JPH06213822A - セラミック基板の立体的欠陥検査方法と装置 - Google Patents
セラミック基板の立体的欠陥検査方法と装置Info
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- JPH06213822A JPH06213822A JP2471193A JP2471193A JPH06213822A JP H06213822 A JPH06213822 A JP H06213822A JP 2471193 A JP2471193 A JP 2471193A JP 2471193 A JP2471193 A JP 2471193A JP H06213822 A JPH06213822 A JP H06213822A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 立体的欠陥の検出感度を向上させることによ
り、検出精度を向上させると同時に、その検査能率を向
上させ得るようにした立体的欠陥検査方法と装置を提供
する。 【構成】 セラミック基板の検査面を斜光照明源で照明
し、その反射光をカメラで撮影することで、該検査面の
欠陥検査を行う立体的欠陥検査方法において、該カメラ
を該検査面に対して４５°以下の傾斜する光軸上に配す
ると共に、上記斜光照明源を該光軸とほぼ同軸上に配
し、該斜光照明源で該検査面に照明し、その反射光を上
記カメラで撮影して欠陥検査を行う構成よりなる。
り、検出精度を向上させると同時に、その検査能率を向
上させ得るようにした立体的欠陥検査方法と装置を提供
する。 【構成】 セラミック基板の検査面を斜光照明源で照明
し、その反射光をカメラで撮影することで、該検査面の
欠陥検査を行う立体的欠陥検査方法において、該カメラ
を該検査面に対して４５°以下の傾斜する光軸上に配す
ると共に、上記斜光照明源を該光軸とほぼ同軸上に配
し、該斜光照明源で該検査面に照明し、その反射光を上
記カメラで撮影して欠陥検査を行う構成よりなる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、立体的欠陥検査方法と
装置に係り、より詳細には、例えば、セラミックＰＧＡ
基板等の外観を画像処理によって立体的欠陥検査をする
方法と、その視野分割数を少なくし、その検査能率を向
上させ得るようにした立体的欠陥検査装置に関する。
装置に係り、より詳細には、例えば、セラミックＰＧＡ
基板等の外観を画像処理によって立体的欠陥検査をする
方法と、その視野分割数を少なくし、その検査能率を向
上させ得るようにした立体的欠陥検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、セラミックＰＧＡ基板等のＩＣ基
板の外観検査は、通常、表面粗さが、０．２〜１．３μ
ｍＲａの金メッキされたエリアを中心にピンホールのよ
うな平面的欠陥や、突起等の立体的欠陥の検査を行う。
そして、該平面的欠陥の検査を中心に自動化が図られて
きているが、立体的欠陥の検査は、検査のための専門
的技術が必要、長時間安定した検査ができない、選
別ミスの防止を行う必要がある、立体的欠陥は、一般
に平面的欠陥より小さいものも検出しなければならない
（平面的欠陥の選別基準：７０〜１００μｍ以上、立体
的欠陥の選別基準：２０μｍ以上）、等の理由により、
中間、最終検査とも人間の目視・拡大鏡・顕微鏡検査に
頼っていて、十分には、自動化が図られていない。
板の外観検査は、通常、表面粗さが、０．２〜１．３μ
ｍＲａの金メッキされたエリアを中心にピンホールのよ
うな平面的欠陥や、突起等の立体的欠陥の検査を行う。
そして、該平面的欠陥の検査を中心に自動化が図られて
きているが、立体的欠陥の検査は、検査のための専門
的技術が必要、長時間安定した検査ができない、選
別ミスの防止を行う必要がある、立体的欠陥は、一般
に平面的欠陥より小さいものも検出しなければならない
（平面的欠陥の選別基準：７０〜１００μｍ以上、立体
的欠陥の選別基準：２０μｍ以上）、等の理由により、
中間、最終検査とも人間の目視・拡大鏡・顕微鏡検査に
頼っていて、十分には、自動化が図られていない。
【０００３】ところで、通常、立体的欠陥の検査で試み
られている自動化手段は、図３に示すように、複数個の
照明源Ｌ1 , Ｌ2 を用いて、被検査物ｗの欠陥を浮き上
がらせて画像の取り込みを行えるようにしたものであっ
て、カメラＣａを被検査物ｗに対して垂直に配置し、ま
た照明源Ｌ1 , Ｌ2 として、落射光照明光源、斜光照明
光源を用い、それぞれの照明源Ｌ1 , Ｌ2 で交互に照射
し、個々の被検査物ｗの画像を取り込み、その画像にお
ける欠陥を浮き上がらせて被検査物ｗの外観検査を行う
ようにした手段よりなる。
られている自動化手段は、図３に示すように、複数個の
照明源Ｌ1 , Ｌ2 を用いて、被検査物ｗの欠陥を浮き上
がらせて画像の取り込みを行えるようにしたものであっ
て、カメラＣａを被検査物ｗに対して垂直に配置し、ま
た照明源Ｌ1 , Ｌ2 として、落射光照明光源、斜光照明
光源を用い、それぞれの照明源Ｌ1 , Ｌ2 で交互に照射
し、個々の被検査物ｗの画像を取り込み、その画像にお
ける欠陥を浮き上がらせて被検査物ｗの外観検査を行う
ようにした手段よりなる。
【０００４】そして、この光学系で、例えば、配線部，
ダイアタッチ部，ピン部，シーリング部にＮｉ，Ａｕメ
ッキが施されているセラミックＰＧＡ基板等のＩＣ基板
の欠陥検査を行う場合、該検査面は、光沢のない反射光
を拡散・散乱させる表面であるため、落射光照明のもと
で、上記カメラにより撮像した画像は明るい画面とな
り、該検査面にピンホールのようなメッキ抜けや、黒異
物のような平面的欠陥があれば、黒点として画像処理に
よって欠陥検出が可能となり、自動検査が行える。
ダイアタッチ部，ピン部，シーリング部にＮｉ，Ａｕメ
ッキが施されているセラミックＰＧＡ基板等のＩＣ基板
の欠陥検査を行う場合、該検査面は、光沢のない反射光
を拡散・散乱させる表面であるため、落射光照明のもと
で、上記カメラにより撮像した画像は明るい画面とな
り、該検査面にピンホールのようなメッキ抜けや、黒異
物のような平面的欠陥があれば、黒点として画像処理に
よって欠陥検出が可能となり、自動検査が行える。
【０００５】また、上記斜光照明光源を、検査面に対し
て２０°以下の小さい傾斜角度で配置することにより、
カメラで撮像した画像が、暗い画面となり、上記突起等
の立体的欠陥があると、該欠陥が輝点として検出でき
る。このように、平面的欠陥検査を行った後、立体的欠
陥検査を行うことにより、全ての欠陥が検出できる。
て２０°以下の小さい傾斜角度で配置することにより、
カメラで撮像した画像が、暗い画面となり、上記突起等
の立体的欠陥があると、該欠陥が輝点として検出でき
る。このように、平面的欠陥検査を行った後、立体的欠
陥検査を行うことにより、全ての欠陥が検出できる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述した立体
的欠陥検査の場合、次のような課題がある。 キャビティ部の段差やピンが検査領域周辺に配置さ
れている場合、小角度で照明できないため、該照明によ
る影を検出できない。 斜光照明の場合、明るさの勾配が強くなるため、異
物、突起の検出感度が場所により不均一となり、Ｓ／Ｎ
比が悪い。 欠陥を浮き上がらせるために、カメラの照明とし
て、落射光と斜光の二つの照明源の切り替えが必要とな
る。
的欠陥検査の場合、次のような課題がある。 キャビティ部の段差やピンが検査領域周辺に配置さ
れている場合、小角度で照明できないため、該照明によ
る影を検出できない。 斜光照明の場合、明るさの勾配が強くなるため、異
物、突起の検出感度が場所により不均一となり、Ｓ／Ｎ
比が悪い。 欠陥を浮き上がらせるために、カメラの照明とし
て、落射光と斜光の二つの照明源の切り替えが必要とな
る。
【０００７】本発明は、このような観点に立脚して創作
したものであって、その目的とする処は、立体的欠陥の
検出感度を向上させることにより、検出精度を向上させ
ると同時に、その検査能率を向上させ得るようにした立
体的欠陥検査方法と装置を提供することにある。
したものであって、その目的とする処は、立体的欠陥の
検出感度を向上させることにより、検出精度を向上させ
ると同時に、その検査能率を向上させ得るようにした立
体的欠陥検査方法と装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】そして、上記目的を達成
するための手段としての本発明の立体的欠陥検査方法
は、セラミック基板の検査面を斜光照明源で照明し、そ
の反射光をカメラで撮影することで、該検査面の欠陥検
査を行う立体的欠陥検査方法において、該カメラを該検
査面に対して４５°以下の傾斜する光軸上に配すると共
に、上記斜光照明源を該光軸とほぼ同軸上に配し、該斜
光照明源で該検査面に照明し、その反射光を上記カメラ
で撮影して欠陥検査を行う構成よりなる。
するための手段としての本発明の立体的欠陥検査方法
は、セラミック基板の検査面を斜光照明源で照明し、そ
の反射光をカメラで撮影することで、該検査面の欠陥検
査を行う立体的欠陥検査方法において、該カメラを該検
査面に対して４５°以下の傾斜する光軸上に配すると共
に、上記斜光照明源を該光軸とほぼ同軸上に配し、該斜
光照明源で該検査面に照明し、その反射光を上記カメラ
で撮影して欠陥検査を行う構成よりなる。
【０００９】また、目的を達成するための手段としての
本発明の立体的欠陥検査装置は、セラミック基板の検査
面を斜光照明源で照明し、その反射光をカメラで撮影す
ることで、該検査面の欠陥検査を行う立体的欠陥検査装
置において、該検査面に対して、４５°以下の傾斜角度
の光軸を有するカメラと、該光軸とほぼ同軸の斜光照明
源を有し、該斜光照明源で該検査面に照明し、その反射
光を上記カメラで撮影して欠陥検査を行う構成よりな
り、該検査面とカメラレンズおよび検出素子を、該検査
面の延長面と、該カメラレンズ主面の延長面、および該
検出素子の検出面との延長面が、一直線上で交差するよ
うに配置した構成よりなる。また、本発明の他の立体的
欠陥検査装置は、前記発明において、カメラレンズの前
方及び照明源の前方にそれぞれ偏光フィルタを配置した
構成よりなる。
本発明の立体的欠陥検査装置は、セラミック基板の検査
面を斜光照明源で照明し、その反射光をカメラで撮影す
ることで、該検査面の欠陥検査を行う立体的欠陥検査装
置において、該検査面に対して、４５°以下の傾斜角度
の光軸を有するカメラと、該光軸とほぼ同軸の斜光照明
源を有し、該斜光照明源で該検査面に照明し、その反射
光を上記カメラで撮影して欠陥検査を行う構成よりな
り、該検査面とカメラレンズおよび検出素子を、該検査
面の延長面と、該カメラレンズ主面の延長面、および該
検出素子の検出面との延長面が、一直線上で交差するよ
うに配置した構成よりなる。また、本発明の他の立体的
欠陥検査装置は、前記発明において、カメラレンズの前
方及び照明源の前方にそれぞれ偏光フィルタを配置した
構成よりなる。
【００１０】
【作用】本発明の立体的欠陥検出方法と装置は、カメラ
を検査面に対して、４５°以下の傾斜する光軸上に配す
ると共に、斜光照明源を該光軸とほぼ同軸上に配し、該
照明源を該検査面に対して強調されて照射するようにし
ているので、該立体的欠陥部分が他の検査面に対して異
なる点として検出できるように作用する。また、該立体
的欠陥をカメラで正反射に近い点として検出できるの
で、Ｓ／Ｎ比を良くすることができ、欠陥検出精度を向
上させ得る。
を検査面に対して、４５°以下の傾斜する光軸上に配す
ると共に、斜光照明源を該光軸とほぼ同軸上に配し、該
照明源を該検査面に対して強調されて照射するようにし
ているので、該立体的欠陥部分が他の検査面に対して異
なる点として検出できるように作用する。また、該立体
的欠陥をカメラで正反射に近い点として検出できるの
で、Ｓ／Ｎ比を良くすることができ、欠陥検出精度を向
上させ得る。
【００１１】また、検査面とカメラレンズおよび検出素
子を、該検査面の延長面と、該カメラレンズ主面の延長
面、および該検出素子の検出面との延長面が、一直線上
で交差するように配置した場合にあっては、カメラで撮
像した画像の略全面の焦点が合うため、視野分割数を少
なくできることより、効率的な検査を行える。
子を、該検査面の延長面と、該カメラレンズ主面の延長
面、および該検出素子の検出面との延長面が、一直線上
で交差するように配置した場合にあっては、カメラで撮
像した画像の略全面の焦点が合うため、視野分割数を少
なくできることより、効率的な検査を行える。
【００１２】
【実施例】以下、図面を参照しながら、本発明を具体化
した実施例について説明する。ここに、図１は、本発明
の一実施例の立体的欠陥検査装置の概略構成図、図２
は、本発明の他の実施例の概略構成図である。
した実施例について説明する。ここに、図１は、本発明
の一実施例の立体的欠陥検査装置の概略構成図、図２
は、本発明の他の実施例の概略構成図である。
【００１３】本実施例の立体的欠陥検査装置は、セラミ
ックＰＧＡ基板（被検査物）ａにおけるメッキ面の突
起、異物やピンホール等の欠陥を検査するための立体的
欠陥検査装置であって、概略すると、カメラ１と、被検
査物ａの検査面ｂに対して照明を当てる照明源２と、カ
メラ１で撮像した画像を画像処理する画像処理装置３、
およびカメラ１で撮像した画像をモニタするための画像
モニタ１１とより構成されている。
ックＰＧＡ基板（被検査物）ａにおけるメッキ面の突
起、異物やピンホール等の欠陥を検査するための立体的
欠陥検査装置であって、概略すると、カメラ１と、被検
査物ａの検査面ｂに対して照明を当てる照明源２と、カ
メラ１で撮像した画像を画像処理する画像処理装置３、
およびカメラ１で撮像した画像をモニタするための画像
モニタ１１とより構成されている。
【００１４】カメラ１は、検査面ｂに対して、２０°〜
４５°の傾斜した光軸ｃを持つように配置され、かつそ
のレンズ主面５が、検出素子（センサ）６のセンサ面７
に対して傾斜した構成とされている。ここで、傾斜角度
を、検査面ｂに対して、２０°〜４５°としたのは、２
０°未満の傾斜角度の場合には、被検査物ａのピンｄや
段差部ｅ等の障害物が撮像の障害となり、また４５°を
越える傾斜角度の場合は、検査面での照明の反射光が強
くなり、立体的欠陥の光輝との明るさの差が小さくなり
判別でき難くなるという理由による。
４５°の傾斜した光軸ｃを持つように配置され、かつそ
のレンズ主面５が、検出素子（センサ）６のセンサ面７
に対して傾斜した構成とされている。ここで、傾斜角度
を、検査面ｂに対して、２０°〜４５°としたのは、２
０°未満の傾斜角度の場合には、被検査物ａのピンｄや
段差部ｅ等の障害物が撮像の障害となり、また４５°を
越える傾斜角度の場合は、検査面での照明の反射光が強
くなり、立体的欠陥の光輝との明るさの差が小さくなり
判別でき難くなるという理由による。
【００１５】なお、カメラ１としては、白黒カメラを用
いるが、必要に応じてカラーカメラを用いると共に、該
カラーカメラの三原色の個々の色のカラーフィルタを照
明源２の前方に配置し、該三原色の波長の光を個別に照
明として照射でき、該カメラで被検査物ａを複数の照明
で撮像できるようにしてもよい。
いるが、必要に応じてカラーカメラを用いると共に、該
カラーカメラの三原色の個々の色のカラーフィルタを照
明源２の前方に配置し、該三原色の波長の光を個別に照
明として照射でき、該カメラで被検査物ａを複数の照明
で撮像できるようにしてもよい。
【００１６】照明源２は、カメラ１の光軸ｃとほぼ同軸
上に配置されていて、照明を光軸ｃに沿って、検査面ｂ
に照射できるようにされている。従って、照明源２によ
る照明も斜光光源であって、検査面ｂの立体的欠陥を浮
き上がらせることができる。ここで、照明源２として
は、ハロゲンランプを用いることが好ましい。しかし、
蛍光灯その他の照明を用いてもよい。
上に配置されていて、照明を光軸ｃに沿って、検査面ｂ
に照射できるようにされている。従って、照明源２によ
る照明も斜光光源であって、検査面ｂの立体的欠陥を浮
き上がらせることができる。ここで、照明源２として
は、ハロゲンランプを用いることが好ましい。しかし、
蛍光灯その他の照明を用いてもよい。
【００１７】また、カメラ１と照明源２は、カメラ１の
レンズ主面５の延長面８と、検出素子６のセンサ面７の
延長面９、および検査面ｂの延長面１０とが、同一直線
上で交差するようにして光学系を構成し、レンズ主面５
を、検出素子（センサ）６のセンサ面７に対して傾けて
いる。すなわち、光軸ｃに対してレンズ４を傾けた構成
としている。
レンズ主面５の延長面８と、検出素子６のセンサ面７の
延長面９、および検査面ｂの延長面１０とが、同一直線
上で交差するようにして光学系を構成し、レンズ主面５
を、検出素子（センサ）６のセンサ面７に対して傾けて
いる。すなわち、光軸ｃに対してレンズ４を傾けた構成
としている。
【００１８】次に、本実施例の立体的欠陥検査装置を用
いて、欠陥検査方法について説明すると、まず、被検査
物ａの種類に応じて、検査面ｂに対するカメラ１と照明
源２の傾斜角度（２０°〜４５°の範囲内）を設定する
と共に、被検査物ａの検査視野範囲に応じて、カメラ１
のレンズ４の傾きを設定する。
いて、欠陥検査方法について説明すると、まず、被検査
物ａの種類に応じて、検査面ｂに対するカメラ１と照明
源２の傾斜角度（２０°〜４５°の範囲内）を設定する
と共に、被検査物ａの検査視野範囲に応じて、カメラ１
のレンズ４の傾きを設定する。
【００１９】そして、被検査物ａを、その検査面ｂの延
長面１０が、カメラ１のレンズ主面５の延長面８と、検
出素子６のセンサ面７の延長面９が交差する同一直線上
で交差するように移動させる。次に、検査面ｂに対して
照明源２で照明すると共に、被検査物ａを水平回転させ
ながら、その反射光をカメラ１により撮像し、該撮像し
て得た画像を、画像処理装置３によって画像処理すると
共に、画像モニタ１１によって画像表示させることで、
全ての検査面ｂについて立体的欠陥が存在するか否につ
いて検査する。通常、画像処理装置３において、予め、
立体的欠陥の存在しない被検査物ａの検査面ｂの画像デ
ータを入力しておいて、その画像データと撮像したデー
タを比較処理することによって、立体的欠陥の有無を検
査する。また、必要に応じて、画像モニタ１１を検査員
の目視検査で、該立体的欠陥の有無の検査も行う。
長面１０が、カメラ１のレンズ主面５の延長面８と、検
出素子６のセンサ面７の延長面９が交差する同一直線上
で交差するように移動させる。次に、検査面ｂに対して
照明源２で照明すると共に、被検査物ａを水平回転させ
ながら、その反射光をカメラ１により撮像し、該撮像し
て得た画像を、画像処理装置３によって画像処理すると
共に、画像モニタ１１によって画像表示させることで、
全ての検査面ｂについて立体的欠陥が存在するか否につ
いて検査する。通常、画像処理装置３において、予め、
立体的欠陥の存在しない被検査物ａの検査面ｂの画像デ
ータを入力しておいて、その画像データと撮像したデー
タを比較処理することによって、立体的欠陥の有無を検
査する。また、必要に応じて、画像モニタ１１を検査員
の目視検査で、該立体的欠陥の有無の検査も行う。
【００２０】従って、本実施例の場合、被検査物ａの検
査面ｂに対して、２０〜４５°傾けて照射した照明によ
って、検査視野範囲の周辺部分を暗くでき、その結果、
検査面ｂの平面的欠陥と区別して、立体的欠陥を浮き上
がらせることができ、また該立体的欠陥をカメラで正反
射に近い点として検出できるので、Ｓ／Ｎ比を良くする
ことができ、精度の良い欠陥検出ができる。また、被検
査物ａの検査面ｂの延長面１０と、カメラ１のカメラレ
ンズ主面５の延長面８、および検出素子６のセンサ面７
との延長面９が、一直線上で交差するので、カメラ１で
撮像した画像の略全面の焦点が合うため、視野分割数を
少なくできることより、効率的な検査を行える。
査面ｂに対して、２０〜４５°傾けて照射した照明によ
って、検査視野範囲の周辺部分を暗くでき、その結果、
検査面ｂの平面的欠陥と区別して、立体的欠陥を浮き上
がらせることができ、また該立体的欠陥をカメラで正反
射に近い点として検出できるので、Ｓ／Ｎ比を良くする
ことができ、精度の良い欠陥検出ができる。また、被検
査物ａの検査面ｂの延長面１０と、カメラ１のカメラレ
ンズ主面５の延長面８、および検出素子６のセンサ面７
との延長面９が、一直線上で交差するので、カメラ１で
撮像した画像の略全面の焦点が合うため、視野分割数を
少なくできることより、効率的な検査を行える。
【００２１】なお、本発明は、上述した実施例に限定さ
れるものでなく、本発明の要旨を変更しない範囲内で変
形実施できる構成を含む。因みに、上述した実施例にお
いては、照明源をカメラの上下部位に配置した構成で説
明したが、図２（ａ）に示すように上側にのみ配置する
か、図２（ｂ）に示すように、ハーフミラーを介して完
全に同軸上の照明となる構成としてもよい。そして、こ
の構成の場合、下側に照明がないため、被検査物ａのピ
ンｄや段差部ｅ等の障害物の影響を回避できると共に、
被検査物ａの検査面ｂに対するカメラ１の傾斜角度をい
っそう小さくすることができる。また、必要に応じて、
被検査物の検査面の延長面と、カメラのレンズ主面の延
長面、および検出素子のセンサ面の延長面が一直線上で
交差しない光学系として配置した構成としてもよい。こ
の構成の場合は、上述した実施例に比べて、合焦点エリ
アが若干狭く、かつ視野分割数が増えるが、従来例の検
査法に比べると、均一な感度で立体的欠陥の検査を行え
る。
れるものでなく、本発明の要旨を変更しない範囲内で変
形実施できる構成を含む。因みに、上述した実施例にお
いては、照明源をカメラの上下部位に配置した構成で説
明したが、図２（ａ）に示すように上側にのみ配置する
か、図２（ｂ）に示すように、ハーフミラーを介して完
全に同軸上の照明となる構成としてもよい。そして、こ
の構成の場合、下側に照明がないため、被検査物ａのピ
ンｄや段差部ｅ等の障害物の影響を回避できると共に、
被検査物ａの検査面ｂに対するカメラ１の傾斜角度をい
っそう小さくすることができる。また、必要に応じて、
被検査物の検査面の延長面と、カメラのレンズ主面の延
長面、および検出素子のセンサ面の延長面が一直線上で
交差しない光学系として配置した構成としてもよい。こ
の構成の場合は、上述した実施例に比べて、合焦点エリ
アが若干狭く、かつ視野分割数が増えるが、従来例の検
査法に比べると、均一な感度で立体的欠陥の検査を行え
る。
【００２２】また、上述した実施例においては、ＰＧＡ
基板のメッキ面における立体的欠陥検査について説明し
たが、他の各種被検査物の立体的欠陥の検査方法として
具体化できることは当然である。また、カメラレンズの
前方と照明源の前方に、偏光フィルタを配置することに
より、立体的欠陥の種類による反射光の差を減少させて
感度差を少なくしてもよい。
基板のメッキ面における立体的欠陥検査について説明し
たが、他の各種被検査物の立体的欠陥の検査方法として
具体化できることは当然である。また、カメラレンズの
前方と照明源の前方に、偏光フィルタを配置することに
より、立体的欠陥の種類による反射光の差を減少させて
感度差を少なくしてもよい。
【００２３】
【発明の効果】以上の説明より明らかなように、本発明
の立体的欠陥検査方法と装置によれば、カメラを検査面
に対して、４５°以下の傾斜する光軸上に配すると共
に、斜光照明源を該光軸とほぼ同軸上に配し、該照明源
を該検査面に対して照射するようにしているので、該立
体的欠陥部分が他の検査面に対して異なる点として検出
でき、該立体的欠陥をカメラで正反射に近い点として検
出できるので、Ｓ／Ｎ比を良くすることができ、欠陥検
出精度を向上させ得るという効果を有する。
の立体的欠陥検査方法と装置によれば、カメラを検査面
に対して、４５°以下の傾斜する光軸上に配すると共
に、斜光照明源を該光軸とほぼ同軸上に配し、該照明源
を該検査面に対して照射するようにしているので、該立
体的欠陥部分が他の検査面に対して異なる点として検出
でき、該立体的欠陥をカメラで正反射に近い点として検
出できるので、Ｓ／Ｎ比を良くすることができ、欠陥検
出精度を向上させ得るという効果を有する。
【００２４】また、本発明の立体的欠陥検査方法と装置
において、検査面とカメラレンズおよび検出素子を、該
検査面の延長面と、該カメラレンズ主面の延長面、およ
び該検出素子の検出面との延長面が、一直線上で交差す
るように配置した場合にあっては、カメラで撮像した画
像の略全面の焦点が合うため、視野分割数を少なくでき
ることより、効率的な検査を行えるという効果を有す
る。
において、検査面とカメラレンズおよび検出素子を、該
検査面の延長面と、該カメラレンズ主面の延長面、およ
び該検出素子の検出面との延長面が、一直線上で交差す
るように配置した場合にあっては、カメラで撮像した画
像の略全面の焦点が合うため、視野分割数を少なくでき
ることより、効率的な検査を行えるという効果を有す
る。
【図１】本発明の一実施例の立体的欠陥検査装置の概略
構成図である。
構成図である。
【図２】本発明の他の実施例の立体的欠陥検査装置の概
略構成図である。
略構成図である。
【図３】従来例の概略構成図である。
１・・・カメラ、２・・・照明源、３・・・画像処理装
置、４・・・レンズ、５・・・レンズ主面、６・・・検
出素子（センサ）、７・・・センサ面、８・・・レンズ
主面の延長面、９・・・センサ面の延長面、１０・・・
検査面の延長面、１１・・・画像モニタ、１２・・・ハ
ーフミラー、ａ・・・被検査物（ＰＧＡ基板）、ｂ・・
・検査面、ｃ・・・光軸、ｄ・・・ピン、ｅ・・・段差
部
置、４・・・レンズ、５・・・レンズ主面、６・・・検
出素子（センサ）、７・・・センサ面、８・・・レンズ
主面の延長面、９・・・センサ面の延長面、１０・・・
検査面の延長面、１１・・・画像モニタ、１２・・・ハ
ーフミラー、ａ・・・被検査物（ＰＧＡ基板）、ｂ・・
・検査面、ｃ・・・光軸、ｄ・・・ピン、ｅ・・・段差
部
Claims (3)
- 【請求項１】 セラミック基板の検査面を斜光照明源で
照明し、その反射光をカメラで撮影することで、該検査
面の欠陥検査を行う立体的欠陥検査方法において、該カ
メラを該検査面に対して４５°以下の傾斜する光軸上に
配すると共に、上記斜光照明源を該光軸とほぼ同軸上に
配し、該斜光照明源で該検査面に照明し、その反射光を
上記カメラで撮影して欠陥検査を行うことを特徴とする
立体的欠陥検査方法。 - 【請求項２】 セラミック基板の検査面を斜光照明源で
照明し、その反射光をカメラで撮影することで、該検査
面の欠陥検査を行う立体的欠陥検査装置において、該検
査面に対して、４５°以下の傾斜角度の光軸を有するカ
メラと、該光軸とほぼ同軸の斜光照明源を有し、該斜光
照明源で該検査面に照明し、その反射光を上記カメラで
撮影して欠陥検査を行う構成よりなり、該検査面とカメ
ラレンズおよび検出素子を、該検査面の延長面と、該カ
メラレンズ主面の延長面、および該検出素子の検出面と
の延長面が、一直線上で交差するように配置してなるこ
とを特徴とする立体的欠陥検査装置。 - 【請求項３】 カメラレンズの前方及び照明源の前方に
それぞれ偏光フィルタを配置してなる請求項２に記載の
立体的欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2471193A JPH06213822A (ja) | 1993-01-19 | 1993-01-19 | セラミック基板の立体的欠陥検査方法と装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2471193A JPH06213822A (ja) | 1993-01-19 | 1993-01-19 | セラミック基板の立体的欠陥検査方法と装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06213822A true JPH06213822A (ja) | 1994-08-05 |
Family
ID=12145759
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2471193A Pending JPH06213822A (ja) | 1993-01-19 | 1993-01-19 | セラミック基板の立体的欠陥検査方法と装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06213822A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009162573A (ja) * | 2007-12-28 | 2009-07-23 | Ricoh Elemex Corp | 形状認識装置 |
| JP2012198047A (ja) * | 2011-03-18 | 2012-10-18 | Kayaba Ind Co Ltd | 外観検査装置 |
-
1993
- 1993-01-19 JP JP2471193A patent/JPH06213822A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009162573A (ja) * | 2007-12-28 | 2009-07-23 | Ricoh Elemex Corp | 形状認識装置 |
| JP2012198047A (ja) * | 2011-03-18 | 2012-10-18 | Kayaba Ind Co Ltd | 外観検査装置 |
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