール、非プロトン性極性溶媒（ＤＭ
ＳＯ、ＮＭＰ、スルホラン、ＴＨＦなど）を用いること
ができ、生成する沈澱の溶解度が低いことから、特に炭
素数１〜５のアルコール（メタノール、エタノール、イ
ソプロパノール、メトキシエタノール、エチレングリコ
ールなど）が好ましい。溶液Ａ中の各金属の濃度は０．
０１〜１０ｍｏｌ／リットルが好ましい。その理由は
０．０１ｍｏｌ／リットル未満では生産性が劣り、１０
ｍｏｌ／リットルを超えると不均一な沈澱が生成するか
らである。さらに、原料の溶解を促進するため、各種溶
媒により適宜、酸（硝酸、塩酸等）やアセチルアセトン
類、多価アルコール（エチレングリコール等）、エタノ
ールアミン類（モノエタノールアミン、ジエタノールア
ミン等）を溶液中の金属量の０．０１〜１０倍程度添加
してもよい。

【００３０】方法Ｉにおいて、上記溶液Ａとともに、沈
澱形成剤を溶解させた溶液（以下、溶液Ｂという）をも
準備する。溶液Ｂに溶解させる沈澱形成剤としては、ア
ルカリ（水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナト
リウム、炭酸カリウム、重炭酸ナトリウム、重炭酸カリ
ウム、水酸化アンモニウム、炭酸アンモニウム、重炭酸
アンモニウム等）、有機酸（ギ酸、しゅう酸、クエン酸
等）等が用いられるが、不純物の混入を避けるため、有
機酸（特にしゅう酸）を用いることが好ましい。

【００３１】沈澱は沈澱形成剤により水酸化物、無機酸
塩、有機酸塩となる。

【００３２】また沈澱形成剤を溶解するための溶媒及び
沈澱を形成させる容器に入れる溶媒としては、原料を溶
解するために用いる上記した溶媒を用いることができ
る。

【００３３】また、各種溶液に用いる溶媒は、操作上同
じものを用いた方がよいが、異なる溶媒を用いてもよ
い。

【００３４】方法Ｉにおいては、上述のいずれかの手段
で沈澱物を形成させるが、沈澱形成時の温度は、溶媒の
融点以上沸点以下であればよい。また、形成後に熟成を
１〜５０時間行ってもよい。

【００３５】方法Ｉによれば、上記のようにして得られ
た沈澱物を次に固液分離、乾燥する。沈澱物の固液分離
は、遠心分離、濾過等の常法により行なわれる。固液分
離後、沈澱物から陰イオンやアルカリ金属イオン等を除
去する目的で、溶液Ａ、Ｂに用いた溶媒またはその他の
溶媒で濾別物を十分に洗浄することが望ましい。濾別後
の乾燥は、４０〜２００℃で０．１〜１００時間行うの
が好ましい。低温では、乾燥に時間がかかり過ぎ、高温
では粒子の凝集が起きやすくなる。

【００３６】方法Ｉによれば、上記固液分離、乾燥後に
焼成、粉砕、還元処理を行なう。

【００３７】焼成は、用いるインジウム化合物および亜
鉛化合物にもよるが２００〜６００℃で１〜１００時間
行なうのが好ましい。低温、短時間では、インジウム又
は亜鉛の酸化物前駆体の酸化物への分解が不十分とな
り、また高温、長時間では酸化物が結晶化してくること
がある。

【００３８】焼成後の粉砕はボールミル、ロールミル、
ジェットミル、パールミル等によって、粒子径が０．０
１〜１０μｍになるまで行なうのが好ましい。粉砕時間
は、通常１分〜５００時間である。

【００３９】還元処理は、還元性ガス（水素、ＣＯ
等）、真空、不活性ガス（窒素、アルゴン）等の雰囲気
で、温度１００〜８００℃で１分〜１００時間行なうの
が好ましい。低温、短時間では、還元が不十分であり、
高温、長時間では粒子の凝集や成分の飛散が起きやす
い。この還元処理は、焼成工程又は粉砕工程の後に行う
ことが好ましい。

【００４０】方法Ｉによれば、上記の諸工程を行なうこ
とにより、ＩｎとＺｎを主成分とし、実質的に非晶質の
酸化物からなる導電性材料が得られる。この導電性粉末
Ｉは、ＩＴＯ、ＡＴＯよりも耐湿性が優れ、黒化しにく
いとともにＩＴＯ、ＡＴＯと同等の導電性を有してい
る。この粉末の体積固体抵抗（一般に「粉体抵抗」と表
現されることもある）は例えば４０Ω・ｃｍ以下であ
る。

【００４１】次に、本発明の方法IIについて説明する。

【００４２】この方法IIは前述したように、インジウム
化合物および亜鉛化合物に正三価以上の原子価を有する
元素（例えば錫化合物，アルミニウム化合物，ガリウム
化合物、アンチモン化合物、ケイ素化合物およびゲルマ
ニウム化合物）から選択される少なくとも１種を加えた
ものを原料として用いる点でのみ上記方法Ｉと異なり、
他は上記方法Ｉと同様に行うものである。

【００４３】方法IIで用いる正三価以上の原子価を有す
る元素（例えば錫化合物、アルミニウム化合物、ガリウ
ム化合物、アンチモン化合物、ケイ素化合物およびゲル
マニウム化合物）は、酸化物または焼成後に酸化物にな
るもの（酸化物前駆体）であれば良い。これらの酸化物
前駆体としては、それぞれの元素（例えばＳｎ，Ａｌ，
Ｇａ，Ａｂ，ＳｉおよびＧｅ）の硫化物、硫酸塩、硝酸
塩、ハロゲン化物（塩化物、臭化物等）、炭酸塩、有機
酸塩（酢酸塩、プロピオン酸塩、ナフテン酸塩等）、ア
ルコキシド（メトキシド、エトキシド等）、有機金属錯
体（アセチルアセトナート等）が挙げられる。

【００４４】低温で完全に熱分解し、不純物が残存しな
いようにするためには、この中でも、硝酸塩、有機酸
塩、アルコキシド、有機金属錯体を用いるのが好まし
い。

【００４５】得られた導電性材料IIはＩＴＯ、ＡＴＯよ
りも耐湿性に優れ、還元によっても黒化しにくく、かつ
ＩＴＯ、ＡＴＯと同等の導電性を有する。

【００４６】本発明の導電性粉末は各種の樹脂と混合す
ることにより帯電防止樹脂組成物として利用することが
できる。

【００４７】使用できる樹脂としては、ポリエチレン、
ポリプロピレン、ポリスチレン、塩化ビニール、酢酸ビ
ニール、ポリビニルアルコール、塩化ビニリデン、ＡＢ
Ｓ樹脂、ポリエステル、メタクリル酸メチル、ポリウレ
タン、ポリアミド、ポリアセタール、ポリカーボネー
ト、ケイ素樹脂、フッ素樹脂などの熱可塑性樹脂；フェ
ノール樹脂、ユリア樹脂、メラミン樹脂、キシレン樹
脂、フラン樹脂、アルキッド樹脂、エポキシ樹脂、ポリ
イミド樹脂などの熱硬化性樹脂が挙げられる。

【００４８】また導電性粉末は樹脂１００重量部に対し
て１〜６００重量部添加するのが好ましい。添加量が少
ないと導電性が不十分となり、多いと樹脂の物性を損な
うことがある。導電性粉末の分散性を改良するため、導
電性粉末の表面を表面処理剤（シラン系カップリング
剤、チタン系カップリング剤、アルミネート系カップリ
ング剤など）で処理してもよい。

【００４９】またその他各種の添加剤（可塑剤、安定
剤、滑剤、無機フィラー（炭酸カルシウム、マイカ、ガ
ラス、タルクなど）、無機繊維（ガラス繊維、炭素繊維
など）、ウィスカー（チタン酸カリウム、酸化亜鉛ウィ
スカーなど）、界面活性剤などを添加してもよい。

【００５０】導電性粉末と樹脂の混合方法としては、２
本ロール、３本ロール又は射出成形機を用いて加熱状態
または常温下で練り込む方法、または、樹脂を溶かした
溶液と粉末を混合する方法などの通常の手段を用いるこ
とができる。

【００５１】

【実施例】以下、本発明の実施例について説明するが、
先ず、実施例で得られた物質の物性の測定方法について
説明しておく。

【００５２】［測定方法］ （１）粒子径と組成の測定 粒子径はＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）で、組成はＸＭＡ
（Ｘ線マイクロアナライザー）で測定した。

【００５３】（２）非晶質酸化物の定量 粉末Ｘ線回折装置を用いて、「セラミックスのキャラク
タリゼーション技術」，社団法人窯業協会発行、１９８
７年、４４〜４５頁に記載の方法により、結晶質物質の
含有量を定量した。次に、その残量を非晶質酸化物であ
るとして非晶質酸化物量を定量した。

【００５４】（３）体積固体抵抗の測定 体積固体抵抗（一般に「粉体抵抗」と表現されることも
ある）は試料１ｇを内径１０ｍｍの樹脂の円筒に入れ、
１００ｋｇ／ｃｍ² の加圧を行い、テスターで抵抗を測
定し、下記の式により求めた。

【００５５】体積固体抵抗（Ω・ｃｍ）＝［（全抵抗
（Ω）×シリンダーの内面積（ｃｍ² ）］／試料の厚さ
（ｃｍ）

【００５６】実施例１ まず、硝酸インジウム１１８．２８ｇと硝酸亜鉛４９．
５８ｇとを１リットルのイオン交換水に溶解させて、イ
ンジウム塩と亜鉛塩とが溶解した水溶液を調製した。ま
た、アンモニア水（濃度２８％）７８．０ｇを７５０ｃ
ｃのイオン交換水に溶解させて、アルカリ性水溶液を調
製した。

【００５７】次いで、イオン交換水１００ｃｃが入った
容積５リットルの容器に、上で得られた水溶液とアルカ
リ性水溶液とを室温下で激しく攪拌しながら同時に滴下
して、両液を反応させた。このとき、反応系のｐＨが
９．０に保たれるように滴下速度を調節した。そして、
滴下終了後も更に１時間攪拌した。このようにして上記
水溶液とアルカリ性水溶液とを反応させることにより沈
殿物が生じ、スラリーが得られた。なお、この反応系に
おける金属（ＩｎおよびＺｎ）濃度は０．３２ mol／リ
ットルであった。

【００５８】次に、得られたスラリーを十分に水洗した
後、沈殿物を濾取した。そして、濾取した沈殿物を１２
０℃で一晩乾燥した。

【００５９】この後、得られた乾燥物を６００℃で５時
間焼成した後、焼成物を直径２ｍｍのアルミナボールと
ともに容積８０ｃｃのポリイミド製ポットに入れ、エタ
ノールを加えて、遊星ボールミルで２時間粉砕して粉末
を得た。

【００６０】このようにして得られた粉末はＸ線回折測
定の結果から、６０ｗｔ％の非晶質部分を含むこと及び
ＸＭＡ組成分析の結果からＩｎとＺｎの原子比がＩｎ／
（Ｉｎ＋Ｚｎ）＝０．６６の導電性材料Ｉであることが
確認され、その組成は実質的に均一であった。また、Ｓ
ＥＭ（走査型電子顕微鏡）観察の結果、得られた粉末は
平均粒子径が０．１５μｍで、実質的に均一粒径である
ことが確認された。

【００６１】また、得られた粉末の体積固体抵抗は１０
０Ωｃｍであった。そして、この体積固体抵抗は、４０
℃、９０％ＲＨ（相対湿度）の条件での耐湿性試験１０
００時間後でも１０５Ωｃｍと低く、得られた粉末は耐
湿性に優れていることが確認された。

【００６２】実施例２ まず、硝酸インジウム５９．１４ｇと硝酸亜鉛９９．１
６ｇとを１リットルのイオン交換水に溶解させて、イン
ジウム塩と亜鉛塩とが溶解した水溶液を調製し、この水
溶液と実施例１と同様にして調製したアルカリ性水溶液
とを実施例１と同様にして反応させて、スラリーを得
た。なお、この反応系における金属（ＩｎおよびＺｎ）
濃度は０．３ mol／リットルであった。

【００６３】次に、得られたスラリーを十分に水洗した
後、沈殿物を濾取した。そして、濾取した沈殿物を１２
０℃で一晩乾燥した。

【００６４】この後、得られた乾燥物を５００℃で５時
間焼成した後、焼成物を実施例１と同様にして粉砕し
て、粉末を得た。

【００６５】このようにして得られた粉末はＸ線回折測
定の結果から、７０ｗｔ％の非晶質部分を含むこと及び
ＸＭＡ組成分析の結果からＩｎとＺｎの原子比がＩｎ／
（Ｉｎ＋Ｚｎ）＝０．３３の導電性材料Ｉであることが
確認され、その組成は実質的に均一であった。また、Ｓ
ＥＭ観察の結果、得られた粉末は平均粒子径が０．２３
μｍで、実質的に均一粒径であることが確認された。

【００６６】また、得られた粉末の体積固体抵抗は５５
０Ωｃｍであった。そして、この体積固体抵抗は、４０
℃、９０％ＲＨの条件での耐湿性試験１０００時間後で
も５６０Ωｃｍと低く、得られた粉末は耐湿性に優れて
いることが確認された。

【００６７】実施例３ 実施例１と同様にしてインジウムと亜鉛の金属塩を溶解
した水溶液を調製した後、更に塩化第二錫７．７ｇを添
加して得た水溶液と、実施例１と同様にして調製したア
ルカリ性水溶液とを実施例１と同様にして反応させてス
ラリーを得た。

【００６８】次に、得られたスラリーを十分に水洗した
後、沈殿物を濾取した。そして、濾取した沈殿物を１２
０℃で乾燥した後、６００℃で５時間焼成した。ボール
ミルとともに容積８０ｃｃのポリイミド製のポットに入
れ、エタノールを加えて遊星ボールミルで２時間粉砕し
た。

【００６９】この後、得られた焼成物を実施例１と同様
にして粉砕して、粉末を得た。このようにして得られた
粉末はＸ線回折測定の結果から、６０ｗｔ％の非晶質部
分を含むことがわかった。また組成分析からＩｎとＺｎ
の原子比［Ｉｎ／（Ｉｎ＋Ｚｎ）］＝０．６３であり、
Ｓｎを６原子％含むことがわかった。粉末の体積固体抵
抗は９０Ωｃｍであった。そして、この体積固体抵抗
は、４０℃、９０％ＲＨの条件での耐湿性試験１０００
時間後でも１００Ωｃｍと低く、得られた粉末は耐湿性
に優れていることが確認された。

【００７０】実施例４ まず、硝酸インジウム６水和物６８２ｇと硝酸亜鉛６水
和物２４８ｇとを５リットルのエタノールに溶解させ
て、インジウム塩と亜鉛塩とが溶解した溶液を調製し
た。また、しゅう酸２水和物４６２ｇを５リットルのエ
タノールに溶解させて、しゅう酸水溶液を調製した。

【００７１】室温下、別途容器にエタノール１リットル
をいれてよく撹拌しておき、そこへ同じ流量に制御した
２種の溶液を同時に滴下した。滴下終了後、温度を４０
℃に上げて、４時間熟成した。その後、ろ過し、エタノ
ールでよく洗浄し、１１０℃で１２時間乾燥した。さら
に、３００℃で２時間焼成した。

【００７２】ボールミルでの粉砕（２０時間）の後、粉
末を真空中で２００℃、２時間還元処理したところ、淡
黄色の粉末を得た。

【００７３】このようにして得られた粉末のＸ線回折測
定を実施例１と同様に行ったところ、非晶質部分は９０
％であり、実質的に非晶質であることが確認された。ま
た組成分析から、ＩｎとＺｎの原子比［Ｉｎ／（Ｉｎ＋
Ｚｎ）］＝０．６７であった。さらに粉末の体積固体抵
抗を測定したところ、５Ωｃｍであった。そして、この
体積固体抵抗は、６０℃、９５％ＲＨの条件での耐湿性
試験１０００時間後にも６Ωｃｍであり、ほとんど変化
がなく、耐湿性に優れていることがわかった。また、Ｓ
ＥＭとＸＭＡの分析によりこの粉末は平均粒径０．２０
μｍで均一な組成を持つことがわかった。

【００７４】実施例５ まず、塩化インジウム４水和物６２３ｇと酢酸亜鉛２水
和物８２ｇとを１リットルのメトキシエタノールに溶解
させて、インジウム塩と亜鉛塩とが溶解した溶液を調製
した。また、しゅう酸２水和物４９４ｇを５リットルの
メトキシエタノールに溶解させて、しゅう酸水溶液を調
製した。

【００７５】これらの溶液を用いて、実施例４と同様に
粉末を調製した。但し、焼成温度は３５０℃とした。こ
の粉末も淡黄色であった。

【００７６】粉末のＸ線回折測定を実施例１と同様に行
ったところ、非晶質部分は８０％であり、実質的に非晶
質であることが確認された。また組成分析からＩｎとＺ
ｎの原子比［Ｉｎ／（Ｉｎ＋Ｚｎ）］＝０．８５であっ
た。さらに粉末の体積固体抵抗を測定したところ、４Ω
ｃｍであった。そして、この体積固体抵抗は、６０℃、
９５％ＲＨの条件での耐湿性試験１０００時間後にも６
Ωｃｍであり、ほとんど変化がなく、耐湿性に優れてい
ることがわかった。

【００７７】また、ＳＥＭとＸＭＡの分析によりこの粉
末は平均粒径０．１５μｍで均一な組成を持つことがわ
かった。

【００７８】実施例６ まず、硝酸インジウム６水和物６８２ｇと硝酸亜鉛６水
和物２４８ｇとナーセム錫１０８ｇを５リットルのイソ
プロパノールに溶解させて、インジウム塩と亜鉛塩と錫
塩とが溶解した溶液を調製した。また、しゅう酸２水和
物５３２ｇを５リットルのエタノールに溶解させて、し
ゅう酸水溶液を調製した。

【００７９】これらの溶液を用いて、実施例４と同様に
粉末を調製した。この粉末も淡黄色であった。

【００８０】粉末のＸ線回折測定を行ったところ、非晶
質部分は９０％であり、実質的に非晶質であることが確
認された。また組成分析から、ＩｎとＺｎの原子比［Ｉ
ｎ／（Ｉｎ＋Ｚｎ）］＝０．６７であり、錫の含有量は
９原子％であった。

【００８１】さらに粉末の体積固体抵抗を測定したとこ
ろ、４Ωｃｍであった。そして、この体積固体抵抗は、
６０℃、９５％ＲＨの条件での耐湿性試験１０００時間
後にも６Ωｃｍであり、ほとんど変化がなく、耐湿性に
優れていることがわかった。また、ＳＥＭとＸＭＡの分
析によりこの粉末は平均粒径０．１７μｍで均一な組成
を持つことがわかった。

【００８２】実施例７ まず、硝酸インジウム６水和物６１３ｇと硝酸亜鉛６水
和物２９８ｇとを５リットルのブタノールに溶解させ
て、インジウム塩と亜鉛塩とが溶解した溶液を調製し
た。また、しゅう酸２水和物４５１ｇを５リットルのブ
タノールに溶解させて、しゅう酸水溶液を調製した。

【００８３】これらの溶液を用いて、実施例５と同様に
粉末を調製した。この粉末も淡黄色であった。

【００８４】粉末のＸ線回折測定を行ったところ、非晶
質部分は８０％であり、実質的に非晶質であることが確
認された。また組成分析から、ＩｎとＺｎの原子比［Ｉ
ｎ／（Ｉｎ＋Ｚｎ）］＝０．６０であった。

【００８５】さらに粉末の体積固体抵抗を測定したとこ
ろ、２０Ωｃｍであった。そして、この体積固体抵抗
は、６０℃、９５％ＲＨの条件での耐湿性試験１０００
時間後にも２２Ωｃｍであり、ほとんど変化がなく、耐
湿性に優れていることがわかった。

【００８６】また、ＳＥＭとＸＭＡの分析によりこの粉
末は平均粒径０．１９μｍで均一な組成を持つことがわ
かった。

【００８７】実施例８ まず、酢酸インジウム６水和物１０２ｇと酢酸亜鉛４２
ｇとを１４０ミリリットルのモノエタノールアミンと８
６０ミリリットルのエタノールの混合物に溶解させて、
溶液を調製した。

【００８８】この溶液を、減圧下、８０℃で溶媒を除去
し、４００℃で１時間、焼成し、熱分解させた。次に、
粉末を真空中で２００℃、２時間還元処理したところ、
淡黄色の粉末を得た。

【００８９】粉末のＸ線回折測定を行ったところ、非晶
質部分は８０％であり、実質的に非晶質であることが確
認された。また組成分析から、ＩｎとＺｎの原子比［Ｉ
ｎ／（Ｉｎ＋Ｚｎ）］＝０．７０であった。さらに粉末
の体積固体抵抗を測定したところ、７Ωｃｍであった。
そして、この体積固体抵抗は、６０℃、９５％ＲＨの条
件での耐湿性試験１０００時間後にも８Ωｃｍであり、
ほとんど変化がなく、耐湿性に優れていることがわかっ
た。

【００９０】また、ＳＥＭとＸＭＡの分析によりこの粉
末は平均粒径０．１５μｍで均一な組成を持つことがわ
かった。

【００９１】

【発明の効果】本発明によれば、ＩＴＯ、ＡＴＯよりも
耐湿性に優れ、黒化しにくく、かつＩＴＯ、ＡＴＯと同
等の導電性を有する導電性材料およびその製造方法が提
供された。

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ＩｎとＺｎを主成分とし、Ｉｎの原子比
   Ｉｎ／（Ｉｎ＋Ｚｎ）が０．１〜０．９である実質的に
   非晶質の酸化物からなることを特徴とする導電性材料。
2. 【請求項２】 非晶質酸化物が、実質的にＩｎ及びＺｎ
   のみからなる請求項１に記載の導電性材料。
3. 【請求項３】 実質的に非晶質の酸化物が、ＩｎとＺｎ
   の他に正三価以上の原子価を有する第３の元素の少なく
   とも１種を、全第３元素の原子比（全第３元素／（Ｉｎ
   ＋Ｚｎ＋全第３元素））が２０原子％以下となる割合で
   含むものである請求項１に記載の導電性材料。
4. 【請求項４】 請求項１〜３のいずれか一項に記載の実
   質的に非晶質の酸化物を還元処理してなる導電性材料。
5. 【請求項５】 実質的に非晶質の酸化物の体積固体抵抗
   が４０Ω・ｃｍ以下である、請求項１〜４のいずれか一
   項に記載の導電性材料。
6. 【請求項６】 インジウム化合物および亜鉛化合物を用
   い、これらの少なくとも１種を含む１種以上の溶液か
   ら、沈澱形成剤により形成される沈澱を、固液分離し、
   必要により焼成、還元処理して実質的に非晶質の酸化物
   を得ることを特徴とする請求項１または２に記載の導電
   性材料の製造方法。
7. 【請求項７】 インジウム化合物、亜鉛化合物および正
   三価以上の原子価を有する元素の少なくとも１種の化合
   物を用い、これらの少なくとも１種を含む１種以上の溶
   液から、沈澱形成剤により形成される沈澱を、固液分離
   し、必要により、焼成、還元処理して実質的に非晶質の
   酸化物を得ることを特徴とする請求項３に記載の導電性
   材料の製造方法。